JP2001200999A - 液体注入方法および液体注入装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 タンクとノズル部とを繋ぐ配管内の液体を大
気に触れることなく回収、再利用できる液体注入方法お
よび液体注入装置を提供すること。 【解決手段】 ノズル部２３から被注入部品２９に液体
３を注入する前に、脱泡を完了した液体３を保持するタ
ンク１内を大気開放し、同時に他のタンク２内を減圧
し、バルブ２１およびバルブ２２を同時に開く。これに
よると、脱泡を完了した液体３を保持し大気開放された
タンク１内の圧力と減圧された他のタンク２内の圧力と
の差により、大気開放されたタンク１とノズル部２３と
を繋ぐ配管１９内の液体を、他のタンク２内に大気に触
れることなく移動させ、回収、再利用することができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液体注入方法およ
び液体注入装置に関するもので、例えば電子部品にＩＣ
チップの保護材料を注入する方法および装置として好適
なものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば、電子部品にＩＣチップの
保護を目的として液状の熱硬化性樹脂を注入する液体注
入装置としては、図９に示すものが知られている。この
液体注入装置は、液体１０３を保持しバルブ１０５の操
作により大気開放可能なタンク１０１と、このタンク１
０１内を減圧する真空ポンプ１１４と、タンク１０１に
設けられタンク１０１内の液体１０３を攪拌する攪拌翼
１１５と、液体１０３を被注入部品１２９に定量注入す
るノズル部１２３と、ノズル部１２３の先端１２３ａお
よび被注入部品１２９を内部に保持する密閉チャンバ１
２４と、密閉チャンバ１２４内を減圧する真空ポンプ１
２８と、タンク１０１の底部１０１ａとノズル部１２３
とを繋ぐ配管１１９とを備えて構成されている。

【０００３】これにて、タンク１０１内を減圧するとと
もにタンク１０１内の液体１０３を攪拌して液体内に溶
け込んでいる気体を除去する脱泡工程、タンク１０１内
の減圧、攪拌を止め、バルブ１０５を開けタンク１０１
内を大気開放するとともに密閉チャンバ１２４内を減圧
し、密閉チャンバ１２４内に保持された被注入部品１２
９にノズル部１２３より液体１０３を注入する液体注入
工程が順に実行されるようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来技術では、脱泡工程中に、タンクの底部１０１ａと
ノズル部１２３とを繋ぐ配管１１９内に停留している液
体中に溶けている気体が集まり、配管１１９内に気泡が
発生する。そして、液体注入工程で配管１１９内の気泡
を含む液体を被注入部品１２９に注入すると、液体注入
量の精度が低下したり、注入された液体内の気泡が被注
入部品１２９の性能を劣化するという欠点がある。

【０００５】これに対して、被注入部品１２９に液体の
注入を開始する前に、図９に示すバルブ１５０を開操作
し、配管１１９内の気泡を含む液体を配管１５１を通し
て減圧された密閉チャンバ１２４内の容器１５２に排出
し、配管１１９内にタンク１０１内の液体１０３を供給
しておくというものがある。

【０００６】こうすることで、被注入部品１２９に液体
の注入を開始する前に、気泡を含まない液体で配管１１
９内を満たすことができ、前記の欠点を克服することが
できるが、以下のような問題が生じる。

【０００７】配管１１９から容器１５２に排出された気
泡を含む液体を再利用しようとすると、容器１５２を密
閉チャンバ１２４から取り出した後、液体注入工程が完
了し次回の脱泡工程が開始される前に、容器１５２内の
液体をタンク１０１に設けられた図示しない供給口から
タンク１０１内に戻さなくてはならない。このとき、密
閉チャンバ１２４から取り出した後の容器１５２内の液
体が、液体注入装置外部の大気と長時間触れていると、
大気中の異物（ほこり等）を取り込んでしまう可能性が
あるため、厳重に密閉して保管しなくてはならないとい
う問題と、作業者の時間的ロスが発生する。

【０００８】本発明は上記点に鑑みてなされたもので、
タンクとノズル部とを繋ぐ配管内の液体を大気に触れる
ことなく回収し、再利用できる液体注入方法および液体
注入装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１ないし３に記載の発明では、ノズル部（２
３）から被注入部品（２９）に液体（３）を注入する注
入工程（Ｓ３）を実行する前に、脱泡を完了した液体
（３）を保持する第１のタンク（１）内を加圧し、同時
に第２のタンク（２）内を減圧し、加圧した第１のタン
ク（１）とノズル部（２３）とを繋ぐ配管（１９）内の
液体を、第２のタンク（２）内に移動する移動工程（Ｓ
２）を有することを特徴としている。

【００１０】これによると、脱泡を完了した液体（３）
を保持し加圧された第１のタンク（１）内の圧力と減圧
された第２のタンク（２）内の圧力との差により、加圧
した第１のタンク（１）とノズル部（２３）とを繋ぐ配
管（１９）内の液体を、第２のタンク（２）内に大気に
触れることなく移動させ、回収、再利用することができ
る。また、第２のタンク（２）内の液体をそのまま利用
できるため、従来行なわれていた排出された気泡を含む
液体を密閉チャンバ（２４）内から取り出す作業工程が
不要となり、従って生産に寄与しない時間の短縮ができ
る。

【００１１】また、請求項２に記載の発明では、請求項
１に記載の発明における第１のタンク（１）内の加圧が
大気圧であることを特徴としている。

【００１２】これによると、大気開放により加圧が達成
できるため、高価な加圧手段を必要としない。

【００１３】また、請求項３に記載の発明では、脱泡工
程が第１のタンク（１）内を減圧するとともに、第１の
タンク（１）内の液体（３）を攪拌することを特徴とし
ている。

【００１４】これによると、第１のタンク（１）内に保
持された液体（３）が高粘度液体であっても効果的に脱
泡を行うことができる。

【００１５】また、請求項４ないし７に記載の発明で
は、内部に液体（３、４）を保持する第１、第２のタン
ク（１、２）と、これら第１、第２のタンク（１、２）
内を加圧または減圧するタンク加減圧手段（５、６、
７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４）と、第
１、第２のタンク（１、２）内の液体（３、４）を被注
入部品（２９）に注入する共通のノズル部（２３）と、
第１のタンク（１）と共通のノズル部（２３）とを繋ぐ
配管（１９）と、この配管（１９）の経路を開閉するバ
ルブ（２１）とを備え、共通のノズル部（２３）より被
注入部品（２９）に液体（３）を注入する前に、タンク
加減圧手段（５、６、７、８、９、１０、１１、１２、
１３、１４）にて第１のタンク（１）内を加圧し、かつ
第２のタンク（２）内を減圧した状態とし、バルブ（２
１）を開いて第１のタンク（１）と共通のノズル部（２
３）とを繋ぐ配管（１９）内の液体を第２のタンク
（２）内に移動させる構成としたことを特徴としてい
る。

【００１６】この液体注入装置によれば、請求項１に記
載の液体注入方法を実施することができる。

【００１７】また、請求項５に記載の発明では、請求項
４に記載の液体注入装置において、タンク加減圧手段
（５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１
４）の一部を構成するタンク加圧手段（５、６、７、
８）が大気開放手段であることを特徴としている。

【００１８】これによると、請求項２に記載の発明と同
様に、大気開放により加圧が達成できるため、高価な加
圧手段を必要としない。

【００１９】また、請求項６に記載の発明では、請求項
４または５に記載の液体注入装置において、第１、第２
のタンク（１、２）に設けられ、第１、第２のタンク
（１、２）内の液体（３、４）を攪拌する攪拌手段（１
５、１６、１７、１８）を備えたことを特徴としてい
る。

【００２０】これによると、請求項３に記載の発明と同
様に、第１、第２のタンク（１、２）内に保持された液
体（３、４）が高粘度液体であっても効果的に脱泡を行
うことができる。

【００２１】また、請求項７に記載の液体注入装置にお
いては、共通のノズル部（２３）の先端部（２３ａ）を
内部に設け、被注入部品（２９）を内部に保持する密閉
容器（２４）と、この密閉容器（２４）内を減圧する容
器減圧手段（２５、２６、２７、２８）を備えたことを
特徴としている。

【００２２】これによると、ノズル部（２３）から被注
入部品（２９）への液体（３）の注入を減圧下で行うこ
とができ、注入時の空気の巻き込みを防止することがで
きる。

【００２３】なお、上記各手段に付した括弧内の符号
は、後述する実施形態記載の具体的手段との対応関係を
示す。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図に
基づいて説明する。

【００２５】（第１の実施形態）図１は本発明における
第１の実施形態の液体注入装置を示す配管線図である。
１はタンクであり、内部に図示しない液体供給口から供
給された液体３を保持している。また、２もタンクであ
り、内部に図示しない液体供給口から供給された液体４
を保持している。タンク１の上面部図中左側にはタンク
１内の空間と外部の大気とを連通または遮断する大気開
放手段の一部であるバルブ５が設けられており、バルブ
５の上部には、バルブ５を通してタンク１内に外部の大
気を導入する際に、大気中のほこり等の侵入を防止する
と同時に大気吸入音を低減するためのフィルタ機能を備
えた大気開放手段の一部であるサイレンサ７が配置され
ている。このバルブ５とサイレンサ７とでタンク１のタ
ンク加圧手段を構成している。また、タンク２の上部面
図中左側には、タンク１と同様に大気開放手段であるバ
ルブ６とサイレンサ８が配置されている。このバルブ６
とサイレンサ８とでタンク２のタンク加圧手段を構成し
ている。

【００２６】また、タンク１の上面部図中右側にはタン
ク１内の空間と配管１１とを連通または遮断するバルブ
９が設けられており、タンク２の上面部図中右側にもタ
ンク２内の空間と配管１１とを連通または遮断するバル
ブ１０が設けられている。配管１１のバルブ９、１０と
反対側の端は、配管１１内に侵入してくる液体のミスト
を捕獲するトラップ１２と配管１３とを介して真空ポン
プ１４に接続している。バルブ９、バルブ１０、配管１
１、トラップ１２、配管１３および真空ポンプ１４でタ
ンク減圧手段を構成している。

【００２７】そして、タンク１、タンク２のタンク加圧
手段およびタンク減圧手段でタンク加減圧手段を構成し
ている。

【００２８】また、タンク１の上面部中央にはモータ１
７が配置されており、モータ１７のタンク１内に延びた
回転軸の先端には、タンク１内の液体３を攪拌する攪拌
翼１５が設けられている。この攪拌翼１５とモータ１７
とで、タンク１の攪拌手段を構成している。タンク２の
上面部中央にもモータ１８が配置されており、モータ１
８のタンク２内に延びた回転軸の先端には、タンク２内
の液体４を攪拌する攪拌翼１６が設けられている。この
攪拌翼１６とモータ１８とで、タンク２の攪拌手段を構
成している。

【００２９】タンク１の底部１ａには例えばフッ素樹脂
チューブからなる配管１９の一端が接続されており、配
管１９の他端はノズル部２３に接続されている。そし
て、タンク１の下方には配管１９の経路を開閉するバル
ブ２１が設けられている。また、タンク２の底部２ａに
は配管２０の一端が接続されており、配管２０の他端は
ノズル部２３に接続されノズル部２３内の上部（図中左
側上部）にて配管１９と連通している。そして、タンク
２の下方には配管２０の経路を開閉するバルブ２２が設
けられている。

【００３０】ノズル部２３は、その先端部２３ａが密閉
チャンバ２４内に配置されており、ノズル部２３の先端
部２３ａの下方には被注入部品２９が配置されている。
ノズル部２３内には、上端が配管１９、２０と連通し、
下端が先端部２３ａに繋がる配管３５が設けられてい
る。配管３５の経路中央付近にはハウジング２３３が配
置されており、このハウジング２３３内にプランジャ２
３２が摺動可能に嵌合している。このプランジャ２３２
は、図示しない空気圧駆動機構によりハウジング２３３
内を軸方向（図１上下方向）に移動するようになってい
る。

【００３１】配管３５のハウジング２３３の上流側には
バルブ２３１が配置され、配管３５のハウジング２３３
の下流側にはバルブ２３４が配置されており、このバル
ブ２３１、２３４とプランジャ２３２とハウジング２３
３とにより液体の吐出機構を構成している。

【００３２】密閉チャンバ２４の図中右方には配管２５
が接続しており、配管２５の密閉チャンバ２４と反対側
の端は、配管２５内に侵入してくる液体のミストを捕獲
するトラップ２６と配管２７とを介して真空ポンプ２８
に接続している。配管２５、トラップ２６、配管２７お
よび真空ポンプ２８で、密閉チャンバ２４の容器減圧手
段を構成している。

【００３３】ここで、バルブ５、６、９、１０、２１お
よび２２はバルブ開閉手段であるソレノイドにより開閉
動作を行うソレノイドバルブであり、バルブ２３１およ
びバルブ２３４は空気圧により開閉動作を行うエアバル
ブである。

【００３４】また、制御装置１００は、所定の作業手順
に従って、各バルブ５、６、９、１０、２１、２２、２
３１、２３４、各モータ１７、１８、真空ポンプ１４、
２８およびプランジャ２３２を制御し、図２に示すよう
に、タンク１内の脱泡工程Ｓ１、タンク１とノズル部２
３間の配管１９内の液体をタンク２へ移動する移動工程
Ｓ２、およびノズル部２３より液体を被注入部品２９に
注入する注入工程Ｓ３を順次行うように構成されてい
る。

【００３５】次に、上記した液体注入装置において液体
注入方法を説明すると、まず、図示しない液体供給口か
ら第１のタンクをなすタンク１内に液体３（本例では、
硬化前のフロロシリコーンゲル）を供給する。そして、
タンク１に設けられたバルブ５と第２のタンクをなすタ
ンク２に設けられたバルブ１０と配管１９の経路中に設
けられたバルブ２１と配管２０の経路中に設けられたバ
ルブ２２とを閉じ、タンク１に設けられたバルブ９を開
けておく。この状態において真空ポンプ１４を作動させ
て、タンク１内を減圧するとともに、モータ１７を作動
させ攪拌翼１５を回転させて液体３を攪拌し、液体３中
に溶け込んでいる気体を除去する。

【００３６】次に、モータ１７を停止させ、バルブ９を
閉じた後バルブ５を開き、タンク１内を大気圧とする。
次に、バルブ６を閉じた後バルブ１０を開き、タンク２
内を減圧する。この状態においてバルブ２１とバルブ２
２とを所定時間開くと、タンク１内の圧力とタンク２内
の圧力の差により、第１のタンクであるタンク１内の液
体３が配管１９から配管２０に流れ込み、配管１９およ
び配管２０の内部に停留していた液体は第２のタンクで
あるタンク２内に押し出される。

【００３７】次に、バルブ２２を閉じ、密閉チャンバ２
４内を真空ポンプ２８を作動させて減圧する。そして、
ノズル部２３内の配管３５内に停留していた液体を排出
した後、ノズル部２３の先端２３ａから液体を吐出し、
被注入部品２９に液体を注入する。このときのノズル部
２３の作動としては、まず、プランジャ２３２を最大下
降位置まで下降させておく。次にバルブ２３１を開くと
ともにプランジャ２３２を上昇させ、１回の吐出分の液
体をハウジング２３３内に取り込む。次にバルブ２３１
を閉じバルブ２３４を開きプランジャ２３２を再び下降
させると、ハウジング２３３内の液体はノズル部２３の
先端部２３ａから吐出する。

【００３８】上述の液体注入方法によると、脱泡を完了
した液体３を保持し大気圧とされたタンク１内の圧力と
減圧されたタンク２内の圧力との差により、第１のタン
クであるタンク１の底部１ａとノズル部２３とを繋ぐ配
管１９内の液体を大気に触れることなく第２のタンクで
あるタンク２に回収できる。

【００３９】なお、被注入部品２９に液体を注入するこ
とでタンク１内の液体３を使い切る前に、図示しない液
体供給口からタンク２内に液体４を追加供給し、タンク
２を第１のタンクとし、タンク１を第２のタンクとし
て、上述の液体注入方法を繰り返すことにより、タンク
２内に回収した液体を再利用することができる。なお、
このとき注入作業を連続して行うことができれば、ノズ
ル部２３内の配管３５内に液体は長時間停留しないた
め、配管３５内の液体を排出する必要はない。

【００４０】さらに、タンク１とタンク２の役割を交互
に交換することで、大気に触れることなく回収した液体
は常に再利用することができる。

【００４１】（第２の実施形態）次に、第２の実施形態
について図３に基づいて説明する。

【００４２】上記したように、第１の実施形態では、ノ
ズル部２３から被注入部品２９に液体を注入する前に、
脱泡を完了した液体３を保持する第１のタンクであるタ
ンク１内を大気圧とし、同時に第２のタンクであるタン
ク２内を減圧し、バルブ２１とバルブ２２とを所定時間
同時に開くことによって、タンク１の底部１ａとノズル
部２３とを繋ぐ配管１９内に停留している液体を、配管
２０を通してタンク２に回収し、タンク１とタンク２の
役割を交換することで回収した液体を再利用している。

【００４３】これに対し、本第２の実施形態では、図３
に示すように、ノズル部２３内で配管１９および配管２
０と連通する回収専用配管３０を設け、この配管３０を
通して液体を回収しようとするものである。なお、第１
の実施形態と同様の部分については、第１の実施形態と
同じ符号をつけてその説明を省略する。

【００４４】図３に示すように、ノズル部２３内の上部
（図中左側上部）において配管１９、配管２０および配
管３５と連通する配管３０は、ノズル部２３より上方に
配置されており、タンク１とタンク２との間で分岐して
いる。この分岐点とタンク１の側面部を繋ぐ配管３１に
は、その経路中にバルブ３３が設けられており、分岐点
とタンク２の側面部を繋ぐ配管３２には、その経路中に
バルブ３４が設けられている。

【００４５】なお、ここで、バルブ３３およびバルブ３
４はバルブ開閉手段であるソレノイドにより開閉動作を
行うソレノイドバルブである。

【００４６】また、制御装置２００は、所定の作業手順
に従って、各バルブ５、６、９、１０、２１、２２、３
３、３４、２３１、２３４、各モータ１７、１８、真空
ポンプ１４、２８およびプランジャ２３２を制御し、第
１の実施形態と同様に、図２に示すように、タンク１内
の脱泡工程Ｓ１、タンク１とノズル部２３間の配管１９
内の液体をタンク２へ移動する移動工程Ｓ２、およびノ
ズル部２３より液体を被注入部品２９に注入する注入工
程Ｓ３を順次行うように構成されている。

【００４７】次に、上記した構成の液体注入装置におい
て液体注入方法を説明すると、第１の実施形態と同様に
して、第１のタンクであるタンク１内の液体３中に溶け
込んでいる気体を除去した後、タンク１内を大気圧と
し、第２のタンクであるタンク２内を減圧する。このと
きバルブ３３およびバルブ３４は閉じられている。この
状態においてバルブ２１とバルブ３４とを所定時間開く
と、タンク１内の圧力とタンク２内の圧力の差により、
タンク１内の液体３が配管１９から配管３０、配管３２
に流れ込み、配管１９、配管３０および配管３２の内部
に停留していた液体はタンク２内に押し出される。

【００４８】次に、バルブ３４を閉じ、密閉チャンバ２
４内を真空ポンプ２８を作動させて減圧する。そして、
ノズル部２３内の配管３５内に停留していた液体を排出
した後、ノズル部２３の先端２３ａから液体を吐出し、
被注入部品２９に液体を注入する。

【００４９】上述の液体注入方法によると、脱泡を完了
した液体３を保持し大気圧とされたタンク１内の圧力と
減圧されたタンク２内の圧力との差により、第１のタン
クであるタンク１の底部１ａとノズル部２３とを繋ぐ配
管１９内の液体を大気に触れることなく第２のタンクで
あるタンク２に回収できる。

【００５０】なお、被注入部品２９に液体を注入するこ
とでタンク１内の液体３を使い切る前に、図示しない液
体供給口からタンク２内に液体４を追加供給し、タンク
２を第１のタンクとし、タンク１を第２のタンクとし
て、上述の液体注入方法を繰り返すことにより、タンク
２内に回収した液体を再利用することができる。さら
に、タンク１とタンク２の役割を交互に交換すること
で、大気に触れることなく回収した液体は常に再利用す
ることができる。

【００５１】（他の実施形態）上記各実施形態において
は、脱泡を完了した液体３を保持し大気圧とされたタン
ク１内の圧力と減圧されたタンク２内の圧力との差によ
り、第１のタンクであるタンク１の底部１ａとノズル部
２３とを繋ぐ配管１９内の液体を大気に触れることなく
第２のタンクであるタンク２に回収し、その後、被注入
部品２９に液体を注入することでタンク１内の液体３を
使い切る前に、図示しない液体供給口からタンク２内に
液体４を追加供給し、タンク２を第１のタンクとし、タ
ンク１を第２のタンクとして、前述の液体注入方法を繰
り返している。

【００５２】ところが、これに限らず、脱泡工程の時間
と移動工程および注入工程の合計時間とを同一とし、タ
ンク２内に液体４を追加供給し、タンク２の脱泡工程の
開始にあわせて、タンク１の移動工程を開始し、タンク
１の底部１ａとノズル部２３とを繋ぐ配管１９内の液体
を大気に触れることなく脱泡工程中のタンク２に回収
し、その後タンク１とタンク２の役割を交互に交換させ
てもよい。

【００５３】また、上記各実施形態において、液体注入
装置は、内部に液体を保持するタンクを２つ備えていた
が、タンクが３つ以上であって、第１のタンクの役割と
第２のタンクの役割を順次変えていくものであってもよ
い。また、第１のタンクおよび第２のタンクはそれぞれ
複数であってもよい。

【００５４】また、上記第１の実施形態において、配管
１９、配管２０および配管３５はノズル部２３内で連通
していたが、図４に示すように、配管３５をノズル部２
３から突出させ、その突出した配管３５の先端と配管１
９および配管２０とを連通させてもよい。

【００５５】また、上記第２の実施形態において、配管
１９、配管２０、配管３０および配管３５はノズル部２
３内で連通していたが、図５に示すように、配管３５を
ノズル部２３から突出させ、その突出した配管３５の先
端と配管１９、配管２０および配管３０とを連通させて
もよい。

【００５６】また、上記第２の実施形態において、配管
１９、配管２０、配管３０および配管３５はノズル部２
３内の同じ位置で連通していたが、図６に示すように、
配管１９および配管２０と連通する配管３６を設け、配
管３０、配管３５および配管３６をノズル部２３内で連
通させてもよいし、図７に示すように、配管１９および
配管２０と連通する配管３６を設け、かつ配管３５をノ
ズル部２３から突出させ、その突出した配管３５の先端
と配管３０および配管３６とを連通させてもよい。

【００５７】また、上記第２の実施形態において、配管
１９内または配管２０内の液体をタンクに回収する配管
３０をタンク１とタンク２との間で分岐させ、分岐した
片方の配管３１をタンク１の側面に接続し、分岐した他
方の配管３２をタンク２の側面に接続していたが、図８
に示すように、ノズル部２３とタンク１の側面およびタ
ンク２の側面とをそれぞれ繋ぐ配管３７および配管３８
を独立して設けてもよい。

【００５８】また、上記第２の実施形態および図５〜８
に示した実施形態において、液体の回収専用の役割をす
る配管は、タンク１の側面およびタンク２の側面に接続
していたが、タンクの上面等他の面に接続してもよい。

【００５９】また、上記各実施形態において、バルブ
５、６、９、１０、２１、２２、３３および３４はソレ
ノイドバルブであったが、空気圧等他の駆動源により開
閉動作するバルブであったり、手動により開閉するバル
ブであってもよい。

【００６０】また、上記各実施形態において、ノズル部
２３内のバルブ２３１およびバルブ２３４は、空気圧に
より駆動するエアバルブであったが、他の駆動源により
駆動するものであってもよい。

【００６１】また、上記各実施形態において、ノズル部
２３内のプランジャ２３２は、空気圧により駆動するも
のであったが、油圧によって駆動するものであったり、
サーボモータ等によって駆動するものであってもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態を示す液体注入装置の
配管線図である。

【図２】本発明の第１の実施形態における液体注入方法
の工程フロー図である。

【図３】本発明の第２の実施形態を示す液体注入装置の
配管線図である。

【図４】本発明の他の実施形態を示す液体注入装置の要
部配管線図である。

【図５】本発明の他の実施形態を示す液体注入装置の要
部配管線図である。

【図６】本発明の他の実施形態を示す液体注入装置の要
部配管線図である。

【図７】本発明の他の実施形態を示す液体注入装置の要
部配管線図である。

【図８】本発明の他の実施形態を示す液体注入装置の要
部配管線図である。

【図９】従来技術による液体注入装置の配管線図であ
る。

【符号の説明】

１、２ タンク ５、６ バルブ（タンク加減圧手段の一部、タンク加圧
手段の一部、大気開放手段の一部） ９、１０ バルブ（タンク加減圧手段の一部、タンク減
圧手段の一部） １４ 真空ポンプ（タンク加減圧手段の一部、タンク減
圧手段の一部） １５、１６ 攪拌翼（攪拌手段の一部） １９、２０ 配管（タンク１、２の底部１ａ、２ａとノ
ズル部２３とを繋ぐ配管） ２１、２２ バルブ ２３ ノズル部 ２４ 密閉チャンバ（密閉容器） ２８ 真空ポンプ（容器減圧手段の一部） ３０ 配管 ３５ 配管（ノズル部２３内の配管） １００、２００ 制御装置

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内部に液体（３、４）を保持する複数の
   タンク（１、２）のうち第１のタンク（１）内を減圧す
   る脱泡工程（Ｓ１）と、 脱泡した前記第１のタンク（１）内を加圧するととも
   に、第２のタンク（２）内を減圧し、前記第１のタンク
   （１）とノズル部（２３）とを繋ぐ配管（１９）内の液
   体を前記第２のタンク（２）内に移動させる移動工程
   （Ｓ２）と、 前記第１のタンク（１）を加圧して、前記配管（１９）
   を介してノズル部（２３）から被注入部品（２９）に液
   体（３）を注入する注入工程（Ｓ３）とを有することを
   特徴とする液体注入方法。
2. 【請求項２】 前記第１のタンク（１）内の加圧が大気
   圧であることを特徴とする請求項１に記載の液体注入方
   法。
3. 【請求項３】 前記脱泡工程が前記第１のタンク（１）
   内を減圧するとともに、前記第１のタンク（１）内の液
   体（３）を攪拌することを特徴とする請求項１または２
   のいずれか１つに記載の液体注入方法。。
4. 【請求項４】 内部に液体（３、４）を保持する第１、
   第２のタンク（１、２）と、 これら第１、第２のタンク（１、２）内を加圧または減
   圧するタンク加減圧手段（５、６、７、８、９、１０、
   １１、１２、１３、１４）と、 前記第１、第２のタンク（１、２）内の前記液体（３、
   ４）を被注入部品（２９）に注入する共通のノズル部
   （２３）と、 前記第１のタンク（１）と前記共通のノズル部（２３）
   とを繋ぐ配管（１９）と、 前記配管（１９）の経路を開閉するバルブ（２１）とを
   備え、 前記共通のノズル部（２３）より前記被注入部品（２
   ９）に前記液体（３）を注入する前に、前記タンク加減
   圧手段（５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１
   ３、１４）にて前記第１のタンク（１）内を加圧し、か
   つ前記第２のタンク（２）内を減圧した状態とし、前記
   バルブ（２１）を開いて前記第１のタンク（１）と前記
   共通のノズル部（２３）とを繋ぐ前記配管（１９）内の
   液体を前記第２のタンク（２）内に移動させる構成とし
   たことを特徴とする液体注入装置。
5. 【請求項５】 前記タンク加減圧手段（５、６、７、
   ８、９、１０、１１、１２、１３、１４）の一部を構成
   するタンク加圧手段（５、６、７、８。）が、大気開放
   手段であることを特徴とする請求項４に記載の液体注入
   装置。
6. 【請求項６】 前記第１、第２のタンク（１、２）に設
   けられ、前記第１、第２のタンク（１、２）内の液体
   （３、４）を攪拌する攪拌手段（１５、１６、１７、１
   ８）を備えたことを特徴とする請求項４または５のいず
   れか１つに記載の液体注入装置。
7. 【請求項７】 前記共通のノズル部（２３）の先端部
   （２３ａ）を内部に設け、前記被注入部品（２９）を内
   部に保持する密閉容器（２４）と、この密閉容器（２
   ４）内を減圧する容器減圧手段（２５、２６、２７、２
   ８）を備えたことを特徴とする請求項４ないし６のいず
   れか１つに記載の液体注入装置。