JPH0867745A - エポキシ樹脂組成物 - Google Patents

エポキシ樹脂組成物

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JPH0867745A
JPH0867745A JP6205793A JP20579394A JPH0867745A JP H0867745 A JPH0867745 A JP H0867745A JP 6205793 A JP6205793 A JP 6205793A JP 20579394 A JP20579394 A JP 20579394A JP H0867745 A JPH0867745 A JP H0867745A
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JP
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epoxy resin
resin composition
mold
molding
injection molding
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JP6205793A
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Nobutaka Takasu
信孝 高須
Hideo Ito
英雄 伊藤
Kazuya Shigeno
数也 滋野
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Sumitomo Bakelite Co Ltd
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Sumitomo Bakelite Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 エポキシ樹脂、フェノール樹脂硬化剤、硬化
促進剤、無機質充填材を必須成分とするエポキシ樹脂組
成物において、総エポキシ樹脂組成物が70〜110℃
で30分間放置後の溶融粘度の変化率が50%以下で、
かつ150〜190℃の成形金型内での硬化時間60秒
の成形品の表面硬度に対する、120秒での成形品の表
面硬度の変化率が20%以下である特性を有するインジ
ェクション成形用半導体封止用エポキシ樹脂組成物。 【効果】 インジェクション成形におけるシリンダー
内、あるいはスプルー・ランナーレス方式、インジェク
ション成形における金型内のスプルー・ランナー部での
溶融状態での熱安定性が著しく優れ、かつ金型内での硬
化性が優れるている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、成形加工性、硬化性に
優れた半導体封止用エポキシ樹脂組成物であり、特にイ
ンジェクション成形機のシリンダー内では硬化反応が殆
ど進行せず、金型内では極めて速く硬化するインジェク
ション成形加工性に著しく優れた半導体封止用エポキシ
樹脂組成物に関するものである。
【0002】
【従来の技術】IC、LSI等の半導体素子の封止に
は、エポキシ樹脂組成物のトランスファー成形が、低コ
スト、高信頼性及び生産性に適した方法として従来より
用いられている。トランスファー成形では、エポキシ樹
脂組成物をタブレット状に賦形してから、金型内のポッ
トにタブレットを投入し、これを金型内で熱溶融させな
がらブランジャーで加圧することにより流動、硬化させ
るのが一般的である。しかしながら、この成形方法では
エポキシ樹脂組成物をタブレット状に賦形することが前
提となるために、賦形の工程が必要であること、また成
形毎にタブレットの投入と熱溶融が必要であるため成形
サイクルを一定時間以下に短縮できない等の点で低コス
ト化、大量生産性に限界がある。更に、トランスファー
成形においてはポットに投入された樹脂組成物が金型内
を流動しキャビティ内に到達する迄の流路であるランナ
ー部や、ポット内で残りのカル部が完全に硬化してしま
うため、再利用が不可能であり、必要とする半導体パッ
ケージ部以外に多量の樹脂廃棄物を生成してしまうとい
う問題がある。一方、エポキシ樹脂を含む熱硬化性樹脂
成形材料の成形として、インジェクション成形方式の検
討が従来より行なわれてきた。インジェクション成形に
おいては、エポキシ樹脂組成物は成形機内に粉末状にて
供給され、シリンダー内で溶融状態を保ったままスクリ
ューにより金型に射出される。このため、タブレット状
に賦形する工程が不要で、また連続生産が可能であり、
更に加熱溶融状態となった樹脂組成物が金型に射出され
るために硬化時間がトランスファー成形に比べ短縮でき
る等大量生産に適した方法である。
【0003】また、インジェクション成形では、キャビ
ティ部以外のランナー部あるいはスプルー部の温度を樹
脂組成物の硬化が起こらない温度、すなわちシリンダー
内の温度とほぼ同等の温度に制御することにより、成形
品取出し後に再びスプルー・ランナー部をキャビティ部
へ再射出してパッケージ成形品を得る方式、謂ゆるスプ
ルー・ランナーレス成形方式が一部で実用化されてい
る。この方式によれば、必要とする成形品以外の硬化物
が殆んど発生しないため、プラスチック廃棄物を著しく
低減できるという長所がある。しかしながら、半導体封
止材料用エポキシ樹脂組成物の成形方法としてインジェ
クション成形は実用化されていないのが現状であった。
その理由としては、従来のエポキシ樹脂組成物は70〜
110℃に加熱されたシリンダー内での溶融状態では、
組成物中の樹脂の硬化反応の進行によって粘度が増大
し、5〜10分間で流動性を失う性質を有しており、溶
融樹脂組成物の熱安定性が著しく低いためである。この
ため、低圧でのインジェクション成形は不可能であり、
高圧での成形を必要とし、その結果半導体素子上のボン
ディングワイヤーを変形もしくは切断してしまい、得ら
れた半導体パッケージの信頼性を著しく損なう結果とな
る。
【0004】また、金型の掃除等のため成形を一定時間
中断する場合には、エポキシ樹脂組成物はシリンダー内
で硬化し、再度の射出が不可能となるため、連続生産に
も支障をきたしてしまう。更には、前記スプルー・ラン
ナーレス方式では、スプルー・ランナー部でのエポキシ
樹脂組成物が金型内で硬化反応により粘度上昇あるいは
固化してしまうために再射出が不可能となり、全く実用
化が望めない状況であった。一方、熱安定性を向上させ
るためにエポキシ樹脂組成物の硬化反応の速度を遅くす
ると、成形金型内の150〜190℃での硬化に長時間
を要し、生産性に劣るだけでなく、成形品表面にフクレ
が発生したり、金型からの成形品の離型性が低下する。
従って、トランスファー成形に比較してインジェクショ
ン成形のメリットが得られるようなエポキシ樹脂組成物
の開発が待たれていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、溶融状態で
の熱安定性と成形金型内での硬化性とが両立した成形加
工性に優れた半導体封止用エポキシ樹脂組成物を得るた
め、種々の検討の結果なされたものであり、その目的と
するところは、インジェクション成形におけるシリンダ
ー内あるいは、スプルー・ランナーレス方式インジェク
ション成形における金型内のスプルー・ランナー部での
溶融状態での熱安定性が著しく優れ、金型内での硬化性
が極めて優れたエポキシ樹脂成形材料を提供することに
ある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、エポキシ樹
脂、フェノール樹脂硬化剤、硬化促進剤、無機質充填材
を必須成分とするエポキシ樹脂組成物において、総エポ
キシ樹脂組成物が70〜110℃で30分間放置後の溶
融粘度の変化率が50%以下で、かつ150〜190℃
の成形金型内での硬化時間60秒の成形品の表面硬度に
対する、120秒での成形品の表面硬度の変化率が20
%以下である特性を有するインジェクション成形用半導
体封止用エポキシ樹脂組成物である。
【0007】以下に本発明を詳細に説明する。本発明に
用いられるエポキシ樹脂は、エポキシ基を有するモノマ
ー、オリゴマー、ポリマー全般を指し、例えばビスフェ
ノールA型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹
脂、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ナフ
タレン型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキ
シ樹脂、ハイドロキノン型エポキシ樹脂等が挙げられる
が、これらに限定されるものではなく、またこれらのエ
ポキシ樹脂は単独もしくは併用しても差し支えない。フ
ェノール樹脂硬化剤は、上記のエポキシ樹脂と硬化反応
を行い架橋構造を形成することができるフェノール性水
酸基を有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般を指
し、例えばフェノールノボラック樹脂、パラキシリレン
変性フェノール樹脂、テルペン変性フェノール樹脂、ジ
シクロペンタジエン変性フェノール樹脂、ビスフェノー
ルA、トリフェノールメタン等が挙げられが、これらに
限定されるものではない。これらのフェノール樹脂硬化
剤は単独もしくは併用しても差し支えない。
【0008】硬化促進剤としては、上記エポキシ樹脂と
フェノール樹脂硬化剤との架橋反応を促進するものであ
り、例えばジアザビシクロウンデセン等のアミン系化合
物、トリフェニルホススフィン等の有機ホスフィン化合
物、2−メチルイミダゾール等のイミダゾール化合物等
が挙げられる。これらの硬化促進剤は単独であってもま
た併用であっても差し支えない。無機質充填材として
は、溶融シリカ粉末、結晶シリカ粉末、アルミナ、窒化
珪素等が挙げられる。これら無機質充填材の配合量は成
形性と信頼性とのバランスから全エポキシ樹脂組成物中
に70〜90重量%含有することが好ましい。特に充填
材量の多い配合では、球状の溶融シリカを用いるのが一
般的である。本発明のエポキシ樹脂組成物はエポキシ樹
脂、フェノール樹脂硬化剤、硬化促進剤、無機質充填材
を必須成分とするが、これ以外にも必要に応じて臭素化
エポキシ樹脂、三酸化アンチモン等の難燃剤、シランカ
ップリング剤、カーボンブラックに代表される着色剤、
天然ワックス及び合成ワックス等の離型剤、シリコーン
オイル、シリコーンゴム、合成ゴム等の低応力添加剤を
適宜配合しても差し支えない。成形材料化するに際して
は、加熱ニーダや熱ロールにより全組成物を加熱混練
し、続いて冷却、粉砕することにより目的とする半導体
封止用エポキシ樹脂組成物が得られる。
【0009】インジェクション用エポキシ樹脂組成物
は、70〜110℃、好ましくは90〜100℃での溶
融状態で熱安定性が著しく優れており、成形金型内温度
160〜190℃での硬化性が優れていることが必要で
ある。これは通常インジェクション成形機のシリンダー
内の温度を70〜110℃、好ましくは90〜100℃
の範囲にすることによりエポキシ樹脂組成物の溶融粘度
が低圧成形に適する範囲になるためであり、70℃未満
の温度では溶融粘度が高くなり過ぎ、半導体素子上のボ
ンディングワイヤーの変形・切断を起こす可能性があ
り、また逆に110℃を越える温度ではシリンダー内で
硬化反応を起こす可能性がある。70〜110℃の温度
範囲においてもエポキシ樹脂組成物は経時的に粘度が増
加する。これは徐々にではあるが、この温度範囲におい
ても硬化反応が進行するためである。この粘度変化率を
30分間後で50%以下、好ましくは30%以下に抑え
ることにより、インジェクション成形時の熱安定性に優
れるエポキシ樹脂組成物とすることができる。
【0010】ここでいうインジェクション成形時の熱安
定性とは、具体的には以下のようなものである。 (1)スプルー・ランナーレス方式で長時間にわたる連
続成形を行なっても、半導体素子上のボンディングワイ
ヤーが変形あるいは切断されず、かつ成形品の重量のバ
ラツキがない。 (2)インジェクション成形機を最長30分間停止し、
エポキシ樹脂組成物をシリンダー内に滞留させた後に停
止前と同じ圧力で再射出が可能であることである。 粘度変化率が50%を越える場合、上記(1)、(2)
の熱安定性が著しく低下してしまう。
【0011】本発明での粘度変化率の測定方法は、以下
の通りである。 粘度変化率:ブラベンダー(東洋精機株式会社・製 ラ
ボプラストミル)の金型を測定温度に保ち、粉末状のエ
ポキシ樹脂組成物80gを仕込み、ローターを30rp
mの回転速度で回転させ、エポキシ樹脂組成物が加熱溶
融したときのローター回転のトルクを測定した。測定開
始直後に、最もトルクの小さい値(初期トルク値)と測
定開始30分後のトルクを測定した。変化率は、(30
分後のトルク値−初期トルク値)/(初期トルク値)×
100(%)で表わす。
【0012】成形金型内でのエポキシ樹脂組成物中の樹
脂の硬化反応に伴ない、成形品の表面硬度は増加する。
硬化反応が完結に近づくに従い硬度も一定値となり、変
化が小さくなる。エポキシ樹脂組成物の硬化反応が不充
分で、成形品の表面硬度が低いと金型からの離型性が悪
く、フレームの変形やパッケージの破損、あるいは金型
の表面の汚染等が生じ易く、成形性が著しく劣る。半導
体封止用エポキシ樹脂組成物のインジェクション成形に
おいては、成形金型温度を150〜190℃、好ましく
は165〜185℃の条件で90秒以内、好ましくは6
0秒以内の成形時間とすることが望ましい。このために
は、硬化時間60秒での成形品の表面硬度に対し、硬化
時間120秒での成形品の表面硬度の変化率が20%以
下、好ましくは10%以下であることが望ましい。硬度
の変化率が20%を越える場合には、成形金型内での1
20秒間での硬化反応が充分でなく、成形性や量産性に
劣る結果となる。
【0013】本発明の表面硬度変化率の測定方法は、以
下の通りである。 成形品表面硬度変化率:シリンダー内の溶融状態のエポ
キシ樹脂組成物をスクリューにより所定温度の金型に、
射出した直後から60秒後及び120秒後に金型を開
き、型開き直後の成形品の表面硬度をバコール硬度計
(#935)で測定した。変化率は、(120秒後の硬
度−60秒後の硬度)/(60秒後の硬度)×100
(%)で表わした。
【0014】以下、実施例により本発明を説明する。な
お、部は重量部を表す。 実施例1、2、比較例1、2 オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ当量200) 200部 フェノールノボラック樹脂(水酸基当量103) 103部 溶融シリカ粉末 700部 下記に示す硬化促進剤 カルナバワックス 3部 カーボンブラック 3部 シランカップリング剤 5部 以上の各原料を混合後、90℃の加熱ロールで加熱混練
したのち、冷却粉砕してエポキシ樹脂組成物を得た。得
られた樹脂組成物を用いて、シリンダー内温度100
℃、金型温度155℃、175℃、185℃、射出圧力
100kg/cmの条件で16pDIPのインジェク
ション成形を行ない、成形品表面硬度変化率、離型性、
成形品の素子上のボンディングワイヤーのスイプーを評
価した。また、80℃および100℃、30分間での粘
度変化をブラベンダーにて測定した。結果を表1、表2
に示す。 用いる硬化促進剤 実施例1:1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)−7−ウンデセン 1.5部 2,4−ジアミノ−6−{2−メチルイミダゾリル−(1)}−エ チル−S−トリアジン 0.2部 実施例2:1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)−7−ウンデセン 2.5部 2,4−ジアミノ−6−{2−メチルイミダゾリル−(1)}−エ チル−S−トリアジン 0.4部 比較例1:1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)−7−ウンデセン 1.5部 比較例2:2−エチル−4−メチルイミダゾール 1.5部
【0015】評価方法 ・80℃、100℃での粘度変化率:ブラベンダー(東
洋精機株式会社・製ラボプラストミル)の金型を80
℃、100℃に保ち、粉末状のエポキシ樹脂組成物80
gを仕込み、ローター30rpmの回転速度で回転さ
せ、エポキシ樹脂組成物が加熱溶融したときのローター
回転のトルクを測定した。測定開始直後に、最もトルク
の小さい値(初期トルク値)と測定開始60分後のトル
クを測定した。変化率は、(30分後のトルク値−初期
トルク値)/(初期トルク値)×100(%)で表わし
た。 ・成形品表面硬度の変化率:シリンダー内温度100℃
の溶融状態のエポキシ樹脂組成物をスクリューにより1
55℃、175℃、185℃の金型に、射出した直後か
ら60秒後及び120秒後に金型を開き、型開き直後の
成形品の表面硬度をバコール硬度計(#935)で測定
した。変化率は、(120秒後の硬度−60秒後の硬
度)/(60秒後の硬度)×100(%)で表わした。
【0016】シリンダー熱安定性:シリンダー内温度8
0℃、100℃でエポキシ樹脂組成物を30ショット連
続成形し、その後成形機を停止して樹脂組成物をシリン
ダー内に滞留させる。滞留時間は、計量後から射出開始
までの時間とし、これを順次長くして射出成形が可能か
否かを判定した。 ○:成形可能、 △:成形可能(但し一部未充填)、
×:成形不可 離型性:成形時間を90秒とし、型開き後の成形品の離
型性を判定した。 ○:ノックピンにより成形品が離型する。 ×:成形品を離型する際に力を加えたため、リードフレ
ームの変形が発生した。また金型内のゲート部、ランナ
ー部に離型しない成形品が残った。 ワイヤースイープ:成形開始から200ショット目の成
形品に軟X線を照射して、ボンディングワイヤー(25
μm径:長さ3mmのセミハード金線)の流れ量を測定
した。ボンディング間の距離に対する最大ワイヤー流れ
量の比を%で表わした。 スプルー・ランナーレス成形再射出性:シリンダー内温
度を100℃とし、金型内のスプルー・ランナー部分の
みを115℃に、金型内の半導体パッケージキャビティ
の部分を175℃に温度制御した金型を用いて成形を行
なった。成形時間は90秒とした。連続成形により、前
ショットでのスプルー・ランナー部分を半導体パッケー
ジキャビティに再射出し、その成形性を評価した。
【0017】
【表1】
【0018】
【表2】
【0019】
【発明の効果】本発明に従うと、インジェクション成形
におけるシリンダー内、あるいはスプルー・ランナーレ
ス方式、インジェクション成形における金型内のスプル
ー・ランナー部での溶融状態での熱安定性が著しく優
れ、かつ金型内での硬化性が優れているため、インジェ
クション成形に適した半導体封止用エポキシ樹脂組成物
として好適である。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 23/29 23/31

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 エポキシ樹脂、フェノール樹脂硬化剤、
    硬化促進剤、無機質充填材を必須成分とするエポキシ樹
    脂組成物において、総エポキシ樹脂組成物が70〜11
    0℃で30分間放置後の溶融粘度の変化率が50%以下
    で、かつ150〜190℃の成形金型内での硬化時間6
    0秒の成形品の表面硬度に対する、120秒での成形品
    の表面硬度の変化率が20%以下である特性を有するこ
    とを特徴とするインジェクション成形用半導体封止用エ
    ポキシ樹脂組成物。
JP6205793A 1994-08-30 1994-08-30 エポキシ樹脂組成物 Pending JPH0867745A (ja)

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