JP5278247B2 - ガラス基板用スペーサ分離装置及びガラス基板の製造方法 - Google Patents
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Description
(1)本発明は、ガラス基板の主平面に付着しているスペーサをガラス基板から分離するガラス基板用スペーサ分離装置において、
複数のスペーサ付きガラス基板を一組毎に分離した状態で収容するカセットと、
前記カセットを液浸させるための液体が貯留された液槽と、
前記液槽内に液浸された前記カセットの内部に向けて気泡を発生させる気泡発生機構と、を備え、
前記気泡発生機構は、
前記カセットの下方に設けられ、前記液体中に気泡を発生する複数の孔が設けられた気泡発生部を有し、
前記液槽は、前記カセットと前記気泡発生部の前記複数の孔との位置を相対的に変化させるように前記カセットを揺動する揺動機構を有し、
前記複数の孔から発生させた気泡が前記液槽内の前記カセット内に収容した前記複数のスペーサ付きガラス基板の表面に接触することにより、前記複数のスペーサ付きガラス基板のそれぞれから前記スペーサを分離させることを特徴とする。
(2)本発明の前記気泡発生機構は、
前記液槽の外部に設けられ、前記気泡発生部に前記圧縮気体を供給する圧縮気体源と、
前記圧縮気体源から供給された圧縮気体の圧力を所定圧に調整する圧力調整弁と、
前記圧力調整弁により調整された圧縮気体を前記気泡発生部の前記複数の孔に供給する接続配管と、
を有することを特徴とする。
(3)本発明の前記複数の孔は、パイプまたは平板の表面に開孔径0.2mm〜2.0mmを有することを特徴とする。
(4)本発明の前記複数の孔は、前記スペーサ付きガラス基板を一組毎に分離した状態で収容した前記カセットのガラス基板収容間隔距離に対し、0.2〜2倍の間隔距離で形成されていることを特徴とする。
(5)本発明は、前記液槽内で分離した前記スペーサを回収するための別液槽を前記液槽の内部または外部に設け、
前記液槽から前記別液槽へ液体がオーバーフローするように液体を供給する液体供給機構を設け、
前記液槽で分離させたスペーサを前記液槽からオーバーフローする液体とともに、前記別液槽に移動させてスペーサを回収することを特徴とする。
(6)本発明は、前記液槽が、前記液体に液浸された前記カセットに収容されたスペーサ付きガラス基板に超音波を照射する超音波照射機構を有することを特徴とする。
(7)本発明は、ガラス基板とスペーサを交互に複数枚重ね合わせたガラス基板積層体とし、該ガラス基板積層体のガラス基板端面部を研磨する工程と、
ガラス基板端面部の研磨を行なったあとにガラス基板積層体からガラス基板を分離する工程と、
ガラス基板の主平面に付着しているスペーサをガラス基板から分離する工程とを有するガラス基板の製造方法において、
前記スペーサをガラス基板から分離する工程で(1)〜(6)いずれかに記載のガラス基板用スペーサ分離装置を用いて分離することを特徴とする。
(8)本発明の前記スペーサは、前記液槽に貯留される液体より比重が軽い材質により形成されていることを特徴とする。
20 液槽
22 開口
24 上端部
30 カセット支持機構
32 カセット載置部
34 吊下部
36 摺動部
40 気泡発生機構
41 気泡噴出孔
42 気泡発生部
44 圧縮気体源
46 圧力調整弁
48 接続配管
50 カセット
60 高さ調整部
70 ガラス基板
80 基板収容部
82 下側開口
84 上側開口
90 仕切り
92 傾斜段部
110 回収槽
120 液体供給機構
122 水流発生ノズル
124 水供給配管
126 水圧調整弁
128 ポンプ
130 排水配管
132 フィルタ
140 壁部
142 凹部
210 加振機構
212 振動板
214 超音波発振器
Claims (8)
- ガラス基板の主平面に付着しているスペーサをガラス基板から分離するガラス基板用スペーサ分離装置において、
複数のスペーサ付きガラス基板を一組毎に分離した状態で収容するカセットと、
前記カセットを液浸させるための液体が貯留された液槽と、
前記液槽内に液浸された前記カセットの内部に向けて気泡を発生させる気泡発生機構と、を備え、
前記気泡発生機構は、
前記カセットの下方に設けられ、前記液体中に気泡を発生する複数の孔が設けられた気泡発生部を有し、
前記液槽は、前記カセットと前記気泡発生部の前記複数の孔との位置を相対的に変化させるように前記カセットを揺動する揺動機構を有し、
前記複数の孔から発生させた気泡が前記液槽内の前記カセット内に収容した前記複数のスペーサ付きガラス基板の表面に接触することにより、前記複数のスペーサ付きガラス基板のそれぞれから前記スペーサを分離させることを特徴とするガラス基板用スペーサ分離装置。 - 前記気泡発生機構は、
前記液槽の外部に設けられ、前記気泡発生部に圧縮気体を供給する圧縮気体源と、
前記圧縮気体源から供給された圧縮気体の圧力を所定圧に調整する圧力調整弁と、
前記圧力調整弁により調整された圧縮気体を前記気泡発生部の前記複数の孔に供給する接続配管と、
を有することを特徴とする請求項1に記載のガラス基板用スペーサ分離装置。 - 前記複数の孔は、パイプまたは平板の表面に開孔径0.2mm〜2.0mmを有することを特徴とする請求項1又は2に記載のガラス基板用スペーサ分離装置。
- 前記複数の孔は、前記スペーサ付きガラス基板を一組毎に分離した状態で収容した前記カセットのガラス基板収容間隔距離に対し、0.2〜2倍の間隔距離で形成されていることを特徴とする請求項1〜3いずれかに記載のガラス基板用スペーサ分離装置。
- 前記液槽内で分離した前記スペーサを回収するための別液槽を前記液槽の内部または外部に設け、
前記液槽から前記別液槽へ液体がオーバーフローするように液体を供給する液体供給機構を設け、
前記液槽で分離させたスペーサを前記液槽からオーバーフローする液体とともに、前記別液槽に移動させてスペーサを回収することを特徴とする請求項1〜4いずれかに記載のガラス基板用スペーサ分離装置。 - 前記液槽は、前記液体に液浸された前記カセットに収容されたスペーサ付きガラス基板に超音波を照射する超音波照射機構を有することを特徴とする請求項1〜5いずれかに記載のガラス基板用スペーサ分離装置。
- ガラス基板とスペーサを交互に複数枚重ね合わせたガラス基板積層体とし、該ガラス基板積層体のガラス基板端面部を研磨する工程と、
ガラス基板端面部の研磨を行なったあとにガラス基板積層体からガラス基板を分離する工程と、
ガラス基板の主平面に付着しているスペーサをガラス基板から分離する工程とを有するガラス基板の製造方法において、
前記スペーサをガラス基板から分離する工程で請求項1〜6いずれかに記載のガラス基板用スペーサ分離装置を用いて分離することを特徴とするガラス基板の製造方法。 - 前記スペーサは、比重が前記液槽に貯留される液体より軽い材質により形成されていることを特徴とする請求項7記載のガラス基板の製造方法。
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