JP2001327178A - 圧電アクチュエータおよび情報記憶装置 - Google Patents

圧電アクチュエータおよび情報記憶装置

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JP2001327178A
JP2001327178A JP2000140306A JP2000140306A JP2001327178A JP 2001327178 A JP2001327178 A JP 2001327178A JP 2000140306 A JP2000140306 A JP 2000140306A JP 2000140306 A JP2000140306 A JP 2000140306A JP 2001327178 A JP2001327178 A JP 2001327178A
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勝春 肥田
Takeshi Mita
剛 三田
Shigeyoshi Umemiya
茂良 梅宮
Michitoku Kuami
道徳 朽網
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  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Moving Of Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 低電圧で大きな変位が得られ、小型軽量で、
製造コストが低い圧電アクチュエータ、およびそのよう
な圧電アクチュエータが組み込まれた、ヘッド駆動時の
慣性モーメントが小さい、高記録密度で小型軽量な情報
記憶装置を提供する。 【解決手段】 圧電アクチュエータ２００は、中心体２
００ａと２本の渦巻き形の腕２００ｂとを有しており、
２本の腕２００ｂは、全体として回転対称であるととも
に非線対称である。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電アクチュエー
タ、および圧電アクチュエータが用いられた情報記憶装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、パーソナルコンピュータやワ
ードプロセッサ等といった電子機器に内蔵、あるいは接
続される情報記憶装置として、ハードディスクドライブ
が知られている。ハードディスクドライブには一般に、
情報記憶媒体としてのディスクと、ディスクに対し記録
ビットを読み書きするヘッドが備えられており、そのヘ
ッドをディスクに近接させて保持するアームと、そのア
ームを駆動することによってヘッドをディスクに沿って
移動させる電磁型のアクチュエータも備えられている。
【０００３】このハードディスクドライブの記録密度
は、パーソナルコンピュータ等が発達するにつれて高密
度化しており、特に近年、画像や音楽をパーソナルコン
ピュータ等で取り扱う需要が高まるにつれて飛躍的に高
密度化している。そして、ハードディスクドライブの高
記録密度化に伴い、ディスク上の記録ビットが微細化
し、ディスク回転速度が増加しており、ヘッドの位置決
めの高精度化や高速化が要求されている。またハードデ
ィスクドライブの小型軽量化や省電力化も進んでいる。
【０００４】このため、精密かつ高速にヘッドを位置決
めするため、従来の電磁型のアクチュエータとは独立の
圧電アクチュエータをアームの途中に備えたハードディ
スクドライブが提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来提
案されている圧電アクチュエータ、およびハードディス
クドライブは、充分な変位が得られない、駆動電圧が高
い、寸法や重量が大きい、ヘッド駆動時の慣性モーメン
トが大きい、製造コストが高いなどといった問題点を有
する。
【０００６】このような問題点は、ハードディスクドラ
イブに限って生じるものではなく、ヘッドをアームで保
持して移動させる方式の情報記憶装置について一般に生
じるものである。
【０００７】本発明は，上記事情に鑑み、低電圧で大き
な変位が得られ、小型軽量で、製造コストが低い圧電ア
クチュエータ、およびそのような圧電アクチュエータが
組み込まれた、ヘッド駆動時の慣性モーメントが小さ
い、高記録密度で小型軽量な情報記憶装置を提供するこ
とを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の第１の圧電アクチュエータは、中心部と、その中心
部から外側へと回転対称かつ非線対称に延びた腕部群と
を有する２次元形状の、圧電材料からなる、層内方向に
圧縮伸長する圧電層と、圧電層を挟む複数の電極層とを
備えたことを特徴とする。
【０００９】ここで、圧電層は、上記２次元形状を有す
る平面的な層であってもよく、上記２次元形状に湾曲し
た層であってもよい。
【００１０】圧電層に電圧が印加されるとその圧電層は
層内方向に収縮する。このとき、腕部群を構成する各腕
部の先端を共通の剛体上に固定しておくと、上記２次元
形状に起因して中心部が低電圧で大きく回動することと
なる。また、本発明の第１の圧電アクチュエータの構造
は製造が容易な構造であるので、この第１の圧電アクチ
ュエータは小型軽量なアクチュエータとして安価に製造
することができる。
【００１１】本発明の第１の圧電アクチュエータは、上
記腕部群を構成する腕部が、腕部と中心部が繋がる根本
に対してその中心部を挟んだ裏側に回り込んでなるもの
であることが望ましい。
【００１２】また、本発明の第１の圧電アクチュエータ
は、上記圧電層を複数備えたものであることも望まし
い。
【００１３】中心部の裏側に回り込んでいる腕部を備え
た圧電アクチュエータは、腕部の収縮量に対する中心部
の回動量が大きく、複数の圧電層を備えた圧電アクチュ
エータは、電極層間に印加される電圧に対する圧電層の
収縮量が大きいため、これらの圧電アクチュエータは、
より低電圧でより大きな変位が得られる。
【００１４】本発明の第１の圧電アクチュエータは、圧
電層を複数備えている場合には、上記複数の電極層が、
同電位の電極層どうしがビアで接続されてなるものであ
ることが好ましい。
【００１５】電極層どうしを接続する手段としてビアが
採用された圧電アクチュエータは、製造が容易であり製
造コストが低い。
【００１６】また、本発明の第１の圧電アクチュエータ
は、上記圧電層が、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系
の圧電セラミックスからなるものであることが好まし
く、特に、ＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺ系の圧電セラミックスか
らなるものであることが好ましい。
【００１７】圧電層を形成する圧電材料としては、ＰＺ
Ｔ系、ＰＴ系、チタン酸バリウム系、層状ペロブスカイ
ト系等といった圧電材料が利用可能であるが、ＰＺＴ系
の圧電セラミックスは、安価であり、かつ圧電定数が大
きいので、圧電層を形成する圧電材料として適してい
る。特に，ＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺ系の圧電材料は、ＰＺＴ
系の圧電材料の中でも特に高い圧電定数を示し、焼結性
にも優れているので、圧電層を形成する圧電材料として
特に好ましい。
【００１８】上記目的を達成する本発明の第２の圧電ア
クチュエータは、圧電材料からなる１つ以上の圧電層と
その圧電層を挟む複数の電極層とからなる積層構造を有
する、その積層構造の積層方向に圧縮伸長する駆動部
と、駆動部の複数を、所定の共通面内における、積層方
向も含めて回転対称かつ非線対称な配置に保持する保持
部とを備えたことを特徴とする。
【００１９】本発明の第２の圧電アクチュエータは、保
持部によって保持されている複数の駆動部が揃って圧縮
伸長すると上記配置に起因して、低電圧で大きな回動変
位が生じる。また、本発明の第２の圧電アクチュエータ
の構造は製造が容易な構造であるので、この第１の圧電
アクチュエータは小型軽量なアクチュエータとして安価
に製造することができる。
【００２０】本発明の第２の圧電アクチュエータは、典
型的には、２つの駆動部を備えており、その典型的な第
２の圧電アクチュエータは、上記駆動部に対し、その駆
動部が圧縮伸長する方向と交わる方向に隣接する不動部
を備え、上記保持部が、駆動部と不動部との対の２対
を、互いに、一方の対の駆動部が他方の対の不動部に対
してその駆動部の圧伸方向を向けて対向するように保持
するものであることを特徴とする。
【００２１】また、この典型的な第２の圧電アクチュエ
ータは、上記保持部が、駆動部と不動部との対を２対保
持するに当たり、駆動部が空隙（スリット）を挟んで不
動部に対向するように保持するものであることが好まし
い。
【００２２】このように駆動部が空隙（スリット）を挟
んで不動部に対向する圧電アクチュエータによれば、駆
動部の圧縮伸長が容易であり、より低電圧でより大きな
変位を得ることができる。
【００２３】上記目的を達成する本発明の第１の情報記
憶装置は、所定の情報記憶媒体に対する情報記録および
情報再生のうち少なくとも何れか一方を行うヘッドが搭
載されたヘッド部と、ヘッド部に搭載されているヘッド
が情報記憶媒体に対して近接あるいは接触するようにヘ
ッド部を保持するアーム部と、アーム部を駆動すること
により、そのアーム部に保持されたヘッド部に搭載され
たヘッドを情報記憶媒体に沿って移動させるアーム部ア
クチュエータと、アーム部に対してヘッド部を、そのヘ
ッド部の重心を中心として回動させるヘッド部アクチュ
エータとを備え、上記ヘッド部アクチュエータが、中心
部と、その中心部から外側へと回転対称かつ非線対称に
延びた腕部群とを有する２次元形状の、圧電材料からな
る、層内方向に圧縮伸長する圧電層と、圧電層を挟む複
数の電極層とを備えたものであることを特徴とする。
【００２４】ここで、ヘッドは、磁気ヘッドでもよくあ
るいは光学ヘッドでもよい。
【００２５】本発明の第１の情報記憶装置は、上記ヘッ
ド部が、ヘッドと、ヘッドを搭載して情報記憶媒体上を
スライドするスライダとからなるものであり、上記アー
ム部が、アーム部アクチュエータによって駆動されるア
ームと、そのアームに接続されたサスペンションとから
なるものであり、上記ヘッド部アクチュエータが、サス
ペンションとスライダとの間に設けられたものであって
もよい。
【００２６】あるいは、本発明の第１の情報記憶装置
は、上記ヘッド部が、ヘッドと、ヘッドを搭載して情報
記憶媒体上をスライドするスライダと、そのスライダを
保持するサスペンションとからなるものであり、上記ヘ
ッド部アクチュエータが、サスペンションと上記アーム
部スライダとの間に設けられたものであってもよい。
【００２７】本発明の第１の情報記憶装置によれば、ヘ
ッド部アクチュエータによってヘッド部が重心を中心と
して回動されるのでヘッド駆動時の慣性モーメントが小
さく、ヘッド位置を高精度に制御することができる。ま
た、このヘッド部アクチュエータは、上述した第１の圧
電アクチュエータと同様の小型軽量なアクチュエータで
ある。このため、本発明の第１の情報記憶装置は、記録
密度が高くて小型軽量な装置として実現される。
【００２８】また、本発明の第１の情報記憶装置は、上
記ヘッド部アクチュエータが、腕部群を構成する腕部
の、中心部から延びた先端に相当する部分でアーム部に
接合され、中心部に相当する部分でヘッド部に接合され
てなるものであることが好ましい。そして、このような
好ましい構成の情報記憶装置では、上記電極層は、ヘッ
ド部アクチュエータがアーム部に接合された部分におい
て電圧が印加されるものであることが好適である。この
ような好適な構成の情報記憶装置は製造が容易である。
【００２９】上記目的を達成する本発明の第２の情報記
憶装置は、所定の情報記憶媒体に対する情報記録および
情報再生のうち少なくとも何れか一方を行うヘッドが搭
載されたヘッド部と、ヘッド部に搭載されているヘッド
が情報記憶媒体に対して近接あるいは接触するようにヘ
ッド部を保持するアーム部と、アーム部を駆動すること
により、そのアーム部に保持されたヘッド部に搭載され
たヘッドを情報記憶媒体に沿って移動させるアーム部ア
クチュエータと、アーム部に対してヘッド部を、そのヘ
ッド部の重心を中心として回動させるヘッド部アクチュ
エータとを備え、上記ヘッド部アクチュエータが、圧電
材料からなる１つ以上の圧電層と該圧電層を挟む複数の
電極層とからなる積層構造を有する、その積層構造の積
層方向に圧伸する駆動部と、駆動部の複数を、所定の共
通面内における、積層方向も含めて回転対称かつ非線対
称な配置に保持する保持部とを備えたものであることを
特徴とする。
【００３０】なお、本発明の情報記憶装置にいうヘッド
部アクチュエータについては、ここではその基本形態の
みを示すのにとどめるが、これは単に重複を避けるため
であり、本発明の情報記憶装置にいうヘッド部アクチュ
エータには、上記の基本形態のヘッド部アクチュエータ
のみではなく、前述した圧電アクチュエータの各形態に
対応する各種の形態のヘッド部アクチュエータが含まれ
る。
【００３１】また、本発明の第２の情報記憶装置につい
ても、重複記載を避けるために基本形態のみを示すにと
どめるが、本発明の第２の情報記憶装置には、第１の情
報記憶装置の各形態に対応する各種の形態の第２の情報
記憶装置が含まれる。
【００３２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。
【００３３】図１は、本発明に係る情報記録装置の第１
実施形態を示す図である。
【００３４】この図１に示すハードディスクドライブ
（ＨＤＤ）１００は、本発明の情報記録装置の第１実施
形態に相当するものであり、本発明の圧電アクチュエー
タの第１実施形態が組み込まれている。このハードディ
スクドライブ１００のハウジング１０１には、回転軸１
０２に装着されて回転する磁気ディスク１０３と、磁気
ディスク１０３に対して情報記録と情報再生を行う磁気
ヘッドが搭載されたスライダ１０４と、スライダ１０４
を、後述する圧電アクチュエータを介して保持するサス
ペンション１０８と、サスペンション１０８が固着され
てアーム軸１０５を中心に磁気ディスク１０３表面に沿
って移動するキャリッジアーム１０６と、キャリッジア
ーム１０６を駆動するアームアクチュエータ１０７が収
容されている。この図１に示すハードディスクドライブ
１００では、磁気ヘッドとスライダ１０４によって本発
明にいうヘッド部が構成されており、サスペンション１
０８とキャリッジアーム１０６によって本発明にいうア
ーム部が構成されている。従って、アームアクチュエー
タ１０７は、本発明にいうアーム部アクチュエータに相
当する。
【００３５】磁気ディスクへの情報の記録および磁気デ
ィスク１０３に記憶された情報の再生にあたっては、磁
気回路で構成されたアームアクチュエータ１０７によっ
てキャリッジアーム１０６が駆動され、後述する圧電ア
クチュエータによってスライダ１０４が駆動されて、磁
気ヘッドが、回転する磁気ディスク１０３上の所望のト
ラックに位置決めされる。スライダ１０４に搭載された
磁気ヘッドは、磁気ディスク１０３の回転に伴って、磁
気ディスク１０３の各トラックに並ぶ各微小領域に順次
近接する。情報の記録時には、このように磁気ディスク
１０３に近接した磁気ヘッドに電気的な記録信号が入力
され、磁気ヘッドにより、その記録信号に応じてそれら
の各微小領域に磁界が印加されて、その記録信号に担持
された情報が各微小領域の磁化方向として記録される。
また、情報の再生時には、磁気ヘッドによって、各微小
領域の磁化方向として記録された情報が、それらの磁化
それぞれが発生する磁界に応じた電気的な再生信号とし
て取り出される。ハウジング１０１の内部空間は、図示
しないカバーによって閉鎖される。
【００３６】図２は、図１に示すサスペンション１０８
付近の拡大図である。
【００３７】この図２には、図１に示すキャリッジアー
ム１０６の先端部分が示されており、上述したように、
そのキャリッジアーム１０６の先端部分にはサスペンシ
ョン１０８が固着されている。このサスペンション１０
８は、磁気ディスクに対して接離する方向（図２の上下
方向）に曲がる板バネとして機能する。また、このサス
ペンション１０８は、圧電アクチュエータ２００を介し
てスライダ１０４を保持しており、スライダ１０４には
磁気ヘッド１０９が搭載されている。圧電アクチュエー
タ２００は、図１に示すアームアクチュエータとは独立
にスライダ１０４を駆動することにより磁気ヘッド１０
９を微小移動させる。この圧電アクチュエータ２００
は、本発明の圧電アクチュエータの第１実施形態である
と共に、本発明にいうヘッド部アクチュエータの一例で
もある。この圧電アクチュエータ２００による磁気ヘッ
ド１０９の微小移動により、磁気ヘッド１０９が正確に
位置決めされる。
【００３８】図３は、サスペンション１０８の先端部分
の拡大図である。
【００３９】サスペンション１０８先端の取り付け部１
０８ａには、圧電アクチュエータ２００が取り付けられ
ており、この取り付け部１０８ａの周囲は、極狭い橋掛
け部１０８ｂを除いて溝１０８ｃで取り囲まれている。
これにより、取り付け部１０８ａでは、サスペンション
１０８の板バネとしての機能が特に高められている。
【００４０】圧電アクチュエータ２００は、中心体２０
０ａと２本の渦巻き形の腕２００ｂとを有しており、腕
２００ｂの先端２００ｃは取り付け部１０８ａに固着さ
れ、中心体２００ａはスライダ１０４の重心に固着され
ている。また、圧電アクチュエータ２００は、後述する
２次元形状を有する圧電層と、その圧電層を挟む電極層
とからなる積層構造を有している。
【００４１】図４は、圧電層の形状を示す図であり、図
５は、電源電極層の形状を示す図であり、図６は、接地
電極層の形状を示す図である。
【００４２】図４に示す圧電層２０１、図５に示す電源
電極層２０２、および図６に示す接地電極層２０３は、
電源電極層２０２，圧電層２０１，接地電極層２０３，
圧電層２０１，電源電極層２０２，圧電層２０１，…と
いう順序で積層されて、図３に示す圧電アクチュエータ
２００を構成する。
【００４３】図４に示す圧電層２０１は、中心部２０１
ａと、その中心部２０１ａから延びる２本の腕部２０１
ｂとを有している。これら中心部２０１ａおよび腕部２
０１ｂは、それぞれ、図３に示す圧電アクチュエータ２
００の中心体２００ａおよび腕２００ｂに対応してい
る。
【００４４】２本の腕部２０１ｂは本発明にいう腕部群
の一例を構成しており、２本の腕部２０１ｂからなる腕
部群は、全体として回転対称であるとともに非線対称で
ある。つまり、中心部２０１ａに２回対称軸が存在し、
中心部２０１ａを中心とした１８０°の回転移動によっ
て２本の腕部２０１ｂが互いに重なり合うが、線対称軸
は存在しない。また、各腕部２０１ｂは、腕部２０１ｂ
と中心部２０１ａが繋がる根本に対して中心部２０１ａ
を挟んだ裏側に回り込んでいる。後述するように、この
構造により、低電圧で大きな変位が生じる。
【００４５】２本の腕部２０１ｂそれぞれの先端には、
後述するビアが通る貫通孔２０１ｃが設けられている。
本実施形態では、このような圧電層２０１が複数備えら
れており、駆動電圧の低電圧化および変位量の増加が図
られている。
【００４６】図５に示す電源電極層２０２と、図６に示
す接地電極層２０３は、いずれも、図４に示す２本の腕
部２０１ｂに対応する形状の電極であり、これら電源電
極層２０２および接地電極層２０３によって圧電層２０
１が挟まれている。これらの電源電極層２０２と接地電
極層２０３との間に駆動電圧が印加されと２本の腕部２
０１ｂが収縮し、駆動電圧が消失すると２本の腕部２０
１ｂが伸長して元に戻る。
【００４７】電源電極層２０２には、２つの貫通孔２０
１ｃのうちの一方の貫通孔に対応する位置にビア２０４
が接続されており、このビア２０４によって電源電極層
２０２どうしが接続されている。また、接地電極層２０
３には、上記一方の貫通孔に対する他方の貫通孔に対応
する位置にビア２０５が接続されており、このビア２０
５によって接地電極層２０３どうしが接続されている。
【００４８】図７は、サスペンションにおける配線を示
す図である。
【００４９】サスペンション１０８には、サスペンショ
ン１０８の根本から橋掛け部１０８ｂを経て取り付け部
１０８ａに至る、電源線１０８ｄおよび設置線１０８ｅ
が設けられており、これら電源線１０８ｄおよび接地線
１０８ｅは絶縁膜で覆われている。また、電源線１０８
ｄおよび接地線１０８ｅそれぞれの先端には電源端子１
０８ｆおよび接地端子１０８ｇが設けられており、これ
ら電源端子１０８ｆおよび接地端子１０８ｇそれぞれの
上に形成された導電性の接着剤の層１０８ｈによって、
図３に示す圧電アクチュエータ２００の腕２００ｂの先
端２００ｃがサスペンション１０８に固着される。ま
た、導電性の接着剤の層１０８ｈを介して、電源端子１
０８ｆおよび接地端子１０８ｇが、それぞれ、図５に示
す電源電極層２０２および図６に示す接地電極層２０３
と接続されており、これによって配線の手間が省かれ、
低コスト化が図られている。
【００５０】電源線１０８ｄと接地線１０８ｅとの間に
駆動電圧が印加されると、電源端子１０８ｆと接地端子
１０８ｇとの間、および電源電極層２０２と接地電極層
２０３との間に駆動電圧が印加されて、図４に示す圧電
層２０１の腕部２０１ｂが層内方向に収縮する。この結
果、図３に示す腕２００ｂが収縮する。
【００５１】以下、図３を参照しながら説明を続ける。
【００５２】電源電圧の印加によって圧電層の腕部が収
縮すると、上述したように、腕２００ｂの先端２００ｃ
は取り付け部１０８ａに固着されているので、図３の矢
印Ｆ１が示すように、圧電アクチュエータ２００の各腕
２００ｂを先端２００ｃ側へと引きつける力が生じる。
そして、それらの力によって圧電アクチュエータ２００
が変形して中心体２００ａが矢印Ｆ２方向に回動し、ス
ライダ１０４が矢印Ｆ３方向に回動する。この結果、ス
ライダ１０４に搭載されている磁気ヘッドが移動するこ
ととなる。
【００５３】このような作用は、図３に示すような滑ら
かな渦巻形の腕２００ｂでなくても生じ、複数の腕が全
体として回転対称かつ非線対称に形成されていれば、腕
および腕部の形状は矩形を接合したような形状などでも
良い。従って、腕および腕部の形状の自由度は高い。
【００５４】ところで、矢印Ｆ１が示すような、各腕２
００ｂを先端２００ｃ側へと引きつける力は、腕２００
ｂと中心体２００ａとが繋がっている根本を先端２００
ｃへと直線的に引きつける力であるが、上述した圧電層
の腕部と同様に、圧電アクチュエータ２００の腕２００
ｂは、中心体２００ａの裏側に回り込んでいるため、上
記根本が中心体２００ａを大きく迂回するように移動す
ることとなる。このため、腕２００ｂがわずかに収縮し
ても中心体２００ａは大きな回転角度で回動するので、
低い駆動電圧でヘッド位置の大きな変位を生じることと
なる。なお、腕２００ｂが更に（例えば中心体２００ａ
を一周する位に）回り込むと中心体２００ａの回転角は
さらに大きくなる。但し、この場合には、圧電アクチュ
エータ２００の剛性や加工性が落ちる。
【００５５】上述したように、圧電アクチュエータ２０
０の中心体２００ａはスライダ１０４の重心に固着され
ている。また、圧電アクチュエータ２００は中心体２０
０ａを中心とする回動変位を生じ、圧電アクチュエータ
２００自身の重心は中心体２００ａの位置に存在する。
このため、圧電アクチュエータ２００が変位してスライ
ダ１０４および磁気ヘッドが駆動される際の慣性モーメ
ントが小さく、圧電アクチュエータ２００とスライダ１
０４と磁気ヘッドからなる複合体の共振周波数が高く、
その複合体は高速応答が可能である。
【００５６】図８は、圧電アクチュエータの製造工程を
示す図である。
【００５７】ここには、回路基板等で利用されているグ
リーンシート積層法により圧電アクチュエータを製造す
る製造工程が示されている。
【００５８】先ずに示すように、ＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺ系
圧電セラミックスの粉末を含む厚さ６５μｍのグリーン
シート２１０を、ドクタープレード法により、圧電アク
チュエータ複数個分の範囲に成形する（図８（Ａ））。
【００５９】次にに示すように、直径５０μｍのビア穴
２１１をグリーンシート２１１の所定位置に打ち抜く
（図８（Ｂ））。
【００６０】その後に示すように、スクリーン印刷によ
り、Ａｇ−Ｐｄ電極ペースト２１２をビア穴２１１に埋
めるとともに、Ａｇ−Ｐｄ電極ペースト２１２を、図５
および図６に示す電極層の形状にパターン印刷する（図
８（Ｃ））。
【００６１】上述した各工程を複数回（ここでは４回）
繰り返して積層体２１３を形成し、その積層体を加熱プ
レスにより一体化する（図８（Ｄ））。
【００６２】そして、表面および裏面に電極ペーストを
印刷して表面電極２１４を形成し（図８（Ｅ））、打ち
抜きプレスにより渦巻形の外形を形成して各圧電アクチ
ュエータ２００を個別化する（図８（Ｆ））。
【００６３】最後に、大気中で脱脂し焼成して圧電アク
チュエータ２００が完成する（図８（Ｇ））。必要に応
じて焼成後に加工を施しても良い。
【００６４】このような製造工程を経て製造される圧電
アクチュエータは、圧電セラミックスの一体物であり、
加工や組立がほとんどなく、安価に製造することができ
る。
【００６５】また、ビアにより層間が容易かつ安価に接
続され、表面電極２１４によりサスペンション上の端子
と容易に接続される。
【００６６】なお、ここでは、積層体２１３の形成後に
打ち抜きプレスによって圧電アクチュエータ２００の外
形を形成して個別化するが、圧電アクチュエータ２００
の外形は、ビア穴を打ち抜く際に形成されてもよい。ま
た、圧電アクチュエータ２００は、図８（Ｄ）に示す積
層体２１３を焼成し、表面研磨および表面電極形成を行
った後で、超音波加工、プラスト加工、レーザ加工、水
ジェット加工等によって個別化されても良い。
【００６７】また、ここでは圧電層はグリーンシート法
で形成されるが、圧電層は印刷多層法で形成されても良
い。
【００６８】また、表面電極２１４は、上述したように
一体焼成するのがコスト的に有利であるが、表面電極２
１４の形成前に積層体２１３を焼成し、その後で印刷法
や気相法等で表面電極２１４を形成しても良い。
【００６９】ここで、図３に示す圧電アクチュエータ２
００を、図８に示す製造工程により以下に示す仕様で製
造した。 外形寸法 ： １．０×１．０×０．１６ｍｍ 重量 ： ０．８ｍｇ 駆動層（圧電層）数： ４層 駆動層（圧電層）厚： ４０μｍ 圧電材料 ： ＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺ系セラミックス （圧電定数ｄ３１＝３００ｐｍ／Ｖ） 電極材料 ： Ａｇ−Ｐｄ このような仕様の圧電アクチュエータ２００を、図３に
示すようにサスペンション１０８およびスライダ１０４
に固着して動作特性を評価したところ、磁気ヘッドの可
動距離は、１２Ｖの駆動電圧で１．５μｍであり、磁気
ヘッドの位置決め精度は０．０３μｍであり、機械的な
共振の周波数は１２ｋＨｚであった。
【００７０】一方、圧電アクチュエータを用いない、電
磁型のアクチュエータのみによる動作特性を、本実施形
態との比較のために評価したところ、位置決め精度は
０．１２μｍであり、機械的な共振の周波数は６００Ｈ
ｚであった。
【００７１】つまり、第１実施形態の圧電アクチュエー
タが用いられたハードディスクドライブでは、高い位置
決め精度で高速に磁気ヘッドを移動させることができ、
記録密度の高密度化や読書きの高速化を図ることができ
る。
【００７２】以上で情報記憶装置および圧電アクチュエ
ータの第１実施形態についての説明を終了し、以下で
は、情報記憶装置および圧電アクチュエータそれぞれの
第２実施形態について説明する。但し、第２実施形態と
第１実施形態との相違点を中心に説明し、重複説明は省
略する。
【００７３】図９は、本発明の圧電アクチュエータの第
２実施形態を示す図である。
【００７４】この第２実施形態の圧電アクチュエータ３
００は、中心体３００ａと、４本の腕３００ｂとを有し
ている点を除き、上述した第１実施形態の圧電アクチュ
エータ２００と同様なアクチュエータであり、この第２
実施形態の圧電アクチュエータ３００も、圧電層と電源
電極層と接地電極層で構成されている。そして、この圧
電層は、中心体３００ａに対応する中心部と、４本の腕
３００ｂに相当する４本の腕部を有しており、電源電極
層と接地電極層との間に駆動電圧が印加されると、第１
実施形態の圧電アクチュエータ２００と同様の原理によ
って、中心体３００ａが回動する。
【００７５】図１０は、本発明の情報記憶装置の第２実
施形態におけるサスペンション付近の分解斜視図であ
る。
【００７６】情報記憶装置の第２実施形態は、サスペン
ション１１０とキャリッジアーム１１１との間に圧電ア
クチュエータ３００が備えられて点を除き、上述した情
報記憶装置の第１実施形態と同様の装置である。
【００７７】圧電アクチュエータ３００の中心体３００
ａは、図示しない磁気ヘッドを搭載したスライダ１１２
と、サスペンション１１０とからなるヘッド部の重心に
固着されており、圧電アクチュエータ３００の各腕３０
０ｂの先端は、キャリッジアーム１１１上の各固定場所
１１１ａに固定されている。サスペンション１１０の長
さによる変位拡大効果が働くため、圧電アクチュエータ
３００の変位量は、図２に示す圧電アクチュエータ２０
０の変位量よりも小さくてよい。
【００７８】第２実施形態の圧電アクチュエータ３００
を、図８に示す製造工程により以下に示す仕様で製造し
た。 外形寸法 ： ４．０×４．０×０．１６ｍｍ 重量 ： １５ｍｇ 駆動層（圧電層）数 ： ４層 駆動層（圧電層）厚 ： ４０μｍ 圧電材料 ： ＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺ系セラミックス （圧電定数ｄ３１＝３００ｐｍ／Ｖ） 電極材料 ： Ａｇ−Ｐｄ そして、このような仕様の圧電アクチュエータ３００
を、図１０に示すようにキャリッジアーム１１１および
サスペンション１１０に固着して動作特性を評価したと
ころ、磁気ヘッドの可動距離は、１２Ｖの駆動電圧で
１．０μｍであり、磁気ヘッドの位置決め精度は０．０
７μｍであり、機械的な共振の周波数は８ｋＨｚであっ
た。従って、第２実施形態圧電アクチュエータが組み込
まれたハードディスクも、高い位置決め精度で高速に磁
気ヘッドを移動させることができ、記録密度の高密度化
や読書きの高速化を図ることができる。
【００７９】なお、上述した第１実施形態および第２実
施形態では、圧電アクチュエータの中心体が磁気ヘッド
側に固着され、圧電アクチュエータの腕の先端がアーム
側に固着されており、このように固着すると慣性モーメ
ントを小さくするという点で有利である。しかし、本発
明にいうヘッドアクチュエータの固着形態としては、こ
のような形態に限定されるものではなく、例えば、圧電
アクチュエータの中心体がアーム側に固着され、圧電ア
クチュエータの腕の先端が磁気ヘッド側に固着されても
よい。
【００８０】また、上述した第１実施形態および第２実
施形態では、圧電層の腕部が２回対称および４回対称に
設けられているが、本発明にいう腕部は、３回対称に設
けられてもよく、あるいは５回対称に設けられてもよ
い。
【００８１】また、上述した第１実施形態および第２実
施形態では、圧電層の層数が４層であるが、本発明にい
う圧電層は、単層でも多層でもよい。多層化するほど、
低電圧化、高変位化、高剛性化に有利であるがコストは
高くなる。
【００８２】また、圧電アクチュエータの電極と、サス
ペンションやアーム上の配線との導通形態は、導電性接
着剤による接合に限定されるものではなく、ハンダによ
る接合や単なる接触により導通されてもよい。
【００８３】また、圧電アクチュエータの内層電極とし
ては、ＰＺＴ系圧電セラミックスとの一体焼成が可能
な、Ａｇ−Ｐｄ電極やＰｔ電極等が適しているが、圧電
材料によってはＡｇ電極やＮｉ電極等も利用可能であ
る。一方、表面電極としては、内層電極と同じ系統の材
料の電極を用いることが適しているが、焼成後に表面電
極を形成する場合は、蒸着など各種の電極形成法が利用
でき、幅広い材料が利用可能である。そして、電極層ど
うしの接続としては、ビアによる接続のみでなく、圧電
アクチュエータの側面伝いの接続も利用可能である。
【００８４】次に、本発明の圧電アクチュエータの第
３、第４および第５実施形態について説明する。これら
第３、第４および第５実施形態の圧電アクチュエータ
は、上述した第１実施形態の情報記憶装置に組み込まれ
ている圧電アクチュエータに代えて情報記憶装置に組み
込まれるものであり、これら第３、第４および第５実施
形態の圧電アクチュエータが組み込まれた情報記憶装置
は、本発明の情報記憶装置の第３、第４および第５実施
形態に相当する。以下では、圧電アクチュエータの第
３、第４および第５実施形態のみについて説明する。
【００８５】図１１は、本発明の圧電アクチュエータの
第３実施形態を示す図である。
【００８６】この図１１に示す第３実施形態の圧電アク
チュエータ２５０は、中心部２５１ａと２本の腕部２５
１ｂとを有した圧電層２５１と、その圧電層２５１を挟
んだ電源電極層２５２および接地電極層２５３を備えて
いる。この圧電アクチュエータ２５０は、圧電層２５１
が、本発明にいう２次元形状に湾曲したものである。従
って圧電層２５１、電源電極層２５２、および接地電極
層２５３の積層方向は、第１実施形態の圧電アクチュエ
ータにおける積層方向とは異なっているが、電源電極層
２５２と接地電極層２５３との間に電源電圧が印加され
ると、第１実施形態の圧電アクチュエータと同様に、圧
電層２５１が層内方向に収縮して中心部２５１ａが回動
する。
【００８７】図１２は、第３実施形態の圧電アクチュエ
ータの製造工程を示す図である。
【００８８】この製造工程では、先ず、図１１に示す２
次元形状と同じ形状の開口が設けられた口がねによって
圧電材料が押し出し形成されることにより、断面形状
が、図１１に示す２次元形状である長尺体２６０が形成
される（図１２（Ａ））。
【００８９】次に、長尺体２６０の周面に電源電極層２
５２および接地電極層２５３が形成され（図１２
（Ｂ））、最後に、長尺体２６０がスライス加工され
て、圧電アクチュエータ２５０が得られる。
【００９０】このような製造工程により、多量の圧電ア
クチュエータ２５０が安価に製造される。
【００９１】図１３は、本発明の圧電アクチュエータの
第４実施形態を示す図であり、図１４は、本発明の圧電
アクチュエータの第５実施形態を示す図である。
【００９２】図１３に示す圧電アクチュエータ４００
は、圧電材料からなる圧電層４０１と、電源電極層４０
２と、接地電極層４０３とを含む積層構造を有してい
る。電源電極層４０２どうしおよび接地電極層４０３ど
うしは、圧電アクチュエータ４００の側面に沿った外部
電極により互いに接続されている。
【００９３】また、この圧電アクチュエータ４００に
は、圧電層４０１が電源電極層４０２と接地電極層４０
３に挟まれた層構造の駆動部４００ａと、圧電層４０１
が接地電極層４０３どうしに挟まれた不動部４００ｂが
設けられており、駆動部４００ａは、電源電極層４０２
と接地電極層４０３との間に駆動電圧が印加されると積
層方向（図の左右方向）に伸長し、印加電圧が消失する
と圧縮して元に戻る。また、圧電アクチュエータ４００
のうち、駆動部４００ａおよび不動部４００ｂを除く他
の部分は、駆動部４００ａおよび不動部４００ｂを保持
する保持部として機能しており、この保持部は、２つの
駆動部４００ａを、全体として回転対称かつ非線対称な
配置に保持することにより、圧電アクチュエータの一体
構造を保っている。
【００９４】圧電アクチュエータ４００は、２つの端部
接合体４０５によってサスペンションに接合されてお
り、３つの中部接合体４０６によってスライダに接合さ
れている。そして、駆動部４００ａが伸長することによ
り、３つの中部接合体４０６が、圧電アクチュエータ４
００の中央を回動中心として回動する。駆動部４００ａ
は、複数の圧電層を含む多層構造を有するので、低電圧
で大きな変位を生じることとなる。
【００９５】また、この圧電アクチュエータ４００で
は、駆動部４００ａと不動部４００ｂが、積層構造の積
層方向に、スリット（間隙）４０４を挟んで対向してお
り、このスリット４０４が設けられていることにより、
駆動部４００ａが伸長したときに生じる力が逃げて、十
分に大きな回動変位が生じる。このスリット４０４は、
圧電アクチュエータ４００の側面から中へと延びてお
り、圧電アクチュエータ４００の中央部分で圧電アクチ
ュエータ４００の一体構造が保たれている。
【００９６】図１４に示す圧電アクチュエータ５００
は、スリット５０１の構造が、図１３に示すスリット４
０４の構造と相違する点を除いて、図１３に示す圧電ア
クチュエータ４００と同等のアクチュエータである。図
１４に示す圧電アクチュエータ５００の構成要素のう
ち、図１３に示す圧電アクチュエータ４００の構成要素
と同等な構成要素については、図１３に示す符号と同一
の符号を付して説明を省略する。
【００９７】図１４に示す圧電アクチュエータ５００の
スリット５０１は、圧電アクチュエータ５００の中央部
分に存在し、圧電アクチュエータ５００の側面部分で圧
電アクチュエータ５００の一体構造が保たれている。こ
のように側面部分の２箇所でで一体構造が保たれている
ため、図１４に示す圧電アクチュエータ５００は、図１
３に示す圧電アクチュエータ４００に較べて剛性が高
い。
【００９８】図１５は、第４実施形態の圧電アクチュエ
ータの積層構造を形成する工程を示す図であり、図１６
は、第５実施形態の圧電アクチュエータの積層構造を形
成する工程を示す図である。
【００９９】図１５および図１６には、それぞれ、図１
３に示す圧電アクチュエータ４００および図１４に示す
圧電アクチュエータ５００の積層構造の６つ分を一度に
形成する工程が示されており、図１５および図１６の一
点鎖線で分割された各列が１つの積層構造に相当する。
【０１００】図１５に示す形成工程および図１６に示す
形成工程の双方において、先ず、ＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺ系
セラミックスの粉末が使用されたグリーンシート４１０
ａが形成され、そのグリーンシート４１０ａ上に、図１
３および図１４に示す接地電極層４０３に相当する第１
パターンのＰｔペースト４１１が印刷される。この第１
パターンのＰｔペースト４１１は積層構造の２つ分に跨
っている。
【０１０１】次に、第１パターンのＰｔペースト４１１
上にグリーンシート４１０ｂが形成され、そのグリーン
シート４１０ｂ上に、図１３および図１４に示す電源電
極層４０２に相当する第２パターンのＰｔペースト４１
２が印刷される。この第２パターンのＰｔペースト４１
１も積層構造の２つ分に跨っていが、跨る位置は、第１
パターンのＰｔペースト４１１が跨る位置とは異なって
いる。
【０１０２】その後、グリーンシート４１０ａ，４１０
ｂの形成と、第１パターンあるいは第２パターンのＰｔ
ペースト４１１，４１２の印刷とが必要な回数繰り返さ
れ、その後、印刷されたＰｔペーストを覆うグリーンシ
ート４１０ｃが形成される。
【０１０３】次に、図１５に示す形成工程では、図１３
に示すスリット４０４に相当する第３パターンを有す
る、ＰＶＢバインダを主成分とするペースト４１３が印
刷される。この第３パターンは、電源電極層４０２に相
当する第２パターンと同じパターンであり、このＰＶＢ
バインダを主成分とするペースト４１３は、後で脱脂お
よび焼成が行われる際に消失するものである。第３パタ
ーンのペースト４１３が印刷された後、第３パターンの
ペースト４１３を覆うグリーンシート４１０ｄが形成さ
れる。図１５に示す形成工程では、このグリーンシート
４１０ｄは、積層構造の真ん中であり、このグリーンシ
ート４１０ｄから後は、上述した工程が逆順で繰り返さ
れる。従って、第３パターンのペースト４１３を覆うグ
リーンシート４１０ｄ上には、第３パターンとは互い違
いの第４パターンを有するＰＶＢバインダのペースト４
１４が印刷される。
【０１０４】一方、図１６に示す形成工程では、上述し
たグリーンシート４１０ｃが形成された後には、上述し
た、第３パターンのペースト４１３、グリーンシート４
１０ｄ、第４パターンのペースト４１４に代えて、図１
４に示すスリット５０１に相当する第５パターンを有す
る、ＰＶＢバインダのペースト４１５が印刷される。
【０１０５】その後は、図１５および図１６に示す形成
工程の双方において、グリーンシート４１０ｅが形成さ
れ、その後、第２パターンとは互い違いの第６パターン
のＰｔペースト４１６の印刷とグリーンシート４１０ｆ
の形成、および接地電極層に相当する第７パターンのＰ
ｔペースト４１７の印刷とグリーンシート４１０ｇの形
成が必要な回数繰り返される。
【０１０６】このようにして積層体が形成され、この積
層体が大気中で脱脂され、その後、焼成されることによ
り所望の積層構造を有する焼成体が得られる。
【０１０７】図１７は、焼成体を圧電アクチュエータに
加工する工程を示す図である。
【０１０８】図１７（Ａ）には、図１５および図１６に
示す形成工程で得られた焼成体４２０が示されており、
焼成体４２０の積層構造の積層方向は、矢印Ｆ４が示す
方向である。この焼成体４２０は、ダイシングソー等に
より、点線で示すように、図１５および図１６に示す一
点鎖線に相当する位置で帯状に切断される。これによ
り、積層構造の１つ分に相当する角柱４２１が得られる
（図１７（Ｂ））。この角柱４２１の切断面４２１ａに
は、電源電極層および接地電極層のそれぞれの断面が、
電源電極層および接地電極層のそれぞれに分かれた状態
で露出しており、図１７（Ｃ）に示すように外部電極４
２２が蒸着等で形成されることにより、同電位の電極ど
うしが接続される。
【０１０９】その後、ダイシングソー等により、図１７
（Ｄ）に点線で示されるように角柱４２１が個別切断さ
れる。これにより圧電素子４００，５００が完成する
（図１７（Ｅ））。
【０１１０】以上説明したように、第４実施形態および
第５実施形態の圧電アクチュエータは、図１５〜図１７
に示す工程によって容易かつ低コストで製造することが
できる。
【０１１１】なお、図１５〜図１７に示す工程では、ス
リットを形成するためにＰＶＢバインダのペーストが用
いられるが、脱脂や焼成で消失する他のバインダのペー
ストなどが用いられてもよい。あるいは、スリットは、
焼成体を得た後でダイシングソー等によって形成されて
もよい。
【０１１２】ここで、図１５〜図１７に示す工程によ
り、駆動部の厚さが２０μｍであり、駆動層（圧電層）
数が２０層である、第４実施形態および第５実施形態の
圧電アクチュエータを作成した。そして作成した圧電ア
クチュエータの源電極層と接地電極層との間に３０Ｖの
駆動電圧を印加して、スリット付近での変位量を測定し
たところ、いずれの実施形態でも２５０ｎｍ以上という
大きな変位量を示した。従って、この圧電アクチュエー
タを上述した第１実施形態の圧電アクチュエータに代え
て採用した場合には、磁気ヘッドを数百ｎｍという高い
精度で位置決めすることが可能である。
【０１１３】なお、本発明の圧電アクチュエータでは、
駆動層（圧電層）は２０層に限定されるものではなく、
何層であってもよいことは当然である。
【０１１４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
低コストで高性能な圧電アクチュエータが得られる。ま
た、そのような圧電アクチュエータが組み込まれること
により、情報記憶装置における情報読み書きの精度が大
幅に向上し、小型軽量で高記録密度の情報記憶装置が得
られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る情報記録装置のだい１実施形態を
示す図である。
【図２】サスペンション付近の拡大図である。
【図３】サスペンションの先端部分の拡大図である。
【図４】圧電層の形状を示す図である。
【図５】電源電極層の形状を示す図である。
【図６】接地電極層の形状を示す図である。
【図７】サスペンションにおける配線を示す図である。
【図８】圧電アクチュエータの製造工程を示す図であ
る。
【図９】本発明の圧電アクチュエータの第２実施形態を
示す図である。
【図１０】本発明の情報記憶装置の第２実施形態におけ
るサスペンション付近の分解斜視図である。
【図１１】本発明の圧電アクチュエータの第３実施形態
を示す図である。
【図１２】第３実施形態の圧電アクチュエータの製造工
程を示す図である。
【図１３】本発明の圧電アクチュエータの第４実施形態
を示す図である。
【図１４】本発明の圧電アクチュエータの第５実施形態
を示す図である。
【図１５】第４実施形態の圧電アクチュエータの積層構
造を形成する工程を示す図である。
【図１６】第５実施形態の圧電アクチュエータの積層構
造を形成する工程を示す図である。
【図１７】焼成体を圧電アクチュエータに加工する工程
を示す図である。
【符号の説明】
１００ ハードディスクドライブ １０１ ハウジング １０２ 回転軸 １０３ 磁気ディスク １０４，１１２ スライダ １０５ アーム軸 １０６，１１１ キャリッジアーム １０７ アームアクチュエータ １０８，１１０ サスペンション １０８ａ 取り付け部 １０８ｂ 橋掛け部 １０８ｄ 電源線 １０８ｅ 設置線 １０８ｆ 電源端子 １０８ｇ 接地端子 １０８ｈ 導電性の接着剤の層 １０９ 磁気ヘッド ２００，２５０，３００ 圧電アクチュエータ ２００ａ，３００ａ 中心体 ２００ｂ，３００ｂ 腕 ２０１，２５１ 圧電層 ２０１ａ，２５１ａ 中心部 ２０１ｂ，２５１ｂ 腕部 ２０２，２５２ 電源電極層 ２０３，２５３ 接地電極層 ２０４ ビア ２０５ ビア ２１０ グリーンシート ２１１ ビア穴 ２１２ Ａｇ−Ｐｄ電極ペースト ２１３ 積層体 ２１４ 表面電極 ４００，５００ 圧電アクチュエータ ４００ａ 駆動部 ４００ｂ 不動部 ４０１ 圧電層 ４０２ 電源電極層 ４０３ 接地電極層 ４０４，５０１ スリット（間隙） ４０５ 端部接合体 ４０６ 中部接合体 ４１０ａ，…，４１０ｇ グリーンシート ４１１，４１２，４１６，４１７ Ｐｔペースト ４１３，４１４，４１５ ＰＶＢバインダのペースト ４２０ 焼成体 ４２１ 角柱 ４２１ａ 切断面 ４２２ 外部電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 41/09 Ｈ０１Ｌ 41/08 Ｕ 41/187 41/18 １０１Ｄ (72)発明者 三田 剛 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 梅宮 茂良 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 朽網 道徳 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 Ｆターム(参考） 5D042 MA15 5D059 AA01 BA01 CA14 DA16 EA08 5D096 NN03 NN07

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 中心部と、該中心部から外側へと回転対
    称かつ非線対称に延びた腕部群とを有する２次元形状
    の、圧電材料からなる、層内方向に圧縮伸長する圧電層
    と、 前記圧電層を挟む複数の電極層とを備えたことを特徴と
    する圧電アクチュエータ。
  2. 【請求項２】 圧電材料からなる１つ以上の圧電層と該
    圧電層を挟む複数の電極層とからなる積層構造を有す
    る、その積層構造の積層方向に圧縮伸長する駆動部と、 前記駆動部の複数を、所定の共通面内における、積層方
    向も含めて回転対称かつ非線対称な配置に保持する保持
    部とを備えたことを特徴とする圧電アクチュエータ。
  3. 【請求項３】 前記駆動部に対し、該駆動部が圧縮伸長
    する方向と交わる方向に隣接する不動部を備え、 前記保持部が、前記駆動部と前記不動部との対の２対
    を、互いに、一方の対の駆動部が他方の対の不動部に対
    してその駆動部の圧伸方向を向けて対向するように保持
    するものであることを特徴とする請求項２記載の圧電ア
    クチュエータ。
  4. 【請求項４】 所定の情報記憶媒体に対する情報記録お
    よび情報再生のうち少なくとも何れか一方を行うヘッド
    が搭載されたヘッド部と、 前記ヘッド部に搭載されているヘッドが前記情報記憶媒
    体に対して近接あるいは接触するように該ヘッド部を保
    持するアーム部と、 前記アーム部を駆動することにより、そのアーム部に保
    持されたヘッド部に搭載されたヘッドを前記情報記憶媒
    体に沿って移動させるアーム部アクチュエータと、 前記アーム部に対して前記ヘッド部を、該ヘッド部の重
    心を中心として回動させるヘッド部アクチュエータとを
    備え、 前記ヘッド部アクチュエータが、 中心部と、該中心部から外側へと回転対称かつ非線対称
    に延びた腕部群とを有する２次元形状の、圧電材料から
    なる、層内方向に圧縮伸長する圧電層と、 前記圧電層を挟む複数の電極層とを備えたものであるこ
    とを特徴とする情報記憶装置。
  5. 【請求項５】 所定の情報記憶媒体に対する情報記録お
    よび情報再生のうち少なくとも何れか一方を行うヘッド
    が搭載されたヘッド部と、 前記ヘッド部に搭載されているヘッドが前記情報記憶媒
    体に対して近接あるいは接触するように該ヘッド部を保
    持するアーム部と、 前記アーム部を駆動することにより、そのアーム部に保
    持されたヘッド部に搭載されたヘッドを前記情報記憶媒
    体に沿って移動させるアーム部アクチュエータと、 前記アーム部に対して前記ヘッド部を、該ヘッド部の重
    心を中心として回動させるヘッド部アクチュエータとを
    備え、 前記ヘッド部アクチュエータが、 圧電材料からなる１つ以上の圧電層と該圧電層を挟む複
    数の電極層とからなる積層構造を有する、その積層構造
    の積層方向に圧縮伸長する駆動部と、 前記駆動部の複数を、所定の共通面内における、積層方
    向も含めて回転対称かつ非線対称な配置に保持する保持
    部とを備えたものであることを特徴とする情報記憶装
    置。
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