JP2001148326A - タンタル固体電解コンデンサの製造方法および製造装置 - Google Patents

タンタル固体電解コンデンサの製造方法および製造装置

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JP2001148326A
JP2001148326A JP32949699A JP32949699A JP2001148326A JP 2001148326 A JP2001148326 A JP 2001148326A JP 32949699 A JP32949699 A JP 32949699A JP 32949699 A JP32949699 A JP 32949699A JP 2001148326 A JP2001148326 A JP 2001148326A
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capacitor element
conductive adhesive
electrolytic capacitor
tantalum solid
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Minoru Omori
実 大森
Kenji Uenishi
謙次 上西
Osamu Tomita
修 富田
Shigeo Kawakita
成生 川北
Masakuni Ogino
昌邦 荻野
Yoji Masuda
洋二 増田
剛 ▲吉▼野
Takeshi Yoshino
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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    • H01G9/00—Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 各種電子機器に使用されるタンタル固体電解
コンデンサの生産性と特性の向上が図れるタンタル固体
電解コンデンサの製造方法および製造装置を提供するこ
とを目的とする。 【解決手段】 コム端子の陰極端子部４ｂに熱硬化型の
導電性接着剤５を塗布し、この接着剤５上にコンデンサ
素子１の陰極層を載置すると共にコンデンサ素子１から
表出した陽極導出線２をコム端子の陽極端子部４ａ上に
載置して溶接することにより接合し、続いてコンデンサ
素子１を上方から加圧した状態で接着剤５を加熱硬化さ
せて接合する製造方法とすることにより、導電性接着剤
層が薄くなり抵抗成分が良化すると共に残留空気孔が無
くなり、コンデンサの電気特性が良化する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は各種電子機器に使用
されるチップ形のタンタル固体電解コンデンサの製造方
法および製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、電子機器は軽薄短小化と高機能化
及び面実装技術の進展からチップ部品化が急増してお
り、固体電解コンデンサにおいても小形大容量化が進展
する中でチップ部品化が進むと共に、より一層の小型化
と高特性化が要求されている。
【０００３】以下に従来のこの種のタンタル固体電解コ
ンデンサについて図面を用いて説明する。
【０００４】図９は従来のチップ形のタンタル固体電解
コンデンサの構成を示した断面図であり、図１０
（Ａ），（Ｂ）は、従来の製造方法で製造したタンタル
固体電解コンデンサの組立後の要部断面図と要部拡大断
面図である。図９、図１０（Ａ），（Ｂ）において、２
０はコンデンサ素子で、このコンデンサ素子２０は弁作
用金属であるタンタル金属粉末を成形焼結して多孔質体
とし、且つこの多孔質体よりタンタル線からなる陽極導
出線２１を導出し、この陽極導出線２１の一部と上記多
孔質体の全面に陽極酸化により誘電体酸化皮膜層２２を
形成し、その表面に二酸化マンガンなどの電解質層２
３、さらに陰極層２４が形成されて構成されている。な
お、上記陰極層２４は浸漬法によりカーボン層、銀塗料
層を順次積層形成したものであり、また２５は陽極導出
線２１に装着したテフロン製の絶縁板で、この絶縁板２
５は上記電解質層２３の形成時に陽極導出線２１に電解
質が這い上がって付着するのを防止するためのものであ
る。２６は陽極端子で、上記陽極導出線２１に溶接によ
り接続され、後述する外装樹脂２８の成形後に折り曲げ
られている。２７は陰極端子で、この陰極端子２７は上
記コンデンサ素子２０の陰極層２４にエポキシ樹脂から
なる熱硬化型の導電性接着剤２９を用い、熱風循環式乾
燥器により硬化させて電気的に接続し、外装樹脂２８の
モールド成形後に折り曲げられている。２８はコンデン
サ素子２０を全体的にモールド成形により被覆する外装
樹脂である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに構成された従来のタンタル固体電解コンデンサで
は、陰極端子２７とコンデンサ素子２０の陰極層２４の
接続に使用されている導電性接着剤２９は、硬化方法と
して熱風循環式乾燥器を用いてバッジ処理により１８０
±５℃の雰囲気で９０分間放置することによって硬化を
行っているものであり、これにより熱風循環式乾燥器に
入れてから１８０±５℃に達するまでの製品の昇温時間
および９０分間の硬化時間ならびに室温に取り出してか
らの除冷時間の時間を含めると組立から接着剤硬化まで
に約６時間という多大な時間を要するという課題を有し
ていた。また、この製造方法における手順としては、ま
ず、陰極端子２７上に導電性接着剤２９を吐出し、その
上にコンデンサ素子２０を置き、陽極導出線２１を陽極
端子２６に接続することによりコンデンサ素子２０を仮
固定してから熱風循環式乾燥器を用いて硬化しているも
のである。従って、導電性接着剤２９の上にコンデンサ
素子２０を置いているだけであり、導電性接着剤２９の
厚みが１００μｍから５００μｍ程度になり、見掛け上
の導電性接着剤自身の抵抗分が大きくなってしまうと共
に、図１０（Ｂ）に示すようにコンデンサ素子２０と導
電性接着剤２９及び陰極端子２７との界面に空気を巻き
込んでしまって気泡部３０が発生し、結果的に接続抵抗
が大きくなりコンデンサとしての電気特性（ｔａｎδ／
１ＫＨｚあるいはＥＳＲ／１００ＫＨｚ）を劣化してし
まう問題を有していた。
【０００６】さらに、図９に示すように導電性接着剤２
９を陰極端子２７上に塗布しているだけであるために、
コンデンサ素子２０との接着面積が小さいことから接合
強度が低く、信頼性面でも不安定な要素を抱えていると
いう課題を有したものであった。
【０００７】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、生産性ならびに電気特性（ｔａｎδ／１ＫＨｚある
いはＥＳＲ／１００ＫＨｚ）においても優れた製品を安
定して得ることができるタンタル固体電解コンデンサの
製造方法および製造装置を提供することを目的とするも
のである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、陽極端子部ならびに陰極端子部が形成され
た金属製のコム端子の上記陰極端子部に熱硬化型の導電
性接着剤を塗布し、続いて上記導電性接着剤上にコンデ
ンサ素子の陰極層を載置すると共にコンデンサ素子から
表出した陽極導出線を上記コム端子の陽極端子部上に載
置して溶接することにより接合し、続いて上記コンデン
サ素子を上方から加圧した状態で上記導電性接着剤を加
熱硬化させて接合した後、上記コンデンサ素子を外装樹
脂で被覆する製造方法としたものである。
【０００９】この方法により、電気特性および生産性に
優れたチップ形のタンタル固体電解コンデンサを得るこ
とができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、陽極端子ならびに陰極端子が形成された金属製のコ
ム端子の上記陰極端子部に熱硬化型の導電性接着剤を塗
布し、続いて上記導電性接着剤上にコンデンサ素子の陰
極層を載置すると共にコンデンサ素子から表出した陽極
導出線を上記コム端子の陽極端子部上に載置して溶接す
ることにより接合し、続いて上記コンデンサ素子を上方
から加圧してコンデンサ素子の側面まで導電性接着剤を
回り込ませた状態で導電性接着剤を加熱硬化させて接合
した後、上記コンデンサ素子を外装樹脂で被覆するよう
にしたタンタル固体電解コンデンサの製造方法であり、
この製造方法により、コンデンサ素子を加圧することで
導電性接着剤がコンデンサ素子の側面まで回り込み、か
つ導電性接着剤層が薄くなり、導電性接着剤自身の厚み
方向の抵抗成分が大幅に減少して良化すると共に、コン
デンサ素子の陰極層の表面と陰極端子の表面との密着性
が良くなるために従来の製造方法で発生していた気泡部
が無くなり、コンデンサの電気特性（ｔａｎδ／１ＫＨ
ｚあるいはＥＳＲ／１００ＫＨｚ）が良化する。また、
短時間で硬化する接着剤を使用することにより、従来の
熱風循環式乾燥器によるバッジ処理ではなく製造装置上
で連続的に硬化させることにより、生産性を向上させる
ことができるという作用を有する。
【００１１】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、コンデンサ素子を加圧する圧力を２〜
９．５ｋｇ／ｃｍ2としたものであり、この製造方法に
より最適な押圧力を加えることで陰極端子に塗布した導
電性接着剤がコンデンサ素子の側面にまで回り込み、か
つ導電性接着剤層の厚みを均一に薄くすることができる
ので、接着面積を増して強度を向上させると共に、気泡
部の発生が無くなって電気特性を向上させることができ
るという作用を有する。
【００１２】請求項３に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、熱硬化型の導電性接着剤としてエポキ
シ系の接着剤を用い、上記導電性接着剤の加圧後の厚み
を１００μｍ以下にした製造方法というものであり、こ
の製造方法により、極めて短時間で硬化させることがで
きるために生産性の向上が図れ、かつ気泡部のない信頼
性に優れた製品が得られるという作用を有する。
【００１３】請求項４に記載の発明は、金属製のコム端
子の陽極端子部にコンデンサ素子の陽極導出線を当接さ
せ、このコム端子の陰極端子部に熱硬化型の導電性接着
剤を塗布してコンデンサ素子の陰極層を当接させたもの
を配置する加熱用のヒーターを設けた下型と、反復動作
により上記下型の上面に配置されたコンデンサ素子に下
面が接離してコンデンサ素子を導電性接着剤の均一な厚
みと側面への回り込みで陰極端子部に接着結合するよう
に設けられた上型からなるタンタル固体電解コンデンサ
の製造装置というものであり、この構成により、製造装
置上で容易に、かつ品質面でも安定した生産が行えると
いう作用を有する。
【００１４】請求項５に記載の発明は、請求項４に記載
の発明において、上型が下型に対して上下方向に昇降す
るようにした構成のものであり、製造装置を簡単に構成
でき、しかも信頼性に優れたものを提供することができ
るという作用を有する。
【００１５】請求項６に記載の発明は、請求項４に記載
の発明において、上型が支点を介して円弧状に揺動する
ようにした構成のものであり、請求項５に記載の発明に
よる作用と同様の作用を有する。
【００１６】請求項７に記載の発明は、請求項４に記載
の発明において、下型の上面に撥水性を有する耐熱性テ
ープを貼り付けた構成としたものであり、この構成によ
り、加圧によって陰極端子から導電性接着剤がはみ出し
ても下型の表面に付着して接着されてしまうことを防止
し、生産性の低下を防ぐことができるという作用を有す
る。
【００１７】請求項８に記載の発明は、請求項４に記載
の発明において、上型の下面に耐熱性を有するゴム弾性
体を配設した構成としたものであり、この構成により、
コンデンサ素子に対して加圧力が直接加わらないように
して押さえつけることができるという作用を有する。
【００１８】請求項９に記載の発明は、請求項４に記載
の発明において、上型に加熱用のヒーターを設けた構成
としたものであり、下型のヒーターだけでは上型から放
熱してしまうことを防ぎ、接着剤の硬化に要する温度へ
の昇温時間が速くなるという作用を有する。
【００１９】請求項１０に記載の発明は、請求項４に記
載の発明において、少なくとも下型の側面部に断熱板を
装着した構成としたものであり、この構成により、熱源
からの放熱を防止することにより下型・上型の温度を安
定させることができるという作用を有する。
【００２０】請求項１１に記載の発明は、請求項４に記
載の発明において、上型が下型を押さえつける押圧力を
調整するための押圧力調整機構を設けた構成としたもの
であり、この構成により、適度な加圧以上によりコンデ
ンサ素子を破壊しないような最適な押圧力にして安定し
た作用を行うことができるという作用を有する。
【００２１】以下、本発明の実施の形態について図面を
用いて説明する。
【００２２】（実施の形態１）図１は本発明の第１の実
施の形態によるタンタル固体電解コンデンサの製造装置
を示した正面図、図２は同製造装置により作製されたタ
ンタル固体電解コンデンサの断面図、図３（Ａ），
（Ｂ）は同タンタル固体電解コンデンサの要部断面図と
要部拡大断面図である。
【００２３】図１において、１は弁作用金属であるタン
タル金属の粉末を成形焼結した多孔質体の表面に誘電体
酸化皮膜層、二酸化マンガンからなる固体電解質層、陰
極層を形成して構成したコンデンサ素子であり、２はこ
のコンデンサ素子１に埋設された陽極導出線、３はテフ
ロン製の絶縁板、４は陽極端子部４ａと陰極端子部４ｂ
が設けられた金属製のコム端子、５はこのコム端子４の
陰極端子部４ｂ上に塗布された熱硬化型の導電性接着剤
であり、本実施の形態では、エポキシ系の樹脂に導電性
フィラーを６０〜７５％含有し、硬化促進剤の添加量を
多くした日立化成工業（株）製の「ＥＮ−４０８９Ｋ
３」を使用した。
【００２４】１０は上型、１１は下型、１２は上型１０
の下面に設けられたシリコンゴム、１３は下型１１の上
面に設けられたテフロンシート、１４は上型１０と下型
１１に夫々設けられた加熱用のヒータ、１５と１６は押
圧力調整機構である。なお、上記シリコンゴム１２はＪ
ＩＳＫ６２４９によるゴム硬度で５〜１５の硬度を有す
る耐熱性のシリコンゴムを用い、また、このシリコンゴ
ムを用いてコンデンサ素子１に対する加圧力として最適
な５０ｇ／個〜２５ｇ／個を得るためにシリコンゴム１
２の変位量を０．８ｍｍ〜１．０ｍｍになるように押圧
力調整機構１５，１６で調整し、シリコンゴム１２の変
位量が１．０ｍｍ以上にならないように調整と制御を行
うようにしている。
【００２５】なお、上記押圧力調整機構１５，１６はエ
アーやオイル、またはバネ等を用いて構成することによ
り、所望の押圧力を得ることができるものである。
【００２６】次に、このように構成された製造装置を用
いてタンタル固体電解コンデンサを製造する製造方法に
ついて説明すると、まず、陽極端子部４ａならびに陰極
端子部４ｂが形成された金属製のコム端子４のめっき表
面（図示せず）の上記陰極端子部４ｂに熱硬化型の導電
性接着剤５を塗布し、続いて上記導電性接着剤５上にコ
ンデンサ素子１の陰極層（図示せず）を載置すると共
に、コンデンサ素子１から表出した陽極導出線２を上記
コム端子４の陽極端子部４ａ上に載置して溶接すること
により接合し、続いて上記コンデンサ素子１を上型１０
を介して上方から加圧した状態で上記導電性接着剤５を
加熱硬化（１８０±５℃、３０秒〜６０秒間）させて接
合する。この時、下型１１の陰極端子部４ｂに接する面
にはテフロンシート１３を貼り付けた構成としているた
めに、導電性接着剤５のはみ出しによる陰極端子部５ｂ
と下型１１との接着を防止することができる。
【００２７】また、上記導電性接着剤５の加熱硬化の効
率を上げる目的で、図示しないが上型１０と下型１１の
所定位置（側面部）に断熱板を設けるようにすることに
より放熱が抑制でき、作業効率を向上させることができ
るものである。
【００２８】図２は本実施の形態により作製されたタン
タル固体電解コンデンサの断面図、図３（Ａ），（Ｂ）
は同要部断面図と要部拡大断面図であり、同図におい
て、１はコンデンサ素子、２は陽極導出線、３は絶縁
板、４ａは陽極端子部、４ｂは陰極端子部、５は導電性
接着剤、６は誘電体酸化皮膜層、７は二酸化マンガンな
どの固体電解質層、８は陰極層、９は外装樹脂である。
【００２９】このように、本実施の形態により得られた
タンタル固体電解コンデンサは、コンデンサ素子１を陰
極端子部４ｂに加圧しながら導電性接着剤５の硬化を行
うことにより導電性接着剤５の厚みｔが８０μｍと均一
に薄くなると共にコンデンサ素子１の側面にまで導電性
接着剤５が回り込んで接着面積が大きくなり、また、加
圧することにより発生する気泡が追い出された結果、接
合部には図１０を用いて説明した従来の方法で製造した
タンタル固体電解コンデンサに発生する気泡部はなく、
コンデンサ素子１と陰極端子部４ｂとの品質的な接続も
向上する。
【００３０】図４はコンデンサ素子を加圧する圧力によ
る洩れ電流特性の変化を、図５は同陰極端子部との接合
強度の変化を各々測定した特性図であり、図４から明ら
かなように、コンデンサ素子を加圧する圧力を２〜９．
５ｋｇ／ｃｍ2に設定することによって洩れ電流を少な
く、かつ安定させることができることがわかる。
【００３１】この圧力を２ｋｇ／ｃｍ2以下にすると、
導電性接着剤５のコンデンサ素子１の側面への回り込み
や気泡部の発生防止が十分に行えず、洩れ電流特性の若
干大きなものが発生することから好ましくない。
【００３２】また、圧力を９．５ｋｇ／ｃｍ2以上にす
ると、コンデンサ素子１に加圧によるストレスが残留
し、洩れ電流特性を悪化させることから好ましくない。
【００３３】また、図５から明らかなように、コンデン
サ素子１を加圧する圧力が９．５ｋｇ／ｃｍ2以下では
コンデンサ素子１と陰極端子部４ｂの接合強度は安定し
ているが、９．５ｋｇ／ｃｍ2を超えるとコンデンサ素
子１に形成された陰極層８が部分的に破壊して接合強度
を著しく低下させるために好ましくないことがわかる。
【００３４】図６は本実施の形態により得られたタンタ
ル固体電解コンデンサと従来品の等価直列抵抗（ＥＳＲ
／１００ｋＨｚ測定）を比較した特性図であり、サンプ
ルは１０ｖ１００μＦで、７３４３サイズ（ＥＩＡＪコ
ード）を各２００個測定したものである。この結果から
明らかなように、従来品のＥＳＲは２００個の平均値で
１２０ｍΩであるのに対し、本発明品は２００個の平均
値で７０ｍΩに改善されている。
【００３５】さらに、生産性においても、本発明のタン
タル固体電解コンデンサは硬化促進剤の添加量を多くし
た導電性接着剤を用いることにより極めて短時間で硬化
させることができ、従来の組立機に接続して稼働できる
ことにより、例えば７３４３サイズ（ＥＩＡＪコード）
を１０万個生産するのに、従来の製造方法ではバッジ処
理で導電性接着剤を硬化するために約６時間を要してい
たものが、本発明では滞留することなく連続した生産を
行うことが可能になり、生産性の向上を図ることができ
るものである。
【００３６】（実施の形態２）図７は本発明の第２の実
施の形態によるタンタル固体電解コンデンサの製造装置
を示した正面図であり、本実施の形態２は上記第１の実
施の形態で上型が下型に対して上下動するように構成し
たのに対し、上型が下型に対して支点を介して円弧状に
揺動するように構成したものであり、これ以外の構成は
実施の形態１と同じであるために同一部品には同一符号
を付与してその詳細な説明は省略し、異なる部分につい
てのみ以下に説明する。
【００３７】図７において、１はコンデンサ素子、２は
陽極導出線、３は絶縁板、４ａは陽極端子部、４ｂは陰
極端子部、５は導電性接着剤である。１７は上型、１８
は下型であり、上記上型１７は支点部１９を介して円弧
状に揺動するように構成されている。１４は上型１７と
下型１８に夫々設けられた加熱用のヒータ、１２は上型
１７の下面に設けられたシリコンゴム、１３は下型１８
の上面に設けられたテフロンシート、２０と２１は押圧
力調整機構である。
【００３８】また、図８は本実施の形態２によるタンタ
ル固体電解コンデンサの製造装置の斜視図であり、陽極
端子部と陰極端子部を一体で設けたコム端子４を装置内
に配置し、複数個のコンデンサ素子の接合を同時に行う
様子を模式的に示したものである。
【００３９】なお、このように構成された本実施の形態
２によるタンタル固体電解コンデンサの製造装置の動作
については、上記第１の実施の形態と略同じであり、作
用効果については全く同様であるために説明を省略す
る。
【００４０】
【発明の効果】以上のように本発明は、陰極端子部上に
塗布された導電性接着剤上にコンデンサ素子を載置し、
このコンデンサ素子を加圧した状態で加熱硬化させるよ
うにしたため、導電性接着剤がコンデンサ素子の側面ま
で回り込んで接着面積が大きくなり、接合強度が向上す
るばかりでなく、導電性接着剤層の厚みを均一に、しか
も薄くして内部に気泡部が発生するのを防ぎ、性能面で
も安定した高信頼性のタンタル固体電解コンデンサを得
ることができるものである。また、導電性接着剤に速乾
性のものを用いることにより作業性を向上させることも
可能になり、本装置との組み合わせにより組立工程の簡
素化も実現できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態によるタンタル固体
電解コンデンサの製造装置の構成を示す正面図
【図２】同実施の形態により作製されたタンタル固体電
解コンデンサの断面図
【図３】（Ａ）図２の要部断面図 （Ｂ）同要部拡大断面図
【図４】同コンデンサ素子の加圧力に対する洩れ電流の
変化を示す特性図
【図５】同コンデンサ素子の加圧力に対する接合強度の
変化を示す特性図
【図６】同等価直列抵抗（ＥＳＲ）を従来品と比較した
特性図
【図７】本発明の第２の実施の形態によるタンタル固体
電解コンデンサの製造装置の構成を示す正面図
【図８】図７の斜視図
【図９】従来の製造方法により作製されたタンタル固体
電解コンデンサの断面図
【図１０】（Ａ）図９の要部断面図 （Ｂ）同要部拡大断面図
【符号の説明】
１ コンデンサ素子 ２ 陽極導出線 ３ 絶縁板 ４ コム端子 ４ａ 陽極端子部 ４ｂ 陰極端子部 ５ 導電性接着剤 ６ 誘電体酸化皮膜層 ７ 固体電解質層 ８ 陰極層 ９ 外装樹脂 １０，１７ 上型 １１，１８ 下型 １２ シリコンゴム １３ テフロンシート １４ 加熱用のヒータ １５，１６，２０，２１ 押圧力調整機構 １９ 支点部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 富田 修 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 川北 成生 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 荻野 昌邦 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 増田 洋二 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 ▲吉▼野 剛 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 5E082 AB09 BC40 HH25 JJ06 JJ07 JJ25 JJ26 LL29 MM22 MM24 PP07 PP09

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 陽極端子ならびに陰極端子が形成された
    金属製のコム端子の上記陰極端子部に熱硬化型の導電性
    接着剤を塗布し、続いて上記導電性接着剤上にコンデン
    サ素子の陰極層を載置すると共にコンデンサ素子から表
    出した陽極導出線を上記コム端子の陽極端子部上に載置
    して溶接することにより接合し、続いて上記コンデンサ
    素子を上方から加圧してコンデンサ素子の側面まで導電
    性接着剤を回り込ませた状態で導電性接着剤を加熱硬化
    させて接合した後、上記コンデンサ素子を外装樹脂で被
    覆するタンタル固体電解コンデンサの製造方法。
  2. 【請求項２】 コンデンサ素子を加圧する圧力を２〜
    ９．５ｋｇ／ｃｍ2とした請求項１に記載のタンタル固
    体電解コンデンサの製造方法。
  3. 【請求項３】 熱硬化型の導電性接着剤としてエポキシ
    系の接着剤を用い、上記導電性接着剤の加圧後の厚みを
    １００μｍ以下にする請求項１に記載のタンタル固体電
    解コンデンサの製造方法。
  4. 【請求項４】 金属製のコム端子の陽極端子部にコンデ
    ンサ素子の陽極導出線を当接させ、このコム端子の陰極
    端子部に熱硬化型の導電性接着剤を塗布してコンデンサ
    素子の陰極層を当接させたものを配置する加熱用のヒー
    ターを設けた下型と、反復動作により上記下型の上面に
    配置されたコンデンサ素子に下面が接離してコンデンサ
    素子を導電性接着剤の均一な厚みと側面への回り込みで
    陰極端子部に接着結合するように設けられた上型からな
    るタンタル固体電解コンデンサの製造装置。
  5. 【請求項５】 上型が下型に対して上下方向に昇降する
    ようにした請求項４に記載のタンタル固体電解コンデン
    サの製造装置。
  6. 【請求項６】 上型が支点を介して円弧状に揺動するよ
    うにした請求項４に記載のタンタル固体電解コンデンサ
    の製造装置。
  7. 【請求項７】 下型の上面に撥水性を有する耐熱性テー
    プを貼り付けた請求項４〜６のいずれか一つに記載のタ
    ンタル固体電解コンデンサの製造装置。
  8. 【請求項８】 上型の下面に耐熱性を有するゴム弾性体
    を配設した請求項４〜７のいずれか一つに記載のタンタ
    ル固体電解コンデンサの製造装置。
  9. 【請求項９】 上型に加熱用のヒーターを設けた請求項
    ４〜８のいずれか一つに記載のタンタル固体電解コンデ
    ンサの製造装置。
  10. 【請求項１０】 少なくとも下型の側面部に断熱板を装
    着した請求項４〜９のいずれか一つに記載のタンタル固
    体電解コンデンサの製造装置。
  11. 【請求項１１】 上型が下型を押さえつける押圧力を調
    整するための押圧力調整機構を設けた請求項４〜１０の
    いずれか一つに記載のタンタル固体電解コンデンサの製
    造装置。
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