JP2002002932A - 搬送方向変換装置 - Google Patents
搬送方向変換装置Info
- Publication number
- JP2002002932A JP2002002932A JP2000184109A JP2000184109A JP2002002932A JP 2002002932 A JP2002002932 A JP 2002002932A JP 2000184109 A JP2000184109 A JP 2000184109A JP 2000184109 A JP2000184109 A JP 2000184109A JP 2002002932 A JP2002002932 A JP 2002002932A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotation
- driven
- motor
- roller
- driving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G13/00—Roller-ways
- B65G13/08—Roller-ways of curved form; with branch-offs
- B65G13/10—Switching arrangements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)
- Attitude Control For Articles On Conveyors (AREA)
Abstract
伴う2つの回転出力を簡単な機構で別個に取り出せるよ
うにする。搬送すべきワークを同一平面(同一搬送面)
上で指定する向きに変換する装置を簡単なものとする。
装置全体の大きさをごく簡単に変えられるようにする。 【解決手段】正・逆回転可能な1つのモータ1の正・逆
回転に伴う2つの回転出力を、前記モータ1の正・逆回
転時においていずれも一方向に回転する第一および第二
の駆動体2,3で取り出す。前記第二の駆動体3の回転
に連動して回転する第二の従動体8にワーク搬送用のロ
ーラ6を保持し、かつ、このローラ6の外周面を前記第
一の駆動体2の回転に連動して回転する第一の従動体7
に当接する。この装置を一単位としてそれらを複数並設
する。
Description
を同一平面(同一搬送面)上で指定する向きに変換する
装置に関するものである。
面)上で指定する向きに変換する装置として、従来、特
開平09−240818号公報に記載されたものなどが
ある。
が以外に複雑であり、できるだけ簡単なものが望まれて
いる。また、この装置を一単位として複数並設して装置
全体の大きさを変える場合にも、それをごく簡単に行い
得るようにすることが望まれている。本発明は、これら
の要望に応え得るようにしたものであり、特に、正・逆
回転可能な1つのモータの正・逆回転に伴う2つの回転
出力を簡単な機構で別個に取り出し得るようにしたもの
である。
め、本発明では、正・逆回転可能な1つのモータ1の正
・逆回転に伴う2つの回転出力を別個に取り出し、その
1つを水平方向の軸を中心として回転させ得るワーク搬
送用のローラ6の駆動用として、もう1つを前記ローラ
6の方向変換用として用いる。
を正・逆回転させることにより、ワーク搬送用のローラ
6の駆動と方向変換とを行うことができるから、1つの
モータ1を用いてワークWを同一平面(同一搬送面)上
で指定する向きに変換して搬送することができる。
タ1の正・逆回転に伴う2つの回転出力を簡単な機構で
別個に取り出すことができ、しかも、取り出された2つ
の回転出力のうちその1つを水平方向の軸を中心として
回転させ得るワーク搬送用のローラ6の駆動用として、
もう1つを前記ローラ6の方向変換用として用い、水平
方向の軸を中心としたローラ6の回転とその方向変換と
を簡単な機構で行うことができる。
力を取り出すための取出手段を、モータ1の正・逆回転
時においていずれも一方向に回転する第一および第二の
駆動体2,3からなるものとし、前記第二の駆動体3の
回転に連動して回転する第二の従動体8にワーク搬送用
のローラ6を保持し、かつ、このローラ6の外周面を前
記第一の駆動体2の回転に連動して回転する第一の従動
体7に当接する。
に伴う2つの回転出力を、モータ1の正・逆回転時にお
いていずれも一方向に回転する第一および第二の駆動体
2,3から取り出すことができ、しかも、取り出された
2つの回転出力を利用してワーク搬送用のローラ6の回
転とその方向変換とを個別に行うことができる。
モータ1の正・逆回転時においていずれも一方向に回転
する第一および第二の駆動体2,3とで1つの駆動ユニ
ットuを構成し、また、前記第一の駆動体2の回転に連
動して回転する第一の従動体7と、前記第二の駆動体3
の回転に連動して回転する第二の従動体8と、前記第二
の従動体8に保持され、かつ、前記第一の従動体7に外
周面を当接したワーク搬送用のローラ6とで1つの従動
ユニットu'を構成する。そして、図3に示すように、前
記1つの駆動ユニットuに対して複数の従動ユニット
u',u'を連鎖させて配置することができる。
し連鎖させて配置すべき従動ユニットu'の数を増減させ
るだけで、一単位の搬送方向変換装置Uの平面的な大き
さを自由に変えることができる。
配置された従動ユニットu',u'とで構成される一単位の
搬送方向変換装置Uを、図4に示すように、同一平面
(同一搬送面)上に複数並設するとよい。
Uの数を同一平面(同一搬送面)上で増減させるだけ
で、図面符号Aで示す搬送方向変換装置全体の平面的な
大きさを簡単かつ自由に変えることができる。そして、
個々の搬送方向変換装置U,Uを別個に制御することに
より、ワークWを同一平面(同一搬送面)上のあらゆる
方向に搬送することができる。
を、添付の図面に基いて詳細に説明する。図1に、正・
逆回転可能な1つのモータ1の正・逆回転に伴う2つの
回転出力を別個に取り出し、その1つを水平方向の軸を
中心として回転させ得るワーク搬送用のローラ6の駆動
用として、もう1つを前記ローラ6の方向変換用として
用いることができるようにした本装置の一例を示す。
ている1つの駆動ユニットuに対して1つの従動ユニッ
トu'が隣接して配置されている状態のみを示したが、本
来ならば図2に示すように、1つの駆動ユニットuに対
して4つの従動ユニットu',u'を均等に配置するのが好
ましい。なお、本明細書においては、便宜上、図2(平
面図)において時計針方向の回転を正回転と、図2にお
いて反時計針方向の回転を逆回転ということにする。
・逆回転可能な1つのモータ1と、このモータ1の軸1b
に前記モータ1の正・逆回転時においていずれも正回転
する第一および第二の駆動体2,3とで1つの駆動ユニ
ットuが構成され、また、1つの基台9上に配置されて
いて前記第一の駆動体2の回転に連動して回転する第一
の従動体7と、前記第二の駆動体3の回転に連動して回
転する第二の従動体8と、前記第二の従動体8に保持さ
れ、かつ、外周面を前記第一の従動体7に当接したワー
ク搬送用のローラ6とで1つの従動ユニットu'が構成さ
れた場合を例示してある。
二の駆動体2,3を正・逆回転可能なモータ1の正・逆
回転時においていずれも正回転させるために、図1で
は、第一の駆動体2は前記モータ1のフランジ1aにワン
ウェイクラッチ2aを介して取り付けられたキャリア板2b
と、このキャリア板2bをモータ軸1bと同心状に固定した
外歯歯車2cとからなるものとし、また、第二の駆動体3
は駆動ユニットuの外ケースu1にワンウェイクラッチ3a
を介して取り付けられた外歯歯車3bと、この外歯歯車3b
に前記モータ軸1bと同心状に固定された内歯歯車3cとか
らなるものとしてある。そして、前記キャリア板2bの外
寄り部分にはアイドラー4が回転自在に取り付けてあ
り、このアイドラー4をモータ軸1bに固定された外歯歯
車5と前記内歯歯車3cとにそれぞれ噛合させてある。
と、その回転力がモータ1の軸1bに固定されている外歯
歯車5とこれと噛み合っているアイドラー4とを介して
前記内歯歯車3cならびに外歯歯車3bに伝わり、それらが
逆回転しようとするが、ワンウェイクラッチ3aによりロ
ックされて回転が阻止される一方、キャリア板2bならび
に外歯歯車2cからなる第一の駆動体2が正回転する。
すると、その回転力がモータ1の軸1bに固定されている
外歯歯車5とこれと噛み合っているアイドラー4とを介
してキャリア板2bならびに外歯歯車2cに伝わり、それら
が逆回転しようとするが、ワンウェイクラッチ2aにより
ロックされて回転が阻止される一方、内歯歯車3cならび
に外歯歯車3bからなる第二の駆動体3が正回転する。
従動体7を前記第一の駆動体2の回転に連動して回転さ
せるために、また、第二の従動体8を前記第二の駆動体
3の回転に連動して回転させるために、図1では、第一
および第二の従動体7,8をいずれも外歯歯車とし、そ
れらを前記第一の駆動体2の外歯歯車2cと第二の従動体
3の外歯歯車3bとに別個に噛合させてある。そして、前
記ワーク搬送用のローラ6を外歯歯車からなる第二の従
動体8に保持させ、かつ、その外周面を外歯歯車からな
る第一の従動体7に当接してある。なお、図1におい
て、図面符号8aはローラ6の支持用ブラケットである。
うに正回転すると、その回転に連動して第一の従動体7
が回転し、外周面が第一の従動体7に当接しているワー
ク搬送用のローラ6が水平方向の軸を中心として回転す
る。また、第二の駆動体3が上述したように正回転(図
2の矢印方向)すると、その回転に連動して第二の従動
体8が回転し(図2の矢印方向)、それに保持されてい
るワーク搬送用のローラ6が図2の実線の状態から向き
を変える。
タ1を制御することにより、ワーク搬送用のローラ6を
回転させ、また、ワーク搬送用のローラ6の向きを自動
的に変えることができる。なお、図1において、図面符
号11は第二の従動体8の直下に配置したセンサで、これ
により第二の従動体8の回転量(回転角度)を検出する
ことができ、その結果、これに保持されているローラ6
の方向変換角度を容易に把握することができる。
うに、第一の従動体7の中心軸線7aに対しワーク搬送用
のローラ6の芯6aを振ることができるようにしてあっ
て、このローラ6の外周面がp側で第一の従動体7の突
周縁と当接する場合とp'側で当接する場合とでその回転
方向が逆になるように工夫されている。
ある第一の従動体7を前記第一の駆動体2の回転に連動
して回転させるために、また、第二の従動体8を前記第
二の駆動体3の回転に連動して回転させるために、第一
および第二の従動体7,8をいずれも外歯歯車とし、そ
れらを前記第一の駆動体2の外歯歯車2cと第二の従動体
3の外歯歯車3bとに別個に噛合させた場合を例示した
が、例えば、第一および第二の駆動体2,3ならびに第
一および第二の従動体7,8をいずれもプーリあるいは
スプロケットとし、一対となるそれらにそれぞれタイミ
ングベルトあるいはチェンなどの掛架体を掛け渡すな
ど、別の連動方式を採用してもよい。
2,3を前記モータ1の正・逆回転時においていずれも
正回転させる場合を例示したが、両駆動体2,3を前記
モータ1の正・逆回転時においていずれも逆回転させる
ようにしても、上記と同様の動作を行わせることができ
る。
ユニットu'の詳しい構造は上述した通りであるが、前記
1つの駆動ユニットuに対して複数の従動ユニットu',
u'を連鎖させて配置することができる。例えば、図3に
示すように、1つの駆動ユニットuに連動して作動する
ごとく配置された1つの従動ユニットu'に、アイドラー
ユニット10を介して新しい従動ユニットu'を連鎖させて
配置することができる。この場合には、1つの駆動ユニ
ットuに対し連鎖させて配置すべき従動ユニットu'の数
を増減させるだけで、一単位の搬送方向変換装置Uの平
面的な大きさを自由に変えることができる。
配置された従動ユニットu',u'とで構成される一単位の
搬送方向変換装置Uを、図4に示すように、同一平面
(同一搬送面)上に複数並設することができる。この場
合には、一単位の搬送方向変換装置Uの数を同一平面
(同一搬送面)上で増減させるだけで、図面符号Aで示
す搬送方向変換装置全体の平面的な大きさを簡単かつ自
由に変えることができる。
た場合には、1つのモータ1の正・逆回転に伴う2つの
回転出力を簡単な機構で別個に取り出すことができ、し
かも、取り出された2つの回転出力のうちその1つを水
平方向の軸を中心として回転させ得るワーク搬送用のロ
ーラ6の駆動用として、もう1つを前記ローラ6の方向
変換用として用い、水平方向の軸を中心としたローラ6
の回転とその方向変換とを簡単な機構で行うことができ
る。
場合には、モータ1の正・逆回転に伴う2つの回転出力
を、モータ1の正・逆回転時においていずれも一方向に
回転する第一および第二の駆動体2,3から取り出すこ
とができ、しかも、取り出された2つの回転出力を利用
してワーク搬送用のローラ6の回転とその方向変換とを
別個に行うことができる。
場合には、1つの駆動ユニットuに対し連鎖させて配置
すべき従動ユニットu'の数を増減させるだけで、一単位
の搬送方向変換装置Uの平面的な大きさを自由に変える
ことができる。
場合には、一単位の搬送方向変換装置Uの数を同一平面
(同一搬送面)上で増減させるだけで、搬送方向変換装
置全体の平面的な大きさを簡単かつ自由に変えることが
できる。そして、個々の搬送方向変換装置U,Uを別個
に制御することにより、ワークWを同一平面(同一搬送
面)上のあらゆる方向に搬送することができる。
駆動ユニットに対して1つの従動ユニットが隣接して配
置された状態のみを示す。
トを配置した状態を示す概略平面図である。
トを連鎖させて配置した状態を示す概略平面図である。
送面)上に複数並設した状態を示す概略平面図である。
第一の駆動体、2a…ワンウェイクラッチ、2b…キャリア
板、2c…外歯歯車、3…第二の駆動体、3a…ワンウェイ
クラッチ、3b…外歯歯車、3c…内歯歯車、4…アイドラ
ー、5…外歯歯車、6…ローラ、7…第一の従動体、8
…第二の従動体、u…駆動ユニット、u'…従動ユニッ
ト、u1…駆動ユニットの外ケース。
Claims (4)
- 【請求項1】正・逆回転可能な1つのモータ1の正・逆
回転に伴う2つの回転出力を別個に取り出し、その1つ
を水平方向の軸を中心として回転させ得るワーク搬送用
のローラ6の駆動用として、もう1つを前記ローラ6の
方向変換用として用いることを特徴とする搬送方向変換
装置。 - 【請求項2】モータ1の正・逆回転に伴う2つの回転出
力を取り出すための取出手段が、モータ1の正・逆回転
時においていずれも一方向に回転する第一および第二の
駆動体2,3で構成され、前記第二の駆動体3の回転に
連動して回転する第二の従動体8にワーク搬送用のロー
ラ6を保持し、かつ、このローラ6の外周面を前記第一
の駆動体2の回転に連動して回転する第一の従動体7に
当接したことを特徴とする請求項1記載の搬送方向変換
装置。 - 【請求項3】正・逆回転可能な1つのモータ1と、この
モータ1の正・逆回転時においていずれも一方向に回転
する第一および第二の駆動体2,3とで1つの駆動ユニ
ットuを構成し、また、前記第一の駆動体2の回転に連
動して回転する第一の従動体7と、前記第二の駆動体3
の回転に連動して回転する第二の従動体8と、前記第二
の従動体8に保持され、かつ、前記第一の従動体7に外
周面を当接したワーク搬送用のローラ6とで1つの従動
ユニットu'を構成し、前記1つの駆動ユニットuに対し
て複数の従動ユニットu',u'を連鎖させて配置したこと
を特徴とする請求項2記載の搬送方向変換装置。 - 【請求項4】1つの駆動ユニットuとそれに対して複数
配置された従動ユニットu',u'とで構成される一単位の
搬送方向変換装置Uを、同一平面(同一搬送面)上に複
数並設したことを特徴とする請求項3記載の搬送方向変
換装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000184109A JP3562635B2 (ja) | 2000-06-20 | 2000-06-20 | 搬送方向変換装置 |
EP01111684A EP1167245B1 (en) | 2000-06-20 | 2001-05-14 | Device for changing the conveyance direction of a conveying roller |
DE60113923T DE60113923T2 (de) | 2000-06-20 | 2001-05-14 | Vorrichtung zum Ändern der Förderrichtung einer Förderrolle |
US09/884,713 US6516936B2 (en) | 2000-06-20 | 2001-06-19 | Device for changing conveyance directions |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000184109A JP3562635B2 (ja) | 2000-06-20 | 2000-06-20 | 搬送方向変換装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002002932A true JP2002002932A (ja) | 2002-01-09 |
JP3562635B2 JP3562635B2 (ja) | 2004-09-08 |
Family
ID=18684590
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000184109A Expired - Fee Related JP3562635B2 (ja) | 2000-06-20 | 2000-06-20 | 搬送方向変換装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6516936B2 (ja) |
EP (1) | EP1167245B1 (ja) |
JP (1) | JP3562635B2 (ja) |
DE (1) | DE60113923T2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100876616B1 (ko) | 2007-10-18 | 2009-01-07 | 주식회사 태성기연 | 방향전환 롤러를 이용한 디버터 컨베이어 |
JP2009035359A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Nippon Sekkei Kogyo:Kk | 薄板状材料搬送装置 |
JP2017518942A (ja) * | 2014-06-25 | 2017-07-13 | レイトラム,エル.エル.シー. | コンベヤ用の多方向ローラアセンブリ |
WO2019167864A1 (ja) * | 2018-02-27 | 2019-09-06 | 伊東電機株式会社 | 搬送装置及び搬送方向変更装置 |
KR20200019372A (ko) * | 2018-08-14 | 2020-02-24 | 한화디펜스 주식회사 | 물체 이송 장치 |
CN112777192A (zh) * | 2019-11-07 | 2021-05-11 | 伊东电机株式会社 | 搬送装置和搬送方向变更装置 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3516343B1 (ja) * | 2002-06-20 | 2004-04-05 | 旭精機工業株式会社 | 搬送装置及び搬送システム |
DE20216094U1 (de) * | 2002-10-19 | 2003-05-08 | Transnorm System Gmbh | Vorrichtung zum Antrieb einer Rolle |
DE202005015544U1 (de) * | 2005-10-04 | 2007-02-15 | Transnorm System Gmbh | Ausschleusvorrichtung |
CN102275710B (zh) * | 2011-05-12 | 2014-01-29 | 金国华 | 十字转弯滚道输送机 |
DE102017125981A1 (de) * | 2017-11-07 | 2019-05-09 | Josef Moser | Kugelfördertischsystem |
WO2021153530A1 (ja) * | 2020-01-27 | 2021-08-05 | 伊東電機株式会社 | 搬送装置及び面状搬送装置 |
CN111301926B (zh) * | 2020-03-17 | 2020-12-22 | 科捷智能装备有限公司 | 高速摆轮分拣机及其方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1460539A (en) * | 1919-05-08 | 1923-07-03 | William L Leary | Conveying apparatus |
US3174613A (en) * | 1963-02-25 | 1965-03-23 | Saint Gobain Corp | Transfer conveyor |
US4180150A (en) * | 1977-10-27 | 1979-12-25 | Moore Archie S | Multi-directional transfer device |
EP0311699B1 (de) * | 1987-10-12 | 1992-03-25 | Carl Schenck Ag | Transporteinrichtung zur Umlenkung von Stückgütern in einer Ebene |
NL8903070A (nl) * | 1989-12-14 | 1991-07-01 | Hadewe Bv | Transporttafel. |
JPH09240818A (ja) * | 1996-03-07 | 1997-09-16 | Gakujo Nakamura | ワーク向き換え装置 |
-
2000
- 2000-06-20 JP JP2000184109A patent/JP3562635B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-05-14 EP EP01111684A patent/EP1167245B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-05-14 DE DE60113923T patent/DE60113923T2/de not_active Expired - Fee Related
- 2001-06-19 US US09/884,713 patent/US6516936B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009035359A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Nippon Sekkei Kogyo:Kk | 薄板状材料搬送装置 |
KR100876616B1 (ko) | 2007-10-18 | 2009-01-07 | 주식회사 태성기연 | 방향전환 롤러를 이용한 디버터 컨베이어 |
JP2017518942A (ja) * | 2014-06-25 | 2017-07-13 | レイトラム,エル.エル.シー. | コンベヤ用の多方向ローラアセンブリ |
WO2019167864A1 (ja) * | 2018-02-27 | 2019-09-06 | 伊東電機株式会社 | 搬送装置及び搬送方向変更装置 |
JPWO2019167864A1 (ja) * | 2018-02-27 | 2021-02-04 | 伊東電機株式会社 | 搬送装置及び搬送方向変更装置 |
US11097899B2 (en) | 2018-02-27 | 2021-08-24 | Itoh Denki Co., Ltd. | Conveyor device and conveying-direction changing device |
JP7266308B2 (ja) | 2018-02-27 | 2023-04-28 | 伊東電機株式会社 | 搬送装置及び搬送方向変更装置 |
KR20200019372A (ko) * | 2018-08-14 | 2020-02-24 | 한화디펜스 주식회사 | 물체 이송 장치 |
KR102529210B1 (ko) * | 2018-08-14 | 2023-05-03 | 한화에어로스페이스 주식회사 | 물체 이송 장치 |
CN112777192A (zh) * | 2019-11-07 | 2021-05-11 | 伊东电机株式会社 | 搬送装置和搬送方向变更装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE60113923T2 (de) | 2006-07-27 |
EP1167245B1 (en) | 2005-10-12 |
US20010052447A1 (en) | 2001-12-20 |
JP3562635B2 (ja) | 2004-09-08 |
DE60113923D1 (de) | 2005-11-17 |
US6516936B2 (en) | 2003-02-11 |
EP1167245A3 (en) | 2004-05-06 |
EP1167245A2 (en) | 2002-01-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2002002932A (ja) | 搬送方向変換装置 | |
CA2490169A1 (en) | Transfer device | |
KR20120139021A (ko) | 상정반의 자전 및 공전을 위한 장치 및, 이를 이용한 상정반의 작동방법 | |
JPH02146356A (ja) | 駆動伝達機構 | |
JPS60146954A (ja) | ギアレス変速装置 | |
JP2010181025A (ja) | シートのホットラミネート装置に応用する無段変速機構 | |
JPH09240818A (ja) | ワーク向き換え装置 | |
JP2002327807A (ja) | 駆動ユニット、物品搬送装置および台車 | |
JPH089626A (ja) | コンベア | |
JP2000237953A (ja) | 両面研磨装置 | |
JPH09132293A (ja) | キャップ締着装置 | |
JPH0366564A (ja) | 板状体の研磨方法及びその装置 | |
JPH0447141Y2 (ja) | ||
JP3370294B2 (ja) | 移送装置 | |
CN220925286U (zh) | 传输结构及全自动样品处理系统 | |
JP2003209156A (ja) | 基板搬送装置 | |
JPH08113338A (ja) | 搬送装置 | |
JP2514982Y2 (ja) | ワーク回転機構 | |
JP2560793Y2 (ja) | 立体物品印刷機の駆動機構 | |
JP2001106326A (ja) | コンベア装置 | |
JPH0592804A (ja) | 基板搬送装置 | |
JPH0420847Y2 (ja) | ||
JP2540901Y2 (ja) | 2方向同時回転駆動機構 | |
JP3193989B2 (ja) | 両面研磨装置 | |
JP4467770B2 (ja) | 搬送装置及び真空処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040210 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040308 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040402 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040426 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040526 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |