JP2000260353A - 真空容器及び画像表示装置 - Google Patents

真空容器及び画像表示装置

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JP2000260353A
JP2000260353A JP11057043A JP5704399A JP2000260353A JP 2000260353 A JP2000260353 A JP 2000260353A JP 11057043 A JP11057043 A JP 11057043A JP 5704399 A JP5704399 A JP 5704399A JP 2000260353 A JP2000260353 A JP 2000260353A
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spacer
vacuum vessel
cross
electron
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Tomokazu Ando
友和 安藤
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Canon Inc
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    • H01J31/00Cathode ray tubes; Electron beam tubes
    • H01J31/08Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
    • H01J31/10Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes
    • H01J31/12Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes with luminescent screen
    • H01J31/123Flat display tubes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/86Vessels; Containers; Vacuum locks
    • H01J29/864Spacers between faceplate and backplate of flat panel cathode ray tubes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01J2329/86Vessels
    • H01J2329/8625Spacing members
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    • H01J2329/863Spacing members characterised by the form or structure

Abstract

(57)【要約】 【課題】 たわみの少ない真空容器の実現。 【解決手段】 真空容器の内部断面積に対するスペーサ
の総断面積の比率であるηを0.018%≦η≦7.8
%とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、テレビジョン受像
機あるいはコンピュータ等のディスプレイ、メッセージ
ボード等として文字または画像の表示装置として使用さ
れる平板型画像表示装置とその真空容器に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】近年、電界放出型や表面伝導型などの冷
陰極電子放出素子を用いた平板型画像表示装置が実用化
されつつある。それら平板型画像表示装置の詳しい構成
については特開平07−235255で開示されてい
る。
【0003】上述したような電子放出素子は10^-6t
orrより高真空の真空中で動作させることが必要であ
るため、冷陰極電子放出素子を用いた画像表示装置を形
成する場合には真空容器が必要となる。真空容器には、
外部(大気圧)と真空容器内部の差圧による外力が印加
されるため、真空容器内の間隔を維持するための支持構
造が必要となる。支持構造を用いない場合は構成部材を
厚くすることで対応するが、重量が増加してしまうとい
う問題があった。
【0004】そこで、スペーサを利用した真空容器を用
いた画像形成装置が提案されている(特開平07−30
2560)。図8に、冷陰極電子放出素子を用いた画像
表示装置の真空容器を説明する。図中、1は背面板、2
は蛍光体(不図示)を搭載し背面板1に対向配置されて
いる前面板、3は背面板1と前面板2の周囲を接続する
外囲器、4は背面板1と前面板2の間に配置された平板
状のスペーサ、5は背面板1上に搭載された複数の電子
放出素子である。
【0005】スペーサを複数用いた支持構造を採用する
ことで、真空容器に印加される大気圧を支持することを
可能とした。この結果として、真空容器の構成部材であ
る背面板1と前面板2の板厚を薄くすることが可能とな
り、大面積で軽量の真空容器を実現し、平板型の画像表
示装置を実現している。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】従来は真空容器の変形
によって画像の質が悪化する場合があった。本発明は、
真空容器の支持構造のより望ましい構成を実現すること
を目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本願にかかわる真空容器
の発明の一つは以下の様に構成される。
【0008】少なくとも、第一の基板と、該第一の基板
に対して一定の基板間隔をおいて対向配置された第二の
基板と、該第一の基板と第二の基板の間に配置された複
数のスペーサと、によって構成される真空容器におい
て、該第一の基板あるいは該第二の基板の主平面に対し
て水平な面で切った断面における真空容器の内部断面積
をAとし、該断面における複数の該スペーサの総断面積
をSとし、比S/Aを真空容器のηとするとき、0.0
18%≦η≦7.8%である真空容器。
【0009】また前記第一の基板が複数の電子放出素子
を搭載し、該第二の基板が該電子放出素子から放出され
る電子を受ける蛍光体を搭載するものであってもよい。
【0010】また前記スペーサが2種類以上のスペーサ
で構成される構成をとりうる。
【0011】さらに、前記スペーサが柱状スペーサであ
る、または、前記スペーサが、前記断面において円形で
ある、または、前記スペーサが、前記断面において四角
形である、または、前記スペーサが、前記断面において
多角形である、構成をとりうる。
【0012】または、前記スペーサが前記断面の法線と
非平行な方向に長手方向を有する長手スペーサである構
成をとりうる。
【0013】さらに、前記スペーサが、前記断面におい
て四角形である真空容器である構成を取りうる。
【0014】また、前記電子放出素子が表面伝導型電子
放出素子であったり、前記電子放出素子が電界放出型電
子放出素子であってもよい。
【0015】また本願は上述の真空容器を用いた画像形
成装置、特には画像表示装置、更に特には平板型画像表
示装置を発明として含んでいる。
【0016】本発明によれば、より好ましい真空容器
や、より好ましい画像形成装置を実現できる。
【0017】
【発明の実施の形態】図1〜図4は本発明による真空容
器の実施の形態を説明する図である。図1は真空容器の
概略図であり、図2は図1におけるA−A断面図であ
り、図3は図1におけるB−B断面図であり、図4は図
2におけるC−C断面図である。
【0018】図中、101は前面基板(厚さT1)であ
り、102は前面基板101に対向した位置に配置され
た背面基板(厚さT2)であり、103は2枚の基板間距
離Dを一定に保つように配置され、フリットガラスによ
って気密に接着された枠部(内寸は、x方向W1、y方
向W2)であり、104は2枚の基板間に真空容器のx
方向に間隔P1、y方向に間隔P2の格子点に配置され
た円柱スペーサである。そして、106は前面基板10
1、背面基板102、枠部103などによって構成され
た真空容器106である。
【0019】109は背面基板102上に搭載された表
面伝導型の電子放出素子であり、108は前面基板上に
搭載され、該電子放出素子109で発生した電子を照射
することで発光する蛍光体であり、107は蛍光体10
8が発光して画像が表示される画像表示領域である。
【0020】スペーサは、2枚の基板間距離Dを適正な
範囲に維持し、真空容器に印加される大気圧による外力
を真空容器の内部にて支持するための構成部材である。
【0021】図5に、柱状スペーサの一つであり、断面
が円(半径R)、高さがHの円柱スペーサを説明する斜
視図である。柱状スペーサとは、スペーサが維持する間
隔の方向と直交する面による断面、ここでは、図2にお
けるC−C断面での断面形状を代表する断面、での代表
長さCが、C<Hであるスペーサのことである。代表長
さCとは、断面が円である円柱スペーサであれば、代表
長さCは直径(2R)、断面が楕円である楕円柱スペー
サであれば代表長さCは長軸長さ、断面が多角形である
多角柱であれば、代表長さCは最長の対角長さとなる。
【0022】次に、長手スペーサを用いた真空容器の支
持構造を説明する。
【0023】図6は、スペーサとして長手スペーサを用
いた真空容器における、図2においてC−C断面に相当
する断面図である。長手スペーサとは、断面代表長さC
が、C≧Hな形状のスペーサを意味する。例えば図7に
示されるものである。図中、105は真空容器のy方向
に間隔P3で配置された板スペーサx方向長さL、y方
向長さT)である。
【0024】本発明者は、変形の少ない構造を実現する
ために、以下の構成を検討した。
【0025】必要な柱状スペーサまたは長手スペーサな
どの形状と配置などを定める第一の設計事項は、圧縮を
受けるスペーサの歪(圧縮応力)に許容する上限を設け
ることである。スペーサは前述したように、前面基板1
01および背面基板102にかかる大気圧P(0.1M
Pa)に相当する外力を支持する。その全荷重は大気圧
に真空容器の内部断面積であるA(=W1×W2)を乗
じた荷重(P×A)に相当する。その荷重を複数のスペ
ーサが分散して支持すると考えると、スペーサの総断面
積をSとすると、スペーサに発生する平均的な圧縮応力
は〔P×(A/S)〕となる。Sとは、図4に示すよう
な半径Rのn本の円柱スペーサ104を利用する場合、
S=n×π×R^2(πは円周率)であり、図6に示す
ようなx方向長さLでy方向長さTのn枚の長手スペー
サを利用する場合、S=n×T×Lである。大気圧P
は、通常の真空容器が利用される地理的、気象状況では
0.1MPaを大きく越えることはなく、0.1MPa
と見積もれば十分であり、一定と考える。さらに、比S
/Aを支持効率ηと定義すると、スペーサの圧縮応力は
P/ηとなり、支持効率ηがスペーサの設計を行う上で
重要であることがわかる。
【0026】本発明者は、スペーサの主な材料であるガ
ラスの圧縮強度に関する強度測定と有限要素法によるシ
ミュレーションを行い、平均圧縮応力が555MPa以
下であることが望ましいという結果を得た。すなわち、
支持効率ηは、0.018%以上であることが望ましい
ということに相当する。これは、柱状スペーサや長手ス
ペーサなどといったスペーサの形状によらない重要な要
件である。
【0027】一方、長手スペーサを用いた場合、柱状ス
ペーサと比較してスペーサ断面積は大きくなるため、ス
ペーサの配置間隔(P3)を大きくすることができる。
しかし、スペーサの配置間隔を大きくすると、基板がた
わみ、スペーサが支持する部分において引張り応力が発
生するなどが課題となる。特に、基板に発生する引張り
応力を抑制することが第二の要件として重要となる。
【0028】そこで、前面基板101、および背面基板
102の材質を青板ガラス(ヤング率73GPa、ポア
ソン比0.23)、板厚T1および厚さT2を0.5m
m〜5mmを対象にして、真空容器の変形等の測定と有
限要素法シミュレーションを行い、基板に発生する引っ
張り応力が真空容器として十分に安全である8MPa以
下に抑制するための条件を求めた。その結果、図6にお
ける板スペーサ105の間隔P3は、厚さT1=厚さT
2=0.5mmにおいてP3≦6.4mm、T1=T2
=5mmにおいてP3≦64mmが必要であり、好まし
い真空容器を構成できることがわかった。さらに、製造
時のハンドリングや垂直度の制御などを考えるとy方向
長さTは0.05mm以上が好ましく、一方、画素に与
える影響を抑制するためにはy方向長さTは0.5mm
以下であるとよい。前述の支持効率ηを算出すると、T
1=T2=0.5mmに対して0.78%≦η≦7.8
%であり、T1=T2=5mmに対して支持効率ηは
0.078%≦η≦0.8%であり、まとめると、ηは
0.078%≦η≦7.8%が必要であり、かつ効果的
である。また、板スペーサのx方向で一部スペーサを配
さない構成も考えられるが、その場合、間隔P3を小さ
くする必要があるので、必要な支持効率ηは同等であ
る。
【0029】また、画像表示領域107と枠部103の
間に、すなわち非画像表示領域に支持部材がある場合に
は、真空容器の内部断面積は、画像表示領域107を横
切らないように支持部材の内のりを結ぶ面積である。
【0030】次に、真空容器106を用いて平板型画像
表示装置を製造する。従来の技術で述べた特開平07−
235255で開示されている工程と同じであるが、簡
単に説明する。
【0031】まず、電子放出素子109などが搭載され
た背面基板102を電子放出部103をホットプレート
上に上側に向けてセットし、スペーサ104を配置する
位置にフリットガラスをディスペンサを用いて塗布す
る。そして、専用治具にてスペーサ104をフリットガ
ラス上に配置し、加熱することでスペーサ104を背面
基板102に接着する。
【0032】次に、背面基板102の上に、あらかじめ
z方向の上下にフリットガラスを塗った枠部103をセ
ットし、さらに、蛍光体108などが搭載された前面基
板101を、蛍光体108が電子放出素子109と対向
するように位置合わせして固定する。さらにその上にホ
ットプレートをのせ、荷重をかけながらフリットガラス
の接着温度まで加熱し、その後冷却することで気密な真
空容器を製造する。また、本発明では不図示であるが、
背面基板102または前面基板101には排気管を接着
する。その後、排気管を利用して外部の真空ポンプによ
って内部の空気を排除して、10^−6程度の真空とす
る。そして、電子放出素子109と外部駆動基板等を接
続してに通電処理を行い、電子を放出する機能を与え
る。さらに、電子放出素子109に駆動電圧を印加して
電子を放出させ、蛍光体108と電子放出素子109間
に3kV〜15kVの高電圧を印加して電子を蛍光体1
08へ加速して照射し、発光させる。その光は前面基板
101を透過する。外部から前面基板101を見ると、
画像表示領域107に従来より高質の画像が表示され、
目標の達成を確認した。
【0033】前面基板101および背面基板102の材
質は青板ガラスが製造コストが低く望ましいが、高歪点
ガラス、無アルカリガラス、パイレックスガラスなどの
ガラスであればよい。
【0034】枠部103と第一の基板101および第二
の基板102はフリットガラス(不図示)により気密に
接着されているが、無機系接着剤、有機系接着剤などの
接着剤にて気密に接着されてもよい。材質は、青板ガラ
スが製造コストが低く望ましいが、高歪点ガラス、無ア
ルカリガラス、パイレックスガラスなどのガラスでも、
セラミクス、または金属、あるいは426合金などの金
属合金、またはフリットガラスのみで形成してもよい。
また、枠部103は第一の基板101などと連続な一体
形でもよい。
【0035】柱状スペーサは円柱スペーサを用いて実施
態様を説明したが、断面が楕円である楕円柱スペーサで
も、断面が四角である四角柱スペーサでも、断面が多角
形の多角柱スペーサでもよい。
【0036】長手スペーサは、板スペーサを用いて実施
態様を説明したが、断面が多角形のスペーサでもよい。
【0037】また、柱状スペーサおよび長手スペーサは
図4におけるC−C断面に対して垂直方向の断面形状が
変化するものでもよく、ひょうたん型、そろばん駒型な
どでもよい。本発明におけるC−C断面の取り方は、最
もスペーサの断面積が小さくなるようにとる。
【0038】本実施の形態では、同じ大きさの円柱スペ
ーサ104または板スペーサ105を間隔P1,P2,
P3などの一定の間隔にて配置しているが、本発明はこ
れに限定するものではなく、スペーサの高さHが一定で
あれば、異なるサイズ、形状のスペーサが不均一に配置
されていてもよい。
【0039】例えば、角柱スペーサと円柱スペーサを混
合して、規則的な間隔配置してもよいし、柱状スペーサ
と長手スペーサを画像の妨げにならぬように不均一に配
置してもよいし、大きさの異なる2種類の長手スペーサ
を均一に配置してもよい。ただし、基板に印加される荷
重を支持するために、全てのスペーサの高さHは一定で
なければならない。
【0040】また、電子放出素子として表面伝導型電子
放出素子を用いて説明したが、本発明はこれに限定する
ものではなく、電界放出型などの冷陰極型の電子放出素
子でもよい。
【0041】(実施例1)図1〜図5は本発明による真
空容器の実施例を説明する図である。図1は平板型ディ
スプレイの真空容器の概略図であり、図2は図1におけ
るA−A断面図であり、図3は図1におけるB−B断面図
であり、図4は図2におけるC−C断面図であり、図5は
スペーサの斜視図である。
【0042】図中、101は前面基板(厚さT1=2.
8mm)であり、102は前面基板101に対向した位置
に配置された背面基板(厚さT2=2.8mm)であり、
103は2枚の基板の間に配置され、気密に接着された枠
部である。2枚の基板間距離Dは2mmである。枠部1
03の内側の大きさは、x方向長さW1=112mm、
y方向長さW2=52mmであり、枠部103と前面基
板101および背面基板102とはフリットガラス(不
図示)により気密に接着されている。105は2枚の基
板の間に配置され、断面円形状である円柱スペーサ(半
径R=0.1mm、高さH=2mm)であり、間隔P1
=P2=12mmにて正方格子点に配置されており、本
数は50本である。
【0043】前面基板101、背面基板102、枠部1
03および円柱スペーサ105の材質は青板ガラスであ
る。104は、これらの構成部材によって真空容器10
6が構成されている。
【0044】背面基板102上には、電子を放出する素
子である表面伝導型の電子放出素子109が搭載されて
おり、前面基板102には、電子を照射することで発光
し、画像を表示する蛍光体108が搭載されている。1
07は蛍光体108が発光して画像を表示する画像表示
領域(120mm×67mm)である。
【0045】図4において、AはC−C断面図における
枠部103の内側の面積であり、A=W1×W2である
ので、5824mm^2であり、スペーサの総断面積S
は50本分の円柱スペーサ104の断面積の和であるス
ペーサ総断面積であるので、S=50×π×R^2であ
り、S=1.57mm^2である。ここで、支持効率比
ηは比S/Aであり、支持効率ηは0.027%であ
る。これは、望ましい真空容器の構成である。
【0046】次に真空容器106を用いた平板型画像表
示装置を説明する。
【0047】まず、電子放出素子109などが搭載され
た背面基板102を電子放出部103をホットプレート
上に上側に向けてセットし、円柱スペーサ104を配置
する位置にフリットガラスをディスペンサを用いて塗布
する。そして、専用治具にて円柱スペーサ104をフリ
ットガラス上に配置し、加熱することでスペーサ104
を背面基板102に接着する。
【0048】次に、背面基板102の上に、あらかじめ
z方向の上下にフリットガラスを塗った枠部103をセ
ットし、さらに、蛍光体108などが搭載された前面基
板101を、蛍光体108が電子放出素子109と対向
するように位置合わせして固定する。さらにその上にホ
ットプレートをのせ、荷重をかけながらフリットガラス
の接着温度まで加熱し、その後冷却することで気密な真
空容器を製造する。また、本発明では不図示であるが、
背面基板102または前面基板101には排気管を接着
する。その後、排気管を利用して外部の真空ポンプによ
って内部の空気を排除して、10^−6torr程度の
真空とする。そして、電子放出素子109と外部駆動基
板等を接続してに通電処理を行い、電子を放出する機能
を与える。さらに、電子放出素子109に駆動電圧を印
加して電子を放出させ、蛍光体108と電子放出素子1
09間に3kV〜15kVの高電圧を印加して電子を蛍
光体108へ加速して照射し、発光させる。その光は前
面基板101を透過する。外部から前面基板101を見
ると、画像表示領域107に従来より高質の画像が表示
され、目標の達成を確認した。
【0049】(実施例2)図6〜図7は本発明による真
空容器の実施例を説明する図である。図6は平板型ディ
スプレイの真空容器の断面図であり、実施例1の図4に
相当する真空容器の断面図である。図7はスペーサの斜
視図である。
【0050】図中、101は前面基板(厚さT1=2.
8mm)であり、102は前面基板101に対向して基板
間隔D=2mmの位置に配置された背面基板(厚さT2
=2.8mm)であり、103は2枚の基板の間に配置さ
れ、気密に接着された枠部である。枠部103の内寸は
x方向方向はW1=112mm、y方向はW2=52m
mである。枠部103と前面基板101および背面基板
102とはフリットガラス(不図示)により気密に接着
されている。105は2枚の基板の間に配置された断面円
形状である長手スペーサの一つである板スペーサ(x方
向長さL=108mm、y方向長さT=0.2mm、高
さH=2mm)であり、y方向に間隔P3=20mmに
て均一に配置されており、本数は3本である。これらの
構成部材によって真空容器106が構成されている。前
面基板101、背面基板102、枠部103および円柱
スペーサ105の材質は高歪点ガラスである。
【0051】背面基板102上には、電子を放出する素
子である表面伝導型の電子放出素子109が搭載されて
おり、前面基板102には、電子を照射することで発光
し、画像を表示する蛍光体108が搭載されている。1
07は蛍光体108が発光して画像を表示画像表示領域
(120mm×67mm)である。
【0052】図4において、AはC−C断面図における
枠部103の内側の面積であり、A=W1×W2=58
24mm^2であり、Sは3本分の板スペーサ105の
断面積の和であるスペーサ総断面積S=n×T×Lなの
で、S=64.8mm^2である。
【0053】ここで、支持効率ηは1.1%であり、望
ましい構成の真空容器である。
【0054】この真空容器106を用いて平板型画像表
示装置を製造した。
【0055】まず、電子放出素子109などが搭載され
た背面基板102を電子放出部103をホットプレート
上に上側に向けてセットし、長手スペーサ105を配置
する位置にフリットガラスをディスペンサを用いて塗布
する。そして、専用治具にて長手スペーサ105をフリ
ットガラス上に配置し、加熱することで長手スペーサ1
05を背面基板102に接着する。
【0056】次に、背面基板102の上に、あらかじめ
z方向の上下にフリットガラスを塗った枠部103をセ
ットし、さらに、蛍光体108などが搭載された前面基
板101を、蛍光体108が電子放出素子109と対向
するように位置合わせして固定する。さらにその上にホ
ットプレートをのせ、荷重をかけながらフリットガラス
の接着温度まで加熱し、その後冷却することで気密な真
空容器を製造する。また、本発明では不図示であるが、
背面基板102または前面基板101には排気管を接着
する。その後、排気管を利用して外部の真空ポンプによ
って内部の空気を排除して、10^−6torr程度の
真空とする。そして、電子放出素子109と外部駆動基
板等を接続してに通電処理を行い、電子を放出する機能
を与える。さらに、電子放出素子109に駆動電圧を印
加して電子を放出させ、蛍光体108と電子放出素子1
09間に3kV〜15kVの高電圧を印加して電子を蛍
光体108へ加速して照射し、発光させる。その光は前
面基板101を透過する。外部から前面基板101を見
ると、画像表示領域107に従来より高質の画像が表示
され、目標の達成を確認した。
【0057】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
望ましいスペーサによる大気圧の支持構造を有する真空
容器を提案製造し、その真空容器を用いて従来より高質
の画像を提供する平板型画像表示装置を製造することが
できた。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1を説明する概略図
【図2】実施例1を説明する概略断面図
【図3】実施例1を説明する概略断面図
【図4】実施例1を説明する概略断面図
【図5】実施例1を説明する斜視図
【図6】実施例2を説明する概略断面図
【図7】実施例2を説明する斜視図
【図8】従来例を説明する図
【符号の説明】
1 背面板 2 前面板 3 外囲器 4 スペーサ 5 電子放出素子 101 前面基板 102 背面基板 103 枠部 104 円柱スペーサ 105 板スペーサ 106 真空容器 108 蛍光体 109 電子放出素子

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも、第一の基板と、該第一の基
    板に対して一定の基板間隔をおいて対向配置された第二
    の基板と、該第一の基板と第二の基板の間に配置された
    複数のスペーサと、によって構成される真空容器におい
    て、該第一の基板あるいは該第二の基板の主平面に対し
    て水平な面で切った断面における真空容器の内部断面積
    をAとし、該断面における複数の該スペーサの総断面積
    をSとし、比S/Aを真空容器のηとするとき、0.0
    18%≦η≦7.8%であることを特徴とする真空容
    器。
  2. 【請求項2】 前記第一の基板が複数の電子放出素子を
    搭載し、該第二の基板が該電子放出素子から放出される
    電子を受ける蛍光体を搭載したことを特徴とする請求項
    1記載の真空容器。
  3. 【請求項3】 前記スペーサが2種類以上のスペーサで
    構成されることを特徴とする請求項1もしくは2に記載
    の真空容器。
  4. 【請求項4】 前記スペーサが柱状スペーサであること
    を特徴とする請求項1乃至3いずれかに記載の真空容
    器。
  5. 【請求項5】 前記スペーサが、前記断面において円形
    であることを特徴とする請求項4に記載の真空容器。
  6. 【請求項6】 前記スペーサが、前記断面において四角
    形であることを特徴とする請求項4に記載の真空容器。
  7. 【請求項7】 前記スペーサが、前記断面において多角
    形であることを特徴とする請求項4に記載の真空容器。
  8. 【請求項8】 前記スペーサが長手スペーサであること
    を特徴とする請求項1乃至3いずれかに記載の真空容
    器。
  9. 【請求項9】 前記スペーサ、前記断面において四角形
    であることを特徴とする請求項8記載の真空容器。
  10. 【請求項10】 前記電子放出素子が表面伝導型電子放
    出素子であることを特徴とする、請求項1乃至9いずれ
    かに記載の真空容器。
  11. 【請求項11】 前記電子放出素子が電界放出型電子放
    出素子であることを特徴とする、請求項1乃至9いずれ
    かに記載の真空容器。
  12. 【請求項12】 請求項1乃至11いずれかに記載の真
    空容器を用いたことを特徴とする画像表示装置。
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