JP4317884B2 - 超音波切断装置 - Google Patents
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Description
前記貯留槽の底板裏面に取り付けられた超音波振動子と、
前記貯留槽に液媒体を供給する液供給手段と、
前記基板の処理面と前記貯留槽の底板表面とを対向させ、少なくともその間隙に満たされる液媒体が前記超音波振動子の振動による気泡を発生させない液深に設定されるように、該基板を支持する支持手段と、
前記基板から切断した被処理体を液媒体と一緒に前記貯留槽から排出して回収する排出手段とを備え、
前記支持手段により前記基板を支持して該基板の処理面と前記貯留槽の底板表面とを対向させ、前記液供給手段により少なくともその間隙を前記超音波振動子の振動による気泡を発生させない液深に設定された少量の液媒体で満たし、該超音波振動子により該貯留槽の底板を厚さ方向に振動させ、振動による気泡を液媒体中に発生させることなく、液媒体を介して該基板に振動を伝達させることで、被処理体の付け根部分に応力を加えて、該基板から被処理体を付け根部分から切断して、前記排出手段により、該基板から切断した被処理体を液媒体と一緒に該貯留槽から排出して回収するようにしたことを特徴とするものである。
前記貯留槽の上方には、前記基板と対向する反射板が配置されていることを特徴とするものである。
前記超音波振動子は、前記貯留槽の底板裏面に複数配置されていることを特徴とするものである。
前記支持手段は、前記貯留槽内に設けられて前記基板を両端支持する一対のガイドスペーサで構成されていることを特徴とするものである。
前記基板を前記貯留槽内に搬送する搬送手段を備え、
前記排出手段は、前記搬送手段で搬送された前記基板を前記貯留槽内から排出するように構成されていることを特徴とするものである。
前記排出手段は、前記貯留槽を傾斜させて前記基板を傾斜方向に排出するとともに、該基板から切断した被処理体を液媒体と一緒に傾斜方向に排出して回収するように構成されていることを特徴とするものである。
前記貯留槽に貯留する液媒体の液面から該貯留槽の底面までの深さは、前記超音波振動子の振動周波数の1/4波長以下に設定されていることを特徴とするものである。
次に、基板Pの処理面側に成長させた被処理体を超音波切断装置10で切断して回収するための動作手順について、図1〜図4を用いて説明する。
20 搬送ユニット(搬送手段)
30 基板収容ユニット
40 振動ユニット
41 貯留槽
42 超音波振動子
43 ガイドスペーサ(支持手段)
45 液供給ユニット(液供給手段)
50 反射ユニット
52 反射板
60 排出ユニット(排出手段)
70 回収ユニット
P 基板
Claims (7)
- 基板の処理面側に成長させた被処理体を該基板から切断して回収するための超音波切断装置であって、
振動伝達媒体としての液媒体を貯留する貯留槽と、
前記貯留槽の底板裏面に取り付けられた超音波振動子と、
前記貯留槽に液媒体を供給する液供給手段と、
前記基板の処理面と前記貯留槽の底板表面とを対向させ、少なくともその間隙に満たされる液媒体が前記超音波振動子の振動による気泡を発生させない液深に設定されるように、該基板を支持する支持手段と、
前記基板から切断した被処理体を液媒体と一緒に前記貯留槽から排出して回収する排出手段とを備え、
前記支持手段により前記基板を支持して該基板の処理面と前記貯留槽の底板表面とを対向させ、前記液供給手段により少なくともその間隙を前記超音波振動子の振動による気泡を発生させない液深に設定された少量の液媒体で満たし、該超音波振動子により該貯留槽の底板を厚さ方向に振動させ、振動による気泡を液媒体中に発生させることなく、液媒体を介して該基板に振動を伝達させることで、被処理体の付け根部分に応力を加えて、該基板から被処理体を付け根部分から切断して、前記排出手段により、該基板から切断した被処理体を液媒体と一緒に該貯留槽から排出して回収するようにしたことを特徴とする超音波切断装置。 - 請求項1において、
前記貯留槽の上方には、前記基板と対向する反射板が配置されていることを特徴とする超音波切断装置。 - 請求項1又は2において、
前記超音波振動子は、前記貯留槽の底板裏面に複数配置されていることを特徴とする超音波切断装置。 - 請求項1乃至3のうち何れか1項において、
前記支持手段は、前記貯留槽内に設けられて前記基板を両端支持する一対のガイドスペーサで構成されていることを特徴とする超音波切断装置。 - 請求項1乃至4のうち何れか1項において、
前記基板を前記貯留槽内に搬送する搬送手段を備え、
前記排出手段は、前記搬送手段で搬送された前記基板を前記貯留槽内から排出するように構成されていることを特徴とする超音波切断装置。 - 請求項5において、
前記排出手段は、前記貯留槽を傾斜させて前記基板を傾斜方向に排出するとともに、該基板から切断した被処理体を液媒体と一緒に傾斜方向に排出して回収するように構成されていることを特徴とする超音波切断装置。 - 請求項1乃至6のうち何れか1項において、
前記貯留槽に貯留する液媒体の液面から該貯留槽の底面までの深さは、前記超音波振動子の振動周波数の1/4波長以下に設定されていることを特徴とする超音波切断装置。
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