JP2001291951A - 導電性ボールの移載装置および移載方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 移載時に位置ずれを生じることなく安定して
導電性ボールを移載することができる導電性ボールの移
載装置および移載方法を提供すること。 【解決手段】 導電性ボール５を真空吸着によりピック
アップしてワーク４に移載する導電性ボール５の移載方
法において、吸着ヘッド３１の吸着孔３２に保持された
導電性ボール５を吸引孔３２ａから正圧を付与して電極
４ａ上に移行させる際に、導電性ボール５が吸着状態か
ら離脱して下降する導電性ボール５を吸着孔３２に形成
された内周部３２ｃによってガイドする。これにより、
ワーク４の上面に高さ差ΔＨが存在する場合にあって
も、ボール移載時の導電性ボール５の水平方向の位置ず
れを防止することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は導電性ボールをワー
クに移載する導電性ボールの移載装置および移載方法に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】フリップチップやＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇ
ｒｉｄ Ａｒｒａｙ）などのバンプ付きの電子部品を製
造する方法として、半田ボールなどの導電性ボールを用
いる方法が広く用いられている。また導電性ボールをチ
ップや基板などのワークに移載する方法として、吸着ヘ
ッドを用いる方法が知られている。この方法は容器など
に貯溜された導電性ボールを吸着ヘッドの下面に多数形
成された吸着孔に真空吸着してピックアップし、吸着ヘ
ッドをワークの上方に移動させてこれらの導電性ボール
をワークの電極上に移載するものであり、多数の導電性
ボールを一括してワークに移載できるので作業性がよい
という利点がある。

【０００３】吸着ヘッドの下面に形成される吸着孔の形
状としては、従来はテーパ状に開口した吸着ガイド面が
設けられたものが一般に用いられていた。この吸着ガイ
ド面は、ボール供給部内にランダムに貯溜された導電性
ボールを速やかに吸着保持するために設けられており、
吸着後の導電性ボールは真空吸引力によってこの吸着ガ
イド面に当接した状態で保持されていた。そして、導電
性ボールのワークへの移載動作においては、導電性ボー
ルを保持した吸着ヘッドを基板に対して下降させて導電
性ボールをワーク面に着地させるようにしていた。この
とき、従来より着地動作時に真空吸引を解除するととも
に吸着ヘッド内に正圧を付与し、この正圧によって吸着
ガイド面に保持された状態の導電性ボールを強制的に離
脱させるようにしていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで導電性ボール
が移載される基板などのワークの上面は必ずしも完全な
平面に保たれているとは限らず、部分的なうねりのため
導電性ボールが移載される電極の高さがばらついている
場合がある。この高さのばらつきにより、ボール移載時
の着地動作において吸着ヘッド下面の導電性ボールは電
極上に均一に当接せず、電極の高さが低い部分には導電
性ボールが正しく着地しないという不具合が発生してい
た。

【０００５】すなわち、前述のように導電性ボールはテ
ーパ状の吸着ガイド面によって保持された状態であるた
め、ワークのうねりによって導電性ボールと電極との間
に隙間がある場合には、正圧付与によって導電性ボール
が吸着ガイド面から離脱してワーク上面に移行する際に
水平方向の位置ずれが生じ、正しい位置に移載されない
という問題点があった。

【０００６】そこで本発明は、上記問題点を解消し移載
時に位置ずれを生じることなく安定して導電性ボールを
移載することができる導電性ボールの移載装置および移
載方法を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の導電性ボ
ールの移載装置は、ボール供給部から導電性ボールを真
空吸着により保持して位置決め部に位置決めされたワー
クに移載する導電性ボールの移載装置であって、導電性
ボールを真空吸着により保持する吸着ヘッドと、この吸
着ヘッドを位置決め部とボール供給部とに対して相対的
に水平移動させる移動手段と、吸着ヘッドを位置決め部
とボール供給部とに対して相対的に上下動させる上下動
手段と、吸着ヘッド内を真空吸引する真空吸引手段と、
吸着ヘッド内に正圧を付与する正圧付与手段とを備え、
前記吸着ヘッドに設けられ導電性ボールを真空吸着する
吸着孔に、導電性ボールのワーク上面への着地動作にお
いて吸着状態から離脱して下降しワーク上面へ移行する
導電性ボールをガイドするガイド部が形成されている。

【０００８】請求項２記載の導電性ボールの移載装置
は、ボール供給部から導電性ボールを真空吸着により保
持して位置決め部に位置決めされたワークに移載する導
電性ボールの移載装置であって、導電性ボールを真空吸
着により保持する吸着ヘッドと、導電性ボールを前記吸
着ヘッドに形成された吸着孔の位置に対応した配列で導
電性ボールを整列状態で保持するボール整列手段を備え
たボール供給部と、前記吸着ヘッドを位置決め部とボー
ル供給部とに対して相対的に水平移動させる移動手段
と、吸着ヘッドを位置決め部とボール供給部とに対して
相対的に上下動させる上下動手段と、吸着ヘッド内を真
空吸引する真空吸引手段と、吸着ヘッド内に正圧を付与
する正圧付与手段とを備え、前記吸着ヘッドに設けられ
導電性ボールを真空吸着する吸着孔に、導電性ボールの
ワーク上面への着地動作において吸着状態から離脱して
下降しワーク上面へ移行する導電性ボールをガイドする
ガイド部が形成されている。

【０００９】請求項３記載の導電性ボールの移載方法
は、ボール供給部から導電性ボールを吸着ヘッドによっ
て真空吸着により保持して位置決め部に位置決めされた
ワークに移載する導電性ボールの移載方法であって、導
電性ボールを吸着ヘッドに真空吸着により保持させる工
程と、導電性ボールを保持した吸着ヘッドを位置決め部
のワークに対して相対的に位置あわせする工程と、吸着
ヘッド内の真空吸引を解除するとともに吸着ヘッド内に
正圧を付与する工程と、導電性ボールが吸着状態から離
脱して下降しワーク上面へ移行する際に導電性ボールを
吸着孔に形成されたガイド部によってガイドする工程と
を含む。

【００１０】請求項４記載の導電性ボールの移載方法
は、ボール供給部から導電性ボールを吸着ヘッドによっ
て真空吸着により保持して位置決め部に位置決めされた
ワークに移載する導電性ボールの移載方法であって、導
電性ボールを前記吸着ヘッドに形成された吸着孔の位置
に対応した配列でボール整列手段に保持させる工程と、
整列状態で保持された導電性ボールを吸着ヘッドに真空
吸着により保持させる工程と、導電性ボールを保持した
吸着ヘッドを位置決め部のワークに対して相対的に位置
あわせする工程と、吸着ヘッド内の真空吸引を解除する
とともに吸着ヘッド内に正圧を付与する工程と、導電性
ボールが吸着状態から離脱して下降しワーク上面へ移行
する際に導電性ボールを吸着孔に形成されたガイド部に
よってガイドする工程とを含む。

【００１１】請求項５記載の導電性ボールの移載方法
は、請求項３または４記載の導電性ボールの移載方法で
あって、前記吸着ヘッドを位置決め部のワークに対して
相対的に位置あわせする工程において、吸着ヘッドに保
持された導電性ボールの下端部をワーク上面に当接させ
る。

【００１２】請求項６記載の導電性ボールの移載方法
は、請求項３または４記載の導電性ボールの移載方法で
あって、前記吸着ヘッドを位置決め部のワークに対して
相対的に位置あわせする工程において、吸着ヘッドに保
持された導電性ボールの下端部をワーク上面から離隔さ
せた状態で位置あわせを行う。

【００１３】本発明によれば、導電性ボールを真空吸着
して保持する吸着孔に、導電性ボールのワーク上面への
着地動作において吸着状態から離脱して下降しワーク上
面へ移行する導電性ボールをガイドするガイド部を設け
ることにより、移載時の導電性ボールの位置ずれを防止
することができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】（実施の形態１）図１は本発明の
実施の形態１の導電性ボールの移載装置の正面図、図２
（ａ）は本発明の実施の形態１の導電性ボールの移載装
置の吸着ヘッドの断面図、図２（ｂ）は本発明の実施の
形態１の導電性ボールの移載装置の吸着ヘッドの部分拡
大断面図、図３は本発明の実施の形態１の導電性ボール
の移載方法の工程説明図である。

【００１５】まず、図１を参照して導電性ボールの移載
装置の全体構造を説明する。図１において、基台１上に
は位置決め部２が設けられている。位置決め部２には可
動テーブル３が設けられており、可動テーブル３に設け
られたホルダ３ａにはワーク４が保持されている。可動
テーブル３を駆動することにより、ワーク４は所定位置
に位置決めされる。

【００１６】また基台１上の位置決め部２の反対側の端
部には、導電性ボール５を供給するボール供給部６が配
設されている。ボール供給部６はボール槽７より成り、
ボール槽７の内部には多数の導電性ボール５が貯溜され
ている。ボール槽７の底面には振動子８が配設されてお
り、振動子８を駆動することにより、ボール槽７内部の
導電性ボール５に振動が付与される。

【００１７】次に導電性ボール５を移載する吸着ヘッド
及び吸着ヘッドの移動手段について説明する。図１に示
すように、ボール供給部６の上方には、吸着ヘッド３１
が移動手段２０によって水平方向に移動可能に配設され
ている。吸着ヘッド３１はブロック３０に保持されてお
り、吸着ヘッド３１の下面には複数の吸着孔３２（図２
参照）が設けられている。

【００１８】吸着ヘッド３１は真空吸引手段３３および
正圧付与手段３４に接続されている。真空吸引手段３３
を駆動することにより、吸着孔３２から真空吸引して導
電性ボール５を吸着保持する。また導電性ボール５を保
持した状態から、正圧付与手段３４を駆動して吸着ヘッ
ド３１内に正圧を付与することにより、吸着孔３２から
の導電性ボール５の離脱を促進し、また何らかの原因に
より吸着孔３２内に残留した導電性ボール５を強制的に
離脱させることができる。

【００１９】ブロック３０はブラケット２４の前面に設
けられた垂直なガイドレール（図示せず）に上下動自在
に装着されている。ブロック３０にはナット２８が一体
的に設けられており、ナット２８には垂直の送りねじ２
６が螺合している。Ｚ軸モータ２７が正逆駆動して送り
ねじ２６が正逆回転すると吸着ヘッド３１は上下動す
る。したがって、Ｚ軸モータ２７および送りねじ２６は
吸着ヘッド３１を位置決め部２およびボール供給部６に
対して上下動させる上下動手段となっている。

【００２０】ブラケット２４の背面に設けられたナット
２９は、水平な送りねじ２２に螺合している。２１は送
りねじ２２の保持テーブルである。Ｘ軸モータ２３が正
逆回転すると送りねじ２２は正逆回転し、ブラケット２
４に保持された吸着ヘッド３１は位置決め部２とボール
供給部６の間を水平移動する。この水平移動と、上下動
手段による上下動により、吸着ヘッド３１はボール供給
部６から導電性ボール５を真空吸着によりピックアップ
し、位置決め部２に保持されたワーク４上に移動する。
そこで吸着ヘッド３１がワーク４に対して上下動を行う
とともに真空吸着を解除することにより、導電性ボール
５をワーク４に移載する。

【００２１】次に図２を参照して吸着ヘッド３１の下面
に設けられた吸着孔３２について説明する。図２（ａ）
に示すように、吸着ヘッド３１の下面には、導電性ボー
ル５を１個のみ収容可能な形状の凹部である吸着孔３２
が複数設けられている。図２（ｂ）の（イ）に示すよう
に、吸着孔３２は吸着ヘッド３１の内部と連通して設け
られた吸引孔３２ａの下部に、吸着ヘッド３１の下面に
開口した内径ｄ、深さａの内孔を設けた形状となってい
る。ここで、内径ｄは内部に導電性ボール５を位置ずれ
なく収容可能なように、導電性ボール５のボール径より
もわずかに大きく設定される。また内径ｄの内周部３２
ｃと吸引孔３２ａとの間にはテーパ面３２ｂが設けられ
ている。内周部３２ｃの側面は、吸着ヘッド３１の下面
に対して垂直となっている。

【００２２】図２（ｂ）の（ロ）に示すように、吸着孔
３２内に導電性ボール５が真空吸着により保持されてい
る状態では（実線で示す導電性ボール５参照）、ボール
上面はテーパ面３２ｂに当接し、ボール下面は所定の突
出高さｈ１だけ吸着ヘッド３１の下面から突出する。す
なわちこの突出高さｈ１が確保されるよう、（イ）に示
す内周部３２ｃの深さａが決定される。

【００２３】また、吸引孔３２ａからの真空吸引を解除
することにより導電性ボール５は吸着状態から離脱する
が、このとき導電性ボール５が吸着孔３２内で下降して
ボール下面が概ね導電性ボール５の半径に相当する突出
高さｈ２に到達するまでの間は、導電性ボール５の水平
方向の位置は内周部３２ｃによってガイドされる（破線
で示す導電性ボール５参照）。したがって内周部３２ｃ
は、導電性ボール５が吸着状態から離脱して下降する際
に導電性ボール５をガイドするガイド部となっている。

【００２４】この導電性ボールの移載装置は上記のよう
に構成されており、以下動作について各図を参照して説
明する。まず図１において、Ｘ軸モータ２３を駆動して
吸着ヘッド３１をボール供給部６の上方へ移動させる。
次いでＺ軸モータ２７を駆動して吸着ヘッド３１を下降
させ、吸着ヘッド３１の下面を導電性ボール５の層に幾
分沈み込ませる。この状態で真空吸引手段３３を駆動し
て吸着孔３２から真空吸引することにより、吸着孔３２
に導電性ボール５を真空吸着する。

【００２５】そして導電性ボール５を保持した吸着ヘッ
ド３１はボール供給部６から上昇し、次いで位置決め部
２の上方へ水平移動する。次に吸着ヘッド３１はホルダ
３ａに保持されたワーク４上に下降し、下面に保持した
導電性ボール５をワーク４上に移載する。このときの移
載動作について図３を参照して説明する。

【００２６】図３（ａ）において、吸着ヘッド３１の下
面の吸着孔３２にはそれぞれ導電性ボール５が１個づつ
真空吸着により保持されている。導電性ボール５が移載
されるワーク４の上面の移載位置には電極４ａが形成さ
れており、電極４ａの表面にはフラックス４ｂが予め塗
布されている。ここでワーク４の上面はワーク全体のう
ねりのため平面度が完全には確保されておらず、電極４
ａ間で高さ差ΔＨの範囲で高さがばらついている。

【００２７】この状態で吸着孔３２の位置を電極４ａに
位置合わせし、吸着ヘッド３１を下降させると、図３
（ｂ）に示すように導電性ボール５の下面が電極４ａの
上面に当接して着地する。すなわち、本実施の形態１で
は、吸着ヘッド３１をワーク４に対して相対的に位置あ
わせする工程において、吸着ヘッド３１に保持された導
電性ボール５の下端部をワーク４上面の電極４ａに当接
させる。このとき、前述の高さのばらつきにより、高さ
の低い電極４ａでは部分的に導電性ボール５が着地せ
ず、高さ差ΔＨだけ隙間を生じた状態となる。

【００２８】次に、上記の未着地の導電性ボール５を以
下の方法で着地させる。まず真空吸引手段３３による真
空吸引を解除し、図３（ｃ）に示すように正圧付与手段
３４（図１）を駆動して吸引孔３２ａから正圧を付与す
る。これにより、吸着孔３２内の導電性ボール５には下
方に押し下げる力が作用し、図３（ｂ）において未着地
状態の右側の導電性ボール５は吸着孔３２内で下降す
る。すなわち、ワーク４上面に設けられた電極４ａへの
着地動作において、この導電性ボール５は吸着状態から
離脱して下降し、ワーク４の電極４ａの上面へ移行す
る。

【００２９】この導電性ボール５の下降時には、図２
（ｂ）に示すように吸着孔３２の内周部３２ｃによって
導電性ボール５がガイドされる。これにより導電性ボー
ル５の水平方向の位置が保持され、電極４ａ上へ移行す
る際に位置ずれを生じることがない。このようにして全
ての吸着孔３２内の導電性ボール５を電極４ａ上に着地
させた後、吸着ヘッド３１を上昇させる。これにより図
３（ｄ）に示すように、導電性ボール５は電極４ａ上に
塗布されたフラックス４ｂの粘着力によって保持された
状態のままワーク４上に残留し、導電性ボール５の移載
が完了する。

【００３０】すなわち、吸着孔３２に上述のガイド部を
設けることにより、正圧付与時のボール下降動作におい
て、ワーク上面に高低差がある場合にあっても導電性ボ
ール５の位置ずれが発生しない。

【００３１】なお本実施の形態１においては、ボール移
載時に吸着ヘッド３１によってワーク４を押圧すること
なく移載を行うようにしているが、ワーク４の上面に高
低差がある場合には、図２（ｂ）に示す突出高さｈ１だ
け下方に突出した導電性ボール５の下面によって電極４
ａを幾分押し下げるようにしてもよい。これにより高さ
差ΔＨを部分的に矯正して、より小さい高さ差とするこ
とができ、導電性ボール５の着地時に円周部３２ｃによ
ってガイド可能な対象を拡大することができる。このと
き、導電性ボール５の上面は吸着孔３２のテーパ面３２
ｂと当接するので、導電性ボール５が押圧力によって吸
着孔３２内に付着残留するいわゆるボール喰い込みを生
じることがない。

【００３２】（実施の形態２）図４は本発明の実施の形
態２の導電性ボールの移載方法の工程説明図である。

【００３３】この実施の形態は、実施の形態１に示す導
電性ボールの移載装置を用いて行われる導電性ボールの
移載方法であって、吸着ヘッド３１をワーク４に対して
相対的に位置あわせする工程において、吸着ヘッド３１
に保持された導電性ボール５の下端部をワーク４上面に
当接させることなく位置あわせを行うものである。

【００３４】図４（ａ）において、吸着ヘッド３１の下
面の吸着孔３２にはそれぞれ導電性ボール５が１個づつ
真空吸着により保持されている。導電性ボール５はボー
ル径Ｂの１／２（Ｂ／２）よりも小さい突出高さｈ１だ
け吸着ヘッド３１の下面から突出している。ワーク４の
上面の電極４ａの表面にはフラックス４ｂが予め塗布さ
れている。

【００３５】この状態で吸着孔３２の位置を電極４ａに
位置合わせする。このとき吸着ヘッド３１を下降させる
際に、図４（ｂ）に示すように導電性ボール５の下面と
電極４ａの上面との間の隙間が所定の隙間ｈ３となる高
さ位置で吸着ヘッド３１の下降を停止する。この隙間ｈ
３は、ｈ１よりも大きくＢ／２よりも小さい範囲で設定
される。すなわち、この位置あわせに際して、導電性ボ
ール５を電極４ａに接触させず、離隔させた状態で位置
あわせを行う。

【００３６】次に、導電性ボール５を電極４ａ上に着地
させる。まず真空吸引手段３３による真空吸引を解除
し、図４（ｃ）に示すように正圧付与手段３４（図１）
を駆動して吸引孔３２ａから正圧を付与する。これによ
り、吸着孔３２内の導電性ボール５には下方に押し下げ
る力が作用し、導電性ボール５は吸着孔３２内で下降す
る。すなわち、ワーク４上面に設けられた電極４ａへの
着地動作において、この導電性ボール５は吸着状態から
離脱して下降し、ワーク４の電極４ａの上面へ移行す
る。この着地動作において、導電性ボール５はエアの圧
力のみによって電極４ａ上に押し付けられることから押
圧による電極４ａへのダメージが低減される。

【００３７】この導電性ボール５の下降時には、実施の
形態１に示す例と同様に内周部３２ｃによって導電性ボ
ール５がガイドされ、電極４ａ上へ移行する際に位置ず
れを生じることがない。このようにして全ての吸着孔３
２内の導電性ボール５を電極４ａ上に着地させた後、吸
着ヘッド３１を上昇させる。これにより図４（ｄ）に示
すように、導電性ボール５は電極４ａ上に塗布されたフ
ラックス４ｂの粘着力によって保持された状態のままワ
ーク４上に残留し、導電性ボール５の移載が完了する。
上記説明したように本実施の形態２に示す導電性ボール
の移載方法は、ボール搭載時の電極へのダメージが少な
いことから、半導体ウェハや半導体チップのようなワー
クへ導電性ボールを搭載する場合に適している。

【００３８】（実施の形態３）図５は本発明の実施の形
態３の導電性ボールの移載装置の正面図、図６は本発明
の実施の形態３の導電性ボールの移載装置の吸着ヘッド
の部分拡大断面図、図７は本発明の実施の形態３の導電
性ボールの移載方法の工程説明図である。

【００３９】図５を参照して導電性ボールの移載装置に
ついて説明する。なお、図１に示す導電性ボールの移載
装置と同様の要素については同一符号を付し、説明を省
略する。基台１００上の位置決め部２の反対側の端部に
は、導電性ボール５を供給するボール供給部６が配設さ
れている。ボール供給部６はボール槽７を備えており、
ボール槽７の上方には整列ユニット５０が配設されてい
る。

【００４０】整列ユニット５０は、吸着ヘッド４１の吸
着孔４２（図６参照）と同一の配列で導電性ボール５の
吸着整列孔が設けられた整列部５１を備えている。整列
部５１は図示しない反転機構によって上下反転可能とな
っている。各吸着整列孔には導電性ボール５が１個づつ
吸着して保持される。整列部５１を反転して吸着整列孔
を下向きにした状態で、図示しない上下動機構により整
列ユニット５０をボール槽７内に下降させ、整列吸着孔
から真空吸引することにより、各吸着整列孔には導電性
ボール５が保持される。したがって、整列ユニット５０
は吸着ヘッド４１に形成された吸着孔４２の位置に対応
した配列で導電性ボール５を整列状態で保持するボール
整列手段となっている。

【００４１】そして整列ユニット５０を上昇させるとと
もに整列部５１を上下反転させることにより、整列部５
１の上面には導電性ボール５が吸着ヘッド４１の吸着孔
４２の配列に合わせて整列状態で保持される。そしてこ
の整列部５１に対して吸着ヘッド４１を下降させて吸着
孔４２から真空吸引することにより、吸着ヘッド４１の
各吸着孔４２には導電性ボール５が吸着され保持され
る。

【００４２】ボール供給部６の上方には、吸着ヘッド４
１が実施の形態１と同様の移動手段２０によって水平方
向に移動可能に配設されている。吸着ヘッド４１の下面
に設けられた吸着孔４２は、図６に示すように吸着ヘッ
ド４１の内部と連通して設けられた吸引孔４２ａの下部
に、吸着ヘッド４１の下面に開口した内径ｄ、深さａ’
の内孔を設けた形状となっている。

【００４３】ここで、内径ｄは実施の形態１と同様に導
電性ボール５のボール径よりもわずかに大きく設定さ
れ、深さａ’は導電性ボール５が下端部を吸着ヘッド４
２の下面から突出させることなく完全に吸着孔４２の内
部に１個のみ収容されるような深さに設定される。内周
部４２ｃ、テーパ面４２ｂについては、実施の形態１の
内周部３２ｃ、テーパ面３２ｂと同様である。

【００４４】次に、導電性ボールの移載方法について図
７を参照して説明する。図７（ａ）において、吸着ヘッ
ド４１の下面の吸着孔４２にはそれぞれ導電性ボール５
が１個づつ真空吸着により保持されている。導電性ボー
ル５は下端部を吸着ヘッド４１の下面から突出させるこ
となく吸着孔４２の内部に完全に収容されている。ワー
ク４の上面の電極４ａの表面にはフラックス４ｂが予め
塗布されている。

【００４５】この状態で吸着孔４２の位置を電極４ａに
位置合わせする。このとき吸着ヘッド４１を下降させる
際に、図７（ｂ）に示すように導電性ボール５の下面と
電極４ａの上面との間の隙間が、Ｂ／２よりも小さい範
囲で設定される所定の隙間ｈ３となる高さ位置で吸着ヘ
ッド４１の下降を停止する。

【００４６】次に、導電性ボール５を電極４ａ上に着地
させる。まず真空吸引手段３３による真空吸引を解除
し、図７（ｂ）に示すように正圧付与手段３４（図５）
を駆動して吸引孔４２ａから正圧を付与する。これによ
り、吸着孔４２内の導電性ボール５は下降し、ワーク４
の電極４ａの上面へ移行する。この導電性ボール５の下
降時には、実施の形態１に示す例と同様に内周部４２ｃ
によって導電性ボール５がガイドされ、電極４ａ上へ移
行する際に位置ずれを生じることがない。

【００４７】このようにして全ての吸着孔４２内の導電
性ボール５を電極４ａ上に着地させた後、吸着ヘッド４
１を上昇させる。これにより図７（ｃ）に示すように、
導電性ボール５は電極４ａ上に塗布されたフラックス４
ｂの粘着力によって保持された状態のままワーク４上に
残留し、導電性ボール５の移載が完了する。

【００４８】なお、図１に示す実施の形態１の導電性ボ
ールの移載装置によって実施の形態３に示す導電性ボー
ルの移載方法を行うことも可能であり、また図５に示す
実施の形態３の導電性ボールの移載装置によって実施の
形態１，２に示す導電性ボールの移載方法を行うことも
可能であることはいうまでもない。

【００４９】

【発明の効果】本発明によれば、導電性ボールを真空吸
着して保持する吸着孔に、導電性ボールのワーク上面へ
の着地動作において吸着状態から離脱して下降しワーク
上面へ移行する導電性ボールをガイドするガイド部を設
けたので、ボール移載時の導電性ボールの位置ずれを防
止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１の導電性ボールの移載装
置の正面図

【図２】（ａ）本発明の実施の形態１の導電性ボールの
移載装置の吸着ヘッドの断面図 （ｂ）本発明の実施の形態１の導電性ボールの移載装置
の吸着ヘッドの部分拡大断面図

【図３】本発明の実施の形態１の導電性ボールの移載方
法の工程説明図

【図４】本発明の実施の形態２の導電性ボールの移載方
法の工程説明図

【図５】本発明の実施の形態３の導電性ボールの移載装
置の正面図

【図６】本発明の実施の形態３の導電性ボールの移載装
置の吸着ヘッドの部分拡大断面図

【図７】本発明の実施の形態３の導電性ボールの移載方
法の工程説明図

【符号の説明】

２ 位置決め部 ４ ワーク ４ａ 電極 ５ 導電性ボール ６ ボール供給部 ２０ 移動手段 ３１、４１ 吸着ヘッド ３２、４２ 吸着孔 ３２ａ、４２ａ 吸引孔 ３２ｂ、４２ｂ テーパ面 ３２ｃ、４２ｃ 内周部（ガイド部） ５０ 整列ユニット

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ボール供給部から導電性ボールを真空吸着
   により保持して位置決め部に位置決めされたワークに移
   載する導電性ボールの移載装置であって、導電性ボール
   を真空吸着により保持する吸着ヘッドと、この吸着ヘッ
   ドを位置決め部とボール供給部とに対して相対的に水平
   移動させる移動手段と、吸着ヘッドを位置決め部とボー
   ル供給部とに対して相対的に上下動させる上下動手段
   と、吸着ヘッド内を真空吸引する真空吸引手段と、吸着
   ヘッド内に正圧を付与する正圧付与手段とを備え、前記
   吸着ヘッドに設けられ導電性ボールを真空吸着する吸着
   孔に、導電性ボールのワーク上面への着地動作において
   吸着状態から離脱して下降しワーク上面へ移行する導電
   性ボールをガイドするガイド部が形成されていることを
   特徴とする導電性ボールの移載装置。
2. 【請求項２】ボール供給部から導電性ボールを真空吸着
   により保持して位置決め部に位置決めされたワークに移
   載する導電性ボールの移載装置であって、導電性ボール
   を真空吸着により保持する吸着ヘッドと、導電性ボール
   を前記吸着ヘッドに形成された吸着孔の位置に対応した
   配列で導電性ボールを整列状態で保持するボール整列手
   段を備えたボール供給部と、前記吸着ヘッドを位置決め
   部とボール供給部とに対して相対的に水平移動させる移
   動手段と、吸着ヘッドを位置決め部とボール供給部とに
   対して相対的に上下動させる上下動手段と、吸着ヘッド
   内を真空吸引する真空吸引手段と、吸着ヘッド内に正圧
   を付与する正圧付与手段とを備え、前記吸着ヘッドに設
   けられ導電性ボールを真空吸着する吸着孔に、導電性ボ
   ールのワーク上面への着地動作において吸着状態から離
   脱して下降しワーク上面へ移行する導電性ボールをガイ
   ドするガイド部が形成されていることを特徴とする導電
   性ボールの移載装置。
3. 【請求項３】ボール供給部から導電性ボールを吸着ヘッ
   ドによって真空吸着により保持して位置決め部に位置決
   めされたワークに移載する導電性ボールの移載方法であ
   って、導電性ボールを吸着ヘッドに真空吸着により保持
   させる工程と、導電性ボールを保持した吸着ヘッドを位
   置決め部のワークに対して相対的に位置あわせする工程
   と、吸着ヘッド内の真空吸引を解除するとともに吸着ヘ
   ッド内に正圧を付与する工程と、導電性ボールが吸着状
   態から離脱して下降しワーク上面へ移行する際に導電性
   ボールを吸着孔に形成されたガイド部によってガイドす
   る工程とを含むことを特徴とする導電性ボールの移載方
   法。
4. 【請求項４】ボール供給部から導電性ボールを吸着ヘッ
   ドによって真空吸着により保持して位置決め部に位置決
   めされたワークに移載する導電性ボールの移載方法であ
   って、導電性ボールを前記吸着ヘッドに形成された吸着
   孔の位置に対応した配列でボール整列手段に保持させる
   工程と、整列状態で保持された導電性ボールを吸着ヘッ
   ドに真空吸着により保持させる工程と、導電性ボールを
   保持した吸着ヘッドを位置決め部のワークに対して相対
   的に位置あわせする工程と、吸着ヘッド内の真空吸引を
   解除するとともに吸着ヘッド内に正圧を付与する工程
   と、導電性ボールが吸着状態から離脱して下降しワーク
   上面へ移行する際に導電性ボールを吸着孔に形成された
   ガイド部によってガイドする工程とを含むことを特徴と
   する導電性ボールの移載方法。
5. 【請求項５】前記吸着ヘッドを位置決め部のワークに対
   して相対的に位置あわせする工程において、吸着ヘッド
   に保持された導電性ボールの下端部をワーク上面に当接
   させることを特徴とする請求項３または４記載の導電性
   ボールの移載方法。
6. 【請求項６】前記吸着ヘッドを位置決め部のワークに対
   して相対的に位置あわせする工程において、吸着ヘッド
   に保持された導電性ボールの下端部をワーク上面から離
   隔させた状態で位置あわせを行うことを特徴とする請求
   項３または４記載の導電性ボールの移載方法。