JP2001222885A - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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JP2001222885A JP2000032636A JP2000032636A JP2001222885A JP 2001222885 A JP2001222885 A JP 2001222885A JP 2000032636 A JP2000032636 A JP 2000032636A JP 2000032636 A JP2000032636 A JP 2000032636A JP 2001222885 A JP2001222885 A JP 2001222885A
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Toru Kobayashi
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Shuichi Miyaoka
修一 宮岡
Yuji Yokoyama
勇治 横山
Hideo Sawamoto
英雄 澤本
Shoji Kume
正二 久米
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 並列動作可能なメモリブロックに対するリー
ドデータの外部出力動作のスループットを改善する。 【解決手段】 並列動作可能な複数個のメモリブロック
(BNK0〜BNK7)から読み出されたリードデータ
を外部インタフェース手段から外部に出力不可能な状態
に呼応して保持する事が可能なリードバッファ(RB0
〜RB3)と、前記出力不可能な状態が解消されている
とき前記メモリブロックから読み出されたリードデータ
又は前記リードバッファから読み出されたリードデータ
を選択して前記外部インタフェース手段に与える選択手
段(40,41,42)とを設ける。これにより、リー
ドデータの出力動作でリソース競合の虞があればリード
バッファに蓄え、虞が無ければリードデータを直接外部
に出力することができ、リードデータ出力動作のスルー
プットが向上する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、メモリブロックを
有する半導体集積回路、更にはリードアクセスの要求に
対するデータリード動作のスループットを向上させる技
術に関し、例えばロジック回路と共にDRAMを混載し
たキャッシュメモリ用の半導体集積回路に適用して有効
な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】情報参照の時間的・空間的局所性に鑑み
た記憶装置の記憶階層は、一般にアクセス速度と記憶容
量の異なる複数レベルのメモリによって構成される。メ
インメモリにはビット単価の安いDRAM(ダイナミッ
ク・ランダム・アクセス・メモリ)が用いられ、プロセ
ッサ若しくはCPU(セントラル・プロセッシング・ユ
ニット)に近いレベルにはSRAM(スタティック・ラ
ンダム・アクセス・メモリ)などによって構成されるキ
ャッシュメモリが配置される。キャッシュメモリはプロ
セッサが最近利用したデータに対して時間的・空間的に
局在するデータを保持し、下位レベルからのデータリー
ド動作よりもスループットを向上させることを可能にす
るものである。
【0003】本発明者は、本発明を完成した後、特開平
2−297791号及び特開平6−195261号の存
在について知らされた。これらの文献は、ダイナミック
型メモリ(DRAM)とスタティック型メモリ(SRA
M)とを1チップの半導体基板上に有し、上記DRAM
及び上記SRAMをキャッシュメモリとして利用するこ
とについて述べている。しかしながら、本発明の目的及
びその構成については、それらには述べられていない。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明者は比較的アク
セス速度の遅いDRAMモジュールをロジック回路と共
に多数混載してこれをキャッシュメモリに利用可能にす
ることについて検討した。例えば、レベル1(L1)及
びレベル2(L2)キャッシュメモリを内蔵したマイク
ロプロセッサのレベル3(L3)キャッシュメモリ等に
用いることができるDRAM混載の半導体集積回路を検
討した。
【0005】本発明者の検討によれば、多数のDRAM
モジュールを混載して並列動作可能とすることによって
見掛け上メモリ・リードサイクルを短くしようとすると
き、並列動作によるデータ出力動作等の競合回避を考慮
しなければならない。この場合、データの競合回避のた
めにデータバッファを採用しようとするとき、データ競
合を生じていない場合にもデータバッファリングを行っ
たのでは無駄のあることが見出された。
【0006】プロセッサによるデータ処理効率を考慮す
れば、プロセッサのリードアクセスに応答するリード動
作のスループット向上が第一義である。このとき、キャ
ッシュメモリのリード動作にはプロセッサによるライト
アクセスに伴うコピーバック(若しくはライトバック)
のためのリード動作もあり、そのようなリード動作では
殆どの場合高いスループットは要求されない。即ち、コ
ピーバックは、キャッシュミスに際してダーティーなキ
ャッシュラインをリプレースするためにそのデータをメ
インメモリに退避させる動作だからである。したがっ
て、キャッシュメモリとしての利用を考慮するときは、
リードデータのスループット向上に対してもリードデー
タの用途に応じて軽重の差を付けられるようにしてロジ
ック回路の論理規模が無駄に拡大しないようにすること
の必要性が本発明者によって明らかにされた。
【0007】また、プロセッサのライトアクセスに対し
てはそれに応答するライト処理の高速化は左程重要では
ないが、プロセッサによるデータ処理効率を考慮すれ
ば、ライトアクセスの要求を受け付けてその動作からプ
ロセッサを短時間で解放する事が必要である。特に、D
RAMの場合にはリフレッシュインターバル毎に記憶情
報のリフレッシュ動作が必要であり、これによってライ
トアクセス要求の受付が遅れないようにしなければなら
ない。
【0008】本発明の目的は、メモリブロックの並列動
作によるデータ競合を回避するためにデータバッファを
採用した構成においてリード動作のスループットを改善
することができる半導体集積回路を提供することにあ
る。
【0009】本発明の別の目的は、ロジック回路の論理
規模が無駄に拡大しないようにリード動作のスループッ
トを改善することができる半導体集積回路を提供するこ
とにある。
【0010】本発明のその他の目的は、内部のメモリ動
作状態に拘わらずにライトアクセスの要求を受け付ける
事が容易な半導体集積回路を提供することにある。
【0011】本発明の前記並びにその他の目的と新規な
特徴は本明細書の記述及び添付図面から明らかになるで
あろう。
【0012】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば下記
の通りである。
【0013】〔1〕メモリブロックの並列動作によるデ
ータ競合を回避するためにリードバッファを採用し、リ
ード動作のスループットを改善する。そのための構成と
して、半導体集積回路は、並列動作可能な複数個のメモ
リブロック(BNK0〜BNK7)と、外部からライト
データを入力可能であって外部へリードデータを出力可
能な外部インタフェース手段(I/F1)と、前記メモ
リブロックから読み出されたリードデータを前記外部イ
ンタフェース手段から外部に出力不可能な状態に呼応し
て保持する事が可能なリードバッファ(RB0〜RB
3)と、前記出力不可能な状態が解消されているとき前
記メモリブロックから読み出されたリードデータ又は前
記リードバッファから読み出されたリードデータを選択
して前記外部インタフェース手段に与える選択手段(4
0,41)と、を有する。
【0014】上記手段によれば、並列動作可能なメモリ
ブロックの一つのリードデータが外部インタフェース手
段から外部に出力されているとき、他のメモリブロック
のリード動作が行われると、このリードデータは外部出
力の点でリソース競合を生ずることになるのでリードバ
ッファに一旦格納され、先のデータ出力動作が終了され
た後、リードバッファから外部に出力可能にされる。し
たがって、リードデータの出力動作でリソース競合を生
ずる事になるようなリードアクセス要求があってもその
要求を待たせずにリード動作を開始でき、リソース競合
の虞が無くなればバッファから即座にリードデータを外
部に出力でき、この点においてリードデータ出力動作の
スループットを向上させる事が可能になる。
【0015】メモリブロックからデータが読み出された
とき前記リソース競合が無ければ、リードデータはリー
ドバッファを介することなく直接外部インタフェース手
段から外部に出力されるから、データ競合を生じていな
い場合にも一旦データをバッファリングするような無駄
を回避でき、この点においてリードデータ出力動作のス
ループット向上に寄与する。
【0016】リードバッファはメモリブロックに比べて
小容量・高速のメモリ等によって構成すればよい。例え
ばメモリブロックをDRAMモジュールで構成すると
き、リードバッファをSRAMモジュールで構成すれば
よい。
【0017】上記構成を制御の観点から述べれば、半導
体集積回路は、並列動作可能な複数個のメモリブロック
(BNK0〜BNK7)と、前記メモリブロックから読
み出されたリードデータを保持する事が可能なリードバ
ッファ(RB0〜RB3)と、前記リードバッファから
出力されるリードデータ及び前記メモリブロックから出
力されるリードデータを外部へ出力可能な外部インタフ
ェース手段(I/F1)と、前記メモリブロックから読
み出されたリードデータを前記外部インタフェース手段
から外部に出力不可能な状態に呼応して当該リードデー
タを前記リードバッファに保持させ、前記出力不可能な
状態が解消されているとき前記メモリブロックから読み
出されたリードデータ又は前記リードバッファから読み
出されたリードデータを前記外部インタフェース手段か
ら出力させる制御手段(MCNT)と、を有する。
【0018】〔2〕内部のメモリ動作状態に拘わらずに
外部からのライトアクセスの要求を容易に受け付け可能
にするために、半導体集積回路は、並列動作可能な複数
個のメモリブロック(BNK0〜BNK7)と、外部か
らライトデータを入力可能な外部インタフェース手段
(I/F1)と、前記外部インタフェース手段に入力さ
れたライトデータを入力して保持し、メモリブロックが
ライト動作可能にされた後にライトデータをメモリブロ
ックに供給するライトバッファ(WB0〜WB3)と、
を有する。
【0019】記憶情報のリフレッシュやリード動作など
メモリブロックの内部動作中に、それに対するライトア
クセスの要求があっても、ライトバッファにライトデー
タを予めバッファリングする事ことができるから、ライ
トアクセスを行うプロセッサなどをライトアクセス動作
から短時間で解放する事が可能になる。プロセッサ等に
よるデータ処理効率を考慮したとき、プロセッサのライ
トアクセスに対してはそれに応答するメモリ側でのライ
ト処理の高速化は左程重要ではないが、上記より、プロ
セッサのライトアクセス要求を待たせないので、システ
ム全体のデータ処理効率の向上に寄与する。
【0020】ライトバッファはメモリブロックに比べて
小容量・高速のメモリ等によって構成すればよく、上記
同様、例えばメモリブロックをDRAMモジュールで構
成するとき、ライトバッファをSRAMモジュールで構
成すればよい。
【0021】上記構成を制御の観点を主体に述べれば、
半導体集積回路は、外部からライトデータを入力可能な
外部インタフェース手段(I/F1)と、前記外部イン
タフェース手段に入力されたライトデータを入力するラ
イトバッファ(WB0〜WB3)と、前記ライトバッフ
ァからライトデータが供給される複数個のメモリブロッ
ク(BNK0〜BNK7)と、外部からのアクセス要求
に応答して外部インタフェース手段に供給されるライト
データを前記ライトバッファに格納させ、アクセス対象
メモリブロックがライト動作可能にされるのを待ってラ
イトデータをライトバッファからメモリブロックに供給
させる制御手段(MCNT)と、を有する。
【0022】〔3〕上記リードバッファとライトバッフ
ァの双方の構成を兼ね備えた半導体集積回路は、並列動
作可能な複数個のメモリブロック(BNK0〜BNK
7)と、外部からライトデータを入力可能であって外部
へリードデータを出力可能な外部インタフェース手段
(I/F1)と、前記外部インタフェース手段に入力さ
れたライトデータを入力して保持し、メモリブロックが
ライト動作可能にされた後にライトデータをメモリブロ
ックに供給するライトバッファ(WB0〜WB3)と、
前記メモリブロックから読み出されたリードデータを前
記外部インタフェース手段から外部に出力不可能な競合
状態に応答して保持する事が可能なリードバッファ(R
B0〜RB3)と、前記出力不可能な競合状態が解消さ
れているとき前記メモリブロックから読み出されたリー
ドデータ又は前記リードバッファから読み出されたリー
ドデータを選択して前記外部インタフェース手段(4
0,41)に与える選択手段と、を有する。
【0023】〔4〕下位レベル及び上位レベルの双方の
記憶階層に接続可能なキャッシュメモリとしての用途を
想定する。このとき、半導体集積回路は、並列動作可能
な複数個のメモリブロック(BNK0〜BNK7)と、
外部からライトデータを入力可能であって外部へリード
データを出力可能な第1の外部インタフェース手段(I
/F1)と、外部からライトデータを入力可能であって
外部へリードデータを出力可能な第2の外部インタフェ
ース手段(I/F2)とを有する。更に、半導体集積回
路は、前記第1又は第2の外部インタフェース手段に入
力されたライトデータを入力して保持し、メモリブロッ
クがライト動作可能にされた後にライトデータをメモリ
ブロックに供給するライトバッファ(WB0〜WB
3)、前記第2の外部インタフェース手段から出力すべ
きリードデータの保持と、前記第1の外部インタフェー
ス手段から出力すべきリードデータであって当該第1の
外部インタフェース手段から出力不可能な競合状態にあ
るリードデータの保持とを行うことが可能なリードバッ
ファ(RB0〜RB3)と、前記出力不可能な競合状態
が解消されているとき前記メモリブロックから読み出さ
れたリードデータ又は前記リードバッファから読み出さ
れたリードデータを選択して前記第1の外部インタフェ
ース手段に与える選択手段(40,41)と、を有す
る。
【0024】この構成において、第1の外部インタフェ
ース手段は上位の記憶階層に接続され、第2の外部イン
タフェース手段は下位の記憶階層に接続される。プロセ
ッサのリード・ライトアクセス要求に対する前記リード
バッファ及びライトバッファの基本的な作用は上記同様
である。特に、第2の外部インタフェース手段を介する
下位記憶階層へのリードデータの出力は、リードバッフ
ァを介するデータ出力だけになる。これは、下位記憶階
層へのリードデータ出力として、プロセッサによるライ
トアクセスに伴うコピーバック(若しくはライトバッ
ク)のためのリード動作を想定するからである。コピー
バックは、キャッシュミスに際してダーティーなキャッ
シュラインをリプレースするためにそのデータをメイン
メモリに退避させる動作だから、そのようなリード動作
では殆どの場合高いスループットは要求されないので、
リードバッファを迂回して直接リードデータを第2の外
部インタフェース手段から出力可能にするデータパスや
そのためのロジック回路を省いて、回路の論理規模が無
駄に拡大しないようにしている。
【0025】前記半導体集積回路をマルチプロセッサシ
ステムに適用することを考慮すると、下位の記憶階層側
にも別のプロセッサが接続される事になり、当該別のプ
ロセッサのアクセスにもその半導体集積回路が動作され
る場合が想定される。これに対処するには、前記第1及
び第2の外部インタフェース手段は、夫々個別にメモリ
ブロックに対するアクセス要求とアクセスアドレスとを
外部から入力可能であればよい。
【0026】また、下位の記憶階層から上記半導体集積
回路を通過して上位の記憶階層にリードデータが供給さ
れるときのリソース競合を考慮すれば、前記第2の外部
インタフェース手段からデータを入力して保持し、保持
したデータを前記第2の外部インタフェース手段から外
部に出力可能なメモリバッファ(54)を更に有するこ
とが、キャッシュメモリとしての半導体集積回路の利便
性を増す。
【0027】〔5〕メモリブロックが例えばDRAMで
構成される場合に、DRAMのアクセス時間の短縮は公
知のページモードやスタティック・カラムモードでも達
成できる。更に、DRAMで構成されるようなメモリブ
ロックにおける見掛け上のアクセスタイムを短縮するた
めに、データの入力に直列並列変換を施し、データ出力
に並列・直列変換を施す。即ち、半導体集積回路は、メ
モリセルアレイ(10)、ロウ選択回路(11)、カラ
ム選択回路(12,13)、直列・並列変換回路(2
1)、ライトアンプ(17W)、メインアンプ(17
R)、並列・直列変換回路(25)を有するメモリブロ
ックを含む。メモリセルアレイは、選択端子がワード線
に接続され、データ入出力端子がビット線に接続された
メモリセルを複数個有する。ロウ選択回路は、ロウアド
レスストローブ信号の変化にクロック信号同期で応答し
ロウアドレス信号で指定されるワード線を選択する。カ
ラム選択回路は、カラムアドレスストローブ信号の変化
にクロック信号同期で応答しカラムアドレス信号で指定
されるビット線を複数本並列に選択する。直列・並列変
換回路は、ライトバッファから直列的に入力されるライ
トデータをクロック信号に同期して並列データに変換す
る。ライトアンプは、前記カラム選択回路で選択された
複数本のビット線に前記直列・並列変換回路の出力を並
列出力する。メインアンプは、前記カラム選択回路で選
択された複数本のビット線から並列出力される並列デー
タを増幅する。並列・直列変換回路はメインアンプから
供給される並列データをクロック信号に同期して直列デ
ータに変換して前記リードバッファ及び選択手段に向け
て出力する。
【0028】前記メモリブロックは前記クロック信号周
期のn(2以上の正の整数)倍の周期で変化される前記
カラムアドレスストローブ信号が入力され、カラムアド
レス信号が変化されるサイクル毎に、メモリセルアレイ
から読み出されクロック信号サイクルに同期して並列・
直列変換された複数の直列データがメモリブロックから
出力され、またクロック信号サイクルに同期してメモリ
ブロックに入力されて直・並列変換された並列データが
メモリセルアレイに書込まれる。このように、クロック
信号のnサイクルに1回の割合でカラムアドレスストロ
ーブ信号を変化させるというアクセス仕様によってメモ
リ動作の高速化を図ることが可能になる。
【0029】前記直列・並列変換回路の直列データ入力
経路と、前記並列・直列変換回路の直列データ出力経路
とを独立に備えるとよい。リード動作ではカラムアドレ
スストローブ信号の変化に応答してメモリセルアレイか
らデータを読み出した後に並列・直列変換の時間を要し
てメモリブロックから直列データが出力されるが、ライ
ト動作では、カラムアドレスストローブ信号の変化に応
答してメモリセルアレイに並列データを書込む前に、予
めメモリブロックに入力された直列データを並列データ
に変換する動作を完了していなければならない。このと
き、リード動作に続けてライト動作が指示されると、リ
ード動作による直列データをメモリブロックから出力す
る動作に並行して、ライト動作のための直列データを予
めメモリブロックに順次直列に入力する動作を行わなけ
ればならないことが多く予想される。即ち、メモリブロ
ックからの直列データ出力タイミングとメモリブロック
への直列データ入力タイミングとがオーバラップする蓋
然性が高い。前述の如く、メモリブロックの直列データ
入力経路と直列データ出力経路とを独立に持つことによ
って、そのような処理のオーバラップに対してもデータ
の衝突を回避して効率的な処理を実現可能になる。
【0030】〔6〕リードデータの伝播遅延を考慮する
とき、前記半導体集積回路には以下のレイアウト構成を
採用するのがよい。例えば信号入出力用のボンディング
パッド若しくはバンプ電極などの外部接続電極がチップ
の中央部に配置されているセンタパッド形態を想定す
る。このとき、半導体チップ上にメモリブロックが離間
して対向配置される。前記対向するメモリブロックの間
に、メモリブロックから読み出されたリードデータを保
持することが可能なリードバッファ及びメモリブロック
に与えるライトデータを保持する事が可能なライトバッ
ファが配置される。前記リードバッファとライトバッフ
ァとの近傍に外部インタフェース手段が配置される。前
記外部インタフェース手段の近傍に位置する外部接続電
極を有する。前記ライトバッファは、前記外部インタフ
ェース手段に入力されたライトデータを入力して保持
し、メモリブロックがライト動作可能にされた後にライ
トデータをメモリブロックに供給する。前記リードバッ
ファは、前記メモリブロックから読み出されたリードデ
ータを前記外部インタフェース手段から外部に出力不可
能な状態に呼応して保持する事が可能である。
【0031】
【発明の実施の形態】図1には本発明に係る半導体集積
回路の一例が全体的に示される。同図に示される半導体
集積回路1は、特に制限されないが、L3キャッシュメ
モリとしての利用が想定された半導体集積回路であり、
8個のメモリブロックBNK0〜BNK7、4個のライ
トバッファWB0〜WB3、4個のリードバッファRB
0〜RB3、上位記憶階層(例えばプロセッサバス)に
接続される上位階層インタフェースブロックI/F1、
下位記憶階層(例えばメモリバス)に接続される下位階
層インタフェースブロックI/F2、メモリ制御回路M
CNTを有する。
【0032】前記上位階層インタフェースブロックI/
F1は、上位記憶階層例えばL1キャッシュメモリ及び
L2キャッシュメモリを内蔵したプロセッサが接続され
るプロセッサバス等に接続され、アクセス制御信号及び
アクセスアドレス信号を等を含むアクセス制御情報を入
力し、また、例えば72ビット並列でデータを入出力す
る。
【0033】前記下位階層インタフェースブロックI/
F2は、下位記憶階層例えばメインメモリ又はL4キャ
ッシュメモリ等が接続されるメモリバス等に接続され、
例えば72ビット並列でデータを入出力する。特に制限
されないが、マルチプロセッサシステムを想定し、上位
記憶階層のプロセッサとは別のプロセッサからもアクセ
ス可能なように、前記下位階層インタフェースブロック
I/F2は当該別のプロセッサからアクセス制御情報を
入力してメモリブロックBNK0〜BNK7のアクセス
が可能になっている。
【0034】前記メモリ制御回路MCNTはアクセス制
御情報を入力し、それに含まれるアドレス情報の一部を
デコードしてアクセス対象メモリブロックを判定し、ア
クセス対象メモリブロックに、ローカルなメモリアドレ
スとアクセス制御信号を出力して、そのメモリブロック
の動作を制御する。
【0035】代表的に示されたメモリブロックBNK0
は72ビット(8バイト)単位で直列的に入力されるラ
イトデータを4個のライトレジスタ(ILT)22に順
次ラッチして、288ビット(32バイト)並列でDR
AMコア8に書込み可能にされ、また、DRAMコア8
から288ビット並列で読み出されたリードデータを7
2ビット単位でリードレジスタ(OLT)26にラッチ
し、セレクタ27によりリードレジスタ26の出力を順
次選択して72ビット単位で直列的にリードデータを出
力可能になっている。従って、メモリブロックBNK0
は、DRAMコア8のアクセスタイムに対して4倍の速
度でデータを入出力することができる。尚、本明細書に
おいては、1バイトは8ビットのデータと1ビットのパ
リティーデータとを含むものとされる。
【0036】上位階層インタフェースブロックI/F1
に入力された上位記憶階層からの書込みデータはライト
バッファWB0(WB1〜WB3)を介してメモリブロ
ックBNK0(BNK1〜BNK7)に供給される。
【0037】メモリブロックBNK0(BNK1〜BN
K7)から読み出されたリードデータの出力経路は、上
位スルー経路、上位バッファリング経路、及び下位バッ
ファリング経路の3通りとされる。上位スルー経路は、
概略的に示されたセレクタ40,41を介して上位階層
インタフェースブロックI/F1から上位記憶階層に出
力する経路である。上位バッファリング経路は、リード
バッファRB0(RB1〜RB3)に一旦蓄えられたリ
ードデータを前記セレクタ40,41を介して上位階層
インタフェースブロックI/F1から上位記憶階層に出
力する経路である。下位バッファリング経路は、リード
バッファRB0(RB1〜RB3)に一旦蓄えられたリ
ードデータを前記セレクタ42を介して下位階層インタ
フェースブロックI/F2から下位記憶階層に出力する
経路である。下位階層へのスルー経路は設けられていな
い。
【0038】前記リードバッファRB0〜RB3及びラ
イトバッファWB0〜WB3はSRAMによって構成さ
れる。それらSRAMのアクセスはシステムのクロック
信号によって規定される1サイクル単位で可能にされて
いる。上記リードバッファRB0〜RB3乃び上記ライ
トバッファWB0〜WB3のおのおのを構成する上記S
RAMは公知のSRAMと同様に構成することが可能で
ある。上記SRAMは、特に制限されないが、複数のス
タティク型メモリセルと複数のワード線と複数の相補デ
ータ線対とを含むメモリアレイ、所定のワード線をアド
レス信号に応答して選択するアドレスデコーダー、選択
された複数個のメモリセルのデータを増幅するセンスア
ンプ及び増幅されたデータを出力するデータ出力回路と
を有する構成とされる。
【0039】以下に述べられる様に、各SRAMは、一
組のアドレス信号の入力に対して、72個のメモリセル
が同時に選択される構成とされる。各スタティク型メモ
リセルは、Nチャンネル型MOSFETとPチャンネル
型MOSFETとを含むCMOSインバータを1対含む
と共に、上記1対のCMOSインバータの入力と出力と
を交差結合して構成された情報記憶部と、その情報記憶
部を選択するための複数個のNチャンネル型トランスフ
ァMOSFETからなる選択トランジスタを含む。上記
複数個の選択トランジスタのゲート端子は、1本乃至複
数本のワード線に選択的に結合され、上記複数個の選択
トランジスタのソース・ドレインパスは、対応する1対
乃至複数対の相補データ線に結合され、多入力ポート・
多出力ポートのメモリセルとして構成される。上記リー
ドバッファRB0〜RB3乃び上記ライトバッファWB
0〜WB3のおのおのを構成する上記SRAMの各々
は、特に制限されないが、128ワード×72ビットの
構成とされる。
【0040】尚、多入力ポート・多出力ポートのメモリ
セルの構成自体は、種々変更可能である事は当業者にと
って容易に理解されるであろう。
【0041】図2には前記半導体集積回路1における前
記リードデータの出力経路の詳細が例示される。メモリ
ブロックBNK0、BNK1はリードバッファRB0と
ライトバッファWB0を共有する。同じく、メモリブロ
ックBNK2、BNK3はリードバッファRB1及びラ
イトバッファWB1を共有し、メモリブロックBNK
4、BNK5はリードバッファRB2及びライトバッフ
ァWB2を共有し、メモリブロックBNK6、BNK7
はリードバッファRB3及びライトバッファWB3を共
有する。前記ライトバッファWB0〜WB3及びリード
バッファRB0〜RB3は、特に制限されないが、2個
のリードポートと2個のライトポートを有する。各ポー
トは8バイトの並列アクセスポートである。
【0042】対を成す一方のメモリブロックBNK0か
らのリードデータと他方のメモリブロックBNK4から
のリードデータとの何れかを選択するセレクタ41Aa
が設けられている。他のメモリブロックに関しても同様
のセレクタ41Ab〜41Adが設けられている。S1
0〜S13は前記セレクタ41Aa〜41Adの選択制
御信号である。前記リードバッファRB0から出力され
るリードデータとセレクタ41Aaで選択されるリード
データとの何れかを選択するセレクタ40Aaが設けら
れている。他のメモリブロックに関しても同様のセレク
タ40Ab〜40Adが設けられている。S20〜S2
3は前記セレクタ40Aa〜40Adの選択制御信号で
ある。前記セレクタ40Aa〜40Adの出力はセレク
タ41Bで選択されて上位階層インタフェースブロック
I/F1に与えられる。セレクタ41Bの動作は2ビッ
トの選択信号S30A,S30Bで制御される。前記セ
レクタ42はリードバッファRB0〜RB3の一方のリ
ードポートからの出力を選択して下位階層インタフェー
スブロックI/F2に与える。セレクタ42の動作は2
ビットの選択信号S31A,S31Bで制御される。
【0043】図3には前記メモリ制御回路MCNTが生
成する制御信号が例示される。メモリ制御回路MCNT
は、メモリブロックBNK0〜BNK7毎にアドレス信
号ADRS、ロウアドレスストローブ信号RAS、カラ
ムアドレスストローブ信号CAS及びライトイネーブル
信号WE等を出力し、リードバッファRB0〜RB3毎
にアドレス信号ADRS、メモリイネーブル信号MS、
リード/ライト信号R/W及びポートセレクト信号PS
Lを出力し、ライトバッファWB0〜WB3毎にアドレ
ス信号ADRS、メモリイネーブル信号MS、リード/
ライト信号R/W及びポートセレクト信号PSLを出力
し、前記セレクタ選択信号S10〜S13,S20〜S
23,S30A,S30B,S31A,S31Bを出力
し、インタフェースブロックI/F1,I/F2に対す
る出力イネーブル信号OEP1,OEP2等を出力す
る。メモリ制御回路MCNTはアクセス制御情報を上位
記憶階層と下位記憶階層との双方から入力し、入力した
アクセス制御情報が指示する動作を実現するように上記
制御信号の中から必要な制御信号を所定のタイミングで
活性化制御する。上記メモリ制御回路MCNTは、メモ
リブロックBNK0〜BNK7のリフレッシュ動作の期
間に関する信号MRef0〜7が各メモリブロックBN
K0〜BNK7から入力される。
【0044】アクセス制御情報43は図4に例示される
ようにアドレス指定部43Aとオペレーション指定部4
3Bとを含む。アドレス指定部43Aはリード、ライト
を行うメモリブロックBNK0〜BNK7の指定情報
と、メモリブロック内のアドレス情報とを含む。オペレ
ーション指定部43Bは、半導体集積回路1に、例えば
アドレス指定部で指定されるアドレスからの8バイトの
データのリード/ライト、アドレス指定部で指定される
アドレスから連続16バイトのデータのリード/ライ
ト、アドレス指定部で指定されるアドレスから連続32
バイトのデータのリード/ライト等の動作を指定する。
【0045】前記メモリ制御回路MCNTは半導体集積
回路1の内部においてリソースが競合しない範囲でメモ
リブロックBNK0〜BNK7を並列動作させるように
外部からのアクセス要求を受け付ける。また、メモリ制
御回路MCNTは、メモリブロックBNK0〜BNK7
の中から選ばれた一つのメモリブロック又はリードバッ
ファRB0〜RB3の中から選ばれた1つのリードバッ
ファをインタフェースブロックI/F1、I/F2に導
通させて、リードデータの外部出力を制御する。
【0046】図5には外部からのアクセス要求に対する
前記メモリ制御回路MCNTの主な制御手順が代表的に
示される。
【0047】前記メモリ制御回路MCNTは、ライトア
クセスの要求に対しては、ライト対象メモリブロックに
よるリフレッシュ等の内部動作の有無に関係なくライト
バッファWB0〜WB3の内の対応するライトバッファ
に予めライトデータを取込む制御を行う(T1)。その
後、書込み対象メモリブロックがリフレッシュ等の内部
動作を行っておらずライト動作可能であるかの判定が行
われ(T2)、ライト動作可能の判定を待って対象メモ
リブロックへデータライトが行われる(T3)。
【0048】図6にはライトアクセスの途中にリフレッ
シュ動作が介在される場合のライト動作の一例が示され
る。図6ではメモリブロックBNK0を書込み対象とす
る。〜は夫々半導体集積回路1の外部から与えられ
るアセス単位を意味するものであり、アクセス単位のデ
ータは72ビット並列である。システムの動作サイクル
4〜9ではメモリブロックBNK0はリフレッシュ動作
を行い、その前後ではリード/ライト可能である。ライ
トデータは1サイクル遅れで順次ライトバッファWB0
に格納されていく。一旦ライトバッファWB0に格納さ
れたライトデータは、書き込み対象メモリブロックBN
K0がリード/ライト可能であれば、1サイクル毎にラ
イトデータが順次メモリブロックBNK0のライトレジ
スタ22に供給されていく。アクセス単位のデータが
ライトレジスタ22にラッチされたとき既にメモリブロ
ックBNK0はリフレッシュ動作に入っている。メモリ
制御回路MCNTはライトバッファWB0からライトレ
ジスタ22へのデータ転送を中断してリフレッシュ動作
の終了を待つ。その間、ライトバッファWB0へのライ
トデータの書込みは継続される。動作サイクル9でメモ
リブロックBNK0のリフレッシュ動作が完了される
と、メモリ制御回路MCNTはサイクル10でメモリブ
ロックBNK0に対してストローブ信号RAS,CA
S,WEをアサートしライトアドレスを与え、アクセス
単位〜のデータを4サイクルかけてDRAMコア8
に書込む。DRAMコア8への書込みに並行して、後続
のアクセス単位〜のライトデータをライトレジスタ
22に順次転送する。メモリ制御回路MCNTはサイク
ル14でメモリブロックBNK0に対してストローブ信
号RAS,CAS,WEをアサートしライトアドレスを
与え、アクセス単位〜のデータを4サイクルかけて
DRAMコア8に書込む。結果として、アクセス単位
〜のライトアクセスを指示する上位記憶階層側のプロ
セッサは、サイクル8で今回のライトアクセスの処理か
ら解放され、メモリブロックBNK0にリフレッシュ動
作が介在されてもその影響を受けない。
【0049】図7にはライトバッファWB0が設けられ
ていない場合ライト動作の一例が示される。ライトバッ
ファWB0が無い場合、DRAMコア8でリフレッシュ
動作が開始されると、ライトアクセスを指示する上位記
憶階層側のプロセッサは、サイクル4でライトアドレス
とライトデータの出力、即ちライトアクセス要求の発行
を中断し、リフレッシュ動作が完了するのを検出しなが
ら待たなければならない。リフレッシュ動作が終わった
サイクル9以降、上位記憶階層側のプロセッサは再び、
ライトアクセスの要求を発行して、サイクル10から順
次アクセス単位〜のアドレス及びデータを出力す
る。これにより、メモリブロックBNK0のDRAMコ
ア8に対するアクセス単位〜のライトデータ書込み
はサイクル19で完了するが、ライトアクセスを指示す
る上位記憶階層側のプロセッサは、サイクル13までラ
イトアクセスの処理から解放されない。図6と比較すれ
ば明らかなように、L3キャッシュメモリとされる半導
体集積回路1がライトバッファWB0〜WB3をもつ事
により、上位階層のプロセッサのデータ処理効率を格段
に向上させることが可能になる。
【0050】一方、前記メモリ制御回路MCNTは、メ
モリブロックBNK0〜BNK7から読み出されたリー
ドデータをインタフェースブロックI/F1、I/F2
を介して外部に出力する動作を制御するときは、前記リ
ードデータの出力経路の選択、即ち、前記上位スルー経
路、上位バッファリング経路、及び下位バッファリング
経路の選択制御を行って、データリード動作のスループ
ットを向上させる。
【0051】前記上位スルー経路を選択するか上位バッ
ファリング経路を選択するかはリソース競合を生ずる虞
があるか否かをメモリ制御回路MCNTが判定すること
によって行う。
【0052】即ち、前記メモリ制御回路MCNTは、図
5に例示されるように、リードアクセス要求に対して、
アクセス対象メモリブロックのDRAMコア8からデー
タを読み出し(T4)、読み出したリードデータを前記
上位階層インタフェースブロックI/F1から外部に出
力するときリソース競合があるかを判定し(T5)、リ
ソース競合がある場合、即ち、前記上位階層インタフェ
ースブロックI/F1から外部にそのリードデータを出
力することが不可能な状態であるときは、当該リードデ
ータを対応するリードバッファRB0〜RB3に保持さ
せる(T6)。前記出力不可能な状態が解消されている
ときは前記メモリブロックBNK0〜BNK7から読み
出されたリードデータ又は前記リードバッファRB0〜
RB3から読み出されたリードデータを前記上位階層イ
ンタフェースブロックI/F1から外部に出力させる
(T7)。
【0053】図8にはリードバッファRB0〜RB3を
利用したリード動作の一例が示される。図8において上
位記憶階層側のプロセッサはシステムの動作サイクル単
位で連続してアクセス要求A〜Dを発行する。アクセス
要求AはメモリブロックBNK0のアドレスAから連続
する32バイトのデータA−0、A−1,A−2,A−
3を読み出すリードアクセス要求である。同様に、アク
セス要求BはメモリブロックBNK4のアドレスBから
連続する32バイトのデータB−0、B−1,B−2,
B−3を読み出すリードアクセス要求、アクセス要求C
はメモリブロックBNK1のアドレスCから連続する3
2バイトのデータC−0、C−1,C−2,C−3を読
み出すリードアクセス要求、アクセス要求Dはメモリブ
ロックBNK3のアドレスDから連続する32バイトの
データD−0、D−1,D−2,D−3を読み出すリー
ドアクセス要求である。
【0054】前記アクセス要求Aがあると、メモリ制御
回路MCNTはメモリブロックBNK0のDRAMコア
8からアドレスAで指定された288ビットのデータを
並列に読み出してリードレジスタ26にラッチする。そ
してリードレジスタ26が順次選択され、8バイト単位
でリードデータA−0,A−1,A−2,A−3がメモ
リブロックBNK0から出力される。このリードデータ
の出力はシステムの動作サイクル単位(1サイクル単
位)で行われる。このとき、上位階層インタフェースブ
ロックI/F1は出力動作を行っていない。これに従っ
てメモリコントローラMCNTはセレクタ41Aa,4
0Aa,41BによってメモリブロックBNK0からの
出力データA−0,A−1,A−2,A−3を直接上位
階層インタフェースブロックI/F1に伝達して外部に
出力させる。
【0055】この出力動作に並行して、1サイクル遅れ
で、次のアクセス要求Bが発行され、メモリブロックB
NK4から順次リードデータB−0,B−1,B−2,
B−3が出力される。出力されたリードデータは順次リ
ードバッファRB0に蓄えられていく。同様に、後続す
る次のアクセス要求CによってメモリブロックBNK1
から順次リードデータC−0,C−1,C−2,C−3
が出力されてリードバッファRB1に蓄えられ、更に後
続する次のアクセス要求DによってメモリブロックBN
K3から順次リードデータD−0,D−1,D−2,D
−3が出力されてリードバッファRB3に蓄えられる。
後続するリードデータをリードバッファに保持する動作
を行っている途中で、上位階層インタフェースブロック
I/F1による外部へのデータ出力が終了すると、これ
に続くアクセス要求のリードデータを今度はリードバッ
ファから読み出して外部に出力させる。即ち、データA
−3の次は、リードバッファRB0から順次リードデー
タB−0,B−1,B−2,B−3を出力させ、これを
セレクタ40Aa,41Bで選択して上位階層インタフ
ェースブロックI/F1から外部へデータさせる。以
下、データC−0〜D−3まで連続して外部に出力され
る。
【0056】一方、図9に例示されるようにリードバッ
ファが無ければ、最初のアクセス要求Aに係るリードデ
ータを全て外部に出力するまで、次のアクセス要求を受
け付けることはできない。異なったメモリブロックにお
いて、少なくとも、リードレジスタの出力動作が競合し
ないようにしなければならない。
【0057】これより明らかなように、リードバッファ
RB0〜RB3を採用することによって後続のリードア
クセス要求を予め受け付けてメモリブロックの内部動作
を先行させる事ができ、また、リードバッファにはDR
AMよりもアクセス速度の速いSRAMを採用すること
によりバッファリングされたデータ出力動作が遅くなる
こともなく、データリード動作のスループットを向上さ
せる事ができる。
【0058】更に、メモリブロックBNK0〜BNK7
からデータが読み出されたとき前記リソース競合が無け
れば、リードデータはリードバッファRB0〜RB3を
介することなく直接上位階層インタフェースブロックI
/F1から外部に出力されるから、データ競合を生じて
いない場合にも一旦データバッファリングを行うような
無駄を回避でき、この点においてリードデータ出力動作
のスループットを向上に寄与する。
【0059】次に前記半導体集積回路1をキャッシュメ
モリシステムに適用した場合に即して説明する。
【0060】図10にはキャッシュメモリシステムの第
1の例が示される。半導体集積回路1はL3キャッシュ
メモリとして利用され、プロセッサ50とメインメモリ
51の間に配置される。半導体集積回路1の前記上位階
層インタフェースブロックI/F1にはプロセッサバス
52が接続され、プロセッサとの間でデータを入出力
し、また、プロセッサ50から出力されるアクセス制御
情報を入力する。半導体集積回路1の前記下位階層イン
タフェースブロックI/F2にはメモリバス53が接続
され、メインメモリ51との間でデータを入出力する。
メインメモリ51に対するアクセス制御情報は、特に制
限されないが、プロセッサ50が発行する情報である。
【0061】プロセッサ50はCPU50Aと共にL1
キャッシュメモリ50B、L2キャッシュメモリ50C
を内蔵し、更にL3キャッシュメモリのためのタグ制御
論理(TAG)50Dを備えている。半導体集積回路1
はL3キャッシュメモリのデータメモリ部として位置付
けられる。タグ制御論理50Dは、L3キャッシュメモ
リとしての半導体集積回路1のキャッシュライン毎にイ
ンデックスアドレスとキャッシュエントリのタグアドレ
スとを関連着ける情報を有する。更に、キャッシュライ
ン毎に、そのキャッシュラインの有効性を示すバリッド
ビット、キャッシュラインのリプレースに際して下位記
憶階層へのコピーバック若しくはライトバックの必要性
を示すダーティービット等を有する。
【0062】尚、図10において、半導体集積回路1の
下位記憶階層はメインメモリに限定されず、L4キャッ
シュメモリであってもよい。L4キャッシュメモリのタ
グ制御部はプロセッサ50の内部に構成してよい。
【0063】図11には図10のキャッシュメモリシス
テムにおけるプロセッサのリードアクセス動作に着目し
たデータフローが示される。プロセッサ50に内蔵され
たL1キャッシュメモリ50B、L2キャッシュメモリ
50Cがキャッシュミスのとき、タグ制御論理50Dに
よって半導体集積回路1がキャッシュヒットするなら
ば、プロセッサ50は半導体集積回路1をターゲットと
してリードアクセスを要求する。この時のアクセス制御
情報の経路はである。前述のように、リソース競合が
無ければリードデータはメモリブロックBNK0〜BN
K7から直接プロセッサ50に返される(経路)。リ
ソース競合があるときは、リードデータは一旦リードバ
ッファRB0〜RB3の内の一つに保持され、リソース
競合を生じないタイミングでリードバッファRB0〜R
B3からプロセッサ50に返される(経路’)。半導
体集積回路1もキャッシュミスになるとき、プロセッサ
50はアクセス制御情報をメインメモリ51に与え(経
路)、メインメモリ51のリードデータがプロセッサ
50に返される(径路)。
【0064】このとき、仮に、別の回路モジュールの影
響によって径路でバスの競合を生ずるような場合、メ
インメモリ51からリードデータをプロセッサ50に送
る事ができない。バス競合が解消されても、再度プロセ
ッサ50はメインメモリ51にアクセス要求を発行し
て、DRAMで成るようなアクセス速度の遅いメインメ
モリ51を再度アクセスしなければならなくなる。そこ
で、図11に例示されるように、リードバッファRB0
〜RB3と同様にSRAM等で成る高速アクセス可能な
メモリバッファ(MB)54をメインメモリ51とプロ
セッサ50との間に配置するとよい。
【0065】メモリバッファ54は半導体集積回路1に
内蔵させてもよい。メモリバッファ54は前記下位階層
インタフェースブロックI/F2からデータを入力して
保持し、保持したデータを前記上位階層インタフェース
ブロックI/F1から外部に出力可能にすればよい。メ
モリバッファ54のリードデータ出力とメモリブロック
BNK0〜BNK7のリードデータ出力は排他的であれ
よく、例えば、プロセッサ50はメモリバッファ54を
直接指定して動作させればよい。
【0066】図12は図10のキャッシュメモリシステ
ムにおけるプロセッサのライトアクセスに動作に着目し
たデータフローが示される。プロセッサ50のライトア
クセスにおいて、プロセッサ50に内蔵されたL1キャ
ッシュメモリ50B、L2キャッシュメモリ50Cがキ
ャッシュミスのとき、タグ制御論理50Dによって半導
体集積回路1がキャッシュヒットするならば、プロセッ
サ50は半導体集積回路1をターゲットとしてライトア
クセスを要求する。この時のアクセス制御情報の経路は
である。前述のように、ライトデータは一旦ライトバ
ッファWB0〜WB3の内の一つに格納され、ライト対
象メモリブロックがライト動作可能になったときライト
バッファからメモリブロックにライトデータが書き込ま
れる(経路)。半導体集積回路1はライトバッファW
B0〜WB3を備えるので、ライト要求の途中でメモリ
ブロックのリフレッシュ動作が介在されても書き込み要
求を途中で中断しなくてもよい。したがって、書き込み
処理からプロセッサ50を早く開放してやることができ
る。半導体集積回路1もキャッシュミスになるときは、
プロセッサ50はアクセス制御情報をメインメモリ51
に与え(経路)、ライトデータをメインメモリ51に
与える(径路)。
【0067】図13は図10のキャッシュメモリシステ
ムにおけるキャッシュラインのリプレースに着目したデ
ータフローが示される。ライトアクセス又はリードアク
セス時における半導体集積回路1のキャッシュミスに応
答してメモリブロックBNK0〜BNK7の所定のキャ
ッシュラインをリプレースするとき、当該キャッシュラ
インのダーティービットがイネーブルであるとき、リプ
レース前に、そのキャッシュラインのエントリを対応す
るタグアドレスの下位階層エリアにコピーバックしなけ
ればならない。コピーバックすべきデータはメモリブロ
ックBNK0〜BNK7からリードバッファRB0〜R
B3に格納すればよく、実際にアクセス速度の遅いDR
AMから成るメインメモリ51に実際にコピーバックさ
れるのを待つ必要はない。また、リプレースすべき新た
なキャッシュエントリのデータは、コピーバックすべき
データがリードバッファRB0〜RB3に転送されるの
を待つことなくメインメモリ51からライトバッファW
B0〜W3に書き込んでよい。これにより、キャッシュ
ラインのリプレースを伴なうようなときにもプロセッサ
50による最終的なデータリードのスループットを向上
させることができる。
【0068】前記図1及び図2に基づいて説明したよう
に下位階層インタフェースブロックI/F2とメモリブ
ロックBNK0〜BNK7との接続はリードバッファR
B0〜RB3を介する経路のみであり、上位階層のよう
なスルー経路は設けられていない。コピーバックは、キ
ャッシュミスに際してダーティーなキャッシュラインを
リプレースするためにそのデータをメインメモリに退避
させる動作だから、そのようなリード動作では殆どの場
合高いスループットは要求されないので、リードバッフ
ァRB0〜RB3を迂回して直接リードデータを下位階
層インタフェースブロックI/F2から出力可能にする
データパスやそのためのロジック回路を省けば、半導体
集積回路1の論理規模が無駄に拡大しないようになる。
【0069】図14にはキャッシュメモリシステムの第
2の例が示される。半導体集積回路1を前記プロセッサ
50のメインメモリとして利用することも可能である。
この場合、半導体集積回路1の下位階層インタフェース
ブロックI/F2を用いる必要はない。
【0070】図15にはキャッシュメモリシステムの第
3の例が示される。同図に示されるキャッシュメモリシ
ステムはマルチプロセッサシステムに適用された例であ
り、特に制限されないが、前記プロセッサ50−1,5
0−2を有し、夫々には前記半導体集積回路1で構成さ
れたL3キャッシュメモリ1−1,1−2が接続され、
L3キャッシュメモリ1−1,1−2はバススイッチ回
路55を介して前記メインメモリ51に接続される。
【0071】前記L3キャッシュメモリ1−1,1−2
は上位階層インタフェースブロックI/F1に接続する
プロセッサバス52−1,52−2を介してプロセッサ
50−1,50−2に結合し、プロセッサ50−1,5
0−2との間でデータを入出力し、また、プロセッサ5
0−1,50−2から出力されるアクセス制御情報を入
力する。L3キャッシュメモリ1−1,1−2の前記下
位階層インタフェースブロックI/F2はメモリバス5
3−1,53−2を介してバススイッチ回路55に接続
され、メインメモリ51はメモリバス53−3を介して
バススイッチ55に接続する。
【0072】前記バススイッチ回路55は特に制限され
ないが第1乃至第4のバス接続状態を選択的に実現す
る。第1のバス接続状態は、プロセッサ50−1から出
力されるアクセス制御情報をメインメモリ51に伝達
し、メインメモリ51とL3キャッシュメモリ1−1又
はプロセッサ50−1との間でデータ入出力を可能にす
る。第2のバス接続状態は、プロセッサ50−2から出
力されるアクセス制御情報をメインメモリ51に伝達
し、メインメモリ51とL3キャッシュメモリ1−2又
はプロセッサ50−2との間でデータ入出力を可能にす
る。第3のバス接続状態はプロセッサ50−1から出力
されるアクセス制御情報をL3キャッシュメモリ1−2
に伝達し、L3キャッシュメモリ1−2とプロセッサ5
0−1又はL3キャッシュメモリ1−1との間でデータ
入出力を可能にする。第4のバス接続状態はプロセッサ
50−2から出力されるアクセス制御情報をL3キャッ
シュメモリ1−1に伝達し、L3キャッシュメモリ1−
1とプロセッサ50−2又はL3キャッシュメモリ1−
2との間でデータ入出力を可能にする。
【0073】L3キャッシュメモリ1−2は、前記第3
のバス接続状態に応答するため、下位階層インタフェー
スブロックI/F2にプロセッサ1−1から出力される
アクセス制御情報を受けてキャッシュメモリ動作可能に
なっている。同様に、L3キャッシュメモリ1−1は、
前記第4のバス接続状態に応答するため、下位階層イン
タフェースブロックI/F2にプロセッサ1−2から出
力されるアクセス制御情報を受けてキャッシュメモリ動
作可能になっている。
【0074】図16には前記半導体集積回路1のチップ
レイアウトが示されている。単結晶シリコンのような1
個の矩形の半導体チップ1Aの主面の中央部はロジック
回路の領域1Bとされ、その上下に夫々メモリブロック
BNK0〜BNK3とメモリブロックBNK4〜BNK
7が分離して配置される。ロジック回路領域1Bの端に
はリードバッファRB0〜RB3とライトバッファWB
0〜WB3が分離して配置される。リードバッファRB
0〜RB3とライトバッファWB0〜WB3との間には
インタフェースブロックI/F1,I/F2が分離配置
される。インタフェースブロックI/F1,I/F2の
近傍にはボンディングパッド又はバンプ電極のような外
部接続電極(図示せず)が多数配置されている。特に制
限されないが、インタフェースブロックI/F1,I/
F2の間には、図11で説明したバッファメモリ(M
B)54が配置される。ロジック回路領域1Bには特に
図示はしないがその他の論理回路も配置されている。
【0075】図16のレイアウト構成を採用する事によ
り、リードバッファRB0〜RB3はメモリブロックB
NK0〜BNK7よりもインタフェースブロックI/F
1,I/F2及び外部接続電極の近くに位置される。こ
れにより、メモリブロックBNK0〜BNK7のリード
レジスタからリードバッファRB0〜RB3を介するこ
となく直接リードデータを外部に出力させる径路の動作
遅延及び伝播遅延に対して、リードバッファRB0〜R
B3からリードデータを外部に出力させる径路の動作遅
延及び伝播遅延が極端に増えてしまわないようにでき
る。したがって、上記レイアウト構成は、データリード
動作のスループット向上に寄与する。
【0076】図17にはメモリブロックの詳細な一例が
示される。同図に代表的に示されるメモリブロックBN
K0は、図示を省略するダイナミック型メモリセルがマ
トリクス配置されたメモリセルアレイ10を有する。ダ
イナミック型メモリセルは情報を記憶する容量素子と、
それに結合されたNチャネル型MOSFFTからなる選
択トランジスタとを含み、上記選択トランジスタのゲー
トである選択端子はワード線WLに接続され、上記選択
トランジスタのソース・ドレインパスの一端は上記容量
素子に結合され、上記ソース−ドレインパスの他端、す
なわち、データ入出力端子は相補ビット線BLに接続さ
れる。特に図示はしないが、相補ビット線はセンスアン
プを中心とした折り返しビット線構造を有し、相補ビッ
ト線間にはプリチャージ回路などが配置されている。
【0077】ロウデコーダ11はロウアドレスストロー
ブ信号RASの立ち下がり変化に応答してドレスロウア
ドレス信号RASADRで指定されるワード線WLを選
択するロウ選択回路である。相補ビット線BLの選択は
カラムデコーダ13及びカラムスイッチ回路12で行
う。カラムデコーダ13はカラムアドレスストローブ信
号CASの立ち下がり変化に応答してカラムアドレス信
号CASADRで指定される相補ビット線を複数本並列
に選択するためのカラム選択信号14を生成する。更に
カラムデコーダ13は、ライトイネーブル信号WEのロ
ーレベルによる書込み動作の指示に応答して書込み信号
15Wを活性化し、ライトイネーブル信号WEのハイレ
ベルによる読み出し動作の指示に応答して読み出し信号
15Rを活性化する。カラムスイッチ回路12はカラム
選択信号14によってスイッチ動作して当該信号14に
て指示される32バイト(288ビット)分の相補ビッ
ト線を32バイト分の相補書込みデータ線WIOと32
バイト分の相補読み出しデータ線RIOに夫々通させ
る。
【0078】前記相補書込みデータ線WIOにはライト
アンプ17Wから出力される32バイトの書込みデータ
が並列に供給される。また、前記相補読み出しデータ線
RIOはメインアンプ17Rに32バイトの読み出しデ
ータを並列に供給される。ライトアンプ17Wは288
個の書込み増幅回路を有し、書込み信号15Wが活性化
されるのに応答して、並列入力される288ビットの書
き込みデータDIN<0>〜DIN<3>に対する増幅
信号を前記相補書込みデータ線WIOに288ビットで
並列出力動作可能にされる。前記メインアンプ17Rは
288個の読み出し増幅回路を有し、前記読み出し信号
が活性化されるのに応答して、前記相補読み出しデータ
線RIOからの入力に対する増幅信号を288ビットの
読み出しデータMAOUT<0>〜MAOUT<3>と
して並列出力動作可能にされる。尚、前記データDIN
<0>,…,DIN<3>は夫々8バイトであり、同様
に前記データMAOUT<0>,…,MAOUT<3>
も夫々8バイトである。
【0079】書込みデータWDの入力経路20と前記ラ
イトアンプ17Wとの間には直列・並列変換回路21が
配置されている。特に制限されないが、書込みデータW
Dは8バイト並列で供給される。直列・並列変換回路2
1は、前記4個のライトレジスタ22とデータラッチ制
御回路23を有する。ライトレジスタ22の入力端子は
入力経路20に共通接続され、出力端子は個別にライト
アンプ17Wの書込み増幅回路の入力端子に結合され
る。データラッチ制御回路23は2ビットのラッチ制御
データDLAT<1:0>をクロック信号CLKに同期
してデコードすることにより4ビットのラッチ制御信号
DINL<3:0>を生成し、対応するライトレジスタ
22のラッチ制御を行う。ラッチ制御データLATD<
1:0>が順次インクリメントされて変化されることに
より、8バイト単位で並列に入力される書き込みデータ
WDがクロック信号CLKに同期して順次4個のライト
レジスタ22にラッチされ、4個のライトレジスタ22
の出力には32バイト並列で書き込みデータDIN<0
>〜DIN<3>が得られる。
【0080】読み出しデータMUXOUTの出力経路2
9と前記メインアンプ17Rとの間には並列・直列変換
回路25が配置されている。並列・直列変換回路25
は、4個のリードレジスタ26、出力セレクタ27及び
選択制御回路28を有する。リードレジスタ26の入力
端子にはメインアンプ17Rから夫々読み出しデータM
AOUT<0>〜MAOUT<3>が入力される。リー
ドレジスタ26のラッチタイミングはラッチ制御信号P
DOLTTで制御される。ラッチ制御信号PDOLTT
によるラッチタイミングは、メモリセルから読み出され
たデータによって読み出しデータMAOUT<0>〜M
AOUT<3>が確定された後のタイミングとなるよう
に後述の出力制御回路30で制御される。
【0081】前記セレクタ27は、リードレジスタ26
の出力データDOUT<0>〜DOUT<3>を8バイ
トづつ選択制御信号MSEL<3:0>で選択して前記
出力経路に29に出力する。選択制御回路28は2ビッ
トの選択制御データMUXSEL<1:0>をクロック
信号CLKに同期してデコードすることにより4ビット
の選択制御信号MSEL<3:0>を生成する。選択制
御データMUXSEL<1:0>が順次インクリメント
されて変化されることにより、出力データDOUT<0
>〜DOUT<3>がクロック信号CLKに同期して順
次8バイトづつ出力経路29に出力されて読み出しデー
タMUXOUTが得られる。
【0082】出力制御回路30はCASレイテンシに従
って前記ラッチ制御信号PDOLTTを生成する。CA
Sレイテンシとは、データ読み出し動作において前記カ
ラムアドレスストローブ信号CASの立ち下がり変化に
クロック同期で応答するときその次のクロックサイクル
から前記並列・直列変換回路25のデータ入力が確定す
るまでの遅延時間を前記クロック信号CLKのサイクル
数相当で表現したものである。詳しくは、カラムアドレ
スストローブ信号CASの立ち下がりをクロック信号C
LKの立下り(フォールエッジで)で検出する場合、前
記カラムアドレスストローブ信号CASの立ち下がりを
検出するフォールエッジの次のクロック信号CLKのフ
ォールエッジから前記読み出しデータDOUT<0>〜
DOUT<3>が確定した状態におけるクロック信号C
LKの最初のフォールエッジまでのクロック信号CLK
のサイクル数がCASレイテンシである。メモリセルア
レイ10からのデータ読み出し動作とメインアンプ17
Rによる読み出しデータの増幅動作は回路構成及び回路
素子の特性等によって一義的に決まる。したがって、外
部へ高速にデータを出力するには、それら動作遅延時間
以上でそれに最も近い遅延時間のCASレイテンシを設
定することが必要である。前述の如くCASレイテンシ
はクロック信号CLKのサイクル数相当であるから、C
ASレイテンシによる実際の遅延時間はクロック信号C
LKの周波数に依存し、同じ遅延時間を設定する場合で
あっても、クロック信号CLKの周波数が高ければCA
Sレイテンシは相対的に大きく、クロック信号CLKの
周波数が低ければCASレイテンシは相対的に小さくな
る。図1の例において出力制御回路30は、レイテンシ
設定データFRCD<1:0>を入力して前記CASレ
イテンシを可変制御可能なCASレイテンシ制御回路を
実現する。前記CASレイテンシは前記ラッチ制御信号
PDOLTTによるラッチタイミングに反映される。
【0083】リフレッシュ制御回路(RCC)40は、
上記メモリセルアレイ内の各メモリセルのデータを定期
的にリフレッシュするための制御回路であり、メモリブ
ロックBNK0の内部回路に対して複数の内部制御信号
refを生成して供給する。一方、上記リフレッシュ制御
回路40は、上記メモリ制御回路MCNTに対して、メ
モリブロックBNK0がリフレッシュ期間おいて活性化
されるリフレッシュ期間通知信号MRef0を出力す
る。
【0084】以上の説明より明らかなように、前記メモ
リブロックBNK0〜BNK7は前記クロック信号CL
Kの周期の複数倍の周期で変化される前記カラムアドレ
スストローブ信号CASが入力され、カラムアドレス信
号CASが変化されるサイクル毎に、メモリセルアレイ
10から読み出されクロック信号CLKのサイクルに同
期して並列・直列変換された複数の直列データがメモリ
ブロックから出力され、またクロック信号CLKのサイ
クルに同期してメモリブロックに入力されて直・並列変
換された並列データがメモリセルアレイ10に書込まれ
る。このように、クロック信号CLKの複数サイクルに
1回の割合でカラムアドレスストローブ信号CASを変
化させるというアクセス仕様によってメモリ動作の高速
化を図ることが可能になる。
【0085】以上本発明者によってなされた発明を実施
形態に基づいて具体的に説明したが、本発明はそれに限
定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲にお
いて種々変更可能であることは言うまでもない。
【0086】例えば、本発明の半導体集積回路は上位及
び下位階層双方のインタフェースブロックを有する構成
に限定されない。例えば、図11に示されるようにメモ
リブロックとリードバッファを備える構成、図12示さ
れるようにメモリブロックとライトバッファを備える構
成、図13示されるようにメモリブロックとリードバッ
ファ及びライトバッファを備える構成として本発明を夫
々別々に把握することが可能である。
【0087】また、チップ面積に余裕があればリードバ
ッファやライトバッファをメモリブロック毎に設けても
よい。
【0088】また、メモリブロックの数、並列データ入
出力ビット数、リードレジスタ及びライトレジスタの段
数等についても適宜変更することが可能である。
【0089】メモリブロックはDRAMに限定されず、
リードバッファ及びライトバッファはSRAMに限定さ
れず、他の記憶形式のメモリであってもよい。本発明は
各種階層のキャッシュメモリ、メインメモリ、その他の
ロジック混載半導体集積回路に広く適用できることは言
うまでもない。
【0090】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば下記
の通りである。
【0091】すなわち、メモリブロックの並列動作によ
るデータ競合を回避するためにデータバッファを採用し
た構成においてリード動作のスループットを改善するこ
とができる。
【0092】ロジック回路の論理規模が無駄に拡大しな
いようにリード動作のスループットを改善することがで
きる。
【0093】内部のメモリ動作状態に拘わらずにライト
アクセスの要求を受け付ける事が容易な半導体集積回路
を実現する事ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る半導体集積回路の一例を全体的に
示すブロック図である。
【図2】図1の半導体集積回路における前記リードデー
タの出力経路の詳細を例示するブロック図である。
【図3】メモリ制御回路が生成する制御信号を例示する
説明図である。
【図4】アクセス制御情報を情報フォーマットを例示す
る説明図である。
【図5】外部からのアクセス要求に対するメモリ制御回
路の主な制御手順を代表的に示すフローチャートであ
る。
【図6】ライトアクセスの途中にリフレッシュ動作が介
在される場合のライト動作の一例を示すタイミングチャ
ートである。
【図7】ライトバッファが設けられていないときのライ
ト動作を比較例として示すタイミングチャートである。
【図8】リードバッファを利用したリード動作の一例を
示すタイミングチャートである。
【図9】リードバッファが設けられていないときのリー
ド動作を比較例として示すタイミングチャートである。
【図10】半導体集積回路をL3キャッシュメモリとし
て利用したキャッシュメモリシステムのブロック図であ
る。
【図11】図10のキャッシュメモリシステムにおける
プロセッサのリードアクセス動作に着目したデータフロ
ーを示す説明図である。
【図12】図10のキャッシュメモリシステムにおける
プロセッサのライトアクセスに動作に着目したデータフ
ローを示す説明図である。
【図13】図10のキャッシュメモリシステムにおける
キャッシュラインのリプレースに着目したデータフロー
を示す説明図である。
【図14】半導体集積回路をプロセッサのメインメモリ
として利用したメモリシステムのブロック図である。
【図15】半導体集積回路をL3キャッシュメモリとし
てマルチプロセッサシステムに適用した例を示すブロッ
ク図である。
【図16】本発明に係る半導体集積回路のチップレイア
ウトを例示するレイアウト図である。
【図17】メモリブロックの詳細な一例を示すブロック
図である。
【符号の説明】
1 半導体集積回路 BNK0〜BNK7 メモリブロック RB0〜RB3 リードバッファ WB0〜WB3 ライトバッファ MCNT メモリ制御回路 I/F1 上位階層インタフェースブロック I/F2 下位階層インタフェースブロック 40(40Aa,40Ab,40Ac,40Ad) セ
レクタ 41(41Aa,41Ab,41Ac,41Ad、41
B) セレクタ 42 セレクタ 8 DRAMコア 22 ライトレジスタ 26 リードレジスタ 50,50−1,50−2 プロセッサ 50A CPU 50B L1キャッシュメモリ 50C L2キャッシュメモリ 50D タグ制御論理 51 メインメモリ 52,52−1,52−2 プロセッサバス 53,53−1,53−2,53−3 メモリバス 54 メモリバッファ 55 バススイッチ回路 CLK クロック信号 BL 相補ビット線 WL ワード線 RAS ロウアドレスストローブ信号 CAS カラムアドレスストローブ信号
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 徹 東京都青梅市新町六丁目16番地の3 株式 会社日立製作所デバイス開発センタ内 (72)発明者 宮岡 修一 東京都青梅市新町六丁目16番地の3 株式 会社日立製作所デバイス開発センタ内 (72)発明者 横山 勇治 東京都青梅市新町六丁目16番地の3 株式 会社日立製作所デバイス開発センタ内 (72)発明者 澤本 英雄 神奈川県秦野市堀山下1番地 株式会社日 立製作所エンタープライズサーバ事業部内 (72)発明者 久米 正二 神奈川県秦野市堀山下1番地 株式会社日 立製作所エンタープライズサーバ事業部内 Fターム(参考) 5B005 JJ11 MM23 NN73 5B024 AA15 BA29 CA16

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 並列動作可能な複数個のメモリブロック
    と、 外部からライトデータを入力可能であって外部へリード
    データを出力可能な外部インタフェース手段と、 前記メモリブロックから読み出されたリードデータを前
    記外部インタフェース手段から外部に出力不可能な状態
    に呼応して保持する事が可能なリードバッファと、 前記出力不可能な状態が解消されているとき前記メモリ
    ブロックから読み出されたリードデータ又は前記リード
    バッファから読み出されたリードデータを選択して前記
    外部インタフェース手段に与える選択手段と、を有して
    成るものであることを特徴とする半導体集積回路。
  2. 【請求項2】 並列動作可能な複数個のメモリブロック
    と、 前記メモリブロックから読み出されたリードデータを保
    持する事が可能なリードバッファと、 前記リードバッファから出力されるリードデータ及び前
    記メモリブロックから出力されるリードデータを外部へ
    出力可能な外部インタフェース手段と、 前記メモリブロックから読み出されたリードデータを前
    記外部インタフェース手段から外部に出力不可能な状態
    に呼応して当該リードデータを前記リードバッファに保
    持させ、前記出力不可能な状態が解消されているとき前
    記メモリブロックから読み出されたリードデータ又は前
    記リードバッファから読み出されたリードデータを前記
    外部インタフェース手段から出力させる制御手段と、を
    有して成るものであることを特徴とする半導体集積回
    路。
  3. 【請求項3】 並列動作可能な複数個のメモリブロック
    と、 外部からライトデータを入力可能な外部インタフェース
    手段と、 前記外部インタフェース手段に入力されたライトデータ
    を入力して保持し、メモリブロックがライト動作可能に
    された後にライトデータをメモリブロックに供給するラ
    イトバッファと、を有して成るものであることを特徴と
    する半導体集積回路。
  4. 【請求項4】 外部からライトデータを入力可能な外部
    インタフェース手段と、 前記外部インタフェース手段に入力されたライトデータ
    を入力するライトバッファと、 前記ライトバッファからライトデータが供給される複数
    個のメモリブロックと、 外部からのアクセス要求に応答して外部インタフェース
    手段に供給されるライトデータを前記ライトバッファに
    格納させ、アクセス対象メモリブロックがライト動作可
    能にされるのを待ってライトデータをライトバッファか
    らメモリブロックに供給させる制御手段と、を有して成
    るものであることを特徴とする半導体集積回路。
  5. 【請求項5】 並列動作可能な複数個のメモリブロック
    と、 外部からライトデータを入力可能であって外部へリード
    データを出力可能な外部インタフェース手段と、 前記外部インタフェース手段に入力されたライトデータ
    を入力して保持し、メモリブロックがライト動作可能に
    された後にライトデータをメモリブロックに供給するラ
    イトバッファと、 前記メモリブロックから読み出されたリードデータを前
    記外部インタフェース手段から外部に出力不可能な状態
    に呼応して保持する事が可能なリードバッファと、 前記出力不可能な状態が解消されているとき前記メモリ
    ブロックから読み出されたリードデータ又は前記リード
    バッファから読み出されたリードデータを選択して前記
    外部インタフェース手段に与える選択手段と、を有して
    成るものであることを特徴とする半導体集積回路。
  6. 【請求項6】 並列動作可能な複数個のメモリブロック
    と、 外部からライトデータを入力可能であって外部へリード
    データを出力可能な第1の外部インタフェース手段と、 外部からライトデータを入力可能であって外部へリード
    データを出力可能な第2の外部インタフェース手段と、 前記第1又は第2の外部インタフェース手段に入力され
    たライトデータを入力して保持し、メモリブロックがラ
    イト動作可能にされた後にライトデータをメモリブロッ
    クに供給するライトバッファと、 前記第2の外部インタフェース手段から出力すべきリー
    ドデータの保持と、前記第1の外部インタフェース手段
    から出力すべきリードデータであって当該第1の外部イ
    ンタフェース手段から外部に出力不可能な状態にあるリ
    ードデータの保持とを行うことが可能なリードバッファ
    と、 前記出力不可能な状態が解消されているとき前記メモリ
    ブロックから読み出されたリードデータ又は前記リード
    バッファから読み出されたリードデータを選択して前記
    第1の外部インタフェース手段に与える選択手段と、を
    有して成るものであることを特徴とする半導体集積回
    路。
  7. 【請求項7】 前記第1及び第2の外部インタフェース
    手段は、夫々個別にメモリブロックに対するアクセス要
    求とアクセスアドレスとを外部から入力可能であること
    を特徴とする請求項6記載の半導体集積回路。
  8. 【請求項8】 前記第2の外部インタフェース手段から
    データを入力して保持し、保持したデータを前記第2の
    外部インタフェース手段から外部に出力可能なメモリバ
    ッファを有して成るものであることを特徴とする請求項
    6又は7記載の半導体集積回路。
  9. 【請求項9】 前記メモリブロックはDRAMであり、
    前記リードバッファ及びライトバッファはSRAMであ
    ることを特徴とする請求項5乃至8の何れか1項記載の
    半導体集積回路。
  10. 【請求項10】 前記メモリブロックは、選択端子がワ
    ード線に接続され、データ入出力端子がビット線に接続
    されたメモリセルを複数個有するメモリセルアレイと、 ロウアドレス信号で指定されるワード線を選択するロウ
    選択回路と、 カラムアドレス信号で指定されるビット線を複数本並列
    に選択するカラム選択回路と、 前記ライトバッファから直列的に入力されるライトデー
    タをクロック信号に同期して並列データに変換する直列
    ・並列変換回路と、 前記カラム選択回路で選択された複数本のビット線に前
    記直列・並列変換回路の前記並列データを出力するライ
    トアンプと、 前記カラム選択回路で選択された複数本のビット線から
    出力される並列データを増幅するメインアンプと、 前記メインアンプから出力される並列データをクロック
    信号に同期して直列データに変換し前記リードバッファ
    及び選択手段に向けて出力する並列・直列変換回路と、
    を含んで成るものであることを特徴とする請求項5又は
    6記載の半導体集積回路。
  11. 【請求項11】 前記メモリブロックは、直列・並列変
    換回路の直列データ入力経路と、前記並列・直列変換回
    路の直列データ出力経路とを独立に備えたマルチポート
    メモリであることを特徴とする請求項10記載の半導体
    集積回路。
  12. 【請求項12】 半導体チップ上に対向配置されたメモ
    リブロックと、 前記対向するメモリブロックの間に配置され、メモリブ
    ロックから読み出されたリードデータを保持することが
    可能なリードバッファ及びメモリブロックに与えるライ
    トデータを保持する事が可能なライトバッファと、 前記リードバッファとライトバッファとの近傍に配置さ
    れた外部インタフェース手段と、 前記外部インタフェース手段の近傍に位置する外部接続
    電極と、を有し、 前記ライトバッファは、前記外部インタフェース手段に
    入力されたライトデータを入力して保持し、メモリブロ
    ックがライト動作可能にされた後にライトデータをメモ
    リブロックに供給し、 前記リードバッファは、前記メモリブロックから読み出
    されたリードデータを前記外部インタフェース手段から
    外部に出力不可能な状態に呼応して保持する事が可能で
    ある、ことを特徴とする半導体集積回路。
  13. 【請求項13】 半導体チップと、 上記半導体チップ上に形成され、複数のデータを格納
    し、所定のアドレス信号の供給に応答してそれに対応す
    るデータを出力するデータ出力部を有する第1ダイナミ
    ック型メモリと、 上記半導体チップ上に形成され、複数のデータを格納
    し、所定のアドレス信号の供給に応答してそれに対応す
    るデータを出力するデータ出力部を有する第2ダイナミ
    ック型メモリと上記半導体チップ上に形成された外部出
    力回路と、 上記半導体チップ上に形成され、上記第1ダイナミック
    型メモリの上記出力部に結合される第1バッファ回路
    と、 上記半導体チップ上に形成され、上記第1ダイナミック
    型メモリの上記データ出力部に結合される第1入力と、
    上記バッファ回路の出力に結合される第2入力と、上記
    外部出力回路に結合される出力とを有する第1選択回路
    と、 上記半導体チップ上に形成され、上記第2ダイナミック
    型メモリの上記出力部に結合される第2バッファ回路
    と、 上記半導体チップ上に形成され、上記第2ダイナミック
    型メモリの上記データ出力部に結合される第1入力と、
    上記バッファ回路の出力に結合される第2入力と、上記
    外部出力回路に結合される出力とを有する第2選択回路
    と、 上記第1乃至第2選択回路の選択動作の制御及び上記第
    1乃至第2バッファ回路の書き込み動作を制御する制御
    回路とを有するものであることを特徴とする半導体集積
    回路。
  14. 【請求項14】 上記第1乃至第2バッファ回路の各々
    は、複数のスタティク型メモリセルを含むことを特徴と
    する請求項13記載の半導体集積回路。
  15. 【請求項15】 半導体チップと、 上記半導体チップ上に形成され、データ入力部を有し、
    格納されたデータのリフレッシュ動作が定期的に必要と
    されるメモリと、 上記半導体チップ上に形成され、上記メモリの上記デー
    タ入力部に結合されたバッファ回路と、 上記半導体チップ上に形成され、上記バッファ回路に結
    合され、上記メモリに書き込まれるべきデータが供給さ
    れる外部入力回路と、 上記半導体チップ上に形成され、上記メモリのリフレッ
    シュ動作の期間に、上記外部入力回路に供給されたデー
    タを上記バッファ回路に選択的に保持させる様に、上記
    バッファ回路を制御する制御回路とを含んで成るもので
    あることを特徴とする半導体集積回路。
  16. 【請求項16】 上記メモリは、複数のワード線と、複
    数のデータ線と、1つのメモリセルが1つのワード線と
    1つのデータ線とに結合される様に上記複数のワード線
    と上記複数のデータ線とに結合された複数のメモリセル
    を含み、 上記複数のメモリセルの各々は、容量素子と選択トラン
    ジスタとを含み、 上記選択トランジスタは、対応するワード線に結合され
    た選択端子と、対応するデータ線に結合されたデータ入
    出力端子とを有するものであることを特徴とする請求項
    15記載の半導体集積回路。
  17. 【請求項17】 上記バッファ回路は、 複数のスタティク型メモリセルと複数のワード線と複数
    の相補データ線対とを含むメモリアレイと、 所定のワード線をアドレス信号に応答して選択するアド
    レスデコーダーと、 選択された複数個のメモリセルのデータを増幅するセン
    スアンプと、 増幅されたデータを出力するデータ出力回路とを有する
    ものであることを特徴とする請求項16記載の半導体集
    積回路。
  18. 【請求項18】 上記バッファ回路は、複数のスタティ
    ク型メモリセルを含み、上記複数のスタティク型メモリ
    セルの各々は、その入出力端子が交差結合された1対の
    インバータを含むものであることを特徴とする請求項1
    7記載の半導体集積回路。
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