JP2002064227A - 熱電変換材料とその製造方法 - Google Patents

熱電変換材料とその製造方法

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JP2002064227A
JP2002064227A JP2000248285A JP2000248285A JP2002064227A JP 2002064227 A JP2002064227 A JP 2002064227A JP 2000248285 A JP2000248285 A JP 2000248285A JP 2000248285 A JP2000248285 A JP 2000248285A JP 2002064227 A JP2002064227 A JP 2002064227A
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conversion material
polycrystal
atomic
thermal conductivity
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JP2000248285A
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Osamu Yamashita
治 山下
Nobuhiro Sadatomi
信裕 貞富
Tsunekazu Saigo
恒和 西郷
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Hitachi Metals Ltd
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Sumitomo Special Metals Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 Si基熱電変換材料のゼーベック係数、電気
伝導率を低下させることなく、材料の熱伝導率を大きく
低下させて、性能指数の大幅な向上が実現できる熱電変
換材とその製造方法の提供。 【解決手段】 キャリアーを発生させないGe,C,S
nなどとともにキャリアーを発生させる添加元素とを合
わせて30原子%以下含有して、Siが80原子%を占
める結晶粒とその粒界部に該添加元素の1種以上が析出
した粒界相を含む結晶組織を有するSi基多結晶体粉末
と、熱伝導率と電気抵抗率の低いクラスレート化合物粉
末を混合し、熱間圧縮成形することにより、Si基多結
晶体の各粒子の周囲にクラスレート化合物多結晶体の粒
子が配置された複合体組織を有して、高いゼーベック係
数と低い電気抵抗率を損ねることなく、熱伝導率が大幅
に低下する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、Siリッチ相か
らなる結晶粒とその粒界部に添加元素の1種以上が析出
した添加元素リッチ相を含む結晶組織を有するSi基多
結晶体粉末と、熱伝導率の低いAGaB多結晶体粉末と
を複合体化した新規な熱電変換材料に関し、熱伝導率が
低く、熱電変換効率の高い熱電変換材料を簡単に製造で
きる熱電変換材料とその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】熱電変換素子は、最近の産業界において
要求の高い熱エネルギーの有効活用の観点から実用化が
期待されているデバイスであり、例えば、排熱を利用し
電気エネルギーに変換するシステムや、屋外で簡単に電
気を得るための小型携帯用発電装置、ガス機器の炎セン
サー等、非常に広範囲の用途が検討されている。
【0003】Siに、Geを加えることにより熱伝導率
を低下させることができ、性能指数が向上することは、
J.P.Dismukesら(J.Appl.Phy
s.,35(1964)2899.)やN.Kh.Ab
rikosovら(Sov.Phys.‐Semico
n.,2(1969)1468.)の報告で知られてい
る。
【0004】また、熱伝導率については、Si‐Ge系
あるいはInAs−GaAs系の半導体(上村欣一、西
田勲夫著「熱電半導体とその応用」)において、異種元
素を固溶体にすることにより熱伝導率が大幅に低下する
ことは既によく知られている。
【0005】このSi‐Geは、その状態図における液
相線と固相線の温度差の大きい全律固溶であり、Siと
Geが偏析し易いという問題があった。また、上述した
Si−Ge系材料はGeを20%以上含有するため、G
eの原料コストが高く、汎用には至らなかったという現
状があった。
【0006】一方、G.S.Nolas(Mat.Re
s.Soc.Symp.Proc.545(1999)
435.)により4族元素をベースとしたクラスレート
化合物は複雑な篭状構造をもち、篭状クラスター内に挿
入した原子による“rattling効果”によって非
常に低い熱伝導率を有することが報告されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】発明者らは、半導体デ
バイスとして広く使用されているSiが極めて高いゼー
ベック係数を有することに着目して、特にSi基の材料
の熱電特性を評価した結果、Siに0.001〜20原
子%という少量の元素の添加で高い性能指数を有する熱
電変換材料となり得ることを知見した(WO99/22
410)。
【0008】前記Si基材料は、種々の添加元素によっ
て熱伝導率を下げることが可能で、また従来から知られ
るSi−Ge系、Fe−Si系に比べ、所定のキャリア
ー濃度でゼーベック係数が同等あるいはそれ以上に高く
なり、熱電変換材料として大きな性能指数を示し、高性
能化に対応できる。
【0009】一般に、熱伝導率(κ)はキャリアー(自
由電子)による伝導(κel)とフォノンによる伝導
(κph)の和で与えられる。半導体領域(キャリアー
濃度<1021(M/m3))ではフォノンによる伝導が
支配的であるので、熱伝導率を低下させるためにはフォ
ノンの散乱を大きくする必要がある。
【0010】それにはSi中に不純物元素を添加するこ
とが有効であるが、2,3族や5,6族元素または遷移
金属元素、希土類元素の添加量にも限界があり、この添
加による方法でも室温での熱伝導率はせいぜい約10
(W/mK)であった。
【0011】この熱伝導率(κ)の値は、他の熱電材料
に比べてまだ一桁程大きく、性能指数(Z)をさらに向
上させるには、熱伝導率をさらに低下させる必要があっ
た。
【0012】この発明は、Si基熱電変換材料のゼーベ
ック係数、電気伝導率を低下させることなく、材料の熱
伝導率を大きく低下させて、性能指数の大幅な向上が実
現できる熱電変換材料とその製造方法の提供を目的とし
ている。
【0013】
【課題を解決するための手段】発明者らは、Si基熱電
変換材料の熱伝導率の低減について、当該Si基材料
(Si基多結晶体)と他材料との複合化について種々検
討した結果、Si基多結晶体よりも熱伝導率が低く、し
かも電気抵抗率の低い材料と複合化することにより、ゼ
ーベック係数をそれほど犠牲にせずに、熱伝導率を大き
く下げることができることに着目した。
【0014】発明者らは、例えばGeを0.05原子%
〜10原子%含有したSi基材料に各種元素を添加して
ゼーベック係数が高くなるキャリアー濃度1019〜10
21(M/m3)に調整したp型又はn型半導体からなる
Si基多結晶体粉末と、別途作製した熱伝導率と電気抵
抗率の低いクラスレート化合物粉末を混合し、熱間圧縮
成形によって複合化することにより、高いゼーベック係
数と低い電気抵抗率を損ねることなく、熱伝導率が大幅
に低下した熱電変換材料が得られることを知見し、この
発明を完成した。
【0015】すなわち、この発明は、添加元素を単独又
は複合にて0.001原子%〜30原子%含有し、Si
が80原子%を占める結晶粒とその粒界部に該添加元素
の1種以上が析出した粒界相を含む結晶組織を有するS
i基多結晶体と、AGaB多結晶体(但しAはBe,M
g,Ca,Sr,Baからなる2A族元素の少なくとも
1種、BはC,Si,Ge,Sn,Pbからなる4A族
元素の少なくとも1種)との複合体からなることを特徴
とする熱電変換材料である。
【0016】また、この発明は、前記の構成からなる熱
電変換材料において、 1)Si基多結晶体の各粒子の周囲にAGaB多結晶体
の各粒子が配置された組織を有する構成、 2)Si基多結晶体における添加元素が、キャリアーを
発生させない添加元素を単独又は複合にて0.1原子%
〜10原子%とキャリアーを発生させる添加元素を単独
又は複合にて0.002原子%〜20原子%とを含み、
キャリアーを発生させない添加元素がGe,C,Snの
うち少なくとも1種を含むものである構成、 3)AGaB多結晶体は、組成式AXGaYZからな
り、X=8、Y=14〜17、Z=28〜32である構
成、 4)Si基多結晶体とAGaB多結晶体のそれぞれの伝
導型が同じである構成、 5)Si基多結晶体とAGaB多結晶体との重量混合比
が、60:40〜90:10である構成、を併せて提案
する。
【0017】さらに、この発明は、Si基多結晶体粉末
とAGaB多結晶体粉末とを混合(混合・粉砕)する工
程、該混合粉末をホットプレス又は放電プラズマ焼結な
どの熱間圧縮成形法にて複合化する工程を含むことを特
徴とする熱電変換材料の製造方法である。
【0018】
【発明の実施の形態】この発明によるSi基多結晶体と
AGaB多結晶体との複合体からなる熱電変換材料の結
晶組織は、図1に模式図を示すごとく、Si基多結晶体
の各粒子(以下Si基多結晶体粒子1という)の周囲に
AGaB多結晶体の各粒子(AGaB多結晶体粒子2と
いう)が配置された構成を有することが特徴である。
【0019】Si基多結晶体粒子とAGaB多結晶体粒
子とを複合化した熱電材料の熱伝導率は、低い熱伝導率
を有するAGaB化合物との複合化によって、SiGe
の熱伝導率よりも大幅に低下し、またゼーベック係数を
大きく低下させることなく、電気抵抗率も低下する。
【0020】ここで、Si基多結晶体粒子1は、図2に
示すごとく、添加元素を含むがほとんどがSiである結
晶相と、この結晶粒の粒界部に添加元素が同時に偏析し
た構造を特徴とする。これを便宜上、Siが80原子%
以上を占める結晶相をSiリッチ相3と、添加元素の1
種以上が半分以上を占める粒界相を添加元素リッチ相4
という。
【0021】添加元素リッチ相は、添加量によってはS
iリッチ相に付着するがごとく析出するものから、層状
に取り囲むごとく析出するものまでを指し、添加元素の
1種以上がSiリッチ相の粒界部に析出した結晶相をい
う。なお、粒界部に微量のSiが析出する場合もある。
【0022】また、添加元素とは、Siをp型半導体又
はn型半導体にすることができる元素、すなわちキャリ
アーを発生させる元素と、キャリアーを発生させない元
素を含む。従って、単に添加元素という場合は、キャリ
アーを発生させる元素とキャリアーを発生させない元素
の両方を指し、特定する場合は、キャリアーを発生させ
る添加元素、キャリアーを発生させない添加元素とい
う。
【0023】Si基多結晶体粒子は、粒界部に添加元素
を凝集させた添加元素リッチ相でキャリアーの伝導を大
きくでき、主相であるSiリッチ相で高いゼーベック係
数が得られ、溶解、凝固時の冷却速度を制御することに
より、Siリッチ相と添加元素リッチ相が材料内に所要
配置で分散した構造を持ち、高い性能指数を有する材料
が得られる。なお、Siリッチ相のサイズは冷却速度で
異なるが、10〜500μm程度である。
【0024】上記Si基多結晶体は、Siに種々元素を
添加することによって得ることができる。Siに含有さ
せる添加元素は、所要範囲内のキャリアー濃度で熱伝導
率を低下させると同時に、高いゼーベック係数を得るた
めに添加するもので、基本的にはいずれの元素でもよ
く、1種以上を0.001原子%〜30原子%の範囲で
含有させることが好ましい。
【0025】より好ましい形態としては、キャリアーを
発生させない添加元素を単独又は複合にて0.1原子%
〜10原子%、キャリアーを発生させる添加元素を単独
又は複合にて0.001原子%〜20原子%である。
【0026】キャリアーを発生させない添加元素として
は、Ge,C,Snのうち少なくとも1種を含有するこ
とが好ましい。またGe,C,Snに3族元素や5族元
素を添加したり、さらに、熱伝導率を低下させるため
に、3族−5族化合物半導体や2族−6族化合物半導体
を添加することもできる。
【0027】Ge,C,Snのうち少なくとも1種が
0.1原子%未満では熱伝導率が大きいため、高い性能
指数が得られず、また10原子%を超えると熱伝導率が
若干低下するとともに、Siリッチ相に拡散し、固溶さ
れるため、Siの高いゼーベック係数が低下し、性能指
数を低下させる原因となる。従って、Ge,C,Snの
うち少なくとも1種の含有量は、0.1原子%〜10原
子%が好ましく、より好ましくは5〜10原子%であ
る。
【0028】なお、3族元素や5族元素さらに3族−5
族化合物半導体や2族−6族化合物半導体を添加する場
合は、Ge,C,Snのうち少なくとも1種と3族元素
又は5族元素の総量が5原子%〜10原子%、3族−5
族化合物半導体又は2族−6族化合物半導体が1〜10
原子%となるように添加することが好ましい。
【0029】キャリアーを発生させる添加元素として
は、得られる熱電変換材料とp型半導体となすための添
加元素(添加元素Apという)とn型半導体となすため
の添加元素(添加元素Anという)を、それぞれ0.0
01原子%〜10原子%の範囲で含有させることが好ま
しい。
【0030】キャリアーを発生させp型半導体となすた
めの添加元素Apとしては、Ap1グループ群(Be,
Mg,Ca,Sr,Ba,Zn,Cd,Hg,B,A
l,Ga,In,Tl)、遷移金属元素M1群(M1
Y,Mo,Zr)の各群から選択する1種又は2種以上
が望ましい。中でも特に好ましい添加元素はB,Ga,
Alである。
【0031】キャリアーを発生させn型半導体となすた
めの添加元素Anは、An1グループ群(N,P,A
s,Sb,Bi,O,S,Se,Te)、遷移金属元素
2群(M2;Ti,V,Cr,Mn,Fe,Co,N
i,Cu,Nb,Ru,Rh,Pd,Ag,Hf,T
a,W,Re,Os,Ir,Pt,Au、但しFeは1
0原子%以下)、希土類元素群RE(RE;La,C
e,Pr,Nd,Pm,Sm,Eu,Gd,Tb,D
y,Ho,Er,Yb,Lu)の各群から選択する1種
又は2種以上が望ましい。中でも特に好ましい添加元素
はP,As,Sb,Cuである。
【0032】上記のSi基多結晶体材料は、溶湯を冷却
することによって得られ、溶解方法として、アーク溶解
法、高周波溶解法が量産に最適で好ましい。また、冷却
速度は、前述した添加元素の種類や組合せ、添加量な
ど、さらには採用する冷却方法並びに得られる鋳塊、薄
板、基板、リボンなどの形態によって、適宜選定され
る。
【0033】冷却方法としては、鋳塊のまま冷却する方
法、あるいは引き上げながら冷却する方法、例えば、公
知の単結晶シリコンを得るためのCZ法、FZ法を利用
して、多結晶シリコンが得られる条件で引上げ、冷却す
る方法が採用できる。CZ法、FZ法は引き上げた鋳塊
棒より所要厚みの基板を多数製造できるため、熱電変換
素子用のSi基基板の製造法として最適である。また、
ZL法にて製造することも可能である。
【0034】さらに、溶湯を浅いプレートに流し込み冷
却してより薄板を作製する方法や、公知のメルトクエン
チ法などのロール冷却法を利用して、所要厚みの薄板が
得られるよう冷却速度を制御するなど、いずれの方法で
あっても採用できる。
【0035】この発明において、AGaB多結晶体は、
複雑な篭状組織を有するクラスレート化合物であって、
AはBe,Mg,Ca,Sr,Baからなる2A族元素
の少なくとも1種、BはC,Si,Ge,Sn,Pbか
らなる4A族元素の少なくとも1種からなり、好ましく
は、組成式AXGaYZで、X=8、Y=14〜17、
Z=28〜32である。また、結晶粒子径は10〜50
0μm程度が好ましい。
【0036】AGaB多結晶体は上記組成式において、
Zが31以上ではN型伝導を、また、Zが31未満では
P型伝導を示す。従って、前述したSi基多結晶体との
複合化に際しては、Si基多結晶体がN型伝導を示す際
はN型伝導のAGaB多結晶体(Z=31以上)と混合
し、また、Si基多結晶体がP型伝導を示す際はP型伝
導のAGaB多結晶体(Z=31未満)と混合すること
が好ましい。
【0037】この発明において、熱電変換材料の用途を
考慮すると、熱源、使用箇所や形態、扱う電流、電圧の
大小などの用途に応じて、ゼーベック係数、電気伝導
率、熱伝導率のいずれの特性に重点を置くかによって複
合化の配合比率は変わるが、逆に言えば、配合比率を変
えることによって用途に応じて熱電特性を選択すること
ができる特徴を有する。
【0038】Si基多結晶体とAGaB多結晶体の重量
配合比率を60:40未満、すなわちSi基多結晶体の
比率を下げると、ゼーベック係数は下がり、また配合比
率を90:10を超える比率にすると、熱伝導率の低下
が小さく、複合化による効果が発揮されない。
【0039】従って、複合化のための配合比率を60〜
90:40〜10にすると、ゼーベック係数の低下は小
さく、しかも熱伝導率は大幅に低下して熱電性能指数が
向上するため好ましい。また、該配合比率を70〜8
0:30〜20にすると、性能指数はより大きく向上
し、好ましい。
【0040】複合化方法には、Si基多結晶体粉末とA
GaB多結晶体粉末とを混合した後、この混合粉末をホ
ットプレス、放電プラズマ焼結、熱間圧縮成形にて複合
化することが好ましい。
【0041】この発明において、ホットプレス処理条件
は、温度673〜973K、圧力49〜147MPが好
ましい。温度が673K未満では焼結体の気孔率が増加
し、また温度が973Kを超えるとパンチとダイスの間
から漏れる。また圧力は緻密化可能になるように適宜選
定すればよい。
【0042】この発明において、放電プラズマ焼結処理
条件は、温度673K〜973K、圧力49〜147M
Pが好ましい。温度が673K未満では焼結体の気孔率
が増加し、また温度が973Kを超えるとパンチとダイ
スの間から漏れる。また圧力は複合体の緻密化が可能に
なるように適宜選定すればよい。
【0043】
【実施例】実施例1 Si基多結晶体粉末を作製するため、高純度単結晶Si
(10N)にキャリアーを発生させない添加元素として
Geを添加したSi1-xGex合金に対して、キャリアー
を発生させる添加元素として表1に示す種々の元素を所
定の割合で添加した後、Arガス雰囲気中でアーク溶解
した。得られたボタン状のインゴットを粗粉砕、ディス
クミル粉砕した後、ジェットミル粉砕して表1に示す平
均結晶粒径及び表2に示す特性の粉末を作製した。
【0044】また、AGaB多結晶体粉末を作製するた
めに、表3に示す元素を所定の割合で秤量した後、Ar
ガス雰囲気中でアーク溶解した。得られたボタン状のイ
ンゴットを粗粉砕、ディスクミル粉砕した後、ジェット
ミル粉砕して表3に示す平均結晶粒径及び表4に示す特
性の粉末を作製した。
【0045】その後、前記Si基多結晶体粉末とAGa
B多結晶体粉末を表5に示す配合比で混合したのち、表
5に示すホットプレス条件で1時間保持し、複合化熱電
変換材料を作製した。またさらに、表7に示す配合比で
混合したのち、表7に示す放電プラズマ焼結条件で3分
間保持して同様に複合化熱電変換材料を作製した。な
お、放電プラズマ焼結装置はイズミテック社製のSPS
−2040を用いた。
【0046】得られた複合化熱電変換材料を、5×5×
5mm、10×10×2mm、外径10×2mmの形状
に切断加工して、それぞれゼーベック係数、ホール係数
(電気抵抗含む)、熱伝導率測定用の試料を作製した。
【0047】ゼーベック係数は、高温部の電極をPt、
低温部の電極をPtにして、それらの温度差を6Kに設
定し、高温部と低温部の平均温度323KでのP型半導
体の熱起電力を測定した後、その熱起電力を6Kで割っ
た値として求めた。
【0048】また、ホール係数の測定は、323Kで交
流法により行い、またその時、四端子法により電気抵抗
率も測定した。さらに熱伝導率はレーザーフラッシュ法
により323Kで測定を行った。それらの測定結果を表
6及び表8に示す。適用可否の判断は、323Kでの性
能指数が0.8×10-4(1/K)を超える時に可と
し、それ未満の時に否とした。
【0049】比較例1 実施例1の表1に示す原料粉末のみを用いる以外は実施
例2と同じ方法によって熱電変換材料を得た。配合比及
び成形条件を表9、表11に、その結果を、表10、表
12に示す。なお、各特性は実施例2と同様に測定し
た。
【0050】
【表1】
【0051】
【表2】
【0052】
【表3】
【0053】
【表4】
【0054】
【表5】
【0055】
【表6】
【0056】
【表7】
【0057】
【表8】
【0058】
【表9】
【0059】
【表10】
【0060】
【表11】
【0061】
【表12】
【0062】
【発明の効果】この発明によると、高い性能指数を有す
るSi基多結晶体のゼーベック係数、電気伝導率を低下
させることなく、当該熱電変換材料の熱伝導率を大きく
低下させて、性能指数の大幅な向上が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】Si基多結晶体とAGaB多結晶体との複合体
からなるこの発明による熱電変換材料の複合体組織を示
す模式説明図である。
【図2】Si基多結晶体の結晶組織を示す模式説明図で
ある。
【符号の説明】
1 Si基多結晶体粒子 2 AGaB多結晶体粒子 3 Siリッチ相 4 添加元素リッチ相
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成13年8月15日(2001.8.1
5)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0050
【補正方法】変更
【補正内容】
【0050】
【表1】
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0052
【補正方法】変更
【補正内容】
【0052】
【表3】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西郷 恒和 大阪府吹田市南吹田2丁目19−1 住友特 殊金属株式会社吹田製作所内 Fターム(参考) 4K018 EA01 EA21 KA32 4K020 AA21 AC07 BB29

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 添加元素を単独又は複合にて0.001
    原子%〜30原子%含有し、Siが80原子%を占める
    結晶粒とその粒界部に該添加元素の1種以上が析出した
    粒界相を含む結晶組織を有するSi基多結晶体と、AG
    aB多結晶体(但しAはBe,Mg,Ca,Sr,Ba
    からなる2A族元素の少なくとも1種、BはC,Si,
    Ge,Sn,Pbからなる4A族元素の少なくとも1
    種)との複合体からなる熱電変換材料。
  2. 【請求項2】 Si基多結晶体の各粒子の周囲にAGa
    B多結晶体の各粒子が配置された複合体組織を有する請
    求項1に記載の熱電変換材料。
  3. 【請求項3】 Si基多結晶体における添加元素が、キ
    ャリアーを発生させない添加元素を単独又は複合にて
    0.1原子%〜10原子%とキャリアーを発生させる添
    加元素を単独又は複合にて0.002原子%〜20原子
    %とを含み、キャリアーを発生させない添加元素がG
    e,C,Snのうち少なくとも1種を含むものである請
    求項1に記載の熱電変換材料。
  4. 【請求項4】 AGaB多結晶体は、組成式AXGaY
    Zからなり、X=8、Y=14〜17、Z=28〜32
    である請求項1に記載の熱電変換材料。
  5. 【請求項5】 Si基多結晶体とAGaB多結晶体のそ
    れぞれの伝導型が同じである請求項1に記載の熱電変換
    材料。
  6. 【請求項6】 Si基多結晶体とAGaB多結晶体との
    重量混合比が、60:40〜90:10である請求項1
    に記載の熱電変換材料。
  7. 【請求項7】 Si基多結晶体粉末とAGaB多結晶体
    粉末とを混合する工程、該混合粉末を熱間圧縮成形にて
    複合化する工程を含む請求項1に記載の熱電変換材料の
    製造方法。
  8. 【請求項8】 熱間圧縮成形法が、ホットプレス又は放
    電プラズマ焼結である請求項7に記載の熱電変換材料の
    製造方法。
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