JP2001189354A - ニードルカードの調整装置 - Google Patents

ニードルカードの調整装置

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JP2001189354A JP2000334568A JP2000334568A JP2001189354A JP 2001189354 A JP2001189354 A JP 2001189354A JP 2000334568 A JP2000334568 A JP 2000334568A JP 2000334568 A JP2000334568 A JP 2000334568A JP 2001189354 A JP2001189354 A JP 2001189354A
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needle
card
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ニードルカード１が検査ヘッド５に対するコ
ンタクトインタフェースとして用いられる基板３に接続
されている、ニードルカードのニードルセット６をコン
タクト形成すべきウェハ８に関連して平坦化するための
ニードルカード調整装置を一層簡単に調整できるように
する。 【解決手段】 ニードルカードは別個の、ダイナミック
に動作する調整ユニット４；１１を介して基板３に接続
されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ニードルカード
（プローブカードとも称される）のニードルセットを、
コンタクト形成すべきウェハのニードルセットに関連し
て平坦化するための調整装置であって、ニードルカード
が検査ヘッドに対するコンタクト・インタフェースとし
て用いられる基板に接続されている形式のものに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ＤＥ２５４４７３５Ａ１号から、検査尖
端を支持している個々の検査ヘッドの間の距離を調整設
定することができる検査ヘッド支持体が公知である。こ
れにより、検査ヘッドの、セラミック基板の種々異なっ
た収縮に対する整合を実現するようにしている。
【０００３】更に、ＵＳ５８６１８５９号明細書には、
検査カードに対する自動平坦化システムが記載されてお
り、該システムでは、検査カードはウェハ表面に関して
次のように調整される。すなわち、検査カードの３つの
尖端をまずウェハ表面に配向する。これら尖端のうち２
つは高さ方向に可変である。
【０００４】ニードルカードのニードルセットは周知の
ように、一方におけるチップの個々のコンタクトパッド
ないしコンタクトクッション間の電気的な接続と、他方
におけるウェハ上のチップの機能性を検査するために、
検査ヘッドを形成している。その際ニードルカードのニ
ードルセットの、コンタクト形成すべきウェハに関連し
た平坦化、もしくはウェハに含まれているチップは同時
にコンタクト形成すべきチップの数が増大するに従って
ますます煩雑である。すなわちニードルセットは１／４
μｍのオーダまで正確に、これらに対応付けられてい
る、チップのコンタクトパッドに調整されなければなら
ない。
【０００５】その際、チップに対して相対的なニードル
カードのスタチックな調整に対して付加的に、更にダイ
ナミック成分も考慮されなければならないことに注目す
べきである。ダイナミック成分は例えば加熱ないし冷却
の期間にニードルカードの熱膨張に規定されて「チャッ
ク」とも称されるウェハ保持装置を介して生じるもので
ある。別のダイナミック成分はニードルカードのエージ
ング効果に起因するものである。ニードルカードの上に
はニードルセットが大抵接着されている。しかしダイナ
ミック成分は、例えば振動の場合のような非常に短い時
定数を持っている可能性もある。
【０００６】ニードルセットがニードルカードに接着さ
れている場合、ニードルセットはこれまで調整されない
かまたはそれぞれ個々のニードルを後から撓ませること
によってしか調整されない。この場合には、１／４μｍ
までの精度が要求される場合、著しいコストおよび時間
がかかることになる。ニードルセットがいわゆるスペー
ストランス上に取り付けられているならば、これらは簡
単なねじを用いて調整することができるが、これでは上
述した精度は実現するのが非常に難しい。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】それ故に本発明の課題
は、ニードルカードのニードルセットをコンタクト形成
すべきウェハに関連して問題なく平坦化することができ
るようにしたニードルカード調整装置を提供することで
ある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この課題は、冒頭に述べ
た形式のニードルカードの調整装置において本発明によ
れば、ニードルカードが別個の、ダイナミックに動作す
る調整ユニットを介して基板に接続されていることによ
って解決される。有利には、この調整ユニットは少なく
とも１つのピエゾエレメントから構成されている。しか
し調整ユニットは複数のピエゾエレメントを有してお
り、これらピエゾエレメントがニードルカードの縁部領
域において該ニードルカードに把持されているようにす
ることもできる。
【０００９】本発明のニードルカードの調整装置によっ
て、ニードルカードの平坦性を難なく然るべき場所でダ
イナミック調整によって実現することができる。すなわ
ち、例えばニードルカードの熱膨張によってまたは短時
間の振動によって引き起こされたニードルカードの調整
外れは、難なく補正される。ニードルカードはダイナミ
ックに調整設定することができるために、ニードルカー
ドとウェハとの間の、ウェハのコンタクト形成の際の平
行度はウェハ縁部を介して補正される。
【００１０】ニードルカードを基板に接続している別個
の、ダイナミックに動作する調整ユニットによって難な
くダイナミック効果も補正可能であるので、付加的な調
整設定装置に対する要求はいずれも不要になる。また、
コンタクト検査ループを用いて、すなわち所属のパッド
に対するそれぞれのニードルのコンタクトを検証するた
めのプログラムを用いて、調整を行うことができる。
【００１１】調整ユニットは、ニードルカードの表面に
よって形成される平面に対して実質的に垂直に、および
／または実質的に該平面にある方向において作用するも
のとすることができる。
【００１２】調整ユニットを殊にピエゾエレメントから
構成することによって、その調整設定の能力は高い精度
で実現される。
【００１３】
【実施例】次に本発明を図示の実施例につき図面を用い
て詳細に説明する。
【００１４】図１には、基板３と補強材２のウィンドウ
との間にねじ４を用いて支承されているニードルカード
１が示されている。その際基板３は検査ヘッド５に対す
るコンタクト・インタフェースとして用いられる。検査
ヘッドを用いて検査信号をニードルカード１の個々のニ
ードル６に供給することができる。
【００１５】図２には、この種のニードル６の配置構成
が示されている。ここでニードル６はウェハのチップ８
上のパッド７に対してコンタクト形成している。
【００１６】検査ヘッド５と基板３との間の電気的な接
続は接続バス９によって示されており、一方基板３と個
々のニードル６との間には、接続ワイヤ１０が導かれて
いる。
【００１７】ねじ４は機械的な調整ユニットを表してい
る。つまり、ねじを回転することによって、ニードルカ
ード１とニードル６によってコンタクト形成されている
チップの表面との間の平行状態に近似的に影響を及ぼす
ことができるからである。
【００１８】本発明によれば、ねじ４に対して付加的
に、更にピエゾエレメント１１が設けられている。ピエ
ゾエレメントはそれぞれ、フィーラないしセンス線路１
２およびアクティブ線路１３を介して制御ユニット１４
に接続されている。ピエゾエレメント１１によってニー
ドルカード１のニードル６とウェハ表面との間の誤った
配向が検出されると、この誤配向はセンス線路１２を介
して計算機１４に通報される。計算機において誤配向を
補償調整するために必要な補正が計算されて、それから
相応の信号がアクティブ線路１３を介してピエゾエレメ
ント１１に送出される。
【００１９】図１には分かり易くするために、１つのピ
エゾエレメント１１に対してしか示されていないが、す
べてのピエゾエレメント１１が相応の線路１２，１３を
介して制御ユニット１４に接続されていることは勿論で
ある。
【００２０】ピエゾエレメントに代わって、ダイナミッ
クな調整を可能にする別の構成部品を使用することもで
きる。
【００２１】線路１２，１３は制御ユニット１４ととも
にコンタクト検査ループを形成する。このループを用い
て、ピエゾエレメント１１の膨張ないし収縮によって所
望の調整を行うことができる。
【００２２】ニードルカードの零位置は調整が実施され
た後、ねじ４を用いて調整設定することができるので、
ピエゾエレメント１１は後調整を行えばよいだけであ
る。
【００２３】図３には、ニードルカード１がニードル６
から成るセットとともに補強材２のウィンドウに置かれ
ている本発明の別の実施例が示されている。ここでは、
この補強材２と基板３との間にピエゾエレメント１１が
配置されているので、調整は付加的なねじ４を介してで
はなくて、ピエゾエレメント１１を介してだけ行われる
ようになっている。
【００２４】その他、図３の実施例は、図１の実施例と
同じように構成されている。すなわち、ここでもピエゾ
エレメント１１は相応の線路（図３には特には示されて
いない）を介して制御ユニットに接続されている。
【００２５】図４には、補強材２として作用する固定の
フレームに取り付けられておりかつこのフレームに対し
てラテラル方向にもしくは相互に、ピエゾエレメント１
１によってずらすことができる複数のニードルカード１
の配置が示されている。
【００２６】このようなラテラル方向に作用するピエゾ
エレメントは、これらが例えば図１において補強材２と
ニードルカード１との間に適当な方法で取り付けられる
とき、図１および図３のバーチカル方向に作用するピエ
ゾエレメントとも問題なく組み合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例によるニードルカード調整
装置の側面略図である。
【図２】チップ上のパッドに接触接続しているニードル
の概略図である。
【図３】本発明の第２実施例によるニードルカード調整
ユニットの側面略図である。
【図４】本発明の第３実施例によるニードルカード調整
ユニットにおける複数のニードルカードセットの平面略
図である。
【符号の説明】
１ ニードルカード、 ２ 補強材、 ３ 基板、 ４
ねじ、 ５ 検査ヘッド、 ６ ニードル、 ７ パ
ッド、 ８ ウェハ、 ９ 接続バス、 １０接続ワイ
ヤ、 １１ ピエゾエレメント、 １２ フィーラない
しセンス線路、 １３ アクティブ線路、 １４ 制御
ユニット

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ニードルカード（１）のニードルセット
    （６）を、コンタクト形成すべきウェハ（８）に関連し
    て平坦化するためのニードルカードの調整装置であっ
    て、ニードルカード（１）は検査ヘッド（５）に対する
    コンタクトインタフェースとして用いられる基板（３）
    に接続されている形式のものにおいて、ニードルカード
    （１）は別個の、ダイナミックに動作する調整ユニット
    （４；１１）を介して基板（３）に接続されていること
    を特徴とするニードルカードの調整装置。
  2. 【請求項２】 調整ユニットは少なくとも１つのピエゾ
    エレメント（１１）から構成されている請求項１記載の
    ニードルカードの調整装置。
  3. 【請求項３】 調整ユニットは複数のピエゾエレメント
    （１１）を有しており、該ピエゾエレメントはニードル
    カード（１）の縁部領域において該ニードルカードに把
    持されている請求項２記載のニードルカードの調整装
    置。
  4. 【請求項４】 調整ユニット（４；１１）はセンス線路
    （１２）およびアクティブ線路（１３）を介して制御ユ
    ニット（１４）に接続されている請求項１から３までの
    いずれか１項記載のニードルカードの調整装置。
  5. 【請求項５】 ニードルカード（１）と調整ユニット
    （１１）との間に付加的に補強材（２）が設けられてい
    る請求項１から４までのいずれか１項記載のニードルカ
    ードの調整装置。
  6. 【請求項６】 調整ユニット（４；１１）は、ニードル
    カードの表面によって形成される平面に対して実質的に
    垂直に、および／または実質的に該平面にある方向にお
    いて作用する請求項１から５までのいずれか１項記載の
    ニードルカードの調整装置。
JP2000334568A 1999-11-03 2000-11-01 ニードルカードの調整装置 Pending JP2001189354A (ja)

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