WO2004088705A1

WO2004088705A1 - プラズマディスプレイ用基板、プラズマディスプレイおよびその製造方法

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Publication number: WO2004088705A1
Application number: PCT/JP1998/005411
Authority: WO
Inventors: Yuichiro Iguchi; Yuukichi Deguchi; Michio Takagi; Takaki Masaki; Yuko Mikami
Original assignee: Yuichiro Iguchi; Yuukichi Deguchi; Michio Takagi; Takaki Masaki; Yuko Mikami
Priority date: 1998-12-01
Filing date: 1998-12-01
Publication date: 2004-10-14
Also published as: US6635992B1

Description

明細書ブラズマディスプレイ用基板、ブラズマデイスプレイおよびその製造方法技術分野

本発明は、大型のテレビやコンピュータモニタ一に用いられる、プラズマディスプレイ用基板、プラズマディスプレイおよびその製造方法に関する。背景技術 - プラズマディスプレイ（P D P ) は、液晶パネルに比べ、高速の表示が'可能であり、かつ大型化が可能であることから、 O A機器および広報表示装置などの分野で広く用いられている。また、高品位テレビジョンの分野などでの利用が非常に期待されている。この様な用途の拡大にともない、 P D Pとしては、微細で多数の表示セルを有するカラー P D Pが特に注目されている。

P D Pば、前面ガラス基板と背面ガラス基板との間に形成された放電空間内に対向して位置するァノードおよびカソ一ド電極間にプラズマ放電を生じさせ、この空間内に封入されているガスからの発光によつて衾示を行うものである。

P D Pは、それぞれに、電極、誘電体層などを設けた前面ガラス基板および背面ガラス基板を張り合わせて形成されるが、背面ガラス基板には、通常、複数個のス卜ライプ状の隔壁が形成されており、これら隣接する隔壁間に形成されたセルに、それぞれ R G Bのカラ一表示を行うための蛍光体層が形成されている。これらの蛍光体層は、通常、スクリーン印刷法により、それぞれのセルに、 R (赤色）発光蛍光体、 G (緑色）発光蛍光体および B (青色）発光蛍光体を塗布し、乾燥、焼成工程を経て、形成される。高輝度化のために、セルの底面のみならず側面にも蛍光体層を設けて蛍光面とすることも行われている（米国特許 5 6 7 4 5 5 3号明細書）。

上記の通り、 R G Bを表示するセルは、ストライプ状の隔壁間に形成されるが、隔壁は一定の同一ピッチで形成されている。従って、 R G Bの萤光体層の各サイズは、同じとなっている。現在、開発されている赤色発光蛍光体としては、 Y₂0_{3 :} E u、 YV0₄： E u. (Y、 Gd) B0₃： E u、 Y2 O 3 S ： E u、 γ-Ζ η₃ (Ρ0₄) ₂ : Μη、（Ζ η C d) S ： A g + I n ₂0₃などがある。

また、緑色発光蛍光体としては、 Z n₂G e0₂ : Mn、 B a A I ,₂0, 9： Mn Z n ₂S i 0₄ L a P 0₄： T b, Z n S : C u、 A l、 Z n S : Au、 Cu、 A I、（Z n Cd) S : Cu、 A l、 Z n ₂S i 0₄ : Mn, As、 Y₃A 1₅0_1Z : C e、 C eMg Aに 0₁₉ : T b、 G d 2O2S ： T b, Y₃A 1₅0₁₂ : Tb、 Z n 0 ： Z nなどがある。

更に、また、青色発光蛍光体としては、 S r₅ (P0₄) ₃C I : E u、 B aMg A l i 4〇23 : E u、 B aMgA 6〇27 : E u、 B aMg₂A I "024 : E u、 Z n S ： Ag+赤色顔料、 Y₂S i 0₃ ： C eなどがある。

これらの発光蛍光体の発光特性として、輝度、発光色および残光が重要であるが、完璧なものはなかなかない。特に、青色発光蛍光体の輝度は、赤色および緑色発光蛍光体の輝度に比べて低く、カラ一表示した場合、バランスのよいカラー画像が得られないという問題があり：現状では、青色発光蛍光体のレベルに合わせた設計が行われている。発明の開示 - 本発明は、バランスのよい、より明るいカラ一画像を表示することのできるプラズマディスプレイ用基板、プラズマディスプレイおよびその製造方法を提供する。

従来のプラズマディスプレイでは、一定の同一ピッチおよび幅を有する隔壁を用いているため、 R G B各色のセルのサイズは同一であり、カラ一表示のバランスをよくするため、輝度に関しては、最も低いレベルにある青色発光蛍光体に合わせている。そのため、赤色および緑色発光蛍光体のもつ能力が十分発揮されていない。より明るい画面を得るため、輝度の高い青色発光蛍光体の改良が討されているが、赤色および緑色発光蛍光体の輝度同じレベルの材料は、未だ開発されていない。

また、全面発光した場合に、青色の輝度が低くなリ、画面全体が黄味がかった色になる。このため、ブラウン管などで示される美しい白色が'再現できないと言う課題がある。

本発明は、カラー画面上での青色発光蛍光体の明るさを向上させ、赤色および緑色発光蛍光体の明るさをより多く発揮させて、全体のカラ一画像をより明るくすることおよび美しい白色を画面に実現することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明のプラズマディスプレイは、次の構成からなる。

ガラス基板上に、 R G B各色を発光する蛍光体層がストライプ状に形成され、かつ、該 R G B蛍光体層を仕切る隔壁が形成され、前記 R蛍光体層が形成されている隔壁間距離を P r、前記 B蛍光体層が形成されている隔壁間距離を P bとしたとき、

P b > P r

なる関係を有することを特徴とするプラズマディスプレイ用基板において、該隔壁の基板面内での高さばらつきが、隔壁の平均高さに対して ± 0 . 5〜土 6 μ ΓΠ の範囲であることを特徴とするプラズマディスプレイ用基板および

基板上にァドレス電極および放電空間を仕切るためのス卜ライプ状の隔壁を形成し、隣り合う隔壁間の溝に赤色、緑色、青色に発光する蛍光体層をストライプ状に形成したカラー表示プラズマディスプレイ用基板において、隣り合う 2本以上の溝に同じ色に発光する蛍光体層を形成したことを特徴とするプラズマデイスプレイ用基板さらに、これらの基板を背面板として用いるプラズマディスプレイ、並びに、これらの基板の製造法である。発明を実施するための最良の形態

プラズマディスプレイの隔壁の高さは、 8 0 u m~ 2 0 0 μ πιが'適している。隔壁のピッチ（Ρ ) は、 1 0 0 μ ιη≤Ρ≤ 5 0 0 μ mのものがよく用いられる。また、高精細プラズマディスプレイとしては、隔壁のピッチ（P ) が、 1 0 0 μ m≤ Ρ≤ 2 5 0 μ mであり、線幅（L ) は、 1 0 μ ηι≤Ι_≤5 0 μ mであることが好ましい。このような高精細な隔壁は、サンドブラスト法、または、感光性べ —ス卜法によって形成可能であるが、後者の感光性ペース卜法がより好ましい。隔壁を形成する素材としてば、ケィ素および/またはホウ素の酸化物を必須成分としたガラス材料が'好ましく用いられる。

従来、隔壁は、一定の同一ピッチをもってストライプ状に形成され、カラー表示のために、隣接するストライプ状の隔壁間に形成されるセルに、 RGB各色に発光する蛍光体が塗布され、カラー画素が形成されている。すなわち、 RGB 3 色をワンセットとする画素が、一定の同一ピッチで、ストライプ状に配列されている。例えば、隔壁のピッチが 1 50 μηιであれば、この値のピッチをもって、 RGBそれぞれの発光領域が、全て、同一のサイズで形成されている。

現在、実用されている代表的な蛍光体として、赤色発光には、 Iく X_ 504 A、緑色発光には、 P 1 -G 1 S、青色発光には、 KX—501 A (いずれも化成才プ卜ニクス（株）製）があるが、これらの蛍光体の中で、青色発光蛍光体 KX— 501 A (組成：（B a、 E u) Mg A I ，。0₁₇) の発光輝度は、赤色発光蛍光体 KX— 504A (組成：（Y、 Gd、 E u) B 0₃) や、緑色発光蛍光体 P 1— G 1 S (組成：（Z n、 Mn) ₂S i 0₄) に比べて、 1 / 4 ~ 1 Z 2のレベルである。

従来、このように各色の蛍光体の輝度に差があるため、同一サイズのセルで、この輝度の差を整合させていたが、この場合、赤や緑については、それらの発光輝度が十分に活用できていないという問題が内在していた。

本発明のプラズマディスプレイ用基板においては、特に赤色蛍光体層と青色蛍光体層の発光輝度の差が大きすぎることが問題であリ、青色蛍光体層が形成されるセルの隔壁間距離 P bを、赤色蛍光体層が形成されるセルの隔壁間距離 P「よリ、大きくすることにより、全体の輝度のレベルを高め、カラー画像をより明るくできることを見いだした。さらに、 P bを緑色蛍光体層が形成されるセルの隔壁間距離 P gよりも大きくすることにより、全体の輝度のレベルをよリ高めることができる。

また、 1く P bZP r≤4なる関係を有することにより、青色の発光輝度が低いという課題と、赤色の輝度が高く色温度が低下しゃすいという課題を同時に解決できる。また、 1く P bZP g≤2なる関係を有することにより、青色の輝度をさらに向上することができる。また、 1く P g/P r≤2なる関係を有することにより、眼の視感度の高い緑色の輝度を高くして、眼に感じる発光輝度がさらに高いブラズマディスプレイを作製することができる。

P bと P rの差を 5 μιη~200 μιη, より好ましくは 5 μηπ~ 1 00 にすることにより、発光の強い赤色蛍光体の特性と発光の弱い青色蛍光体の特性をバランスさせ、輝度と色バランスに優れたプラズマディスプレイを得ることができるので好ましい。また、 P bと P gの差も同様に 5 μιη~200 が好ましく、 5 μηι~1 Ο Ο μηιがより好ましい。差が小さすぎる場合には、従来に比べて十分な輝度向上効果が得られない。また、差が大きすぎる場合は、 RGBそれぞれを発光が'生じる放電空間の差が大きくなりすぎるため、駆動が'難しくなる。例えば、ピッチ 1 50 μηιの等間隔の隔壁を形成する場合を前提として、本発明の提案を実行するには、 P b = 200 mとし、 P r = P g = 1 25 μ ΓΠとする配分が可能である。この場合の隔壁間距離の差は、 75 μπΊである。等間隔の場合の 1 50 μηιピッチで形成された蛍光体層に比べ、高い輝度が得られるので、それに整合させて、他の蛍光体の輝度を高める駆動回路設計が可能になり、より明るいカラー画像のプラズマディスプレイを得ることが'可能になる。

但し、プラズマディスプレイパネルを駆動回路で駆動して表示を行う際、赤色、青色、緑色の各色に発光する蛍光体層を形成した放電空間の体積が異なるため、駆動電圧マージンが十分確保できず、画面表示が不正確になる場合が多 t、。

し力、し、隔壁の高さ精度を向上することにより、正確な表示を行うことができる。つまり、該隔壁の基板面内での高さばらつきが'、隔壁の平均高さに対して土 0. 5〜土 6 μπιの範囲にすることにより、正確な表示が'可能になる。高さばらつきが土 0. 5 01以下（ー0. 5〜0. 5 um) の範囲では、パネルの作製が困難であるだけでなく、パネルにガスを封入する際に不純ガスが残りやすい、また、 ±6 μπι以上（隔壁の平均高さよりも、 6 μ ΓΠ低い隔壁や 6 高い隔壁がある場合）では、表示を行っている隣のセルに対して放電が漏れるクロストークが生じるため、正確な表示が困難になる。

また、プラズマディスプレイの色純度を向上する効果は、基板上にアドレス電極および放電空間を仕切るためのストライプ状の隔壁を形成し、隣り合う隔壁間の清に赤色、緑色、青色に発光する蛍光体層をストライプ状に形成したカラー表示プラズマディスプレイ用基板において、隣り合う 2本以上の溝に同じ色に発光する蛍光体層を形成したことを特徴とするプラズマディスプレイ用基板によっても得ることができる。

つまり、青色、赤色、緑色に発光するそれぞれの蛍光体を形成する面積を変える方法として、隔壁間の距離をそれぞれ変えるだけでなく、青や緑の萤光体層を隣り合う隔壁間に形成することにより、色純度を向上できるだけでなく、蛍光体形成面積を増大させることによる発光輝度向上が可能になる。

特に、青色蛍光体層を隣り合う隔壁間に形成することにより、発光輝度の低い青色蛍光体の形成面積が増大できるために、輝度を低下させることなく、色バランスを向上できる。

本発明のプラズマディスプレイ用基板は、銀や銅、クロムで形成される電極、ガラス成分からなる誘電体上に隔壁、 R G Bの各色を発光する蛍光体層を形成して作製できる。

このような隔壁の形成は、無機微粒子と光反応性化合物を含む有機成分を必須成分とする感光性ペース卜を用いて行うのが、製作工程の簡便さ、高精度のバタ —ン加工が実現できる点から、好ましい。

無機微粒子としては、ガラス、セラミック（アルミナ、コーディライトなど）などが、透明性に優れるため、好ましい。特に、ケィ素酸化物、ホウ素酸化物、または、アルミニゥ厶酸化物を必須成分とするガラスゃセラミックスが'好まし t、。無機微粒子の粒子径は、作製しょうとするパ夕一ンの形状を考慮して選ばれるが、体積平均粒子径（D 5 0 ) が、 1 . 5 μ ηι以上であることが、パターン形成上、好ましく、 2 μ ιη以上であることがより好ましい。ただし、 D 5 0力 0 μ m以上になると、パターン形成時に、表面凸凹が生じるため、 D 5 0が、 1 . 5 〜1 0 μ ΓΤΐであることが好ましく、より好ましくは、 2〜8 μ ΓΠである。また、比表面積 0. 2 ~ 3

のガラス微粒子を用いることが、パターン形成において、特に好ましい。

また、無機微粒子として、形状が球状である無機微粒子を用いることによって、高アスペクト比のパターニングが可能となる。具体的には、球形率 8 0個数％以上であることが好ましい。より好ましくは、平均粒子径 1 . 5 μ Γη〜4 μ Γη、比表面積 0： 5〜 1 . 5 m ²/ g、球形率 9 0個数％以上である。ここで、球形率とは、顕微鏡観察において、球形もしくは楕円形の形状を有する粒子の割合であり、光学顕微鏡において、円形，楕円形として観察される。

隔壁は、熱軟化点の低いガラス基板上にパターン形成されるため、無機微粒子として、熱軟化温度が' 3 5 0 °C〜6 0 0 °Cのガラス微粒子を 6 0重量％以上含む無機微粒子を用いることが好ましい。熱軟化温度が 6 0 0 °C以上のガラス微粒子やセラミツク微粒子を添加することによって、焼成時の収縮率を抑制することができるが、その量は、 4 0重量％以下が好ましい。

光線透過率が高いガラス微粒子を用いることによって、より正確な形状のパ夕 —ンを得ることができる。この場合に使用する光線透過率の高いガラス微粒子としては、ガラス微粒子を溶融して厚み 4 0 μ ηπのガラス板を作製した後、露光する光の波長、特に、 3 6 5 n m、 4 0 5 n m、 4 2 9 n m、 4 3 6 n m _N 4 8 8 n mのいずれかの波長での光線透過率を測定し、全光線透過率が、 7 0 %以上のものが好ましく、 8 0 %以上のものがより好ましい。

また、焼成時に、ガラス基板にそりを生じさせないためには、線膨脹係数が 5 0〜9 0 X 1 0— ⁷、更には、 6 0〜9 0 X 1 0 ⁷のガラス微粒子を用いることが好ましい。

ガラス微粒子中の組成としては、酸化ケィ素は、 3〜6 0重量％の範囲で配合されていることが好ましく、 3重量％未満の場合は、ガラス層の緻密性、強度や安定性が低下し、また、熱膨脹係数が所望の値から外れ、ガラス基板とのミスマツチが起こりやすい。また、 6 0重量％以下にすることによって、熱軟化点が低くなり、ガラス基板への焼き付けが可能になるなどの利点がある。

酸化ホウ素は、 5〜5 0重量％の範囲で配合することによって、電気絶縁性、強度、熱膨脹係数、絶縁層の緻密性などの電気、機械および熱的特性を向上することができる。 5 0重量％を越えるとガラスの安定性が低下する。

このようなガラス微粒子としては、酸化ビスマス、酸化鉛、酸化亜鉛のうちの少なくとも 1種類を 5〜5 0重量％含むガラス微粒子を用いることによって、ガラス基板上にパターン加工できる温度特性を有するガラスペース卜を得ることができる。特に、酸化ビスマスを 5〜5 0重量％含有するガラス微粒子を用いると、ペース卜のポッ卜ライフが長いなどの利点が得られる。

ビスマス系ガラス微粒子としては、次の組成を含むガラス粉末を用いることが好ましい。

酸化ビスマス 1 0 4 0重量部

酸化ケィ素 . 3 5 0重量部

酸化ホウ素 1 0 4 0重量部

酸化バリウム 8 2 0重量部

酸化アルミニウム 1 0 3 0重量部

また、酸ィ匕リチウム、酸ィ匕ナトリウム、酸化カリウムのうち、少なくとも 1種類を 3〜2 0重量％含むガラス微粒子を用いてもよいが、この場合、リチウム、ナトリゥ厶、力リゥ厶などのアル力リ金属の酸ィ匕物の添加量を 2 0重量％以下、好ましくは、 1 5重量％以下にすることによって、ペーストの安定性を向上することができる。

この場合の具体的なガラス微粒子としては、次に示す組成を含むガラス粉末を用いることが好ましい。

酸化リチウム 2 1 5重量部

酸化ケィ素 1 5 5 0重量部

酸化ホウ素 1 5 4 0重量部

酸化バリウム 2 1 5重量部

酸化アルミニウム 6 2 5重量部

また、上記組成で、酸化リチウムの代わりに、酸化ナトリウム、酸ィ匕カリウムを用いてもよいが、ペース卜の安定性の点で、酸化リチウムが好ましい。

また、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛のような金属酸化物と酸化リチウム，酸化ナ卜リゥ厶、酸化力リゥ厶のようなアル力リ金属酸化物の両方を含有するガラス微粒子を用 tゝれば、よリ低いアル力リ含有量で、熱軟化温度や線膨脹係数を容易にコントロールすることができる。

また、ガラス微粒子中に、酸化アルミニウム、酸化バリウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ジルコニウムなど、特に、酸化アルミニウム、酸化バリウム、酸化亜鉛を添加することにより、加工性を改良することができるが、熱軟化点、熱膨脹係数、屈折率の制御の点からは、その含有量は、 40重量％以下が好ましく、より好ましくは 25重量％以下である。

一般に、絶縁体として用いられるガラスは、 1. 5〜1 · 9程度の屈折率を有している。有機成分の平均屈折率が、無機微粒子の平均屈折率と大きく異なる場合は、無機粒子と感光性有機成分の界面での反射、散乱が大きくなり、全光線透過率、直進透過率を向上することが困難であり、高アスペクト比、高精度のパ夕ーンが得られない。 .

一般的な有機成分の屈折率は、 1. 45〜1. 7であるため、無機微粒子と有機成分の屈折率を整合させるためには、無機粒子の平均屈折率を 1. 5-1. 7 5にすることが好ましい。さらに好ましくは、屈折率 1. 5〜1. 65にすることによって、有機成分の選択の幅が広がる利点がある。

無機微粒子として、酸化ホゥ素や酸化ケィ素を多く含有するガラスやセラミツクを用いた場合は、屈折率が比較的小さいため、有機成分として、 1. 5〜 1. 6のものを用いることによって、より簡便に、屈折率を整合させることができる。し力、し、プラズマディスプレイの隔壁のパターン形成に用いるガラス微粒子としては、ガラス基板上での焼成を行う必要があるため、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛を含有するガラス微粒子を用いる場合が多いが、これらの金属を含有するガラスは、屈折率が 1. 65以上になる場合が多い。

そのため、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛の含有量を 5〜1 6重量％に調整する方法があるが、酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸化カリウムなどのアル力リ金属の酸化物を合計で 5〜 20重量％含有するガラス微粒子を用いることによつて、平均屈折率をコントロールしやすくなリ、ガラス基板上に焼き付け可能な熱軟化温度を有し、平均屈折率を 1. 5〜1. 65にすることができ、有機成分との屈折率差を小さくすることが容易になる。

感光性ペース卜中において使用される有機成^とは、感光性の有機物を含むぺ —スト中の有機成分（ペース卜から無機成分を除いた部分）のことである。

有機成分についても、光線透過率が高いことが好ましい。露光する光の波長、特に、 365 n m、 405 n m、 420 n m、 436 n m、 488 nmのいずれかの波長で測定した厚み 40 μηιの全光線透過率が、 70%以上であることが好ましい。

有機成分は、感光性モノマ、感光性才リゴマ、感光性ポリマのうちの少なくとも 1種類から選ばれた感光性成分を含有し、更に、必要に応じて、バインダ、光重合開始剤、光吸収剤、増感剤、增感助剤、重合禁止剤、可塑剤、増粘剤、有機溶媒、酸化防止剤、分散剤、有機あるいは無機の沈殿防止剤ゃレべリング剤などの添加剤を加えることも行われる。

感光性成分としては、光不溶化型のものと光可溶化型のものがあり、代表的なものとして、次の（A ) 〜（E ) があげられる。

光不溶化型のものとしては、

( A) 分子内に不飽和基などを 1つ以上有する官能性のモノマ、オリゴマ、ポリマを含有するもの、 '

( B ) 芳香族ジァゾ化合物、芳香族アジド化合物、有機ハロゲン化合物などの感光性化合物を含有するもの、あるいは、

( C ) ジァゾ系ァミンとホルムアルデヒドとの縮合物など、いわゆるジァゾ樹脂が'ある。

光可溶化型のものとしては、

( D ) ジァゾ化合物の無機塩や有機酸とのコンプレ,ックス、キノンジァゾ'類含有するもの、あるいは、

( E ) キノンジァゾ類を適当なポリマバインダと結合させた、例えば、フエノ —ルノボラック樹脂のナフトキノン一 1 , 2—ジアジド一 5—スルフォン酸エステルがある。

本発明において用いる感光性成分は、上記のすべてのものを用いることができる。感光性ペース卜として、無機微粒子と混合して簡便に用いることができる感光性成分としては、上記（A) のものが好ましい。

感光性モノマとしては、炭素—炭素不飽和結合を含有する化合物で、その具体的な例として、単官能および多官能性の（メタ）ァクリレー卜類、ビニル系化合物類、ァリル系化合物類などを用いることができる。これらは 1種または 2種以上使用することができる。

これら以外に、不飽和カルボン酸などの不飽和酸を加えることによって、感光後の現像性を向上することができる。不飽和カルボン酸の具体的な例としては、アクリル酸、メ夕クリル酸、ィタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、または、これらの酸無水物などが挙げられる。

また、炭素—炭素 2重結合を有する化合物のうちの少なくとも 1種類を重合して得られるオリゴマゃポリマを用いることができる。重合する際に、これらのモノマの含有率が， 1 0重量％以上、さらに好ましくは 3 5重量％以上になるように、他の感光性のモノマと共重合することができる。

不飽和力ルボン酸などの不飽和酸を共重合することによって、感光後の現像性を向上することができる。不飽和カルボン酸の具体的な例として、アクリル酸、メ夕クリル酸、ィタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、または、これらの酸無水物などが挙げられる。こうして得られた側鎖にカルボキシル基などの酸性基を有するポリマ、もしくは、才リゴマの酸価（A V ) は、 5 0〜 1 8 0の範囲が好ましく、 7 0〜 1 4 0の範囲がよリ好ましい。

以上に示したポリマもしくは才リゴマに対して、光反応性基を側鎖または分子末端に付加させることによって、感光性をもつ感光性ポリマや感光性才リゴマとして用いることができる。好ましい光反応性基は、エチレン性不飽和基を有するものである。エチレン性不飽和基としてば、ビニル基、ァリル基、アクリル基、メ夕クリル基などが'挙げられる。

このような側鎖のォリゴマゃポリマへの付加は、ポリマ中のメルカプ卜基、ァミノ基、水酸基やカルボキシル基に対して、グリシジル基やイソシァネート基を有するエチレン性不飽和化合物やアクリル酸クロライド、メ夕クリル酸クロライドまたはァリルクロライドを反応させて行うことができる。

グリシジル基を有するエチレン性不飽和化合物としては、ァクリル酸グリシジル、メ夕クリル酸グリシジル、ァリルグリシジルェ一テル、ェチルアクリル酸グリシジル、クロ卜ニルグリシジルエーテル、クロトン酸グリシジルエーテル、ィソクロトン酸グリシジルエーテルなどが挙げられる。

イソシァネー卜基を有するエチレン性不飽和化合物としては、（メタ）ァクリロイルイソシアナート、（メタ）ァクリロイルェチルイソシァネー卜など力ある。また、グリシジル基やイソシァネ一卜基を有するエチレン性不飽和化合物ゃァクリル酸クロライド、メ夕クリル酸クロライドまたはァリルクロライドは、ポリマ中のメルカプト基、アミノ基、水酸基やカルボキシル基に対して、 0 · 0 5〜 1 モル等量付加させることが好ましい。

バインダとしては、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、メタクリル酸エステル重合体、アクリル酸エステル重合体、アクリル酸エステルーメタクリル酸エステル共重合体、 α—メチルスチレン重合体、ブチルメタクリレー卜樹脂などが挙げられる。

光重合開始剤の具体的な例として、ベンゾフヱノン、 0 -ベンゾィル安息香酸メチル、 4， 4一ビス（ジメチルァミノ）ベンゾフエノン、 4 , 4—ビス（ジェチルァミノ）ベンゾフ Iノン、 4 , 4—ジクロロベンゾフヱノン、 4—ベンゾィル一 4—メチルフエ二ルケトン、ジベンジルケトン、フルォレノン、 2 , 3—ジェトキシァセ卜フエノン、 2 , 2—ジメ卜キシー 2—フエニル一 2—フエ二ルァセ卜フエノン、 2—ヒドロキシ一 2—メチルプロピ才フエノン、 ρ - t—ブチルジクロロアセ卜フエノン、チ才キサントン、 2—メチルチオキサントン、 2—クロ口チ才キサントン、 2—イソプロピルチ才キサントン、ジェチルチオキサントン、ベンジル、ベンジルジメチルケ夕一ル、ベンジルメトキシェチルァセタール、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、アン卜ラキノン、 2— t —ブチルアン卜ラキノン、 2—アミノアントラキノン、 β—クロルアントラキノン、アン卜ロン、ベンズアン卜ロン、ジベンズスベロン、メチレンアン卜ロン、 4—アジドベンザルァセトフ Iノン、 2 , 6—ビス（ρ —アジドべンジリデン）シクロへキサン、 2 , 6—ビス（ρ—アジドベンジリデン）一 4— メチルシクロへキサノン、 2—フエ二ルー 1 , 2—ブ夕ジオン一 2— ( 0—メ卜キシカルボニル）才キシ厶、 1—フヱニルプロパンジ才ン— 2— ( 0—エトキシカルボニル）才キシ厶、 1， 3—ジフエニルプロパン卜リオン— 2— ( 0—エトキシカルボニル）才キシ厶、 2—メチル— [ 4一（メチルチオ）フヱニル] 一 2 —モルフォリノ一 1 —プロパノン、ナフ夕レンスルフォニルクロライド、キノリンスルホニルクロライド、 Ν—フエ二ルチオァクリドン、 4， 4—ァゾビスイソプチロニ卜リル、ジフエニルジスルフイド、ベンズチアゾールジスルフイド、トリフエニルホスフィン、カンファーキノン、四臭素化炭素、卜リブロ乇フエニルスルホン、過酸化べンゾィル、および、ェ才シン、メチレンブル一などの光還元性の色素とァスコルビン酸、卜リエタノ一ルァミンなどの還元剤の組み合わせなどが挙げられる。

本発明では、これらを 1種または 2種以上使用することができる。光重合開始剤は、感光性成分に対し、好ましくは 0 . 0 5〜 1 0重量％の範囲で添加され、よリ好ましくは、 0 . 1 ~ 5重量％の範囲で添加される。重合開始剤の量が'少な過ぎると、光感度が不良となり、光重合開始剤の量が多すぎれば、露光部の残存率が小さくなリ過ぎる恐れがある。

光吸収剤を添加するこ：も有効である。紫外光や可視光の吸収効果が高い化合物を添加することによって、高アスペクト比、高精細、高解像度が得られる。光吸収剤としては、有機系染料からなるものが好ましく用いられる、具体的には、ァゾ'系染料、アミノケトン系染料、キサンテン系染料、キノリン系染料、ァン卜ラキノン系染料、ベンゾフヱノン系染料、ジフヱ二ルシアノアクリレー卜系染料、卜リアジン系染料、 P—ァミノ安息香酸系染料などが使用できる。有機系染料は、光吸収剤として添加した場合にも、焼成後の絶縁膜中に残存しないので、光吸収剤による絶縁膜特性の低下を少なくできるので好ましい。これらの中でも、ァゾ系およびべンゾフヱノン系染料が好ましい。

有機染料の添加量は、 0 . 0 5〜5重量％が好ましい。 0 . 0 5重量％以下では、光吸収剤の添加効果が減少し、 5重量％を越えると、焼成後の絶縁腠特性が低下するので好ましくない。より好ましくは、 0 . 0 5〜 1重量％である。

有機系染料からなる光吸収剤の添加方法の一例を挙げると、有機系染料を予め有機溶媒に溶解した溶液を作製し、それをペース卜作製時に混練する方法や、該有機溶媒中に無機微粒子を混合後、乾燥する方法がある。この方法によって無機微粒子の個々の粉末表面に有機の膜をコー卜した、いわゆるカプセル状の粉末が作製できる。

増感剤は、感度を向上させるために添加される。増感剤の具体例としては、 2 , 4一ジェチルチオキサントン、イソプロピルチ才キサントン、 2， 3 —ビス（4 —ジェチルァミノベンザル）シクロペン夕ノン、 2 , 6 —ビス（4—ジメチルァミノベンザル）シクロへキサノン、 2 , 6 —ビス（4ージメチルァミノベンザル） — 4—メチルシクロへキサノン、ミヒラーケトン、 4， 4一ビス（ジェチルアミノ）ベンゾフエノン、 4， 4—ビス（ジメチルァミノ）カルコン、 4 , 4一ビス (ジェチルァミノ）カルコン、 p—ジメチルァミノシンナミリデンインダノン、 p—ジメチルァミノべンジリデンインダノン、 2— （p—ジメチルァミノフエ二ルビ二レン）イソナフトチアゾ一ル、 1 , 3—ビス（4—ジメチルァミノフエ二ルビ二レン）イソナフトチアゾ一ル、 1 , 3—ビス（4ージメチルァミノベンザル）アセトン、 1 , 3—カルボニルビス（4—ジェチルァミノベンザル）ァセトン、 3， 3—カルボニルビス（7—ジェチルァミノクマリン）、 N—フエ二ルー N—ェチルエタノールァミン、 N—フエニルエタノールァミン、 N，トリルジェ夕ノールァミン、ジメチルァミノ安息香酸イソァミル、ジェチルァミノ安息香酸イソァミル、 3—フエニル _ 5—ベンゾィルチオテトラゾール、 1一フエニル— 5—ェ卜キシカルボ二ルチオテ卜ラゾールなどが挙げられる。これらを 1種または 2種以上使用することができる。

なお、増感剤の中には光重合開始剤としても使用できるものがある。増感剤を感光性ペーストに添加する場合、その添加量は、感光性成分に対して通常 0 . 0 5〜 1 0重量％、より好ましくは 0 . 1〜 1 0重量％である。増感剤の量が'少な過ぎれば、光感度を向上させる効果が発揮されず、増感剤の量が多過ぎれば、露光部の残存率が小さくなり過ぎる恐れがある。

感光性ペース卜には、その溶液の粘度を調整したい場合、有機溶媒を加えてもよい。このとき使用される有機溶媒としては、メチルセ口ソルブ、ェチルセロソルブ、ブチルセ口ソルブ、メチルェチルケトン、ジォキサン、アセトン、シクロへキサノン、シクロペン夕ノン、イソブチルアルコール、イソプロピルアルコ一ル、テ卜ラヒドロフラン、ジメチルスルフォキシド、 γ—ブチルラクトン、ブ口モベンゼン、クロ口ベンゼン、ジブロモベンゼン、ジクロ口ベンゼン、ブロ乇安息香酸、クロ口安息香酸などやこれらのうちの 1種以上を含有する有機溶媒混合物が用いられる。

有機成分の屈折率とは、露光により感光性成分を感光させる時点におけるぺ一スト中の有機成分の屈折率のことである。つまり、ペーストを塗布し、乾燥工程後に露光を行う場合は、乾燥工程後のペース卜中の有機成分の屈折率のことである。例えば、ペース卜をガラス基板上に塗布した後、 5 0〜1 0 0 °〇で1〜3 0 分乾燥して屈折率を測定する方法などがある。

有機成分の屈折率としては、 1 . 5 ~ 1 . 6 5の範囲であることが'好ましく、より好ましくは、 1 . 5〜1 . 6である。特に、ガラス微粒子の平均屈折率が 1 . 5 5〜 6 5の範囲、有機成分の平均屈折率が 1 , 5〜 1 . 6の場合が、ガラス微粒子および有機成分の選択の幅が広がると共に、直進透過率の向上を行い易いという利点がある。

ただし、ガラス基板上に焼き付けを行うことができる酸化ビスマスや酸化鉛を 1 0重量％以上含有するガラス粉末は、屈折率が 1 . 6以上になる場合があり、この場合は、有機成分の屈折率を高くする必要がある。この場合、有機成分中に高屈折率成分を導入する必要があり、有機成分中に硫黄原子、臭素原子、ヨウ素原子、ナフタレン環、ビフヱニル環、アントラセン環、カルバゾ一ル環を有する化合物を 1 0重量％以上用いることが高屈折率化に有効である。ただし、これら化合物の種類によっては、光吸収による透過率低下を招く場合があるので、 2 0 重量％以下にすることが好ましい。また、ベンゼン環を 2 0重量％以上含有することによって、高屈折率化ができる。特に、硫黄原子もしくはナフ夕レン環を 1 0重量％以上含有することによって、より簡便に有機成分を高屈折率化することができる。ただし、含有量が 6 0重量％以上になると光感度が低下するという問題が発生するので、硫黄原子とナフ夕レン環の合計含有量が 1 0〜6 0重量％の範囲であることが好ましい。

有機成分の屈折率を高くする方法としては、感光†生モノマやバインダ中に硫黄 ^子、ナフタレン環を持つ化合物を用いることが有効である。

感光性ペーストは、通常、無機微粒子、光吸収剤、感光性ポリマ、感光性モノマ、光重合開始剤、ガラスフリットおよび溶媒などの各種成分を所定の組成となるように調合した後、 3本ローラや混練機で均質に混合、分散し作製する。

ペース卜の粘度は、無機微粒子、増粘剤、有機溶媒、可塑剤および沈殿防止剤などの添加割合によつて適宜調整されるが、その範囲は、 2 0 0 0 ~ 2 0万 c p s (センチ ·ボイズ）である。例えば、ガラス基板への塗布をスクリーン印刷法以外にスピンコー卜法で行う場合は、 2 0 0 ~ 5 0 0 0 c p sが好ましい。スクリ一ン印刷法で 1回塗布して膜厚 1 0 - 2 0 μ mを得るには、 5万〜 2 0万 c p sが好ましい。ブレードコ一夕一法やダイコ一夕一法などを用いる場合は、 2 0 0 0〜2 0 0 0 0 c p sが好ましい。

感光性ペース卜を用いた隔壁形成は、次のように行われる。

ガラス基板に、感光性ペース卜を塗布する。塗布方法としては、スクリーン印刷法、パ'一コ一ター、口一ルコ一夕一、ダイコ一夕一、ブレードコ一夕一など一般的な方法を用いることができる。塗布厚みは、塗布回数、スクリーンのメッシュ、ペーストの粘度を選ぶことによって調整でぎる。特に塗布する際の厚み精度を平均厚みに対して、 ± 1 0 μ ιη以下にすることによって、隔壁形成後に隔壁の高さ均一性が向上する。

ここで、ペース卜をガラス基板上に塗布する場合、ガラス基板と塗布膜との密着性を高めるために、予め、ガラス基板の表面処理を行うことができる。表面処理液としては、シランカップリング剤、例えば、ビニルトリクロロシラン、ビニル卜リメトキシシラン、ビニル卜リエ卜キシシラン、卜リス（2—メ卜キシェ卜キシ）ビニルシラン、 γ—グリシドキシプロピル卜リメ卜キシシラン、 γ— (メタクリロキシプロピル）卜リメトキシシラン、 γ— ( 2—アミノエチル）ァミノプロビルトリメ卜キシシラン、 γ—クロ口プロピル卜リメ卜キシシラン、 γ—メルカプトプロピル卜リメ卜キシシラン、 γ—ァミノプロピル卜リエ卜キシシランなど、あるいは有機金属例えば、有機チタン、有機アルミニウム、有機ジルコ二ゥ厶などである。シランカップリング剤あるいは有機金属を有機溶媒、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノェチルエーテル、メチルアルコール、エチルアルコール、プロピルアルコール、ブチルアルコールなどがあり、 0 . 1〜5 %の濃度に希釈したものを使用するのが好ましい。次に、この表面処理液をスピナ一などでガラス基板上に均一に塗布した後に、 8 0〜1 4 0 °Cで 1 0〜6 0分間乾燥することによつて表面処理が完了する。感光性ペース卜塗布した後、露光装置を用いて露光を行う。露光は、通常のフ才トリソグラフィで行われるように、フォ卜マスクを用いてマスク露光する方法力一般的である。用いるマスクは、感光性有機成分の種類によって、ネガ'型もしくはポジ型のどちらかを選定する。また、フォトマスクを用いずに、レーザ光などで直接描画する方法を用いても良い。

フォ卜マスクを用いて露光する際に、隔壁ピッチに対応した開口を有するフォ卜マスクを用いるが、この場合に、 R G B各色の蛍光体を塗布する隔壁間隔に所' 定の値の差がつくように露光することにより、本発明の用件を満たす隔壁を形成することができる。

露光装置としては、ステッパー露光機、プロキシミティ露光機などを用いることができる。また、大面積の露光を行う場合は、ガラス基板上に感光性ペース卜を塗布した後に、搬送しながら露光を行うことによって、小さな露光面積の露光機で、大きな面積を露光することができる。

この際使用される活性光源は、例えば、可視光線、近紫外線、紫外線、電子線、 X線、レーザ光などが挙げられる。これらの中で紫外線が最も好ましく、その光源として、例えば、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ、殺菌灯などが使用できる。これらのなかでも超高圧水銀灯が好適である。露光条件は、塗布厚みによって異なるが、 1〜1 0 O mW/ c m ²の出力の超高圧水銀灯を用いて 0 . 5〜3 0分間露光を行う。

塗布した感光性ペース卜表面に、酸素遮断膜を設けることによって、パターン形状を向上することができる。酸素遮断膜の一例としては、ポリビニルアルコールゃセルロースなどの膜、あるいは、ポリエステルなどのフイルムが挙げられる。ポリビニルアルコール膜め形成方法は、濃度が 0 . 5〜 5重量％の水溶液をスピナ一などの方法で、基板上に均一に塗布した後に、 7 0〜9 0 °Cで 1 0〜6 0 分間乾燥することによって水分を蒸発させて行う。また、この際、水溶液中にァルコールを少量添加すると濡れ性が良くなリ蒸発が容易になるので好ましい。さらに好ましいポリビニルアルコールの溶液濃度は、 1〜3重量％でぁる。この範囲にあると、感度が一層向上する。ポリビニルアルコール塗布によって感度が向上するのは、次の理由が推定される。すなわち、感光性成分が光反応する際に、空気中の酸素が反応を妨害すると推定され、この理由によれば、ポリビニルアルコール膜があると余分な酸素を遮断できるので露光時に感度が向上するものと考えられ、ポリビニルアルコール膜の存在は、好ましいと云える。

ポリエステルゃポリプロピレン、ポリエチレンなどの透明なフイルムを用いる場合は、塗布後の感光性ペーストの上に、これらのフイルムを張り付けて用いる方法がある。

露光後、露光部分と非露光部分の現像液に対する溶解度差を利用して、現像を行うが、この場合、浸漬法ゃスプレー法、ブラシ法で行う。

現像液は、感光性ペース卜中の有機成分が溶解可能である有機溶媒を用いる。また、該有機溶媒にその溶解力が失われない範囲で水を添加してもよい。感光性ペース卜中にカルボキシル基などの酸性基をもつィヒ合物が存在する場合、アル力リ水溶液で現像できる。アルカリ水溶液としては、水酸化ナトリウムや炭酸ナ卜リウ厶、水酸化カルシウム水溶液などが使用できるが、有機アルカリ水溶液を用いた方が焼成時にアル力リ成分を除去しやすいので好ましい。

有機アルカリとしては、一般的なァミン化合物を用いることができる。具体的には、テトラメチルアンモニゥ厶ヒドロキサイド、トリメチルベンジルアンモニゥ厶ヒドロキサイド、モノエタノールァミン、ジエタノールァミンなどが挙げられる。アルカリ水溶液の濃度は、通常、 0 . 0 1〜1 0重量％、より好ましくは 0 . 1〜5重量％でぁる。アルカリ濃度が低過ぎれば可溶部が除去されず、アルカリ濃度が高過ぎれば、パターン部を剥離させ、また、非可溶部を腐食させる恐れがあり良くない。また、現像時の現像温度は、 2 0〜5 0 °Cで行うことが工程管理上好ましい。

次に、焼成炉にて焼成を行う。焼成雰囲気や温度は、ペース卜や基板の種類によって異なるが、空気中、窒素、水素などの雰囲気中で焼成する。焼成炉としては、バッチ式の焼成炉ゃベル卜式の連続型焼成炉を用いることができる。焼成温度ば、 4 0 0〜： I 0 0 0 °Cで行う。ガラス基板上にパターン加工する場合は、 4 5 0〜 6 2 0 Cの温度で 1 0〜 6 0分間保持して焼成を行う。

すなわち、好ましくは、隔壁は、感光性ペース卜を全面塗布する工程、隔壁状パターンに露光する工程、および、現像液に溶解する部分を現像で取り除く工程を経た後に、 4 5 0 °C〜6 2 0 °Cで焼成する工程をこの順で含む工程によって得られる。隔壁を形成した後に、 R G B各色に発光する蛍光体層を形成する。蛍光体粉末、有機バインダーおよび有機溶媒を主成分とする蛍光体ペース卜を所定の隔壁間に形成することにより、蛍光体層を形成することができる。蛍光体べ一ス卜を所定の隔壁間に形成する方法としては、スクリーン印刷法によりパターン印刷する方法や所定のピッチの吐出孔を有する口金から萤光体ペーストを所定の隔壁間に吐出して形成する方法を用いることができる。また、有機バインダーとして、前述の感光性を有する有機成分を用いることにより、感光性蛍光体ペース卜を作製して、フォ卜リソグラフィ一法により各色蛍光体層を戸 J定の場所に形成することができる。

R蛍光体層の厚みを T r、 G蛍光体層の厚みを Tg、および、 B萤光体層の厚みを Tbとしたとき、

1 0 μιτι≤Τ r <T b≤50 ym

1 0 m≤Tg<Tb≤50 mn

なる関係を有することにより、より本発明の効果を発揮できる。つまり、発光輝度の低い青色について、塗布面積を広げるだけでなく、厚みを緑色、赤色よりも厚くすることにより、より色バランスに優れた（色温度の高い）プラズマデイスプレイを作製できる。この場合の蛍光体層の厚みとしては、 1 Ο μιτιよりも薄くなると十分な輝度を得ることができなにくい。また、厚みが 50 μΓΠよりも厚くなると放電空間が狭くなり輝度が低下しやすいという問題が生じる。この場合の蛍光体層の厚みは、隣り合う隔壁の中間点での形成厚みとして測定する。つまり、放電空間（セル内）の底部に形成された蛍光体層の厚みとして測定する。

蛍光体層を形成レた該基板を必要に応じて、 400〜 550 °Cで焼成する事により、本発明のプラズマディスプレイ用基板を作製することができる。

該プラズマディスプレイ用基板と前面基板、すなわち、所定のパターンで透明電極、バス電極、誘電体、保護膜（MgO) を形成したガラス基板を封着後、基板の間隔に形成された空間に、ヘリウム、ネオン、キセノンなどから構成される放電ガスを封入後、駆動回路を装着してプラズマディスプレイを作製できる。以下、実施例を用いて、本発明を更に具体的に説明する。但し、本発明は、該実施例に限定されるものではない。

実施例 1

450 mmx 350 mmのガラス基板（厚み 2. 8mm, 旭硝子社製 PD 20 0) 上に、感光性銀ペース卜を用いて、 1 920本のァドレス電極を形成した。電極は、ピッチ 240、 220、 200 μηιの間隔を繰り返す形で、線幅 60 μ mのストライプ電極を形成した。次に、電極上にガラス粉末 50重量％、酸化チタン 1 5%、ェチルセルロース 20%、溶媒 1 5 %からなるガラスペース卜をスクリ一ン印刷法で塗布した後に、 1 00 °Cで 20分乾燥し、さらに、 570 °Cで焼成して誘電体層を形成した。

該基板上に、感光性ペース卜法で黒色の隔壁を形成した。形成法は以下のとおリである。溶媒（γ—プチルラクトン）と感光性ポリマとを、感光性ポリマ 40 %溶液になるように混合し、攪拌しながら 60°Cまで加熱して、すべてのポリマを均質に溶解させた。感光性ポリマは、 40 %のメタクリル酸、 30 %のメチルメタクリレー卜および 30 %のスチレンからなる共重合体のカルボキシル基に対して 0. 4当量のダリシジルメタクリレ一卜を付加反応させた重量平均分子量 4 3， 000、酸価 95のポリマである。次いで、溶液を室温まで冷却し、感光性モノマ、光重合開始剤、増感剤などを加えて溶解させた。その後、この溶液を 4 00メッシュのフィル夕一を用いて濾過し、感光性有機成分を作製した。本実施例に用いた感光性モノマ、光開始剤、増感剤は、次の化合物である。

感光性モノマ：キシリレンジァミン 1モルに 4モルのグリシジル

メ夕クリレー卜を付力□した化合物

光開始剤： 2 ベンジル一 2—ジメチルァミノ一 1— (4—

モルフォリノフエニル) ーブ夕ノン一 1

増感剤： 2， 4—ジェチルチオキサントン

次に、ァゾ系有機染料のスダンを、ガラス粉末に対して 0. 1 0%の割合で秤量した。スダンをアセトンに溶解させ、分散剤を加えてホモジナイザで均質に攪拌し、この溶液中にガラス粉末を添加して均質に分散、混合後、ロータリーエバポレー夕を用いて、 1 50〜200°Cの温度で乾燥し、アセトンを蒸発させた。このようにして、有機染料からなる紫外線吸収剤の膜でガラス粉末の表面を均質にコーティングした（いわゆるカプセル処理した）粉末を作製した。

ここに用いたガラス粉末は、 L ί ₂0 ： 9 %、 S i〇₂： 22%、 B 203： 33 % B a O : 4%、 A I ₂0₃： 23%, Z n 0 : 2 % Mg 0 : 7 %の組成を有するものである。また、ガラス粉末は、予めアトラクターで微粉末にし、平均粒径 2 . 6 μ ηι、屈折率 1 . 5 8のものである。

上記の有機成分と上記紫外線吸収剤添加のガラス粉末を、ガラス粉末 6 0重量部、感光性有機成分（溶媒を除く） 2 5重量部、溶媒（γ—プチルラクトン） 1 5重量部の割合になるように添加し、 3本ローラで混合、分散して、感光性べ一ストを調製した。

蛍光体層を形成する隔壁間距離の相違に対応する間隔で形成されたス卜ライプ状のアドレス電極と誘電体層を有するガラス基板上に、スリツトダイコー夕一により、 1 8 0 μ ιτιの乾燥後厚みになるように感光性ペーストの塗布を行った後、 8 0 °Cで 1時間乾燥した。この場合の面内 3 6力所の高さ分布は、 1 8 0 ± 5 μ mであつ,こ。

次に、フォトマスクを介して露光を行った。マスクは、 B蛍光体層の形成される隔壁間ピッチを 2 4 0 μ ιτιとし、 R蛍光体層の形成される隔壁間ピッチを 2 0 Ο μ ηιとし、および G蛍光体層の形成される隔壁間ピッチを 2 2 0 μ ιηとし、隔壁の線幅を 3 0 μ mとしたプラズマデイスプレイにおけるス卜ライプ状の隔壁パターン力¹ f形成可能になるように設計したクロムマスクである。露光は、 5 0 mW Z c m ²の出力の超高圧水銀灯で 1 5 J c m ²の紫外線露光を行った。その後、モノエタノールァミンの 1 %水溶液に浸潰して現像した。

感光性ペース卜をパターン化して得られたガラス基板を 1 2 0 °Cで 1時間乾燥した後、 5 6 0 で 1時間焼成を行った。焼成によリ約 2 0 %程度の収縮が'生じた。得られた隔壁の平均高さは 1 3 5 μ ηιであり、面内 3 6箇所の高さ分布は、平均高さに対して ± 4 μ ηιであった。

電極、誘電体、隔壁が形成されている基板上に、スクリーン印刷法により、 R G B蛍光体を塗布し、乾燥、焼成工程を経て蛍光体層を形成した。蛍光体は、隔壁の底面のみならず側面にも塗布して、底面および側面に蛍光面を形成した。このようにして形成した背面ガラス基板を、別途用意した前面ガラス基板と合わせた後、封着、ガス封入を行い、駆動回路を接合してプラズマディスプレイを作製し、電圧を印加して表示を行った。

さらに、信号処理回路を接続した後に表示を行ったところ、正確な表示が可能であり、発光効率 1 . 1 I m/W, 白色ピーク輝度 2 0 0 G d Zm ²、コントラス卜 1 00 ： 1のプラズマディスプレイが得られた。

また、駆動回路による色補正をしない状態での色温度が、 9000度であり、表示品に優れていることがわかった。得られた青色発光輝度を測定したところ、比較例 1のプラズマディスプレイの発光輝度よりも、約 1 0%高いこと、および、全面発光した場合、パネルディスプレイ全体が、青味がかった白色を表示していることを、それぞれ確認した。

実施例 2

450 mm X 350 mmのガラ" 基板（厚み 2. 8mm、旭硝子社製 PD 20 0) 上に、感光性銀ペース卜を用いて、 1 920本のアドレス電極を形成した。電極は、ピッチ 260、 220、 1 60 nmの間隔を繰り返す形で、線幅 60 μ mのストライプ電極を形成した。次に、電極上にガラス粉末 50重量％、酸化チタン 1 5%、ェチルセルロース 20%、溶媒 1 5%からなるガラスペース卜を塗布した後に、 570°Cで焼成して誘電体層を形成した。その基板上に、前述の感光性ペース卜法で黒色の隔壁を形成した。フォトマスクとして、 B蛍光体層の形成される隔壁間ピッチを 260 μπι、 G蛍光体層の形成される隔壁間ピッチを 2 40 μιτιとし、 R蛍光体層の形成される隔壁間ピッチを 1 60 μ ΓΠとし、隔壁の $泉幅を 30 μΓΉとしたプラズマディスプレイにおけるス卜ライプの隔壁パターンカ'形成可能になるように設計したクロムマスクを用いた以外は、実施例 1と同様にしてプラズマディスプレイを作製し、電圧を印加して表示を行った。得られた隔壁の平均高さは 1 33 μηιであり、平均高さに対する高さ分布は ±3 μ ηπであつた

さらに、信号処理回路を接続した後に表示を行ったところ、正確な表示が可能であり、発光効率 1. 2 I m/W, 白色ピーク輝度 220 c dZm²、コントラス卜 1 1 0 _: 1のプラズマディスプレイが得られた。

得られた青色発光輝度を測定したところ、比較例 1のプラズマディスプレイの発光輝度よりも、約 20%高いこと、および、全面発光した場合、パネルデイスプレイ全体^ f、青色で美しい白色を表示していることを、それぞれ確認した。また、駆動回路による色補正をしない状態での色温度が、 1 0000度であり、表示品に優れていることがわかった。実施例 3

45 Ommx 35 Ommのガラス基板（厚み 2· 8mm, 旭硝子社製 PD 20 0) 上に、感光性銀ペース卜を用いて、 2560本のァドレス電極を形成した。電極は、ピッチ 1 30、 1 30、 220、 1 80 μ mの間隔を繰り返す形で、線幅 60 μππのストライプ電極を形成した。該電極の隣り合う 1 30 μηιピッチの電極については、隣り合う電極の引き出し部分が接続された形とした。次に、 '電極上にガラス粉末 50重量％、酸ィ匕チタン 1 5%、ェチルセルロース 20%、溶媒 1 5%からなるガラスペース卜を塗布した後に、 570°Cで焼成して誘電体層を形成した。その基板上に、前述の感光性ペースト法で黒色の隔壁を形成した。ピッチ 1 30、 1 30、 220、 1 80 μ mの間隔を繰り返す形で、線幅 30 μ mのストライプ隔壁を形成するようにクロムマスクの設計を変更した以外は実施例 1と同様にしてプラズマディスプレイを作製し、電圧を印加して表示を行った。得られた隔壁の平均高さは 1 34 μηιであり、平均高さに対する高さ分布は ± 3 μηιであった。次に、スクリーン印刷法で隔壁間に蛍光体ペーストを塗布し、乾燥することによリ萤光体層を形成した。隣り合う間隔 1 30 μηιで形成した隔壁間に青色蛍光体層を形成し、間隔 220 μηιで形成した隔壁間に緑色蛍光体層を形成し、 1 80 μιτι間隔で形成した隔壁間に赤色蛍光体層を形成した。その後、電極、誘電体、隔壁を形成した基板上に、蛍光体層を形成し、前面板と合わせた後、封着、ガス封入して作製し、駆動回路を接続して、プラズマディスプレイを作製した。

さらに、信号処理回路を接続した後に表示を行ったところ、正確な表示が可能であり、発光効率 1 · 4 I mZW、白色ピーク輝度 280 c dZm² コントラス卜 1 60 ： 1のプラズマディスプレイ力得られた。

得られた青色発光輝度を測定したところ、比較例 1のプラズマディスプレイの発光輝度よりも、約 50%高いこと、および、全面発光した場合、パネルデイスプレイ全体が、青味がかった美しい白色を表示していることを、それぞれ確認した。また、駆動回路による色補正をしない状態での色温度が、 1 2000度であリ、表示品に優れていることがわかった。

比較例 1 4 5 O m m x 3 5 O m mのガラス基板（厚み 2 . 8 m m, 旭硝子社製 P D 2 0 0 ) 上に、感光性銀ペース卜を用いて、 1 9 2 0本のァドレス電極を形成した。電極は、ピッチ 2 2 0 μ mの間隔を繰リ返す形で、線幅 6 0 μ mのストライプ電極を形成した。次に、電極上にガラス粉末 5 0重量％、酸化チタン 1 5 %、ェチルセルロース 2 0 % 溶媒 1 5 %からなるガラスペース卜を塗布した後に、 5 7 0 °Cで焼成して誘電体層を形成した。その基板上に、前述の感光性ペース卜法で黒色の隔壁を形成した。ピッチ 2 2 0 μ ηι、線幅を 3 0 μ mとしたプラズマディスプレイにおけるストライプ状の隔壁パ夕一ンが形成可能になるように設計したクロムマスクを用いた以外は、実施例 1と同様にしてプラズマディスプレイを作製し、電圧を印加して表示を行った。得られた隔壁の平均高さは 1 3 3 μ ρηであり、平均高さに対する高さ分布は ± 1 Ο μ πιであった。パネルの下方部分に高さ分布が大きい箇所が局在していた。作製したパネルに電圧を印加して表示を行つた。駆動回路による色補正をしない状態での色温度は 4 0 0 0度であった。さらに、信号処理回路を接続した後に表示を行ったところ、隔壁の高さ分布の大きい部分でクロストークが発生して、正確な表示ができなかった。また、発光効率 0 . 9 I m/W, 白色ピーク輝度 1 8 0 c d /m \ コントラス卜 9 0 ： 1のプラズマディスプレイが得られた。'全面発光した場合、パネルディスプレイ全体が、赤味がかった白色を表示していることを、それぞれ確認した。産業上の利用可能性

本発明に係るプラズマディスプレイによれば、従来のプラズマディスプレイが有していた、青色発光蛍光体に比べ、赤色および緑色発光蛍光体のもつ能力が十分発揮されないという問題点が解消され、各発光蛍光体の輝度能力をほぼ均等に利用でき、バランスの良いより明るいカラー画像の表示が可能で、また、従来のプラズマディスプレイが'有していた、全面発光した場合に美しい白色画像の表示が困難であるという問題点が解消され、美 ΙΛ、白色画像の表示が可能である。

Claims

請求の範囲

1 . 基板上にァドレス電極および放電空間を仕切るためのス卜ライプ状の隔壁を形成し、隣り合う隔壁間の溝に赤色、緑色、青色に発光する蛍光体層をストライプ状に形成したカラ一表示プラズマディスプレイ用基板において、赤色に発光する蛍光体層が形成されている隔壁間距離を P r、青色に発光する蛍光体層が形成されている隔壁間距離を P bとしたとき、

P b > P r

なる関係を有し、かつ該隔壁の基板面内での高さばらつきが、隔壁の平均高さに対して ± 0 . 5〜土 6 μ ιηの範囲であることを特徴とするプラズマディスプレイ用基板。

2 . 赤色に発光する蛍光体層が形成されている隔壁間距離 P rおよび青色に発光する蛍光体層が形成されている隔壁間距離 P bが、

1 < P b / P r≤ 4

なる関係を有することを特徴とする請求項 1記載のプラズマディスプレイ用基板。

3 . 赤色に発光する蛍光体層が形成されている隔壁間距離 P rおよび青色に発光する蛍光体層が形成されている隔壁間距離 P bが、

5 [i m≤ P b - P r≤2 0 0 u m

4 . 緑色に発光する蛍光体層が形成されている隔壁間距離を P gおよび青色に発光する蛍光体層が形成されている隔壁間距離を P bとしたとき、.

P b > P g

5 . 基板上にァドレス電極および放電空間を仕切るためのス卜ライプ状の隔壁を形成し、隣り合う隔壁間の溝に赤色、緑色、青色に発光する萤光体層をストライプ状に形成したカラ一表示プラズマディスプレイ用基板において、隣り合う 2本以上の溝に同じ色に発光する萤光体層を形成したことを特徴とするプラズマディスプレイ用基板。

6 . 隣り合う 2本以上の溝に青色に発光する蛍光体層を形成したことを特徴とする請求項 5記載のプラズマディスプレイ用基板。

7 . ガラス基板上に電極、誘電体および保護膜を形成した前面基板と、ガラス基板上に電極、誘電体、隔壁、蛍光体を形成した背面基板からなるプラズマデイスプレイにおいて、請求項 1〜6のいずれかに記載のプラズマディスプレイ用基板を背面基板として用いることを特徴とするプラズマディスプレイ。

8 . 隔壁を形成する手段として、感光性ペース卜を全面塗布する工程、隔壁状パ夕一ンに露光する工程、および現像液に溶解する部分を現像で取リ除く工程を経た後に、 4 5 0 °C〜6 2 0 °Cで焼成する工程をこの順で含むことを特徴とする請求項 1〜 6のいずれかに記載のブラズマデイスプレイ用基板の製造方法。