JP2002023351A

JP2002023351A - 感光性ペーストおよびディスプレイ用部材

Info

Publication number: JP2002023351A
Application number: JP2000203595A
Authority: JP
Inventors: Takayuki Doi; 貴之土井; Yoshiki Masaki; 孝樹正木
Original assignee: Toray Industries Inc
Current assignee: Toray Industries Inc
Priority date: 2000-07-05
Filing date: 2000-07-05
Publication date: 2002-01-23

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、良好なパターニングが可能であり、
輝度や色純度向上に寄与する反射率の高い白色隔壁の形
成が可能で、しかも、ペースト自体の安定性が優れた感
光性ペーストおよびディスプレイ用部材を提供せんとす
るものである。【解決手段】本発明の感光性ペーストは、無機微粒子と
感光性有機成分からなる感光性ペーストであって、該感
光性ペースト中の水分含有量が０．５重量％以下である
ことを特徴とする物であり、本発明のディスプレイ用部
材は、かかる感光性ペーストを用いて形成した隔壁を有
することを特徴とするものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、感光性ペーストお
よびディスプレイ用部材に関するものであり、プラズマ
ディスプレイ（ＰＤＰ）、プラズマアドレス液晶ディス
プレイ（ＰＡＬＣ）、電子放出素子（ＦＥＤ）または蛍
光表示管（ＶＦＤ）を用いたディスプレイなどの画像表
示装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】フラットパネルディスプレイとして液晶
ディスプレイ（ＬＣＤ）が盛んに開発されているが、こ
れには画像が暗い、視野角が狭いといった短所がある。
一方、自発光型の放電型ディスプレイであるＰＤＰや電
子放出素子を用いた画像表示装置は、液晶ディスプレイ
に比べて明るい画像が得られると共に、視野角が広い、
さらに大画面化、高精細化の要求に応えられることか
ら、そのニーズが高まりつつある。

【０００３】電子放出素子を用いた画像表示装置におい
て、前面ガラス基板(フェースプレートともいう）と背
面ガラス基板(素子基板ともいう）にそれぞれの機能を
付与して用いるが、背面ガラス基板には、複数の電子放
出素子とそれらの素子の電極を接続するマトリックス状
の配線が設けられる。これらの配線は、電子放出素子の
電極部分で交差することになるので絶縁するための絶縁
層(誘電体層）が設けられる。さらに両基板の間で耐大
気圧支持部材として隔壁が形成される。

【０００４】蛍光表示管（ＶＦＤ）素子を用いたディス
プレイにおいても、発光領域を区切るため格子状などの
隔壁が形成される。

【０００５】ＰＤＰは、前面ガラス基板と背面ガラス基
板との間に設けられた隔壁で仕切られた放電空間内で対
向するアノード電極およびカソード電極間にプラズマ放
電を生じさせ、この空間内に封入されているガスから発
生する紫外線を放電空間内に塗布された蛍光体に当てる
ことによって表示を行う。

【０００６】プラズマアドレス液晶（ＰＡＬＣ）ディス
プレイは、ＴＦＴ−ＬＣＤのＴＦＴ（薄膜トランジスタ
ー）アレイ部分をプラズマチャネルに置き換えたもの
で、プラズマ発生部分については、ＰＤＰにおける技術
が適用されている。プラズマ発生部分は、高さ２００μ
ｍ程度、ピッチ４８０μｍ程度の隔壁で区切られてい
る。つまり上記の各種ディスプレイは、いずれも隔壁
を必要とする。以下、これらの各種ディスプレイを代表
してＰＤＰについて記述する。

【０００７】ＰＤＰにおける隔壁は、従来、絶縁ガラス
ペーストをスクリーン印刷法でパターン状に印刷して乾
燥するという工程を繰り返して所定の高さにした後、焼
成して形成していた。しかしながら、ＰＤＰの大面積
化、高解像度化に伴い、このようなスクリーン印刷によ
る方法では、高アスペクト比で高精細の隔壁の製造が技
術的に困難となり、また、コスト的にも不利になってき
ている。

【０００８】このような問題を改良する方法として、特
開平６−２９５６７６号公報などで、感光性ペーストを
用いてフォトリソグラフィ技術により隔壁を形成する方
法が提案されている。しかし、これらの公報に開示され
た技術では、感光性ペーストの感度や解像度が低く、高
アスペクト比で高精細な隔壁が得られないために、例え
ば、８０μｍを越えるような高さの隔壁パターンを加工
する場合、複数回の加工工程（塗布・乾燥、露光、現
像）を必要とするため、工程が長くなる欠点があった。

【０００９】特開平８−５０８１１号公報では、感光性
ペースト法を用いて、隔壁を１回の露光で形成する方法
が提案されている。しかし、この方法では、ピッチが２
００μｍ以下、隔壁の線幅が５０μｍ以下の高精細隔壁
を作製する際、線幅の太り、現像残り（残膜）が発生
し、パターン形成性が悪いという問題があった。また、
焼成時に有機成分が消失し難く、そのため剥がれや着色
の原因になるという問題があった。また、焼成時の収縮
が大きく、所望の高さの隔壁を得るためにパターン形成
時の高さを高くする必要があり、パターン形成時のマー
ジンが小さく、歩留まりが悪くなるという問題があっ
た。

【００１０】一方、ＰＤＰの蛍光体層からの発光の効率
を向上するために隔壁の反射率を高くしたいという要求
がある。すなわち、隔壁の透過率が高いと、隔壁側面や
隔壁間の底面に塗布されている蛍光体層から発光される
表示光の反射が不足し、さらに、隣の隔壁間の蛍光体層
の表示光の洩れ込みが起こり、輝度が高く、色純度の良
好なディスプレイが得られない。これに対し、特公平６
−４４４５２号公報には、ガラス粉末とそれと異なる屈
折率を有する充填材との混合物を用いた隔壁の形成を開
示しているが、このような組成物は、感光性ペーストを
用いたフォトリソグラフィ法による隔壁形成には不適切
である。また、特開平８−１３８５５９号公報には、形
成された隔壁の表面に表示に特定の波長の光のみを反射
する反射膜を形成する方法が提案されているが、その反
射膜の形成のために工程が増えるなどの問題がある。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、感光性
ペーストを用いたフォトリソグラフィ法による隔壁形成
は好ましい手法であるが、良好なパターン形成性を得る
ことと形成された隔壁が高い反射率を有するようにする
ことなど両立の難しい問題を抱えると共に、感光性ペー
ストの経時変化やゲル化などのペースト自体の安定性の
問題をゆうするものであった。

【００１２】本発明は、かかる従来技術の背景に鑑み、
良好なパターニングが可能であり、輝度や色純度向上に
寄与する反射率の高い白色隔壁の形成が可能で、しか
も、ペースト自体の安定性が優れた感光性ペーストおよ
びディスプレイ用部材を提供せんとするものである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、かかる課題を
解決するために、次のような手段を採用するものであ
る。すなわち、本発明の感光性ペーストは、無機微粒子
と感光性有機成分からなる感光性ペーストであって、該
感光性ペースト中の水分含有量が０．５重量％以下であ
ることを特徴とするものであり、本発明のディスプレイ
用部材は、かかる感光性ペーストを用いて形成した隔壁
を有することを特徴とするものである。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明は、前記課題、つまり良好
なパターニングが可能であり、輝度や色純度向上に寄与
する反射率の高い白色隔壁の形成が可能で、しかも、ペ
ースト自体の安定性が優れた感光性ペーストについて、
鋭意検討し、該感光性ペースト中の水分含有量を０．５
重量％以下にしてみたところ、意外にも、かかる課題を
一挙に解決することを究明したものである。

【００１５】本発明の感光性ペーストは、無機微粒子と
感光性有機成分からなるものであり、感光性有機成分は
ペーストの塗布性能、塗膜形成能および隔壁パターン形
成能を具現するものであり、無機微粒子は隔壁を構成す
る成分となる。

【００１６】感光性有機成分は、ポリマー、モノマー、
光重合開始剤が基本的構成成分であるが、必要に応じ
て、増感剤、分散剤、ゲル化防止剤、界面活性剤、可塑
剤、チキソトロピー剤、重合禁止剤、紫外線吸収剤など
が添加される。ペーストを構成する段階においてはこれ
らの感光性有機成分を溶解するために選択された有機溶
媒類が使用される。さらに、感光性ペースト中には無機
微粒子が分散混合されている。このような種々の構成成
分を包含する感光性ペーストが、経時的に安定であり、
ゲル化などの問題を起こさず、高度に分散された無機微
粒子の分散状態を保持し、良好なパターン形成性をもつ
ためには、感光性ペーストの水分含有量が０．５％以下
であることが必須であることを見いだし、本発明に至っ
た。感光性ペーストの水分含有量は、自動水分測定装置
ＫＦ−０６（三菱化成（株）製）を用いて測定したもの
である。

【００１７】感光性ペーストの含有する水分は少ないほ
ど好ましいが、少なくとも０．５％以下に低下させるこ
とが好ましく、これ以上の水分の含有は、感光性ペース
トの粘度変化やゲル化を生じて経時安定性が低下する、
含有される酸化物微細粒子の分散性を低下させて白濁状
態にする、パターン形成性を低下させるなどの障害をも
たらすので好ましくない。

【００１８】感光性ペーストに用いる有機溶媒は、蒸
留、精製を行い脱水処理をして用いることが必要であ
り、感光性有機成分を構成する夫々の成分類も固体のも
のは、加熱乾燥または真空乾燥を行うこと、液体のもの
は有機溶媒と同様に蒸留、精製を行い脱水処理して用い
るなどの注意が必要である。分散・混合される無機微粒
子はいずれも微細は粉末として用いられるので、表面積
が大きく、また親水性を有するものが多いので、十分に
加熱乾燥または真空乾燥を行って使用することが好まし
い。

【００１９】本発明の感光性ペーストは、水分含有量が
０．５重量％以下であると共に、その感光性有機成分は
（ａ）側鎖にカルボキシル基を有する重合体および
（ｂ）一般式（１）で示されるエチレン性不飽和基を有
するアミン化合物を含有するものであることが好まし
い。

【００２０】側鎖にカルボキシル基を有する重合体は、
例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロ
トン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸またはこれ
らの酸無水物などのカルボキシル基含有モノマーおよび
メタクリル酸エステル、アクリル酸エステル、スチレ
ン、アクリロニトリル、酢酸ビニル、２−ヒドロキシエ
チルアクリレートなどのモノマーを選択し、アゾビスイ
ソブチルニトリルのような開始剤を用いて重合すること
により得られるが、これに限定されるものではない。

【００２１】側鎖にカルボキシル基を有する重合体の酸
価は５０〜１４０であることが好ましい。酸価を１４０
以下とすることで、現像許容幅を広くすることができ
る。また、酸価を５０以上とすることで、未露光部の現
像液に対する溶解性が低下することがなく、従って現像
液を濃くする必要がなく露光部の剥がれを防ぎ、高精細
なパターンを得ることができる。

【００２２】側鎖にカルボキシル基を有する重合体とし
ては、焼成時の熱分解温度が低いことから、（メタ）ア
クリル酸エステルおよび（メタ）アクリル酸を共重合成
分とする共重合体が好ましく用いられる。さらに、側鎖
にカルボキシル基を有する重合体が側鎖にエチレン性不
飽和基を有することも好ましく、エチレン性不飽和基と
して、ビニル基、アリル基、アクリロイル基、メタクリ
ロイル基などがあげられる。このような側鎖をポリマー
に付加させる方法は、ポリマー中の活性水素含有基であ
るメルカプト基、アミノ基、水酸基やカルボキシル基に
対して、グリシジル基やイソシアネート基を有するエチ
レン性不飽和化合物やアクリル酸クロライド、メタクリ
ル酸クロライドまたはアリルクロライドを付加反応させ
る。グリシジル基を有するエチレン性不飽和化合物とし
ては、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジ
ル、アリルグリシジルエーテル、エチルアクリル酸グリ
シジル、クロトン酸グリシジル、イソクロトン酸グリシ
ジルなどがある。イソシアネート基を有するエチレン性
不飽和化合物としては、（メタ）アクリロイルイソシア
ネート、（メタ）アクリロイルエチルイソシアネートな
どがある。また、グリシジル基やイソシアネート基を有
するエチレン性不飽和化合物やアクリル酸クロライド、
メタクリル酸クロライドまたはアリルクロライドは、ポ
リマー中のメルカプト基、アミノ基、水酸基やカルボキ
シル基に対して０．０５〜０．９５モル当量付加させる
ことが好ましい。活性水素含有基がメルカプト基、アミ
ノ基、水酸基の場合にはその全量を側鎖基の導入に利用
することもできるが、カルボキシル基の場合には、ポリ
マーの酸価が好ましい範囲に保持される範囲で付加する
ことが好ましい。

【００２３】本発明で好ましく使用される側鎖にカルボ
キシル基を有し、さらに側鎖にエチレン性不飽和基を有
する重合体として、メタクリル酸とメチルメタクリレー
トとの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメタ
クリレートを付加反応して得られたものなどがある。分
子量と酸価の異なるグレードの作成が可能である。しか
しながら、本発明に好ましい側鎖にカルボキシル基を有
する重合体はこれに限定されるものではない。

【００２４】感光性ペーストには感光性モノマーが含有
されており、それらの化合物の光反応による架橋反応や
重合反応が重要な役割をする。このような働きをする感
光性モノマーとして、活性な炭素−炭素二重結合を有す
る化合物で、官能基としてビニル基、アリル基、アクリ
ロイル基、メタクリロイル基、アクリルアミド基を有す
る単官能および多官能化合物がある。単に感光性で光硬
化機能を有するという観点からのみで選ばれた感光性モ
ノマーを用いた場合、無機微粒子の粒度分布が０．００
３〜０．０２μｍの範囲内にピークを有することを特徴
とする感光性ペーストにおいては、均一分散性が阻害さ
れて凝集してしまい、感光性ペーストが白濁し、光線透
過率が低下するという問題を生じることがある。その結
果、隔壁パターン形成性が悪化する。従って、塗布膜の
光線透過率を高く維持できる感光性モノマーが優れたパ
ターン形成性を有する感光性ペーストを構成するために
必須である。

【００２５】この点について鋭意検討された結果見出さ
れたのが、下記一般式（１）で示されるエチレン性不飽
和基を有するアミン化合物（以下、アミン化合物と称す
る）である。

【００２６】

【化２】

【００２７】かかるアミン化合物の添加量は、側鎖にカ
ルボキシル基を有する重合体成分中のカルボキシル基量
に対してモル換算で０．３〜３であることが好ましい。

【００２８】アミン化合物のエチレン性不飽和基を有す
る置換基としては、下記一般式（２）、（３）、または
（４）で示されるものが好ましい。

【００２９】

【化３】

【００３０】

【化４】

【００３１】

【化５】

【００３２】これらのエチレン性不飽和基を有する置換
基の中でも、とりわけＣＨ₂＝Ｃ（ＣＨ₃）ＣＯＯＣＨ₂
ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ₂−が好ましく用いられる。

【００３３】また、アミン化合物として、３級アミン化
合物を用いることが好ましい。特に、３級アミン化合物
としては、下記一般式（５）で示される構造を有する化
合物が好ましく用いられる。

【００３４】

【化６】

【００３５】また、アミン化合物として、分子中に１個
のエチレン性不飽和基を含むものとしては、Ｎ，Ｎ−ジ
メチルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジ
エチルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジ
メチルアミノプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ
−ジメチル（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリロ
イルモルホリン、Ｎ−イソプロピル（メタ）アクリルア
ミド、Ｎ，Ｎ−ジエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−
［３−（Ｎ’，Ｎ’−ジメチルアミノ）プロピル］（メ
タ）アクリルアミド、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸ビニ
ル、ビニルピリジン、アリルアミン、アリルアニリンか
ら選ばれた１種以上を好ましく用いることもできる。

【００３６】また、アミン化合物として、分子中に２個
のエチレン性不飽和基を含むものとしては、ビス（２−
ヒドロキシ−３−メタクリロイルオキシプロピル）イソ
プロピルアミン、ビス（２−ヒドロキシ−３−メタクリ
ロイルオキシプロピル）ｎ−プロピルアミン、ジアリル
アミンから選ばれた１種以上を好ましく用いることもで
きる。

【００３７】さらに、アミン化合物として、分子中に３
個のエチレン性不飽和基を含むものとしては、トリス
（２−メタアクリロイルオキシエチル）アミン、トリス
（２−ヒドロキシ−３−メタクリロイルオキシプロピ
ル）アミン、トリアリルアミンから選ばれた一種以上を
用いることもできる。エチレン性不飽和基を有するア
ミン化合物としては、以上の化合物を挙げることができ
るが、これらに限定されない。また、これらの化合物は
混合して用いてもよい。

【００３８】とくにビス（２−ヒドロキシ−３−メタク
リロイルオキシプロピル）イソプロピルアミン（ＧＭＰ
Ａと略記）は最も好ましく用いられるアミン化合物であ
る。

【００３９】適切な露光量を得るためには、アミン化合
物の添加量は、感光性有機成分中の１０〜８０重量％で
あることが好ましい。エチレン性不飽和基を有するアミ
ン化合物の調製は、エチレン性不飽和基を有するグリシ
ジル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸クロリ
ド、（メタ）アクリル酸無水物等をアミノ化合物と反応
させればよい。

【００４０】本発明においては、必要に応じて、アミン
化合物以外のエチレン性不飽和基を有するの感光性モノ
マーを併用してもよい。このような感光性モノマーとし
ては、１個以上の光重合可能なアクリロイル基、メタク
リロイル基またはアリル基を有するモノマーなどが挙げ
られる。

【００４１】これらの具体例としては、アルコール類
（例えばエタノール、プロパノール、ヘキサノール、オ
クタノール、シクロヘキサノール、グリセリン、トリメ
チロールプロパン、ペンタエリスリトールなど）のアク
リル酸またはメタクリル酸エステル、カルボン酸（例え
ば酢酸、プロピオン酸、安息香酸、アクリル酸、メタク
リル酸、コハク酸、マレイン酸、フタル酸、酒石酸、ク
エン酸など）とアクリル酸グリシジル、メタクリル酸グ
リシジル、アリルグリシジル、またはテトラグリシジル
メタキシリレンジアミンとの反応生成物、アミド誘導体
（例えば、アクリルアミド、メタクリルアミド、Ｎ−メ
チロールアクリルアミド、メチレンビスアクリルアミド
など）、エポキシ化合物とアクリル酸またはメタクリル
酸との反応物などを挙げることができる。また、多官能
モノマーにおいて、不飽和基は、アクリロイル基、メタ
クリロイル基、ビニル基、アリル基が混合して存在して
もよい。これらは単独で用いてもよく、また組み合わせ
て用いてもよい。

【００４２】アミン化合物と組み合わせて用いる感光性
モノマーとして本発明においてはエチレン性不飽和基を
含むウレタン化合物が好ましく使用される。エチレン性
不飽和基は、これに限定されるものではないが、ビニル
基、アリル基、アクリロイル基、メタクリロイル基が好
ましく、特にアクリロイル基やメタクリロイル基を有す
ることが好ましい。このようなエチレン性不飽和基を有
するウレタン化合物は、エチレンオキシドを含有するア
ルキレンオキシドのオリゴマーを構成成分とし、末端に
アクリロイル基またはメタクリロイル基を有するものが
好ましく、エチレン性不飽和基とアルキレンオキシドオ
リゴマーとの結合にはジイソシアネート化合物が用いら
れ、ウレタン結合を形成している。

【００４３】本発明で好ましく用いられるエチレン性不
飽和基を含むウレタン化合物は一般式（６）で示され
る。

【００４４】

【化７】

【００４５】ここで用いるジイソシアネート化合物とし
ては、脂肪族、芳香族または脂環式のジイソシアネート
化合物を用いることができるが、脂環式ジイソシアネー
ト化合物を用いることがより好ましく、特にイソフォロ
ンジイソシアネートを用いたものが好ましいが、これに
限定されるものではない。Ｒ⁶のアルキレンオキシドオ
リゴマーは、エチレンオキシドとプロピレンオキシドの
コオリゴマーが好ましく、エチレンオキシドの配合量は
８〜５０重量％であることが好ましい。

【００４６】エチレン性不飽和基を有するアミン化合物
とエチレン性不飽和基を含むウレタン化合物を組み合わ
せた感光性モノマーを用いた感光性ペーストを光硬化し
て得られる隔壁パターンの硬化構造は柔軟性が制御でき
るので、パターン段階においての剥離や反りを防止する
ことが可能になり、焼成工程での断線や剥離防止にも効
果的である。特に、線幅の広い補助隔壁の形成を伴う格
子状隔壁を作製する場合には、線幅の狭い主隔壁の断線
を無くして歩留まりを向上するために有効である。

【００４７】感光性ペーストの水分含有量を０．５重量
％以下に制御すると共に上記の側鎖にカルボキシル基を
有する重合体、エチレン性不飽和基を有するアミン化合
物およびエチレン性不飽和基を含むウレタン化合物を主
体とした感光性有機成分を有する場合、感光性ペースト
塗布膜は、高い光線透過率を示すので、パターン露光時
の光の透過率が高く、散乱が少なく、優れたパターン形
成性を示すことができる。

【００４８】本発明の感光性ペーストの含有する無機微
粒子は粒度分布が０．００３〜０．０２μｍの範囲内に
ピークを有するものであることが好ましい。すなわち、
本発明の感光性ペーストを構成する無機微粒子は、低融
点ガラス粉末が５０〜９０重量％、平均粒子径０．００
３〜０．０２μｍのフィラーＢが３〜５０重量％および
平均粒子径１．５〜４μｍのフィラーＡが０〜３０重量
％含まれるものである。

【００４９】感光性ペーストは感光性有機成分を溶解し
た有機溶媒系の中に無機微粒子を分散させたものであ
り、その塗布膜では有機成分層の中にかなり高い濃度で
無機微粒子が存在している。このような塗布膜にフォト
リソグラフィ法でパターン形成を行うためには、少なく
とも共存する各成分の屈折率を近似させることが重要で
ある。

【００５０】用いる感光性有機成分の平均屈折率が１．
４〜１．７の範囲にあるのが無機微粒子の屈折率もこの
範囲に出来るだけ近似したものを選ぶことが必要にな
る。種々の酸化物からなるガラス成分はその配合を考慮
することで特性の制御が可能であり、本発明においても
熱特性、屈折率などをコントロールした低融点ガラス粉
末が使用できる。低融点ガラス粉末として屈折率が１．
４５〜１．６５であり、ガラス転移点が４００〜５５０
℃、荷重軟化点が４５０〜６００℃を有するものが好ま
しい。荷重軟化点を４５０℃以上とすることで、部材形
成およびディスプレイ形成の後工程において隔壁が変形
することがなく、荷重軟化点を６００℃以下とすること
で、焼成時に溶融し強度の高い隔壁を得ることができ
る。このような特性を満たす低融点ガラス粉末は、酸化
物換算表記で以下の様な組成であることが好ましい。酸化リチウム、酸化ナトリウムまたは酸化カリウム３〜１５重量部酸化ケイ素５〜３０重量部酸化ホウ素２０〜４５重量部酸化バリウムまたは酸化ストロンチウム２〜１５重量部酸化アルミニウム１０〜２５重量部酸化マグネシウムまたは酸化カルシウム２〜１５重量部。

【００５１】酸化リチウム、酸化ナトリウムまたは酸化
カリウムのアルカリ金属酸化物のうち少なくとも１種を
用い、その合計量が好ましくは３〜１５重量部、さらに
好ましくは３〜１０重量部であるのがよい。

【００５２】アルカリ金属酸化物は、ガラスの荷重軟化
点、熱膨張係数のコントロールを容易にするのみなら
ず、ガラスの屈折率を低くすることができるため、感光
性有機成分との屈折率差を小さくすることが容易にな
る。アルカリ金属酸化物の合計量が３重量部以上とする
ことでガラスの低融点化の効果を得ることができ、１５
重量部以下とすることでガラスの化学的安定性を維持す
ると共に熱膨張係数を小さく抑えることができる。アル
カリ金属としては、ガラスの屈折率を下げることやイオ
ンのマイグレーションを防止することを考慮するならリ
チウムを選択するのが好ましい。

【００５３】酸化ケイ素の配合量は５〜３０重量部が好
ましく、より好ましくは１０〜３０重量部である。酸化
ケイ素は、ガラスの緻密性、強度や安定性の向上に有効
であり、また、ガラスの低屈折率化にも効果がある。熱
膨張係数をコントロールしてガラス基板とのミスマッチ
による剥離などを防ぐこともできる。５重量部以上とす
ることで、熱膨張係数を小さく抑えガラス基板に焼き付
けた時にクラックを生じない。また、屈折率を低く抑え
ることができる。３０重量部以下とすることで、ガラス
転移点、荷重軟化点を低く抑え、ガラス基板への焼き付
け温度を低くすることができる。

【００５４】酸化ホウ素は、鉛などの重金属を含有しな
いガラスにおいて低融点化のために必要な成分であり、
さらに低屈折率化にも有効であり、２０〜４５重量部、
さらには２０〜４０重量部の範囲で配合することが好ま
しい。２０重量部以上とすることで、ガラス転移点、荷
重軟化点を低く抑えガラス基板への焼き付けを容易にす
る。また、４５重量部以上とすることでガラスの化学的
安定性を維持することができる。

【００５５】酸化バリウムおよび酸化ストロンチウムの
うち少なくとも１種を用い、その合計量が２〜１５重量
部、さらには２〜１０重量部であることが好ましい。こ
れらの成分は、ガラスの低融点化、熱膨張係数の調整に
有効であり、焼き付け温度の基板の耐熱性への適用、電
気絶縁性、形成される隔壁の安定性や緻密性の点でも好
ましい。２重量部以上とすることで低融点化の効果を得
ることができると共に結晶化による失透を防ぐこともで
きる。また、１５重量部以下とすることにより、熱膨張
係数を小さく抑え、屈折率も小さく抑えることができ
る。またガラスの化学的安定性も維持できる。

【００５６】酸化アルミニウムはガラス化範囲を広げて
ガラスを安定化する効果があり、ペーストのポットライ
フ延長にも有効である。１０〜２５重量部の範囲で配合
することが好ましく、この範囲内とすることでガラス転
移点、荷重軟化点を低く保ち、ガラス基板上への焼き付
けを容易とすることができる。

【００５７】さらに、酸化カルシウムおよび酸化マグネ
シウムは、ガラスを溶融しやすくすると共に熱膨張係数
を制御するために配合されることが好ましい。酸化カル
シウムおよび酸化マグネシウムは合計で２〜１５重量部
配合するのが好ましい。合計量が２重量部以上とするこ
とで結晶化によるガラスの失透を防ぎ、１５重量部以下
とすることでガラスの化学的安定性を維持することがで
きる。

【００５８】また、上記の組成には表記されていない
が、酸化亜鉛はガラスの熱膨張係数を大きく変化させる
ことなく低融点化させる成分でありこれも配合されるこ
とが好ましい。多く配合しすぎると屈折率が大きくなる
傾向にあるので、１〜２０重量部の範囲で配合するのが
好ましい。

【００５９】感光性ペーストに用いる低融点ガラス粉末
は、ペースト形成時の充填性および分散性が良好で、ペ
ーストの均一な厚さでの塗布が可能であると共にパター
ン形成性を良好に保つためには、平均粒子径が１〜４μ
ｍであり、最大粒子径が３５μｍ以下であることが好ま
しい。このような粒度分布を有するガラス粉末がペース
トへの充填性および分散性の点で優れているが、低融点
ガラス粉末の場合は焼成工程でその殆どが溶融し一体化
されるので、かなり大きな粒子径の粉末も許容される。
この範囲であれば、充填性および分散性を満足させて、
塗布性およびパターン形成性の優れた感光性ペーストを
構成することができる。

【００６０】感光性ペーストの無機微粒子を低融点ガラ
ス粉末とフィラー成分とから構成することは、焼成収縮
率の減少、形成された隔壁の強度向上、隔壁の不透明化
などのために好ましい。本発明では無機微粒子の粒度分
布において０．００３〜０．０２μｍの範囲内にピーク
を生じるものとなる平均粒子径０．００３〜０．０２μ
ｍのフィラーＢと平均粒子径１．５〜４μｍのフィラー
Ａが用いられる。

【００６１】フィラーＡは無機微粒子中に０〜３０重量
部で加えられるもので、コーディエライトおよび高融点
ガラス粉末から選ばれた少なくとも一種を含むものであ
る。これらのフィラーＡは低融点ガラス粉末と同様に屈
折率が感光性有機成分の屈折率と整合していることが好
ましい。高融点ガラス粉末としては、ガラス転移点５０
０〜１２００℃、荷重軟化点５５０〜１２００℃を有す
るものが好ましく、このような高融点ガラス粉末は、酸
化ケイ素および酸化アルミニウムをそれぞれ１５重量％
以上含有する組成のものが好ましく、これらの含有量合
計が５０重量％以上であることが必要な熱特性を得るの
に有効である。高融点ガラス粉末の組成はこれに限定さ
れるものではないが、例えば以下のような酸化物換算組
成のものを用いることができる。

【００６２】酸化珪素１５〜５０重量部酸化ホウ素５〜２０重量部酸化バリウム２〜１０重量部酸化アルミニウム１５〜５０重量部。

【００６３】例えば、酸化珪素３８重量部、酸化ホウ素
１０重量部、酸化バリウム５重量部、酸化アルミニウム
３６重量部で、その他の成分として酸化カルシウム、酸
化亜鉛、酸化マグネシウムを少量ずつ含有するガラス転
移点６２５℃、荷重軟化点７５０℃の高融点ガラスの屈
折率は１．５９であり、これは本発明で好ましく使用さ
れる低融点ガラスの屈折率と同等である。フィラーＡ成
分のもう一つの成分であるコーディエライトの屈折率は
１．５８であり、好適である。

【００６４】このようなフィラーＡの平均粒子径は１．
５〜４μｍの範囲が好ましい。１．５μｍ以上とするこ
とで形状保持性の効果を得ることができる。また、フィ
ラー成分は焼成工程で溶融することがないので４μｍよ
り大きすぎると、形成された隔壁の頂部の凹凸が大きく
なりクロストークの原因となるなどの問題を生じる傾向
にあり好ましくない。

【００６５】本発明の感光性ペーストを構成する無機微
粒子は、さらに平均粒子径０．００３〜０．０２μｍの
フィラーＢを３〜５０重量％の量で含有することが好ま
しい。

【００６６】フィラーＢは、アルミナ、ジルコニア、チ
タニア、イットリア、セリア、酸化錫およびシリカの群
から選ばれた少なくとも一種が用いられる。これらのフ
ィラーＢは本発明で用いる低融点ガラス粉末、フィラー
Ａ、感光性有機成分の屈折率に比べてより高い屈折率を
有するものである。低融点ガラスやフィラーＡより屈折
率が高いことは、このようなフィラーＢを含有する隔壁
がより高い反射率を示すことになり、輝度の高いディス
プレイの形成に好都合である。しかし、感光性有機成分
との関係では大きな屈折率差があることは好ましくない
ので、本発明ではフィラーＢの平均粒子径を、パターン
形成のため露光される光の波長である３５０〜４２０ｎ
ｍより小さい０．００３〜０．０２μｍ（３〜２０ｎ
ｍ）に設定している。このようにすることでペースト中
にフィラーＢが分散して存在してもパターン露光の妨げ
にならず、パターン形成に悪影響を与えることがない。
一方、隔壁パターンを焼成するとフィラーＢの存在は隔
壁の白色化に有効に作用し、輝度の向上や色純度の向上
に繋がり、ディスプレイの表示特性を向上させる。この
ような平均粒子径を有するフィラーＢの添加による隔壁
の反射率向上効果の原因については、必ずしも明らかで
ないが、次のように推定される。すなわち、微細な平均
粒子径を有するフィラーＢとしての酸化物微粒子は焼成
の工程で凝集して粒子径０．３〜２μｍの凝集粒子を構
成する。この凝集粒子は母体となる低融点ガラスに比べ
て高い屈折率を有するので、これらの凝集粒子による散
乱が顕著になり、隔壁の反射率を向上させ、蛍光体層か
らの発光の効率を向上することができる。凝集粒子とし
て好ましい粒子径は０．５〜１．０μｍである。このよ
うな凝集粒子の粒子径は、電子顕微鏡による観察写真を
画像処理し、凝集粒子の見かけの面積と同面積の円に換
算した際の直径をいう。５０個の凝集粒子について観察
・画像処理を行って、それらの平均値を凝集粒子の粒子
径とした。

【００６７】本発明で用いるフィラーＢとしての酸化物
微粒子は、マイクロトラック粒度分析計ＵＰＡ１５０Ｍ
ＯＤＥＬＮｏ．９３４０（日機装株式会社）を用いて
測定した平均粒子径が０．００３〜０．０２μｍである
ことが好ましい。このような範囲の平均粒子径の酸化物
微粒子を用いることにより、フォトリソグラフィ法によ
るパターン形成においては良好な光透過性を示し、焼成
後の隔壁としては高い反射性を示すという矛盾的に要求
される特性を両立させることができる。フィラーＢの平
均粒子径を０．００３μｍ以上とすることにより、隔壁
の反射率向上効果に寄与することができ、また、感光性
ペースト塗布膜のパターン形成性を良好に保持する上限
として平均粒子径を０．０２μｍ以下とすることが好ま
しい。酸化物微粒子は微細なため非常に凝集しやすく、
ペーストの中で均一に分散させるには工夫が必要であ
る。凝集が生じると露光する光が底部まで透過しなくな
り、パターン形成性が低下する。これを回避するため
に、酸化物微粒子は化学的な表面処理を行うことに加え
て、粉末の合成段階において凝集を少なくすることが必
要である。また、感光性ペーストとして組み合わせて用
いる感光性有機成分についても最適化が必須であり、本
発明の感光性ポリマーおよび感光性モノマー成分は特に
好ましく用いられる。さらに、感光性ペーストの水分含
有量が０．５％以下であることがフィラーＢの凝集を防
止することになり、その結果、良好なパターン形成性が
保証され、高い反射率の隔壁が形成できる。

【００６８】感光性ペーストは、無機微粒子と感光性有
機成分、必要に応じてその他の添加剤および溶媒などの
各種成分を所定の組成となるように調合した後、３本ロ
ーラや混練機で均質に混合・分散することにより製造す
ることができる。感光性ペーストの粘度は、有機溶媒に
より１０〜２００Ｐａ・ｓ（パスカル秒）程度に調整し
て使用される。この時使用される有機溶媒としては、プ
ロピレングリコール、プロピレングリコールモノメチル
エーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルア
セテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテ
ル、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロ
ソルブ、メチルエチルケトン、ジオキサン、アセトン、
シクロヘキサノン、シクロペンタノン、イソブチルアル
コール、イソプロピルアルコール、テトラヒドロフラ
ン、ジメチルスルフォキシド、γ-ブチロラクトンなど
やこれらのうちの1種以上を含有する有機溶媒混合物が
挙げられる。フィラーＢの酸化物微粒子を高分散させる
溶媒と感光性ポリマーやモノマを溶解する溶媒が異なる
場合、これらの溶媒を混合して使用することによってフ
ィラーＢの凝集を避けることができる。

【００６９】本発明の感光性ペーストは、ＰＤＰ、プラ
ズマアドレス液晶ディスプレイ、電子放出素子、蛍光表
示管や有機電界発光素子を用いたディスプレイの隔壁形
成に用いられるが、隔壁はガラス基板上に直接形成する
場合もあるが、多くはガラス基板上の電極を被覆するよ
うに形成されている誘電体層の上に形成される。このよ
うに基板上に所定の隔壁を形成してディスプレイ用部材
を得ることができ、さらにこれを用いてディスプレイを
作製することができる。

【００７０】感光性ペーストの塗布は、スクリーン印刷
法、バーコーター法、ロールコータ法、ドクターブレー
ド法などの一般的な方法で行うことができる。塗布厚さ
は、所望の隔壁の高さとペーストの焼成収縮率を考慮し
て決めることができる。

【００７１】次いで、塗布・乾燥した感光性ペースト膜
にフォトマスクを介して露光を行って、隔壁パターンを
形成する。超高圧水銀灯を光源として、プロキシミティ
露光を行うのが一般的である。露光条件はペーストの塗
布膜厚さによって異なるが、通常５０〜６００Ｗ／ｍ２
（←２は上付き文字）の出力の超高圧水銀灯を用いて１
０秒〜１０分間露光を行う。露光後、露光部分と未露光
部分の現像液に対する溶解度差を利用して、現像を行
う。本発明で好ましく用いられる側鎖にカルボキシル基
を有する重合体を含有する感光性ペーストを使用した場
合には、アルカリ水溶液での現像が可能になる。アルカ
リとしては、有機アルカリ水溶液を用いた方が焼成時に
アルカリ成分を除去し易いので好ましい。アルカリ水溶
液の濃度は通常０．０５〜２重量％、より好ましくは
０．１〜０．８重量％である。アルカリ濃度が低すぎれ
ば可溶部が完全に除去されず、アルカリ濃度が高すぎれ
ば、露光部のパターンを剥離させたり、侵食したりする
おそれがある。現像時の温度は、２０〜５０℃で行うこ
とが工程管理上好ましい。

【００７２】感光性ペーストの塗布膜から露光・現像の
工程を経て形成された隔壁パターンは次に焼成炉で焼成
されて、有機成分を熱分解して除去し、同時に無機微粒
子成分中の低融点ガラスを溶融させて無機質の隔壁を形
成する。焼成を行うには通常、隔壁パターンが形成され
たガラス基板を室温から５００℃程度まで数昇温した
後、焼成温度として設定された５００〜５９０℃に上昇
させて、約１５〜３０分間保持して焼成を行う。このよ
うな工程で隔壁が形成されたディスプレイ用部材を得る
ことができる。

【００７３】隔壁に挟まれたセル内に、赤、緑、青に発
光する蛍光体ペーストを塗布・焼成して蛍光体層を形成
するとプラズマディスプレイ用の背面基板が構成され
る。この背面基板と別途作製された前面基板を張りあわ
せ後、封着、ガス封入してプラズマディスプレイが作製
される。これらの技術は、プラズマアドレス液晶ディス
プレイ、電子放出素子または蛍光表示管を用いたディス
プレイにおいても、好ましく適用される。

【００７４】

【実施例】以下、実施例を用いて本発明を具体的に説明
するが、本発明はこれらに限定されるものではない。な
お、濃度（％）は時に断らない限り重量％である。

【００７５】実施例および比較例に用いた無機微粒子成
分および有機成分は次の通りである。

【００７６】ａ．低融点ガラス粉末Ｉ酸化物換算組成：酸化リチウム６．８重量部、酸化ケイ
素２３重量部、酸化ホウ素３３重量部、酸化バリウム
４．５重量部、酸化アルミニウム１９．５重量
部、酸化亜鉛２．８重量部、酸化マグネシウム５．８重
量部である。

【００７７】特性：ガラス転移点４９７℃、荷重軟化点
５３０℃、熱膨張係数７５×１０^-7／Ｋ、屈折率１．５
９、平均粒子径２．６μｍ、トップサイズ２４μｍであ
る。

【００７８】ｂ．低融点ガラス粉末II 酸化物換算組成：酸化リチウム９．１重量％、酸化ケイ
素２１．３重量％、ホ酸化ウ素３２．９重量％、
酸化バリウム４重量％、酸化アルミニウム２１．
９重量％、酸化マグネシウム６．３重量％、酸化カルシ
ウム４．５重量％である。

【００７９】特性：ガラス転移点４７６℃、荷重軟化点
５１９℃、熱膨張係数８３×１０^-7／Ｋ、屈折率１．５
９、平均粒子径２．３μｍ、トップサイズ２５μｍであ
る。

【００８０】ｃ．フィラーＡＩ（コーディエライト粉
末）平均粒子径２．１μｍ、トップサイズ１１μｍ、屈折率
１．５８、熱膨張係数３０×１０^-7 ｄ．フィラーＡII（高融点ガラス）酸化物換算組成：酸化ケイ素３８重量％、酸化ホウ素重
量９％、酸化バリウム５重量％、酸化アルミニウム３５
重量％、酸化亜鉛３重量％、酸化マグネシウム５重量
％、酸化カルシウム５重量％である。

【００８１】特性：ガラス転移点６５２℃、荷重軟化点
８００℃、屈折率１．５８、平均粒子径２．７μｍであ
る。

【００８２】ｅ．フィラーＢＩ組成が酸化チタン４１．８重量％、酸化錫３７．１重量
％、酸化ケイ素２１．１重量％で固形分濃度２０．４重
量％のゾル。平均粒子径０．００５μｍである。

【００８３】ｆ．フィラーＢII 組成が酸化チタン１００重量％で、固形分濃度１８．５
重量％のゾル。平均粒子径０．００４μｍ、水分含有量
０．０５重量％である。

【００８４】ｇ．フィラーＢIII 組成が酸化チタン１００重量％で、固形分濃度１８．５
重量％のゾル。平均粒子径０．００４μｍ、水分含有量
６．０重量％である。

【００８５】ｈ．ポリマーＩスチレン／メチルメタクリレート／メタクリル酸共重合
体（重量組成比３０／３０／４０）１００重量部に対し
てグリシジルメタクリレートを４０重量部付加させたも
ので、重量平均分子量４３，０００、酸価１２０であ
る。

【００８６】ｉ．ポリマーII メタクリル酸とメチルメタクリレートとの共重合体に
３，４−エポキシシクロヘキシルメタクリレートを付加
反応して得られたもの：重量平均分子量２８，０００、
酸価１２０である。

【００８７】ｊ．アミン化合物Ｉビス（２−ヒドロキシ−３−メタクリロイルオキシプロ
ピル）イソプロピルアミンｋ．アミン化合物II ビス（２−ヒドロキシ−３−メタクリロイルオキシプロ
ピル）ｎ−プロピルアミンｌ．アミン化合物III （ＲＣＨ₂ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ₂）₂Ｎ−ＣＨ（ＣＨ₃）ＣＨ
₂（ＯＣＨ₂ＣＨ（ＣＨ₃））_5.6−Ｎ（ＣＨ₂ＣＨ（Ｏ
Ｈ）ＣＨ₂Ｒ）₂ （ただし、Ｒ＝−ＯＣＯＣ（ＣＨ₃）＝
ＣＨ₂）ｍ．ウレタン化合物Ｉ一般式（２）において、Ｒ⁴はアクリロイル基、Ｒ⁵はイ
ソフォロンジイソシアネート残基、Ｒ⁶はエチレンオキ
サイド２０％を含有するエチレンオキサイド−プロピレ
ンオキサイドコオリゴマーで、全体の分子量は、１９，
０００である。

【００８８】ｎ．ウレタン化合物II 一般式（２）において、Ｒ⁴はアクリロイル基、Ｒ⁵はイ
ソフォロンジイソシアネート残基、Ｒ⁶はエチレンオキ
サイド５０重量％を含有するエチレンオキサイド−プロ
ピレンオキサイドコオリゴマーで、全体の分子量は
１４，０００である。（感光性ペーストの作製）６０℃で８時間真空乾燥した
ポリマーをγ−ブチロラクトンに混合し、撹拌しながら
６０℃に加熱して溶解した。低融点ガラス粉末およびフ
ィラーＡは、４００℃で２時間保持して乾燥した。

【００８９】感光性ペーストは、ポリマー、モノマーに
光重合開始剤（２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１
−（４−モルフォリノフェニル）ブタノン）５重量部、
増感剤（２，４−ジエチルチオキサントン）２重量部、
有機染料（ベーシックブルー２６、吸収極大波長５９２
ｎｍ）０．０１重量部、ジプロピレングリコールモノメ
チルエーテル３０重量部を５０℃に加熱しながら溶解
し、その後、無機微粒子成分を添加し、三本ローラーを
用いて混練した。（実施例１）低融点ガラスＩを４８重量部、フィラーＡ
Ｉを９重量部、フィラーＢＩを３重量部用いた無機微粒
子成分とポリマーＩを１５重量部、アミン化合物Ｉを１
０重量部、ウレタン化合物Ｉを１５重量部用いて感光性
ペーストを作製した。この感光性ペーストの水分含有量
は０．１５重量％であり、感光性ペーストのゲル化や粘
度変化はなく、白濁化も観測されなかった。

【００９０】ガラス基板（旭硝子（株）製ＰＤ２００）
上に、感光性銀ペーストを用いてフォトリソグラフィ法
により、線幅４０μｍ、ピッチ１５０μｍのアドレス電
極を５００本形成した。次に、電極上にガラス粉末５０
重量％、酸化チタン１５重量％、エチルセルロース２０
重量％、溶媒１５重量％からなるガラスペーストをスク
リーン印刷により塗布した後に５５０℃で焼成して誘電
体層を形成した。

【００９１】誘電体層上に、上記の感光性ペーストを３
２５メッシュのスクリーンを用いたスクリーン印刷によ
り塗布した。塗布膜にピンホールなどの発生を回避する
ため塗布・乾燥を数回繰り返し行い、乾燥厚みが２１０
μｍになるように塗布した。途中の乾燥は８０℃で１０
分間行った。その後、８０℃で６０分保持して乾燥し
た。

【００９２】次に、プラズマディスプレイ用の隔壁パタ
ーン形成を目的としたフォトマスク（ストライプ状パタ
ーン、パターンピッチ１５０μｍ、線幅２０μｍ）を介
して露光を行った。この時、フォトマスクの汚染を防ぐ
ため、マスクと塗膜面との間に１００μｍのギャップを
設けた。その後、３５℃に保持したモノエタノールアミ
ンの０．３重量％水溶液をシャワーで１８０秒間かける
ことにより現像し、さらにシャワースプレーで水洗浄
し、光硬化していないスペース部分を除去してガラス基
板上にストライプ状の隔壁パターンを形成した。隔壁パ
ターンを顕微鏡で観察し、露光部の剥がれ、パターンの
蛇行およびパターン間の埋まり（残膜）が発生せず、か
つパターンの断面形状が矩形または台形である場合にパ
ターン形成性が良好と判断されるが、本実施例では、こ
れらの条件が全て満足されることを確認した。

【００９３】隔壁パターンを形成したガラス基板を８０
℃で１５分乾燥した後、５９０℃で１５分間焼成して隔
壁が形成された部材を得た。

【００９４】上記の部材の隣り合う隔壁間に蛍光体を塗
布した。蛍光体の塗布は、口径１３０μｍの穴が形成さ
れたノズル先端から蛍光体ペーストを吐出するディスペ
ンサー法により行った。蛍光体は隔壁の側面に焼成後厚
み２５μｍ、誘電体層上に焼成後厚み２５μｍになるよ
うに塗布した後、５００℃で１０分間の焼成を行って、
背面基板を作製した。別途作製した前面基板と背面基板
を封着ガラスを用いて封着し、キセノン５重量％含有の
ネオンガスを封入した。さらに、駆動回路を実装してＰ
ＤＰを作製した。得られたＰＤＰは全面正常に駆動し
た。（実施例２）低融点ガラスＩを５８重量部、フィラーＡ
IIを１１重量部、フィラーＢＩを６重量部用いた無機微
粒子成分とポリマーＩを１０重量部、アミン化合物IIを
１０重量部、ウレタン化合物IIを５重量部用いて感光性
ペーストを作製した。この感光性ペーストの水分含有量
は０．３８重量％であり、感光性ペーストのゲル化や粘
度変化はなく、白濁化も観測されなかった。

【００９５】実施例１と同様にして作製した隔壁パター
ンには露光部の剥がれ、パターンの蛇行およびパターン
間の埋まり（残膜）がなく、かつパターンの断面形状は
台形で、パターン形成性が良好であった。（実施例３）低融点ガラスＩを５５重量部、フィラーＡ
IIを１４重量部、フィラーＢＩを６重量部用いた無機微
粒子成分とポリマーＩを１５重量部、アミン化合物IIを
５重量部、ウレタン化合物Ｉを５重量部用いて感光性ペ
ーストを作製した。この感光性ペーストの水分含有量は
０．０５重量％であり、感光性ペーストのゲル化や粘度
変化はなく、白濁化も観測されなかった。

【００９６】実施例１と同様にして作製した隔壁パター
ンには露光部の剥がれ、パターンの蛇行およびパターン
間の埋まり（残膜）がなく、かつパターンの断面形状は
台形で、パターン形成性が良好であった。（実施例４）低融点ガラスＩを５０重量部、フィラーＡ
IIを７重量部、フィラーＢIIを８重量部用いた無機微粒
子成分とポリマーIIを２０重量部、アミン化合物Ｉを５
重量部用いて感光性ペーストを作製した。この感光性ペ
ーストの水分含有量は０．４７重量％であり、感光性ペ
ーストのゲル化や粘度変化はなく、白濁化も観測されな
かった。

【００９７】実施例１と同様にして作製した隔壁パター
ンには露光部の剥がれ、パターンの蛇行およびパターン
間の埋まり（残膜）がなく、かつパターンの断面形状は
台形で、パターン形成性が良好であった。（実施例５）低融点ガラスＩを５０重量部、フィラーＢ
IIを１２．５重量部用いた無機微粒子成分とポリマーＩ
を２０重量部、アミン化合物IIIを５重量部用いて感光
性ペーストを作製した。この感光性ペーストの水分含有
量は０．４０重量％であり、感光性ペーストのゲル化や
粘度変化はなく、白濁化も観測されなかった。

【００９８】実施例１と同様にして作製した隔壁パター
ンには露光部の剥がれ、パターンの蛇行およびパターン
間の埋まり（残膜）がなく、かつパターンの断面形状は
台形で、パターン形成性が良好であった。（実施例６）低融点ガラスＩを５０重量部、フィラーＡ
IIを９．５重量部、フィラーＢとしてアエロジルシリカ
（平均粒子径０．０１２μｍ）を３．５重量部用いた無
機微粒子成分とポリマーIIを２０重量部、アミン化合物
Ｉを５重量部用いて感光性ペーストを作製した。この感
光性ペーストの水分含有量は０．４５重量％であり、感
光性ペーストのゲル化や粘度変化はなく、白濁化も観測
されなかった。

【００９９】実施例１と同様にして作製した隔壁パター
ンには露光部の剥がれ、パターンの蛇行およびパターン
間の埋まり（残膜）がなく、かつパターンの断面形状は
台形で、パターン形成性が良好であった。（比較例１）未乾燥の低融点ガラスＩとフィラーＡＩを
用いた他は実施例１を繰り返した。得られた感光性ペー
ストの水分含有量は１．５３重量％であり、経時的に白
濁すると共に粘度が上昇した。隔壁パターン形成性が劣
り、残膜が多かった。（比較例２）未乾燥のポリマーＩを用いた他は実施例１
を繰り返した。得られた感光性ペーストの水分含有量は
２．４５重量％であり、経時的に白濁すると共にゲル化
の傾向があった。隔壁パターン形成ができなかった。（比較例３）フィラーＢIII（水分含有量６．０重量
％）を用いた他は実施例１を繰り返した。得られた感光
性ペーストの水分含有量は０．９８重量％であった。こ
の感光性ペーストはしだいに白濁し、隔壁パターン形成
性が劣り、矩形状または台形状のパターンを得ることが
できなかった。

【０１００】

【発明の効果】本発明によれば、平均粒子径０．００３
〜０．０２μｍを有する酸化物微粒子を含有しても、白
濁、粘度上昇、ゲル化などの発生がなく、良好なパター
ン形成性を保持することができる感光性ペーストを安定
して提供することができので、プラズマディスプレイ
（ＰＤＰ）、プラズマアドレス液晶ディスプレイ（ＰＡ
ＬＣ）、電子放出素子（ＦＥＤ）または蛍光表示管（Ｖ
ＦＤ）を用いたディスプレイなどのディスプレイ用部材
として有用な隔壁パターン形成性に優れた隔壁材を提供
することができる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ０３Ｆ 7/038 ５０１Ｇ０３Ｆ 7/038 ５０１Ｈ０１Ｊ 9/02 Ｈ０１Ｊ 9/02 Ｆ 11/02 11/02 ＢＦターム(参考） 2H025 AA01 AA02 AA03 AB20 AC01 AD01 BC13 BC31 BC83 BC86 BC87 BJ00 CB14 CB43 CC08 CC20 FA29 4G062 AA09 BB01 BB05 DA04 DA05 DB03 DB04 DB05 DC03 DC05 DD01 DE03 DF01 EA03 EB01 EC01 ED03 EE03 EF01 EG03 FA01 FA10 FB01 FC01 FD01 FE01 FF01 FG01 FH01 FJ01 FK01 FL01 GA01 GA10 GB01 GC01 GD01 GE01 HH01 HH03 HH05 HH07 HH09 HH11 HH13 HH15 HH17 HH20 JJ01 JJ03 JJ05 JJ07 JJ10 KK01 KK03 KK05 KK07 KK10 MM12 MM23 NN32 PP01 PP02 PP04 PP06 PP13 PP15 5C027 AA09 5C040 GF18 KA04 KA16 KB03 KB09 KB15 KB19 KB28 MA03 MA24

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】無機微粒子と感光性有機成分からなる感光
性ペーストであって、該感光性ペースト中の水分含有量
が０．５重量％以下であることを特徴とする感光性ペー
スト。
【請求項２】該感光性有機成分が、（ａ）側鎖にカルボ
キシル基を有する重合体および（ｂ）一般式（１）で示
されるエチレン性不飽和基を有するアミン化合物を含有
することを特徴とする請求項１記載の感光性ペースト。【化１】
【請求項３】該無機微粒子の粒度分布が、０．００３〜
０．０２μｍの範囲内にピークを有することを特徴とす
る請求項１記載の感光性ペースト。
【請求項４】該無機微粒子が、低融点ガラス粉末５０〜
９０重量部と、平均粒子径が０．００３〜０．０２μｍ
のフィラーＢを３〜５０重量部と、平均粒子径が１．５
〜４μｍのフィラーＡを０〜３０重量部とからなること
を特徴とする請求項１または３記載の感光性ペースト。
【請求項５】該フィラーＢが、アルミナ、ジルコニア、
チタニア、酸化錫およびシリカの群から選ばれた少なく
とも一種を含むことを特徴とする請求項４記載の感光性
ペースト。
【請求項６】該フィラーＡが、コーディエライトおよび
高融点ガラス粉末から選ばれた少なくとも一種を含むこ
とを特徴とする請求項４記載の感光性ペースト。
【請求項７】該低融点ガラス粉末が、酸化物換算表記で
以下の組成からなることを特徴とする請求項４記載の感
光性ペースト。酸化リチウム、酸化ナトリウムまたは酸化カリウム３〜１５重量部酸化ケイ素５〜３０重量部酸化ホウ素２０〜４５重量部酸化バリウムまたは酸化ストロンチウム２〜１５重量部酸化アルミニウム１０〜２５重量部酸化マグネシウムまたは酸化カルシウム２〜１５重量部
【請求項８】請求項１〜７のいずれかに記載の感光性ペ
ーストを用いて形成した隔壁を有することを特徴とする
ディスプレイ用部材。