JP2001267877A - 弾性表面波デバイス - Google Patents
弾性表面波デバイスInfo
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- JP2001267877A JP2001267877A JP2000077970A JP2000077970A JP2001267877A JP 2001267877 A JP2001267877 A JP 2001267877A JP 2000077970 A JP2000077970 A JP 2000077970A JP 2000077970 A JP2000077970 A JP 2000077970A JP 2001267877 A JP2001267877 A JP 2001267877A
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- surface acoustic
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14597—Matching SAW transducers to external electrical circuits
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 デジタルＣＡＴＶ用ＳＡＷフィルタにおい
て、入出力ＩＤＴ間のインピーダンスのアンバランスを
補正する。 【解決手段】 ＳＡＷフィルタ１は、入出力ＩＤＴ３，
４と、出力ＩＤＴ４に並列に接続されたパターンインダ
クタ７を備える。パターンインダクタ７は、たとえば自
己インダクタンス量２０ｎＨのミアンダ型金属薄膜パタ
ーンで構成される。
て、入出力ＩＤＴ間のインピーダンスのアンバランスを
補正する。 【解決手段】 ＳＡＷフィルタ１は、入出力ＩＤＴ３，
４と、出力ＩＤＴ４に並列に接続されたパターンインダ
クタ７を備える。パターンインダクタ７は、たとえば自
己インダクタンス量２０ｎＨのミアンダ型金属薄膜パタ
ーンで構成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は弾性表面波（ＳＡ
Ｗ：Surface Acoustic Wave）デバイスに関し、より特
定的には、デジタルＣＡＴＶ（ケーブルテレビジョン）
用ＳＡＷフィルタに関する。
Ｗ：Surface Acoustic Wave）デバイスに関し、より特
定的には、デジタルＣＡＴＶ（ケーブルテレビジョン）
用ＳＡＷフィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】ＳＡＷデバイスの一例として、トランス
バーサル型ＳＡＷフィルタは知られている。トランスバ
ーサル型ＳＡＷフィルタは、各種重み付け手法により所
望の特性を得やすいという特徴を持っている。
バーサル型ＳＡＷフィルタは知られている。トランスバ
ーサル型ＳＡＷフィルタは、各種重み付け手法により所
望の特性を得やすいという特徴を持っている。
【０００３】図５に、従来のＳＡＷフィルタ１を示す。
図５に示すように、ＳＡＷフィルタ１は、圧電基板２
と、この圧電基板２上に形成された入力ＩＤＴ（Interd
igitalTransducer)３と、出力ＩＤＴ４と、シールド電
極５と、吸着剤６とを備える。入力ＩＤＴ３および出力
ＩＤＴ４は、簾状電極で構成されている。
図５に示すように、ＳＡＷフィルタ１は、圧電基板２
と、この圧電基板２上に形成された入力ＩＤＴ（Interd
igitalTransducer)３と、出力ＩＤＴ４と、シールド電
極５と、吸着剤６とを備える。入力ＩＤＴ３および出力
ＩＤＴ４は、簾状電極で構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】簾状電極は、弾性表面
波を発生させるという基本特性の他に電気容量としての
特性も有する。これは、近距離で電極を対向させたため
自然に発生するものであり、弾性表面波励振と独立に制
御するのは不可能である。この自然に発生する電気容量
の値をＣTとすると、上記の電極の入力インピーダンス
における虚数成分は、１／（ｊω・ＣT）となる。この
値が、入出力間で大きく異なる場合には、入出力間にお
けるインピーダンスのアンバランスが生じ、フィルタ特
性に傾きが生じる。
波を発生させるという基本特性の他に電気容量としての
特性も有する。これは、近距離で電極を対向させたため
自然に発生するものであり、弾性表面波励振と独立に制
御するのは不可能である。この自然に発生する電気容量
の値をＣTとすると、上記の電極の入力インピーダンス
における虚数成分は、１／（ｊω・ＣT）となる。この
値が、入出力間で大きく異なる場合には、入出力間にお
けるインピーダンスのアンバランスが生じ、フィルタ特
性に傾きが生じる。
【０００５】図５に示すＳＡＷフィルタ１をデジタル放
送用中間周波数（ＩＦ：Intermediate Frequency)に使
用する場合には、極めて急峻な特性が要求されるので、
簾状電極の重み付けだけでは、入出力間の微妙なインピ
ーダンスのバランスを調整するのが困難であった。
送用中間周波数（ＩＦ：Intermediate Frequency)に使
用する場合には、極めて急峻な特性が要求されるので、
簾状電極の重み付けだけでは、入出力間の微妙なインピ
ーダンスのバランスを調整するのが困難であった。
【０００６】そのため、入出力間におけるインピーダン
スのアンバランスが生じ、図６に示すように帯域内特性
に傾斜が発生し、挿入損失および帯域内リップルが劣化
する。これは、複雑な重み付け関数を採用したため入力
電極（ＩＤＴ）と出力電極（ＩＤＴ）それぞれが持つ寄
生インピーダンスの周波数特性を相殺することができな
かったためである。
スのアンバランスが生じ、図６に示すように帯域内特性
に傾斜が発生し、挿入損失および帯域内リップルが劣化
する。これは、複雑な重み付け関数を採用したため入力
電極（ＩＤＴ）と出力電極（ＩＤＴ）それぞれが持つ寄
生インピーダンスの周波数特性を相殺することができな
かったためである。
【０００７】本発明は上述の課題を解決するためになさ
れたものである。本発明の目的は、入力電極と出力電極
間のインピーダンスのアンバランスを補正することによ
り、帯域内特性の傾斜をなくし、挿入損失および帯域内
リップルを向上することにある。
れたものである。本発明の目的は、入力電極と出力電極
間のインピーダンスのアンバランスを補正することによ
り、帯域内特性の傾斜をなくし、挿入損失および帯域内
リップルを向上することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明に係る弾性表面波
デバイスは、圧電基板と、この圧電基板上に形成された
入力電極（ＩＤＴ）および出力電極（ＩＤＴ）と、圧電
基板上に形成され入力電極と出力電極間におけるインピ
ーダンスのアンバランスを補正するためのインダクタ手
段とを備える。
デバイスは、圧電基板と、この圧電基板上に形成された
入力電極（ＩＤＴ）および出力電極（ＩＤＴ）と、圧電
基板上に形成され入力電極と出力電極間におけるインピ
ーダンスのアンバランスを補正するためのインダクタ手
段とを備える。
【０００９】上記のようにインダクタ手段を設けること
により、所望の値のインダクタンスを入力電極あるいは
出力電極に付加することができ、入力インピーダンス値
を変化させることができる。具体的には、たとえば一方
の電極に自己インダクタンスＬの要素を並列に付加する
ことにより、入力インピーダンスの虚数成分は、１／
｛ｊω・ＣT−ｊ／（ωＬ）｝となり、入力インピーダ
ンス値が変化する。したがって、適当な値の自己インダ
クタンスを有するインダクタ手段を設けることにより、
入力インピーダンス値を所望の値に調整することがで
き、入力電極と出力電極間におけるインピーダンスのア
ンバランスを補正することができる。
により、所望の値のインダクタンスを入力電極あるいは
出力電極に付加することができ、入力インピーダンス値
を変化させることができる。具体的には、たとえば一方
の電極に自己インダクタンスＬの要素を並列に付加する
ことにより、入力インピーダンスの虚数成分は、１／
｛ｊω・ＣT−ｊ／（ωＬ）｝となり、入力インピーダ
ンス値が変化する。したがって、適当な値の自己インダ
クタンスを有するインダクタ手段を設けることにより、
入力インピーダンス値を所望の値に調整することがで
き、入力電極と出力電極間におけるインピーダンスのア
ンバランスを補正することができる。
【００１０】上記インダクタ手段の一例として、金属パ
ターンを挙げることができる。この金属パターンは、ミ
アンダ型あるいはスパイラル型等の長い金属パターンで
あることが好ましい。長い金属パターンは、大きな自己
インダクタンスを有するので、入力電極と出力電極間に
おけるインピーダンスの補正可能範囲を拡大することが
できる。
ターンを挙げることができる。この金属パターンは、ミ
アンダ型あるいはスパイラル型等の長い金属パターンで
あることが好ましい。長い金属パターンは、大きな自己
インダクタンスを有するので、入力電極と出力電極間に
おけるインピーダンスの補正可能範囲を拡大することが
できる。
【００１１】インダクタ手段を、出力電極と並列に接続
することが好ましい。それにより、上述のように、入力
インピーダンス値を制御することができ、入力電極と出
力電極間におけるインピーダンスのアンバランスを補正
することができる。
することが好ましい。それにより、上述のように、入力
インピーダンス値を制御することができ、入力電極と出
力電極間におけるインピーダンスのアンバランスを補正
することができる。
【００１２】入力電極および出力電極は、好ましくは簾
状電極であり、入力電極と出力電極の入力インピーダン
ス値を均衡させるように、インダクタ手段の自己インダ
クタンス値を決定する。
状電極であり、入力電極と出力電極の入力インピーダン
ス値を均衡させるように、インダクタ手段の自己インダ
クタンス値を決定する。
【００１３】それにより、入力電極と出力電極間におけ
るインピーダンスのアンバランスを補正することができ
る。
るインピーダンスのアンバランスを補正することができ
る。
【００１４】インダクタ手段の自己インダクタンス値を
１０ｎＨ〜１００ｎＨとすることが好ましい。また、本
発明の弾性表面波デバイスは、デジタルテレビジョンの
中間周波数帯に利用されることが好ましい。
１０ｎＨ〜１００ｎＨとすることが好ましい。また、本
発明の弾性表面波デバイスは、デジタルテレビジョンの
中間周波数帯に利用されることが好ましい。
【００１５】映像用中間周波数帯（数十ＭＨｚ帯）で
は、電極の電気容量は１ｐＦ前後になることが経験上知
られている。この場合、入力インピーダンスの大きさ
は、数Ωのオーダーになる。数Ωのオーダーの入力イン
ピーダンスを補正するためには、同じオーダーか一桁大
きいオーダーのインピーダンスを並列に付加する必要が
生じる。それは、付加するインピーダンスが大きすぎる
場合には、ほとんど影響がなくなり、付加するインピー
ダンスが小さすぎる場合には、インピーダンスの符号が
反転して容量性から誘導性になってしまうからである。
中間周波数帯では、１０ｎＨ〜１００ｎＨで、数Ωから
数十Ωのインピーダンスが実現できる。したがって、イ
ンダクタ手段の自己インダクタンス値を１０ｎＨ〜１０
０ｎＨとすることにより、中間周波数帯で使用する場合
に入力電極と出力電極間におけるインピーダンスのアン
バランスを補正することができる。
は、電極の電気容量は１ｐＦ前後になることが経験上知
られている。この場合、入力インピーダンスの大きさ
は、数Ωのオーダーになる。数Ωのオーダーの入力イン
ピーダンスを補正するためには、同じオーダーか一桁大
きいオーダーのインピーダンスを並列に付加する必要が
生じる。それは、付加するインピーダンスが大きすぎる
場合には、ほとんど影響がなくなり、付加するインピー
ダンスが小さすぎる場合には、インピーダンスの符号が
反転して容量性から誘導性になってしまうからである。
中間周波数帯では、１０ｎＨ〜１００ｎＨで、数Ωから
数十Ωのインピーダンスが実現できる。したがって、イ
ンダクタ手段の自己インダクタンス値を１０ｎＨ〜１０
０ｎＨとすることにより、中間周波数帯で使用する場合
に入力電極と出力電極間におけるインピーダンスのアン
バランスを補正することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、図１〜図４を用いて、本発
明の実施の形態について説明する。図１は、本発明の実
施の形態１におけるＳＡＷフィルタ１の平面図である。
明の実施の形態について説明する。図１は、本発明の実
施の形態１におけるＳＡＷフィルタ１の平面図である。
【００１７】本発明に係るＳＡＷフィルタ１では、簾状
の入出力電極（入出力ＩＤＴ３、４）間におけるインピ
ーダンスのアンバランスを補正するためのインダクタ手
段を設けたことを重要な特徴としている。
の入出力電極（入出力ＩＤＴ３、４）間におけるインピ
ーダンスのアンバランスを補正するためのインダクタ手
段を設けたことを重要な特徴としている。
【００１８】具体的には、図１に示すように、出力ＩＤ
Ｔ４側にインダクタ手段の一例であるパターンインダク
タ７を設けている。それ以外の構成については図５に示
す従来例と同様であるので、重複説明は省略する。
Ｔ４側にインダクタ手段の一例であるパターンインダク
タ７を設けている。それ以外の構成については図５に示
す従来例と同様であるので、重複説明は省略する。
【００１９】このようにパターンインダクタ７を設ける
ことにより、所望の値のインダクタンスを出力ＩＤＴ４
に付加することができ、入力インピーダンス値を変化さ
せることができる。具体的には、パターンインダクタ７
の自己インダクタンスがＬの場合、入力インピーダンス
の虚数成分は、１／｛ｊω・ＣT−ｊ／（ωＬ）｝とな
り、パターンインダクタ７を付加しない場合と比較して
入力インピーダンス値が変化する。
ことにより、所望の値のインダクタンスを出力ＩＤＴ４
に付加することができ、入力インピーダンス値を変化さ
せることができる。具体的には、パターンインダクタ７
の自己インダクタンスがＬの場合、入力インピーダンス
の虚数成分は、１／｛ｊω・ＣT−ｊ／（ωＬ）｝とな
り、パターンインダクタ７を付加しない場合と比較して
入力インピーダンス値が変化する。
【００２０】したがって、適当な値の自己インダクタン
スを有するパターンインダクタ７を設けることにより、
入力インピーダンス値を適切に調整することができる。
それにより、入出力ＩＤＴ３、４のインピーダンス値を
均衡させることができ、入出力ＩＤＴ３、４間のインピ
ーダンスのアンバランスを補正することができる。
スを有するパターンインダクタ７を設けることにより、
入力インピーダンス値を適切に調整することができる。
それにより、入出力ＩＤＴ３、４のインピーダンス値を
均衡させることができ、入出力ＩＤＴ３、４間のインピ
ーダンスのアンバランスを補正することができる。
【００２１】図４に、本発明に係るＳＡＷフィルタ１の
特性を示す。図４は、パターンインダクタ７の自己イン
ダクタンス量を２０ｎＨとした場合の特性を示してい
る。
特性を示す。図４は、パターンインダクタ７の自己イン
ダクタンス量を２０ｎＨとした場合の特性を示してい
る。
【００２２】図４に示すように、帯域内特性の傾斜がな
くなっているのがわかる。つまり、上記のパターンイン
ダクタ７を設けることにより、入出力ＩＤＴ３、４間に
おけるインピーダンスのアンバランスを補正することが
でき、挿入損失および帯域内リップルを向上することが
可能となることがわかる。
くなっているのがわかる。つまり、上記のパターンイン
ダクタ７を設けることにより、入出力ＩＤＴ３、４間に
おけるインピーダンスのアンバランスを補正することが
でき、挿入損失および帯域内リップルを向上することが
可能となることがわかる。
【００２３】パターンインダクタ７は、図１に示すよう
に出力ＩＤＴ４と並列に接続され、この場合であれば、
金属薄膜パターンで構成される。該パターンインダクタ
７は、図１および図２に示す態様ではミアンダ型である
が、図３に示すようにスパイラル型のパターンインダク
タ８を採用してもよい。つまり、長い金属薄膜パターン
でパターンインダクタを形成することが好ましい。
に出力ＩＤＴ４と並列に接続され、この場合であれば、
金属薄膜パターンで構成される。該パターンインダクタ
７は、図１および図２に示す態様ではミアンダ型である
が、図３に示すようにスパイラル型のパターンインダク
タ８を採用してもよい。つまり、長い金属薄膜パターン
でパターンインダクタを形成することが好ましい。
【００２４】長い金属薄膜パターンは、大きな自己イン
ダクタンスを有するので、上記のように長い金属薄膜パ
ターンをパターンインダクタとして使用することによ
り、入出力ＩＤＴ３、４間におけるインピーダンスの補
正可能範囲を拡大することができる。なお、スパイラル
型のパターンインダクタ８を採用する場合には、図３に
示すジャンパ９が必要となる。
ダクタンスを有するので、上記のように長い金属薄膜パ
ターンをパターンインダクタとして使用することによ
り、入出力ＩＤＴ３、４間におけるインピーダンスの補
正可能範囲を拡大することができる。なお、スパイラル
型のパターンインダクタ８を採用する場合には、図３に
示すジャンパ９が必要となる。
【００２５】図４に示す例ではパターンインダクタ７の
自己インダクタンス量を２０ｎＨとしたが、パターンイ
ンダクタ７の自己インダクタンス量は、１０ｎＨ〜１０
０ｎＨの範囲内であればよい。
自己インダクタンス量を２０ｎＨとしたが、パターンイ
ンダクタ７の自己インダクタンス量は、１０ｎＨ〜１０
０ｎＨの範囲内であればよい。
【００２６】本発明のフィルタ１は、典型的にはデジタ
ルデジタルＣＡＴＶの中間周波数帯（数十ＭＨｚ帯）に
利用されるが、当該周波数帯では、簾状電極（ＩＤＴ）
の電気容量は１ｐＦ前後になることが経験上知られてい
る。この場合、入力インピーダンスの大きさは、数Ωの
オーダーになる。
ルデジタルＣＡＴＶの中間周波数帯（数十ＭＨｚ帯）に
利用されるが、当該周波数帯では、簾状電極（ＩＤＴ）
の電気容量は１ｐＦ前後になることが経験上知られてい
る。この場合、入力インピーダンスの大きさは、数Ωの
オーダーになる。
【００２７】数Ωのオーダーの入力インピーダンスを補
正するためには、同じオーダーかそれより一桁大きいオ
ーダーのインピーダンスを並列に付加する必要が生じ
る。それは、付加するインピーダンスが大きすぎる場合
には、ほとんど影響がなくなり、付加するインピーダン
スが小さすぎる場合には、インピーダンスの符号が反転
して容量性から誘導性になってしまうからである。
正するためには、同じオーダーかそれより一桁大きいオ
ーダーのインピーダンスを並列に付加する必要が生じ
る。それは、付加するインピーダンスが大きすぎる場合
には、ほとんど影響がなくなり、付加するインピーダン
スが小さすぎる場合には、インピーダンスの符号が反転
して容量性から誘導性になってしまうからである。
【００２８】数十ＭＨｚの周波数においては、１０ｎＨ
〜１００ｎＨで、数Ωから数十Ωのインピーダンスが実
現できる。したがって、パターンインダクタ７の自己イ
ンダクタンス量を１０ｎＨ〜１００ｎＨとすることによ
り、フィルタ１を中間周波数帯で使用する場合に入出力
ＩＤＴ３、４間におけるインピーダンスのアンバランス
を補正することができる。
〜１００ｎＨで、数Ωから数十Ωのインピーダンスが実
現できる。したがって、パターンインダクタ７の自己イ
ンダクタンス量を１０ｎＨ〜１００ｎＨとすることによ
り、フィルタ１を中間周波数帯で使用する場合に入出力
ＩＤＴ３、４間におけるインピーダンスのアンバランス
を補正することができる。
【００２９】以上のように本発明の実施の形態について
説明を行なったが、本発明は上記の実施の形態に限定さ
れるものではない。本発明の範囲は特許請求の範囲によ
って示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内
での全ての変更が含まれる。
説明を行なったが、本発明は上記の実施の形態に限定さ
れるものではない。本発明の範囲は特許請求の範囲によ
って示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内
での全ての変更が含まれる。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
入出力電極（ＩＤＴ）間におけるインピーダンスのアン
バランスを補正することができるので、帯域内特性の傾
斜をなくすことができ、挿入損失および帯域内リップル
を向上することが可能となる。
入出力電極（ＩＤＴ）間におけるインピーダンスのアン
バランスを補正することができるので、帯域内特性の傾
斜をなくすことができ、挿入損失および帯域内リップル
を向上することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係るデジタルＣＡＴＶ用ＳＡＷフィ
ルタの概略構成図である。
ルタの概略構成図である。
【図２】 図１における出力ＩＤＴとパターンインダク
タを拡大した図である。
タを拡大した図である。
【図３】 図２に示すパターンインダクタの変形例を示
す図である。
す図である。
【図４】 本発明に係るデジタルＣＡＴＶ用ＳＡＷフィ
ルタの特性を示す図である。
ルタの特性を示す図である。
【図５】 従来のデジタルＣＡＴＶ用ＳＡＷフィルタの
概略構成図である。
概略構成図である。
【図６】 従来のデジタルＣＡＴＶ用ＳＡＷフィルタの
特性を示す図である。
特性を示す図である。
１ ＳＡＷフィルタ、２ 圧電基板、３ 入力ＩＤＴ、
４ 出力ＩＤＴ、５シールド電極、６ 吸着剤、７，８
パターンインダクタ、９ ジャンパ。
４ 出力ＩＤＴ、５シールド電極、６ 吸着剤、７，８
パターンインダクタ、９ ジャンパ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 二木 一也 大阪府大東市三洋町１番１号 三洋電子部 品株式会社内 Ｆターム(参考） 5J097 AA01 AA15 BB11 DD20 DD21 EE07 KK04
Claims (7)
- 【請求項１】 圧電基板と、 前記圧電基板上に形成された入力電極および出力電極
と、 前記圧電基板上に形成され、前記入力電極と前記出力電
極間におけるインピーダンスのアンバランスを補正する
ためのインダクタ手段と、を備えた、弾性表面波デバイ
ス。 - 【請求項２】 前記インダクタ手段は、金属パターンを
含む、請求項１に記載の弾性表面波デバイス。 - 【請求項３】 前記金属パターンは、ミアンダ型あるい
はスパイラル型の金属パターンである、請求項２に記載
の弾性表面波デバイス。 - 【請求項４】 前記インダクタ手段を、前記出力電極と
並列に接続する、請求項１から請求項３のいずれかに記
載の弾性表面波デバイス。 - 【請求項５】 前記入力電極および出力電極は、簾状電
極であり、 前記入力電極と出力電極の入力インピーダンス値を均衡
させるように、前記インダクタ手段の自己インダクタン
ス値を決定する、請求項１から請求項４のいずれかに記
載の弾性表面波デバイス。 - 【請求項６】 前記インダクタ手段の自己インダクタン
ス値を１０ｎＨ〜１００ｎＨとする、請求項５に記載の
弾性表面波デバイス。 - 【請求項７】デジタルテレビジョンの中間周波数帯に利
用される、請求項１から請求項６のいずれかに記載の弾
性表面波デバイス。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000077970A JP2001267877A (ja) | 2000-03-21 | 2000-03-21 | 弾性表面波デバイス |
| US09/810,256 US6577209B2 (en) | 2000-03-21 | 2001-03-19 | Surface acoustic wave device with inductor means for correcting impedance imbalance between input and output electrodes |
| EP01107049A EP1137175B1 (en) | 2000-03-21 | 2001-03-21 | Surface acoustic wave device |
| DE60130937T DE60130937T2 (de) | 2000-03-21 | 2001-03-21 | Akustikoberflächenwellenvorrichtung |
| CN01117320.3A CN1326265A (zh) | 2000-03-21 | 2001-03-21 | 表面声波器件 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000077970A JP2001267877A (ja) | 2000-03-21 | 2000-03-21 | 弾性表面波デバイス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001267877A true JP2001267877A (ja) | 2001-09-28 |
Family
ID=18595445
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000077970A Withdrawn JP2001267877A (ja) | 2000-03-21 | 2000-03-21 | 弾性表面波デバイス |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6577209B2 (ja) |
| EP (1) | EP1137175B1 (ja) |
| JP (1) | JP2001267877A (ja) |
| CN (1) | CN1326265A (ja) |
| DE (1) | DE60130937T2 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6548937B1 (en) * | 2002-05-01 | 2003-04-15 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Array of membrane ultrasound transducers |
| US8896397B2 (en) | 2003-04-16 | 2014-11-25 | Intellectual Ventures Fund 77 Llc | Surface acoustic wave device and method of adjusting LC component of surface acoustic wave device |
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