JPH0366564A

JPH0366564A - 板状体の研磨方法及びその装置

Info

Publication number: JPH0366564A
Application number: JP1200547A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiko Ishimura; 和彦石村; Mitsuhiro Touzaki; 東崎　充宏; Nobuo Hasegawa; 長谷川　信男
Original assignee: Asahi Glass Co Ltd
Current assignee: AGC Inc
Priority date: 1989-08-02
Filing date: 1989-08-02
Publication date: 1991-03-22
Also published as: KR910004306A; US5123214A; EP0411643A3; EP0411643A2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は板状体の研磨方法及びその装置に係り、特に、
ｆ！気ディスク、光磁気ディスクに使用されるガラス製
のディスク等の円形の板状体を連続的に研磨する板状体
の研磨方法及びその装置に関する。

〔従来の技術〕

一般に、磁気ディスク、光磁気ディスクに使用されるガ
ラス製の円板等を研磨する装置は、第７図に示すように
リングギア１０、キャリア１２、サンギア１４等から構
成されている。キャリア１２の外周面にはギア１２Ａが
形成され、ギア１２Ａはリングギア１０の内周ギアＩＯ
Ａとサンギア１４の外周ギア１４Ａと噛合っている。こ
のキャリア１２には複数の円形状開口部１２Ｂ、１２Ｂ
・・・が懲戒され、各開口部１２Ｂには円板１６が１枚
づつ挿入される。又、第８図に示すように円板１６の厚
み寸法Ｌｌ　　はキャリア１２の厚み寸法Ｌ２より大き
いので、円板の表面１６Ａ１裏面１６Ｂはキャリア１２
の表面１２Ｃ１裏面１２Ｄから突出している。

従って、第８図に示すように、円板１６を下部研磨盤２
０と上部研磨盤１８とで挟持した状態で、下部研碧盤２
０ど上部研磨盤１８とを回転し、同時にリングギア１０
、又はサンギア１４を回転してキャリア１２を第７図で
矢印へ方向に自転させと共に矢印Ｂ方向に公転させ、円
板１６の表面１６Ａ、裏面１６Ｂを上部研磨盤１８、下
部研磨盤２０で研磨することが出来る。

〔発明が解決しようする課題〕

しかしながら、この研磨装置では、円板１６を研磨装置
から着脱する場合、研磨装置を停止すると共に上部研磨
盤１８を上昇させ、円板１６を手作業で取外しているが
、円板１６が下面に付着して取外しが困難であるという
問題がある。この為連続的に研磨作業が出来ず、生産効
率が低いという問題がある。

本発明はこのような事情に鑑みて威されたもので、ガラ
ス製円板等の板状体を連続的に研磨することが出来る板
状体の研磨方法及びその装置を提供することを目的とす
る。

〔課題を解決する為の手段〕

本発明は前記目的を連成するために、外周にギアが刻設
された円形状搬送体に板状体を支持させ、所定間隔で対
向して設けられた第１、第２の移送手段に前記搬送体の
ギアを噛合わせ、第１、第２の移送手段を駆動して搬送
体を第１、第２の移送手段の移送路に位置する研磨ユニ
ット内に導入して、板状体の被加工面を研磨し、研磨完
了後、第１１第２の移送手段を駆動して搬送体を研磨ユ
ニットから搬出し、更に必要に応じて搬送体のギアと第
１、第２の移送手段との噛合を解除し、板状体を連続的
に研磨することを特徴としている。

〔作用〕

本発明によれば、所定間隔で対向して設けられた第１、
第２の移送手段（１０４，１０６）に、板状体（１３７
）を支持する搬送体（３７）のギア（３７Ａ）を噛合わ
せる。搬送体（３７）は第１、第２の移送手段（１０４
，１０６）により研磨ユニット　（３２，３４）まで導
かれる。板状体＜１３７）は第１、第２の移送手段の速
度を変えることにより研磨パターンを適宜変えて被加工
面を加工される。研磨完了後、搬送体（３７）を研磨ユ
ニット　（３２，３４）から搬出して搬送体（３７）の
ギア（３７Ａ）と第１、第２の移送手段（１０４，１０
６）との噛合を解除し、搬送体（３７）から研磨された
板状体（３７）を取り出す。

従って、研磨ユニット（３２，３４）を稼働した状態の
まま複数の搬送体（３７）を順次研磨ユニット　（３２
，３４〉に供給、排出することが出来るので、板状体（
１３７）を連続的に研磨することが出来る。尚、第１、
第２の移送手段の移送路の終端において搬送体のギアと
第１、第２の移送手段との噛合を解除せずに板状体を搬
送体から取り出すようにすることも可能である。

〔実施例〕

以下添付図面に従って本発明に係る板状体の研磨方法及
びその装置の好ましい実施例を詳説する。

板状体の研磨装置は、第１図、第２図に示すフレーム３
０、上部研磨ユニット３２、下部研磨ユニット３４、移
送手段３６、及び第４図に示すキャリア３７等から構成
されている。

フレーム３０は、第２図に示すように下部フレーム３８
と上部フレーム４０から戊り、下部フレ−ム３０は、４
隅に配置された支柱４４．４４．４４．４４と、支柱に
架は渡された横梁４６．４６とから構成されている。上
部フレーム４０は第２図に示すように下部フレーム３８
とデイスタンス部材４８．４８・・・を介してボルト５
０．５０・・・で固定されている。

第１図に示すよう１′：、上部研磨ユニット３２．３２
．３２は直線上に並列配置され、各々上部フレーム４０
に軸線を上下方向に向けた状態で等間隔に固定され、第
２図に示すように各上部ユニット３２の本体５２には下
方に延びているシャフト５４Ａを介して円板状の上盤５
４が回転自在に支持されている。上盤５４の下面には第
６図に示すように発砲ウレタンパッド等の研磨パッド５
４Ｂが装着されている。シャフト５４Ａは本体５２の上
方に延びているシャフト５６に回転力が伝達可能に連結
されている。

第２図に示すように、シャフト５６にはプーリ５８が固
着され、プーリ５８とプーリ６０には無端状のベルト６
２が張設されている。プーリ６０は駆動モータ６４のシ
ャフト６６に固着され、この駆動モータ６４は上部フレ
ーム４０のブラケット６８に設けられている。駆動モー
タ６４が回転すると、その回転力はシャフト６６、プー
リ６０、ベルト６２、プーリ５８、シャフト５６、シャ
フト５４Ａを介して上盤５４に伝達される。尚、第２図
、第３図上で６５はベルト６２の張りを調整するブーり
である。

また、第２図に示すように上部研磨ユニット３２のシャ
フト５６には回転継手７０を介して研磨剤の供給管７２
が連結され、供給管７２は第６図に示すようにシャフト
５４Ａ１上盤５４、研磨パッド５４Ｂに形成されている
流出孔７４に連通している。従って、供給管７２から流
入した研磨剤は、研磨パッド５４Ｂの研磨面に開口して
いる流出孔７４から流出する。

更に、上部研磨ユニット３２は、図示しない機構で、上
盤５４を上下方向に移動することが出来、研磨圧を調整
することが出来る。

第１図に示すように、下部研磨ユニット３４．３４．３
４は対応する上部研磨ユニー／　）　３２．３２．３２
と同軸上に配置されている。下部研磨ユニット３４の本
体７８には上方に延びたシャフト８０Ａを介して円板状
の下盤８０が回転自在に支持されている。下盤８０の上
面には第６図に示すように発砲ウレタンパッド等の研磨
パッド８０Ｂが装着されている。研磨パッド５４Ｂと研
磨パッド８０Ｂとは互いに対向して配置されている。シ
ャツ）８０Ａは本体７８の下方に同軸上に配設されてい
るシャフト８２に回転力が伝達可能に連結されている。

第２図に示すように、シャフト８２にはプーリ８４が固
着され、プーリ８４とプーリ８６には無端状のベルト８
８が張設されている。プーリ８６は駆動モータ９０のシ
ャフト９２に固着されている。駆動モータ９０は下部フ
レーム４４のブラケット９４に設けられている。駆動モ
ータ９ｏが回転すると、その回転力はシャフト９２、プ
ーリ８６、ベルト８８、プーリ８４、シャフト８２、シ
ャフト８０Ａを介して下盤８０に伝達される。尚、第２
図上で９５はベルト８８の張りを張設するプーリである
。

また、第２図に示すように下部研磨ユニット３４のシャ
フト８２には回転継手９６が設けられ、回転継手９６に
は研磨剤の供給管９８が連結され、供給管９８は第６図
に示すようにシャフト８０Ａ１下盤８０、研磨パッド８
０Ｂに形成されている流出孔１００に連通している。従
って、供給管９８から流入した研磨剤は、研磨パッド８
０Ｂの研磨面に開口している流出孔１００から流出する
。

更に、下部研磨ユニット３４は、図示しない機構で下盤
８０の上下方向移動量を微調整することが出来る。

第３図、第４図に示すように、移送手段３６は、所定間
隔で対向して配置された第１の移送手段１０４及び第２
の移送手段１０６から成り、第１の移送手段１０４と第
２の移送手段１０４との間には後述するキャリア７の移
送路を形成する。第１の移送手段１０４はスブロケッ）
１０８．１１０を有し、スプロケット１０８はシャフＩ
−１０８Ａを介して下部フレーム３８に回転自在に支持
されている。また、スプロケット１１０はシャフト１１
０Ａに固着され、シャフト１１０Ａは下部フレーム３８
に回転自在に支持されている。このシャフト１１０Ａは
、第５図に示すように動力伝達手段１１２を介して駆動
モータ１１４に回転力が伝達可能に連結されている。ま
た、下部フレーム３８には、スプロケット１１６．１１
６．１１６が、回転自在に支持され、これらのスプロケ
ット１０８、スプロケット１１Ｏ、スプロケット１１６
．１１６．１１６には無端状のチェーン１１８が張設さ
れている。

第２の移送手段１０６は第１の移送手段１０４と同一に
構成されている。即ち、第２の移送手段１０６はスプロ
ケット１２０．１２２を有し、スプロケット１２２はシ
ャフト１２ＯＡを介して下部フレーム３８に回転自在に
支持されている。また、スプロケット１２２はシャフト
１２２Ａに固着され、シャフト１２２Ａは下部フレーム
３８に回転自在に支持されている。このシャフト１２２
Ａは、第５図に示すように動力伝達装置１２４を介して
駆動モータ１１４に回転力が伝達可能に連結されている
。また、下部フレーム３８には、スプロケット１２６．
１２６．１２６が、回転自在に支持されている。これら
のスプロケット１２０．１２２．１２６．１２６．１２
６には無端状のチェーン１２８が張設されている。

従って、駆動モータ１１４を回転すると動力伝達半没１
１２、シャツ）ＩＩＯＡを介してスプロケット１１０が
第４図上で矢印六方向く反時計回り方向）に回転するの
で、チェーン１１８は範囲り内で矢印Ａ１方向に移動す
る。同時に動力伝達手段１２４、シャフト１２０を介し
てスプロケット１２０が矢印六方向（反時計回り方向）
に回転するので、チェーン１２８は範囲り内で矢印Ａ２
方向に移動する。尚、チェーン１１８とチェーン１２８
とが対向する部分〈範囲Ｌ）にはガイド１１８Ａとガイ
ド１２８Ａとが設：すられでいる。

動力伝達手段１１２には第５図に示すように変速賎１３
０が設けられている。従って、回転速度調整用のハンド
ル１３２を操作して出力側シャフト１３３の回転速度を
変えることが出来るので、チェーン１１８の回転速度を
変えることが出来る。

また、本発明に係る板状体の＠磨装置は、第４図に示す
キャリア３７を有している。キャリア３７はディスク状
に形成され、外周にはチェーン１１８とチェーン１２８
とに噛合うようにギア３７Ａが形成され、内部には円形
の硝子板１３７．１３７・・・を支持する開口部３７Ｂ
、３７Ｂが形成されている。このキャリア３７の板厚は
第６図に示すようにＬ３　の寸法に形成され、硝子１１
３７の板厚はり、の寸法に形成されている。し３　とＬ
４とはＬ３＜Ｌ４　に設定されているので硝子波１３７
の上面は研磨パッド５４Ｂに接触し、硝子板１３７の下
面は研磨パッド８０Ｂに接触する。

従って、キャリア３７のギア３７Ａをチェーン１１８及
びチェーン１２８に噛合わせた状態で、例えばチェーン
１１８の回転速度をチェーン１２８の回転速度より速く
すると、キャリア３７は第４図上で矢印Ｂ方向に回転す
ると共に矢印Ｃ方向に移動する。

尚、下部フレーム３８には第４図に示すように二点Ｉ！
ＩｗＡで示されているベルトコンベア１４０が設けられ
ているので、研磨装置から排出されたキャリア３７を矢
印方向に搬送して再び研磨装置に供給することが出来る
。

前記の如く構成された本発明に係る板状体の研磨装置の
作用について説明する。

先ず、第１図、第３図に示す各上部研磨ユニット３２の
駆動モータ６４を駆動すると、その回転力がシャフト６
６、プーリ６０．ベルト６２、プーリ５８、シャフト５
６、シャフト５４Ａを介して上盤５４に伝達され、上盤
５４と共に研磨パッド５４Ｂが回転する。同時に各下部
研磨ユニツ）・３４の駆動モータ９０を駆動し、その回
転力がシャフト９２、プーリ８６、ベルト８８、プーリ
８４、シャフト８２、シャフト８０Ａを介して下盤８０
に伝達され、下盤８ｏと共に研磨パッド８０Ｂが回転す
る。

更に、移送手段３６の駆動モータ１１４を駆動すると、
駆動モータ１１４の回転力は、動力伝達半没１１２を介
してシャツ）ＩＩＯＡと、動力伝達手段１２４を介して
シャフト１２２Ａとに伝達されるので、シャフトｌｌ０
Ａとシャフト１２２Ａとを介して、スプロケット１１０
とスブロヶフト１２０とは反時計回り方向に回転する。

従って、第４図上の範囲り内でチェーン１１８は矢印Ａ
ｔ方向に移動し、チェーン１２８は矢印Ａ２方向に移動
する。この状態で回転速度調整用のノ１ンドル１３２を
操作してシャツ）ＩＩＯＡの回転速度をシャフト１２０
Ａの回転速度より僅かに速く回転するように調整する。

次に、キャリア３７の開口部３７Ｂ、３７Ｂ・・・に硝
子板１３７．１３７・・・を挿入してベルトコンベア１
４０でキャリア３７を、第４図上の（ａ）位置（供給口
〉まで搬送する。この位置でキャリア３７のギア３７Ａ
はチェーン１１８とチェーン１２８とに噛み合う。この
場合チェーン１１８の移動速度はチェーン１２８の移動
速度より僅かに速いのでキャリア３７はＢ方向に自転す
ると共に矢ＥＯＣ方向に移動する。

キャリア３７がチェーン１１８とチェーン１２８とで移
送される範囲りには上部研磨ユニット３２．３２．３２
と下部研磨ユニット３４．３４．３４とが対向して支持
され、それらが回転している。従って、キャリア３７が
研磨パッド５４Ｂと研磨パッド８０Ｂとの間を移動する
時、第６図に示すように、硝子板１３７の上面１３７Ａ
は研磨パッド５４Ｂで研磨され、硝子板１３７の下面１
３７Ｂは研磨パッド８０Ｂで研磨される。この時、流出
孔７４、流出孔１００からは研磨剤が供給されている。

この状態で、キャリア３７が第４図の（ｂ＞位１ｉ！（
排出口）まで移動すると、キャリア３７のギア３７Ａと
チェーンｌ１８、チェーン１２８との噛み合いが解除さ
れ、キャリア３７から１ｌｌＦ磨された硝子板１３７．
１３７・・・が取外される。硝子板１３７．１３７・・
・が外された空のキャリア３７は第４図で示すベルトコ
ンベア１４０で再び前記（ａ）位置まで搬送される。キ
ャリア３７の開口部３７Ｂには新たな硝子板１３７．１
３７・・・が挿入される。前記実施例では１枚のキャリ
アについて説明したが、ｖｌ数枚のキャリアを順次供給
し、上記工程に従って硝子板１３７．１３７・・・を連
続的に１ｉＦＦＩすることが出来る。

前記実施例ではチェーン１１８の回転速度をチェーン１
２８の回転速度より僅かに速くしたがこれに限らずチェ
ーン１１８の回転速度を任意に変化してもよい。即ち、
チェーン１１８とチェーン１２８を同速で回転方向を逆
にすると、キャリア３７は回転のみして進行しない。従
ってこの状態で長時間研磨ユニットにセットして置くこ
とも出来る。また、これに限らず研磨パッドと硝子板と
の相対的運動を任意に変化することが出来るので最適な
研磨パターンを選択することが出来る。

前記実施例では円形の硝子板を研磨したが、これに限ら
ず、Ａ１板等の板状体を研磨することも可能である。ま
た、板状体は、円形に限らず矩形状或いはその他所型の
形状であってもよい。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明に係る板状体の研磨方法及び
その装置によれば、所定Ｉ！！隔で対向して設けられた
第１１第２の移送手段を駆動し、移送手段に板状体を支
持する搬送体のギアを噛合わせ、搬送体を研磨ユニット
まで移送し、板状体の研磨機搬送体のギアと第１、第２
の移送手段との噛合を解除する。

従って、研磨ユニットを稼働した状態で順次搬送体を研
磨ユニットまで移送し、研磨ユニットから排出すること
が出来るので、板状体を連続的に研磨することが出来、
生産効率の向上を図ることが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る板状体の研磨装置の正面図、第２
図は第工図のＩＩ−Ｕ断面図、第３図は本発明に係る板
状体の研磨装置の平面図、第４図は第１図の１’Ｖ−１
’Ｖ断面図、第５図は第１図の■−■断面図、第６図は
第２図の要部拡大図、第７図は従来の研磨装置の上部研
磨盤を除去した場合を示す平面図、第８図は第７図の■
−■断面図である。３２・・・上部研磨ユニー／　）、　３４・・・下部研
磨ユニット、３６・・・移送ユニット、　　３７・・・
キャリア、３７Ｂ・・・ギア、　　５４・・・上盤、　
５４Ｂ、８０Ｂ・・・研磨パッド、　　６４．９０．１
１４・・・ｗｌ動モータ、　　８０・・・下盤、　　１
１８．１２８・・・チェーン、１７・・・硝子板。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）外周にギアが刻設された円形状搬送体に板状体を
支持させ、所定間隔で対向して設けられた第１、第２の移送手段に
前記搬送体のギアを噛合わせ、第１、第２の移送手段を駆動して搬送体を第１、第２の
移送手段の移送路に位置する研磨ユニット内に導入して
、板状体の被加工面を研磨し、研磨完了後、第１、第２
の移送手段を駆動して搬送体を研磨ユニットから搬出す
ることを特徴とした板状体の研磨方法。
（２）前記第１、第２の移送手段の相対駆動速度を変化
させて板状体の研磨パターンを変えることを特徴とした
請求項（１）記載の板状体の研磨方法。
（３）外周にギアが形成され、板状体を支持する開口部
が形成された円形状搬送体と、所定間隔で対向して配置されて前記搬送体の移送路を形
成し、前記搬送体のギアと噛合う第１、第２の噛合部を
有し、第１、第２の噛合部を駆動して前記搬送体を移送
する第１、第２の移送手段と、搬送体の移送路に配置され板状体の被加工面を研磨する
研磨ユニットと、を有することを特徴とする板状体の研磨装置。