JP2002025477A - 平面ディスプレイ及びその製造方法 - Google Patents
平面ディスプレイ及びその製造方法Info
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- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
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- Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 輝度むらのない一様な輝度が得られる平面デ
ィスプレイを提供する。 【解決手段】 透明なフロントガラス１０３及びこのフ
ロントガラス１０３に対向配置されたガラス基板１０１
を含みかつ内部が真空排気された外囲器と、この外囲器
内のガラス基板１０１上に配置された電界放出型電子放
出源１１０と、この電子放出源１１０から離間して配置
された電子引き出し電極１２０と、フロントガラス１０
３の内面に配置された蛍光体膜１４０Ｂ，１４０Ｇ，１
４０Ｒとを備えた平面ディスプレイにおいて、電子放出
源１１０を多数の貫通孔を有しナノチューブ状繊維の生
成核となる板状金属部材１１１と、この金属部材１１１
の表面及び貫通孔壁に配置された多数のナノチューブ状
繊維からなる被膜１１２とから構成する。
ィスプレイを提供する。 【解決手段】 透明なフロントガラス１０３及びこのフ
ロントガラス１０３に対向配置されたガラス基板１０１
を含みかつ内部が真空排気された外囲器と、この外囲器
内のガラス基板１０１上に配置された電界放出型電子放
出源１１０と、この電子放出源１１０から離間して配置
された電子引き出し電極１２０と、フロントガラス１０
３の内面に配置された蛍光体膜１４０Ｂ，１４０Ｇ，１
４０Ｒとを備えた平面ディスプレイにおいて、電子放出
源１１０を多数の貫通孔を有しナノチューブ状繊維の生
成核となる板状金属部材１１１と、この金属部材１１１
の表面及び貫通孔壁に配置された多数のナノチューブ状
繊維からなる被膜１１２とから構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、電界放出型電子
放出源から放出された電子を蛍光体に衝突させて発光さ
せる平面ディスプレイとその製造方法に関する。
放出源から放出された電子を蛍光体に衝突させて発光さ
せる平面ディスプレイとその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ＦＥＤ（Field Emission Displa
y）や平型蛍光表示管のような、電子放出源から放出さ
れた電子を対向電極に形成された蛍光体からなる発光部
に衝突させて発光させるフラットパネル（平面）ディス
プレイにおいて、電子放出源にカーボンナノチューブを
用いたものが提案されている。カーボンナノチューブ
は、グラファイトの単層が円筒状に閉じ、かつ円筒の先
端部に五員環が形成された構造をしており、その代表的
な直径は１０〜５０ｎｍと微小のため、１００Ｖ程度の
電界を印加することにより、その先端から電子を電界放
出させることができる。このような、電子放出源にカー
ボンナノチューブを用いた平面ディスプレイとして、例
えば特開平１１−１６２３８３で提案されているものが
あり、ここではカーボンナノチューブの集合体からなる
長さ数μｍから数ｍｍの針形状の柱状グラファイトを導
電性接着剤で固定配置した電子放出源や、柱状グラファ
イトを混入したペーストを用いて印刷により形成した電
子放出源が用いられている。
y）や平型蛍光表示管のような、電子放出源から放出さ
れた電子を対向電極に形成された蛍光体からなる発光部
に衝突させて発光させるフラットパネル（平面）ディス
プレイにおいて、電子放出源にカーボンナノチューブを
用いたものが提案されている。カーボンナノチューブ
は、グラファイトの単層が円筒状に閉じ、かつ円筒の先
端部に五員環が形成された構造をしており、その代表的
な直径は１０〜５０ｎｍと微小のため、１００Ｖ程度の
電界を印加することにより、その先端から電子を電界放
出させることができる。このような、電子放出源にカー
ボンナノチューブを用いた平面ディスプレイとして、例
えば特開平１１−１６２３８３で提案されているものが
あり、ここではカーボンナノチューブの集合体からなる
長さ数μｍから数ｍｍの針形状の柱状グラファイトを導
電性接着剤で固定配置した電子放出源や、柱状グラファ
イトを混入したペーストを用いて印刷により形成した電
子放出源が用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の電子放出源では、突起部や陥没部などの不連続部分が
生じるため、平行電界を作用させて電界電子放出を得よ
うとすると、不連続部分に電界が集中して局部的な電子
放出が発生するという問題があり、これらの電子放出源
を用いた平面ディスプレイにおいて輝度むらの原因とな
っていた。この発明は、前述した課題を解決するために
なされたものであり、その目的は輝度むらのない一様な
輝度が得られる平面ディスプレイを提供することにあ
る。
の電子放出源では、突起部や陥没部などの不連続部分が
生じるため、平行電界を作用させて電界電子放出を得よ
うとすると、不連続部分に電界が集中して局部的な電子
放出が発生するという問題があり、これらの電子放出源
を用いた平面ディスプレイにおいて輝度むらの原因とな
っていた。この発明は、前述した課題を解決するために
なされたものであり、その目的は輝度むらのない一様な
輝度が得られる平面ディスプレイを提供することにあ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、この発明は、少なくとも一部が透光性を有する
フロントガラスとこのフロントガラスに対向配置された
基板とフロントガラス及び基板の周縁部を密閉接続する
スペーサとからなりかつ内部が真空排気された外囲器
と、この外囲器内の基板上に配置された電界放出型電子
放出源と、この電界放出型電子放出源から離間して配置
された電子引き出し電極と、外囲器内のフロントガラス
面に配置された蛍光体膜とを備えた平面ディスプレイに
おいて、電界放出型電子放出源が、多数の貫通孔を有し
ナノチューブ状繊維の生成核となる板状金属部材と、こ
の金属部材の表面及び貫通孔壁に配置された多数のナノ
チューブ状繊維からなる被膜とから構成されていること
によって特徴づけられる。
ために、この発明は、少なくとも一部が透光性を有する
フロントガラスとこのフロントガラスに対向配置された
基板とフロントガラス及び基板の周縁部を密閉接続する
スペーサとからなりかつ内部が真空排気された外囲器
と、この外囲器内の基板上に配置された電界放出型電子
放出源と、この電界放出型電子放出源から離間して配置
された電子引き出し電極と、外囲器内のフロントガラス
面に配置された蛍光体膜とを備えた平面ディスプレイに
おいて、電界放出型電子放出源が、多数の貫通孔を有し
ナノチューブ状繊維の生成核となる板状金属部材と、こ
の金属部材の表面及び貫通孔壁に配置された多数のナノ
チューブ状繊維からなる被膜とから構成されていること
によって特徴づけられる。
【０００５】前述した平面ディスプレイの一構成例は、
帯状に形成された複数の電界放出型電子放出源が互いに
平行に配置され、帯状の電子引き出し電極が電界放出型
電子放出源の配置方向と直交する方向に複数配置され、
帯状に形成された複数の蛍光体膜が電子引き出し電極に
対応して配置されている。この場合の一構成例は、基板
上に互いに平行に垂設された複数の絶縁リブを備え、電
界放出型電子放出源は絶縁リブ間に配置され、電子引き
出し電極は電子通過孔を有し絶縁リブに支持されてい
る。また、電界放出型電子放出源は、フリットガラスを
含む接着剤で基板に固定されている。電界放出型電子放
出源の一構成例は、板状金属部材が鉄又は鉄を含む合金
から構成され、被膜が炭素からなるカールした状態の多
数のナノチューブ状繊維から構成されている。
帯状に形成された複数の電界放出型電子放出源が互いに
平行に配置され、帯状の電子引き出し電極が電界放出型
電子放出源の配置方向と直交する方向に複数配置され、
帯状に形成された複数の蛍光体膜が電子引き出し電極に
対応して配置されている。この場合の一構成例は、基板
上に互いに平行に垂設された複数の絶縁リブを備え、電
界放出型電子放出源は絶縁リブ間に配置され、電子引き
出し電極は電子通過孔を有し絶縁リブに支持されてい
る。また、電界放出型電子放出源は、フリットガラスを
含む接着剤で基板に固定されている。電界放出型電子放
出源の一構成例は、板状金属部材が鉄又は鉄を含む合金
から構成され、被膜が炭素からなるカールした状態の多
数のナノチューブ状繊維から構成されている。
【０００６】また、前述した平面ディスプレイの製造方
法において、電界放出型電子放出源を基板上に配置する
工程の一構成例は、ナノチューブ状繊維の生成核となる
金属板を加工して多数の貫通孔を有する複数の帯状金属
部材とこれら帯状金属部材の両端に配置され帯状金属部
材間を一定間隔に保持する保持部材とが一体に形成され
た金属基板を製造する工程と、金属基板の表面及び貫通
孔壁にナノチューブ状繊維からなる被膜を形成する工程
と、被膜が形成された金属基板の保持部材間に引張り力
を加えた状態で帯状金属部材を基板に接着する工程と、
帯状金属部材を基板に接着した後、保持部材を切り離す
工程とからなることによって特徴づけられる。
法において、電界放出型電子放出源を基板上に配置する
工程の一構成例は、ナノチューブ状繊維の生成核となる
金属板を加工して多数の貫通孔を有する複数の帯状金属
部材とこれら帯状金属部材の両端に配置され帯状金属部
材間を一定間隔に保持する保持部材とが一体に形成され
た金属基板を製造する工程と、金属基板の表面及び貫通
孔壁にナノチューブ状繊維からなる被膜を形成する工程
と、被膜が形成された金属基板の保持部材間に引張り力
を加えた状態で帯状金属部材を基板に接着する工程と、
帯状金属部材を基板に接着した後、保持部材を切り離す
工程とからなることによって特徴づけられる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下に図を用いてこの発明の実施
の形態を説明する。図１は、この実施の形態にかかる平
面ディスプレイを示しており、同図において（ａ）は画
素の構成を示す部分斜視断面図、（ｂ）は電子放出源の
詳細を示す拡大断面図である。この平面ディスプレイの
構成について説明すると、ガラス基板１０１上に互いに
平行に垂設された複数の基板側リブ１０４を備えてお
り、基板側リブ１０４で挟まれたガラス基板１０１上に
帯状に形成された電子放出源１１０が配置されている。
この電子放出源１１０は、低融点のフリットガラスを含
む絶縁性ペースト１０６でガラス基板１０１に固定され
ている。
の形態を説明する。図１は、この実施の形態にかかる平
面ディスプレイを示しており、同図において（ａ）は画
素の構成を示す部分斜視断面図、（ｂ）は電子放出源の
詳細を示す拡大断面図である。この平面ディスプレイの
構成について説明すると、ガラス基板１０１上に互いに
平行に垂設された複数の基板側リブ１０４を備えてお
り、基板側リブ１０４で挟まれたガラス基板１０１上に
帯状に形成された電子放出源１１０が配置されている。
この電子放出源１１０は、低融点のフリットガラスを含
む絶縁性ペースト１０６でガラス基板１０１に固定され
ている。
【０００８】また、ガラス基板１０１に対向して透明な
フロントガラス１０３が配置されており、フロントガラ
ス１０３のガラス基板１０１に対向する面には基板側リ
ブ１０４と直交するように所定間隔で複数の前面リブ１
０５が垂設されて基板側リブ１０４の頂部と接触してい
る。フロントガラス１０３内面の前面リブ１０５に挟ま
れた領域には蛍光体膜が配置されており、蛍光体膜の表
面には陽極となるメタルバック膜１３０が形成されてい
る。また、メタルバック膜１３０に対向して基板側リブ
１０４で支持された電子引き出し電極１２０が設けられ
ている。ガラス基板１０１とフロントガラス１０３は、
枠状のスペーサガラス（図示せず）を介して対向配置さ
れ、低融点のフリットガラスでそれぞれスペーサガラス
に接着されて外囲器を構成しており、外囲器内は１０-5
Ｐａ台の真空度に保持されている。
フロントガラス１０３が配置されており、フロントガラ
ス１０３のガラス基板１０１に対向する面には基板側リ
ブ１０４と直交するように所定間隔で複数の前面リブ１
０５が垂設されて基板側リブ１０４の頂部と接触してい
る。フロントガラス１０３内面の前面リブ１０５に挟ま
れた領域には蛍光体膜が配置されており、蛍光体膜の表
面には陽極となるメタルバック膜１３０が形成されてい
る。また、メタルバック膜１３０に対向して基板側リブ
１０４で支持された電子引き出し電極１２０が設けられ
ている。ガラス基板１０１とフロントガラス１０３は、
枠状のスペーサガラス（図示せず）を介して対向配置さ
れ、低融点のフリットガラスでそれぞれスペーサガラス
に接着されて外囲器を構成しており、外囲器内は１０-5
Ｐａ台の真空度に保持されている。
【０００９】ここで、外囲器を構成するガラス基板１０
１、フロントガラス１０３及びスペーサガラスは、低ア
ルカリソーダガラスを用いており、ガラス基板１０１と
フロントガラス１０３は厚さ１〜２ｍｍの板ガラスを使
用している。基板側リブ１０４は、低融点のフリットガ
ラスを含む絶縁ペーストを所定の高さになるまでガラス
基板１０１上に繰り返しスクリーン印刷した後、焼成し
て形成した絶縁体で構成されている。この場合、基板側
リブ１０４は、５０μｍの幅と電子放出源１１０から
０．３〜０．６ｍｍの高さとを有するように形成され、
電子放出源１１０の幅が０．３ｍｍとなるようにリブ間
隔が設定されている。なお、基板側リブ１０４は、これ
に限られるものではなく、基板側リブ１０４の幅は隣接
する電子放出源１１０間で絶縁破壊が起こらず、かつ大
気圧を支えられる程度であればよく、高さは電子放出源
１１０と電子引き出し電極１２０の間で放電が発生しな
い範囲で低くすることが望ましい。また、リブ間隔も必
要に応じて変更してもよい。
１、フロントガラス１０３及びスペーサガラスは、低ア
ルカリソーダガラスを用いており、ガラス基板１０１と
フロントガラス１０３は厚さ１〜２ｍｍの板ガラスを使
用している。基板側リブ１０４は、低融点のフリットガ
ラスを含む絶縁ペーストを所定の高さになるまでガラス
基板１０１上に繰り返しスクリーン印刷した後、焼成し
て形成した絶縁体で構成されている。この場合、基板側
リブ１０４は、５０μｍの幅と電子放出源１１０から
０．３〜０．６ｍｍの高さとを有するように形成され、
電子放出源１１０の幅が０．３ｍｍとなるようにリブ間
隔が設定されている。なお、基板側リブ１０４は、これ
に限られるものではなく、基板側リブ１０４の幅は隣接
する電子放出源１１０間で絶縁破壊が起こらず、かつ大
気圧を支えられる程度であればよく、高さは電子放出源
１１０と電子引き出し電極１２０の間で放電が発生しな
い範囲で低くすることが望ましい。また、リブ間隔も必
要に応じて変更してもよい。
【００１０】電子放出源１１０は、多数の貫通孔を有し
ナノチューブ状繊維の生成核となる板状金属部材１１１
と、この板状金属部材１１１の表面及び貫通孔壁に配置
された多数のナノチューブ状繊維からなる被膜１１２と
から構成されている。ここで、板状金属部材１１１は、
鉄又は鉄を含む合金からなる金属板であり、貫通孔がマ
トリクス状に設けられて格子状となっている。なお、貫
通孔の開口部の形状は、板状金属部材１１１上で被膜１
１２の分布が均一となるものであればどのような形状で
もよく、開口部の大きさが同一である必要はない。例え
ば、開口部の形状が三角形、四角形、六角形などの多角
形やこれら多角形の角を丸めたもの、又は円形やだ円形
など何でもよい。また、金属部分の隣り合う貫通孔の間
の断面形状は、図１（ｂ）に示すような方形に限られる
ものではなく、例えば、円形やだ円形などの曲線で構成
されたものや、三角形、四角形、六角形などの多角形や
これら多角形の角を丸めたものなど何でもよい。
ナノチューブ状繊維の生成核となる板状金属部材１１１
と、この板状金属部材１１１の表面及び貫通孔壁に配置
された多数のナノチューブ状繊維からなる被膜１１２と
から構成されている。ここで、板状金属部材１１１は、
鉄又は鉄を含む合金からなる金属板であり、貫通孔がマ
トリクス状に設けられて格子状となっている。なお、貫
通孔の開口部の形状は、板状金属部材１１１上で被膜１
１２の分布が均一となるものであればどのような形状で
もよく、開口部の大きさが同一である必要はない。例え
ば、開口部の形状が三角形、四角形、六角形などの多角
形やこれら多角形の角を丸めたもの、又は円形やだ円形
など何でもよい。また、金属部分の隣り合う貫通孔の間
の断面形状は、図１（ｂ）に示すような方形に限られる
ものではなく、例えば、円形やだ円形などの曲線で構成
されたものや、三角形、四角形、六角形などの多角形や
これら多角形の角を丸めたものなど何でもよい。
【００１１】被膜１１２を構成するナノチューブ状繊維
は、太さが１０ｎｍ以上１μｍ未満程度で、長さが１μ
ｍ以上１００μｍ未満程度の炭素で構成された物質であ
り、グラファイトの単層が円筒状に閉じ、かつ円筒の先
端部に五員環が形成された単層構造のカーボンナノチュ
ーブや、複数のグラファイトの層が入れ子構造的に積層
し、それぞれのグラファイト層が円筒状に閉じた同軸多
層構造のカーボンナノチューブであってもよいし、構造
が乱れて欠陥をもつ中空のグラファイトチューブやチュ
ーブ内に炭素が詰まったグラファイトチューブでもよ
い。また、これらが混在したものであってもよい。これ
らのナノチューブ状繊維は、一端が板状金属部材１１１
の表面や貫通孔壁に結合するとともに、カールしたり互
いに絡み合ったりして格子を構成する金属部分を覆い、
綿状の被膜１１２を形成している。この場合、被膜１１
２は、厚さ０．０５〜０．２０ｍｍの板状金属部材１１
１を１０〜３０μｍの厚さで覆い、滑らかな曲面を形成
している。
は、太さが１０ｎｍ以上１μｍ未満程度で、長さが１μ
ｍ以上１００μｍ未満程度の炭素で構成された物質であ
り、グラファイトの単層が円筒状に閉じ、かつ円筒の先
端部に五員環が形成された単層構造のカーボンナノチュ
ーブや、複数のグラファイトの層が入れ子構造的に積層
し、それぞれのグラファイト層が円筒状に閉じた同軸多
層構造のカーボンナノチューブであってもよいし、構造
が乱れて欠陥をもつ中空のグラファイトチューブやチュ
ーブ内に炭素が詰まったグラファイトチューブでもよ
い。また、これらが混在したものであってもよい。これ
らのナノチューブ状繊維は、一端が板状金属部材１１１
の表面や貫通孔壁に結合するとともに、カールしたり互
いに絡み合ったりして格子を構成する金属部分を覆い、
綿状の被膜１１２を形成している。この場合、被膜１１
２は、厚さ０．０５〜０．２０ｍｍの板状金属部材１１
１を１０〜３０μｍの厚さで覆い、滑らかな曲面を形成
している。
【００１２】前面リブ１０５は、低融点のフリットガラ
スを含む絶縁ペーストを所定の高さになるまでフロント
ガラス１０３内面の所定位置に繰り返しスクリーン印刷
した後、焼成して形成した絶縁体で構成されている。こ
の場合、前面リブ１０５は、５０μｍの幅と、電子引き
出し電極１２０とメタルバック膜１３０の間が２．０〜
４．０ｍｍとなる高さとを有するように形成され、前面
リブ１０５に挟まれた領域に配置される蛍光体膜の幅が
０．３ｍｍとなるようにリブ間隔が設定されている。な
お、前面リブ１０５は、これに限られるものではなく、
前面リブ１０５の幅は隣接するメタルバック膜１３０間
や電子引き出し電極１２０間で絶縁破壊が起こらず、か
つ大気圧を支えられる程度であればよく、高さはメタル
バック膜１３０に印加する電圧に合わせて変更してもよ
い。また、リブ間隔も必要に応じて変更してもよい。
スを含む絶縁ペーストを所定の高さになるまでフロント
ガラス１０３内面の所定位置に繰り返しスクリーン印刷
した後、焼成して形成した絶縁体で構成されている。こ
の場合、前面リブ１０５は、５０μｍの幅と、電子引き
出し電極１２０とメタルバック膜１３０の間が２．０〜
４．０ｍｍとなる高さとを有するように形成され、前面
リブ１０５に挟まれた領域に配置される蛍光体膜の幅が
０．３ｍｍとなるようにリブ間隔が設定されている。な
お、前面リブ１０５は、これに限られるものではなく、
前面リブ１０５の幅は隣接するメタルバック膜１３０間
や電子引き出し電極１２０間で絶縁破壊が起こらず、か
つ大気圧を支えられる程度であればよく、高さはメタル
バック膜１３０に印加する電圧に合わせて変更してもよ
い。また、リブ間隔も必要に応じて変更してもよい。
【００１３】蛍光体膜は、所定の発光色を有する蛍光体
で構成されており、フロントガラス１０３の内面に各色
の蛍光体ペーストをストライプ状にスクリーン印刷した
後、焼成して厚さ１０〜１００μｍ、幅０．３ｍｍの蛍
光体膜に形成したものである。この場合、蛍光体膜に
は、赤（Ｒ）に用いる赤色発光蛍光体を用いた赤色発光
蛍光体膜１４０Ｒ、緑（Ｇ）に用いる緑色発光蛍光体を
用いた緑色発光蛍光体膜１４０Ｇ及び青（Ｂ）に用いる
青色発光蛍光体を用いた青色発光蛍光体膜１４０Ｂがあ
り、これらの蛍光体膜は前面リブ１０５に挟まれて、赤
色発光蛍光体膜１４０Ｒ、緑色発光蛍光体膜１４０Ｇ、
青色発光蛍光体膜１４０Ｂの順番で所定数が配置されて
いる。
で構成されており、フロントガラス１０３の内面に各色
の蛍光体ペーストをストライプ状にスクリーン印刷した
後、焼成して厚さ１０〜１００μｍ、幅０．３ｍｍの蛍
光体膜に形成したものである。この場合、蛍光体膜に
は、赤（Ｒ）に用いる赤色発光蛍光体を用いた赤色発光
蛍光体膜１４０Ｒ、緑（Ｇ）に用いる緑色発光蛍光体を
用いた緑色発光蛍光体膜１４０Ｇ及び青（Ｂ）に用いる
青色発光蛍光体を用いた青色発光蛍光体膜１４０Ｂがあ
り、これらの蛍光体膜は前面リブ１０５に挟まれて、赤
色発光蛍光体膜１４０Ｒ、緑色発光蛍光体膜１４０Ｇ、
青色発光蛍光体膜１４０Ｂの順番で所定数が配置されて
いる。
【００１４】赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）に用いる各
蛍光体膜１４０Ｒ，１４０Ｇ，１４０Ｂにはブラウン管
等で一般的に使用されている、４〜１０ＫＶの高電圧で
加速した電子を衝突させることで発光する周知の酸化物
蛍光体や硫化物蛍光体を用いることができる。ここで
は、カラー表示用に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の三
原色を発光するため３種類の蛍光体膜を用いたが、これ
に限られるものではなく、モノクロ表示用に１種類の蛍
光体膜を用いるようにしてもよい。メタルバック膜１３
０は、厚さ０．１μｍ程度のアルミニウム薄膜から構成
されており、周知の蒸着法を用いて蛍光体膜の表面に形
成されている。
蛍光体膜１４０Ｒ，１４０Ｇ，１４０Ｂにはブラウン管
等で一般的に使用されている、４〜１０ＫＶの高電圧で
加速した電子を衝突させることで発光する周知の酸化物
蛍光体や硫化物蛍光体を用いることができる。ここで
は、カラー表示用に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の三
原色を発光するため３種類の蛍光体膜を用いたが、これ
に限られるものではなく、モノクロ表示用に１種類の蛍
光体膜を用いるようにしてもよい。メタルバック膜１３
０は、厚さ０．１μｍ程度のアルミニウム薄膜から構成
されており、周知の蒸着法を用いて蛍光体膜の表面に形
成されている。
【００１５】電子引き出し電極１２０は、厚さ５０μｍ
のステンレス板又は４２−６合金で構成されており、エ
ッチングにより矩形状の電子通過孔１２１を有するはし
ご状構造を形成している。この場合、各電子引き出し電
極１２０は、幅が前面リブ１０５間に収まり、基板側リ
ブ１０４上と電子放出源１１０の中心線上に横木部分が
配置されるように設定している。なお、電子通過孔１２
１は矩形状に限られるものではなく、メッシュ構造や口
径２０〜１００μｍの多数の円形開口部を設けるなど他
の形状であってもよい。
のステンレス板又は４２−６合金で構成されており、エ
ッチングにより矩形状の電子通過孔１２１を有するはし
ご状構造を形成している。この場合、各電子引き出し電
極１２０は、幅が前面リブ１０５間に収まり、基板側リ
ブ１０４上と電子放出源１１０の中心線上に横木部分が
配置されるように設定している。なお、電子通過孔１２
１は矩形状に限られるものではなく、メッシュ構造や口
径２０〜１００μｍの多数の円形開口部を設けるなど他
の形状であってもよい。
【００１６】次に、電子放出源１１０をガラス基板１０
１に接着する工程を中心に本実施の形態に係る平面ディ
スプレイの製造方法について説明する。［電子放出源の
形成］最初に、図２に示すような、多数の貫通孔１１７
を有する複数の帯状金属部材１１１とこれら帯状金属部
材１１１の両端に配置され帯状金属部材１１１間を一定
間隔に保持する保持部材１１５とが一体に形成された金
属基板１１３を製作する。ここで、２つの保持部材１１
５には、対向する位置に２組の取り付け用の貫通孔１１
６が設けられている。帯状金属部材１１１は、貫通孔１
１７がマトリクス状に設けられて格子状となっている。
なお、図２において（ａ）は金属基板１１３の構成を示
す平面図であり、（ｂ）は（ａ）の部分拡大図である。
１に接着する工程を中心に本実施の形態に係る平面ディ
スプレイの製造方法について説明する。［電子放出源の
形成］最初に、図２に示すような、多数の貫通孔１１７
を有する複数の帯状金属部材１１１とこれら帯状金属部
材１１１の両端に配置され帯状金属部材１１１間を一定
間隔に保持する保持部材１１５とが一体に形成された金
属基板１１３を製作する。ここで、２つの保持部材１１
５には、対向する位置に２組の取り付け用の貫通孔１１
６が設けられている。帯状金属部材１１１は、貫通孔１
１７がマトリクス状に設けられて格子状となっている。
なお、図２において（ａ）は金属基板１１３の構成を示
す平面図であり、（ｂ）は（ａ）の部分拡大図である。
【００１７】まず、鉄又は鉄を含む合金からなる金属板
に感光性レジスト膜を形成した後、多数の貫通孔１１７
を有する複数の帯状金属部材１１１と保持部材１１５と
を一体に形成するためのパターンを有するマスクを置
き、光又は紫外線で露光し、現像して所望のパターンを
有するレジスト膜を形成する。次に、この金属板をエッ
チング液に浸けて不要部分を除去した後、レジスト膜の
除去と洗浄を行い、図２に示した金属基板１１３を得
る。
に感光性レジスト膜を形成した後、多数の貫通孔１１７
を有する複数の帯状金属部材１１１と保持部材１１５と
を一体に形成するためのパターンを有するマスクを置
き、光又は紫外線で露光し、現像して所望のパターンを
有するレジスト膜を形成する。次に、この金属板をエッ
チング液に浸けて不要部分を除去した後、レジスト膜の
除去と洗浄を行い、図２に示した金属基板１１３を得
る。
【００１８】この場合、貫通孔１１７の開口部の形状
は、マスクのパターンにより任意の形状とすることがで
きる。また、金属板の一方の面のレジスト膜にパターン
を形成し、他方の面のレジスト膜をベタのままにする
と、格子を構成する金属部分の隣り合う貫通孔の間の断
面形状が台形又は三角形となり、両面のレジスト膜にパ
ターンを形成すると六角形又は菱形となるなど、製造方
法や製造条件によって断面形状を変化させることができ
る。また、エッチング後に電解研磨を行うことにより、
断面形状を曲線状とすることができる。
は、マスクのパターンにより任意の形状とすることがで
きる。また、金属板の一方の面のレジスト膜にパターン
を形成し、他方の面のレジスト膜をベタのままにする
と、格子を構成する金属部分の隣り合う貫通孔の間の断
面形状が台形又は三角形となり、両面のレジスト膜にパ
ターンを形成すると六角形又は菱形となるなど、製造方
法や製造条件によって断面形状を変化させることができ
る。また、エッチング後に電解研磨を行うことにより、
断面形状を曲線状とすることができる。
【００１９】ここで、金属基板１１３に鉄又は鉄を含む
合金を用いるのは、鉄が炭素からなるナノチューブ状繊
維の生成核となるためである。金属基板１１３に鉄を用
いる場合は工業用純鉄（９９．９６Ｆｅ）を使用する
が、その純度は特に規定の純度が必要なわけではなく、
例えば、純度９７％や９９．９％などでもよい。また、
鉄を含む合金としては、例えば、４２合金や４２−６合
金などが使用できるが、これに限られるものではない。
この実施の形態では生産コストや入手の容易さを考慮し
て、厚さ０．０５〜０．２０ｍｍの４２−６合金の薄板
を用いた。
合金を用いるのは、鉄が炭素からなるナノチューブ状繊
維の生成核となるためである。金属基板１１３に鉄を用
いる場合は工業用純鉄（９９．９６Ｆｅ）を使用する
が、その純度は特に規定の純度が必要なわけではなく、
例えば、純度９７％や９９．９％などでもよい。また、
鉄を含む合金としては、例えば、４２合金や４２−６合
金などが使用できるが、これに限られるものではない。
この実施の形態では生産コストや入手の容易さを考慮し
て、厚さ０．０５〜０．２０ｍｍの４２−６合金の薄板
を用いた。
【００２０】次に、金属基板１１３に炭素からなるナノ
チューブ状繊維の被膜１１２を形成する。この実施の形
態では、反応容器に金属基板１１３を入れて真空に排気
した後、メタンガスと水素ガスあるいは一酸化炭素ガス
と水素ガスを所定の比率で導入して１気圧に保ち、赤外
線ランプで金属基板１１３を所定時間加熱して金属基板
１１３の表面や格子を構成する貫通孔壁に炭素からなる
ナノチューブ状繊維の被膜１１２を成長させる熱ＣＶＤ
法を用いた。熱ＣＶＤ法を用いると、被膜１１２を構成
する炭素からなるナノチューブ状繊維をカールした状態
で形成することができる。
チューブ状繊維の被膜１１２を形成する。この実施の形
態では、反応容器に金属基板１１３を入れて真空に排気
した後、メタンガスと水素ガスあるいは一酸化炭素ガス
と水素ガスを所定の比率で導入して１気圧に保ち、赤外
線ランプで金属基板１１３を所定時間加熱して金属基板
１１３の表面や格子を構成する貫通孔壁に炭素からなる
ナノチューブ状繊維の被膜１１２を成長させる熱ＣＶＤ
法を用いた。熱ＣＶＤ法を用いると、被膜１１２を構成
する炭素からなるナノチューブ状繊維をカールした状態
で形成することができる。
【００２１】［電子放出源の取り付け］次に、外囲器を
構成するガラス基板１０１に電子放出源１１０を接着す
るための絶縁性ペースト１０６を塗布する。この実施の
形態では、ガラス基板１０１上の電子放出源１１０を配
置する領域に低融点のフリットガラスを含む絶縁性ペー
スト１０６をスクリーン印刷する。さらに、ガラス基板
１０１上の基板側リブ１０４を配置する領域に低融点の
フリットガラスを含む絶縁性ペーストを所定の高さにな
るまで繰り返しスクリーン印刷する。次に、ガラス基板
１０１を空気中で４００℃に加熱して仮焼成を行い、ペ
ーストに含まれるバインダーを除去する。
構成するガラス基板１０１に電子放出源１１０を接着す
るための絶縁性ペースト１０６を塗布する。この実施の
形態では、ガラス基板１０１上の電子放出源１１０を配
置する領域に低融点のフリットガラスを含む絶縁性ペー
スト１０６をスクリーン印刷する。さらに、ガラス基板
１０１上の基板側リブ１０４を配置する領域に低融点の
フリットガラスを含む絶縁性ペーストを所定の高さにな
るまで繰り返しスクリーン印刷する。次に、ガラス基板
１０１を空気中で４００℃に加熱して仮焼成を行い、ペ
ーストに含まれるバインダーを除去する。
【００２２】次に、図３で示すように、金属基板取付治
具１５０を用いて、仮焼成を行ったガラス基板１０１上
に被膜１１２が形成された金属基板１１３を載置する。
図３において（ａ）は金属基板取付治具１５０に取り付
けたガラス基板１０１と金属基板１１３を示す平面図で
あり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。金属基
板取付治具１５０は、ガラス基板１０１の厚さとほぼ等
しい深さでガラス基板１０１が収まる溝１５１を備えて
おり、溝１５１の両脇に金属基板１１３の保持部材１１
５に設けられた２組の取り付け用の貫通孔１１６を通す
２組の突起１５２が設けられたステンレス製治具であ
る。
具１５０を用いて、仮焼成を行ったガラス基板１０１上
に被膜１１２が形成された金属基板１１３を載置する。
図３において（ａ）は金属基板取付治具１５０に取り付
けたガラス基板１０１と金属基板１１３を示す平面図で
あり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。金属基
板取付治具１５０は、ガラス基板１０１の厚さとほぼ等
しい深さでガラス基板１０１が収まる溝１５１を備えて
おり、溝１５１の両脇に金属基板１１３の保持部材１１
５に設けられた２組の取り付け用の貫通孔１１６を通す
２組の突起１５２が設けられたステンレス製治具であ
る。
【００２３】ここでは、図３で示すように、仮焼成を行
ったガラス基板１０１を金属基板取付治具１５０の溝１
５１に配置した後、保持部材１１５に設けられた２組の
取り付け用の貫通孔１１６を金属基板取付治具１５０の
２組の突起１５２に通して被膜１１２が形成された金属
基板１１３をガラス基板１０１上に載置し、溝１５１の
両脇に取り付けた１組の押さえ治具１５３により保持部
材１１５を押しつけて金属基板１１３を固定する。な
お、ガラス基板１０１と各突起１５２は、金属基板１１
３の保持部材１１５に設けられた２組の取り付け用の貫
通孔１１６を各突起１５２に通したときに、電子放出源
１１０となる被膜１１２の形成された金属部材１１１
が、電子放出源１１０を接着するための絶縁性ペースト
１０６が印刷された領域と一致するように配置すること
はいうまでもない。
ったガラス基板１０１を金属基板取付治具１５０の溝１
５１に配置した後、保持部材１１５に設けられた２組の
取り付け用の貫通孔１１６を金属基板取付治具１５０の
２組の突起１５２に通して被膜１１２が形成された金属
基板１１３をガラス基板１０１上に載置し、溝１５１の
両脇に取り付けた１組の押さえ治具１５３により保持部
材１１５を押しつけて金属基板１１３を固定する。な
お、ガラス基板１０１と各突起１５２は、金属基板１１
３の保持部材１１５に設けられた２組の取り付け用の貫
通孔１１６を各突起１５２に通したときに、電子放出源
１１０となる被膜１１２の形成された金属部材１１１
が、電子放出源１１０を接着するための絶縁性ペースト
１０６が印刷された領域と一致するように配置すること
はいうまでもない。
【００２４】次に、ガラス基板１０１と金属基板１１３
を取り付けた金属基板取付治具１５０を窒素雰囲気中又
は酸素分圧を下げた空気雰囲気中で４００〜６００℃に
加熱する。この際、絶縁性ペースト１０６中に含まれた
フリットガラスが溶けて電子放出源１１０となる被膜１
１２の形成された金属部材１１１が絶縁性ペースト１０
６中に若干埋まって固定される。なお、絶縁性ペースト
１０６の厚さが薄い場合には、金属部材１１１に形成さ
れた被膜１１２の接着面側をあらかじめ除去しておいて
もよい。金属基板取付治具１５０を構成するステンレス
は、ガラス基板１０１を構成する低アルカリソーダガラ
スや金属基板１１３を構成する４２−６合金よりも熱膨
張率が大きいため４００〜６００℃に加熱すると、金属
基板取付治具１５０が金属基板１１３よりも大きく膨張
するので、金属基板１１３に引張り力が掛かった状態で
接着される。このため、常温ではガラス基板１０１に接
着された電子放出源１１０となる被膜１１２の形成され
た金属部材１１１に収縮力が生じることになる。次に、
ガラス基板１０１を金属基板取付治具１５０から取り外
した後、ガラス基板１０１に接着された金属基板１１３
から保持部材１１５を切り離す。このようにして、収縮
力が生じる状態で接着されている電子放出源１１０を備
えたガラス基板１０１が得られる。
を取り付けた金属基板取付治具１５０を窒素雰囲気中又
は酸素分圧を下げた空気雰囲気中で４００〜６００℃に
加熱する。この際、絶縁性ペースト１０６中に含まれた
フリットガラスが溶けて電子放出源１１０となる被膜１
１２の形成された金属部材１１１が絶縁性ペースト１０
６中に若干埋まって固定される。なお、絶縁性ペースト
１０６の厚さが薄い場合には、金属部材１１１に形成さ
れた被膜１１２の接着面側をあらかじめ除去しておいて
もよい。金属基板取付治具１５０を構成するステンレス
は、ガラス基板１０１を構成する低アルカリソーダガラ
スや金属基板１１３を構成する４２−６合金よりも熱膨
張率が大きいため４００〜６００℃に加熱すると、金属
基板取付治具１５０が金属基板１１３よりも大きく膨張
するので、金属基板１１３に引張り力が掛かった状態で
接着される。このため、常温ではガラス基板１０１に接
着された電子放出源１１０となる被膜１１２の形成され
た金属部材１１１に収縮力が生じることになる。次に、
ガラス基板１０１を金属基板取付治具１５０から取り外
した後、ガラス基板１０１に接着された金属基板１１３
から保持部材１１５を切り離す。このようにして、収縮
力が生じる状態で接着されている電子放出源１１０を備
えたガラス基板１０１が得られる。
【００２５】この実施の形態では、ガラス基板１０１に
印刷で形成する基板側リブ１０４を設けたので、金属部
材１１１を接着する前のガラス基板１０１に基板側リブ
１０４を印刷したが、基板側リブ１０４を用いない場合
には、電子放出源１１０を接着するための絶縁性ペース
ト１０６のみをガラス基板１０１に印刷するようにする
ことはいうまでもない。また、接着剤として低融点のフ
リットガラスを含む絶縁性ペースト１０６を用いたが、
これに限られるものではなく、フリットガラスを含む接
着剤であれば、銀ペーストなどの導電性ペーストであっ
てもよい。また、電子放出源１１０のガラス基板１０１
への固定は、電子放出源１１０全体を接着剤で固定する
方法に限られるものではなく、電子放出源１１０の両端
のみを接着剤で固定するようにしてもよい。
印刷で形成する基板側リブ１０４を設けたので、金属部
材１１１を接着する前のガラス基板１０１に基板側リブ
１０４を印刷したが、基板側リブ１０４を用いない場合
には、電子放出源１１０を接着するための絶縁性ペース
ト１０６のみをガラス基板１０１に印刷するようにする
ことはいうまでもない。また、接着剤として低融点のフ
リットガラスを含む絶縁性ペースト１０６を用いたが、
これに限られるものではなく、フリットガラスを含む接
着剤であれば、銀ペーストなどの導電性ペーストであっ
てもよい。また、電子放出源１１０のガラス基板１０１
への固定は、電子放出源１１０全体を接着剤で固定する
方法に限られるものではなく、電子放出源１１０の両端
のみを接着剤で固定するようにしてもよい。
【００２６】次に、この平面ディスプレイの動作につい
て説明する。この平面ディスプレイは、電子引き出し電
極１２０と電子放出源１１０の間に、電子引き出し電極
１２０側が正の電位となるように電位差を設けることに
より、電子引き出し電極１２０と電子放出源１１０が交
差した部分にある電子放出源１１０の被膜１１２を構成
するナノチューブ状繊維に電界が均一に印加されて、ナ
ノチューブ状繊維から電子が引き出され、電子引き出し
電極１２０の矩形状の電子通過部１２１から放出され
る。このため、メタルバック膜１３０に正電圧（加速電
圧）が印加されていると、電子通過部１２１から放出さ
れた電子がメタルバック膜１３０に向かって加速され、
さらにメタルバック膜１３０を透過して蛍光体膜に衝突
して蛍光体膜を発光させる。
て説明する。この平面ディスプレイは、電子引き出し電
極１２０と電子放出源１１０の間に、電子引き出し電極
１２０側が正の電位となるように電位差を設けることに
より、電子引き出し電極１２０と電子放出源１１０が交
差した部分にある電子放出源１１０の被膜１１２を構成
するナノチューブ状繊維に電界が均一に印加されて、ナ
ノチューブ状繊維から電子が引き出され、電子引き出し
電極１２０の矩形状の電子通過部１２１から放出され
る。このため、メタルバック膜１３０に正電圧（加速電
圧）が印加されていると、電子通過部１２１から放出さ
れた電子がメタルバック膜１３０に向かって加速され、
さらにメタルバック膜１３０を透過して蛍光体膜に衝突
して蛍光体膜を発光させる。
【００２７】よって、例えば、電子引き出し電極１２０
を行方向に所定数設け、電子放出源１１０を列方向に所
定数設けた構成とした場合において、メタルバック膜１
３０に正電圧（加速電圧）を印加した状態で、アクティ
ブ行の電子引き出し電極１２０に所定の正電圧を印加し
ておき、アクティブ行の発光させる画素に対応する列の
電子放出源１１０に対して所定の負電圧を印加するとい
う動作を１行目から所定行目の電子引き出し電極１２０
まで順次行うことにより、ドットマトリクス表示をさせ
ることができる。ここで、負電圧を印加しない電子放出
源１１０とアクティブ行以外の電子引き出し電極１２０
は０Ｖにしておく。
を行方向に所定数設け、電子放出源１１０を列方向に所
定数設けた構成とした場合において、メタルバック膜１
３０に正電圧（加速電圧）を印加した状態で、アクティ
ブ行の電子引き出し電極１２０に所定の正電圧を印加し
ておき、アクティブ行の発光させる画素に対応する列の
電子放出源１１０に対して所定の負電圧を印加するとい
う動作を１行目から所定行目の電子引き出し電極１２０
まで順次行うことにより、ドットマトリクス表示をさせ
ることができる。ここで、負電圧を印加しない電子放出
源１１０とアクティブ行以外の電子引き出し電極１２０
は０Ｖにしておく。
【００２８】この実施の形態の平面ディスプレイは、電
子放出源となるナノチューブ状繊維が金属部材１１１の
表面及び貫通孔壁を覆って滑らかな表面の被膜１１２を
形成しているので、電界が表面に均一に印加されるた
め、電界放出電子が場所によらず同程度に放出される。
このため、均一な電界電子放出が得られるので、画素に
よらず一様な輝度が得られるという効果を有する。ま
た、電子放出源１１０に常時収縮力が作用しているた
め、熱膨張による電子放出源１１０の変形がなく、電子
放出源１１０と電子引き出し電極１２０の間隔の変動を
抑制することができる。このため、輝度の変動を防ぎ、
一様な輝度が得られる効果を有する。さらに、電子放出
源１１０がその全長に渡ってガラス基板１０１に接着さ
れているので、駆動時に生じる電子放出源１１０の振動
が抑止され、雑音の発生を防止する効果が得られる。
子放出源となるナノチューブ状繊維が金属部材１１１の
表面及び貫通孔壁を覆って滑らかな表面の被膜１１２を
形成しているので、電界が表面に均一に印加されるた
め、電界放出電子が場所によらず同程度に放出される。
このため、均一な電界電子放出が得られるので、画素に
よらず一様な輝度が得られるという効果を有する。ま
た、電子放出源１１０に常時収縮力が作用しているた
め、熱膨張による電子放出源１１０の変形がなく、電子
放出源１１０と電子引き出し電極１２０の間隔の変動を
抑制することができる。このため、輝度の変動を防ぎ、
一様な輝度が得られる効果を有する。さらに、電子放出
源１１０がその全長に渡ってガラス基板１０１に接着さ
れているので、駆動時に生じる電子放出源１１０の振動
が抑止され、雑音の発生を防止する効果が得られる。
【００２９】この発明の平面ディスプレイは、前述した
実施の形態に限られるものではなく、多数の貫通孔を有
しナノチューブ状繊維の生成核となる板状金属部材と、
この金属部材の表面及び貫通孔壁に配置された多数のナ
ノチューブ状繊維からなる被膜とを備えた電界放出型電
子放出源を基板に接着して用いるものであれば、何でも
よい。例えば、基板側リブや前面リブにガラスやセラミ
ックのスペーサーを用いたもの、基板側リブと前面リブ
がなく２つのスペーサガラスを重ねてスペーサガラス間
に電子引き出し電極を挟んで固定したもの、基板側リブ
と前面リブがなくメタルバック膜が電子引き出し電極を
兼ねているものなど、様々な変形が可能である。
実施の形態に限られるものではなく、多数の貫通孔を有
しナノチューブ状繊維の生成核となる板状金属部材と、
この金属部材の表面及び貫通孔壁に配置された多数のナ
ノチューブ状繊維からなる被膜とを備えた電界放出型電
子放出源を基板に接着して用いるものであれば、何でも
よい。例えば、基板側リブや前面リブにガラスやセラミ
ックのスペーサーを用いたもの、基板側リブと前面リブ
がなく２つのスペーサガラスを重ねてスペーサガラス間
に電子引き出し電極を挟んで固定したもの、基板側リブ
と前面リブがなくメタルバック膜が電子引き出し電極を
兼ねているものなど、様々な変形が可能である。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、この発明は、少な
くとも一部が透光性を有するフロントガラスとこのフロ
ントガラスに対向配置された基板とフロントガラス及び
基板の周縁部を密閉接続するスペーサとからなりかつ内
部が真空排気された外囲器と、この外囲器内の基板上に
配置された電界放出型電子放出源と、この電界放出型電
子放出源から離間して配置された電子引き出し電極と、
外囲器内のフロントガラス面に配置された蛍光体膜とを
備えた平面ディスプレイにおいて、電界放出型電子放出
源が、多数の貫通孔を有しナノチューブ状繊維の生成核
となる板状金属部材と、この金属部材の表面及び貫通孔
壁に配置された多数のナノチューブ状繊維からなる被膜
とから構成されているので、電界が被膜表面に均一に印
加されるため、電界放出電子が場所によらず同程度に放
出される。このため、輝度むらのない一様な輝度が得ら
れるという効果を有する。
くとも一部が透光性を有するフロントガラスとこのフロ
ントガラスに対向配置された基板とフロントガラス及び
基板の周縁部を密閉接続するスペーサとからなりかつ内
部が真空排気された外囲器と、この外囲器内の基板上に
配置された電界放出型電子放出源と、この電界放出型電
子放出源から離間して配置された電子引き出し電極と、
外囲器内のフロントガラス面に配置された蛍光体膜とを
備えた平面ディスプレイにおいて、電界放出型電子放出
源が、多数の貫通孔を有しナノチューブ状繊維の生成核
となる板状金属部材と、この金属部材の表面及び貫通孔
壁に配置された多数のナノチューブ状繊維からなる被膜
とから構成されているので、電界が被膜表面に均一に印
加されるため、電界放出電子が場所によらず同程度に放
出される。このため、輝度むらのない一様な輝度が得ら
れるという効果を有する。
【００３１】また、この発明にかかる平面ディスプレイ
の製造方法は、電子放出源を構成する帯状金属部材を引
張り力が掛かった状態で基板に接着するので、製造され
た平面ディスプレイは熱膨張による電子放出源の変形が
なく、電子放出源と電子引き出し電極の間隔の変動を抑
制することができる。このため、輝度の変動を防ぐ効果
が得られる。
の製造方法は、電子放出源を構成する帯状金属部材を引
張り力が掛かった状態で基板に接着するので、製造され
た平面ディスプレイは熱膨張による電子放出源の変形が
なく、電子放出源と電子引き出し電極の間隔の変動を抑
制することができる。このため、輝度の変動を防ぐ効果
が得られる。
【図１】 この発明の平面ディスプレイの実施の形態を
示す構成図である。
示す構成図である。
【図２】 金属基板の構成を示す平面図である。
【図３】 金属基板固定治具に取り付けたガラス基板と
金属基板を示す図である。
金属基板を示す図である。
１０１…ガラス基板、１０３…フロントガラス、１０４
…基板側リブ、１０５…前面リブ、１０６…絶縁性ペー
スト、１１０…電子放出源、１１１…金属部材、１１２
…被膜、１１３…金属基板、１１５…保持部材、１１
６，１１７…貫通孔、１２０…電子引き出し電極、１２
１…電子通過孔、１３０…メタルバック膜、１４０Ｂ…
青色発光蛍光体膜、１４０Ｇ…緑色発光蛍光体膜、１４
０Ｒ…赤色発光蛍光体膜、１５０…金属基板固定治具、
１５１…溝、１５２…突起、１５３…押さえ治具。
…基板側リブ、１０５…前面リブ、１０６…絶縁性ペー
スト、１１０…電子放出源、１１１…金属部材、１１２
…被膜、１１３…金属基板、１１５…保持部材、１１
６，１１７…貫通孔、１２０…電子引き出し電極、１２
１…電子通過孔、１３０…メタルバック膜、１４０Ｂ…
青色発光蛍光体膜、１４０Ｇ…緑色発光蛍光体膜、１４
０Ｒ…赤色発光蛍光体膜、１５０…金属基板固定治具、
１５１…溝、１５２…突起、１５３…押さえ治具。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長廻 武志 三重県伊勢市上野町字和田700番地 伊勢 電子工業株式会社内 Ｆターム(参考） 5C031 DD17 DD19 5C036 EE01 EE02 EE14 EF01 EF06 EF09 EG01 EG12 EG15 EH06 EH08 EH11
Claims (6)
- 【請求項１】 少なくとも一部が透光性を有するフロン
トガラスとこのフロントガラスに対向配置された基板と
前記フロントガラス及び前記基板の周縁部を密閉接続す
るスペーサとからなりかつ内部が真空排気された外囲器
と、この外囲器内の前記基板上に配置された電界放出型
電子放出源と、この電界放出型電子放出源から離間して
配置された電子引き出し電極と、前記外囲器内の前記フ
ロントガラス面に配置された蛍光体膜とを備えた平面デ
ィスプレイにおいて、 前記電界放出型電子放出源は、多数の貫通孔を有しナノ
チューブ状繊維の生成核となる板状金属部材と、この金
属部材の表面及び貫通孔壁に配置された多数のナノチュ
ーブ状繊維からなる被膜とから構成されていることを特
徴とする平面ディスプレイ。 - 【請求項２】 帯状に形成された複数の前記電界放出型
電子放出源が互いに平行に配置され、帯状の前記電子引
き出し電極が前記電界放出型電子放出源の配置方向と直
交する方向に複数配置され、帯状に形成された複数の前
記蛍光体膜が前記電子引き出し電極に対応して配置され
ていることを特徴とする請求項１記載の平面ディスプレ
イ。 - 【請求項３】 前記基板上に互いに平行に垂設された複
数の支持リブを備え、前記電界放出型電子放出源は前記
支持リブ間に配置され、前記電子引き出し電極は電子通
過孔を有し前記支持リブに支持されていることを特徴と
する請求項２記載の平面ディスプレイ。 - 【請求項４】 前記電界放出型電子放出源は、フリット
ガラスを含む接着剤で前記基板に固定されていることを
特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の平
面ディスプレイ。 - 【請求項５】 前記電界放出型電子放出源は、 前記板状金属部材が鉄又は鉄を含む合金から構成され、 前記被膜が炭素からなるカールした状態の多数の前記ナ
ノチューブ状繊維から構成されていることを特徴とする
請求項１から請求項４のいずれかに記載の平面ディスプ
レイ。 - 【請求項６】 少なくとも一部が透光性を有するフロン
トガラスとこのフロントガラスに対向配置された基板と
前記フロントガラス及び前記基板の周縁部を密閉接続す
るスペーサとからなりかつ内部が真空排気された外囲器
と、この外囲器内の前記基板上に配置された電界放出型
電子放出源と、この電界放出型電子放出源から離間して
配置された電子引き出し電極と、前記外囲器内の前記フ
ロントガラス面に配置された蛍光体膜とを備えた平面デ
ィスプレイの製造方法において、 前記電界放出型電子放出源を前記基板上に配置する工程
は、 ナノチューブ状繊維の生成核となる金属板を加工して多
数の貫通孔を有する複数の帯状金属部材とこれら帯状金
属部材の両端に配置され帯状金属部材間を一定間隔に保
持する保持部材とが一体に形成された金属基板を製造す
る工程と、 前記金属基板の表面及び貫通孔壁にナノチューブ状繊維
からなる被膜を形成する工程と、 前記被膜が形成された前記金属基板の前記保持部材間に
引張り力を加えた状態で前記帯状金属部材を前記基板に
接着する工程と、 前記帯状金属部材を前記基板に接着した後、前記保持部
材を切り離す工程とからなることを特徴とする平面ディ
スプレイの製造方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000206355A JP2002025477A (ja) | 2000-07-07 | 2000-07-07 | 平面ディスプレイ及びその製造方法 |
| KR10-2001-0039746A KR100429359B1 (ko) | 2000-07-07 | 2001-07-04 | 평면디스플레이 및 전계방출형 전자방출원의 설치방법 |
| TW090116519A TW535187B (en) | 2000-07-07 | 2001-07-05 | Flat display and method of mounting field emission type electron-emitting source |
| CNB01120205XA CN1205645C (zh) | 2000-07-07 | 2001-07-06 | 平面显示器及安装场致发射型电子发射源的方法 |
| US09/900,078 US6806637B2 (en) | 2000-07-07 | 2001-07-06 | Flat display and method of mounting field emission type electron-emitting source |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000206355A JP2002025477A (ja) | 2000-07-07 | 2000-07-07 | 平面ディスプレイ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002025477A true JP2002025477A (ja) | 2002-01-25 |
Family
ID=18703295
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2000206355A Pending JP2002025477A (ja) | 2000-07-07 | 2000-07-07 | 平面ディスプレイ及びその製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6806637B2 (ja) |
| JP (1) | JP2002025477A (ja) |
| KR (1) | KR100429359B1 (ja) |
| CN (1) | CN1205645C (ja) |
| TW (1) | TW535187B (ja) |
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| KR100429359B1 (ko) | 2004-04-29 |
| KR20020005443A (ko) | 2002-01-17 |
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Legal Events
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