JP5320845B2 - 洗浄装置、洗浄方法及び電子デバイスの製造方法 - Google Patents
洗浄装置、洗浄方法及び電子デバイスの製造方法 Download PDFInfo
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Description
図3は、本発明の第1実施形態に係る洗浄装置の全体構成を示す模式図である。図4(a)は、本発明の第1実施形態に係る洗浄装置の超音波洗浄ユニットの先端部分の外観を示す斜視図であり、図4(b)はその正面図である。図5は、本発明の第1実施形態に係る洗浄装置の洗浄中の様子を示す断面図である。図6は、本発明の第1実施形態に係る洗浄装置でのウエハ及び超音波照射ユニットの移動方向を示す模式図である。なお、図中の矢印Yで示す方向は鉛直上方向に対応する(上記以外の他の図でも同様である)。
以下、第1実施形態の変形例について説明する。ここに、図7(a)は、中心に噴出口が設けられた照射面を水平に配置したときの洗浄液の流れの様子を示す模式図であり、図7(b)は、同じ照射面を垂直に配置した時の洗浄液の流れの様子を示す模式図である。
そこで、第1実施形態に係る振動体20の変形例1として、図8に示すような振動体25を洗浄装置10に用いることができる。ここに、図8(a)は、本発明の第1実施形態の変形例1に係る振動体の外観を示す斜視図であり、図8(b)はその正面図である。
振動体20の変形例2として、図9に示すような振動体26を洗浄装置10に用いることができる。ここに、図9(a)は、本発明の第1実施形態の変形例2に係る振動体の外観を示す斜視図であり、図9(b)はその正面図である。
振動体20の変形例3として、図10に示すような振動体27を洗浄装置10に用いることができる。ここに、図10(a)は、本発明の第1実施形態の変形例3に係る振動体の正面図であり、図10(b)は図10(a)のIII-III線に沿った断面図である。
第1実施形態に係る振動体20の変形例4として、図11に示すような振動体28を洗浄装置10に用いることができる。ここに、図11は、本発明の第1実施形態の変形例4に係る振動体の正面図である。本実施形態の変形例4に係る振動体28は、変形例3に係る振動体27の噴出口27b(図10参照)の位置を変更したものである。図11に示すように、変形例4に係る振動体28は、照射面28a上に水平方向に伸びる溝28dが形成されており、噴出口28bの位置が照射面28aの中心よりも上側に配置されている。噴出口28bの位置は、例えば照射面28aの上端側から7.5mm程度下の位置とすることができる。なお、振動体28の溝28dを含めたその他の部分の形状は、変形例3に係る振動体27と同様とすることができる。
第1実施形態に係る振動体20の変形例5として、図12に示すような振動体29を洗浄装置10に用いることができる。ここに、図12は、本発明の第1実施形態の変形例5に係る振動体の正面図である。本実施形態の変形例5に係る振動体29は、変形例3に係る振動体27の照射面27aの形状及び噴出口27b(図10参照)の位置を変更したものである。
以下、本発明の第2実施形態について説明する。ここに、図13は、本発明の第2実施形態に係る洗浄装置の全体構成を示す模式図である。図14は、本発明の第2実施形態に係る洗浄装置の第1の洗浄動作を示す模式図である。図15は、本発明の第2実施形態に係る洗浄装置の第2の洗浄動作を示す模式図である。なお、上記各図において、第1実施形態と同様の構成については同様の符号を付してある。
以下、図13及び図14を参照しつつ、本実施形態に係る洗浄装置30の第1の洗浄動作について説明する。ここに、図14は、第2実施形態の洗浄装置の第1の洗浄動作を示す模式図である。なお、図14は、超音波洗浄ユニット24を10台設けた洗浄装置30を例に示すものであり、符号M1〜M11は、ウエハ50がガイドローラ11cに載置されて洗浄が行われる洗浄位置を示す。符号M1は最も搬入側寄りの洗浄位置を示し、符号M11が最も搬出側寄りの洗浄位置を示す。
また、各々の超音波洗浄ユニット24で超音波振動子21の発生する超音波の周波数を異なる値とすると好適である。ウエハ50の表面に付着しているパーティクルはその粒径に応じて最適な超音波周波数がある。そこで、ウエハ50の表面へのダメージが顕著にならない範囲で、異なる複数の周波数の超音波を各超音波洗浄ユニット24から順次照射することによって、パーティクルの除去効率が向上させつつ、迅速な洗浄を行うことができる。
以下、図13及び図15を参照しつつ本実施形態に係る洗浄装置30の第2の洗浄動作について説明する。ここに、図15は、第2実施形態の洗浄装置30の第2の洗浄動作を示す模式図である。なお、図15は、超音波洗浄ユニット24を10台設けた洗浄装置30を例に示すものであり、符号M1〜M11は、ウエハがガイドローラ11cに載置されて洗浄が行われる洗浄位置を示す。符号M1は最も搬入側寄りの洗浄位置を示し、符号M11が最も搬出側寄りの洗浄位置を示す。
本願発明者は、第2実施形態の洗浄装置30を用いることによって単位時間当たりのウエハ処理量を増大できることを実験的に確認した。
以上で説明した上記各実施形態に係る洗浄装置及びそれを用いた洗浄方法は、半導体装置等の電子デバイスの製造工程に使用することができる。この場合には、ウエハ上への成膜やパターニング工程等の間の洗浄工程に本実施形態に係る洗浄装置及び洗浄方法を用いることができる。
前記第1の照射面及び前記第2の照射面のそれぞれと対向する基板を保持する保持部材と、
を備えたことを特徴とする洗浄装置。
前記第1の照射面及び前記第2の照射面のそれぞれと対向する基板を保持する保持部材とを備えた洗浄装置を用いた洗浄方法であって、
前記基板を前記第1の照射面及び前記第2の照射面のそれぞれと対向させて保持し、
該保持した前記基板のそれぞれの被洗浄面を同時に洗浄する
ことを特徴とする洗浄方法。
前記第1の照射面及び前記第2の照射面のそれぞれと対向する基板を保持する保持部材とを備えた洗浄装置を用いた洗浄方法であって、
前記基板と前記第1の照射面及び前記第2の照射面のそれぞれと対向させて保持し、該保持した前記基板のそれぞれの被洗浄面を同時に洗浄する工程を有する
ことを特徴とする電子デバイスの製造方法。
12、12a、12b、12c…洗浄液供給装置、13…電源装置、13a…配線、14…ロボットハンド、15…ロボットハンドガイド、16a…搬入側ウエハカセット、16b…搬出側ウエハカセット、17…配管、20、25、26、27、28、29…振動体、20a、25a、26a、27a、28a、29a…照射面、20b、25b、26b、27b、28b、29b…噴出口、20c、25c、26c、27c、28c、29c…洗浄液流路、27d、28d、29d…溝、21…超音波振動子、22…支持体、23…駆動機構、50、99…ウエハ(基板)、100、200…洗浄装置、101…超音波ノズル、102…洗浄液、103…照射領域、104…支持体、201…振動体、201a…照射面、202…超音波振動子、203…洗浄液ノズル、204…支持体、205…洗浄液、M1〜M11…洗浄位置。
Claims (4)
- 超音波を照射する第1の照射面及び第2の照射面を備え、かつ、前記第1の照射面及び前記第2の照射面内に洗浄液を噴出する噴出口をそれぞれ備えた振動体と、
前記第1の照射面及び前記第2の照射面のそれぞれと対向する基板を保持する保持部材と、
を備え、
前記保持部材は前記基板を鉛直方向に立てて保持し、前記噴出口は前記照射面の中央よりも上側であって、前記洗浄液が前記基板と第1の照射面及び前記第2の照射面との間の領域全体に均一に行き渡るような位置に配置されていることを特徴とする洗浄装置。 - 前記振動体を複数備え、前記振動体と前記基板とが交互に配置されること特徴とする請求項1に記載の洗浄装置。
- 超音波を照射する第1の照射面及び第2の照射面を備え、かつ、前記第1の照射面内及び前記第2の照射面内に洗浄液を噴出する噴出口をそれぞれ備えた振動体と、前記第1の照射面及び前記第2の照射面のそれぞれと対向する基板を保持する保持部材と、を備え、前記保持部材は前記基板を鉛直方向に立てて保持し、前記噴出口は前記照射面の中央よりも上側であって、前記洗浄液が前記基板と第1の照射面及び前記第2の照射面との間の領域全体に均一に行き渡るような位置に配置されている洗浄装置を用いた洗浄方法であって、
前記基板を前記第1の照射面及び前記第2の照射面のそれぞれと対向させて保持し、
該保持した前記基板のそれぞれの被洗浄面を同時に洗浄する
ことを特徴とする洗浄方法。 - 超音波を照射する第1の照射面及び第2の照射面を備え、かつ、前記第1の照射面及び前記第2の照射面内に洗浄液を噴出する噴出口をそれぞれ備えた振動体と、前記第1の照射面及び前記第2の照射面のそれぞれと対向する基板を保持する保持部材と、を備え、前記保持部材は前記基板を鉛直方向に立てて保持し、前記噴出口は前記照射面の中央よりも上側であって、前記洗浄液が前記基板と第1の照射面及び前記第2の照射面との間の領域全体に均一に行き渡るような位置に配置されている洗浄装置を用いた洗浄方法であって、
前記基板を前記第1の照射面及び前記第2の照射面のそれぞれと対向させて保持し、該保持した前記基板のそれぞれの被洗浄面を同時に洗浄する工程を有する
ことを特徴とする電子デバイスの製造方法。
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JP2008161941A JP5320845B2 (ja) | 2008-06-20 | 2008-06-20 | 洗浄装置、洗浄方法及び電子デバイスの製造方法 |
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