JP2001184602A - 磁気記録媒体または磁気ヘッドの検査装置 - Google Patents

磁気記録媒体または磁気ヘッドの検査装置

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JP2001184602A JP36536299A JP36536299A JP2001184602A JP 2001184602 A JP2001184602 A JP 2001184602A JP 36536299 A JP36536299 A JP 36536299A JP 36536299 A JP36536299 A JP 36536299A JP 2001184602 A JP2001184602 A JP 2001184602A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】磁気ディスク装置の高周波化に対応して磁気記
録媒体または磁気ヘッド検査の高精度化および高速化を
実現する。 【解決手段】ディスク再生信号をN分配し且つサンプリ
ングクロックをN分配して、該ディスク再生信号または
該サンプリングクロックのいずれかに位相差を与え、デ
ィスク再生信号に対してN個配設したA/D変換回路と
メモリとを並列に動作させることで、ディスク再生信号
を高速にディジタル値に変換して該メモリに保持する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、書き込みおよび読
み出し可能な磁気記録媒体または磁気ヘッドを検査する
磁気記録媒体または磁気ヘッドの検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、ワークステーション等の情報処理
装置において外部記憶装置として磁気記録装置が用いら
れてきた。特に磁気ディスク装置は、近年における磁性
体または磁気ヘッドの改良や信号処理技術の向上等によ
り記録密度の高密度化、記録周波数の高周波化および磁
気ディスク装置の低価格化がすすみ、情報処理装置の高
速化および低価格化の一端を担っていることはよく知ら
れている。
【0003】また磁気ディスク装置は、外部記憶装置と
して記録/再生したデータに対して高信頼性であること
が要求されており、磁気ディスク装置に用いる磁気ディ
スクあるいは磁気ヘッドの検査は、実使用周波数で磁気
ディスクあるいは磁気ヘッドを用いて試験データの記録
・再生を行って検査する方式がよく用いられている。
【0004】特に磁気ディスクについては、磁気ディス
クに記録した試験データを記録/再生して、例えば国際
ディスクドライブ協会(IDEMA)において推奨され
ている試験パラメータである図11に示すようなディス
ク再生信号の平均振幅であるTAA(Track Average Am
plitude)または平均振幅(TAA)の50%点におけ
るディスク再生信号の平均パルス幅であるPW50等を
測定するパラメトリックテストを行って検査対象ディス
クの評価および検査を行う。
【0005】また、磁気ディスクに対して一定周期デー
タの書き込み/読み出しを行った際に、ディスク再生信
号振幅がデータパルス単位で平均ディスク再生信号振幅
よりも過小な振幅で再生されるミッシングエラーや平均
振幅よりも過大な振幅で再生されるスパイクエラー等を
検出するサーティファイテスト等を行って検査対象ディ
スクの評価および検査を行う。
【0006】図10は、従来の磁気記録媒体または磁気
ヘッドの検査装置の構成を示す図である。
【0007】図10に示す検査装置では、まず検査対象
とする磁気ディスク101をディスク回転部103によ
り回転動作させ、これに対して、テスト信号発生回路6
02で周波数foのテスト信号Stを発生して書き込み
制御回路603に加え、書き込み制御回路603でテス
トデータを生成し、書込/読出アンプ601においてテ
ストデータを所定のレベルの書き込み電流に変換して、
良品または磁気特性を認知しているR/Wヘッド102
を介して磁気ディスク101に順次テストデータを書き
込む。
【0008】書き込み終了後、テストデータを書き込ん
だ磁気ディスク101上のトラックに対して、R/Wヘ
ッド102により順次に書込/読出アンプ601を介し
て正相、逆相の2つの信号としてディスク再生信号を再
生し、レベル調整用アンプ(AMP)604に送出す
る。ここでレベル調整された2つのディスク再生信号
(それぞれ周波数foのテスト信号Stに対応する信
号)Ss1、Ss2は、TAA検出回路605とPW検
出回路607と波形比較回路608とに入力される。
【0009】TAA検出回路605は、例えば電圧比較
回路(コンパレータ)と制御電流源とコンデンサとトラ
ック1周積分回路とを用いて構成し(図示せず)、コン
デンサ充電電圧とディスク再生波形電圧とを比較して、
コンデンサ充電電圧よりもディスク再生信号電圧が高け
ればコンデンサを充電するように制御電流源をコンパレ
ータにより制御してディスク再生信号のピーク値付近の
包絡線電圧を検出し、トラック1周積分回路によりトラ
ック1周期間の包絡線電圧積分値を検出する。包絡線電
圧積分値に対してトラック1周分の時間で除算処理を行
うこと、すなわちディスク再生信号の包絡線電圧に対し
て平均化処理を行うことでディスク再生信号の平均振幅
値TAAを検出してスライスレベル作成回路606に出
力する。
【0010】また制御部110のCPU111は、TA
A検出回路の出力である平均振幅値TAAを読み込み、
TAA計測を行う。
【0011】スライスレベル作成回路606では、TA
Aの電圧レベルに対して50%の電圧を閾値(スライス
レベル)としてスライス設定1としてPW検出回路60
7に出力し、また制御部110のCPU111により出
力された制御信号PによりTAAの電圧レベルに対して
P%の電圧値をスライス設定2として波形比較回路60
8に出力する。
【0012】PW検出回路607は、例えば電圧比較回
路(コンパレータ)と制御電流源とコンデンサとトラッ
ク1周積分回路とで構成し(図示せず)、上述のディス
ク再生信号がスライス設定1のレベルを超える時間だけ
コンデンサを充電するように制御電流源をコンパレータ
により制御し、コンデンサ充電電圧をトラック1周積分
回路においてトラック1周期間積分してパルス幅積分値
(電圧)を検出する。制御部110のCPU111は、
PW検出回路607の出力であるパルス幅積分値(電
圧)を制御電流源の充電電流値とトラック1周期間のデ
ィスク再生信号パルス数で除算処理することで、前述の
平均パルス幅PW50を計測する。
【0013】波形比較回路608は、例えば電圧比較回
路(コンパレータ)で構成され、前述のディスク再生信
号の電圧値とスライス設定2の電圧値との比較結果を検
出信号としてエラー検出回路609に出力する。エラー
検出回路609はゲート回路で構成され、上述のテスト
信号発生回路602から送出されるテストデータの各ビ
ットに対応するタイミング信号Tをもとに所定の設定期
間のみディスク再生信号パルスのピーク位置を検出する
ウィンドウパルスを生成し、波形比較回路608の出力
である検出信号とウィンドウパルスとから例えばミッシ
ングエラーやスパイクエラー等のエラーを検出して、タ
イミング信号Tの各ビットに同期させてビットエラー信
号Erをエラーメモリ610に出力する。エラー検出回
路609はまた、制御部110のCPU111からの制
御信号Pを受けて、上述のミッシングエラーやスパイク
エラー等の各エラーを検出するように、エラーの種別に
応じて動作状態を切り替えられる。
【0014】エラーメモリ610は、テスト信号発生回
路が602発生するタイミング信号Tを受けてエラーメ
モリ610のアドレスを順次更新し、またエラー検出回
路609が出力するエラー信号Erを欠陥データ
“1”、“0”として更新されたアドレスに順次記憶す
る。CPU111は、検査対象とする磁気ディスク10
1の全周のテストが終了した時点でエラーメモリ610
の内容をバスを介してメモリ112に読み込んで磁気デ
ィスク101の評価を行う。
【0015】上述は検査対象が磁気ディスクであるが、
検査対象が磁気ヘッドの場合には、図11の磁気ヘッド
101として良品または磁気特性の認識している磁気デ
ィスクを使用することで、同じ構成で、磁気ヘッドであ
るR/Wヘッド102の評価を行う従って図10に示し
た従来の磁気記録媒体または磁気ヘッドの検査装置は、
検査対象とする磁気ディスク101に対して上述の回路
動作を行うことで、TAAまたはPW50を測定してパ
ラメトリックテストを実現し、またミッシングエラーま
たはスパイクエラーを測定してサーティファイテストを
実現する。本技術に関連した公知例としては、例えば特
開平10−83501号公報に、従来のサーティファイ
アの概略として述べられている。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来か
らのアナログ方式による磁気記録媒体または磁気ヘッド
の検査装置では、例えば上述の通り包絡線検波回路を用
いてディスク再生信号振幅値を検出するため、図11に
示したTAAを厳密に計測することについて考慮されて
おらず、さらにトラック1周積分回路を用いて平均化処
理することでディスク再生信号からTAAおよびPW5
0を計測するため、例えば不連続な任意の数のディスク
再生信号パルスにおけるパルス幅または振幅値等を検出
して磁気ディスクに対する詳細で且つ高精度な検査を行
うことについては考慮されていなかった。
【0017】また、従来からのアナログ方式を用いた磁
気記録媒体または磁気ヘッドの検査装置では、ディスク
再生信号が高周波になると、例えばTAA検出回路では
コンパレータの応答が入力の変化に間に合わずTAA検
出精度が悪化する。今後の磁気ディスク装置の高周波化
に対して従来方式と同様の検出精度でTAAを測定する
場合、例えば現状で利得54dB/周波数帯域幅2GH
zである性能のコンパレータに対して周波数帯域幅が8
GHz以上と4倍以上のICプロセス性能の向上が必要
であり、現状のICプロセス技術では実現が困難であ
る。従って従来方式では今後の磁気ディスク装置の高周
波化に対して磁気ディスクまたは磁気ヘッドを実使用周
波数で高精度に検査出来ない可能性があり、すなわち高
速/高精度な検査が出来ず、検査対象とする磁気ディス
クまたは磁気ヘッドの信頼性が低下するという課題を有
している。
【0018】また、従来からのアナログ方式を用いた磁
気記録媒体または磁気ヘッドの検査装置において、ディ
スク再生信号をディジタルサンプリングオシロスコープ
等を用いて波形観測して計測することで磁気ディスク装
置の高周波化に対応した検査方式があるが、非周期的な
任意の検査データ書き込みに対してディジタルサンプリ
ングオシロスコープではディスク再生信号波形を観測し
て計測することが不可能であるという課題を有してい
る。また周期的な検査データを用いてディジタルサンプ
リングオシロスコープ等によりディスク再生信号波形の
計測を行う場合であっても、磁気ディスクの全トラック
に対して試験データを記録/再生する検査を行う場合、
検査時間の高速化が図れず磁気ディスクの検査工程にお
けるスループットが低下するため、磁気ディスクの低価
格化が図れないという課題を有していた。
【0019】本発明の目的は、磁気ディスクまたは磁気
ヘッドに対して詳細で且つ高精度な検査が実現可能な磁
気記録媒体または磁気ヘッドの検査装置を提供すること
にある。
【0020】また、本発明の目的は、磁気ディスクまた
は磁気ヘッドに対して詳細で且つより高精度な検査が実
現可能な磁気記録媒体または磁気ヘッドの検査装置を提
供することにある。
【0021】また、本発明の目的は、磁気記録媒体また
は磁気ヘッドの検査装置において、磁気ディスクまたは
磁気ヘッドの高速な検査を実現できる磁気記録媒体また
は磁気ヘッドの検査装置を提供することにある。
【0022】また、本発明の目的は、磁気記録媒体また
は磁気ヘッドの検査装置において、再生試験データの平
均振幅値TAA並びに平均パルス幅PW50を高速に計
測することが実現できる磁気記録媒体または磁気ヘッド
の検査装置を提供することにある。
【0023】
【課題を解決するための手段】本発明は、磁気記録媒体
に磁気ヘッドにより試験用データを記録するとともに、
記録した試験データを該磁気ヘッドにより再生し所望の
処理をすることで該磁気記録媒体または磁気ヘッドの検
査を行う検査装置において、再生した試験データをディ
ジタル値に変換し、変換したディジタル値より、該磁気
記録媒体の磁気特性に関する演算処理をして、該磁気記
録媒体または磁気ヘッドの検査を行うことを特徴とする
検査装置である。
【0024】また、本発明は、前記演算処理が、該変換
したディジタル値を用いて任意の該再生試験データの波
高値あるいは任意の閾値を越えるかもしくは下回る閾値
時間を計測し、該波高値あるいは該閾値時間についての
平均値あるいは分散値あるいは偏差値あるいは累積度数
値を算出する統計演算処理または周波数解析演算処理で
あることを特徴とする検査装置である また、本発明は、磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験
用データを記録するとともに、記録した試験データを該
磁気ヘッドにより再生し所望の処理をすることで該磁気
記録媒体の検査を行う磁気記録媒体または磁気ヘッドの
検査装置において、再生した試験データをディジタル値
に変換する変換手段と、該変換手段で変換されたディジ
タル値を保持する保持手段と、該保持手段に保持された
ディジタル値より該磁気記録媒体の磁気特性に関する演
算処理をするデータ処理手段とを備え、該磁気記録媒体
または磁気ヘッドの検査を行うことを特徴とする検査装
置である。
【0025】また、本発明は、磁気記録媒体に磁気ヘッ
ドにより試験用データを記録するとともに、記録した試
験データを該磁気ヘッドにより再生し所望の処理をする
ことで該磁気記録媒体磁気記録媒体のの検査を行う検査
装置において、再生した試験データをディジタル値に変
換するN個(Nは整数)の変換手段と、該N個の変換手
段を1個の変換手段につき所定のサンプリング周波数で
動作させるサンプリングクロック制御手段と、該N個の
変換手段で変換されたディジタル値を保持するN個の保
持手段と、該N個の保持手段に保持されたディジタル値
より該磁気記録媒体の磁気特性に関する演算処理をする
データ処理手段とを備え、該磁気記録媒体または磁気ヘ
ッドの検査を行うことを特徴とする検査装置である。
【0026】また、本発明は、磁気記録媒体に磁気ヘッ
ドにより試験用データを記録するとともに、記録した試
験データを該磁気ヘッドにより再生し所望の処理をする
ことで該磁気記録媒体または磁気ヘッドの検査を行う検
査装置において、再生した試験データをディジタル値に
変換するN個の変換手段と、該N個の変換手段を1個の
変換手段につきサンプリング周波数fADCで動作させる
サンプリングクロック制御手段と、該N個の変換手段で
変換されたディジタル値を保持するN個の保持手段と、
該N個の保持手段に保持されたディジタル値より該磁気
記録媒体の磁気特性に関する演算処理をするデータ処理
手段と、該データ処理手段の出力より該磁気記録媒体の
判定処理をする解析処理手段とを備え、且つ、再生した
試験データの周波数finに対して目標とするサンプリン
グ周波数fsとの比であるMと、該周波数finと、該変
換手段を動作させるサンプリング周波数fADCとが、
N≧ M×fin/fADC である関係で且つ整数であるこ
とを特徴とする検査装置である。
【0027】また、本発明は、磁気記録媒体に磁気ヘッ
ドにより試験用データを記録するとともに、記録した試
験データを該磁気ヘッドにより再生し所望の処理をする
ことで該磁気記録媒体または磁気ヘッドの検査を行う検
査装置において、所望の周波数で発振する第1の発振手
段の出力により、該磁気記録媒体を保持する保持回転手
段を回転動作させる回転制御手段と、該保持回転手段上
の該磁気記録媒体に対向して配置される磁気ヘッドによ
り、該磁気記録媒体に該試験用データを記録する記録手
段と、該磁気ヘッドにより該磁気記録媒体に記録された
該試験用データを再生する再生手段と、再生した該試験
データをディジタル値に変換するN個の変換手段と、再
生した該試験データを該N個の変換手段に分配して供給
する再生信号分配手段と、所望の周波数で発振する第2
の発振手段に基づくクロック信号により、該N個の変換
手段を1個の変換手段につきサンプリング周波数fADC
で動作させるサンプリングクロック分配手段と、該N個
の変換手段で変換されたディジタル値を保持するN個の
保持手段と、該N個の保持手段に保持されたディジタル
値より該磁気記録媒体の磁気特性に関する演算処理をす
るデータ処理手段と、該データ処理手段の出力より該磁
気記録媒体の判定処理をする解析処理手段と、該第1の
発振手段と該第2の発振手段の発振周波数および該変換
手段を動作させるサンプリング周波数とを可変する制御
手段とを備え、且つ、再生した試験データの周波数fin
に対して目標とするサンプリング周波数fsとの比であ
るMと、該周波数finと、該変換手段を動作させるサン
プリング周波数fADCとが、N≧ M×fin/fADC で
ある関係で且つ整数であることを特徴とする磁気記録媒
体の検査装置である。
【0028】また、本発明は、磁気記録媒体に磁気ヘッ
ドにより試験用データを記録するとともに、記録した試
験データを該磁気ヘッドにより再生し所望の処理をする
ことで該磁気記録媒体または磁気ヘッドの検査を行う検
査装置において、所望の周波数で発振する第1の発振手
段の出力により、該磁気記録媒体を保持する保持回転手
段を回転動作させる回転制御手段と、該回転制御手段よ
りの回転数を表すインデックス信号および回転位置を表
す該エンコード信号をもとに、スタート信号およびスト
ップ信号に応答して、書き込み開始および終了を表す書
き込みモード信号と、読み出し開始および終了を表す読
み出しモード信号とを生成するモードおよびタイミング
制御手段と、該書き込みモード信号をもとに、該保持回
転手段上の該磁気記録媒体に対向して配置される磁気ヘ
ッドにより、該磁気記録媒体に該試験用データを記録す
る記録手段と、該読み出しモード信号をもとに、該磁気
ヘッドにより該磁気記録媒体に記録された該試験用デー
タを再生する再生手段と、再生した該試験データをディ
ジタル値に変換するN個の変換手段と、再生した該試験
データを該N個の変換手段に分配して供給する再生信号
分配手段と、所望の周波数で発振する第2の発振手段に
基づくクロック信号により、該N個の変換手段を1個の
変換手段につきサンプリング周波数fADCで動作させる
サンプリングクロック分配手段と、該N個の変換手段で
変換されたディジタル値を保持するN個の保持手段と、
該N個の保持手段に保持されたディジタル値より該磁気
記録媒体の磁気特性に関する演算処理をするデータ処理
手段と、該データ処理手段の出力より該磁気記録媒体の
判定処理をする解析処理手段と、該第1の発振手段と該
第2の発振手段の発振周波数および該変換手段を動作さ
せるサンプリング周波数とを可変する制御手段とを備
え、且つ、再生した試験データの周波数finに対して目
標とするサンプリング周波数fsとの比であるMと、該
周波数finと、該変換手段を動作させるサンプリング周
波数fADCとが、 N≧ M×fin/fADC である関係
で且つ整数であることを特徴とする磁気記録媒体の検査
装置である。
【0029】また、本発明は、磁気記録媒体に磁気ヘッ
ドにより試験用データを記録するとともに、記録した試
験データを該磁気ヘッドにより再生し所望の処理をする
ことで該磁気記録媒体または磁気ヘッドの検査を行う検
査装置において、該磁気記録媒体に対向して配置される
L個の磁気ヘッドにより、該磁気記録媒体に記録された
試験データをL個(Lは2以上の整数)の個別な信号と
して再生するL個の再生手段と、再生した試験データを
ディジタル値に変換するN個(Nは2以上の整数)の変
換手段と、再生した該試験データを所望の接続状態にし
て該N個の変換手段に分配して供給する再生信号分配手
段と、該N個の変換手段を1個の変換手段につき所定の
サンプリング周波数で動作させるサンプリングクロック
制御手段と、該N個の変換手段で変換されたディジタル
値を保持するN個の保持手段と、該N個の保持手段に保
持されたディジタル値より該磁気記録媒体の磁気特性に
関する演算処理をするデータ処理手段とを備え、該磁気
記録媒体または磁気ヘッドの検査を行うことを特徴とす
る検査装置である。
【0030】また、本発明は、磁気記録媒体に磁気ヘッ
ドにより試験用データを記録するとともに、記録した試
験データを該磁気ヘッドにより再生し所望の処理をする
ことで該磁気記録媒体の検査を行う磁気記録媒体または
磁気ヘッドの検査装置において、 再生した試験データ
をディジタル値に変換し、変換したディジタル値より、
該磁気記録媒体の磁気特性に関する演算処理をして、該
磁気記録媒体または磁気ヘッドの検査を行う検査装置で
あって、該演算処理は、該変換したディジタル値をもと
に複数の計数手段を選択的に計数動作させる第1の頻度
計測手段と、該第1の頻度計測手段の出力をもとにヒス
トグラム演算処理により再生波形の平均振幅値を計測し
て出力する第1のヒストグラム処理手段と、該第1のヒ
ストグラム処理手段の出力に1/2の計数を乗算する係
数手段と、該係数手段の出力と該変換手段の出力とを大
小比較して比較結果を出力する比較手段と、該比較手段
の出力が所定のレベルである期間においてのみ、所望の
周波数で発振動作するクロック信号パルスを計数動作す
るパルス計数手段と、該比較手段の出力の変化に基づい
て動作し該パルス計数手段の出力したパルスをもとに複
数の計数手段を選択的に計数動作させる第2の頻度計測
手段と、該第1の頻度計測手段の出力をもとにヒストグ
ラム演算処理により再生波形の平均パルス幅を計測して
出力する第2のヒストグラム処理手段とを備え、所望の
期間における該再生波形の平均振幅値および平均パルス
幅を計測することにより、該磁気記録媒体または磁気ヘ
ッドの検査を行うことを特徴とする検査装置である。
【0031】また、本発明は、磁気記録媒体に磁気ヘッ
ドにより試験用データを記録するとともに、記録した試
験データを該磁気ヘッドにより再生し所望の処理をする
ことで該磁気記録媒体の検査を行う磁気記録媒体または
磁気ヘッドの検査装置において、再生した試験データを
ディジタル値に変換し、変換したディジタル値より、該
磁気記録媒体の磁気特性に関する演算処理をして、該磁
気記録媒体または磁気ヘッドの検査を行う検査装置であ
って、該演算処理は、該変換したディジタル値をもと
に、該ディジタル値に対応した第1のメモリのアドレス
に書き込まれたデータを第1の加算回路を用いて加算し
て同じアドレスに書き込むことで頻度を計測する第1の
頻度値保持手段と、該第1の頻度値保持手段の出力をも
とにヒストグラム演算処理により再生波形の平均振幅値
を計測して出力する第1のヒストグラム処理手段と、
所定の閾値データを保持する閾値保持手段と、該閾値保
持手段の出力と該変換手段の出力とを比較して比較結果
を出力する比較手段と、該比較手段の出力が所定のレベ
ルである期間においてのみ、所望の周波数のクロック信
号パルスを計数動作するパルス計数手段と、該パルス計
数手段の出力をもとに、該ディジタル値に対応した第2
のメモリのアドレスに書き込まれたデータを第2の加算
回路を用いて加算して同じアドレスに書き込むことで頻
度を計測する第2の頻度値保持手段と、該第2の頻度値
保持手段の出力をもとにヒストグラム演算処理により所
定の閾値における再生波形の平均パルス値を計測して出
力する第2のヒストグラム処理手段とを備え、所望の期
間における該再生波形の平均振幅値および平均パルス幅
を計測することにより、該磁気記録媒体または磁気ヘッ
ドの検査を行うことを特徴とする検査装置である。
【0032】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図を
用いて説明する。
【0033】図1は本発明の第1の実施の形態について
示す構成図であり、例えば磁気記録媒体に対して設定し
た試験用データを記録し、該磁気記録媒体に記録した該
試験データを再生し、該試験データ再生信号を用いて該
磁気記録媒体または磁気記録ヘッドの良否判定、あるい
は特性測定を行う磁気記録媒体または磁気ヘッドの検査
装置の構成図である。
【0034】図1に示す磁気記録媒体または磁気記録ヘ
ッドの検査装置1では、記録動作として、ディスク回転
部103において磁気記録媒体であるディスク101を
保持して回転動作させ、書き込みデータ生成部121に
おいて検査に用いる試験用データを生成して出力し、該
書き込みデータ生成部121の該出力を書込アンプ12
2において増幅して出力し、ディスク101において試
験目標とするトラック上にR/Wヘッド102を配置し
て、該書込アンプ122の該出力をもとに該R/Wヘッ
ド102の磁界を変化させて磁気特性を有する該ディス
ク101に対して書き込み動作させて回転動作中の該デ
ィスク101の試験目標トラックに該試験用データを円
周方向に記録する。
【0035】また、再生動作として、回転動作する該デ
ィスク101に記録した試験データに基づく磁界の変化
をR/Wヘッド102において検出し、該検出信号を再
生アンプ131により増幅してディスク再生信号を出力
し、該ディスク再生信号をディスク再生信号分配回路1
32により4分配(N=4)し、4分配された該ディス
ク再生信号をそれぞれ独立なサンプリングクロック信号
を用いて4個(N=4)配設したA/D変換回路141
〜144により各々独立にディジタル値に変換して出力
し、該A/D変換回路141〜144が出力するディジ
タル値をメモリ151〜154に保持する。
【0036】該メモリ151〜154に保持されたディ
ジタル値化した該ディスク再生信号データをもとにデー
タ処理部135において該ディスク再生信号に対して目
標とする測定値を演算処理等によって算出して出力し、
該データ処理部135により出力した該ディスク再生信
号の測定値をもとに、解析処理部136において検査対
象とする該ディスクが正常であるか否かを演算して判定
処理する判定動作とを行うことで、検査対象とする磁気
ディスクまたは磁気ヘッドの検査を行う。
【0037】ディスク回転制御部103は、制御部11
0に配設したCPU111の制御により所定の周波数で
発振する可変周波数発振回路113の出力をもとに、デ
ィスク回転制御信号を生成して、ディスク回転部103
に対してディスク101を所定の回転数で一定に回転動
作するように制御する。CPU111は上述の可変周波
数発振回路113と後述する可変周波数発振回路114
とを独立に制御するため、ディスク101は試験データ
の書き込みおよび読み出しとは独立に一定回転動作する
ように制御される。
【0038】またディスク回転制御部104は、ディス
ク回転部103が出力するディスク回転数検出信号をも
とにモード切替/タイミング制御部137に対してイン
デックス信号(ディスク1回転あたり1パルス出力)あ
るいはエンコーダ信号(例えばディスク1回転あたり1
024あるいは2048パルス出力)を出力する。
【0039】該モード切替/タイミング制御部137
は、制御部110に配設したCPU111の制御により
所定の周波数で発振する可変周波数発振回路114の出
力である基準クロック信号を受けて回路動作し、内部の
記録再生セクタ判別部(図示せず)において、例えばカ
ウンタ等のパルス計数回路により、セクタカウンタを設
けて、図2に示すごとく該ディスク回転制御部104が
出力した該インデックス信号を用いて該セクタカウンタ
を0にリセットし且つ該エンコーダ信号のパルス数を計
数動作することで該R/Wヘッド102により試験デー
タの記録/再生を行う該ディスクのセクタ位置(以下、
セクタ位置と記す)を判別する。
【0040】また設定したスタートセクタ値およびスト
ップセクタ値と該セクタカウンタの出力値であるセクタ
位置とを一致比較することでスタート検出信号およびス
トップ検出信号を内部的に生成して該ディスク101に
対する書き込みモードあるいは読み出しモードの開始/
終了のタイミングを判別し、書込みモード信号あるいは
読み出しモード信号の生成を行って検査装置1の各部に
対してモード切り替えとタイミング制御を行う。
【0041】図2(1)は、インデックス信号とエンコー
ダ信号とを用いて任意のセクタを検査する例を示すもの
で、例えばディスク回転制御部104においてエンコー
ダ信号をディスク1回転あたり2048パルス出力し、
スタートセクタ値を2でストップセクタ値を2044と
した場合について、検査対象期間の判別および書き込み
モード信号/読み出しモード信号の切り替え動作を行う
例を示した図である。
【0042】ここで、書き込みおよび読み出しの各モー
ド期間は検査装置1のユーザが決定する所定の期間であ
り、制御部110内のメモリ112に保持したテストプ
ログラムによりCPU111を介して、該モード切替/
タイミング制御部137内のレジスタ等にスタートセク
タ値およびストップセクタ値として設定する。該モード
切替/タイミング制御部137において配設した上述の
記録再生セクタ判別部により、スタート検出信号はセク
タ位置とスタートセクタ値とが一致する期間のみ有効状
態を表す電圧レベルを出力し、ストップ検出信号はセク
タ位置とストップセクタ値とが一致する期間のみ効状態
を表す電圧レベルを出力する。
【0043】従って該モード切替/タイミング制御部1
37では、スタート検出信号パルス出力時からストップ
検出信号出力時までの間を検査対象期間として判別可能
であり、図2(1)に図示するように例えばディスクN回
転目において検査対象とする期間に書き込みモード信号
を生成し、ディスクN+1回転において検査対象とする
期間に書き込みモード信号の生成を行うことで、ディス
ク101の任意のセクタに対して試験が可能となる。
【0044】また図1および図2には特に図示していな
いが、記録再生セクタ判別部において試験データ書き込
み時と読み出し時とにおいて各々スタートセクタ値とス
トップセクタ値とをモード毎に個別に設定できる構成と
することで、試験データの書き込み期間と読み出し期間
とを各々独立して設定することが可能である。またイン
デックス信号計数回路を配設してディスク回転数判別機
能を加えることで、任意の回転数で且つ任意のセクタに
対して試験データの書き込みと読み出しとが可能とな
る。
【0045】次に図2(2)にインデックス信号のみを用
いてディスク検査を行う例を示す。図2(2)は書き込み
モード信号あるいは読み出しモード信号が有効になって
最初のインデックス信号パルスをスタートパルスとして
出力し、書き込みあるいは読み出しモードにおいてスタ
ートパルスとして用いたインデックス信号パルスの次の
パルスをストップパルスとして出力することで、ディス
ク1回転分の書き込みあるいは読み出し動作を行う、す
なわち磁気ディスク101のトラック毎の検査を行う例
を示したものである。
【0046】図2(2)では例えばディスク101のN回
転目とN+2回転目とでスタートパルスを出力し、ディ
スク101のN+1回転目とN+3回転目とでストップ
パルスを出力する例を示している。ここで、図2(2)で
はディスク101に対して回転数単位で書き込みあるい
は読み出し動作を行う例を示しているが、記録再生セク
タ判別部において任意の周波数のクロック信号で動作し
且つ該インデックス信号でリセット動作するような計数
回路を配設して図2(1)と同様にセクタ計数動作を行う
機能を持たせることで、任意のセクタに対して検査する
ことが可能となることはいうまでもない。
【0047】また該モード切替/タイミング制御部13
7は、上述のセクタ判別動作に加えて、検査装置1の各
部に対して例えば書き込み動作と読み出し動作と解析処
理動作とからなる三つの動作状態について制御を行う。
すなわち第一の動作状態である書き込み動作時におい
て、該モード切替/タイミング制御部137は、前述の
セクタ検出機能により書き込みセクタの判別を行って生
成した書き込みモード信号をもとに、ディスク101へ
の記録ビット周波数に等しく設定したデータ生成信号タ
イミング信号を書き込みデータ生成部121に対して出
力して書き込みデータ生成制御を行い、またR/Wヘッ
ド102において試験データに応じて書き込み磁界を変
化させるため該書き込みモード信号により書き込みアン
プ122の出力端子を出力可能になるように制御するこ
とで、該ディスク101に対してデータの書き込み動作
を制御する。
【0048】また、書き込み動作時において該モード切
替/タイミング制御部137は読み出しモード信号を不
可状態とすることで、該サンプリングクロック分配回路
132と該A/D変換回路141〜144と該メモリ制
御信号分配回路134と該メモリ151〜154とに対
して各々の動作を停止するように各制御信号を出力し
て、該ディスク101への書き込み信号をディスク再生
信号として誤って読み出すことのないように各部を制御
する。上述の書き込み動作は、図2に示す検査対象期間
(書き込み)中における検査装置の動作状態について述
べたものである。
【0049】第二の動作状態である読み出し動作時にお
いて、該モード切替/タイミング制御部137は、上述
のセクタ検出機能により読み出しセクタの判別を行って
生成した読み出しモード信号をもとに、ディスク再生信
号分配回路132によって分配したディスク再生信号を
N個配設した該A/D変換回路141〜144において
サンプリングするため、サンプリングクロック分配回路
133において設定したタイミングでサンプリングクロ
ックCLK1,CLK2,CLK3,CLK4を生成し
て出力するように読み出しモード信号とサンプリングク
ロックとをサンプリングクロック分配回路133に出力
する。
【0050】また同時に該モード切替/タイミング制御
部137は、上述のサンプリング動作により得たディス
ク再生信号のディジタル値を該メモリ151〜154に
おいてメモリアドレスを切り替えて順次メモリへ書き込
み保持を行うため、アドレス制御信号およびライトイネ
ーブル信号等からなるメモリ制御信号と読み出しモード
信号とを該サンプリングクロックと等しいかまたはそれ
以下の周波数でメモリ制御信号分配回路134に出力す
ることで、ディジタル値化したディスク再生信号データ
の読み出し動作のタイミング制御を行う。
【0051】また該モード切替/タイミング制御部13
7は、該書き込みデータ生成部121に対する該データ
生成信号タイミング信号を停止して書き込みデータ生成
部121を出力停止状態に制御し、且つ該書き込みアン
プ122の出力端子を例えば高インピーダンス状態等に
して出力を停止させるため該書き込みモード信号を無効
状態に制御することで、読み出し動作中における該ディ
スクへの書き込み動作を停止させる。
【0052】つまり該モード切替/タイミング制御部1
37は、上述の書き込み動作と読み出し動作とを同時に
行わないように制御するため、書き込みモード信号と読
み出しモード信号とを同時に有効にならないように相互
に排他的に制御する。上述の読み込み動作は、図2に示
す検査対象期間(読み込み)中における検査装置の動作
状態について述べたものである。
【0053】第三の動作状態である解析処理動作におい
て、該モード切替/タイミング制御部137は、該メモ
リ151〜154に保持したディジタル値(以下データ
と記す)をもとにディスク再生信号の平均波高値(TA
A)やパルス幅(PW50)等を求める演算処理を該デ
ータ処理部135において行うため、該メモリ151〜
154に書き込まれたデータが有効であるか否かを示す
データ処理タイミング信号を該データ処理部135に出
力し、該解析処理部136において演算処理に用いる該
データ処理部135の演算処理結果が有効であるか否か
を示す解析処理タイミング信号を該解析処理部136に
出力する。
【0054】例えばメモリ151〜154に書き込まれ
たデータが有効であれば上述の読み出し動作中または書
き込み動作中であっても解析処理は可能であり、該デー
タ処理タイミング信号あるいは該解析処理タイミング信
号は書き込みモード信号および読み出しモード信号とは
独立に制御される。すなわち上述の解析処理動作は、図
2に示す検査対象期間(書き込み/読み出し)あるいは
非検査対象期間の何れとも独立に並行して動作する検査
装置の動作状態について述べたものである。
【0055】また図1に示す磁気記録媒体または磁気ヘ
ッドの検査装置1において、制御部110に配設した中
央演算処理ユニット(CPU)111は、メモリ112
に書き込まれた動作制御プログラムに従って検査装置全
体の動作を制御する。
【0056】すなわち図1において、CPU111は、
可変周波数発振回路113、114に対する発振周波数
制御と、モード切替/タイミング制御部137に対する
スタート/ストップセクタ値等のタイミング制御データ
および書き込み/読み出しモード等の設定と、書き込み
データ生成部121に対する書き込みデータの設定と、
解析処理部136の出力である検査対象磁気ディスクま
たは磁気ヘッドの良否判定結果あるいは検査装置各部の
動作状態等を読み出してメモリ112に保持する保持動
作と、外部に配設したホストコンピュータ2との通信処
理とを行う。
【0057】また図1に示すように、検査装置1では、
表示装置160を配設し、該CPU111の制御により
該データ処理部135で得たディスク再生信号の測定
値、演算処理結果、判定処理結果あるいは検査装置各部
の動作状態等を検査装置ユーザに対して表示する。
【0058】ここで、図1に示す磁気記録媒体または磁
気ヘッドの検査装置1において、データ処理部135は
例えばディジタル信号処理を行うDSP(Digital Sign
al Processor)等の論理回路によって構成され、メモリ
151に保持したディスク再生信号のディジタル値をも
とに補間処理等を行って、任意のセクタ位置あるいは任
意の数のディスク再生信号パルスに対してパルス毎の振
幅値または平均振幅値または任意の閾値におけるパルス
毎のパルス幅または平均パルス幅を演算処理して算出す
る。
【0059】すなわち本発明に係る磁気記録媒体または
磁気ヘッドの検査装置は、任意のデータ再生期間あるい
は全データ再生期間においてディスク再生信号をディジ
タル化してメモリに保持するため、保持した該ディジタ
ル値をもとに図3に示す如くディスク再生信号の振幅値
あるいは任意の閾値におけるパルス幅に対して、平均
値、分散値、偏差値、累積度数値等を算出する統計演算
処理を行い、または保持した該離散値に対してFFT
(Fast Fourier Transform)等の周波数解析演算処理を
行うことで磁気記録媒体または磁気ヘッドに対して詳細
な検査を行うことが可能である。なお、図3では説明の
ためディスク再生信号のパルスについて、a<bである
a番目からb番目の連続するディスク再生信号パルスに
対する統計演算処理を示しているが、本発明はこれに限
定するものではなく、任意の数のディスク再生信号パル
ス、例えばひとつおきのディスク再生信号パルス等の不
連続なパルスについても演算処理可能であることはいう
までもない。
【0060】また、上述の図1に示す磁気記録媒体また
は磁気ヘッドの検査装置1では、検査対象として磁気記
録媒体であるディスク101を用いた構成について述べ
ているが、磁気記録媒体として良品または磁気特性の認
知しているディスクと検査対象とする磁気ヘッドとを用
いてディスクへの記録・再生を行うことで、磁気ヘッド
の検査を行うことが可能である。
【0061】また、図2では、ディスク回転制御部10
4からのインデックス信号あるいはエンコーダ信号を用
いてディスク101上の記録/再生トラックにおける検
査対象区間の判別を用いる構成および方法について説明
しているが、本発明における検査装置はこれに限定する
ものではなく、例えばディスク101の記録/再生トラ
ックに対してセクタ判別信号あるいは検査区間開始/終
了信号を記録して、該セクタ判別信号あるいは検査区間
開始/終了信号を再生して判別することで検査対象区間
の判別を行い且つ磁気記録媒体または磁気ヘッドの検査
が可能である。
【0062】また図2(2)において、ディスク回転制御
部104からのインデックス信号を用いたディスク回転
数単位での検査について説明しているが、本発明におけ
る検査装置はこれに限定するものではなく、例えばディ
スク101の回転数とディスク101への記録時間を計
測して記録時間の判別/制御を行う、あるいは再生時間
を計測して再生時間の判別/制御を行うことで、磁気記
録媒体または磁気ヘッドの検査が可能である。
【0063】次に、図1に示す本発明に係る第1の実施
形態におけるディスク再生信号のディジタル値への変換
動作について、図4を用いて説明する。
【0064】図4はA/D変換回路およびメモリを各々
4個配設した際(N=4)のディジタル値変換動作につ
いて読み出しモード信号が有効になってからの変換動作
例を示すものであり、A/D変換回路141〜144は
各々サンプリング周波数fADCでサンプリング動作およ
びディジタル値変換動作を行い、またメモリ151〜1
54は各々fADCと等しい周波数でディジタル値データ
の保持動作を行う。
【0065】各A/D変換回路141〜144の動作制
御を行うサンプリングクロックは、ディスク再生信号に
対して周波数が目標とするサンプリング周波数fsであ
り、図5に示した例では各A/D変換回路141〜14
4のサンプリング周波数fADCの4倍(N=4)である
サンプリングクロックCLK0をモード切替/タイミン
グ制御部137において読み出しモード信号が有効であ
る期間に生成し、サンプリングクロック分配回路133
で該サンプリングクロックCLK0を4分周してA/D
変換回路141〜144のうち1つのA/D変換回路に
対してCLK0が4パルスあたり1パルスを出力するよ
うに分周制御することでCLK1〜4に分配してそれぞ
れA/D変換回路141〜144に入力する。
【0066】またメモリ制御信号は、各A/D変換回路
141〜144に接続した各メモリ151〜154に対
して読み出しモード信号が有効になってから周波数fAD
Cで順次メモリアドレスを増加させるようにアドレス制
御信号を出力し、また前述のアドレス制御信号と同一の
周波数で且つ同位相でライトイネーブル信号を出力する
ことで、該A/D変換回路141〜144で変換して得
たディジタル値を該アドレス制御信号により制御したメ
モリアドレスに書き込み動作するように制御される。
【0067】ここで、サンプリングクロック分配回路1
33においてCLK1〜4のサンプリングクロック間の
位相差を例えばfADCの逆数であるA/D変換回路1
回路当たりのサンプリング時間のN分の1に設定してデ
ィスク再生信号に対して各A/D変換回路141〜14
4を並列動作するように制御することで、各A/D変換
回路141〜144はディスク再生信号を時分割でディ
ジタル値に変換し、サンプリングデータData1〜4
のS1→S2→S3→S4→S5→S6→…の時分割順
で出力する。
【0068】つまり、ディスク再生信号に対してN倍の
fADCでの高速サンプリングおよびディジタル値への変
換を実現するものである。また上述の説明では、ディス
ク再生信号に位相差を与えずに分配し、且つサンプリン
グクロックに位相差を与えて分配することで高速サンプ
リングを実現することを述べているが、これとは逆にサ
ンプリングクロック分配回路133においてサンプリン
グクロックに位相差を与えずに分配し、且つディスク再
生信号分配回路132においてディスク再生信号に位相
差を与えて分配してサンプリングしても同様に高速サン
プリングが実現できることはいうまでもない。
【0069】図1および図4ではN=4の場合について
説明しているが、A/D変換回路の並列数Nと、ディス
ク再生信号周波数finと、A/D変換回路1回路あたり
のサンプリング周波数fADCと、finに対して目標とす
るサンプリング周波数fsとの比M(図4ではM=1
6)との間には数1に示す関係が成立する。ただしfin
は、ディスク再生信号に対して目標とするパルス部分を
計測するためのディスク再生信号周波数のn次高調波成
分finaと、ディスク再生信号パルスの繰り返し周波数
成分finbとのどちらかを用いる。図4に示したディス
ク再生信号波形では説明のため正弦波を用いており、正
弦波は一般に知られるようにn次高調波成分を持たず繰
り返し周波数と基本波周波数成分が同一で、従ってfin
aとfinbとが一致している場合である。
【0070】
【数1】 N≧M×fin/fADC ただし数1においてNは1以上の整数である。ディスク
再生信号周波数finは制御部110に配設したCPU1
11により上述の可変周波数発振回路113、114の
発振周波数を可変することで制御され、すなわち書き込
みデータの記録周波数および記録/再生時のディスク回
転数およびデータパターンにより決定される。またfin
と目標サンプリング周波数との比Mは、検査対象とする
磁気記録媒体または磁気ヘッドの特性に対して目標とす
る測定精度等を用いて規定するものであり、A/D変換
回路1回路あたりのサンプリング周波数fADCはA/D
変換回路の最高サンプリング周波数を上限として、モー
ド切替/タイミング制御部137において生成するサン
プリングクロックを分配した周波数である。
【0071】従って、上述のfin、fADC、Mは、図1
に示す磁気記録媒体または磁気ディスクの検査装置1に
おいて、既知の値で且つ検査装置ユーザが意図する値に
設定可能である。
【0072】従って、上述の構成によりディスク再生信
号に対して時間軸方向で精細にサンプリングすること
で、例えばディスク再生信号の急峻な変動を高精度にデ
ィジタル値に変換することが可能となり、例えばTAA
またはPW50等をディジタル演算処理により算出する
際に高精度なディジタル値データを用いることで磁気デ
ィスクまたは磁気ヘッドの高精度な検査が可能となる。
【0073】すなわち本発明は、磁気記録媒体または磁
気ヘッドの検査装置において、再生した試験データをデ
ィジタル値に変換し、変換したディジタル値より、該磁
気記録媒体の磁気特性に関する演算処理をして、該磁気
記録媒体の検査を行うことで、磁気記録媒体または磁気
ヘッドに対して詳細で且つ高精度な検査が実現可能であ
る。
【0074】また本発明は、磁気記録媒体または磁気ヘ
ッドの検査装置において、再生した試験データをディジ
タル値に変換するN個(Nは整数)の変換手段と、該N
個の変換手段を1個の変換手段につき所定のサンプリン
グ周波数で動作させるサンプリングクロック制御手段
と、該N個の変換手段で変換されたディジタル値を保持
するN個の保持手段と、該N個の保持手段に保持された
ディジタル値より該磁気記録媒体の磁気特性に関する演
算処理をするデータ処理手段とを備え、該磁気記録媒体
の検査を行うことで、磁気記録媒体または磁気ヘッドに
対して詳細で且つより高精度な検査が実現可能である。
【0075】また本発明は、磁気記録媒体または磁気ヘ
ッドの検査装置において、上述の一実施の形態のよう
に、 N個の変換手段とサンプリングクロック再生手段
とN個の保持手段とデータ処理手段と解析処理手段とを
配設することで、磁気記録媒体または磁気ヘッドに対し
て高速な検査を実現できる。 したがって、今後のディ
スク再生信号の高周波化に対応して高精度に磁気ディス
クまたは磁気ヘッドの検査を行うことができる。
【0076】次に、本発明に係る第2の実施の形態につ
いて図5を用いて説明する。図5では、検査対象とする
磁気記録媒体であるディスクに対して、L個のR/Wヘ
ッドと各R/Wヘッドに対応した再生アンプとを配設
し、例えば異なるトラックあるいはセクタにおけるディ
スク再生信号を、各R/Wヘッドにより検出して再生ア
ンプにより増幅してL個のディスク再生信号を得るとと
もに、N個配設した複数のA/D変換回路に対してディ
スク再生信号分配回路において分配制御信号により切り
替えスイッチSWを制御してディスク再生信号の分配数
および分配先を切り替えて出力し、各A/D変換回路に
おいてサンプリング周波数fADCでディジタル値に変換
してメモリに出力する。
【0077】図5では、4個(L=4)のR/Wヘッド
301〜304と再生アンプ311〜314とをディス
ク再生信号分配回路132に入力し、分配制御信号S
1,S2を切り替えて該ディスク再生信号分配回路13
2の入出力間の接続状態を変更することで、4個(N=
4)配設したA/D変換回路141〜144に対してデ
ィスク再生信号の分配数を可変制御する構成例を示して
いる。
【0078】またサンプリングクロック分配回路133
は、図1のモード切替/タイミング制御部137が出力
したサンプリングクロックを用いてカウンタ331を動
作させ、読み出しモード時に、N個配設した比較回路3
32〜335において、該カウンタ331の出力とN個
の設定値とが一致した時のみサンプリングパルスを出力
するように構成し、該サンプリングクロックをN分周し
且つ各サンプリングパルス間の位相差がN分周したサン
プリングクロックの周期をN等分した時間に等しいN相
のクロックに変換する構成とし、1つのA/D変換回路
の動作周波数であるサンプリング周波数fADCのN倍の
周波数であるサンプリングクロックを該モード切替/タ
イミング制御部137により生成することで、各A/D
変換回路に対してサンプリング周波数がfADCで且つN
相の位相差でサンプリングクロックを供給する。ここで
はサンプリングクロック分配回路133としてカウンタ
331と比較回路332〜335を用いた構成を用いて
述べているが、回路構成としてはこれに限らず、例えば
遅延素子等を用いてサンプリングクロックをN相の位相
差で且つN分配する構成としてもよい。
【0079】図5では、4倍(N=4)のfADCである
周波数のサンプリングクロックをサンプリングクロック
分配回路133に入力してカウンタ331を動作させ、
カウンタ331の4つの出力状態すなわち00,01,10,11
と設定値とを比較回路332〜335で比較し、遅延回
路330で遅延したサンプリングクロックCLK0を該
各比較回路332〜335の一致出力をもとにANDゲ
ート336〜339でゲートして、該ANDゲート33
6〜339の出力をサンプリングクロックCLK1〜4
として各A/D変換回路141〜144に対して出力す
る構成を示している。
【0080】なお、各A/D変換回路141〜144の
出力は図1に図示と同様のメモリ151〜154に供給
され、その出力はデータ処理部135および解析処理部
136に接続される。
【0081】図6は図5に示した本発明に係る第2の実
施の形態について、図1のモード切替/タイミング制御
部137(図5では図示せず)においてスタートセクタ
を判別し読み出しモード信号を有効にしてサンプリング
動作を開始した際のサンプリング回路動作を説明するも
のであり、図5に示した該分配制御信号がS1=‘L’
で且つS2=‘H’である場合について示したものであ
る。
【0082】ここでディスク再生信号in1はR/Wヘ
ッド101および再生アンプ311からの出力信号であ
りA/D変換回路141および143に分配して入力さ
れ、ディスク再生信号in2はR/Wヘッド302およ
び再生アンプ312からの出力信号でありA/D変換回
路142および144に分配して入力される例を示すも
のであり、すなわちディスク再生信号分配回路132に
おいて出力するディスク再生信号が2種類(L=2)で
ある例である。また、2つのディスク再生信号in1、
in2に対してディスク再生信号in1の再生セクタ番
号が2であることを判別してサンプリング動作を開始す
る例を示している。
【0083】すなわち各ディスク再生信号に対するサン
プリング動作は、図6に示すように、A/D変換回路1
41および143に分配したディスク再生信号をそれぞ
れサンプリングクロックCLK1およびCLK3のタイ
ミングでサンプリングしてサンプリングデータData
1およびData3に変換し、且つA/D変換回路14
2および144に分配したディスク再生信号をそれぞれ
サンプリングクロックCLK2およびCLK4のタイミ
ングでサンプリングしてサンプリングデータData2
およびData4に変換する。
【0084】従って、最終的にディスク再生信号in1
はサンプリングデータとしてS1→S3→S5→S7→…の順に
メモリ151および153(図示せず)に書き込まれ、
またディスク再生信号in2はサンプリングデータとし
てS2→S4→S6→S8→…の順にメモリ152および154
(図示せず)に書き込まれる。
【0085】なお、ここでは説明のため2つのディスク
再生信号in1、in2に対してディスク再生信号in
1の再生セクタ番号のみをサンプリング動作の開始判別
に用いているが、実際には各ディスク再生信号に対して
例えば個別にセクタ番号の判別を行い、設定した任意ト
ラックあるいはセクタ区間に対してそれぞれ独立に検査
することも可能である。
【0086】また図5に示すディスク再生信号分配回路
132において分配制御信号をS1=“L”で且つS2
=“L”に設定した場合、これはディスク再生信号in
1〜in4を各々4個(N=4)配設したA/D変換回
路141〜144に対して各々1:1で分配することに
なり(L=4)、ディスク再生信号in1〜in4を周
波数fADCでサンプリングすることになる。
【0087】また図5に示すディスク再生信号分配回路
132において分配制御信号をS1=“H”に設定した
場合、これはディスク再生信号in1のみを4個(N=
4)配設したA/D変換回路141〜144に対して分
配することになり、この場合検査装置1の回路動作は図
2に示した回路動作と等しく、ディスク再生信号in1
をfADCの4倍の周波数でサンプリングすることと等し
くなり、従ってディスク再生信号in1に対してS1→S2
→S3→S4→S5→…の順にディジタル値に変換することに
なる。
【0088】ここで、各A/D変換回路141〜144
のサンプリング周波数をfADCとしてひとつのディスク
再生信号に対するサンプリング周波数fsampleについて
着目すると、fsampleは(N/L)×fADCに等しくな
り、ディスク再生信号に対して分配制御信号を切り替え
ることでサンプリング周波数を可変制御可能となる。
【0089】すなわち、上述したように磁気記録媒体ま
たは磁気ヘッドの検査装置においてディスク再生信号周
波数finは制御可能で既知の値であることから、数1に
示した関係を用いて定めたA/D変換回路の並列数Nに
対して、ディスク再生信号分配回路においてL個のディ
スク再生信号との接続状態を制御することで、ひとつの
ディスク再生信号に対するサンプリング周波数fsample
を数2に示す関係をもって制御可能となる。
【0090】
【数2】 fsample=(N/L)×fADC 従って、例えばディスク再生信号に対して計測目標とす
る周波数成分がA/D変換回路のサンプリング周波数に
対して高い場合に数2に示した関係でL=1すなわち1
個のR/Wヘッドと再生アンプおよびN個のA/D変換
回路とを用いて、高速なサンプリング動作を実現する磁
気記録媒体または磁気ヘッドの検査装置において、測定
対象とするディスクまたは磁気ヘッドを用いた際に計測
目標とするディスク再生信号の周波数成分がA/D変換
回路のサンプリング周波数に対して高くない場合または
測定精度に余裕がある場合等に、数2に示した関係でL
>1(図5ではL=2)すなわちL個のR/Wヘッドと
再生アンプおよびN個のA/D変換回路とを用いること
でディスクの異なったトラックをL個の複数ヘッドを用
いて同時に測定が可能となり、ディスクあるいは磁気ヘ
ッドの検査工程におけるスループットの向上が可能とな
る。
【0091】また本発明における検査装置では、検査す
るディスク数を限定するものではなく、例えば複数枚の
ディスクに対して複数個の磁気ヘッドと該磁気ヘッドに
対応した再生アンプを用いることで、複数枚ディスクあ
るいは複数磁気ヘッドの同時測定が可能であり、またデ
ィスク検査のスループット向上を図るべくディスクの搬
送装置を有する構成としてもよい。
【0092】ここで図5および図6では、本発明に係る
第2の実施の形態について説明のため、可変周波数発振
回路および試験データの書き込み機能およびディスク再
生波形をディジタル値化したディジタル値データの保持
機能および該ディジタル値データから所望の測定値を算
出する演算処理機能およびタイミング制御機能等につい
て記載をしていないが、これらの機能については図1に
示した本発明に係る第1の実施の形態と同じであり、本
発明に係る磁気記録媒体または磁気ヘッドの検査装置で
はこれらの機能を有している。
【0093】また、図5および図6では説明のため各A
/D変換回路毎にサンプリングクロックの位相を固定し
て供給する構成としているが、本発明はこれに限定する
ものではなく、例えばディスク再生信号分配回路132
への分配制御信号に応じてサンプリングクロック分配回
路133において分配するサンプリングクロックの位相
差を切り替える構成としても可能であり、L個のディス
ク再生信号に対して各々数2に示すサンプリング周波数
でサンプリングすることを実現するものであればよい。
また、分配制御信号の制御すなわち1つの再生信号に対
するA/D変換回路の並列数に応じてサンプリングクロ
ック周波数を可変制御する構成としてもよい。
【0094】すなわち本実施の形態では、磁気記録媒体
または磁気ヘッドの検査装置において、該磁気記録媒体
に記録した試験データを読み出して磁気記録媒体媒体ま
たは磁気ヘッドの試験を行う際に、 L個配設したR/
Wヘッドおよび再生アンプより出力されるL個のディス
ク再生信号をN個配設したA/D変換回路に再生信号分
配回路を用いて分配する構成としたことで、複数の再生
信号を並列で且つ別個にディジタル値に変換して処理す
ることで、磁気記録媒体または磁気ヘッド検査の高速化
を実現することができる。
【0095】次に、本発明に係る第3の実施の形態につ
いて説明する。磁気記録媒体または磁気ヘッドの検査装
置では、上述の通りディスク再生信号に対して平均振幅
TAAおよび平均パルス幅PW50を計測することで磁
気記録媒体または磁気ヘッドの検査を行う。TAAおよ
びPW50は、ディスク再生波形の振幅およびパルス幅
を計測し、図11に示す如く例えばディスク1周分につ
いて平均値処理することで得るものである。
【0096】ここで、ディスク再生波形を一定の時間間
隔でサンプリングする場合、ディスク再生波形の時間に
対する電圧変化率すなわち傾きが大きい部分では振幅方
向に関してサンプリング密度が低くなり、またディスク
再生波形の傾きが小さい部分振幅方向に関してサンプリ
ング密度が高くなる。
【0097】例えば図8(1)に示すようなディスク再生
信号では、サンプル値の発生頻度は0[V]付近とピー
ク値付近とで高くなる。この場合、ディスク再生信号ピ
ーク値付近で最も発生頻度が高いサンプル値は、図11
に示したディスク再生信号の平均振幅TAAとほぼ等価
になる。従って、ディスク再生信号サンプル値の発生頻
度を計測し、該発生頻度がピーク値であるサンプル値を
判別することでTAA計測が可能である。
【0098】また、図8(2)に示す如くディスク再生信
号パルス毎にディスク再生信号振幅が閾値電圧よりも大
きい間の時間計測用パルスのパルス数を計測し、該パル
ス数について上述のTAA計測と同様にパルス数毎の発
生頻度を計測して、発生頻度が最も高い該パルス数を検
出する。ここで該閾値電圧は、前述のTAA値の50%
の値を用いる。該時間計測用パルスの発振周波数の逆数
に該パルス数を乗算処理することで得たパルス幅時間は
図11に示したディスク再生信号の平均パルス幅PW5
0とほぼ等価になる。従って、ディスク再生信号のパル
ス幅を再生信号パルス毎に計測し、該パルス幅の発生頻
度がピーク値であるパルス幅を判別することでPW50
計測が可能である。
【0099】図7は、本発明に係る磁気記録媒体または
磁気ヘッドの検査装置において、磁気ディスクに書き込
んだ試験データを再生して磁気ディスクまたは磁気ヘッ
ドの検査を行う際に、上述の計測方式をもとにディスク
再生信号波形の平均振幅TAAおよび平均パルス幅PW
50を計測する装置の構成について示した図である。
【0100】すなわち図7に示す磁気記録媒体または磁
気ヘッドの検査装置では、ディスク回転部103により
回転動作し且つ試験データを書き込まれた磁気ディスク
101からR/Wヘッド102と再生アンプ131とを
介して試験データの波形再生を行い、これをA/D変換
回路403においてサンプリングクロックCLK1に従
ってサンプリングしてディジタル値に変換する。
【0101】頻度計測部404は、例えば、A/D変換
回路403が出力するディジタル値毎に頻度カウンタを
内部に配設し、サンプリングクロックCLK1と同一周
波数の頻度カウントクロックをもとに、該A/D変換回
路403が出力したディジタル値に対応した頻度カウン
タのカウント値を増加動作させる。ヒストグラム処理部
406はゲート回路からなり、例えばディスク101の
1周分の読み出し動作の終了と同時に該頻度計測部40
4に配設した複数の該頻度カウンタ出力を順次読み出
し、ディスク再生波形振幅付近のピーク値をTAA計測
値として出力する。
【0102】また図7に示す磁気記録媒体または磁気ヘ
ッドの検査装置では、ディジタルコンパレータ408に
おいて該A/D変換回路403の出力値と該ヒストグラ
ム処理部404が出力するTAAを50%の値にした閾
値データとを比較して、ディスク再生信号パルス数と同
一のパルス数であるカウンタイネーブル信号Enを生成
する。カウンタ409は発振回路402において生成さ
れた既知の周波数の時間計測用クロックCLK2と該カ
ウンタイネーブル信号Enとでカウント動作し、Enパ
ルス毎にEnが有効である期間のCLK2のパルス数を
計測する。
【0103】頻度計測部405は、例えば該カウンタ4
09が出力する離散値毎に頻度カウンタを内部に配設
し、該カウンタイネーブル信号Enを頻度カウントクロ
ックとして、該カウンタ409が出力した離散値に対応
した頻度カウンタのカウント値を増加動作させる。ヒス
トグラム処理部407はゲート回路からなり、例えばデ
ィスク101の1周分の読み出し動作の終了と同時に該
頻度計測部405に配設した複数の該頻度カウンタ出力
を順次読み出し、該頻度カウンタ出力値が最大である該
頻度カウンタに対応する該カウンタ値をPW計測値とし
て出力する。
【0104】ここでPW計測値は該時間測定用クロック
CLK2のパルス数で与えられるが、該時間測定用クロ
ックCLK2の発振周波数が既知であることから、制御
部に配設したCPU(図示せず)等により該時間計測用
クロックCLK2の発振周波数の逆数に該パルス数を乗
算処理することでPW値を得る。
【0105】上述の説明では頻度計測部404、405
において複数のカウンタを用いる構成について述べてい
るが、本発明はこれに限定するものではなく、例えば図
9に示すようにメモリ511、521並びに加算回路5
12、522を用いた構成としてもよい。
【0106】すなわちTAA計測においてはA/D変換
回路403で変換されたディスク再生信号の離散値をも
とに、メモリ511を用いて該ディジタル値に対応した
該メモリ511のアドレスに書き込まれたデータを加算
回路512を用いて加算して同じアドレスに書き込むこ
とで頻度を計測することも可能である。PW50計測に
ついても、メモリ521を用いてカウンタ525の出力
値に対応した該メモリ521のアドレスに書き込まれた
データを加算回路522を用いて加算して同じアドレス
に書き込むことで頻度を計測することも可能である。
【0107】また、図9では任意の閾値データを保持し
たレジスタ523とA/D変換回路403との出力をデ
ィジタルコンパレータ524を用いて比較することでカ
ウンタ525の動作制御を行う構成例であり,すなわち
本構成によれば任意の閾値に対する平均パルス幅を計測
することが可能であり、またPW50を計測する際には
前述のTAA測定値の50%のデータをレジスタ523
に設定して計測すればよいことは言うまでもない。
【0108】また特に図示してはいないが、PW50に
ついては、試験データ読み出し期間中におけるカウンタ
イネーブル信号Enのパルス幅の合計とパルス数とを計
測し、読み出し終了後に該パルス幅の合計値を該パルス
数で除算して平均値処理することでも計測可能である。
【0109】また、図7および図8および図9では、本
発明に係る第3の実施の形態について説明のため、試験
データの書き込み機能およびタイミング制御機能等につ
いて記載をしていないが、これらの機能については図1
に示した本発明に係る第1の実施の形態と同じであり、
本発明に係る磁気記録媒体または磁気ヘッドの検査装置
ではこれらの機能を有する。
【0110】すなわち本発明は、ディスク再生波形の平
均振幅TAAあるいは任意の閾値レベルにおける平均パ
ルス幅PWを計測する磁気記録媒体または磁気ヘッドの
検査装置において、計測値の頻度を求めることでTAA
とPWとの両方あるいはいずれかを統計的に処理して計
測することを特徴とする。
【0111】
【発明の効果】本発明によれば、磁気記録媒体または磁
気ヘッドの検査装置において、磁気記録媒体よりの再生
の試験データをディジタル値に変換し、変換したディジ
タル値より、該磁気記録媒体の磁気特性に関する演算処
理をすることで、磁気ディスクまたは磁気ヘッドに対し
て詳細で且つ高精度な検査を実現できる効果を奏する。
【0112】また、本発明によれば、磁気記録媒体より
の再生の試験データを、N個の変換手段を用いて高速に
ディジタル値に変換し、変換したディジタル値より、該
磁気記録媒体の磁気特性に関する演算処理をすること
で、磁気ディスクまたは磁気ヘッドに対して詳細で且つ
より高精度な検査を実現でき、今後の磁気ディスク装置
の高周波化に対応した検査を実現できる効果を奏する。
【0113】また本発明によれば、磁気記録媒体または
磁気ヘッドの検査装置において、複数の再生試験データ
を、個別にディジタル値に変換して処理することで磁気
記録媒体または磁気ヘッドの高速な検査を実現できる効
果を奏する。
【0114】また本発明によれば、磁気記録媒体または
磁気ヘッドの検査装置において、再生試験データの平均
振幅値TAA並びに平均パルス幅PW50を高速に計測
することが実現できる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る磁気記録媒体または磁気ヘッドの
検査装置における第一の実施の形態を示す図である。
【図2】図1の動作を示す図である。
【図3】ディスク再生信号の波高値およびパルス幅につ
いての統計演算処理を説明する図である。
【図4】図1の第一の実施形態について、複数のA/D
変換回路を用いてディスク再生信号をサンプリングして
ディジタル値に変換する動作を説明する図である。
【図5】本発明に係る磁気記録媒体または磁気ヘッドの
検査装置において第二の実施の形態を示す図である。
【図6】図2の第二の実施の形態について、複数のA/
D変換回路を用いて、複数のディスク再生信号を個別に
サンプリングしてディジタル値に変換する動作を説明す
る図である。
【図7】本発明に係る磁気記録媒体または磁気ヘッドの
検査装置において第三の実施の形態を示す図である。
【図8】図7の第三の実施の形態について、ディスク再
生波形の平均振幅値TAAおよび平均パルス幅PW50
を計測する原理を説明する図である。
【図9】図7の第三の実施の形態についての、別の実施
の形態を示す図である。
【図10】従来の磁気記録媒体または磁気ヘッドの検査
装置の構成を示す図である。
【図11】ディスク再生信号に対するディスク再生信号
平均振幅(TAA)およびTAAの50%点におけるデ
ィスク再生信号平均パルス幅(PW50)の定義を説明
する図である。
【符号の説明】
1…磁気ディスク/磁気ヘッド検査装置、2…ホストコ
ンピュータ、101…ディスク、102…R/Wヘッ
ド、103…ディスク回転部、104…ディスク回転制
御部、110…制御部、111…CPU、112…メモ
リ、113、114…可変周波数発振回路、121…書
き込みデータ生成部、122…書込アンプ、131…再
生アンプ、132…ディスク再生信号分配回路、133
…サンプリングクロック分配回路、134…メモリ制御
信号分配回路、135…データ処理部、136…解析処
理部、137…モード切替/タイミング制御部、14
1、142、143、144…A/D変換回路、15
1、152、153、154…メモリ、160…表示装
置、301、302、303、304…R/Wヘッド、
311、312、313、314…再生アンプ、32
1、322、323、324、325、326、32
7、328…バッファアンプ(Buf)、330…遅延
回路、331…カウンタ、332、333、334、3
35…比較回路、336、337、338、339…A
NDゲート、401、402…発振回路、403…A/
D変換回路、404、405…頻度計測部、406、4
07…ヒストグラム処理部、408…ディジタルコンパ
レータ、409…カウンタ、410…係数回路、50
1、502…発振回路、503、504…遅延回路、5
11、521…メモリ、521、522…加算回路、5
23…レジスタ、524…ディジタルコンパレータ、5
25…カウンタ、601…書込/読出アンプ、602…
テスト信号発生回路、603…書込制御回路、604…
レベル調整用アンプ(AMP)、605…TAA検出回
路、606…スライスレベル作成回路、607…PW検
出回路、608…波形比較回路、609…エラー検出回
路、610…エラーメモリ。
フロントページの続き (72)発明者 折橋 律郎 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 中條 徳男 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 高橋 昌義 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 林 良彦 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 本間 真司 東京都渋谷区東三丁目16番3号 日立電子 エンジニアリング株式会社内 Fターム(参考) 5D091 AA08 BB06 CC01 FF02 FF04 HH20 JJ30

Claims (32)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験用デ
    ータを記録するとともに、記録した試験データを該磁気
    ヘッドにより再生し所望の処理をすることで該磁気記録
    媒体の検査を行う磁気記録媒体の検査装置において、 再生した試験データをディジタル値に変換し、変換した
    ディジタル値より、該磁気記録媒体の磁気特性に関する
    演算処理をして、該磁気記録媒体の検査を行うことを特
    徴とする磁気記録媒体の検査装置。
  2. 【請求項2】請求項1記載において、前記演算処理は、
    該変換したディジタル値を用いて任意の該再生試験デー
    タの波高値あるいは任意の閾値を越えるかもしくは下回
    る閾値時間を計測し、該波高値あるいは該閾値時間につ
    いての平均値あるいは分散値あるいは偏差値あるいは累
    積度数値を算出する統計演算処理または周波数解析演算
    処理であることを特徴とする磁気記録媒体の検査装置。
  3. 【請求項3】磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験用デ
    ータを記録するとともに、記録した試験データを該磁気
    ヘッドにより再生し所望の処理をすることで該磁気記録
    媒体の検査を行う磁気記録媒体の検査装置において、 再生した試験データをディジタル値に変換する変換手段
    と、該変換手段で変換されたディジタル値を保持する保
    持手段と、該保持手段に保持されたディジタル値より該
    磁気記録媒体の磁気特性に関する演算処理をするデータ
    処理手段とを備え、該磁気記録媒体の検査を行うことを
    特徴とする磁気記録媒体の検査装置。
  4. 【請求項4】請求項3記載において、前記演算処理は、
    該変換したディジタル値を用いて任意の該再生試験デー
    タの波高値あるいは任意の閾値を越えるかもしくは下回
    る閾値時間を計測し、該波高値あるいは該閾値時間につ
    いての平均値あるいは分散値あるいは偏差値あるいは累
    積度数値を算出する統計演算処理または周波数解析演算
    処理であることを特徴とする磁気記録媒体の検査装置。
  5. 【請求項5】磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験用デ
    ータを記録するとともに、記録した試験データを該磁気
    ヘッドにより再生し所望の処理をすることで該磁気記録
    媒体の検査を行う磁気記録媒体の検査装置において、 再生した試験データをディジタル値に変換するN個(N
    は整数)の変換手段と、該N個の変換手段を1個の変換
    手段につき所定のサンプリング周波数で動作させるサン
    プリングクロック制御手段と、 該N個の変換手段で変換されたディジタル値を保持する
    N個の保持手段と、 該N個の保持手段に保持されたディジタル値より該磁気
    記録媒体の磁気特性に関する演算処理をするデータ処理
    手段とを備え、該磁気記録媒体の検査を行うことを特徴
    とする磁気記録媒体の検査装置。
  6. 【請求項6】請求項5記載において、前記演算処理は、
    該変換したディジタル値を用いて任意の該再生試験デー
    タの波高値あるいは任意の閾値を越えるかもしくは下回
    る閾値時間を計測し、該波高値あるいは該閾値時間につ
    いての平均値あるいは分散値あるいは偏差値あるいは累
    積度数値を算出する統計演算処理または周波数解析演算
    処理であることを特徴とする磁気記録媒体の検査装置。
  7. 【請求項7】磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験用デ
    ータを記録するとともに、記録した試験データを該磁気
    ヘッドにより再生し所望の処理をすることで該磁気記録
    媒体の検査を行う磁気記録媒体の検査装置において、 再生した試験データをディジタル値に変換するN個の変
    換手段と、 該N個の変換手段を1個の変換手段につきサンプリング
    周波数fADCで動作させるサンプリングクロック制御手
    段と、 該N個の変換手段で変換されたディジタル値を保持する
    N個の保持手段と、 該N個の保持手段に保持されたディジタル値より該磁気
    記録媒体の磁気特性に関する演算処理をするデータ処理
    手段と、 該データ処理手段の出力より該磁気記録媒体の判定処理
    をする解析処理手段とを備え、且つ、 再生した試験データの周波数finに対して目標とするサ
    ンプリング周波数fsとの比であるMと、該周波数fin
    と、該変換手段を動作させるサンプリング周波数fADC
    とが、 N≧ M×fin/fADC である関係で且つ整数であることを特徴とする磁気記録
    媒体の検査装置。
  8. 【請求項8】請求項7記載において、前記演算処理は、
    該変換したディジタル値を用いて任意の該再生試験デー
    タの波高値あるいは任意の閾値を越えるかもしくは下回
    る閾値時間を計測し、該波高値あるいは該閾値時間につ
    いての平均値あるいは分散値あるいは偏差値あるいは累
    積度数値を算出する統計演算処理または周波数解析演算
    処理であることを特徴とする磁気記録媒体の検査装置。
  9. 【請求項9】磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験用デ
    ータを記録するとともに、記録した試験データを該磁気
    ヘッドにより再生し所望の処理をすることで該磁気記録
    媒体の検査を行う磁気記録媒体の検査装置において、 所望の周波数で発振する第1の発振手段の出力により、
    該磁気記録媒体を保持する保持回転手段を回転動作させ
    る回転制御手段と、 該保持回転手段上の該磁気記録媒体に対向して配置され
    る磁気ヘッドにより、該磁気記録媒体に該試験用データ
    を記録する記録手段と、 該磁気ヘッドにより該磁気記録媒体に記録された該試験
    用データを再生する再生手段と、 再生した該試験データをディジタル値に変換するN個の
    変換手段と、 再生した該試験データを該N個の変換手段に分配して供
    給する再生信号分配手段と、 所望の周波数で発振する第2の発振手段に基づくクロッ
    ク信号により、該N個の変換手段を1個の変換手段につ
    きサンプリング周波数fADCで動作させるサンプリング
    クロック分配手段と、 該N個の変換手段で変換されたディジタル値を保持する
    N個の保持手段と、 該N個の保持手段に保持されたディジタル値より該磁気
    記録媒体の磁気特性に関する演算処理をするデータ処理
    手段と、 該データ処理手段の出力より該磁気記録媒体の判定処理
    をする解析処理手段と、 該第1の発振手段と該第2の発振手段の発振周波数およ
    び該変換手段を動作させるサンプリング周波数とを可変
    する制御手段とを備え、且つ、 再生した試験データの周波数finに対して目標とするサ
    ンプリング周波数fsとの比であるMと、該周波数fin
    と、該変換手段を動作させるサンプリング周波数fADC
    とが、 N≧ M×fin/fADC である関係で且つ整数であることを特徴とする磁気記録
    媒体の検査装置。
  10. 【請求項10】請求項9記載において、前記演算処理
    は、該変換したディジタル値の任意の数における、波高
    値あるいは任意の閾値を越えるかもしくは下回る時間に
    ついて、平均値あるいは分散値あるいは偏差値あるいは
    累積度数値を算出する統計演算処理または周波数解析演
    算処理であることを特徴とする磁気記録媒体の検査装
    置。
  11. 【請求項11】磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験用
    データを記録するとともに、記録した試験データを該磁
    気ヘッドにより再生し所望の処理をすることで該磁気記
    録媒体の検査を行う磁気記録媒体の検査装置において、 所望の周波数で発振する第1の発振手段の出力により、
    該磁気記録媒体を保持する保持回転手段を回転動作させ
    る回転制御手段と、 該回転制御手段よりの回転数を表すインデックス信号お
    よび回転位置を表す該エンコード信号をもとに、スター
    ト信号およびストップ信号に応答して、書き込み開始お
    よび終了を表す書き込みモード信号と、読み出し開始お
    よび終了を表す読み出しモード信号とを生成するモード
    およびタイミング制御手段と、 該書き込みモード信号をもとに、該保持回転手段上の該
    磁気記録媒体に対向して配置される磁気ヘッドにより、
    該磁気記録媒体に該試験用データを記録する記録手段
    と、 該読み出しモード信号をもとに、該磁気ヘッドにより該
    磁気記録媒体に記録された該試験用データを再生する再
    生手段と、 再生した該試験データをディジタル値に変換するN個の
    変換手段と、 再生した該試験データを該N個の変換手段に分配して供
    給する再生信号分配手段と、 所望の周波数で発振する第2の発振手段に基づくクロッ
    ク信号により、該N個の変換手段を1個の変換手段につ
    きサンプリング周波数fADCで動作させるサンプリング
    クロック分配手段と、 該N個の変換手段で変換されたディジタル値を保持する
    N個の保持手段と、 該N個の保持手段に保持されたディジタル値より該磁気
    記録媒体の磁気特性に関する演算処理をするデータ処理
    手段と、 該データ処理手段の出力より該磁気記録媒体の判定処理
    をする解析処理手段と、 該第1の発振手段と該第2の発振手段の発振周波数およ
    び該変換手段を動作させるサンプリング周波数とを可変
    する制御手段とを備え、且つ、 再生した試験データの周波数finに対して目標とするサ
    ンプリング周波数fsとの比であるMと、該周波数fin
    と、該変換手段を動作させるサンプリング周波数fADC
    とが、 N≧ M×fin/fADC である関係で且つ整数であることを特徴とする磁気記録
    媒体の検査装置。
  12. 【請求項12】請求項11記載において、前記演算処理
    は、該変換したディジタル値の任意の数における、波高
    値あるいは任意の閾値を越えるかもしくは下回る時間に
    ついて、平均値あるいは分散値あるいは偏差値あるいは
    累積度数値を算出する統計演算処理または周波数解析演
    算処理であることを特徴とする磁気記録媒体の検査装
    置。
  13. 【請求項13】磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験用
    データを記録するとともに、記録した試験データを該磁
    気ヘッドにより再生し所望の処理をすることで該磁気記
    録媒体の検査を行う磁気記録媒体の検査装置において、 該磁気記録媒体に対向して配置されるL個の磁気ヘッド
    により、該磁気記録媒体に記録された試験データをL個
    (Lは2以上の整数)の個別な信号として再生するL個
    の再生手段と、 再生した試験データをディジタル値に変換するN個(N
    は2以上の整数)の変換手段と、 再生した該試験データを所望の接続状態にして該N個の
    変換手段に分配して供給する再生信号分配手段と、 該N個の変換手段を1個の変換手段につき所定のサンプ
    リング周波数で動作させるサンプリングクロック制御手
    段と、 該N個の変換手段で変換されたディジタル値を保持する
    N個の保持手段と、 該N個の保持手段に保持されたディジタル値より該磁気
    記録媒体の磁気特性に関する演算処理をするデータ処理
    手段とを備え、該磁気記録媒体の検査を行うことを特徴
    とする磁気記録媒体の検査装置。
  14. 【請求項14】請求項13記載において、前記演算処理
    は、該変換したディジタル値を用いて任意の該再生試験
    データの波高値あるいは任意の閾値を越えるかもしくは
    下回る閾値時間を計測し、該波高値あるいは該閾値時間
    についての平均値あるいは分散値あるいは偏差値あるい
    は累積度数値を算出する統計演算処理または周波数解析
    演算処理であることを特徴とする磁気記録媒体の検査装
    置。
  15. 【請求項15】磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験用
    データを記録するとともに、記録した試験データを該磁
    気ヘッドにより再生し所望の処理をすることで該磁気記
    録媒体の検査を行う磁気記録媒体の検査装置において、 再生した試験データをディジタル値に変換し、変換した
    ディジタル値より、該磁気記録媒体の磁気特性に関する
    演算処理をして、該磁気記録媒体の検査を行う磁気記録
    媒体の検査装置であって、 該演算処理は、該変換したディジタル値をもとに複数の
    計数手段を選択的に計数動作させる第1の頻度計測手段
    と、該第1の頻度計測手段の出力をもとにヒストグラム
    演算処理により再生波形の平均振幅値を計測して出力す
    る第1のヒストグラム処理手段と、 該第1のヒストグラム処理手段の出力に1/2の計数を
    乗算する係数手段と、 該係数手段の出力と該変換手段の出力とを大小比較して
    比較結果を出力する比較手段と、 該比較手段の出力が所定のレベルである期間においての
    み、所望の周波数で発振動作するクロック信号パルスを
    計数動作するパルス計数手段と、 該比較手段の出力の変化に基づいて動作し該パルス計数
    手段の出力したパルスをもとに複数の計数手段を選択的
    に計数動作させる第2の頻度計測手段と、 該第1の頻度計測手段の出力をもとにヒストグラム演算
    処理により再生波形の平均パルス幅を計測して出力する
    第2のヒストグラム処理手段とを備え、 所望の期間における該再生波形の平均振幅値および平均
    パルス幅を計測することにより、該磁気記録媒体の検査
    を行うことを特徴とする磁気記録媒体の検査装置。
  16. 【請求項16】磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験用
    データを記録するとともに、記録した試験データを該磁
    気ヘッドにより再生し所望の処理をすることで該磁気記
    録媒体の検査を行う磁気記録媒体の検査装置において、 再生した試験データをディジタル値に変換し、変換した
    ディジタル値より、該磁気記録媒体の磁気特性に関する
    演算処理をして、該磁気記録媒体の検査を行う磁気記録
    媒体の検査装置であって、 該演算処理は、該変換したディジタル値をもとに、該デ
    ィジタル値に対応した第1のメモリのアドレスに書き込
    まれたデータを第1の加算回路を用いて加算して同じア
    ドレスに書き込むことで頻度を計測する第1の頻度値保
    持手段と、 該第1の頻度値保持手段の出力をもとにヒストグラム演
    算処理により再生波形の平均振幅値を計測して出力する
    第1のヒストグラム処理手段と、 所定の閾値データを保持する閾値保持手段と、 該閾値保持手段の出力と該変換手段の出力とを比較して
    比較結果を出力する比較手段と、 該比較手段の出力が所定のレベルである期間においての
    み、所望の周波数のクロック信号パルスを計数動作する
    パルス計数手段と、 該パルス計数手段の出力をもとに、該ディジタル値に対
    応した第2のメモリのアドレスに書き込まれたデータを
    第2の加算回路を用いて加算して同じアドレスに書き込
    むことで頻度を計測する第2の頻度値保持手段と、 該第2の頻度値保持手段の出力をもとにヒストグラム演
    算処理により所定の閾値における再生波形の平均パルス
    値を計測して出力する第2のヒストグラム処理手段とを
    備え、 所望の期間における該再生波形の平均振幅値および平均
    パルス幅を計測することにより、該磁気記録媒体の検査
    を行うことを特徴とする磁気記録媒体の検査装置。
  17. 【請求項17】磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験用
    データを記録するとともに、記録した試験データを該磁
    気ヘッドにより再生し所望の処理をすることで該磁気ヘ
    ッドの検査を行う磁気ヘッドの検査装置において、 再生した試験データをディジタル値に変換し、変換した
    ディジタル値より、該磁気記録媒体の磁気特性に関する
    演算処理をして、該磁気ヘッドの検査を行うことを特徴
    とする磁気ヘッドの検査装置。
  18. 【請求項18】請求項17記載において、前記演算処理
    は、該変換したディジタル値を用いて任意の該再生試験
    データの波高値あるいは任意の閾値を越えるかもしくは
    下回る閾値時間を計測し、該波高値あるいは該閾値時間
    についての平均値あるいは分散値あるいは偏差値あるい
    は累積度数値を算出する統計演算処理または周波数解析
    演算処理であることを特徴とする磁気ヘッドの検査装
    置。
  19. 【請求項19】磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験用
    データを記録するとともに、記録した試験データを該磁
    気ヘッドにより再生し所望の処理をすることで該磁気ヘ
    ッドの検査を行う磁気ヘッドの検査装置において、 再生した試験データをディジタル値に変換する変換手段
    と、該変換手段で変換されたディジタル値を保持する保
    持手段と、該保持手段に保持されたディジタル値より該
    磁気記録媒体の磁気特性に関する演算処理をするデータ
    処理手段とを備え、該磁気ヘッドの検査を行うことを特
    徴とする磁気ヘッドの検査装置。
  20. 【請求項20】請求項19記載において、前記演算処理
    は、該変換したディジタル値を用いて任意の該再生試験
    データの波高値あるいは任意の閾値を越えるかもしくは
    下回る閾値時間を計測し、該波高値あるいは該閾値時間
    についての平均値あるいは分散値あるいは偏差値あるい
    は累積度数値を算出する統計演算処理または周波数解析
    演算処理であることを特徴とする磁気ヘッドの検査装
    置。
  21. 【請求項21】磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験用
    データを記録するとともに、記録した試験データを該磁
    気ヘッドにより再生し所望の処理をすることで該磁気ヘ
    ッドの検査を行う磁気ヘッドの検査装置において、 再生した試験データをディジタル値に変換するN個(N
    は整数)の変換手段と、 該N個の変換手段を1個の変換手段につき所定のサンプ
    リング周波数で動作させるサンプリングクロック制御手
    段と、 該N個の変換手段で変換されたディジタル値を保持する
    N個の保持手段と、 該N個の保持手段に保持されたディジタル値より該磁気
    記録媒体の磁気特性に関する演算処理をするデータ処理
    手段とを備え、該磁気ヘッドの検査を行うことを特徴と
    する磁気ヘッドの検査装置。
  22. 【請求項22】請求項21記載において、前記演算処理
    は、該変換したディジタル値を用いて任意の該再生試験
    データの波高値あるいは任意の閾値を越えるかもしくは
    下回る閾値時間を計測し、該波高値あるいは該閾値時間
    についての平均値あるいは分散値あるいは偏差値あるい
    は累積度数値を算出する統計演算処理または周波数解析
    演算処理であることを特徴とする磁気ヘッドの検査装
    置。
  23. 【請求項23】磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験用
    データを記録するとともに、記録した試験データを該磁
    気ヘッドにより再生し所望の処理をすることで該磁気ヘ
    ッドの検査を行う磁気ヘッドの検査装置において、 再生した試験データをディジタル値に変換するN個の変
    換手段と、 該N個の変換手段を1個の変換手段につきサンプリング
    周波数fADCで動作させるサンプリングクロック制御手
    段と、 該N個の変換手段で変換されたディジタル値を保持する
    N個の保持手段と、 該N個の保持手段に保持されたディジタル値より該磁気
    記録媒体の磁気特性に関する演算処理をするデータ処理
    手段と、 該データ処理手段の出力より該磁気記録媒体の判定処理
    をする解析処理手段とを備え、且つ、 再生した試験データの周波数finに対して目標とするサ
    ンプリング周波数fsとの比であるMと、該周波数fin
    と、該変換手段を動作させるサンプリング周波数fADC
    とが、 N≧ M×fin/fADC である関係で且つ整数であることを特徴とする磁気ヘッ
    ドの検査装置。
  24. 【請求項24】請求項23記載において、前記演算処理
    は、該変換したディジタル値を用いて任意の該再生試験
    データの波高値あるいは任意の閾値を越えるかもしくは
    下回る閾値時間を計測し、該波高値あるいは該閾値時間
    についての平均値あるいは分散値あるいは偏差値あるい
    は累積度数値を算出する統計演算処理または周波数解析
    演算処理であることを特徴とする磁気ヘッドの検査装
    置。
  25. 【請求項25】磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験用
    データを記録するとともに、記録した試験データを該磁
    気ヘッドにより再生し所望の処理をすることで該磁気ヘ
    ッドの検査を行う磁気ヘッドの検査装置において、 所望の周波数で発振する第1の発振手段の出力により、
    該磁気記録媒体を保持する保持回転手段を回転動作させ
    る回転制御手段と、 該保持回転手段上の該磁気記録媒体に対向して配置され
    る磁気ヘッドにより、該磁気記録媒体に該試験用データ
    を記録する記録手段と、 該磁気ヘッドにより該磁気記録媒体に記録された該試験
    用データを再生する再生手段と、 再生した該試験データをディジタル値に変換するN個の
    変換手段と、 再生した該試験データを該N個の変換手段に分配して供
    給する再生信号分配手段と、 所望の周波数で発振する第2の発振手段に基づくクロッ
    ク信号により、該N個の変換手段を1個の変換手段につ
    きサンプリング周波数fADCで動作させるサンプリング
    クロック分配手段と、 該N個の変換手段で変換されたディジタル値を保持する
    N個の保持手段と、 該N個の保持手段に保持されたディジタル値より該磁気
    記録媒体の磁気特性に関する演算処理をするデータ処理
    手段と、 該データ処理手段の出力より該磁気記録媒体の判定処理
    をする解析処理手段と、 該第1の発振手段と該第2の発振手段の発振周波数およ
    び該変換手段を動作させるサンプリング周波数とを可変
    する制御手段とを備え、且つ、 再生した試験データの周波数finに対して目標とするサ
    ンプリング周波数fsとの比であるMと、該周波数fin
    と、該変換手段を動作させるサンプリング周波数fADC
    とが、 N≧ M×fin/fADC である関係で且つ整数であることを特徴とする磁気ヘッ
    ドの検査装置。
  26. 【請求項26】請求項25記載において、前記演算処理
    は、該変換したディジタル値を用いて任意の該再生試験
    データの波高値あるいは任意の閾値を越えるかもしくは
    下回る閾値時間を計測し、該波高値あるいは該閾値時間
    についての平均値あるいは分散値あるいは偏差値あるい
    は累積度数値を算出する統計演算処理または周波数解析
    演算処理であることを特徴とする磁気ヘッドの検査装
    置。
  27. 【請求項27】磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験用
    データを記録するとともに、記録した試験データを該磁
    気ヘッドにより再生し所望の処理をすることで該磁気ヘ
    ッドの検査を行う磁気ヘッドの検査装置において、 所望の周波数で発振する第1の発振手段の出力により、
    該磁気記録媒体を保持する保持回転手段を回転動作させ
    る回転制御手段と、 該回転制御手段よりの回転数を表すインデックス信号お
    よび回転位置を表す該エンコード信号をもとに、スター
    ト信号およびストップ信号に応答して、書き込み開始お
    よび終了を表す書き込みモード信号と、読み出し開始お
    よび終了を表す読み出しモード信号とを生成するモード
    およびタイミング制御手段と、 該書き込みモード信号をもとに、該保持回転手段上の該
    磁気記録媒体に対向して配置される磁気ヘッドにより、
    該磁気記録媒体に該試験用データを記録する記録手段
    と、 該読み出しモード信号をもとに、該磁気ヘッドにより該
    磁気記録媒体に記録された該試験用データを再生する再
    生手段と、 再生した該試験データをディジタル値に変換するN個の
    変換手段と、 再生した該試験データを該N個の変換手段に分配して供
    給する再生信号分配手段と、 所望の周波数で発振する第2の発振手段に基づくクロッ
    ク信号により、該N個の変換手段を1個の変換手段につ
    きサンプリング周波数fADCで動作させるサンプリング
    クロック分配手段と、 該N個の変換手段で変換されたディジタル値を保持する
    N個の保持手段と、 該N個の保持手段に保持されたディジタル値より該磁気
    記録媒体の磁気特性に関する演算処理をするデータ処理
    手段と、 該データ処理手段の出力より該磁気記録媒体の判定処理
    をする解析処理手段と、 該第1の発振手段と該第2の発振手段の発振周波数およ
    び該変換手段を動作させるサンプリング周波数とを可変
    する制御手段とを備え、且つ、 再生した試験データの周波数finに対して目標とするサ
    ンプリング周波数fsとの比であるMと、該周波数fi
    nと、該変換手段を動作させるサンプリング周波数fAD
    Cとが、 N≧ M×fin/fADC である関係で且つ整数であることを特徴とする磁気ヘッ
    ドの検査装置。
  28. 【請求項28】請求項27記載において、前記演算処理
    は、該変換したディジタル値の任意の数における、波高
    値あるいは任意の閾値を越えるかもしくは下回る時間に
    ついて、平均値あるいは分散値あるいは偏差値あるいは
    累積度数値を算出する統計演算処理または周波数解析演
    算処理であることを特徴とする磁気ヘッドの検査装置。
  29. 【請求項29】磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験用
    データを記録するとともに、記録した試験データを該磁
    気ヘッドにより再生し所望の処理をすることで該磁気ヘ
    ッドの検査を行う磁気ヘッドの検査装置において、 該磁気記録媒体に対向して配置されるL個の磁気ヘッド
    により、該磁気記録媒体に記録された試験データをL個
    (Lは2以上の整数)の個別な信号として再生するL個
    の再生手段と、 再生した試験データをディジタル値に変換するN個(N
    は2以上の整数)の変換手段と、 再生した該試験データを所望の接続状態にして該N個の
    変換手段に分配して供給する再生信号分配手段と、 該N個の変換手段を1個の変換手段につき所定のサンプ
    リング周波数で動作させるサンプリングクロック制御手
    段と、 該N個の変換手段で変換されたディジタル値を保持する
    N個の保持手段と、 該N個の保持手段に保持されたディジタル値より該磁気
    記録媒体の磁気特性に関する演算処理をするデータ処理
    手段とを備え、該磁気ヘッドの検査を行うことを特徴と
    する磁気ヘッドの検査装置。
  30. 【請求項30】請求項29記載において、前記演算処理
    は、該変換したディジタル値の任意の数における、波高
    値あるいは任意の閾値を越えるかもしくは下回る時間に
    ついて、平均値あるいは分散値あるいは偏差値あるいは
    累積度数値を算出する統計演算処理または周波数解析演
    算処理であることを特徴とする磁気ヘッドの検査装置。
    前記演算処理は、該変換したディジタル値の任意の数に
    おける、波高値あるいは任意の閾値を越えるかもしくは
    下回る時間について、平均値あるいは分散値あるいは偏
    差値あるいは累積度数値を算出する統計演算処理または
    周波数解析演算処理であることを特徴とする磁気ヘッド
    の検査装置。
  31. 【請求項31】磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験用
    データを記録するとともに、記録した試験データを該磁
    気ヘッドにより再生し所望の処理をすることで該磁気ヘ
    ッドの検査を行う磁気ヘッドの検査装置において、 再生した試験データをディジタル値に変換し、変換した
    ディジタル値より、該磁気記録媒体の磁気特性に関する
    演算処理をして、該磁気記録媒体の検査を行う磁気ヘッ
    ドの検査装置であって、 該演算処理は、該変換したディジタル値をもとに複数の
    計数手段を選択的に計数動作させる第1の頻度計測手段
    と、該第1の頻度計測手段の出力をもとにヒストグラム
    演算処理により再生波形の平均振幅値を計測して出力す
    る第1のヒストグラム処理手段と、 該第1のヒストグラム処理手段の出力に1/2の計数を
    乗算する係数手段と、 該係数手段の出力と該変換手段の出力とを大小比較して
    比較結果を出力する比較手段と、 該比較手段の出力が所定のレベルである期間においての
    み、所望の周波数で発振動作するクロック信号パルスを
    計数動作するパルス計数手段と、 該比較手段の出力の変化に基づいて動作し該パルス計数
    手段の出力したパルスをもとに複数の計数手段を選択的
    に計数動作させる第2の頻度計測手段と、 該第1の頻度計測手段の出力をもとにヒストグラム演算
    処理により再生波形の平均パルス幅を計測して出力する
    第2のヒストグラム処理手段とを備え、 所望の期間における該再生波形の平均振幅値および平均
    パルス幅を計測することにより、該磁気ヘッドの検査を
    行うことを特徴とする磁気ヘッドの検査装置。
  32. 【請求項32】磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験用
    データを記録するとともに、記録した試験データを該磁
    気ヘッドにより再生し所望の処理をすることで該磁気ヘ
    ッドの検査を行う磁気ヘッドの検査装置において、 再生した試験データをディジタル値に変換し、変換した
    ディジタル値より、該磁気記録媒体の磁気特性に関する
    演算処理をして、該磁気記録媒体の検査を行う磁気ヘッ
    ドの検査装置であって、 該演算処理は、該変換したディジタル値をもとに、該デ
    ィジタル値に対応した第1のメモリのアドレスに書き込
    まれたデータを第1の加算回路を用いて加算して同じア
    ドレスに書き込むことで頻度を計測する第1の頻度値保
    持手段と、 該第1の頻度値保持手段の出力をもとにヒストグラム演
    算処理により再生波形の平均振幅値を計測して出力する
    第1のヒストグラム処理手段と、 所定の閾値データを保持する閾値保持手段と、 該閾値保持手段の出力と該変換手段の出力とを比較して
    比較結果を出力する比較手段と、 該比較手段の出力が所定のレベルである期間においての
    み、所望の周波数のクロック信号パルスを計数動作する
    パルス計数手段と、 該パルス計数手段の出力をもとに、該ディジタル値に対
    応した第2のメモリのアドレスに書き込まれたデータを
    第2の加算回路を用いて加算して同じアドレスに書き込
    むことで頻度を計測する第2の頻度値保持手段と、 該第2の頻度値保持手段の出力をもとにヒストグラム演
    算処理により所定の閾値における再生波形の平均パルス
    値を計測して出力する第2のヒストグラム処理手段とを
    備え、 所望の期間における該再生波形の平均振幅値および平均
    パルス幅を計測することにより、該磁気ヘッドの検査を
    行うことを特徴とする磁気ヘッドの検査装置。
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