KR101049842B1 - 기판 세정 방법, 기판 세정 장치 및 프로그램 기록 매체 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (50)
- 세정조 내에 저류(貯留)되는 세정액 내에 피처리 기판을 침지하는 공정과,상기 세정조 내에 세정액을 공급하면서, 상기 세정조 내의 세정액에 초음파를 발생시키는 공정을 구비하고,상기 세정조 내에 세정액을 공급하면서 세정조 내의 세정액에 초음파를 발생시키는 공정에 있어서, 세정조 내에서의 세정액이 공급되는 수직 방향 위치는 변화하고, 서로 다른 수직 방향 위치에서 상기 세정조 내에 세정액을 토출하는 복수의 토출 부재를 이용하여 상기 세정조 내에 세정액을 공급하고, 이 공정 중에, 상기 복수의 토출 부재 중에서 세정액의 공급에 이용되는 토출 부재는 변경되는 것을 특징으로 하는 기판 세정 방법.
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- 제1항에 있어서, 적어도 하나의 토출 부재로부터 공급되는 세정액의 단위시간당 공급량은 변화하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 방법.
- 제1항에 있어서, 적어도 하나의 토출 부재로부터 공급되는 세정액의 용존 가스 농도는 변화하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 세정조 내에 세정액을 공급하면서 세정조 내의 세정액에 초음파를 발생시키는 공정에 있어서, 상기 복수의 토출 부재 중의 적어도 하나의 토출 부재를 이용하여, 세정액과 함께 기포가 상기 세정조 내에 공급되고,상기 세정액과 함께 기포를 공급하는 상기 적어도 하나의 토출 부재 중의 적어도 하나의 토출 부재로부터 공급되는 기포의 단위시간당 공급량은 변화하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 세정조 내에 세정액을 공급하면서 세정조 내의 세정액에 초음파를 발생시키는 공정에 있어서, 상기 복수의 토출 부재 중의 적어도 하나의 토출 부재를 이용하여, 세정액과 함께 기포가 상기 세정조 내에 공급되고,상기 세정액과 함께 기포를 공급하는 상기 적어도 하나의 토출 부재 중의 적어도 하나의 토출 부재로부터 공급되는 기포의 단위시간당 공급 개수는 변화하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 복수의 토출 부재 중의 하나의 토출 부재로부터 공급되는 세정액의 단위시간당 공급량과, 상기 하나의 토출 부재와는 다른 수직 방향 위치에서 상기 세정조 내에 세정액을 토출하는 상기 복수의 토출 부재 중의 적어도 하나의 다른 토출 부재로부터 공급되는 세정액의 단위시간당 공급량은 상이한 것을 특징으로 하는 기판 세정 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 복수의 토출 부재 중의 하나의 토출 부재로부터 공급되는 세정액의 용존 가스 농도와, 상기 하나의 토출 부재와는 다른 수직 방향 위치에서 상기 세정조 내에 세정액을 토출하는 상기 복수의 토출 부재 중의 적어도 하나의 다른 토출 부재로부터 공급되는 세정액의 용존 가스 농도는, 상이한 것을 특징으로 하는 기판 세정 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 세정조 내에 세정액을 공급하면서 세정조 내의 세정액에 초음파를 발생시키는 공정에 있어서, 상기 복수의 토출 부재 중의 적어도 2개의 토출 부재를 이용하여, 세정액과 함께 기포가 상기 세정조 내에 공급되고,상기 적어도 2개의 토출 부재 중의 하나의 토출 부재로부터 공급되는 기포의 단위시간당 공급량과, 상기 하나의 토출 부재와는 다른 수직 방향 위치에서 기포가 혼입된 세정액을 토출하는 상기 적어도 2개의 토출 부재 중의 적어도 하나의 다른 토출 부재로부터 공급되는 기포의 단위시간당 공급량은, 상이한 것을 특징으로 하는 기판 세정 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 세정조 내에 세정액를 공급하면서 세정조 내의 세정액에 초음파를 발생시키는 공정에 있어서, 상기 복수의 토출 부재 중의 적어도 2개의 토출 부재를 이용하여, 세정액과 함께 기포가 상기 세정조 내에 공급되고,상기 적어도 2개의 토출 부재 중의 하나의 토출 부재로부터 공급되는 기포의 단위시간당 공급 개수와, 상기 하나의 토출 부재와는 다른 수직 방향 위치에서 기포가 혼입된 세정액을 토출하는 상기 적어도 2개의 토출 부재 중의 적어도 하나의 다른 토출 부재로부터 공급되는 기포의 단위시간당 공급 개수는, 상이한 것을 특징으로 하는 기판 세정 방법.
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- 세정조 내에 저류되는 세정액 내에 피처리 기판을 침지하는 공정과,상기 세정조 내에 기포를 공급하면서, 상기 세정조 내의 세정액에 초음파를 발생시키는 공정을 구비하고,상기 세정조 내에 기포를 공급하면서 세정조 내의 세정액에 초음파를 발생시키는 공정에 있어서, 세정조 내에서의 기포가 공급되는 수직 방향 위치는 변화하고, 서로 다른 수직 방향 위치에서 기포를 토출하는 복수의 기포 토출 부재를 이용하여 상기 세정조 내에 기포를 공급하고, 이 공정 중에, 상기 복수의 기포 토출 부재 중에서 기포의 공급에 이용되는 기포 토출 부재는 변경되는 것을 특징으로 하는 기판 세정 방법.
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- 제18항에 있어서, 적어도 하나의 기포 토출 부재로부터 공급되는 기포의 단위시간당 공급량은 변화하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 방법.
- 제18항에 있어서, 적어도 하나의 기포 토출 부재로부터 공급되는 기포의 단위시간당 공급 개수는 변화하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 방법.
- 제18항에 있어서, 상기 복수의 기포 토출 부재 중의 하나의 기포 토출 부재로부터 공급되는 기포의 단위시간당 공급량과, 상기 하나의 기포 토출 부재와는 다른 수직 방향 위치에서 기포를 토출하는 상기 복수의 기포 토출 부재 중의 적어도 하나의 다른 기포 토출 부재로부터 공급되는 기포의 단위시간당 공급량은, 상이한 것을 특징으로 하는 기판 세정 방법.
- 제18항에 있어서, 상기 복수의 기포 토출 부재 중의 하나의 기포 토출 부재로부터 공급되는 기포의 단위시간당 공급 개수와, 상기 하나의 기포 토출 부재와는 다른 수직 방향 위치에서 기포를 토출하는 상기 복수의 기포 토출 부재 중의 적어도 하나의 다른 기포 토출 부재로부터 공급되는 기포의 단위시간당 공급 개수는, 상이한 것을 특징으로 하는 기판 세정 방법.
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- 세정액을 저류하는 세정조와,상기 세정조 내의 세정액에 초음파를 발생시키는 초음파 발생 장치와,서로 다른 수직 방향 위치에 배치되어, 서로 다른 수직 방향 위치에서 상기 세정조 내에 세정액을 토출하는 복수의 토출 부재와,상기 복수의 토출 부재와 연결되어, 상기 토출 부재에 세정액을 보내주는 세정액 공급 장치와,상기 세정액 공급 장치와 상기 복수의 토출 부재 사이에 설치된 유로 전환 기구로서, 상기 세정액 공급 장치와 각 토출 부재 사이의 접속을 개폐하는 상기 유로 전환 기구를 구비한 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
- 삭제
- 제29항에 있어서, 상기 유로 전환 기구에 접속되어, 상기 유로 전환 기구의 동작을 제어하는 제어 장치를 더 구비하고,상기 제어 장치는, 상기 초음파 발생 장치가 상기 세정조 내의 세정액에 초음파를 발생시키고 있는 동안, 상기 세정액 공급 장치와 각 토출 부재 사이의 접속 상태를 변경하여, 상기 복수의 토출 부재 중에서 상기 세정조 내에 세정액을 토출하고 있는 토출 부재를 변경하도록, 상기 유로 전환 기구를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
- 제29항에 있어서, 적어도 하나의 토출 부재와 상기 유로 전환 기구 사이에 설치되어, 상기 토출 부재로부터 상기 세정조 내에 공급되는 세정액의 단위시간당 공급량을 증감시키는 유량 조정 기구와,상기 유량 조정 기구에 접속되어, 상기 유량 조정 기구의 동작을 제어하는 제어 장치를 더 구비하고,상기 제어 장치는, 상기 초음파 발생 장치가 상기 세정조 내의 세정액에 초음파를 발생시키고 있는 동안, 상기 토출 부재로부터 상기 세정조 내에 공급되도록 되는 세정액의 단위시간당 공급량을 변화시키도록, 상기 유량 조정 기구를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
- 제29항에 있어서, 적어도 하나의 토출 부재와 상기 유로 전환 기구 사이에 설치되어, 상기 토출 부재로부터 상기 세정조 내에 공급되는 세정액의 용존 가스 농도를 증감시키는 용존 가스 농도 조정 장치와,상기 용존 가스 농도 조정 장치에 접속되어, 상기 용존 가스 농도 조정 장치의 동작을 제어하는 제어 장치를 더 구비하고,상기 제어 장치는, 상기 초음파 발생 장치가 상기 세정조 내의 세정액에 초음파를 발생시키고 있는 동안, 상기 토출 부재로부터 상기 세정조 내에 공급되도록 되는 세정액의 용존 가스 농도를 변화시키도록, 상기 용존 가스 농도 조정 장치를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
- 제29항에 있어서, 적어도 하나의 토출 부재와 상기 유로 전환 기구 사이에 설치되어, 상기 토출 부재로부터 상기 세정조 내에 공급되는 세정액 중에 기포를 혼입시키는 기포 혼입 장치와,상기 기포 혼입 장치에 접속되어, 상기 기포 혼입 장치의 동작을 제어하는 제어 장치를 더 구비하고,상기 제어 장치는, 상기 초음파 발생 장치가 상기 세정조 내의 세정액에 초음파를 발생시키고 있는 동안, 상기 토출 부재로부터 상기 세정조 내에 세정액과 함께 공급되도록 되는 기포의 단위시간당 공급량을 변화시키도록, 상기 기포 혼입 장치를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
- 제29항에 있어서, 적어도 하나의 토출 부재와 상기 유로 전환 기구 사이에 설치되어, 상기 토출 부재로부터 상기 세정조 내에 공급되는 세정액 중에 기포를 혼입시키는 기포 혼입 장치와,상기 기포 혼입 장치에 접속되어, 상기 기포 혼입 장치의 동작을 제어하는 제어 장치를 더 구비하고,상기 제어 장치는, 상기 초음파 발생 장치가 상기 세정조 내의 세정액에 초음파를 발생시키고 있는 동안, 상기 토출 부재로부터 상기 세정조 내에 세정액과 함께 공급되도록 되는 기포의 단위시간당 공급 개수를 변화시키도록, 상기 기포 혼입 장치를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
- 세정액을 저류하는 세정조와,상기 세정조 내의 세정액에 초음파를 발생시키는 초음파 발생 장치와,서로 다른 수직 방향 위치에 배치되어, 서로 다른 수직 방향 위치에서 상기 세정조 내에 세정액을 토출하는 복수의 토출 부재와,상기 토출 부재와 연결되어, 상기 토출 부재에 세정액을 보내주는 세정액 공급 장치와,상기 세정조와 상기 세정액 공급 장치 사이에 설치되어, 상기 세정액 공급 장치로부터 상기 세정조 내에 공급되는 세정액의 용존 가스 농도를 증감시키는 용존 가스 농도 조정 장치와,상기 용존 가스 농도 조정 장치에 접속되어, 상기 용존 가스 농도 조정 장치의 동작을 제어하는 제어 장치를 구비하고,상기 제어 장치는, 상기 초음파 발생 장치가 상기 세정조 내의 세정액에 초음파를 발생시키고 있는 동안, 상기 세정조 내에 공급되는 세정액의 용존 가스 농도를 변화시키도록, 상기 용존 가스 농도 조정 장치를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
- 세정액을 저류하는 세정조와,상기 세정조 내의 세정액에 초음파를 발생시키는 초음파 발생 장치와,서로 다른 수직 방향 위치에 배치되어, 서로 다른 수직 방향 위치에서 상기 세정조 내에 세정액을 토출하는 복수의 토출 부재와,상기 토출 부재와 연결되어, 상기 토출 부재에 세정액을 보내주는 세정액 공급 장치와,상기 세정조와 상기 세정액 공급 장치 사이에 설치되어, 상기 세정액 공급 장치로부터 상기 세정조 내에 공급되는 세정액 중에 기포를 혼입시키는 기포 혼입 장치와,상기 기포 혼입 장치에 접속되어, 상기 기포 혼입 장치의 동작을 제어하는 제어 장치를 구비하고,상기 제어 장치는, 상기 초음파 발생 장치가 상기 세정조 내의 세정액에 초음파를 발생시키고 있는 동안, 상기 세정조 내에 세정액과 함께 공급되는 기포의 단위시간당 공급량을 변화시키도록, 상기 기포 혼입 장치를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
- 세정액을 저류하는 세정조와,상기 세정조 내의 세정액에 초음파를 발생시키는 초음파 발생 장치와,서로 다른 수직 방향 위치에 배치되어, 서로 다른 수직 방향 위치에서 상기 세정조 내에 세정액을 토출하는 복수의 토출 부재와,상기 토출 부재와 연결되어, 상기 토출 부재에 세정액을 보내주는 세정액 공급 장치와,상기 세정조와 상기 세정액 공급 장치 사이에 설치되어, 상기 세정액 공급 장치로부터 상기 세정조 내에 공급되는 세정액 중에 기포를 혼입시키는 기포 혼입 장치와,상기 기포 혼입 장치에 접속되어, 상기 기포 혼입 장치의 동작을 제어하는 제어 장치를 구비하고,상기 제어 장치는, 상기 초음파 발생 장치가 상기 세정조 내의 세정액에 초음파를 발생시키고 있는 동안, 상기 세정조 내에 세정액과 함께 공급되는 기포의 단위시간당 공급 개수를 변화시키도록, 상기 기포 혼입 장치를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
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- 세정액을 저류하는 세정조와,상기 세정조 내의 세정액에 초음파를 발생시키는 초음파 발생 장치와,서로 다른 수직 방향 위치에 배치되어, 서로 다른 수직 방향 위치에서 상기 세정조 내의 세정액 중에 기포를 토출하는 복수의 기포 토출 부재를 구비하고,상기 초음파 발생 장치가 상기 세정조 내의 세정액에 초음파를 발생시키고 있는 동안, 상기 복수의 기포 토출 부재 중에서 상기 세정조 내의 세정액 중에 기포를 토출하고 있는 토출 부재가 변경되도록 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
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- 세정액을 저류하는 세정조와,상기 세정조 내의 세정액에 초음파를 발생시키는 초음파 발생 장치와,수직 방향으로 이동 가능하며, 상기 세정조 내의 세정액 중에 기포를 토출하는 기포 토출 부재와,상기 기포 토출 부재와 연결되어, 상기 기포 토출 부재에 기체를 보내주는 기체 공급 장치와,상기 기체 공급 장치에 접속되어, 상기 기체 공급 장치의 동작을 제어하는 제어 장치를 구비하고,상기 제어 장치는, 상기 초음파 발생 장치가 상기 세정조 내의 세정액에 초음파를 발생시키고 있는 동안, 상기 세정조 내에 공급되는 기포의 단위시간당 공급량을 변화시키도록, 상기 기체 공급 장치를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
- 세정액을 저류하는 세정조와,상기 세정조 내의 세정액에 초음파를 발생시키는 초음파 발생 장치와,수직 방향으로 이동 가능하며, 상기 세정조 내의 세정액 중에 기포를 토출하는 기포 토출 부재와,상기 기포 토출 부재와 연결되어, 상기 기포 토출 부재에 기체를 보내주는 기체 공급 장치와,상기 기체 공급 장치에 접속되어, 상기 기체 공급 장치의 동작을 제어하는 제어 장치를 구비하고,상기 제어 장치는, 상기 초음파 발생 장치가 상기 세정조 내의 세정액에 초음파를 발생시키고 있는 동안, 상기 세정조 내에 공급되는 기포의 단위시간당 공급 개수를 변화시키도록, 상기 기체 공급 장치를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
- 제1항 또는 제18항에 기재된 기판 세정 방법을 실행하는 프로그램이 기록된 기록 매체.
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