JP2001336980A - フーリエ分光器 - Google Patents

フーリエ分光器

Info

Publication number
JP2001336980A
JP2001336980A JP2000158039A JP2000158039A JP2001336980A JP 2001336980 A JP2001336980 A JP 2001336980A JP 2000158039 A JP2000158039 A JP 2000158039A JP 2000158039 A JP2000158039 A JP 2000158039A JP 2001336980 A JP2001336980 A JP 2001336980A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
value
pass filter
fourier
filter circuit
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000158039A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Koyama
弘 小山
Tomoaki Nanko
智昭 南光
Minoru Akutsu
実 阿久津
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP2000158039A priority Critical patent/JP2001336980A/ja
Publication of JP2001336980A publication Critical patent/JP2001336980A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 受光手段の感度を変更することによってS/
Nを向上させることが可能なフーリエ分光器を実現す
る。 【解決手段】 干渉計を走査して測定光の干渉光を測定
し、この測定結果を演算制御回路でフーリエ変換するこ
とにより測定光のスペクトルを求めるフーリエ分光器に
おいて、干渉光を受光する受光手段と、この受光手段の
出力が接続されるハイパスフィルタ回路及びローパスフ
ィルタ回路と、ハイパスフィルタ回路及びローパスフィ
ルタ回路の何れか一方を選択して干渉光の直流値及びイ
ンターフェログラムを測定する処理チャンネルと、ハイ
パスフィルタ回路及びローパスフィルタ回路の選択を制
御すると共に直流値に基づき受光手段の感度を変更する
演算制御回路とを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、フーリエ分光器に
関し、特に電流電圧変換回路の感度を変更することによ
ってS/Nを向上させることが可能なフーリエ分光器に
関する。
【0002】
【従来の技術】従来のフーリエ分光器は、干渉計を走査
して測定光の干渉光を測定し、この測定結果をコンピュ
ータ等の演算制御手段でフーリエ変換することにより測
定光のスペクトルを求める。
【0003】測定結果であるインターフェログラムの中
央部には急峻なセンターバーストと呼ばれるピークが存
在する。このため従来のフーリエ分光器ではこのセンタ
ーバーストを飽和させないようにA/D変換器のフルス
パンを設定するので、量子化電圧が増大してしまいS/
Nが低下してしまうと言った問題点があった。
【0004】このような問題点を解決するため本願出願
人の出願に係る「特願平7−154181」がある。前
記出願では高利得処理チャンネルと低利得処理チャンネ
ルの2系統の処理チャンネルを設け、高利得処理チャン
ネルでの測定結果の内飽和した部分を低利得処理チャン
ネルでの測定結果で置換することにより高S/Nのフー
リエ分光器を実現している。
【0005】ここで、図4はこのような従来のフーリエ
分光器の一例を示す構成ブロック図である。図4におい
て1はフォトダイオード等の受光素子と電流電圧変換器
とから構成される受光手段、2はスイッチ回路、3は正
弦波、矩形波、三角波等を発生させる基準信号発生回
路、4はサンプリング周波数の1/2以上の高周波数信
号を減衰させるフィルタ回路、5はセンタバースト部分
が飽和しないように利得が設定された低利得増幅器、6
及び9はA/D変換器、7及び10は記憶回路、8はセ
ンタバースト部分が飽和するように利得が設定された高
利得増幅器、11は演算制御回路、100は図示しない
干渉計からの干渉信号である。
【0006】また、5〜7は低利得処理チャンネル50
を、8〜10は高利得処理チャンネル51を、さらに、
1〜10は処理手段52をそれぞれ構成している。
【0007】干渉信号100は受光手段1の受光素子に
入射され、受光素子のアノードは電流電圧変換器を構成
する演算増幅器の反転入力端子及び抵抗の一端に接続さ
れる。一方、受光素子のカソードは正電圧源に接続され
る。また、演算増幅器の非反転入力端子は接地され、演
算増幅器の出力は抵抗の他端及びスイッチ回路2の一方
の入力端子に接続される。また、スイッチ回路2の他方
の入力端子には基準信号発生回路3の出力が接続され
る。
【0008】スイッチ回路2の出力端子はフィルタ回路
4を介して低利得増幅器5及び高利得増幅器8にそれぞ
れ接続され、低利得増幅器5及び高利得増幅器8の出力
はA/D変換器6及び9にそれぞれ接続される。
【0009】A/D変換器6及び9の出力は記憶回路7
及び10に接続され、記憶回路7及び10の出力は演算
制御回路11にそれぞれ接続される。
【0010】ここで、図4に示す従来例の動作を図5を
用いて説明する。図5は高S/Nのインターフェログラ
ムの生成を示すタイミング図である。
【0011】スイッチ回路2で基準信号発生回路3を選
択し、その出力信号をフィルタ回路4を介して低利得増
幅器5及び高利得増幅器8に入力し、A/D変換器6及
び9でディジタル信号に変換した後記憶回路7及び10
に格納する。
【0012】演算制御回路11は基準信号発生回路3を
適宜変化させデータを取り込み高利得処理チャンネル5
1と低利得処理チャンネル50との間の相関式を演算す
る。即ち、記憶回路10に格納されたi番目データを”
XH(i)"、記憶回路7に格納されたi番目データ
を”XL(i)"とした場合に、 XH(i)=A・XL(i)+B (1) となるような係数”A”及び”B”を演算する。但し、
この処理は初期化時に1回行うだけでもよく、また、必
要に応じて随時行っても良い。
【0013】次に、スイッチ回路2で受光手段1を選択
し、干渉信号である出力信号をフィルタ回路4を介して
低利得増幅器5及び高利得増幅器8に入力し、A/D変
換器6及び9でディジタル信号に変換した後記憶回路7
及び10に格納する。
【0014】ここで、高利得増幅器8の利得はセンタバ
ースト部分で飽和するように設定されているので記憶回
路10には図5中(a)に示すような波形が格納されて
いる。このような波形では図5中”SP01”に示すA
/D変換器13のフルスパンを越えた部分が飽和して図
5中”SR01”に示すような飽和部分が生じる。
【0015】一方、低利得増幅器5の利得はセンタバー
スト部分が飽和しないように設定されているので記憶回
路7には図5中(b)に示すような波形が格納されてい
る。即ち、図5中”SR01”に示すような飽和部分は
存在せずに完全にデータを取得している。
【0016】演算制御回路11はデータ記憶回路10に
格納されたデータを調べ、図5中”SSR1”及び”E
SR1”に示すような飽和部分”SR01”の始点及び
終点を検出し、飽和部分”SR01”以外の部分はデー
タ記憶回路10に格納されたデータを用い、飽和部分”
SR01”では先に求めた相関式である式(1)により
データ記憶回路7に格納されたデータを変換して用い
る。
【0017】即ち、このように合成されたデータを”X
COMB(i)"、図5中”SSR1”及び”ESR1”の
点を”ia "及び”ib "、データ数を”0〜N”とし
た場合、 XCOMB(i)=XH(i) i=0〜ia (2) XCOMB(i)=A・XL(i)+B i=ia〜ib (3) XCOMB(i)=XH(i) i=ib〜N (4) となる。
【0018】この結果、A/D変換器9でゼロ付近の微
小な信号を検出し、A/D変換器6でセンタバースト部
分の変動を非飽和で検出し、両者の信号を合成すること
により、インターフェログラムは図5中(c)に示すよ
うにセンタバースト部分での飽和が存在しない波形にな
る。
【0019】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図4に示す従
来例では高利得処理チャンネル51と低利得処理チャン
ネル50の2系統の処理チャンネルを設けることによ
り、A/D変換器6及び9の性能を向上させることがで
きるために、フーリエ分光器の雑音の主要因は受光手段
1となると言った問題点があった。従って本発明が解決
しようとする課題は、受光手段の感度を変更することに
よってS/Nを向上させることが可能なフーリエ分光器
を実現することにある。
【0020】
【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために、本発明のうち請求項1記載の発明は、干渉計
を走査して測定光の干渉光を測定し、この測定結果を演
算制御回路でフーリエ変換することにより測定光のスペ
クトルを求めるフーリエ分光器において、前記干渉光を
受光する受光手段と、この受光手段の出力が接続される
ハイパスフィルタ回路及びローパスフィルタ回路と、前
記ハイパスフィルタ回路及び前記ローパスフィルタ回路
の何れか一方を選択して前記干渉光の直流値及びインタ
ーフェログラムを測定する処理チャンネルと、前記ハイ
パスフィルタ回路及び前記ローパスフィルタ回路の選択
を制御すると共に前記直流値に基づき前記受光手段の感
度を変更する演算制御回路とを備えたことにより、S/
Nを向上させることが可能になる。
【0021】請求項2記載の発明は、請求項1記載の発
明であるフーリエ分光器において、前記受光手段が、前
記干渉光を受光して電流信号を得る受光素子と、この受
光素子の出力が非反転入力端子に印加されると共に非反
転入力端子と出力端子間に受光手段の感度を設定する感
度設定手段が設けられた演算増幅器とから構成されたこ
とにより、S/Nを向上させることが可能になる。
【0022】請求項3記載の発明は、請求項2記載の発
明であるフーリエ分光器において、前記感度設定手段
が、容量と、選択により前記容量に並列接続される複数
の抵抗とから構成されたことにより、S/Nを向上させ
ることが可能になる。
【0023】請求項4記載の発明は、請求項2記載の発
明であるフーリエ分光器において、前記感度設定手段
が、選択可能な複数の並列接続された抵抗と容量との対
により構成されたことにより、S/Nを向上させること
が可能になる。
【0024】請求項5記載の発明は、請求項2記載の発
明であるフーリエ分光器において、前記感度設定手段
が、可変抵抗であることにより、より細かな帰還抵抗の
設定が可能になるのでS/Nをより向上させることがで
きる。
【0025】請求項6記載の発明は、請求項5記載の発
明であるフーリエ分光器において、前記可変抵抗が、半
固定抵抗であることにより、より細かな帰還抵抗の設定
が可能になるのでS/Nをより向上させることができ
る。
【0026】請求項7記載の発明は、請求項5記載の発
明であるフーリエ分光器において、前記可変抵抗が、電
子ボリュームであることにより、より細かな帰還抵抗の
設定が可能になるのでS/Nをより向上させることがで
きる。また、自動調整も可能になる。
【0027】請求項8記載の発明は、請求項1及び請求
項2記載の発明であるフーリエ分光器において、前記演
算制御回路が、前記ローパスフィルタ回路を選択して前
記受光手段の感度を最大に設定し、干渉光の直流成分が
予め設定された適性値でなければ前記感度が小さくなる
ように設定し、適正値である場合には前記ハイパスフィ
ルタ回路を選択してインターフェログラムを測定しフー
リエ変換処理をすることにより、S/Nを向上させるこ
とが可能になる。
【0028】請求項9記載の発明は、請求項1及び請求
項2記載の発明であるフーリエ分光器において、前記演
算制御回路が、干渉光の交流成分のピーク値に基づき前
記受光手段の感度を設定することにより、S/Nを向上
させることが可能になる。
【0029】請求項10記載の発明は、請求項1及び請
求項2記載の発明であるフーリエ分光器において、測定
セルが空の状態を測定する時に前記抵抗の値を設定した
上でインターフェログラムの測定を行うことにより、抵
抗の値の固体差による影響を避けることが可能になる。
【0030】請求項11記載の発明は、請求項3乃至請
求項7記載の発明であるフーリエ分光器において、前記
演算制御回路が、前記ローパスフィルタ回路を選択して
前記抵抗の値を最大に設定し、干渉光の直流成分が予め
設定された適性値でなければ前記抵抗の値が小さくなる
ように設定し、適正値である場合には前記ハイパスフィ
ルタ回路を選択してインターフェログラムを測定しフー
リエ変換処理をすることにより、S/Nを向上させるこ
とが可能になる。
【0031】請求項12記載の発明は、請求項3乃至請
求項7記載の発明であるフーリエ分光器において、前記
演算制御回路が、干渉光の交流成分のピーク値に基づき
前記抵抗の値を設定することにより、S/Nを向上させ
ることが可能になる。
【0032】請求項13記載の発明は、請求項3乃至請
求項7記載の発明であるフーリエ分光器において、測定
セルが空の状態を測定する時に前記抵抗の値を設定した
上でインターフェログラムの測定を行うことにより、抵
抗の値の固体差による影響を避けることが可能になる。
【0033】
【発明の実施の形態】以下本発明を図面を用いて詳細に
説明する。図1は本発明に係るフーリエ分光器の一実施
例を示す構成ブロック図である。図1において100は
図4と同一符号を付してあり、12はフォトダイオード
等の受光素子、13は演算増幅器、14a及び14bは
抵抗と容量が並列接続された対である帰還手段、15
a、15b及び18はスイッチ回路、16はハイパスフ
ィルタ回路、17はローパスフィルタ回路、19はA/
D変換器、20は記憶回路、21は演算制御回路、10
1a及び101bは制御信号である。
【0034】12,13,14a,14b,15a及び
15bは受光手段53を、18〜20は処理チャンネル
54を、14a,14b,15a及び15bは感度設定
手段55を、12〜20は処理手段56をそれぞれ構成
している。
【0035】干渉信号100は受光素子12に入射さ
れ、受光素子12のアノードは演算増幅器13の反転入
力端子と帰還手段14a及び14bの一端に接続され
る。一方、受光素子12のカソードは正電圧源に接続さ
れ、帰還手段14a及び14bの他端はスイッチ回路1
5a及び15bの一端にそれぞれ接続される。
【0036】また、演算増幅器13の非反転入力端子は
接地され、演算増幅器13の出力はスイッチ回路15a
及び15bの他端とハイパスフィルタ回路16及びロー
パスフィルタ回路17の入力端子に接続される。
【0037】ハイパスフィルタ回路16及びローパスフ
ィルタ回路17の出力はそれぞれスイッチ回路18の2
つの入力端子に接続され、スイッチ回路18の出力はA
/D変換器19にそれぞれ接続される。
【0038】A/D変換器19の出力は記憶回路20に
接続され、記憶回路20の出力は演算制御回路21に接
続される。さらに、演算制御回路21からの制御信号1
01a及び101bはスイッチ回路15a及び15bの
制御端子にそれぞれ接続される。
【0039】ここで、図1に示す実施例の動作を図2を
用いて説明する。図2は演算制御回路21の動作を説明
するフロー図である。受光手段53は帰還手段を適宜選
択することにより帰還抵抗の値が変化して受光手段53
の感度を変更することができる。
【0040】図2中”S001”において演算制御回路
21はスイッチ回路18を制御してローパスフィルタ回
路17を選択する。
【0041】また、図2中”S002”において演算制
御回路21はスイッチ回路15a及び15bを制御して
帰還手段14a及び14bを適宜選択して帰還抵抗が最
大になるように設定する。言い換えれば、受光手段53
の感度を最大にする。
【0042】そして、図2中”S003”において演算
制御回路21はローパスフィルタ回路17を通過した受
光手段53の出力、言い換えれば、干渉信号の直流成分
をA/D変換器19でディジタル信号に変換した後記憶
回路20に格納する。
【0043】図2中”S004”において演算制御回路
21は測定された直流値が予め設定された適性値の範囲
内であるか否かを判断し、もし、適性値でなければ、図
2中”S005”において演算制御回路21はスイッチ
回路15a及び15bを制御して帰還手段14a及び1
4bを適宜選択して帰還抵抗が小さくなるように設定す
る。言い換えれば、受光手段53の感度を小さくする。
【0044】もし、図2中”S004”において適正値
と判断された場合にはこの帰還抵抗の値を維持しつつ、
図2中”S006”において演算制御回路21はスイッ
チ回路18を制御してハイパスフィルタ回路16を選択
する。
【0045】そして、図2中”S007”において演算
制御回路21はハイパスフィルタ回路16を通過した受
光手段53の出力、言い換えれば、インターフェログラ
ムをA/D変換器19でディジタル信号に変換した後記
憶回路20に格納する。
【0046】最後に、図2中”S008”において演算
制御回路21は記憶回路20に格納されているインター
フェログラムをフーリエ変換処理する。
【0047】ここで、さらに、受光手段53の雑音要因
について詳細に説明する。演算増幅器13、帰還手段1
4a及び14bとスイッチ回路15a及び15bで構成
される電流電圧変換器の雑音要因としては以下の3項目
が存在する。すなわち、 A.受光素子(フォトダイオード)の内部並列抵抗Rp
の熱雑音 B.帰還抵抗Rfの熱雑音 C.演算増幅器の雑音 とが存在する。
【0048】ナイキストによると抵抗から発生する熱雑
音”Vn”は、
【数1】 と表される。
【0049】ここで、”K”をボルツマン定数[J/
K]、Tを絶対温度[K]、Bを測定帯域幅[Hz]と
した場合に、容量成分や演算増幅器の特性を考慮しなけ
れば回路出力に換算したフォトダイオードの内部並列抵
抗Rpから発生する熱雑音Vpは、
【数2】 となる。
【0050】同様に、回路出力に換算した帰還抵抗Rf
の熱雑音Vfは、
【数3】 となる。
【0051】演算増幅器の入力換算の電圧性雑音Viと
電流性雑音Iiにより、回路出力に換算した演算増幅器
の熱雑音VA は、
【数4】 となる。
【0052】最後に、受光手段53の出力信号はフォト
ダイオードの出力電流Ipに帰還抵抗Rfをかけた電圧
であるから、S/Nは、
【数5】 となる。
【0053】数5より帰還抵抗Rfが大きいほどS/N
が向上する。但し、S/Nは演算増幅器の電源電圧やA
/D変換器のレンジにより制限を受けるので、この制限
内でS/Nが一番の大きくなるように帰還抵抗の値を図
2に示すフロー図によって決定する。
【0054】この結果、干渉光100の直流成分に基づ
き受光手段53の感度を変更することによってS/Nを
向上させることが可能になる。
【0055】なお、図1に示す実施例では説明の簡単の
ために2つの帰還手段しか設けていないが、勿論、3以
上の帰還手段を設けてより細かな帰還抵抗の設定を行え
ばS/Nをより向上させることができる。
【0056】また、図1に示す実施例では帰還手段を演
算制御手段21からの制御により自動的に切り換えてい
たが、手動のジャンパスイッチにより帰還手段の選択を
行っても構わない。
【0057】また、図1に示す実施例では抵抗と容量の
並列接続で構成される帰還手段を選択等しているが抵抗
の抵抗値のみを変化させても勿論構わない。すなわち、
1つの容量に対して選択により複数の抵抗の一を並列接
続させるものであっても構わない。
【0058】また、図1に示す実施例では抵抗値が固定
の抵抗を用いているが、可変抵抗により帰還抵抗を調整
しても構わない。この場合にはより細かな帰還抵抗の設
定が可能になるのでS/Nをより向上させることができ
る。
【0059】例えば、可変抵抗の種類としては半固定抵
抗や電子ボリュームを用いることができ、電子ボリュー
ムを用いる場合には演算制御手段21により自動調整も
可能になる。
【0060】また、図1に示す実施例では干渉信号の直
流成分に基づき帰還抵抗の値を選択していたが、干渉信
号の交流成分のピーク値に基づき帰還抵抗の値を選択し
ても構わない。
【0061】また、抵抗の値の固体差による影響を避け
るために、セルブランク(測定セルが空の状態)を測定
する時に帰還抵抗の値を設定してインターフェログラム
の測定に時には帰還抵抗の値の調整を行わないことも可
能である。
【0062】図3はこのような測定を行う場合の測定動
作を説明するフロー図である。図3中”S101”にお
いて測定セルを空にし、図3中”S102”において演
算制御回路21は図2に示すような前述の手法により帰
還抵抗を調整する。
【0063】図3中”S103”において演算制御回路
21はセルブランクを測定し、図3中”S104”にお
いてフーリエ変換処理を行う。
【0064】図3中”S105”において測定セルにサ
ンプルを充填し、図3中”S106”において演算制御
回路21はサンプルのインターフェログラムを測定し、
図3中”S107”においてフーリエ変換処理を行う。
【0065】最後に、図3中”S108”において演算
制御回路21はサンプルの測定値をセルブランクの測定
値で除算してサンプルの吸光度を計算する。
【0066】また、図1示す実施例では1チャンネルの
処理チャンネルによりインターフェログラムを得ている
が、従来例のように高利得処理チャンネルと低利得処理
チャンネルの2系統の処理チャンネルを設ける構成と組
み合わせても構わない。
【0067】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば次のような効果がある。請求項1乃至請
求項4,8,9,11及び請求項12の発明によれば、
干渉光の直流値若しくは交流成分のピーク値に基づき受
光手段の感度を変更することによってS/Nを向上させ
ることが可能になる。
【0068】また、請求項5乃至請求項7の発明によれ
ば、可変抵抗により帰還抵抗を調整することにより、よ
り細かな帰還抵抗の設定が可能になるのでS/Nをより
向上させることができる。
【0069】また、請求項10及び請求項13の発明に
よれば、測定セルが空の状態を測定する時に受光手段の
感度を設定した上でインターフェログラムの測定を行う
ことにより、抵抗の値の固体差による影響を避けること
が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るフーリエ分光器の一実施例を示す
構成ブロック図である。
【図2】演算制御回路の動作を説明するフロー図であ
る。
【図3】測定動作を説明するフロー図である。
【図4】従来のフーリエ分光器の一例を示す構成ブロッ
ク図である。
【図5】高S/Nのインターフェログラムの生成を示す
タイミング図である。
【符号の説明】
1,53 受光手段 2,15a,15b,18 スイッチ回路 3 基準信号発生回路 4 フィルタ回路 5 低利得増幅器 6,9,19 A/D変換器 7,10,20 記憶回路 8 高利得増幅器 11,21 演算制御回路 12 受光素子 13 演算増幅器 14a,14b 帰還手段 16 ハイパスフィルタ回路 17 ローパスフィルタ回路 50 低利得処理チャンネル 51 高利得処理チャンネル 52,56 処理手段 54 処理チャンネル 55 感度設定手段 100 干渉信号 101a,101b 制御信号

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】干渉計を走査して測定光の干渉光を測定
    し、この測定結果を演算制御回路でフーリエ変換するこ
    とにより測定光のスペクトルを求めるフーリエ分光器に
    おいて、 前記干渉光を受光する受光手段と、 この受光手段の出力が接続されるハイパスフィルタ回路
    及びローパスフィルタ回路と、 前記ハイパスフィルタ回路及び前記ローパスフィルタ回
    路の何れか一方を選択して前記干渉光の直流値及びイン
    ターフェログラムを測定する処理チャンネルと、 前記ハイパスフィルタ回路及び前記ローパスフィルタ回
    路の選択を制御すると共に前記直流値に基づき前記受光
    手段の感度を変更する演算制御回路とを備えたことを特
    徴とするフーリエ分光器。
  2. 【請求項2】前記受光手段が、 前記干渉光を受光して電流信号を得る受光素子と、 この受光素子の出力が非反転入力端子に印加されると共
    に非反転入力端子と出力端子間に受光手段の感度を設定
    する感度設定手段が設けられた演算増幅器とから構成さ
    れたことを特徴とする請求項1記載のフーリエ分光器。
  3. 【請求項3】前記感度設定手段が、 容量と、 選択により前記容量に並列接続される複数の抵抗とから
    構成されたことを特徴とする請求項2記載のフーリエ分
    光器。
  4. 【請求項4】前記感度設定手段が、 選択可能な複数の並列接続された抵抗と容量との対によ
    り構成されたことを特徴とする請求項2記載のフーリエ
    分光器。
  5. 【請求項5】前記感度設定手段が、 可変抵抗であることを特徴とする請求項2記載のフーリ
    エ分光器。
  6. 【請求項6】前記可変抵抗が、 半固定抵抗であることを特徴とする請求項5記載のフー
    リエ分光器。
  7. 【請求項7】前記可変抵抗が、 電子ボリュームであることを特徴とする請求項5記載の
    フーリエ分光器。
  8. 【請求項8】前記演算制御回路が、 前記ローパスフィルタ回路を選択して前記受光手段の感
    度を最大に設定し、干渉光の直流成分が予め設定された
    適性値でなければ前記感度が小さくなるように設定し、
    適正値である場合には前記ハイパスフィルタ回路を選択
    してインターフェログラムを測定しフーリエ変換処理を
    することを特徴とする請求項1及び請求項2記載のフー
    リエ分光器。
  9. 【請求項9】前記演算制御回路が、 干渉光の交流成分のピーク値に基づき前記受光手段の感
    度を設定することを特徴とする請求項1及び請求項2記
    載のフーリエ分光器。
  10. 【請求項10】測定セルが空の状態を測定する時に前記
    抵抗の値を設定した上でインターフェログラムの測定を
    行うことを特徴とする請求項1及請求項2記載のフーリ
    エ分光器。
  11. 【請求項11】前記演算制御回路が、 前記ローパスフィルタ回路を選択して前記抵抗の値を最
    大に設定し、干渉光の直流成分が予め設定された適性値
    でなければ前記抵抗の値が小さくなるように設定し、適
    正値である場合には前記ハイパスフィルタ回路を選択し
    てインターフェログラムを測定しフーリエ変換処理をす
    ることを特徴とする請求項3乃至請求項7記載のフーリ
    エ分光器。
  12. 【請求項12】前記演算制御回路が、 干渉光の交流成分のピーク値に基づき前記抵抗の値を設
    定することを特徴とする請求項3乃至請求項7記載のフ
    ーリエ分光器。
  13. 【請求項13】測定セルが空の状態を測定する時に前記
    抵抗の値を設定した上でインターフェログラムの測定を
    行うことを特徴とする請求項3乃至請求項7記載のフー
    リエ分光器。
JP2000158039A 2000-05-29 2000-05-29 フーリエ分光器 Pending JP2001336980A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000158039A JP2001336980A (ja) 2000-05-29 2000-05-29 フーリエ分光器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000158039A JP2001336980A (ja) 2000-05-29 2000-05-29 フーリエ分光器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001336980A true JP2001336980A (ja) 2001-12-07

Family

ID=18662570

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000158039A Pending JP2001336980A (ja) 2000-05-29 2000-05-29 フーリエ分光器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001336980A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101056003B1 (ko) 확장 범위 rms-dc 변환기
JP2003298362A (ja) 歪補償装置
JPH07501399A (ja) 光電検出器の非線形補正技術
US5715056A (en) Fourier transform spectrometer having high and low gain channels
JPH05196656A (ja) 実効値測定装置
CN111522386B (zh) 基准电压源、芯片、电源及电子设备
CN114674427A (zh) 具消除暗电流的光感测装置
JP2001336980A (ja) フーリエ分光器
GB2307559A (en) Voltage measuring arrangement with an AC/DC converter and calibration means
JPH0682134B2 (ja) 測定電圧をデジタル値に変換する方法とその装置
JP5348389B2 (ja) オシロスコープ
JP2000314662A (ja) フーリエ分光器
JP4959412B2 (ja) 四重極型質量分析装置およびイオン電流測定方法
JP2001194390A (ja) 電流測定装置
JP3189866B2 (ja) 抵抗計校正装置
JP4742913B2 (ja) 電流電圧変換回路、光電変換装置、光信号測定装置および電流電圧変換方法
JP3744723B2 (ja) フーリエ分光器
KR100417114B1 (ko) 고주파 전력 측정 장치 및 방법
JP7308873B2 (ja) 光信号波形測定装置及び光信号波形測定方法
JPH08334567A (ja) 信号処理回路
JP3373742B2 (ja) Ac/dc変換装置及び方法
CN118100931A (zh) 信号调理电路、调理方法、集成电路芯片及数字麦克风
JP2001133488A (ja) 交流電圧測定装置及び方法
JP2022043657A (ja) 電池監視システム
JP3332080B2 (ja) フーリエ分光器