JPH0938606A - 超音波洗浄方法 - Google Patents
超音波洗浄方法Info
- Publication number
- JPH0938606A JPH0938606A JP21023595A JP21023595A JPH0938606A JP H0938606 A JPH0938606 A JP H0938606A JP 21023595 A JP21023595 A JP 21023595A JP 21023595 A JP21023595 A JP 21023595A JP H0938606 A JPH0938606 A JP H0938606A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- cleaned
- cleaning vessel
- compressed air
- cleaning tank
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 真空ポンプ及びコンプレッサーの電源確
保。 【解決手段】 超音波発生源を有する洗浄槽に被洗浄物
を投入し、洗浄槽内を減圧脱気後に、加圧しながら超音
波洗浄し、洗浄槽内の空気を圧縮空気をエジェクターか
ら放射することにより吸引して減圧脱気を行い、前記圧
縮空気を洗浄槽内に供給して加圧する。
保。 【解決手段】 超音波発生源を有する洗浄槽に被洗浄物
を投入し、洗浄槽内を減圧脱気後に、加圧しながら超音
波洗浄し、洗浄槽内の空気を圧縮空気をエジェクターか
ら放射することにより吸引して減圧脱気を行い、前記圧
縮空気を洗浄槽内に供給して加圧する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は精密機械部品又は一
般の機械部品、電子部品の基板等高い清浄度が必要とさ
れる物品を洗浄する方法に関するものである。
般の機械部品、電子部品の基板等高い清浄度が必要とさ
れる物品を洗浄する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の前記各物品を超音波洗浄する場合
には、超音波による洗浄効果が低いため、洗浄不可能と
なることがあった。
には、超音波による洗浄効果が低いため、洗浄不可能と
なることがあった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】又、加圧、減圧する場
合には、真空ポンプ及びコンプレッサーを装備していた
ため、洗浄装置として大型となり、真空ポンプ及びコン
プレッサーの夫々について電源を確保しなければならな
いという欠点があった。そこで、本発明においては、洗
浄液を脱気した後に加圧しながら被洗浄物を超音波洗浄
することによって解決しようとするものである。
合には、真空ポンプ及びコンプレッサーを装備していた
ため、洗浄装置として大型となり、真空ポンプ及びコン
プレッサーの夫々について電源を確保しなければならな
いという欠点があった。そこで、本発明においては、洗
浄液を脱気した後に加圧しながら被洗浄物を超音波洗浄
することによって解決しようとするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は前記課題を解決
するために、超音波発生源を有する洗浄槽に被洗浄物を
投入後に洗浄槽内を減圧脱気後に、加圧しながら超音波
洗浄し、洗浄槽内を減圧する減圧源として加圧時に使用
する圧縮空気を使用する超音波洗浄方法を構成する。
するために、超音波発生源を有する洗浄槽に被洗浄物を
投入後に洗浄槽内を減圧脱気後に、加圧しながら超音波
洗浄し、洗浄槽内を減圧する減圧源として加圧時に使用
する圧縮空気を使用する超音波洗浄方法を構成する。
【０００５】又、洗浄槽内の空気を圧縮空気をエジェク
ターから放射することにより吸引して減圧脱気を行い、
前記圧縮空気を洗浄槽内に供給して加圧する超音波洗浄
方法を構成する。
ターから放射することにより吸引して減圧脱気を行い、
前記圧縮空気を洗浄槽内に供給して加圧する超音波洗浄
方法を構成する。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明方法を説明する前に方法に
用いる装置を説明すると、図１に示すように洗浄槽１を
開閉自在な蓋２で密閉できるように形成し、洗浄槽１の
底壁に超音波を発生させる超音波振動子３を固定し、洗
浄槽１内に洗浄液４を収容し洗浄液４を循環配管５に設
けたポンプ６とフィルター７で濾過して循環させるよう
になっている。
用いる装置を説明すると、図１に示すように洗浄槽１を
開閉自在な蓋２で密閉できるように形成し、洗浄槽１の
底壁に超音波を発生させる超音波振動子３を固定し、洗
浄槽１内に洗浄液４を収容し洗浄液４を循環配管５に設
けたポンプ６とフィルター７で濾過して循環させるよう
になっている。
【０００７】一方、洗浄槽１の上部にストップバルブ８
を有する排気管９を設けてエジェクター１０に接続す
る。このエジェクター１０には切換バルブ１１を介して
圧縮空気を供給する圧縮空気排気管１２を接続する。更
に切換バルブ１１は一方を圧力配管１３を介して洗浄槽
１に接続して圧縮空気を送って加圧できるようになって
いる。尚、図中１４は被洗浄物である。
を有する排気管９を設けてエジェクター１０に接続す
る。このエジェクター１０には切換バルブ１１を介して
圧縮空気を供給する圧縮空気排気管１２を接続する。更
に切換バルブ１１は一方を圧力配管１３を介して洗浄槽
１に接続して圧縮空気を送って加圧できるようになって
いる。尚、図中１４は被洗浄物である。
【０００８】前記装置を用いて本発明方法を説明すると
被洗浄物１４を洗浄液４に投入し、蓋２を閉じて洗浄槽
１を密閉する。次に、ストップバルブ８を開けて排気管
９とエジェクター１０とを連通させ、切換バルブ１１を
操作して圧縮空気をエジェクター１０に送るようにす
る。
被洗浄物１４を洗浄液４に投入し、蓋２を閉じて洗浄槽
１を密閉する。次に、ストップバルブ８を開けて排気管
９とエジェクター１０とを連通させ、切換バルブ１１を
操作して圧縮空気をエジェクター１０に送るようにす
る。
【０００９】このエジェクター１０に圧縮空気を送って
放射することにより洗浄槽内の空気を吸引して洗浄槽１
内を減圧し、この減圧脱気により洗浄槽１内の空気を吸
引すると同時に被洗浄物１４内の隙間に存在した空気を
も脱気し、この脱気に伴う洗浄液４の流れで被洗浄物１
４の荒洗浄を行う。
放射することにより洗浄槽内の空気を吸引して洗浄槽１
内を減圧し、この減圧脱気により洗浄槽１内の空気を吸
引すると同時に被洗浄物１４内の隙間に存在した空気を
も脱気し、この脱気に伴う洗浄液４の流れで被洗浄物１
４の荒洗浄を行う。
【００１０】その後、ストップバルブ８を閉じ切換バル
ブ１１を切換えると、圧縮空気は圧力配管１３で洗浄槽
１内に供給され、洗浄槽１内を例えば３Ｋｇ／ｃｍ2 程
度に加圧する。この加圧の際に超音波振動子３を駆動し
て超音波を被洗浄物１４に照射して洗浄を行う。
ブ１１を切換えると、圧縮空気は圧力配管１３で洗浄槽
１内に供給され、洗浄槽１内を例えば３Ｋｇ／ｃｍ2 程
度に加圧する。この加圧の際に超音波振動子３を駆動し
て超音波を被洗浄物１４に照射して洗浄を行う。
【００１１】本発明方法のように洗浄槽を脱気後加圧し
つつ超音波を印加したところ図２に示すように常圧及び
脱気後に超音波洗浄を行うよりも高い音圧が得られ、高
い洗浄効果が得られた。
つつ超音波を印加したところ図２に示すように常圧及び
脱気後に超音波洗浄を行うよりも高い音圧が得られ、高
い洗浄効果が得られた。
【００１２】
【発明の効果】本発明は前記のように構成したもので、
減圧下において被洗浄物は荒洗浄され、被洗浄物の隙間
に存在する空気が脱気される。又、減圧下において脱気
され、超音波による洗浄効果が高くなった洗浄液を加圧
しつつ超音波洗浄するために更に洗浄効果が高くなる。
減圧下において被洗浄物は荒洗浄され、被洗浄物の隙間
に存在する空気が脱気される。又、減圧下において脱気
され、超音波による洗浄効果が高くなった洗浄液を加圧
しつつ超音波洗浄するために更に洗浄効果が高くなる。
【００１３】又、従来のように洗浄槽内の減圧、加圧の
手段として真空ポンプ、コンプレッサーを用いないた
め、洗浄装置自体が小型化、低価格化が可能となり、真
空ポンプ、コンプレッサー用の電源を確保する必要がな
くなった。
手段として真空ポンプ、コンプレッサーを用いないた
め、洗浄装置自体が小型化、低価格化が可能となり、真
空ポンプ、コンプレッサー用の電源を確保する必要がな
くなった。
【００１４】
【図１】本発明方法に用いる装置の一例を示す断面図。
【図２】音圧測定結果を示すグラフ。
１ 洗浄槽 ２ 蓋 ３ 超音波振動子 ４ 洗浄液 ５ 循環配管 ６ ポンプ ７ フィルター ８ ストップバルブ ９ 排気管 １０ エジェクター １１ 切換バルブ １２ 圧縮空気排気管 １３ 圧力配管 １４ 被洗浄物
Claims (3)
- 【請求項１】 超音波発生源を有する洗浄槽に被洗浄物
を投入し、洗浄槽内を減圧脱気後に、加圧しながら超音
波洗浄することを特徴とする超音波洗浄方法。 - 【請求項２】 洗浄槽内を減圧する減圧源として加圧時
に使用する圧縮空気を使用することを特徴とする請求項
１記載の超音波洗浄方法。 - 【請求項３】 洗浄槽内の空気を圧縮空気をエジェクタ
ーから放射することにより吸引して減圧脱気を行い、前
記圧縮空気を洗浄槽内に供給して加圧することを特徴と
する請求項１，２のいずれかに記載された超音波洗浄方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21023595A JPH0938606A (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 超音波洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21023595A JPH0938606A (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 超音波洗浄方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0938606A true JPH0938606A (ja) | 1997-02-10 |
Family
ID=16586028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21023595A Pending JPH0938606A (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 超音波洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0938606A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100622049B1 (ko) * | 2005-06-10 | 2006-09-08 | 변상교 | 진공 세척장치 |
| CN104851827A (zh) * | 2015-05-19 | 2015-08-19 | 华北电力大学（保定） | 一种半导体硅片清洗釜 |
-
1995
- 1995-07-27 JP JP21023595A patent/JPH0938606A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100622049B1 (ko) * | 2005-06-10 | 2006-09-08 | 변상교 | 진공 세척장치 |
| CN104851827A (zh) * | 2015-05-19 | 2015-08-19 | 华北电力大学（保定） | 一种半导体硅片清洗釜 |
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