JP2001357719A - 厚膜形成用ペーストの製造方法、厚膜形成用ペースト、および濾過装置 - Google Patents
厚膜形成用ペーストの製造方法、厚膜形成用ペースト、および濾過装置Info
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Abstract
れる塊状物を効率よく除去することができる厚膜形成用
ペーストの製造方法、こうして得られた厚膜形成用ペー
スト、および本発明の厚膜形成用ペーストの製造に好適
な濾過装置を提供することにある。 【解決手段】本発明の厚膜形成用ペーストの製造方法
は、固形分と有機ビヒクルとを含む、粘度が1〜50P
a・sの範囲にある分散ペーストを、目開きが1〜20
μmのフィルタで濾過する工程を備え、フィルタは焼結
不織布フィルタであることを特徴とする。
Description
ト、厚膜形成用ペースト、および濾過装置に関するもの
で、特に、積層セラミックコンデンサ内部電極に用いら
れる導電性ペースト等の製造方法、導電性ペースト、お
よび濾過装置に関する。
応じた固形分を有機ビヒクル中に分散させたものが用い
られている。厚膜形成用ペーストとは、スクリーン印
刷、スプレー法等で厚膜を形成する際に用いるペースト
であって、より具体的には、積層セラミック電子部品の
内部電極形成用の導電性ペースト、厚膜回路基板の厚膜
抵抗形成用の抵抗体ペースト、積層セラミックコンデン
サ形成用の誘電体ペースト、多層配線基板の層間絶縁用
の絶縁体ペースト等、種々のものが挙げられる。例え
ば、積層セラミックコンデンサの内部電極形成等に用い
られる厚膜形成用ペースト、すなわち導電性ペースト
は、Au,Pd,Ag,Ag/Pd合金等の貴金属粉末
や、Ni,Cu等の卑金属粉末を、有機ビヒクル中に3
本ロール等で分散させた分散ペーストをそのまま使用す
るか、または目開き40μm程度のステンレス金網(フ
ルイ)や濾布等を用いて濾過を行なった厚膜形成用ペー
ストが使用されている。
るステンレス金網は、例えば、ステンレス線が網目状に
編み込まれたものからなり、分散ペーストをステンレス
金網の網目部分を通過させることで、目開き以上の大き
さの異物を除去する。
厚膜形成用ペーストの製造方法では、厚膜形成用ペース
トを印刷した際の印刷面に数μm〜40μm程度の突起
物が現れる問題があった。すなわち、数μmから1mm
程度の固形分の未分散物、3本ロールで発生する金属
箔、工程から混入する埃、人皮等の不純物、有機ビヒク
ル中に含まれるエチルセルロース,アクリル等の樹脂成
分の不溶解物等(以下、総称して塊状物という)が厚膜
形成用ペーストへ混入し、これを濾過によっても除去で
きないという問題があった。
や濾布による濾過によると、公称目開きの実際には1.
4〜2.0倍前後の大きさの塊状物が通過しており、深
さ方向には無限大の塊状物が通過することに起因する。
また、圧力を加えることで変形する塊状物の場合、濾過
時の圧力により変形して濾を通過する場合があった。
導電性ペーストであって、これを用いて積層セラミック
電子部品の内部電極を形成する場合、セラミックグリー
ンシートに印刷する際の印刷用スクリーンメッシュを通
過せず、印刷図形の欠損を生じる等の問題があった。
上述の塊状物の高さより薄い場合、塊状物がセラミック
グリーンシートを貫いて、電子部品の信頼性や歩留まり
を著しく低下させる問題があった。
ペーストの場合、印刷精度を向上させるために、粘度は
1〜50Pa・sと高く、チクソ性を具備している。こ
のような厚膜形成用ペーストの場合、濾過前の分散ペー
スト中における固形分の移動の自由度が小さく、従来品
の濾過精度の高いフィルタでは圧力損失が高いことから
フィルタ表面でケーク化して有効な濾過がし難い問題が
あった。この場合、有効な濾過とは、厚膜形成用ペース
トの組成、粘度、比重及び流動特性等の基本的な特性は
変化させずに、顔料のうち粗大粒子と作業中に混入した
塊状物のみを分散ペーストから除去して、清浄性を高め
る濾過を意味する。
る塊状物を効率よく除去することができる厚膜形成用ペ
ーストの製造方法、こうして得られた厚膜形成用ペース
ト、および本発明の厚膜形成用ペーストの製造に好適な
濾過装置を提供することにある。
ストの製造方法は、固形分と有機ビヒクルとを含む、粘
度が1〜50Pa・sの範囲にある分散ペーストを、目
開きが1〜20μmのフィルタで濾過する工程を備え、
フィルタは、焼結不織布フィルタフィルタであることを
特徴とする。
属型フィルタであり、ステンレス繊維からなる上層部
と、ステンレス金網からなる下層部からなり、一体的に
焼結されてなることを特徴とする。
部は、さらに密度の異なる多層構造を備え、上層部の上
面近傍が最も粗密であって下面近傍になるに従い緻密に
ステンレス繊維が配置されていることが好ましい。
属型フィルタであり、金属粒子からなる上層部と、ステ
ンレス金網からなる下層部からなり、一体的に焼結され
てなることを特徴とする。
さらに密度の異なる多層構造を備え、上層部の上面近傍
が最も粗密であって下面近傍になるに従い緻密に金属粒
子が配置されていることが好ましい。
方法における濾過は、複数の焼結不織布フィルタを上下
に配置した多段濾過であることが好ましい。
方法における濾過は、少なくとも焼結不織布フィルタの
上段または下段にステンレス金網を配置した多段濾過で
あることが好ましい。
造方法によって作製されていることを特徴とする。
を備えることを特徴とする。
属型フィルタであり、ステンレス繊維からなる上層部
と、ステンレス金網からなる下層部からなり、一体的に
焼結されてなることを特徴とする。
部は、さらに多層構造を備え、上層は粗密に、下層にな
るにしたがって緻密にステンレス繊維が配置されている
ことが好ましい。
属型フィルタであり、金属粒子からなる上層部と、ステ
ンレス金網からなる下層部からなり、一体的に焼結され
てなることを特徴とする。
さらに多層構造を備え、上層は粗密に、下層になるにし
たがって緻密に金属粒子が配置されていることが好まし
い。
織布フィルタを上下に配置した多段構造を備えることが
好ましい。
ィルタの上段または/および下段にステンレス金網を配
置した多段構造を備えることが好ましい。
造方法は、ペーストの濾過方法に特徴があり、例えば、
目開きが1〜20μmの焼結不織布フィルタを用いてペ
ーストを濾過する点に特徴がある。具体的には、焼結不
織布フィルタとして、例えば焼結金属型フィルタやセラ
ミックフィルタ等を用いてペーストを濾過し、より具体
的には、例えば、ステンレス繊維や金属粒子等を焼結さ
せた焼結金属型フィルタを用いてペーストを濾過し、さ
らに具体的には、例えば、ステンレス金網上にステンレ
ス繊維を堆積させ、プレスしたした後に焼結させた焼結
金属型フィルタ、ステンレス金網上に金属粒子を堆積さ
せ、プレスした後に焼結させた焼結金属型フィルタを用
いてペーストを濾過する点に特徴がある。
下であれば、従来のステンレス金網や濾布による濾過に
比して塊状物の除去効果が優れる。他方、目開きが1μ
m以上であれば、分散ペーストの固形分をほとんど除去
することなく、濾過後の厚膜形成用ペーストの特性に悪
影響を与えることがない。
ストであって、これを用いて積層セラミック電子部品の
内部電極を形成する場合、電子部品の品質を確保するた
めにも、最終段のフィルタの目開きは、印刷されるセラ
ミックグリーンシートの厚み以下であることが好まし
い。具体的には、例えば、セラミックグリーンシートの
厚みが7μmである場合、最終段のフィルタとしては、
7μm以下の目開きである5μmフィルタを選択するこ
とが好ましい。
となく、ステンレス繊維や金属粒子のみを焼結させたフ
ィルタの場合、分散ペーストを濾過中にステンレス繊維
や金属粒子が脱落して濾過後の厚膜形成用ペースト中に
混入する恐れがあるため、本発明の厚膜形成用ペースト
の製造方法においては、ステンレス繊維あるいは金属粒
子からなる上層部と、ステンレス金網からなる下層部と
を一体的に焼結させた焼結不織布フィルタ、すなわち焼
結金属型フィルタを用いることが好ましい。
なる上層部は、さらに密度の異なる多層構造を備え、上
層部の上面近傍が最も粗密であって下面近傍になるに従
い緻密にステンレス繊維または金属粒子が配置されてい
ることが好ましい。このように、ステンレス繊維または
金属粒子からなる上層部を、密度の異なる多層構造にす
ることにより、大きい塊状物が焼結不織布フィルタの上
表面近傍で除去され、続いてより細かい塊状物が焼結不
織布フィルタの中程で除去されるため、焼結不織布フィ
ルタの目詰まりを低減させることができる。
明のような目開きが20μm以下の細かなフィルタを使
用すると、固形分の凝集が強い場合や不純物の混入が多
い場合には、フィルタが目詰まりしてフィルタの寿命が
極端に低下する場合がある。このような場合には、フィ
ルタを多段化して多段濾過を行なうとよい。すなわち、
最終のねらい濾過精度よりも粗めのフィルタをその前段
に1段またはそれ以上配置することにより、下段のフィ
ルタの寿命を延長させることができる。より具体的に
は、例えば、濾過1段目に目開き10μmの焼結不織布
フィルタを配置し、濾過2段目に目開き7μmの本発明
の焼結不織布フィルタを配置する。なお、さらに濾過3
段目に目開き5μmの本発明の焼結不織布フィルタを配
置してもよい。また、濾過1段目に本発明の焼結不織布
フィルタよりも目開きの粗い従来のステンレス金網を配
置し、濾過2段目に本発明の焼結不織布フィルタを配置
してもよい。なお、さらに濾過3段目に従来のステンレ
ス金網を配置してもよく、さらに目開きの細かい本発明
の焼結不織布フィルタを配置してもよい。
ルタによる濾過の場合、分散ペースト中の固形分がある
程度の除去されてしまう恐れがある。一般に、厚膜形成
用ペーストは、固形分の含有量によって印刷等による厚
膜形成時の塗膜厚みを調整しているため、濾過により固
形分の含有量が設計値より低下してしまうと、ねらいの
塗膜厚みが得られないという問題が発生する。そこで、
濾過前の分散ペースト中の固形分含有量を設計値より高
めに設定し、濾過による固形分粉末の損失を見越してお
く。このようにすることにより、濾過後の厚膜形成用ペ
ーストの固形分含有量のずれを防ぐことができる。ま
た、濾過による固形分の損失がロット毎に変動する場
合、通常の濾過による固形分の損失量より3〜4%程度
高めに固形分を添加しておき、濾過後にねらいの固形分
含有量となるまで分散ペーストの主溶剤を添加して下げ
ることができる。
ペーストの製造方法における、焼結不織布フィルタとし
て焼結金属型フィルタを挙げ、図1,図2および図3に
示して詳細に説明する。図1に示すように、焼結金属型
フィルタ1は、上層部2と下層部3とからなる。上層部
2は、さらに粗密部分2aと、緻密部分2bとからな
る。上層部2、すなわち粗密部分2aと緻密部分2b
は、図2(a)ならびに図2(b)に示すように、何れ
も線状のステンレス繊維からなり、これらが多数折り重
なって高さ方向に一定の厚みを備える三次元構造をなし
ている。下層部3は、図3(a)ならびに図3(b)に
示すように、綾畳織されたステンレス金網からなる。
ーストの製造方法における、焼結金属型フィルタを図4
および図5に示して詳細に説明する。図4に示すよう
に、焼結金属型フィルタ11は、上層部12と下層部3
とからなる。上層部12は、さらに粗密部分12aと、
緻密部分12bとからなる。上層部12、すなわち粗密
部分12aと緻密部分12bは、図5に示すように、何
れも金属粒子からなり、これらが多数折り重なって高さ
方向に一定の厚みを備える三次元構造をなしている。下
層部3は、上述の実施形態において図3(a)ならびに
図3(b)に示したものと同様である。
12は、密度の異なる粗密部分2a,12aと緻密部分
2b,12bとからなるが、本発明は図1,図2
(a),図2(b),図4ならびに図5の形態に特に限
定されることなく、例えば、粗密部分から緻密部分にか
けて3段以上の多段構造を備えてもよく、また、上層部
2,12はステンレス繊維または金属粒子が単一の密度
で折り重なった構造であっても構わない。
は、網目の見透しができない斜めの間隔の網目を持つ綾
畳織されたステンレス金網であれば、上層部のステンレ
ス繊維または金属粒子の脱落を防止でき好ましいが、本
発明は図1,図3(a)ならびに図4の形態に特に限定
されることなく、例えば、平織、綾織、平畳織、綾むし
ろ織等であっても構わない。
を、図6に示して詳細に説明する。濾過装置21は、タ
ンク22と、フィルタ部23と、集液ロート24と、回
収路25と、蓋26と、空気圧送路27と、からなる。
えるタンクであり、フィルタ部の上部に位置している。
液ロート24の上部に位置し、焼結金属型フィルタ1
と、ステンレス金網3と、補強板23aと、パッキン2
3cとを備える。フィルタ部23における焼結金属型フ
ィルタ1,ステンレス金網3,補強板23a,パッキン
23cの位置関係は次の通りである。すなわち、2層の
焼結金属型フィルタ1,1の下部にステンレス金網3が
配置されている。補強板23aは、例えばステンレスか
らなる板で、分散ペーストが通過するのに十分な大きさ
の穴またはスリット形状からなる複数のホール23bを
備え、上述の焼結金属型フィルタ1とステンレス金網3
を下部から支持するのに十分な強度を有するものが適宜
選択され、焼結金属型フィルタ1とステンレス金網3の
下部に配置されている。パッキン23cは、例えばゴム
からなり、焼結金属型フィルタ1とステンレス金網3と
補強板23aのそれぞれ間隔を調整する目的で、各々の
間隙に配置されている。
に位置し、濾過された厚膜形成用ペーストを回収路25
に導くための漏斗である。
トの取出し口であり、下部にはさらに吸引装置を備え
て、集液ロート24から厚膜形成用ペーストを吸引排出
する。
ンク22を密閉する。
空気圧送装置から送られる圧縮空気をタンク22内に導
くためのパイプである。
けるフィルタ部を、図7に示して詳細に説明する。但
し、前述の実施形態と同一部分については、同一の符号
を付し、詳細な説明を省略する。フィルタ部33は、焼
結金属型フィルタ1と、ステンレス金網3と、補強板2
3aとを備える。フィルタ部33における焼結金属型フ
ィルタ1,ステンレス金網3,補強板23a,パッキン
23cの位置関係は次の通りである。すなわち、2層の
焼結金属型フィルタ1,1の間にステンレス金網3が配
置されている。補強板23aは、焼結金属型フィルタ1
とステンレス金網3の下部に配置されている。パッキン
23cは、焼結金属型フィルタ1とステンレス金網3と
補強板23aの間隙に配置されている。
22、集液ロート24、回収路25、蓋26、空気圧送
路27の形状,材質ならびに位置は、上述の実施形態に
限定されない。また、フィルタ部23の構造について
も、本発明の焼結金属型フィルタ1を備えることを除い
て、上述の実施形態に限定されない。また、補強板23
aならびにパッキン23cの形状,材質ならびに位置
は、上述の実施形態に限定されず、必ずしも備えている
必要はない。
表1に示す通り、固形分としてのCu粉末が50重量
%、有機バインダとしてのエチルセルロース樹脂が10
重量%、主溶剤としてのターピネオールが40重量%か
らなる、厚膜形成用ペースト100重量%とする。
粒径0.5μmのCu粉末を54重量%と、エチルセル
ロース樹脂10重量部とターピネオール36重量部から
なる有機ビヒクル46重量%とを、全量で3kg準備し
た。
時間攪拌して混合し、127mm径の3本ロールで分散
処理を行ない、濾過前の分散ペーストを得た。なお、3
本ロールによる分散条件は、ニップ間隔を10μm、パ
ス回数を5回とした。こうして得られた濾過前の分散ペ
ースト中の粗粒について粒ゲージを用いて粒径を測定し
たところ、1μm程度まで小さくなった。また、濾過前
の分散ペーストの粘度は10Pa・sであった。
実施例の厚膜形成用ペーストを得た。すなわち、試料1
〜4については、濾過1段目と濾過3段目に目開きが2
0μmの綾畳織りステンレス金網を配置し、濾過2段目
にそれぞれ目開きが0.5μm,1.0μm,10.0
μm,20.0μmの焼結金属型フィルタ(ステンレス
繊維タイプ)を配置した多段濾過装置を準備し、試料5
については、濾過1段目を配置せず、濾過2段目に目開
きが30μmの焼結金属型フィルタ(ステンレス繊維タ
イプ)を配置し、濾過3段目に目開きが32.0μmの
綾畳織ステンレス金網を配置した多段濾過装置を準備
し、試料6〜8については、それぞれ目開きが10.0
μm,20.0μm,40.0μmの綾畳織ステンレス
金網を1段配置した濾過装置を準備し、上述の分散ペー
ストをそれぞれ濾過して、試料1〜8の厚膜形成用ペー
ストを得た。なお、濾過は空気圧送方式で、圧力は6.
0kg/cm2とした。また、焼結金属型フィルタなら
びにステンレス金網は、何れも径50mmのものを用い
た。なお、試料9の厚膜形成用ペーストについては、濾
過処理を行なわず、上述の濾過前の分散ペーストをその
まま用いた。
濾過装置で分散ペーストを濾過した際に、濾過開始時と
比較して濾過速度が1/2倍となる時点の既に濾過され
たペースト量、すなわち濾過量を測定し、これを表3に
まとめた。
00g中に存在する大きさ30μm以上の塊状物を計数
し、これを表3にまとめた。
還元性セラミックからなり、厚みが5μmのセラミック
グリーンシート上に、焼成後の塗膜厚みが1.5μmと
なるように試料1〜9の厚膜形成用ペーストをスクリー
ン印刷して、焼成後に内部電極となる試料1〜9の電極
膜を形成した。
印刷した試料1〜9の電極膜を観察して、1枚の電極膜
中における塊状物数を計数し、これを表3にまとめた。
ラミックグリーンシートを、それぞれ70層積み重ねた
後に圧着し、所定の寸法にカットして、試料1〜9の生
のセラミック積層体を得た。
体を窒素雰囲気中で脱バインダ処理した後、弱還元雰囲
気中において1300℃で焼成し、セラミック積層体の
両端面にAgを含有してなる導電性の厚膜形成用ペース
トを塗布し、乾燥させ、800℃で焼付けして一対の端
子電極を形成し、3.2×1.6mm寸法である試料1
〜9の積層セラミックコンデンサを1000個作製し
た。
デンサを100個ずつ抜き取り、ショート不良の発生個
数を調べて不良発生率を求め、これを表3にまとめた。
0.5〜20.0μmの焼結金属型フィルタを用いて濾
過した試料1〜4の厚膜形成用ペーストは、ペースト1
00g中に存在する大きさ30μm以上の塊状物数が何
れも0個であり、1枚の電極膜中の塊状物数も0個であ
った。また、積層セラミックコンデンサのショート不良
率は、目開きが0.5μm,1.0μmの焼結金属型フ
ィルタを用いた試料1および2については0%であり、
目開きが10.0μm,20.0μmの焼結金属型フィ
ルタを用いた実施例3および4については、それぞれ1
%,2%で僅かにショート不良が発生したが、実用上許
容できる範囲内のため、何れも本発明の範囲内となっ
た。
結金属型フィルタを用いた試料5の厚膜形成用ペースト
は、ペースト100g中に大きさ30μm以上の塊状物
が2個見つかり、また、1枚の電極膜中に塊状物が6個
見つかった。このように、厚膜形成用ペーストならびに
電極膜中に塊状物が存在するため、積層セラミックコン
デンサの不良率は10%と高く劣り、本発明の範囲外と
なった。
ず従来のステンレス金網のみを用いた試料6〜8と、濾
過を行なわなかった試料9は、厚膜形成用ペースト中に
2個〜多数の塊状物が見つかり、また、1枚の電極膜中
に塊状物が3個〜多数見つかった。このように、厚膜形
成用ペーストならびに電極膜中に塊状物が存在するた
め、積層セラミックコンデンサの不良率は7〜100%
と高く劣った。
物が焼結金属型フィルターやステンレス金網に付着する
ために、分散ペーストの濾過速度が低下することから、
濾過量は濾過フィルターの寿命、すなわち作業効率の指
標となる。ここで、試料3と試料7の厚膜形成用ペース
トを比較すると、それぞれ濾過量が7.0kg,6.4
kgで略同じであるが、試料3の厚膜形成用ペースト中
の塊状物数,1枚の電極膜中の塊状物数,積層セラミッ
クコンデンサはそれぞれ0個,0個,1%であるのに対
して、試料7の厚膜形成用ペースト中の塊状物数,1枚
の電極膜中の塊状物数,積層セラミックコンデンサのシ
ョート不良率はそれぞれ4個,7個,15%であった。
つまり、表3から明らかであるように、濾過量が多くな
ると、何れの試料においても厚膜形成用ペースト中の塊
状物数,1枚の電極膜中の塊状物数,積層セラミックコ
ンデンサは増加するという比例関係にあるが、本発明の
厚膜形成用ペーストの製造方法によれば、濾過の作業効
率を低下させることなく、不良率を低減させることがで
きることが分かる。
トの製造方法によれば、固形分と有機ビヒクルとを含
む、粘度が1〜50Pa・sの範囲にある分散ペースト
を、目開きが1〜20μmのフィルタで濾過する工程を
備え、フィルタは、焼結不織布フィルタあることを特徴
とすることで、厚膜形成用ペースト中に含まれる塊状物
を効率よく除去することができる。
金属型フィルタであり、ステンレス繊維からなる上層部
と、ステンレス金網からなる下層部からなり、一体的に
焼結されてなることを特徴とすることで、フィルタから
脱落したステンレス繊維が厚膜形成用ペースト中に混入
することがなく、このような厚膜形成用ペーストを用い
て内部電極を形成した積層セラミックコンデンサにおい
て、ショート不良の発生を低減させることができる。
部は、さらに密度の異なる多層構造を備え、上層部の上
面近傍が最も粗密であって下面近傍になるに従い緻密に
ステンレス繊維が配置されていることを特徴とすること
で、大きい塊状物が焼結不織布フィルタの上表面近傍で
除去され、続いてより細かい塊状物が焼結不織布フィル
タの中程で除去されるため、焼結不織布フィルタの目詰
まりを低減させることができ、濾過フィルタの寿命を低
下させることなく、濾過処理の作業効率を高めることが
できる。
は焼結金属型フィルタであり、金属粒子からなる上層部
と、ステンレス金網からなる下層部からなり、一体的に
焼結されてなることを特徴とすることで、フィルタから
脱落した金属粒子が厚膜形成用ペースト中に混入するこ
とがなく、このような厚膜形成用ペーストを用いて内部
電極を形成した積層セラミックコンデンサにおいて、シ
ョート不良の発生を低減させることができる。
さらに密度の異なる多層構造を備え、上層部の上面近傍
が最も粗密であって下面近傍になるに従い緻密に金属粒
子が配置されていることを特徴とすることで、大きい塊
状物が焼結不織布フィルタの上表面近傍で除去され、続
いてより細かい塊状物が焼結不織布フィルタの中程で除
去されるため、焼結不織布フィルタの目詰まりを低減さ
せることができ、濾過フィルタの寿命を低下させること
なく、濾過処理の作業効率を高めることができる。
フィルタを上下に配置した多段濾過であることを特徴と
することで、下段のフィルタの寿命を延長させることが
できる。
フィルタの上段または/および下段にステンレス金網を
配置した多段濾過であることを特徴とすることで、下段
のフィルタの寿命を延長させることができる。
ストの製造方法における、焼結金属型フィルタの断面の
写真である。
ストの製造方法における、(a)はステンレス繊維の上
面図であり、(b)はステンレス繊維の上面の拡大写真
である。
ストの製造方法における、(a)はステンレス金網の上
面図であり、(b)はステンレス金網の上面の拡大写真
である。
トの製造方法における、焼結金属型フィルタの断面の写
真である。
トの製造方法における、金属粒子の上面図である。
図である。
る、フィルタ部の説明図である。
Claims (15)
- 【請求項1】 固形分と有機ビヒクルとを含む、粘度が
1〜50Pa・sの範囲にある分散ペーストを、目開き
が1〜20μmのフィルタで濾過する工程を備え、 前記フィルタは、焼結不織布フィルタであることを特徴
とする、厚膜形成用ペーストの製造方法。 - 【請求項2】 前記焼結不織布フィルタは、焼結金属型
フィルタであり、 ステンレス繊維からなる上層部と、ステンレス金網から
なる下層部からなり、一体的に焼結されてなることを特
徴とする、請求項1に記載の厚膜形成用ペーストの製造
方法。 - 【請求項3】 前記ステンレス繊維からなる上層部は、
さらに密度の異なる多層構造を備え、 前記上層部の上面近傍が最も粗密であって下面近傍にな
るに従い緻密にステンレス繊維が配置されていることを
特徴とする、請求項2に記載の厚膜形成用ペーストの製
造方法。 - 【請求項4】 前記焼結不織布フィルタは、焼結金属型
フィルタであり、 金属粒子からなる上層部と、ステンレス金網からなる下
層部からなり、一体的に焼結されてなることを特徴とす
る、請求項1に記載の厚膜形成用ペーストの製造方法。 - 【請求項5】 前記金属粒子からなる上層部は、さらに
密度の異なる多層構造を備え、 前記上層部の上面近傍が最も粗密であって下面近傍にな
るに従い緻密に金属粒子が配置されていることを特徴と
する、請求項4に記載の厚膜形成用ペーストの製造方
法。 - 【請求項6】 前記濾過は、複数の前記焼結不織布フィ
ルタを上下に配置した多段濾過であることを特徴とす
る、請求項1〜5の何れかに記載の厚膜形成用ペースト
の製造方法。 - 【請求項7】 前記濾過は、前記焼結不織布フィルタの
上段または/および下段に前記ステンレス金網を配置し
た多段濾過であることを特徴とする、請求項2〜5の何
れかに記載の厚膜形成用ペーストの製造方法。 - 【請求項8】 請求項1〜7の何れかの方法によって製
造されたことを特徴とする、厚膜形成用ペースト。 - 【請求項9】 焼結不織布フィルタを備えることを特徴
とする、濾過装置。 - 【請求項10】 焼結不織布フィルタは、焼結金属型フ
ィルタであり、 ステンレス繊維からなる上層部と、ステンレス金網から
なる下層部からなり、一体的に焼結されてなることを特
徴とする、請求項9に記載の濾過装置。 - 【請求項11】 前記ステンレス繊維からなる上層部
は、さらに密度の異なる多層構造を備え、 前記上層部の上面近傍が最も粗密であって下面近傍にな
るに従い緻密にステンレス繊維が配置されていることを
特徴とする、請求項10に記載の濾過装置。 - 【請求項12】 前記焼結不織布フィルタは、焼結金属
型フィルタであり、 金属粒子からなる上層部と、ステンレス金網からなる下
層部からなり、一体的に焼結されてなることを特徴とす
る、請求項9に記載の濾過装置。 - 【請求項13】 前記金属粒子からなる上層部は、さら
に密度の異なる多層構造を備え、 前記上層部の上面近傍が最も粗密であって下面近傍にな
るに従い緻密に金属粒子が配置されていることを特徴と
する、請求項12に記載の濾過装置。 - 【請求項14】 複数の前記焼結不織布フィルタを上下
に配置した多段構造を備えることを特徴とする、請求項
9〜13の何れかに記載の濾過装置。 - 【請求項15】 前記焼結不織布フィルタの上段または
/および下段に前記ステンレス金網を配置した多段構造
を備えることを特徴とする、請求項10〜13の何れか
に記載の濾過装置。
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