JP2001172477A - 硬化性重合体組成物及びそれを用いた多層回路基板 - Google Patents

硬化性重合体組成物及びそれを用いた多層回路基板

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JP2001172477A
JP2001172477A JP36032399A JP36032399A JP2001172477A JP 2001172477 A JP2001172477 A JP 2001172477A JP 36032399 A JP36032399 A JP 36032399A JP 36032399 A JP36032399 A JP 36032399A JP 2001172477 A JP2001172477 A JP 2001172477A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 硬化作業性の良い硬化性重合体組成物を提供
すること、及び電気絶縁性、耐薬品性、耐熱性及び密着
性に優れ、且つ該硬化性重合体組成物の硬化物がスルー
ホールやビアホールなどの凹部に空隙なく埋め込まれた
(すなわち、積層性に優れた)多層回路基板を提供す
る。 【解決手段】 脂環式オレフィン重合体、硬化剤および
液状エポキシ樹脂を含有する硬化性重合体組成物又は硬
化性重合体組成物を内層基板上に積層する際の温度で1
0分間、硬化性重合体組成物を放置した後の溶融粘度の
変化率が、該温度で放置する前の溶融粘度に対して1%
〜300%である硬化性重合体組成物を内層基板上に積
層し、硬化させて、電気絶縁層を形成し、該電気絶縁層
の上に導電体回路を形成することによって多層回路基板
を得る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、硬化性重合体組成
物及び多層回路基板に関し、さらに詳しくは、硬化作業
性の良い硬化性重合体組成物及び、電気絶縁性、耐薬品
性、耐熱性及び密着性に優れ、且つ前記硬化性重合体組
成物の硬化物がスルーホールやビアホールなどの凹部に
空隙なく埋め込まれた多層回路基板に関する。
【0002】
【従来の技術】電子機器の小型化、多機能化に伴って、
電子機器に用いられている回路基板もより高密度化が要
求されるようになってきている。回路基板の高密度化の
一般的手法として、回路基板を多層化することが良く知
られている。多層回路基板は、通常、電気絶縁層(1)
と、その表面に形成された導電体回路(1)とからなる
内層基板上に、電気絶縁層(2)を積層し、該電気絶縁
層(2)の上に導電体回路(2)を形成することによっ
て、必要に応じて、さらにその上に電気絶縁層と導電体
回路を数段積層することによって得られる。電気絶縁層
に使用される樹脂組成物として、例えば、(1)ポリビ
ニルアセタール樹脂と、室温で液状のエポキシ樹脂とを
含有するもの(特開平7−266492号公報)、
(2)室温で固体の多官能エポキシ樹脂と、室温で液状
のエポキシ樹脂と、ポリフェニレンエーテルなどの重合
体とを含有するもの(特開平11−87927号公報)
などが提案されている。また、(3)ノルボルネンのご
とき脂環式オレフィンを開環又は付加重合して得られる
重合体と、硬化剤とを含有するもの(国際公開WO/9
8/56011)なども提案されている。しかしなが
ら、導電体回路の高密度化を図るために、電気絶縁層の
厚みを薄くし、回路の配線幅を細くし、且つ配線間隔を
狭くした場合に、(1)の組成物では、組成物がスルー
ホールやビアホールなどの凹部に空隙無く埋め込むこと
が困難な場合があり、また、電気絶縁性、耐熱性及び密
着性が不十分であった。(2)の組成物では、内層基板
に積層させたシートに反りが生じやすく、耐熱性及び密
着性も充分でなかった。また、(3)の組成物でも、内
層基板に積層させたシートに反りが生じることが稀にあ
った。また、(1)〜(3)の組成物はいずれも硬化速
度が速く、凹部への埋め込み(積層性)が不十分であっ
た。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、硬化
作業性の良い硬化性重合体組成物を提供すること、及び
電気絶縁性、耐薬品性、耐熱性及び密着性に優れ、且つ
該硬化性重合体組成物の硬化物がスルーホールやビアホ
ールなどの凹部に空隙なく埋め込まれた(すなわち、積
層性に優れた)多層回路基板を提供することにある。本
発明者らは、上記目的を達成するために鋭意研究をした
結果、脂環式オレフィン重合体と、硬化剤と、液状エポ
キシ樹脂とを配合した重合体組成物、又は、溶融粘度変
化率が1%〜300%である硬化性重合体組成物が、硬
化作業性に優れることを見いだし、さらに、この重合体
組成物を積層することによって、積層性、電気絶縁性、
耐薬品性、耐熱性及び密着性に優れた多層回路基板を得
ることができることを見いだし、この知見に基づいて本
発明を完成するに到った。
【0004】
【課題を解決するための手段】かくして、本発明によれ
ば、脂環式オレフィン重合体、硬化剤および液状エポキ
シ樹脂を含有する硬化性重合体組成物が提供され、溶融
粘度変化率が1%〜300%である硬化性重合体組成物
が提される。また、電気絶縁層(1)と、その表面に形
成された導電体回路(1)とからなる内層基板上に、前
記硬化性重合体組成物を硬化させてなる電気絶縁層
(2)が形成され、該電気絶縁層(2)の上に導電体回
路(2)が形成されてなる多層回路基板が提供される。
【0005】
【発明の実施の形態】本発明の硬化性重合体組成物は、
溶融粘度変化率が1%〜300%、好ましくは20〜2
50%のものである。溶融粘度の変化が小さいものは、
積層時の厚み制御が困難になり、均一膜厚のシートが得
られない。逆に溶融粘度の変化が大きいものは、ボイド
が発生しやすくなる。
【0006】また、本発明の硬化性重合体組成物は、硬
化性重合体組成物フィルムを加熱し、該フィルムを内層
基板に積層させる際の温度に達した時点の溶融粘度が、
通常500〜300000Pa・s、好ましくは100
0〜100000Pa・sである。
【0007】なお、溶融粘度は、硬化性重合体組成物の
フィルムについて、レオメトリックス社製のRDA2を
用い、角速度0.5Hz、動的歪み1%、8mmのパラ
レルプレートにて、測定した値である。溶融粘度変化率
は、硬化性重合体組成物のフィルムを加熱し、該フィル
ムを内層基板に積層させる際の温度に達した時点の溶融
粘度と、該温度で10分経過した時点での溶融粘度を測
定し、以下の式で計算した値である。 溶融粘度の変化率=〔〔10分経過時溶融粘度〕−〔0
分時溶融粘度〕〕/〔0分時溶融粘度〕×100%
【0008】本発明の硬化性重合体組成物は、特に限定
されないが、多層回路基板の電気絶縁層を形成するため
に使用されている公知の重合体を含有するものである。
該重合体としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ア
クリル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイ
ソシアネート樹脂、ポリエステル樹脂、ポリフェニルエ
ーテル樹脂、脂環式オレフィン重合体などが挙げられ
る。
【0009】本発明の好適な硬化性重合体組成物は、重
合体として脂環式オレフィン重合体を含有し、さらに硬
化剤および液状エポキシ樹脂を含有するものである。
【0010】本発明の組成物を構成する脂環式オレフィ
ン重合体は、脂環式構造を有するオレフィンの重合体で
ある。脂環式構造としては、シクロアルカン構造やシク
ロアルケン構造などが挙げられるが、機械的強度、耐熱
性などの観点から、シクロアルカン構造、殊にノルボル
ナン構造が好ましい。また、脂環式構造としては、単
環、多環、縮合多環、橋架け環、これらの組み合わせ多
環などが挙げられる。脂環式構造を構成する炭素原子数
は、格別な制限はないが、通常4〜30個、好ましくは
5〜20個、より好ましくは5〜15個の範囲であると
きに、機械的強度、耐熱性、及び成形性の諸特性が高度
にバランスされ好適である。また、本発明で使用される
脂環式オレフィン重合体は、通常、熱可塑性のものであ
る。
【0011】脂環式オレフィン重合体は、通常、脂環式
構造を有するオレフィン(以下、脂環式オレフィンとい
うことがある。)由来の繰り返し単位を含有する。脂環
式オレフィン重合体中の脂環式オレフィン由来の繰り返
し単位の割合は、使用目的に応じて適宜選択されるが、
通常30〜100重量%、好ましくは50〜100重量
%、より好ましくは70〜100重量%である。脂環式
オレフィン由来の繰り返し単位の割合が過度に少ない
と、耐熱性に劣り好ましくない。脂環式オレフィン由来
の繰り返し単位以外の繰り返し単位としては、格別な限
定はなく、使用目的に応じて適宜選択される。
【0012】本発明で用いられる脂環式オレフィン重合
体としては、極性基を有するものが好ましい。極性基と
しては、ヒドロキシル基、カルボキシル基、アルコキシ
ル基、エポキシ基、グリシジル基、オキシカルボニル
基、カルボニル基、アミノ基、エステル基、カルボン酸
無水物基などが挙げられ、特に、カルボキシル基又はカ
ルボン酸無水物基が好適である。
【0013】極性基の量は、特に制限されないが、脂環
式オレフィン重合体を構成する全繰り返し単位モル数に
対して、通常5〜60モル%、好ましくは10〜50モ
ル%である。
【0014】脂環式オレフィン重合体は、通常、脂環式
オレフィンを付加重合又は開環重合し、そして必要に応
じて不飽和結合部分を水素化することによって、或いは
芳香族オレフィンを付加重合又は開環重合し、そして該
重合体の芳香環部分を水素化することによって得られ
る。また、極性基を有する脂環式オレフィン重合体は、
例えば、1)前記脂環式オレフィン重合体に極性基を有
する化合物を変性反応により導入することによって、
2)極性基を含有する単量体を重合成分として(共)重
合することによって、あるいは3)エステル基などの極
性基を含有する単量体を重合成分として(共)重合した
後、エステル基を加水分解することによって得られる。
本発明においては、1)の方法によって得られる重合体
が好適である。
【0015】脂環式オレフィン重合体を得るために使用
される脂環式オレフィンとしては、ビシクロ〔2.2.
1〕−ヘプト−2−エン(慣用名:ノルボルネン)、5
−メチル−ビシクロ〔2.2.1〕−ヘプト−2−エ
ン、5,5−ジメチル−ビシクロ〔2.2.1〕−ヘプ
ト−2−エン、5−エチル−ビシクロ〔2.2.1〕−
ヘプト−2−エン、5−ブチル−ビシクロ〔2.2.
1〕−ヘプト−2−エン、5−ヘキシル−ビシクロ
〔2.2.1〕−ヘプト−2−エン、5−オクチル−ビ
シクロ〔2.2.1〕−ヘプト−2−エン、5−オクタ
デシル−ビシクロ〔2.2.1〕−ヘプト−2−エン、
5−エチリデン−ビシクロ〔2.2.1〕−ヘプト−2
−エン、5−メチリデン−ビシクロ〔2.2.1〕−ヘ
プト−2−エン、5−ビニル−ビシクロ〔2.2.1〕
−ヘプト−2−エン、
【0016】5−プロペニル−ビシクロ〔2.2.1〕
−ヘプト−2−エン、5−メトキシ−カルビニル−ビシ
クロ〔2.2.1〕−ヘプト−2−エン、5−シアノ−
ビシクロ〔2.2.1〕−ヘプト−2−エン、5−メチ
ル−5−メトキシカルボニル−ビシクロ〔2.2.1〕
−ヘプト−2−エン、5−エトキシカルボニル−ビシク
ロ〔2.2.1〕−ヘプト−2−エン、ビシクロ〔2.
2.1〕−ヘプト−5−エニル−2−メチルプロピオネ
イト、ビシクロ〔2.2.1〕−ヘプト−5−エニル−
2−メチルオクタネイト、
【0017】ビシクロ〔2.2.1〕−ヘプト−2−エ
ン−5,6−ジカルボン酸無水物、5−ヒドロキシメチ
ルビシクロ〔2.2.1〕−ヘプト−2−エン、5,6
−ジ(ヒドロキシメチル)−ビシクロ〔2.2.1〕−
ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシ−i−プロピルビシ
クロ〔2.2.1〕−ヘプト−2−エン、5,6−ジカ
ルボキシ−ビシクロ〔2.2.1〕−ヘプト−2−エ
ン、ビシクロ〔2.2.1〕−ヘプト−2−エン−5,
6−ジカルボン酸イミド、5−シクロペンチル−ビシク
ロ〔2.2.1〕−ヘプト−2−エン、5−シクロヘキ
シル−ビシクロ〔2.2.1〕−ヘプト−2−エン、5
−シクロヘキセニル−ビシクロ〔2.2.1〕−ヘプト
−2−エン、5−フェニル−ビシクロ〔2.2.1〕−
ヘプト−2−エン、
【0018】トリシクロ〔4.3.0.12,5 〕デ
カ−3,7−ジエン(慣用名:ジシクロペンタジエ
ン)、トリシクロ〔4.3.0.12,5 〕デカ−3
−エン、トリシクロ〔4.4.0.12,5〕ウンデカ
−3,7−ジエン、トリシクロ〔4.4.0.
2,5〕ウンデカ−3,8−ジエン、トリシクロ
〔4.4.0.12,5 〕ウンデカ−3−エン、テト
ラシクロ〔7.4.0.110,13.02,7〕−ト
リデカ−2,4,6−11−テトラエン(別名:1,4
−メタノ−1,4,4a,9a−テトラヒドロフルオレ
ン)、テトラシクロ〔8.4.0.111,14.0
3,8〕−テトラデカ−3,5,7,12−11−テト
ラエン(別名:1,4−メタノ−1,4,4a,5,1
0,10a−ヘキサヒドロアントラセン)、
【0019】テトラシクロ〔4.4.0.12,5.1
7,10〕−ドデカ−3−エン(慣用名:テトラシクロ
ドデセン)、8−メチル−テトラシクロ〔4.4.0.
,5.17,10〕−ドデカ−3−エン、8−エチ
ル−テトラシクロ〔4.4.0.12,5
7,10〕−ドデカ−3−エン、8−メチリデン−テ
トラシクロ〔4.4.0.12,5.17,10〕−ド
デカ−3−エン、8−エチリデン−テトラシクロ〔4.
4.0.12,5.17,10〕−ドデカ−3−エン、
8−ビニル−テトラシクロ〔4.4.0.12,5.1
7,10〕−ドデカ−3−エン、8−プロペニル−テト
ラシクロ〔4.4.0.12,5.17,10〕−ドデ
カ−3−エン、8−メトキシカルボニル−テトラシクロ
〔4.4.0.1 ,5.17,10〕−ドデカ−3−
エン、8−メチル−8−メトキシカルボニル−テトラシ
クロ〔4.4.0.12,5.17,10〕−ドデカ−
3−エン、8−ヒドロキシメチル−テトラシクロ〔4.
4.0.12,5.17,10〕−ドデカ−3−エン、
8−カルボキシ−テトラシクロ〔4.4.0.
2,5.1 ,10〕−ドデカ−3−エン、
【0020】8−シクロペンチル−テトラシクロ〔4.
4.0.12,5.17,10〕−ドデカ−3−エン、
8−シクロヘキシル−テトラシクロ〔4.4.0.1
2,5.17,10〕−ドデカ−3−エン、8−シクロ
ヘキセニル−テトラシクロ〔4.4.0.12,5.1
7,10〕−ドデカ−3−エン、8−フェニル−テトラ
シクロ〔4.4.0.12,5.17,10〕−ドデカ
−3−エン、ペンタシクロ〔6.5.1.13,6.0
2,7.09,13〕ペンタデカ−3,10−ジエン、
ペンタシクロ〔7.4.0.13,6.110,13
2,7〕−ペンタデカ−4,11−ジエンのごときノ
ルボルネン系単量体;
【0021】シクロブテン、シクロペンテン、シクロヘ
キセン、3,4−ジメチルシクロペンテン、3−メチル
シクロヘキセン、2−(2−メチルブチル)−1−シク
ロヘキセン、シクロオクテン、3a,5,6,7a−テ
トラヒドロ−4,7−メタノ−1H−インデン、シクロ
ヘプテンのごとき単環のシクロアルケン;ビニルシクロ
ヘキセンやビニルシクロヘキサンのごときビニル系脂環
式炭化水素系単量体;シクロペンタジエン、シクロヘキ
サジエンのごとき脂環式共役ジエン系モノマー;などが
挙げられる。
【0022】芳香族オレフィンとしては、スチレン、α
−メチルスチレン、ジビニルベンゼンなどが挙げられ
る。
【0023】脂環式オレフィン及び/又は芳香族オレフ
ィンは、それぞれ単独で、あるいは2種以上を組み合わ
せて用いることができる。
【0024】脂環式オレフィン重合体は、前記脂環式オ
レフィン及び/又は芳香族オレフィンと、これらと共重
合可能な単量体とを共重合して得られるものであっても
よい。脂環式オレフィン又は芳香族オレフィンと共重合
可能な単量体としては、エチレン、プロピレン、1−ブ
テン、1−ペンテン、1−ヘキセン、3−メチル−1−
ブテン、3−メチル−1−ペンテン、3−エチル−1−
ペンテン、4−メチル−1−ペンテン、4−メチル−1
−ヘキセン、4,4−ジメチル−1−ヘキセン、4,4
−ジメチル−1−ペンテン、4−エチル−1−ヘキセ
ン、3−エチル−1−ヘキセン、1−オクテン、1−デ
セン、1−ドデセン、1−テトラデセン、1−ヘキサデ
セン、1−オクタデセン、1−エイコセンなどの炭素数
2〜20のエチレンまたはα−オレフィン;1,4−ヘ
キサジエン、4−メチル−1,4−ヘキサジエン、5−
メチル−1,4−ヘキサジエン、1,7−オクタジエン
などの非共役ジエン;等が挙げられる。これらの単量体
は、それぞれ単独で、あるいは2種以上を組み合わせて
使用することができる。
【0025】脂環式オレフィン又は/及び芳香族オレフ
ィンの重合方法及び必要に応じて行われる水素添加の方
法は、格別な制限はなく、公知の方法に従って行うこと
ができる。
【0026】脂環式オレフィン重合体の具体例として
は、例えば、ノルボルネン系単量体の開環重合体及びそ
の水素添加物、ノルボルネン系単量体の付加重合体、ノ
ルボルネン系単量体とビニル化合物との付加重合体、単
環シクロアルケン重合体、脂環式共役ジエン重合体、ビ
ニル系脂環式炭化水素重合体及びその水素添加物、芳香
族オレフィン重合体の芳香環水素添加物などが挙げられ
る。これらの中でも、ノルボルネン系単量体の開環重合
体及びその水素添加物、ノルボルネン系単量体の付加重
合体、ノルボルネン系単量体とビニル化合物との付加重
合体、芳香族オレフィン重合体の芳香環水素添加物が好
ましく、特にノルボルネン系単量体の開環重合体の水素
添加物が好ましい。前記の脂環式オレフィン重合体は、
それぞれ単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用い
ることができる。
【0027】脂環式オレフィン重合体は、その分子量に
よって特に制限されない。脂環式オレフィン重合体の分
子量は、シクロヘキサンまたはトルエンを溶媒とするゲ
ルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)で測
定されるポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)
で、通常1,000〜1,000,000、好ましくは
5,000〜500,000、より好ましくは10,0
00〜250,000の範囲である。脂環式オレフィン
重合体の重量平均分子量(Mw)がこの範囲にあるとき
には、耐熱性、成形物表面の平滑性などがバランスされ
好適である。
【0028】脂環式オレフィン重合体の分子量分布は、
シクロヘキサンまたはトルエンを溶媒とするGPCで測
定される重量平均分子量(Mw)と数平均分子量(M
n)との比(Mw/Mn)で、通常5以下、好ましくは
4以下、より好ましくは3以下である。上記の重量平均
分子量(Mw)及び分子量分布(Mw/Mn)の範囲及
び測定法は、ノルボルネン系重合体に好適に適合する
が、それに限定されるものではない。また、上記方法で
重量平均分子量や分子量分布が測定できない脂環式オレ
フィン重合体の場合には、通常の溶融加工法により樹脂
層を形成し得る程度の溶融粘度や重合度を有するものを
使用することができる。
【0029】脂環式オレフィン重合体のガラス転移温度
は、使用目的に応じて適宜選択されればよいが、通常5
0℃以上、好ましくは70℃以上、より好ましくは10
0℃以上、最も好ましくは125℃以上である。
【0030】本発明に用いる硬化性重合体組成物を構成
する硬化剤としては、格別な限定はなく、例えば、イオ
ン性硬化剤、ラジカル性硬化剤又はイオン性とラジカル
性とを兼ね備えた硬化剤等が用いられ、絶縁抵抗性、耐
熱性、耐薬品性、及び脂環式オレフィン重合体との相溶
性の観点でイオン性硬化剤が好ましい。
【0031】イオン性硬化剤としては、例えば、ヘキサ
メチレンジアミン、トリエチレンテトラミン、ジエチレ
ントリアミン、テトラエチレンペンタミンなどの脂肪族
ポリアミン化合物;ジアミノシクロヘキサン、3
(4),8(9)−ビス(アミノメチル)トリシクロ
[5.2.1.02,6 ]デカン;1,3−(ジアミ
ノメチル)シクロヘキサン、メンセンジアミン、イソホ
ロンジアミンN−アミノエチルピペラジン、ビス(4−
アミノ−3−メチルシクロヘキシル)メタン、ビス(4
−アミノシクロヘキシル)メタンなどの脂環族ポリアミ
ン化合物;4,4′−ジアミノジフェニルエーテル、
4,4′−ジアミノジフェニルメタン、α,α′−ビス
(4−アミノフェニル)−1,3−ジイソプロピルベン
ゼン、α,α′−ビス(4−アミノフェニル)−1,4
−ジイソプロピルベンゼン、4,4′−ジアミノジフェ
ニルスルフォン、メタフェニレンジアミン、メタキシシ
リレンジアミンなどの芳香族ポリアミン化合物;
【0032】4,4′−ビスアジドベンザル(4−メチ
ル)シクロヘキサノン、4,4′−ジアジドカルコン、
2,6−ビス(4′−アジドベンザル)シクロヘキサノ
ン、2,6−ビス(4′−アジドベンザル)−4−メチ
ル−シクロヘキサノン、4,4′−ジアジドジフェニル
スルホン、4,4′−ジアジドジフェニルメタン、2,
2′−ジアジドスチルベンなどのビスアジド化合物;無
水フタル酸、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテト
ラカルボン酸無水物、ナジック酸無水物、1,2−シク
ロヘキサンジカルボン酸無水物、無水マレイン酸変性ポ
リプロピレンなどの酸無水物;フマル酸、フタル酸、マ
レイン酸、トリメリット酸、ハイミック酸などのジカル
ボン酸化合物;1,3′−ブタンジオール、1,4′−
ブタンジオール、ヒドロキノンジヒドロキシジエチルエ
ーテル、トリシクロデカンジメタノールなどのジオール
化合物;1,1,1−トリメチロールプロパン等のトリ
オール;フェノールノボラック、クレゾールノボラック
などの多価フェノール;ナイロン−6、ナイロン−6
6、ナイロン−610、ナイロン−11、ナイロン−6
12、ナイロン−12、ナイロン−46、メトキシメチ
ル化ポリアミド、ポリヘキサメチレンジアミンテレフタ
ルアミド、ポリヘキサメチレンイソフタルアミドなどの
ポリアミド化合物;ヘキサメチレンジイソシアネート、
トルイレンジイソシアネートなどのジイソシアネート化
合物;
【0033】フェノールノボラック型固形エポキシ化合
物、クレゾールノボラック型固形エポキシ化合物、クレ
ゾール型固形エポキシ化合物、ビスフェノールA型固形
エポキシ化合物、ビスフェノールF型固形エポキシ化合
物、臭素化ビスフェノールA型固形エポキシ化合物、臭
素化ビスフェノールF型固形エポキシ化合物等のグリシ
ジルエーテル型固形エポキシ化合物、脂環式固形エポキ
シ化合物、グリシジルエステル型固形エポキシ化合物、
グリシジルアミン型固形エポキシ化合物、イソシアヌレ
ート型固形エポキシ化合物などの常温(25℃)固体の
多価エポキシ化合物などが挙げられる。これらの中で
も、ジオール化合物、多価フェノール化合物及び常温固
体の多価エポキシ化合物が、特に、常温固体の多価エポ
キシ化合物が好ましい。
【0034】ラジカル性硬化剤としては、例えば、メチ
ルエチルケトンペルオキシド、シクロヘキサノンペルオ
キシド、1,1−ビス(t−ブチルペルオキシ)3,
3,5−トリメチルシクロヘキサン、2,2−ビス(t
−ブチルペルオキシ)ブタン、t−ブチルハイドロペル
オキシド、2,5−ジメチルヘキサン−2,5−ジハイ
ドロペルオキシド、ジクミルペルオキシド、2,5−ジ
メチル−2,5−ジ(t−ブチルペルオキシ)ヘキシン
−3、α,α′−ビス(t−ブチルペルオキシ−m−イ
ソプロピル)ベンゼン、オクタノイルペルオキシド、イ
ソブチリルペルオキシド、ペルオキシジカーボネートな
どの有機ペルオキシドなどが挙げられる。
【0035】これらの硬化剤は、それぞれ単独で、ある
いは2種以上を組み合わせて用いることができ、その配
合割合は、脂環式オレフィン重合体100重量部に対し
て、通常5〜150重量部、好ましくは15〜110重
量部、より好ましくは30〜100重量部の範囲であ
る。
【0036】脂環式オレフィン重合体と硬化剤との硬化
反応を促進させるために、硬化促進剤や硬化助剤を使用
することもできる。硬化促進剤は、特に限定されない。
硬化剤が、例えば多価エポキシ化合物の場合には、第3
級アミン系化合物や三弗化ホウ素錯化合物などが好適で
ある。なかでも、第3級アミン系化合物を使用すると、
微細配線に対する積層性、絶縁抵抗性、耐熱性、耐薬品
性が向上する。
【0037】第3級アミン系化合物の具体例としては、
例えば、ベンジルジメチルアミン、トリエタノールアミ
ン、トリエチルアミン、トリブチルアミン、トリベンジ
ルアミン、ジメチルホルムアミドなどの鎖状3級アミン
化合物;ピラゾール類、ピリジン類、ピラジン類、ピリ
ミジン類、インダゾール類、キノリン類、イソキノリン
類、イミダゾール類、トリアゾール類などの化合物が挙
げられる。これらの中でも、イミダゾール類、特に置換
基を有する置換イミダゾール化合物が好ましい。
【0038】置換イミダゾール化合物の具体例として
は、例えば、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4
−メチルイミダゾール、ビス−2−エチル−4−メチル
イミダゾール、1−メチル−2−エチルイミダゾール、
2−イソプロピルイミダゾール、2,4−ジメチルイミ
ダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾールなどのアルキ
ル置換イミダゾール化合物;2−フェニルイミダゾー
ル、2−フェニル−4−メチルイミダゾール,1−ベン
ジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−エ
チルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダ
ゾール、ベンズイミダゾール、2−エチル−4−メチル
−1−(2’−シアノエチル)イミダゾール、2−エチ
ル−4−メチル−1−[2’−(3”,5”−ジアミノ
トリアジニル)エチル]イミダゾールなどのアリール基
やアラルキル基などの環構造を含有する炭化水素基で置
換されたイミダゾール化合物などが挙げられる。これら
の中でも、環構造含有の置換基を有するイミダゾールが
脂環式オレフィン重合体との相溶性の観点から好まし
く、特に、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾールが
好ましい。
【0039】これらの硬化促進剤は、それぞれ単独で、
あるいは2種以上を組み合わせて用いられる。硬化促進
剤の配合量は、使用目的に応じて適宜選択されるが、脂
環式オレフィン重合体100重量部に対して、通常0.
001〜30重量部、好ましくは0.01〜10重量
部、より好ましくは0.03〜5重量部である。
【0040】硬化助剤は、特に限定されるものではな
い。例えば、キノンジオキシム、ベンゾキノンジオキシ
ム、p−ニトロソフェノール等のオキシム・ニトロソ系
硬化助剤;N,N−m−フェニレンビスマレイミド等の
マレイミド系硬化助剤;ジアリルフタレート、トリアリ
ルシアヌレート、トリアリルイソシアヌレート等のアリ
ル系硬化助剤;エチレングリコールジメタクリレート、
トリメチロールプロパントリメタクリレート等のメタク
リレート系硬化助剤;ビニルトルエン、エチルビニルベ
ンゼン、ジビニルベンゼンなどのビニル系硬化助剤等が
挙げられる。
【0041】これらの硬化助剤は、それぞれ単独で、あ
るいは2種以上を組み合わせて用いることができ、その
配合割合は、硬化剤100重量部に対して、通常1〜1
000重量部、好ましくは10〜500重量部の範囲で
ある。
【0042】本発明に用いる液状エポキシ樹脂は、溶剤
の不存在下の常温(25℃)で液体のエポキシ化合物
(あるいは樹脂)である。具体的には、フェノール型液
状エポキシ樹脂として化1〜化3の化合物が挙げられ
る。
【0043】
【化1】
【0044】
【化2】
【0045】
【化3】
【0046】アミン型液状エポキシ樹脂として化4〜化
6で表される化合物が挙げられる。
【化4】
【0047】
【化5】
【0048】
【化6】
【0049】アルコール型液状エポキシ樹脂として、化
7〜化13で表される化合物が挙げられる。
【化7】
【0050】
【化8】
【0051】
【化9】
【0052】
【化10】
【0053】
【化11】
【0054】
【化12】
【0055】
【化13】
【0056】エステル型液状エポキシ樹脂としては、化
14〜化19で表される化合物が挙げられる。
【化14】
【0057】
【化15】
【0058】
【化16】
【0059】
【化17】
【0060】
【化18】
【0061】
【化19】
【0062】その他の液状エポキシ樹脂として、化20
〜化22で表される化合物、
【化20】
【0063】
【化21】
【0064】
【化22】
【0065】エポキシ変性液状ゴム(具体的にはエポキ
シ変性液状ポリブタジエン)、ゴム分散液状エポキシ樹
脂、ビスフェノールA型液状エポキシ樹脂、ビスフェノ
ールF型液状エポキシ樹脂、フェノールノボラック型液
状エポキシ樹脂、ヘキサヒドロフタル酸ジグリシジエス
テルなどが挙げられる。これらのうち、グリシジル基を
有する液状エポキシ樹脂、殊に環境への影響を考慮する
と、ハロゲンを含有せずグリシジル基を有する液状エポ
キシ樹脂が好適である。
【0066】これら液状エポキシ樹脂は、それぞれ単独
で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることがで
き、その配合割合は、脂環式オレフィン重合体100重
量部に対して、通常1〜100重量部、好ましくは5〜
80重量部、より好ましくは10〜60重量部、更に好
ましくは15〜40重量部の範囲である。
【0067】本発明の硬化性重合体組成物には、所望に
応じて、その他の成分を配合することができる。その他
の成分としては、脂環式オレフィン重合体以外の重合体
や配合剤などが挙げられる。
【0068】脂環式オレフィン重合体以外の重合体とし
ては、例えば、ゴム質重合体や樹脂を挙げることができ
る。ゴム質重合体は、通常30℃以下のTgを有する重
合体であり、具体例としては、例えば、天然ゴム、ポリ
イソブチレンゴム、ブチルゴム、ポリブタジエンゴム、
ポリイソプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエン共
重合体ゴム、スチレン・ブタジエン共重合体ゴム、スチ
レン・イソプレン共重合体ゴム、スチレン・ブタジエン
・イソプレン三元共重合体ゴムのごときジエン系ゴム及
びこれらジエン系ゴムの水素添加物;エチレン・プロピ
レン共重合体等のエチレン・α−オレフィン共重合体、
プロピレン・その他のα−オレフィン共重合体などの飽
和ポリオレフィンゴム;エチレン・プロピレン・ジエン
共重合体、α−オレフィン・ジエン共重合体、イソブチ
レン・イソプレン共重合体、イソブチレン・ジエン共重
合体などのα−オレフィン・ジエン系重合体ゴム;ウレ
タンゴム、ポリエーテルゴム、アクリルゴム、プロピレ
ンオキサイドゴム、エチレンアクリルゴムなどの特殊ゴ
ム;スチレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合体
ゴム、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合
体ゴムなどのスチレン系熱可塑性エラストマー及びそれ
らの水素添加物;ウレタン系熱可塑性エラストマー;ポ
リアミド系熱可塑性エラストマー;1,2−ポリブタジ
エン系熱可塑性エラストマー;などが挙げられる。
【0069】樹脂としては、例えば、低密度ポリエチレ
ン、高密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン、
超低密度ポリエチレン、ポリプロピレン、シンジオタク
チックポリプロピレン、ポリブテン、ポリペンテンなど
のポリオレフィン;ナイロン66などのポリアミド;エ
チレン−エチルアクリレート共重合体、エチレン−酢酸
ビニル共重合体;ポリエステル;ポリカーボネート;ア
クリル樹脂;ポリイミドなどが挙げられる。
【0070】これらの重合体は、それぞれ単独で、ある
いは2種以上を組み合わせて用いることができる。その
他の重合体の配合割合は、脂環式オレフィン重合体10
0重量部に対して、通常100重量部以下、好ましくは
70重量部以下、より好ましくは50重量部以下であ
り、その下限は0重量部である。
【0071】配合剤としては、フィラー、難燃剤、難燃
助剤、耐熱安定剤、耐候安定剤、レベリング剤、帯電防
止剤、スリップ剤、アンチブロッキング剤、防曇剤、滑
剤、染料、顔料、天然油、合成油、ワックス、乳剤など
が挙げられ、その量は、本発明の目的を損ねない範囲で
適宜選択される。これら配合剤の中で、絶縁抵抗性及び
耐剥離性を向上させるために、チオール化合物、特に、
分子中に少なくとも二個のチオール基を有する多価チオ
ール化合物が好ましく、さらに分子内にヘテロ環構造を
有するものがより好ましい。ヘテロ環の構造としてはト
リアジン環構造が好ましい。チオール化合物の具体例の
中で、配線埋め込み性の観点で、トリアジンジチオール
化合物が好ましい。
【0072】チオール化合物の量は、脂環式オレフィン
重合体100重量部に対して、通常0.001〜30重
量部、好ましくは0.01〜10重量部である。量が少
なすぎると、絶縁抵抗性及び耐剥離性の向上効果が発揮
されにくくなり、量が多すぎると、耐熱性及び耐薬品性
が低下傾向になる。
【0073】本発明の硬化性重合体組成物は、その使用
形態によって格別限定されないが、該硬化性重合体組成
物を溶媒に溶解又は分散させて分散液として、又は該硬
化性重合体組成物を成形して、特にフィルム状若しくは
シート状に成形して、使用することができる。本発明の
硬化性重合体組成物の溶液又は分散液は、例えば、金属
配線層を有する基板上に直接塗布したり、溶液キャスト
法によりフィルムやシートに成形する目的で使用するこ
とができる。
【0074】本発明の多層回路基板は、電気絶縁層
(1)と、その表面に形成された導電体回路(1)とか
らなる内層基板上に、前記の硬化性重合体組成物を硬化
させてなる電気絶縁層(2)が形成され、該電気絶縁層
(2)の上に導電体回路(2)が形成されてなるもので
ある。
【0075】内層基板は、電気絶縁層(1)と、その表
面に形成された導電体回路(1)とからなるものであ
る。
【0076】電気絶縁層(1)は、公知の電気絶縁材
料、例えば、脂環式オレフィン重合体、エポキシ樹脂、
マレイミド樹脂、(メタ)アクリル樹脂、ジアリルフタ
レート樹脂、トリアジン樹脂、ポリフェニルエーテルな
どを、硬化してなるもので形成されたものである。本発
明においては電気絶縁層(1)として、前記の脂環式オ
レフィン重合体を含有する硬化性重合体組成物の硬化物
からなるものが好適である。また、内層基板は、ガラス
繊維などを強度向上のために含有させたものであっても
よい。
【0077】電気絶縁層(1)の表面に形成された導電
体回路(1)は、導電性金属などの導電体により形成さ
れた電気回路であって、その回路構成などは通常の多層
回路基板に用いられているものと同じものが使用でき
る。内層基板の具体例として、プリント配線基板、シリ
コンウェハー基板などが挙げられる。内層基板の厚み
は、通常50μm〜10mm、好ましくは60μm〜5
mm、より好ましくは100μm〜2mmである。
【0078】内層基板と電気絶縁層(2)との密着力を
向上させるために内層基板を前処理することが好まし
い。前処理としては、アルカリ性亜塩素酸ナトリウム水
溶液や過マンガン酸などを内層基板表面に接触させて表
面を粗化する方法、アルカリ性過硫酸カリ水溶液、硫化
カリ−塩化アンモニア水溶液などにより表面を酸化した
後に還元する方法、及び内層基板の導電体回路部分にメ
ッキを析出させ粗化する方法などが挙げられる。
【0079】電気絶縁層(2)を構成する材料は前記の
硬化性重合体組成物の硬化物である。内層基板上に電気
絶縁層(2)を形成する方法としては、1)硬化性重合
体組成物の溶液又は分散液を内層基板上に塗布した後、
溶媒を除去乾燥して硬化性重合体組成物の塗布層を形成
した後、該組成物を硬化させる方法、または、2)硬化
性重合体組成物をフィルム又はシートに成形し、そのシ
ート又はフィルムを加熱圧着等により内層基板上に積層
させた後に、硬化させる方法が挙げられる。本発明にお
いては後者の方法が好適である。
【0080】硬化性重合体組成物をシート又はフィルム
に成形する方法は特に限定されないが、本発明において
は溶液キャスト法や溶融キャスト法で成形するのが好ま
しい。溶液キャスト法では、硬化性重合体組成物の溶液
又は分散液を支持体に塗布した後に、溶媒を乾燥除去す
る。
【0081】本発明の硬化性重合体組成物を溶解又は分
散させるために使用する溶媒としては、例えば、トルエ
ン、キシレン、エチルベンゼン、トリメチルベンゼンな
どの芳香族炭化水素系溶媒;n−ペンタン、n−ヘキサ
ン、n−ヘプタンなどの脂肪族炭化水素系溶媒;シクロ
ペンタン、シクロヘキサンなどの脂環式炭化水素系溶
媒;クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、トリクロロベ
ンゼンなどのハロゲン化炭化水素系溶媒;メチルエチル
ケトン、メチルイソブチルケトン、シクロペンタノン、
シクロヘキサノンなどのケトン系溶媒などを挙げること
ができる。これらの溶媒は、それぞれ単独で、あるいは
2種以上を組み合わせて用いることができる。
【0082】これら溶媒のなかでも、微細配線への埋め
込み性に優れ、気泡等を生じさせないものとして、芳香
族炭化水素系溶媒や脂環式炭化水素系溶媒のごとき非極
性溶媒と、ケトン系溶媒のごとき極性溶媒とを混合した
混合溶媒が好ましい。これらの非極性溶媒と極性溶媒の
混合比は適宜選択できるが、重量比で、通常5:95〜
95:5、好ましくは10:90〜90:10、より好
ましくは20:80〜80:20の範囲である。
【0083】溶媒の使用量は、使用目的に応じて適宜選
択されるが、硬化性重合体組成物の溶液又は分散液の固
形分濃度が、通常5〜70重量%、好ましくは10〜6
5重量%、より好ましくは20〜60重量%になる範囲
である。
【0084】硬化性重合体組成物の溶媒中への分散又は
溶解方法は、常法に従えばよく、例えば、攪拌子とマグ
ネチックスターラーを使用した攪拌、高速ホモジナイザ
ー、ディスパージョン、遊星攪拌機、二軸攪拌機、ボー
ルミル、三本ロールなどを使用した方法などで行うこと
ができる。
【0085】溶液キャスト法に使用する支持体として、
樹脂フィルムや金属箔などが挙げられる。 樹脂フィル
ムとしては、通常、熱可塑性樹脂フィルムが用いられ、
具体的には、ポリエステルフィルム、ポリプロピレンフ
ィルム、ポリエチレンフィルム、ポリカーボネイトフィ
ルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリアリレ
ートフィルム、ナイロンフィルムなどが挙げられる。こ
れら樹脂フィルムの中、耐熱性や耐薬品性、積層後の剥
離性などの観点からポリエチレンテレフタレートフィル
ム、ポリエチレンナフタレートフィルム等ポリエステル
フィルムが好ましい。金属箔としては、例えば、銅箔、
アルミ箔、ニッケル箔、クロム箔、金箔、銀箔などが挙
げられる。これら金属箔の中、導電性が良好で安価であ
る点から、銅箔、特に電解銅箔や圧延銅箔が好適であ
る。支持体の厚さは特に制限されないが、作業性等の観
点から、通常1μm〜150μm、好ましくは2μm〜
100μm、より好ましくは3〜50μmである。
【0086】塗布方法として、デイップコート、ロール
コート、カーテンコート、ダイコート、スリットコート
などの方法が挙げられる。また溶媒の除去乾燥の条件
は、溶媒の種類により適宜選択され、乾燥温度は、通常
20〜300℃、好ましくは30〜200℃であり、乾
燥時間は、通常30秒〜1時間、好ましくは1分〜30
分である。
【0087】フィルム又はシートの厚みは、通常0.1
〜150μm、好ましくは0.5〜100μm、より好
ましくは1.0〜80μmである。なお、フィルム又は
シートを単独で得たい場合には、支持体上にフィルム又
はシートを形成した後、支持体から剥離する。
【0088】硬化性重合体組成物からなるフィルム又は
シートを内層基板上に積層するには、通常、支持体付き
のフィルム又はシートを、該フィルム又はシートが内層
基板面に接するように重ね合わせ、加圧ラミネータ、プ
レス、真空ラミネータ、真空プレス、ロールラミネータ
などの加圧機を使用して加熱圧着する。加熱圧着は、配
線への埋め込み性を向上させ、気泡等の発生を抑えるた
めに真空下で行うのが好ましい。加熱圧着時の温度は、
通常30〜250℃、好ましくは70〜200℃、圧力
は、通常0.1〜200kg/cm、好ましくは1〜
100kg/cm、圧着時間は、通常30秒〜5時
間、好ましくは1分〜3時間、真空度は通常760mm
Hg vac.〜0.01mmHg vac.、好まし
くは300mmHg vac.〜0.1mmHg va
c.である。
【0089】内層基板上に、硬化性重合体組成物の溶液
又は分散液を塗布して、硬化性重合体組成物を積層する
場合には、前述のフィルム又はシートを溶液キャスト法
で成形した方法と同じ方法で、内層基板上に塗布し、溶
媒を除去する。工業的には、ローラーコーターなどを用
いて内層基板上に塗布することができる。
【0090】硬化性重合体組成物を硬化させるために、
通常、硬化性重合体組成物を加熱する。硬化剤の種類に
応じて硬化条件は適宜選択されるが、硬化させるための
温度は、通常30〜400℃、好ましくは70〜300
℃、より好ましくは100〜200℃であり、硬化時間
は、通常0.1〜5時間、好ましくは0.5〜3時間で
ある。前記支持体付きフィルム又はシートを内層基板に
積層させた場合には、前記支持体が付いたままで、硬化
性重合体組成物からなるフィルム又はシートを加熱し硬
化させてもよいが、通常は前記支持体を剥がした後に硬
化性重合体組成物からなるフィルム又はシートを加熱し
硬化させる。
【0091】電気絶縁層(2)上に新たな導電体回路を
形成する方法としては、メッキや、スパッタリングによ
る方法などが挙げられる。メッキやスパッタリングをす
る前に、電気絶縁層(2)と導電体回路(2)との密着
力を高めるために、電気絶縁層(2)の表面を過マンガ
ン酸やクロム酸などの液を接触させ、あるいはプラズマ
処理などを施すことができる。
【0092】一方、前記支持体付きフィルム又はシート
を内層基板に積層させた場合は、支持体を全て除去し、
該フィルム又はシートを硬化させた後に、メッキやスパ
ッタリングなどによって導電体回路(2)を形成させ
る。支持体が導電性金属箔の場合は該金属箔を一部又は
全部残して、そのまま導電体回路(2)として利用する
こともできる。
【0093】本発明においては、電気絶縁層(2)およ
び導電体回路(2)を形成して得られた基板を、新たな
内層基板として、新たに電気絶縁層および導電体回路を
幾層にも積層することができる。
【0094】本発明の多層回路基板では、通常、電気絶
縁層(2)で仕切られた導電体回路(1)と(2)との
間をビアで接続して使用される。ビアは、ドリル、レー
ザーなどの物理的処理によって形成することもできる
し、前記硬化性重合体組成物をマスキングして光で硬化
させ未硬化部分を取り除く、いわゆるフォトリソグラフ
ィーによっても形成することができる。これらビア形成
方法のうち、絶縁層の特性を低下させず、より微細なビ
アを形成できるという観点から、炭酸ガスレーザー、エ
キシマレーザー、UV−YAGレーザー等のレーザーに
よる方法が好ましい。
【0095】また、上記多層回路基板において、導電体
回路の一部は、金属電源層や金属グラウンド層、金属シ
ールド層になっていてもよい。
【0096】多層回路基板は、コンピューターや携帯電
話等の電子機器において、CPUやメモリなどの半導体
素子、その他の実装部品を実装するためのプリント配線
板として使用できる。特に、微細配線を有するものは高
密度プリント配線基板として、高速コンピューターや、
高周波領域で使用する携帯端末の配線基板として好適で
ある。
【0097】
【実施例】以下に、実施例及び比較例を挙げて本発明を
具体的に説明する。なお、実施例中、〔部〕は、特に断
りのない限り〔重量部〕のことである。
【0098】評価及び測定方法 (1)分子量は、特に断りのない限り、トルエンを溶媒
とするゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー
(GPC)によるポリスチレン換算値として測定した。 (2)水素化率及びカルボキシル基含有率は、H−N
MRにより測定した。 (3)ガラス移転温度(Tg)は、示差走査熱量法(D
SC法)により測定した。 (4)積層時の配線埋め込み性は、多層回路基板を切断
し、走査型電子顕微鏡にて、切断面を観察し、空隙の数
で評価した。評価指標として、配線100本につき空隙
を生じてないものを◎、空隙が1ヶ所以上3ヶ所以内の
ものは○、空隙が4ヶ所以上6ヶ所以内のものは△、空
隙が7ヶ所以上のものは×とした。 (5)積層時の気泡の発生は、多層回路基板の硬化物層
を上面より目視観察し、気泡の有無を確認した。100
cm内に気泡が全く観察されないものを○、1ヶ所以
上5ヶ所以内のものを△、6ヶ所以上のものを×として
評価した。 (6)絶縁抵抗性は、多層回路基板の2層目の電気絶縁
層上に、配線間距離50ミクロン、配線幅50ミクロン
の櫛形電極を形成した後、直流電圧50Vを印加した状
態で、120℃、飽和水蒸気条件下に放置し、300時
間後に、電気抵抗値を測定した。電気抵抗が10オー
ム以上のものは◎、10オーム以上で10オーム未
満のものは○、10オーム未満で短絡してないものは
△、短絡しているものは×と評価した。 (7)耐剥離性は、多層回路基板を120℃、飽和水蒸
気条件下に300時間放置した後、内層基板の導電体回
路層と電気絶縁層のピール強度を測定し、該放置前のピ
ール強度とから、保持率(=〔環境試験後ピール強度〕
/〔環境試験前ピール強度〕×100%)を計算し、保
持率が90%以上のものは◎、80%以上で90%未満
のものは○、70%以上で80%未満のものは△、70
%未満のものは×として評価した。 (8)耐熱性は、多層回路基板を、120℃、飽和水蒸
気条件に12時間放置した後、260℃のハンダ浴に6
0秒間浸漬し外観を目視観察し、膨れや剥がれが発生し
なかったものを○、膨れや剥がれが発生したものを×と
して評価した。 (9)耐薬品性は、多層回路基板を、濃度1mol/
l、温度80℃の苛性ソーダ水溶液に15分間浸漬した
後、層間の密着性をJIS K5400に準じて碁盤目
試験法にて評価した。切り傷の交点と正方形の一目一目
に、絶縁層の剥がれがないものを○、切り傷の交点にわ
ずかな剥がれがあって、正方形の一目一目に剥がれがな
く、剥がれた部分の面積が全正方形面積の5%以内のも
のを△、5%以上のものを×として評価した。 (10)溶融粘度は、硬化性重合体組成物のフィルムに
ついて、レオメトリックス社製のRDA2を用い、角速
度0.5Hz、動的歪み1%、8mmのパラレルプレー
トにて、測定した。溶融粘度変化率は、硬化性重合体組
成物のフィルムを加熱し、150℃に達した時点の溶融
粘度と、150℃で10分経過した時点での溶融粘度を
測定し、以下の式で計算して求めた。 溶融粘度の変化率=〔〔10分経過時溶融粘度〕−〔0
分時溶融粘度〕〕/〔0分時溶融粘度〕×100%
【0099】製造例1 テトラシクロドデセン(TCD)50モル%と8−メチ
ルテトラシクロドデセン(MTD)50モル%とを開環
重合し、次いで水素添加反応を行い、数平均分子量(M
n)が31,200、重量平均分子量(Mw)が55,
800、ガラス転移温度(Tg)が158℃のTCD/
MTD開環共重合体水素化物を得た。得られたポリマー
の水素化率は99%以上であった。この開環共重合体水
素化物28部、無水マレイン酸10部及びジクミルパー
オキシド3部をt−ブチルベンゼン130部に溶解し、
140℃で6時間反応させた。反応生成物溶液をメタノ
ール中に注ぎ、反応生成物を凝固させた。この凝固物を
100℃で20時間真空乾燥し、マレイン酸変性開環重
合体水素添加物(ポリマーA)を得た。ポリマーAは、
Mnが33,200、Mwが68,300、Tgが17
0℃、マレイン酸基含有率が25モル%であった。
【0100】製造例2 無水マレイン酸の量を5部、ジクミルパーオキサイドの
量を2部に変えた以外は、製造例1と同じ方法によりマ
レイン酸変性開環重合体水素添加物(ポリマーB)を得
た。ポリマーBはMnが32,100、Mwが65,2
00、Tgが165℃、マレイン酸基含有率が10モル
%であった。
【0101】実施例1 ポリマーA 15部、2−ジブチルアミノ−4,6−ジ
メルカプト−S−トリアジン(分子量272.4)
0.2部、臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂(商
品名:アラルダイトAER8049:旭チバ株式会社
製:重量平均分子量760)7部、1−ベンジル−2−
フェニルイミダゾール0.02部、五酸化アンチモン
(商品名:NA−1030 二酸化学工業株式会社製)
2部、液状エポキシ樹脂(ジブロモクレジルグリシジル
エーテル)2部、およびシリコンレジン(商品名:トス
パール120:東芝シリコーン株式会社製)1.5部
を、キシレン25部とシクロペンタノン15部との混合
溶媒にそれぞれ溶解させて固形分濃度約41重量%の硬
化性重合体組成物のワニスを得た。該硬化性重合体組成
物の溶融粘度変化率は48%であった。
【0102】該ワニスを孔径3ミクロンのテフロン製精
密フィルターでろ過した後、ダイコーターを用いて、3
00mm角、厚さ75ミクロンのポリエチレンナフタレ
ートフィルム(商品名:テオネックス:帝人株式会社製
)に塗工し、次いで窒素オーブン中で120℃で21
0秒間放置し、厚さ35ミクロンのドライフィルムをポ
リエチレンテレフタレートフィルム(支持体)の上に得
た。
【0103】配線幅及び配線間隔がそれぞれ75ミクロ
ンで、導電体厚みが18ミクロンの導電体回路層と、直
径0.2mmのメッキスルーホールが形成された、厚さ
0.8mmの内層基板を、濃度1mol/lの水酸化ナ
トリウム水溶液で洗浄して、基板上の不純物等を除去し
た。前述の支持体付きドライフィルムを、ドライフィル
ム面が内側となるようにして、前記内層基板の両面に重
ね、真空ラミネーターを用いて、真空度1mmHgva
c.、温度150℃、圧力5Kgf/cmで30分間
加熱圧着して支持体付きドライフィルムを内層基板に積
層した。該積層板から支持体のみを剥がし、次いで18
0℃の窒素オーブン中で、60分間放置し、ドライフィ
ルムを硬化させて電気絶縁層を形成させた。次いで、電
気絶縁層に、UV−YAGレーザーを用いて直径30ミ
クロンの層間接続のビアホールを形成した。
【0104】ビアホールの形成された積層板を銅スパッ
タ処理し、ビアホール壁面及び積層板表面の全面に厚さ
0.1ミクロンの銅の薄膜を形成した。次いで、この積
層板表面に市販の感光性ドライフィルムを熱圧着して貼
り付け、さらに、この感光性ドライフィルム上に所定パ
ターンのマスクを密着させ露光した後、現像してメッキ
レジストパターンを得た。メッキレジスト非形成部分に
電解銅メッキを施し厚さ12ミクロンの電解銅メッキ膜
を形成させた。メッキレジストを剥離液にて剥離除去し
た後、レジスト膜で覆われていた部分の銅スパッタ膜を
塩化第二銅と塩酸との混合溶液により除去して配線パタ
ーンを形成し、多層回路基板を得た。得られた多層回路
基板両面にさらに前述と同じ支持体付きドライフィルム
を重ね、以降は前記同様の操作を繰り返して両面合計6
層の多層回路基板を得た。この基板の評価結果を表1に
示す。
【0105】
【表1】
【0106】実施例2 実施例1において使用したポリエチレンテレフタレート
フィルムの代わりに、300mm角で厚さ18ミクロン
の電解銅箔を用いた他は実施例1と同様にして支持体付
きフィルムを得た。
【0107】上記の支持体付きフィルムを、フィルム面
が内側となるようにして上記実施例1に使用した内層基
板の両面に重ね、真空プレス機中で、常温にて1mmH
gvac.まで真空とし、次いで、毎分10℃で120
℃まで昇温し、120℃に到達した時点でプレス圧力3
0Kgf/cmで30分間保持した。その後プレス圧
力を30Kgf/cmのままで毎分10℃で180℃
まで昇温し、180℃に到達した時点で60分間保持し
て積層板を得た。過硫酸アンモニウム250g/lの水
溶液に、積層板を50℃で2時間浸漬し、基板表面の銅
箔を全面剥離し、次いで水で洗浄、乾燥した。積層した
フィルム層の部分に、UV−YAGレーザーを用いて直
径30ミクロンの層間接続用ビアホールを形成した。
【0108】ビアホール壁面を表面粗化処理した後、ビ
アホール壁面及び積層板表面の全面に無電解銅メッキを
施して厚さ1ミクロンの無電解銅メッキ膜を形成した。
次いで、この積層板表面に市販の感光性ドライフィルム
を熱圧着して貼り付け、この感光性ドライフィルム上に
所定パターンのマスクを密着させ露光した後、現像して
レジストパターンを得た。次にメッキレジスト非形成部
分に電解銅メッキを施し厚さ12ミクロンの電解銅メッ
キ膜を形成させた。メッキレジストを剥離液にて剥離除
去した後、そのメッキレジストで覆われていた無電解メ
ッキ膜部分を硫酸と過酸化水素水の混合溶液で除去し、
無電解銅メッキ膜と電解銅メッキ膜とからなる配線パタ
ーンを形成した。配線パターン付き積層板の両面に、さ
らに前述と同じ支持体付きフィルムを重ねて前記同様の
操作を繰り返して、内層基板の両面に合計6層が積層さ
れた多層回路基板を得た。評価結果を表1に示す。
【0109】実施例3 電気絶縁層を形成させる方法を以下の方法に変えた他は
実施例1と同様にして両面6層の多層回路基板を得た。 電気絶縁層を形成させる方法:実施例1で得られたワニ
スを、実施例1で使用した内層基板の両面に、ダイコー
ターを用いて塗工して、100℃15分間予備乾燥し、
次いで塗工板を窒素オーブン中で180℃60分加熱し
てワニスを硬化させて電気絶縁層を形成させた。評価結
果を表1に示す。
【0110】実施例4 ポリマーAの代わりにポリマーBを用いたこと以外は、
実施例1と同じ方法で、多層回路基板を得た。ポリマー
Bを含有する硬化性重合体組成物の溶融粘度変化率は4
1%であった。評価結果を表1に示す。
【0111】実施例5 ジブロモクレジルグリシジルエーテルの代わりにビスフ
ェノールF型液状エポキシ化合物を用いたこと以外は、
実施例1と同じ方法で、多層回路基板を得た。硬化性重
合体組成物の溶融粘度変化率は107%であった。評価
結果を表1に示す。
【0112】実施例6 ジブロモクレジルグリシジルエーテルの代わりにヘキサ
ヒドロフタル酸ジグリシジエステルを用いたこと以外
は、実施例1と同じ方法で、多層回路基板を得た。硬化
性重合体組成物の溶融粘度変化率は52%であった。評
価結果を表1に示す。
【0113】比較例1 ポリマーAの代わりにエポキシ樹脂(商品名:エピコー
ト1001:油化シェルエポキシ株式会社製:重量平均
分子量1300)を使用し、ジシアンジアミド3部を加
えて固形分濃度は約43%のワニスを得たこと以外は、
実施例1と同じ方法で、多層回路基板を得た。硬化性重
合体組成物の溶融粘度変化率は550%であった。評価
結果を表1に示す。
【0114】
【発明の効果】本発明の硬化性重合体組成物は、硬化作
業性が良好であり、銅箔や樹脂フィルムなどの支持体
に、あるいは内層基板に、均一に塗工でき、均一な硬化
膜を得ることができる。また本発明の硬化性重合体組成
物を硬化してなる膜(電気絶縁層)は、電気絶縁性、耐
薬品性、耐熱性及び密着性に優れている。また該硬化性
重合体組成物の硬化物はスルーホールやビアホールなど
の凹部に空隙なく埋め込まれるので、短絡などの生じな
い多層回路基板を得るのに好適である。
フロントページの続き Fターム(参考) 4J002 BB213 BK001 CC043 CD012 CD022 CD023 CD052 CD053 CD062 CD063 CD083 CD102 CD123 CD132 CD133 CD202 CE001 CL013 CL033 CL073 EC046 EC056 ED056 EF076 EF116 EK016 EK036 EK056 EK066 EK086 EL027 EL136 EN036 EN046 EN076 EN126 EQ036 ER006 EV216 FD143 FD146 FD150 GF00 GQ01 HA05 5E346 AA42 AA43 CC08 CC09 HH08 HH18

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 脂環式オレフィン重合体、硬化剤および
    液状エポキシ樹脂を含有する硬化性重合体組成物。
  2. 【請求項2】 溶融粘度変化率が1%〜300%である
    硬化性重合体組成物。
  3. 【請求項3】 電気絶縁層(1)と、その表面に形成さ
    れた導電体回路(1)とからなる内層基板上に、請求項
    1又は2記載の硬化性重合体組成物を積層し、硬化させ
    て、電気絶縁層(2)を形成し、該電気絶縁層(2)の
    上に導電体回路(2)を形成する多層回路基板の製法。
  4. 【請求項4】 電気絶縁層(1)と、その表面に形成さ
    れた導電体回路(1)とからなる内層基板上に、請求項
    1又は2記載の硬化性重合体組成物を硬化させてなる電
    気絶縁層(2)が形成され、該電気絶縁層(2)の上に
    導電体回路(2)が形成されてなる多層回路基板。
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