JPH09187603A - 脱気装置及び超音波洗浄装置の脱気装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】小型で優れた脱気効率を有する脱気装置を提供
する。 【解決手段】密封槽１と、液体供給手段３と、液体取り
出し手段５と、減圧手段９とからなり、密封槽１内を減
圧して液体２を脱気する。着泡部材１０を、密封槽１内
の液体２に浸漬させて設ける。着泡部材１０を軸支する
軸支手段１１と、回転駆動する回転駆動手段１５とを設
ける。着泡部材１０を回転駆動して付着した気泡を密封
槽１内の減圧空間に案内、離脱させる。密封槽１の底部
に振動手段１９を設ける。振動手段１９により密封槽１
及び着泡部材１０を振動させ付着した気泡を離脱させ
る。超音波洗浄装置２１の超音波洗浄槽２２に浸漬され
た密封槽１と、洗浄液供給手段２５と、洗浄液取り出し
手段２８と、減圧手段９とからなり、密封槽１内を減圧
して洗浄液２３を脱気する。超音波振動子２４から超音
波を放射して密封槽１及び着泡部材１０を振動させ付着
した気泡を離脱させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、超音波洗浄槽に供
給される洗浄液等の液体を脱気する脱気装置及び超音波
洗浄装置に設けられ該超音波洗浄装置の超音波洗浄槽に
供給される洗浄液を脱気する脱気装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、超音波振動子を備えた洗浄槽に洗
浄液を供給し、前記超音波振動子から前記洗浄液に超音
波を放射することにより、前記洗浄液に浸漬されたワー
クの洗浄を行う超音波洗浄装置が知られている。このよ
うな超音波洗浄装置では、前記超音波振動子から前記洗
浄液に超音波を放射することにより前記洗浄液中に空洞
（キャビテーション）を発生させ、このキャビテーショ
ンが崩壊するときに生じる衝撃波を前記ワークに作用さ
せて、前記ワークの表面のバリ、表面に付着している異
物等を除去するものである。

【０００３】前記キャビテーションは前記洗浄液に溶存
している気体の濃度が低いほど発生しやすくなり、その
崩壊時に、より強力な衝撃波が生じることが知られてい
る。そこで、前記超音波洗浄装置では、ワークの洗浄効
率を向上するために、前記洗浄液に溶存している気体を
脱気して、前記キャビテーションを発生しやすくするこ
とが行われており、各種の脱気装置が提案されている。

【０００４】本発明者は、前記脱気装置について、検討
を重ねた結果、減圧された密封槽中に洗浄液を導入する
ことにより、該洗浄液に溶存している気体を容易に前記
密封槽中の減圧された空間に放出させることができ、効
率よく脱気できることを見出した。そして、このような
原理に基づく脱気装置をすでに提案している（実開平４
−１３１４８６号公報参照）。

【０００５】前記公報に開示された脱気装置は、前記密
封槽に導入される洗浄液が該密封槽内の減圧空間に接触
する部分から溶存気体が放出されるものであって、脱気
効率は前記密封槽内の洗浄液の液面積に左右される。そ
こで、本発明者は、脱気される洗浄液と減圧空間との接
触面積を大きくするために、洗浄液を密封槽の上方から
下方に向けて流下させながら、該密封槽内を減圧する脱
気装置を開発し、このような脱気装置についてもすでに
特許出願している（特開平６−８８２６５号公報参
照）。

【０００６】特開平６−８８２６５号公報に開示された
脱気装置には、前記のように流下される洗浄液が減圧手
段に吸引されないようにする前記液体吸入防止手段が設
けられている。また、該脱気装置では、前記密封槽内に
前記洗浄液をその表面に沿って流下させる網状部材を充
填することにより、該洗浄液が減圧空間に接触する面積
をさらに大きくして脱気効率を向上することができる。

【０００７】しかしながら、前述の各脱気装置は、工業
用等の比較的大型の超音波洗浄装置のために大量の脱気
された洗浄液を確保しようとするものであり、卓上型等
の小型の超音波洗浄装置に供給される洗浄液の脱気を行
うには装置が大型に過ぎる傾向がある。そこで、前記卓
上型等の小型の超音波洗浄装置のために、小型で優れた
脱気効率を有する脱気装置が望まれる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる事情
に鑑み、小型で優れた脱気効率を有する脱気装置を提供
することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、本発明の脱気装置の第１の態様は、密封槽と、該
密封槽に脱気する液体を供給する液体供給手段と、脱気
された液体を該密封槽から取り出す液体取り出し手段
と、該密封槽内を減圧する減圧手段とからなり、該密封
槽内を該減圧手段により減圧して、該密封槽内に収容さ
れた液体に溶存する気体を該密封槽内の減圧空間に放出
させて脱気する脱気装置において、該密封槽内に供給さ
れた液体にその一部が浸漬され、該液体中に発生する気
泡が付着する着泡部材と、該着泡部材を回転自在に軸支
する軸支手段と、該軸支手段に軸支された該着泡部材を
回転駆動する回転駆動手段とを設け、該着泡部材を回転
駆動することにより該着泡部材に付着した気泡を該密封
槽内の減圧空間に案内して離脱させることを特徴とす
る。

【００１０】前記着泡部材は、前記のように液体中で気
化した気体が発泡する核になるために、表面積の大きな
材質であることが好ましく、活性炭、多孔質セラミック
ス、またはこれらの粉末を板に接着したもの、金網等を
挙げることができるが、安価で耐久性に優れていること
からステンレス等の金網を緊密に巻くことにより円筒状
に形成したものが特に好ましい。

【００１１】本発明の脱気装置によれば、前記密封槽内
を前記減圧手段により減圧すると、該密封槽内に収容さ
れている液体に溶存している気体が、該液体中に浸漬さ
れている着泡部材を核として、該着泡部材の表面で気化
して気泡を生成する。該気泡は、そのまま前記着泡部材
の表面に付着して次第に成長し、その浮力が付着力より
も大きくなると、該着泡部材から離脱して、液面に浮上
する。この結果、前記液体に溶存している気体が、前記
密封槽内の減圧空間に放出され、脱気される。しかし、
前記気泡は、自然のままに放置すると、前記のように成
長しないと離脱しないので、十分に満足できる脱気効率
が得られない。

【００１２】そこで、前記第１の態様の脱気装置では、
その一部が前記液体に浸漬されている前記着泡部材を回
転駆動することにより、前記気泡が前記密封槽内の減圧
空間に放出されやすくしている。本態様の脱気装置で
は、前記着泡部材を回転駆動すると、前記着泡部材の前
記液体に浸漬されている部分に付着した気泡が、前記着
泡部材の回転に伴って前記液体中を移動し、前記気泡の
付着している部分が前記液体から前記密封槽内の減圧空
間に出ることにより、該部分に付着している前記気泡が
前記減圧空間に案内されて離脱する。

【００１３】前記脱気装置によれば、前記着泡部材に付
着した気泡を前記液体中を移動する間に成長すると共
に、成長した気泡の前記密封槽内の減圧空間への離脱が
促進される。また、前記着泡部材は、前記のように回転
駆動されているので、前記脱気動作が連続的に行われ、
前記液体に溶存している気体の脱気が促進される。従っ
て、前記脱気装置によれば、小型の装置でも優れた脱気
効率を得ることができる。

【００１４】また、本発明の脱気装置の第２の態様は、
密封槽と、該密封槽に脱気する液体を供給する液体供給
手段と、脱気された液体を該密封槽から取り出す液体取
り出し手段と、該密封槽内を減圧する減圧手段とからな
り、該密封槽内を該減圧手段により減圧して、該密封槽
内に収容された液体に溶存する気体を該密封槽内の減圧
空間に放出させて脱気する脱気装置において、該密封槽
内に供給された液体に浸漬され、該液体中に発生する気
泡が付着する着泡部材と、該密封槽の底部に取着された
振動手段とを設け、該振動手段により該密封槽及び該着
泡部材を振動させて該着泡部材に付着した気泡を離脱さ
せることを特徴とする。

【００１５】前記振動手段としては、電磁バイブレータ
等を用いることができる。前記振動手段は、前記気泡が
適当な大きさに成長する毎に前記着泡部材から離脱させ
るように、所定の間隔で前記密封槽及び前記着泡部材を
振動させるようになっていることが好ましい。

【００１６】前記第２の態様の脱気装置では、前記密封
槽の底部に取着された振動手段により前記密封槽及び前
記着泡部材を振動させることにより、前記着泡部材に付
着した気泡が強制的に前記着泡部材から離脱され、前記
密封槽内の減圧空間への離脱が促進される。従って、前
記脱気装置によれば、小型の装置でも優れた脱気効率を
得ることができる。

【００１７】本発明の超音波洗浄装置の脱気装置は、底
部に超音波振動子が取着された超音波洗浄槽に脱気され
た洗浄液を供給し、該洗浄液にワークを浸漬して、該超
音波振動子から該洗浄液に超音波を放射して該ワークの
洗浄を行う超音波洗浄装置の該超音波洗浄槽にその一部
が浸漬された密封槽と、前記洗浄液を前記超音波洗浄槽
から取り出して該密封槽に供給する洗浄液供給手段と、
脱気された洗浄液を該密封槽から取り出して前記超音波
洗浄槽に供給する洗浄液取り出し手段と、該密封槽内を
減圧する減圧手段とからなり、該密封槽内を該減圧手段
により減圧して、該密封槽内に収容された洗浄液に溶存
する気体を該密封槽内の減圧空間に放出させて脱気する
脱気装置であって、前記密封槽内に供給された洗浄液に
浸漬され、該洗浄液中に発生する気泡が付着する着泡部
材を設けると共に、前記超音波振動子から前記洗浄液に
放射される超音波により、該密封槽及び該着泡部材を振
動させて該着泡部材に付着した気泡を離脱させることを
特徴とする。

【００１８】前記脱気装置は、脱気された洗浄液が供給
される超音波洗浄槽にその一部が浸漬されて設けられて
いるので、前記超音波洗浄槽の底部に取着された超音波
振動子から超音波を放射すると、前記洗浄液を介して前
記密封槽及び前記着泡部材が振動され、前記着泡部材に
付着した気泡が強制的に前記着泡部材から離脱されて前
記密封槽内の減圧空間への離脱が促進される。

【００１９】従って、前記脱気装置によれば、小型の装
置でも優れた脱気効率を得ることができる。また、前記
脱気装置は、超音波洗浄装置の超音波洗浄槽内に設けら
れているので、前記超音波洗浄槽におけるワークの洗浄
と、前記脱気装置における洗浄液の脱気とを同時に行う
ことができる。

【００２０】

【発明の実施の形態】次に、添付の図面を参照しながら
本発明の実施形態についてさらに詳しく説明する。図１
は本発明の脱気装置の第１の実施形態を示す説明的断面
図、図２は図１のＩＩ−ＩＩ線端面図、図３は第２の実
施形態を示す説明的断面図、図４は本発明の超音波洗浄
装置の脱気装置の実施形態を示す説明的断面図である。

【００２１】次に、本発明の脱気装置の第１の実施形態
について説明する。

【００２２】本発明の脱気装置の第１の実施形態は、図
１示のように、密封槽１の底部の一端側に脱気する液体
２を供給する液体供給手段としての液体供給導管３が弁
４を介して接続されており、他端側には密封槽１から脱
気された液体２を取り出す液体取り出し手段としての液
体取り出し導管５が弁６を介して接続されている。ま
た、密封槽１の上部には、減圧導管７が大気解放弁８を
介して真空ポンプ９に接続されている。

【００２３】密封槽１内には、液体２中に発生する気泡
が付着する着泡部材１０がその一部が液体２に浸漬され
るように設けられている。本実施形態では、前記着泡部
材１０は、軸１１にステンレスの金網１２が緊密に巻き
つけられて円筒状に形成されている。前記着泡部材１０
は、軸１１により密封槽１の内壁に回転自在に軸支され
ている。軸１１の一端は密封槽１の内壁から外部に突出
し、その端部に取着された従動スプロケット１３が無端
状ベルト１４を介して、モーター１５の駆動軸１６に取
着された駆動スプロケット１７に接続されており、モー
ター１５により着泡部材１０が回転駆動されるようにな
っている。

【００２４】次に、図１示の脱気装置の作動について説
明する。

【００２５】図１示の脱気装置では、液体供給導管３
は、例えば、図示しない超音波洗浄装置の洗浄槽等に接
続され、該洗浄槽から取り出された洗浄水を図示しない
ポンプ等により、密封槽１に導入するようになってい
る。また、液体取り出し導管５は、図示しない超音波洗
浄装置の洗浄槽等に接続され、密封槽１で脱気された洗
浄液を図示しないポンプ等により取り出して前記洗浄槽
に供給するようになっている。

【００２６】図１示の脱気装置では、まず、弁４を開
き、弁６及び大気解放弁８を閉じた状態で、液体供給導
管３から密封槽１に脱気すべき液体２が導入され、所定
量の液体２が導入されると弁４が閉じられる。次いで、
真空ポンプ９を作動させ、大気解放弁８が減圧導管７を
真空ポンプ９に接続することにより、密封槽１内が減圧
される。すると、密封槽１内の液体２に溶存している気
体が気化して気泡を形成するが、該気泡は着泡部材１０
の液体２に浸漬されている部分を核として発生し、該部
分に付着する。

【００２７】ここで、前記モーター１５により着泡部材
１０を回転駆動させると、図２（ａ），（ｂ）示のよう
に、着泡部材１０に付着した気泡１８ａは、着泡部材１
０の回転に伴って液体２中を移動しながら成長する。そ
して、図２（ｃ）示のように、付着している部分が液体
２の外に出ると、気泡１８ａが破泡して内部の気体が該
密封槽内の減圧空間に放出される。

【００２８】着泡部材１０は、モーター１５により回転
駆動されているので、気泡１８ａが破泡したときには、
気泡１８ｂ，１８ｃ，・・・が発生、成長の途中にあ
り、気泡１８ａと同様に前記図２（ａ）乃至図２（ｃ）
示の脱気動作が連続的に行われ、液体２に溶存している
気体の脱気が促進される。そして、液体２の脱気度が所
定のレベルに達すると、大気解放弁８が大気に解放され
て密封槽１内の減圧が解除されるとともに、弁６が開か
れて脱気された液体２が液体取り出し導管５を介して取
り出される。

【００２９】尚、密封槽１内の減圧が解除されると、密
封槽１内の液体２が大気に接触することになるので、液
体２に空気が溶解し、その溶存気体量が増加されること
が懸念されるが、大気解放弁８の解放から弁６が開かれ
て液体２が取り出されるまでの時間を短くすることによ
り、前記液体２に対する空気の溶解を最小限に止めるこ
とができる。

【００３０】次に、本発明の脱気装置の第２の実施形態
について説明する。

【００３１】本発明の脱気装置の第２の実施形態は、図
３示のように、密封槽１の底部の外側に電磁バイブレー
ター１９を備え、図１示のモーター１５と、その付属装
置としての従動スプロケット１３、無端状ベルト１４、
駆動スプロケット１７が無い以外は、図１示の脱気装置
と全く同じ構成となっている。

【００３２】図３示の脱気装置では、図１示の脱気装置
と同様にして、密封槽１に脱気すべき液体２が導入され
たのち、密封槽１内が減圧されることにより、密封槽１
内の液体２に溶存している気体が密封槽１の着泡部材１
０の液体２に浸漬されている部分を核として気化し、発
生した気泡が該部分に付着する。ここで、前記電磁バイ
ブレーター１９を作動させると、密封槽１及び着泡部材
１０が振動され、その衝撃により着泡部材１０に付着し
た気泡が、離脱されて、密封槽１内の上部空間に放出さ
れる。この結果、液体２に溶存している気体の脱気が促
進される。そして、液体２の脱気度が所定のレベルに達
すると、図１示の脱気装置と同様にして、脱気された液
体２が液体取り出し導管５を介して取り出される。

【００３３】次に、本発明の超音波洗浄装置の脱気装置
の実施形態について説明する。

【００３４】本発明の超音波洗浄装置の脱気装置の実施
形態では、図４示のように、密封槽１が、超音波洗浄装
置２１の超音波洗浄槽２２内に供給された洗浄液２３に
その一部を浸漬させて設けられており、超音波洗浄槽２
２の底部には超音波振動子２４が取着されている。

【００３５】本実施形態では、密封槽１の一端側に、超
音波洗浄槽２２と密封槽１とを連絡する洗浄液供給導管
２５が弁２６を介して接続されており、洗浄液供給導管
２５の途中に設けられた供給ポンプ２７により、超音波
洗浄槽２２から脱気する洗浄液２３を取り出して密封槽
１に供給するようになっている。また、密封槽１の他端
側には、超音波洗浄槽２２と密封槽１とを連絡する洗浄
液取り出し導管２８が弁２９を介して接続されており、
洗浄液取り出し導管２８の途中に設けられた取り出しポ
ンプ３０により、脱気された洗浄液２３を密封槽１から
取り出して超音波洗浄槽２２に供給するようになってい
る。尚、洗浄液供給導管２５及び洗浄液取り出し導管２
８は、超音波洗浄槽２２の側壁を液密に貫通するように
設けられている。

【００３６】密封槽１は、図１示の液体供給導管３及び
液体取り出し導管５に代えて洗浄液供給導管２５及び洗
浄液取り出し導管２８を備え、モーター１５と、その付
属装置としての従動スプロケット１３、無端状ベルト１
４、駆動スプロケット１７が無いことを除いて、図１示
の脱気装置と全く同じ構成となっており、図示しないフ
レームにより超音波洗浄槽２２内に支持されている。
尚、密封槽１は、図４示のように、着泡部材１０が密封
槽１内の洗浄液２３に浸漬される部分まで、超音波洗浄
槽２２内の洗浄液２３に浸漬されていればよく、密封槽
１全体が超音波洗浄槽２２内の洗浄液２３に没するよう
に支持されている必要はない。

【００３７】次に、図４示の超音波洗浄装置及び脱気装
置の作動について説明する。

【００３８】図４示の超音波洗浄装置２１では、超音波
洗浄槽２２に密封槽１で脱気された洗浄液２３が供給さ
れ、洗浄液２３にワークを浸漬して、超音波振動子２４
から洗浄液２３に超音波を放射することにより、ワーク
表面のバリ、ワーク表面に付着している異物等を除去し
て洗浄を行う。ところが、超音波洗浄槽２２はワークの
移動のために上方が大気に開放されているため、放置し
ておくと前記ワークの洗浄により洗浄液２３中の溶存気
体が次第に増加し、洗浄効果が低減される。そこで、図
４示の超音波洗浄装置２１では、所定の間隔で洗浄液２
３を密封槽１に供給して脱気し、密封槽１で脱気された
洗浄液２３を再び超音波洗浄槽２２に戻すことにより、
超音波洗浄槽２２内の洗浄液２３の脱気度が一定に維持
されるようにしている。

【００３９】図４示の脱気装置では、密封槽１に脱気す
べき洗浄液２３が導入されたのち、図１示の脱気装置と
同様にして、密封槽１内が減圧されることにより、密封
槽１内の洗浄液２３に溶存している気体が着泡部材１０
の洗浄液２３に浸漬されている部分を核として気化し、
発生した気泡が該部分に付着する。ここで、前記超音波
振動子２１を作動させて洗浄液２３に超音波を放射する
と、超音波洗浄槽２２内の洗浄液２３を介して密封槽１
が振動され、さらに着泡部材１０が密封槽１内の洗浄液
２３を介して振動されて、その衝撃により着泡部材１０
に付着した気泡が離脱されて、密封槽１内の上部空間に
放出される。この結果、洗浄液２３に溶存している気体
の脱気が促進される。そして、洗浄液２３の脱気度が所
定のレベルに達すると、脱気された洗浄液２３が洗浄液
取り出し導管２９を介して取り出され、超音波洗浄槽２
２に供給される。

【００４０】図４示の脱気装置によれば、密封槽１が超
音波洗浄槽２２内に設けられているので、超音波洗浄槽
２２内でワークの超音波洗浄を行う際に同時に洗浄液２
３の脱気を行うことができる。

【００４１】尚、前記各実施態様の脱気装置では、密封
槽１内に所定量の液体２または洗浄液２３が供給される
ごとに弁４，６または弁２６，２９を閉じて、バッチ方
式により脱気を行うようにしているが、弁４，６または
弁２６，２９を常時開放して、液体２または洗浄液２３
を流通させながら脱気するようにしてもよい。

【００４２】次に、本発明の実施例及び比較例について
説明する。図５は、本発明の実施例及び比較例の脱気装
置により脱気したときの所要時間と脱気度の指標として
の溶存酸素量との関係を示すグラフである。

【００４３】

【実施例１】本実施例では、図１示の脱気装置により、
溶存酸素量６．８ｐｐｍの水道水（液体２）の脱気を行
った。尚、液体２は空気中で用いられるので、その溶存
気体は実際には空気であるが、空気の組成は窒素：酸素
≒４：１で略一定であるので、本明細書では、溶存気体
量を示す指標として前記溶存酸素を用いる。

【００４４】まず、液体供給導管３により密封槽１内に
液体２として前記水道水（液温：２７℃）を供給し、真
空ポンプ９により、密封槽１内を５０ｍｍＡｑに減圧し
た。そして、モーター１５により着泡部材１０を回転さ
せたところ、液体２の溶存酸素量は、５分後には２．２
ｐｐｍ、３０分後には１．２ｐｐｍとなった。結果を図
５に示す。

【００４５】尚、前記着泡部材１０の回転数は、液体２
中で着泡部材１０に付着した気泡が該着泡部材１０に伴
われて液体２の外に出されるまでに十分成長できるよう
に、例えば、１〜１０ｒ．ｐ．ｍの範囲とすることが好
ましい。

【００４６】

【実施例２】本実施例では、図３示の脱気装置により、
溶存酸素量６．８ｐｐｍの水道水（液体２）の脱気を行
った。まず、液体供給導管３により密封槽１内に液体２
として前記水道水（液温：２７℃）を供給し、真空ポン
プ９により、密封槽１内を５０ｍｍＡｑに減圧した。そ
して、電磁バイブレーター１９により着泡部材１０を振
動させたところ、液体２の溶存酸素量は、５分後には
３．２ｐｐｍ、３０分後には２．８ｐｐｍとなった。結
果を図５に示す。

【００４７】尚、前記電磁バイブレーター１９の出力
は、液体２中で着泡部材１０に付着した気泡を該着泡部
材１０から離脱させるために、３０〜１００Ｗの範囲と
することが好ましい。

【００４８】

【実施例３】本実施例では、図４示の超音波洗浄装置の
脱気装置により、溶存酸素量６．８ｐｐｍの水道水（液
体２）の脱気を行った。まず、液体供給導管３により密
封槽１内に洗浄液２３として前記水道水（液温：２７
℃）を供給し、真空ポンプ９により、密封槽１内を５０
ｍｍＡｑに減圧した。そして、超音波振動子２１により
超音波洗浄槽２２内の洗浄液２３に２５ｋＨｚの超音波
を放射して着泡部材１０を振動させたところ、洗浄液２
３の溶存酸素量は、５分後には２．９ｐｐｍ、３０分後
には２．２ｐｐｍとなった。結果を図５に示す。

【００４９】

【比較例】本比較例では、図１示の脱気装置を用い、着
泡部材１０を回転駆動させずに静置した以外は実施例１
と全く同様にして、溶存酸素量６．８ｐｐｍの水道水
（液体２）の脱気を行ったところ、液体２の溶存酸素量
は、５分後には５．８ｐｐｍ、３０分後には４．２ｐｐ
ｍとなった。結果を図５に示す。

【００５０】図５から明らかなように、図１，３及び４
示の本発明の各脱気装置によれば、短時間で効率よく液
体の脱気を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の脱気装置の第１の実施形態を示す説明
的断面図。

【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線断面図。

【図３】本発明の脱気装置の第２の実施形態を示す説明
的端面図。

【図４】本発明の超音波洗浄装置の脱気装置の実施形態
を示す説明的断面図。

【図５】本発明及び比較例の脱気装置により脱気したと
きの所要時間と溶存酸素量との関係を示すグラフ。

【符号の説明】

１…密封槽、２…液体、３…液体供給手段、５…液体取
り出し手段、９…減圧手段、１０…着泡部材、１１…軸
支手段、１２…金網、１５…回転駆動手段、１８ａ，１
８ｂ，１８ｃ…気泡、１９…バイブレーター、２１…超
音波振動子、２２…超音波洗浄槽。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】密封槽と、該密封槽に脱気する液体を供給
   する液体供給手段と、脱気された液体を該密封槽から取
   り出す液体取り出し手段と、該密封槽内を減圧する減圧
   手段とからなり、該密封槽内を該減圧手段により減圧し
   て、該密封槽内に収容された液体に溶存する気体を該密
   封槽内の減圧空間に放出させて脱気する脱気装置におい
   て、 該密封槽内に供給された液体にその一部が浸漬され、該
   液体中に発生する気泡が付着する着泡部材と、該着泡部
   材を回転自在に軸支する軸支手段と、該軸支手段に軸支
   された該着泡部材を回転駆動する回転駆動手段とを設
   け、該着泡部材を回転駆動することにより該着泡部材に
   付着した気泡を該密封槽内の減圧空間に案内して離脱さ
   せることを特徴とする脱気装置。
2. 【請求項２】密封槽と、該密封槽に脱気する液体を供給
   する液体供給手段と、脱気された液体を該密封槽から取
   り出す液体取り出し手段と、該密封槽内を減圧する減圧
   手段とからなり、該密封槽内を該減圧手段により減圧し
   て、該密封槽内に収容された液体に溶存する気体を該密
   封槽内の減圧空間に放出させて脱気する脱気装置におい
   て、 該密封槽内に供給された液体に浸漬され、該液体中に発
   生する気泡が付着する着泡部材と、該密封槽の底部に取
   着された振動手段とを設け、該振動手段により該密封槽
   及び該着泡部材を振動させて該着泡部材に付着した気泡
   を離脱させることを特徴とする脱気装置。
3. 【請求項３】底部に超音波振動子が取着された超音波洗
   浄槽に脱気された洗浄液を供給し、該洗浄液にワークを
   浸漬して、該超音波振動子から該洗浄液に超音波を放射
   して該ワークの洗浄を行う超音波洗浄装置の該超音波洗
   浄槽にその一部が浸漬された密封槽と、 前記洗浄液を前記超音波洗浄槽から取り出して該密封槽
   に供給する洗浄液供給手段と、 脱気された洗浄液を該密封槽から取り出して前記超音波
   洗浄槽に供給する洗浄液取り出し手段と、 該密封槽内を減圧する減圧手段とからなり、 該密封槽内を該減圧手段により減圧して、該密封槽内に
   収容された洗浄液に溶存する気体を該密封槽内の減圧空
   間に放出させて脱気する脱気装置であって、 前記密封槽内に供給された洗浄液に浸漬され、該洗浄液
   中に発生する気泡が付着する着泡部材を設けると共に、
   前記超音波振動子から前記洗浄液に放射される超音波に
   より、該密封槽及び該着泡部材を振動させて該着泡部材
   に付着した気泡を離脱させることを特徴とする超音波洗
   浄装置の脱気装置。