JPH0192063A - 両面研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明はたとえばガラス基板やディスク等の研磨装置に
係るもので、特に枚葉式の両面研磨を可能とする研磨装
置に関するものである。

（従来の技術） 大口径のガラス基板やディスク等を両面研磨する方式と
してはバッチ方式と枚葉方式とがある。

バッチ式で研磨する場合には、たとえば、第５図に示す
ように被加工物ａをキャリアｂにより保持しこのキャリ
アｂを太陽歯車Ｃとインターナル歯車ｄに噛合させると
ともに上記被加工物ａを上定盤（図示しない）と下定盤
ｅで挟圧して回転させることにより研磨する。

また、枚葉式の研磨の場合には一枚の被加工物の一面側
を保持部材で保持し、他面側を定盤で研磨し、研磨を終
えたら他方の面を研磨する。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、従来のバッチ式の研磨の場合には、加工
精度は優れるが、被加工物の大口径化にともない機械は
大型化し、製作面、設置場所の点で困難になるとともに
、機械が大きくなることと複数枚の被加工物があること
から、被加工物の位置が着脱時に一定せず、ハンドリン
グが困難になるという欠点がある。

また、枚葉式の研磨の場合には被加工物とその保持面と
の間に使用する接着剤などの介在物により加工精度が悪
くなるとともに２回研磨となるため研磨効率が悪くなる
という問題がある。

本発明は上記事情に着目してなされたもので、その目的
とするところは、大型化することな（、高精度に研磨で
きるようにした両面研磨装置を提供しようとするもので
ある。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 本発明は上記問題点を解決するために、回転部材と、こ
の回転部材に係合して回転し被加工物を保持するキャリ
アと、このキャリアによって保持された被加工物をその
両面側から挟持し回転することによりその両面を研磨す
る複数対の定盤とを具備したことを特徴とするものであ
る。

（作　用） 上記手段により小型の装置であり精度よく被加工物を研
磨加工できるようにした。

（実施例） 以下、本発明を第１図および第２図に示す一実施例を参
照して説明する。

第１図は研磨装置を示す概略的構成図である。

図中１はガラス基板等の被加工物で、この被加工物１は
キャリア２に保持されている。前記キャリア２はその外
周歯部が回転部材としてのインターナルギア３の内周歯
部に噛合され図示しない駆動機構により上記インタナ−
ナルギア３が回転されることにより自転運動するように
なっている。

また、前記被加工物１は２対の上、下定盤で挟圧されて
いる。すなわち、上定盤４ａと下定盤５ａの一対と、上
定盤４ｂと下定盤５ｂの一対との計２対の上下定盤によ
り挟圧されている。そして、これら２対の定盤４ａ、４
ｂと５ａ、５ｂはその定盤中心が常に被加工物１の面内
にあって被加工物１に研磨されない部分が残らないよう
にするために大きさを変えである。また、被加工物１の
中心はインターナルギア３の中心に一致さであるととも
に上記上定盤４ａ、４ｂの被加工物１と接する面４　ａ
　Ｉ　と４ｂ′、上記下定盤５ａ、５ｂの被加工物１と
接する面５ａ’　と５ｂ’　はそれぞれ同一平面となる
ようにしておく。

上記上定盤４ａと４ｂは、それぞれ軸５ａ、５ｂに連結
され、これら軸５　ａ、　５　ｂには歯＊　７　ａ、　
７　ｂが固定されている。前記歯車７　ａ、　７　ｂは
歯車８と外周の歯部で噛みあっており、この歯車８には
軸９が固定されている。前記軸９はプーリー１０の内部
に昇降自在に挿入され、かつジヨイント１１を介して回
転自在にシリンダ１２に連結されている。前記シリンダ
１２は電磁弁２１を介して図示しない圧力源、例えばエ
アー源に接続されている。

また、上記軸６ａ、６ｂ、９はケース１３に回転自在に
支持され、上記プーリー１０はフレーム２３に回転自在
に支持されている。プーリー１０は図示しない駆動源に
より回転を与えられる。

一方、上記下定盤５ａ、５ｂはそれぞれ軸１°４ａ。

１４ｂに連結され、これら軸１４ａ、１４ｂの下部側に
は歯車１５ａ、１５ｂが固定されている。

前記歯車１５ａ、１５ｂの外周歯部は歯車１６と噛合い
、この歯車１６には軸１７が連結されている。そして、
前記軸１７にはプーリー１８が固定され、このプーリー
１８は図示しない駆動源により回転されるようになって
いる。前記軸１４ａ。

１４ｂ、１７は受は台１９に回転自在に支持されている
。

しかして、被加工物１を研磨する場合には、まずインタ
ーナル歯車３の歯部にキャリア２の外周歯部を噛み合せ
てセットし、このキャリア２の穴２０に被加工物１を挿
入する。ついで、電磁弁２１を動作させてシリンダ１２
のヘッド側接続口１２ａをエアｖＡ（図示しない）に連
通させる。これによりエア圧によってシリンダ１２のロ
ッド１２ｃが押し下げられジヨイント１１、軸９、ケー
ス１３さらに軸５　ａ、　５　ｂを介して土足１１ｕ　
４　ａ。

４ｂが下降し、その下面４ａ　ｔ　、４ｂ＋が被加工物
１の上面に当接すると停止する。しかるのち図示しない
供給装置により研摩剤を供給しながら、図示しない駆動
源により、プーリー１８、プーリー１０およびプーリー
２２をそれぞれ回転駆動させる。上記プーリー１８の回
転により、軸１７、歯車１６、歯車１５ａ、１５ｂおよ
び軸１４ａ。

１４ｂを介して下定盤５ａ、５ｂが回転され、また、上
記プーリー１０の回転により軸９、歯車８、歯車７　ａ
、　７　ｂおよび軸５　ａ、　５　ｂを介して上定盤４
ａ。

４ｂが回転され、さらに、プーリー２２が回転されるこ
とによりインターナル歯車３が回転される。

これにより、被加工物１はその両面が研磨加工されるこ
とになる。

なお、研磨の加重はシリンダのボート１２ａに導入する
エアー圧力を調整することにより任意の荷重が得られる
。

このようにして、所定時間経過し研磨加工を終了すると
、上、下定盤４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂおよびインターナ
ル歯車３の回転を停止するとともに、研摩剤の供給を停
止する。また、シリンダ１２のポート１２ｂに操作圧力
を導入することにより、上定盤４ａ、４ｂを上昇させて
研磨工程を完了する。

上述したように、−枚の被加工物１を研磨するため、被
加工物１が大口径化しても装置を大形化することなく加
工できるとともに被−加工物のハンドリングも容易とな
る。

また、被加工物１の両面を同時に研磨するので効率的で
あり、加工精度も両面同時加工により高精度なものが得
られる。さらに、枚葉式研磨装置なので、被加工物１の
ロード／アンロード時の位Ｉ！（中心位置）が一定であ
るため位置検出が容易で自動化が可能である。

なお、枚葉式両面研磨としては第３因および第４図に示
す１対の上下定盤３１．３２で被加工物３３を研磨する
方式も考えられるが、この場合の欠点は定盤３１．３２
の内外周の周速差が大きく、それが加工速度の差として
被加工物３３の加工面に顕著にあられれ高精度なものが
得にくい。本発明によれば上下定盤を２対以上の複数に
することにより被加工物面内の定盤の周速差、すなわち
加工速度の差の均一化をはかれ、高精度なものが得られ
る。

以上２対の上下定盤を例として説明してきたが３対以上
の上下定盤の構成も可能である。

又定盤回転速度比、回転方向については歯車列の構成に
より変化をもたせることが出来る。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、被加工物を一枚
だけ両面研磨するから、被加工物の口径が大形化しても
十分に対応でき、装置を小型化できる。さらに、被加工
物のロード、アンロードも容易となり、自動化に対応し
易いとともに被加工物を複数対の定盤で挟圧研磨するた
め、高精度の加工が可能になるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である研磨Ｖ＆画を示す概略
的縦断面図、第２図は第１図中Ａ−Ａ線に沿って示す平
面図、第３図は一対の定盤による枚葉式の研磨装置を示
す概略的縦断面図、第４図は第３図中Ｂ−Ｂ線に沿って
示す平面図、第５図は従来例であるバッチ方式の両面研
磨装置を示す平面図である。 １・・・被加工物、２・・・キャリア、３・・・インタ
ーナルギア（回転部材）　、　４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂ
　−・・定盤。 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦 第１図 ２゜ 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　回転部材と、この回転部材に係合して回転し被加工物
   を保持するキャリアと、このキャリアによつて保持され
   た被加工物をその両面側から挟持し回転することにより
   その両面を研磨する複数対の定盤とを具備したことを特
   徴とする両面研磨装置。