JP2001128434A - リニアモータ - Google Patents

リニアモータ

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JP2001128434A
JP2001128434A JP30506399A JP30506399A JP2001128434A JP 2001128434 A JP2001128434 A JP 2001128434A JP 30506399 A JP30506399 A JP 30506399A JP 30506399 A JP30506399 A JP 30506399A JP 2001128434 A JP2001128434 A JP 2001128434A
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JP
Japan
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yoke
outer yoke
linear motor
axis
inner yoke
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JP30506399A
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English (en)
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Hideo Yamamoto
秀夫 山本
Hiromi Shibuya
浩洋 渋谷
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Refrigeration Co
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Publication date
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Priority to CN00802416A priority patent/CN1336030A/zh
Priority to PCT/JP2000/007410 priority patent/WO2001031767A1/ja
Priority to US09/869,268 priority patent/US6657326B1/en
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    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K33/00—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
    • H02K33/16—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with polarised armatures moving in alternate directions by reversal or energisation of a single coil system
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
    • H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors

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  • Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
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  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
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  • Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 モータ効率を向上し、製造の簡易化したリニ
アモータを提供する。 【解決手段】 ＸＹ軸の交点を中心軸とする円筒状の可
動部２１と、可動部２１の半径方向に所定間隔を設けて
可動部２１の内側に配置すると共に略長方形状の薄板を
Ｘ軸方向に沿って多数積み重ねて形成したインナヨーク
２２と、可動部２１の半径方向に所定間隔を設けて可動
部の外側に配置すると共に略長方形状の薄板２５をイン
ナヨーク２２の薄板２３と同一方向に多数積み重ねて形
成したアウタヨーク２４と、可動部２１はインナヨーク
２２側からアウタヨーク２４側に磁化した一対の永久磁
石３３，３４から構成している。従って、リニアモータ
の推力が不安定になることはなく、モータ効率を向上す
ると共に、リニアモータの製造が簡易になる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、可動磁石型のリニ
アモータに係わり、モータ効率の向上と製造の簡易化を
図るものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、リニアモータの開発が活発に行わ
れつつある。
【０００３】従来のリニアモータとしては特願平１０−
１１８３５８号公報に示されているものがある。
【０００４】以下、図面を参照しながら上記従来のリニ
アモータを説明する。
【０００５】図１４は従来のリニアモータの平面断面図
であり、図１５は図１４におけるＡ−Ａ断面図である。
【０００６】１はインナヨークであり、略長方形状で透
磁率の高い多数の薄板２を多数積み重ねて角柱状に形成
している。３はアウタヨークであり、略長方形状で透磁
率の高い多数の薄板４を多数積み重ねて角柱状に形成す
ると共に軸方向５にスロット６，７を切り欠いて３つの
磁極８，９，１０を形成している。アウタヨーク３の磁
極８，９，１０を有する面をインナヨーク１に対向して
所定空隙１１を隔ててヨークブロック１２を構成してい
る。そして、１組のヨークブロックをインナヨーク側を
所定間隔を設けて対向させて平板状のベース１３上に保
持している。
【０００７】アウタヨーク３の３つの磁極８，９，１０
に異磁極を交互に形成するように、中央の磁極９の周り
にコイル１４が巻かれており、コイル１４は２個のアウ
タヨーク３に個別に巻かれており、各々のコイル１４は
並列に接続されている。
【０００８】可動部１５は、インナヨーク１とアウタヨ
ーク３の対向する方向に磁化した一対の平板状永久磁石
１６，１７と、永久磁石支持体１８，シャフト１９から
構成している。永久磁石１６，１７は、磁化の向きが交
互に逆向きになるように軸方向に所定間隔を設けて永久
磁石支持体１８で固定され、インナヨーク１とアウタヨ
ーク３間の空隙１１内に配置されている。
【０００９】以上のように構成されたリニアモータにつ
いて、以下その動作を説明する。
【００１０】永久磁石１６から発生した磁束は、空隙１
１，インナヨーク１，空隙１１，永久磁石１７，アウタ
ヨーク３，空隙１１を通って永久磁石１６に戻ると共に
空隙１１に静磁界を発生する。インナヨーク１，アウタ
ヨーク３中では薄板２，４の平面内を循環する。
【００１１】そして、コイル１４に交流電流が供給され
ると、磁極８，９，１０に軸方向に異磁極が交互に形成
され、可動部１５の永久磁石１６，１７との磁気的吸
引，反発作用により、コイル１４電流の大きさと永久磁
石１６，１７の磁束密度に比例した推力が発生し、可動
部１５と共にシャフト１９が交流電流の周波数に同期し
て往復動する。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の構成は、イ
ンナヨーク１，アウタヨーク３の製造が簡易であるとい
う長所があるが、平板状永久磁石１６，１７が角柱状の
インナヨーク１とアウタヨーク３間の空隙１１内に平行
に配置されているため、製造時にシャフト１９が軸回転
して配置された場合、永久磁石１６，１７とインナヨー
ク１間距離と、永久磁石１６，１７とアウタヨーク３間
距離がアンバランスになることにより、リニアモータの
推力が不安定になるという課題があった。
【００１３】本発明は上記従来の課題を解消するもので
あり、製造時にシャフト１９が軸回転して配置された場
合においても、リニアモータの推力が不安定にならず、
且つ、モータ効率を向上すると共に、ヨークの製造が簡
易なリニアモータを提供することを目的とする。
【００１４】また、製造時に永久磁石１６，１７がイン
ナヨーク１或いはアウタヨーク３に偏って配置された場
合、永久磁石１６，１７とインナヨーク１間距離と、永
久磁石１６，１７とアウタヨーク３間距離がアンバラン
スになることにより、永久磁石１６，１７がインナヨー
ク１或いはアウタヨーク３に直接引かれる力が増大し、
可動部１５とシャフト１９を介して軸受け２０で摺動損
失が増大するという課題があった。
【００１５】本発明の他の目的は、製造時に永久磁石が
インナヨーク或いはアウタヨークに偏って配置した場合
においても、永久磁石がインナヨーク或いはアウタヨー
クに直接引かれる力が増大せず、且つ、モータ効率を向
上すると共に、ヨークの製造が簡易なリニアモータを提
供することである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明のリニアモータは、ＸＹ軸の交点を中心軸とす
る円筒状の可動部と、可動部の半径方向に所定間隔を設
けて可動部の内側に配置すると共に略長方形状で透磁率
が高い薄板をＸ軸或いはＹ軸の何れか一方の軸と平行に
多数積み重ねて形成したインナヨークと、可動部の半径
方向に所定間隔を設けて可動部の外側に配置すると共に
略長方形状で透磁率が高い薄板をインナヨークの薄板と
同一方向に多数積み重ねて形成したアウタヨークと、イ
ンナヨークとアウタヨークを結ぶ方向に磁化され、イン
ナヨークとアウタヨーク間の空隙内に保持されるように
可動部に設けられた一対の永久磁石から構成している。
【００１７】これにより、製造時にシャフトが軸回転し
て配置された場合においても、リニアモータの推力が不
安定になることはなく、且つインナヨーク，アウタヨー
クの鉄損を低減してモータ効率を向上すると共に、リニ
アモータの製造が簡易になる。
【００１８】また、本発明は、中心軸を中心とする半径
方向に磁化した一対の永久磁石を磁化の向きが互いに逆
向きになるように中心軸に平行な方向に所定間隔を設け
てインナヨークとアウタヨーク間の空隙内に保持するよ
うに構成している。
【００１９】これにより、製造時に永久磁石がインナヨ
ーク或いはアウタヨークに偏って配置した場合において
も、永久磁石がインナヨーク或いはアウタヨークに直接
引かれる力が増大しない。
【００２０】また、本発明は、インナヨークを同一形状
同一寸法の薄板を多数積み重ねて形成し、アウタヨーク
を同一形状同一寸法の薄板を多数積み重ねて形成してい
る。
【００２１】これにより、リニアモータの製造が更に簡
易になる。
【００２２】また、本発明は、アウタヨークの内周面と
スロットの内周面の曲率半径が等しく、アウタヨークの
外周面とスロットの外周面の曲率半径が等しく、アウタ
ヨーク及びスロットの内周面曲率半径よりもアウタヨー
ク及びスロットの外周面曲率半径の方が大きく構成して
いる。
【００２３】これにより、リニアモータを小型化でき
る。
【００２４】また、本発明は、アウタヨークの薄板積み
重ね方向の両最外側面の内周端とＸＹ軸の交点を結ぶ線
上に、インナヨークの薄板積み重ね方向の両最外側面の
外周端と、永久磁石の端面がくるように構成している。
【００２５】これにより、磁石量を低減できる。
【００２６】また、本発明は、インナヨーク２個をＹ軸
対称に配置し、両インナヨーク内側にＹ軸方向に分離し
て設けた２個のインナヨーク支持部材により両インナヨ
ークを一体化している。
【００２７】これにより、インナヨークが１部品とな
り、組立が簡易化できる。
【００２８】また、本発明は、アウタヨーク２個をＹ軸
対称に配置し、両アウタヨークの薄板積み重ね方向の両
最外側面に設けた２個のアウタヨーク支持部材により両
アウタヨークを一体化している。
【００２９】これにより、アウタヨークが１部品とな
り、組立が簡易化できる。
【００３０】また、本発明は、ＸＹ軸の交点を中心軸と
する円筒状の可動部と、可動部の半径方向に所定間隔を
設けて可動部の内側に配置すると共に略長方形状で透磁
率が高い薄板をＸ軸或いはＹ軸の何れか一方の軸と平行
に多数積み重ねて形成したインナヨークと、可動部の半
径方向に所定間隔を設けて可動部の外側に配置すると共
に略長方形状で透磁率が高い薄板をインナヨークの薄板
と同一方向に多数積み重ねて形成したアウタヨークと、
インナヨークとアウタヨークを保持する平板状のベース
と、前記ＸＹ軸の中心に位置するようにベースに取り付
けたシリンダと、インナヨークとアウタヨークを結ぶ方
向に磁化した一対の永久磁石をインナヨークとアウタヨ
ーク間の空隙内に保持するように構成しており、可動部
と一体化したシャフトの先端に設けると共に前記シリン
ダに挿入したピストンと、前記シャフトに取り付けたバ
ネから構成している。
【００３１】これにより、製造時に永久磁石がインナヨ
ーク或いはアウタヨークに偏って配置した場合において
も、永久磁石がインナヨーク或いはアウタヨークに直接
引かれる力が増大せず、従って、ピストンとシリンダ間
の摺動損失も増加せず、リニアモータの製造が簡易にな
る。
【００３２】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、ＸＹ軸の交点を中心軸とする円筒状の可動部と、可
動部の半径方向に所定間隔を設けて可動部の内側に配置
すると共に略長方形状で透磁率が高い薄板をＸ軸或いは
Ｙ軸の何れか一方の軸と平行に多数積み重ねて形成した
インナヨークと、可動部の半径方向に所定間隔を設けて
可動部の外側に配置すると共に略長方形状で透磁率が高
い薄板を前記インナヨークの薄板と同一方向に多数積み
重ねて形成すると共に薄板の積み重ね方向に切り欠いた
スロットを２つ配することにより第１磁極，第２磁極，
第３磁極を形成したアウタヨークと、アウタヨークの第
２磁極に巻き付けると共に前記第１磁極，第２磁極，第
３磁極に異磁極を交互に形成するコイルと、インナヨー
クとアウタヨークを保持するベースと、ＸＹ軸の中心に
位置するようにベースに取り付けた軸受けと、インナヨ
ークとアウタヨークを結ぶ方向に磁化され、磁化の向き
が互いに逆向きになるように前記中心軸に平行な方向に
所定間隔を設けてインナヨークとアウタヨーク間の空隙
内に保持されるように前記可動部に設けられた一対の永
久磁石から構成しており、可動部を円筒形状としたの
で、製造時にシャフトが軸回転して配置された場合にお
いても、リニアモータの推力が不安定になることはな
く、且つインナヨーク，アウタヨークの鉄損を低減して
モータ効率を向上すると共に、リニアモータの製造が簡
易になるという作用を有する。
【００３３】本発明の請求項２に記載の発明は、中心軸
を中心とする半径方向に磁化した一対の永久磁石を磁化
の向きがお互いに逆向きになるように中心軸に平行な方
向に所定間隔を設けてインナヨークとアウタヨーク間の
空隙内に保持するように構成したものであり、製造時に
永久磁石がインナヨーク或いはアウタヨークに偏って配
置した場合においても、永久磁石がインナヨーク或いは
アウタヨークに直接引かれる力が増大せず、摺動部での
摺動損失を低減するという作用を有する。
【００３４】本発明の請求項３に記載の発明は、インナ
ヨークを同一形状同一寸法の薄板で形成し、アウタヨー
クを同一形状同一寸法の薄板で形成したものであり、イ
ンナヨーク，アウタヨークの製造が容易であることか
ら、リニアモータの製造が更に簡易になるという作用を
有する。
【００３５】本発明の請求項４に記載の発明は、アウタ
ヨークの内周面とスロットの内周面の曲率半径が等し
く、前記アウタヨークの外周面とスロットの外周面の曲
率半径が等しく、アウタヨーク及びスロットの内周面曲
率半径よりもアウタヨーク及びスロットの外周面曲率半
径の方が大きく構成したものであり、リニアモータを小
型化できるという作用を有する。
【００３６】本発明の請求項５に記載の発明は、アウタ
ヨークの薄板積み重ね方向の両最外側面の内周部とＸＹ
軸の交点を結ぶ線上に、インナヨークの薄板積み重ね方
向の両最外側面の外周部と、永久磁石の端面がくるよう
に構成したものであり、磁石量を低減できるという作用
を有する。
【００３７】本発明の請求項６に記載の発明は、インナ
ヨーク２個をＹ軸対称に配置し、両インナヨーク内側に
Ｙ軸方向に分離して設けた２個のインナヨーク支持部材
により両インナヨークを一体化したものであり、インナ
ヨークが１部品となり、組立が簡易化できるという作用
を有する。
【００３８】本発明の請求項８に記載の発明は、アウタ
ヨーク２個をＹ軸対称に配置し、両アウタヨークの薄板
積み重ね方向の両最外側面に設けた２個のアウタヨーク
支持部材により両アウタヨークを一体化したものであ
り、アウタヨークが１部品となり、組立が簡易化できる
という作用を有する。
【００３９】本発明の請求項１０に記載の発明は、ＸＹ
軸の交点を中心軸とする円筒状の可動部と、可動部の半
径方向に所定間隔を設けて可動部の内側に配置すると共
に略長方形状で透磁率が高い薄板をＸ軸或いはＹ軸の何
れか一方の軸と平行に多数積み重ねて形成したインナヨ
ークと、可動部の半径方向に所定間隔を設けて可動部の
外側に配置すると共に略長方形状で透磁率が高い薄板を
インナヨークの薄板と同一方向に多数積み重ねて形成し
たアウタヨークと、インナヨークとアウタヨークを保持
する平板状のベースと、ＸＹ軸の中心に位置するように
ベースに取り付けたシリンダと、インナヨークとアウタ
ヨークを結ぶ方向に磁化され、磁化の向きがお互いに逆
向きになるように中心軸に平行な方向に所定間隔を設け
てインナヨークとアウタヨーク間の空隙内に保持される
ように可動部に設けられた一対の永久磁石と、可動部と
一体化したシャフトの先端に設けると共に前記シリンダ
に挿入したピストンと、シャフトに取り付けたバネから
構成したものであり、製造時に永久磁石がインナヨーク
或いはアウタヨークに偏って配置した場合においても、
永久磁石がインナヨーク或いはアウタヨークに直接引か
れる力が増大せず、従って、ピストンとシリンダ間の摺
動損失も増加せず、リニアモータの製造が簡易になると
いう作用を有する。
【００４０】
【実施例】以下、本発明によるリニアモータの実施例に
ついて、図面を参照しながら説明する。
【００４１】（実施例１）図１は本発明によるリニアモ
ータの第１実施例を示す平面断面図であり、図２は図１
におけるＸ軸断面図である。
【００４２】２１は可動部でありＸＹ軸の交点を中心軸
としている。２２はインナヨークであり、可動部２１の
半径方向に所定間隔の空隙３８を設けて可動部２１の内
側に配置すると共に略長方形状で透磁率が高い薄板２３
をＸ軸或いはＹ軸の何れか一方の軸方向に沿って多数積
み重ねて形成している。２４はアウタヨークであり、可
動部２１の半径方向に所定間隔の空隙３９を設けて可動
部２１の外側に配置すると共に略長方形状で透磁率が高
い薄板２５を前記インナヨーク２２の薄板２３と同一方
向に多数積み重ねて形成すると共に薄板２５の積み重ね
方向に切り欠いたスロット２６，２７を２つ配すること
により第１磁極２８，第２磁極２９，第３磁極３０を形
成している。
【００４３】磁路２０が薄板２３，２５の面に沿って形
成されるように前記アウタヨーク２４の磁極２８，２
９，３０を有する面をインナヨーク２２に対向して平板
状のベース３１上に保持している。
【００４４】アウタヨーク２４の３つの磁極２８，２
９，３０は異磁極を交互に形成するように、第２磁極２
９の周りにコイル３２が巻かれており、コイル３２は２
個のアウタヨーク２４に個別に巻かれており、各々のコ
イル２４は電気的に並列接続されている。
【００４５】ここで、インナヨーク２２，アウタヨーク
２４を構成する多数の薄板２３，２５は電磁鋼帯（新日
本製鐵製３５Ｈ４４０等）を使用しており、薄板平面の
飽和磁束密度が高く、鉄損が低い特性を有していると共
に、表面は絶縁皮膜が施されている。
【００４６】可動部２１は、インナヨーク２２とアウタ
ヨーク２４を結ぶ方向に磁化した一対のＣ型或いは円筒
型形状の第１永久磁石３３，第２永久磁石３４と、永久
磁石支持体３５，シャフト３６から構成している。第１
永久磁石３３，第２永久磁石３４はＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系の
希土類磁石が望ましく、磁化の向きが互いに逆向きにな
るように中心軸に平行な方向に所定間隔を設けて永久磁
石支持体３５で固定され、インナヨーク２２とアウタヨ
ーク２４間の空隙内に配置されている。
【００４７】シャフト３６の往復動を円滑にする軸受３
７は、従来からあるリニアボールベアリング，含油メタ
ル軸受等種々の構成が選択できる。
【００４８】以上のように構成されたリニアモータにつ
いて、以下その動作を説明する。
【００４９】第１永久磁石３３，第２永久磁石３４から
発生した磁束の磁路２０（実線で示す）は、スロット２
６またはスロット２７を取り囲んで、第１永久磁石３
３，空隙３８，インナヨーク２２，空隙３８，第２永久
磁石３４，空隙３９，アウタヨーク２４，空隙３９を通
って第１永久磁石３３に戻ると共に空隙３８，３９に静
磁界を発生する。インナヨーク２２，アウタヨーク２４
中では薄板２３，２５の平面内を循環する。
【００５０】そして、コイル３２に交流電流が供給され
ると、第１磁極２８，第２磁極２９，第３磁極３０に軸
方向に異磁極が交互に形成され、可動部２１の第１永久
磁石３３，第２永久磁石３４との磁気的吸引，反発作用
により、コイル３２電流の大きさと第１永久磁石３３，
第２永久磁石３４から発生した磁束の磁束密度に比例し
た軸方向の推力が発生し、可動部２１と共にシャフト３
６が交流電流の周波数に同期して往復動する。
【００５１】ここで、可動部２１を円筒形状とし、且つ
インナヨーク２２及びアウタヨーク２４を可動部２１の
半径方向に所定間隔の空隙３８，３９を設けて各々可動
部２１の内側及び外側に配置しており、第１永久磁石３
３，第２永久磁石３４はインナヨーク２２側からアウタ
ヨーク２４側に磁化している。
【００５２】従って、製造時にシャフト３６が軸回転し
て配置された場合においても、可動部２１が円筒形状で
あるため、第１永久磁石３３，第２永久磁石３４とイン
ナヨーク２２間距離と、第１永久磁石３３，第２永久磁
石３４とアウタヨーク２４間距離がアンバランスになる
ことはなく、リニアモータの推力が不安定になることは
ない。
【００５３】且つ、インナヨーク２２，アウタヨーク２
４は共に略長方形状で透磁率が高い薄板２３，２５を多
数積み重ねることで形成できることからリニアモータの
製造が簡易である。
【００５４】また、第１永久磁石３３，第２永久磁石３
４から発生した磁束の磁路２０は、インナヨーク２２，
アウタヨーク２４中では薄板２３，２５の平面内を循環
する。磁束が薄板２３，２５の平面内を循環する時に、
磁束と交差する方向に渦電流を発生しようとする。これ
は磁束密度の２乗に比例しヨーク材の板厚の２乗に比例
する電流である。インナヨーク２２及びアウタヨーク２
４を透磁率が高く表面が絶縁された多数の薄板２３，２
５を多数積み重ねて形成したことにより、渦電流の発生
を殆ど無くすことができ、鉄損が大幅に低減する。従っ
て、モータ効率を向上することができる。
【００５５】以上のように本実施例のリニアモータは、
ＸＹ軸の交点を中心軸とする円筒状の可動部と、前記可
動部の半径方向に所定間隔を設けて可動部の内側に配置
すると共に略長方形状で透磁率が高い薄板をＸ軸或いは
Ｙ軸の何れか一方の軸と平行に多数積み重ねて形成した
インナヨークと、前記可動部の半径方向に所定間隔を設
けて可動部の外側に配置すると共に略長方形状で透磁率
が高い薄板を前記インナヨークの薄板と同一方向に多数
積み重ねて形成すると共に薄板の積み重ね方向に切り欠
いたスロットを２つ配することにより第１磁極，第２磁
極，第３磁極を形成したアウタヨークと、前記アウタヨ
ークの第２磁極に巻き付けると共に前記第１磁極，第２
磁極，第３磁極に異磁極を交互に形成するコイルと、イ
ンナヨークとアウタヨークを保持するベースと、前記Ｘ
Ｙ軸の中心に位置するようにベースに取り付けた軸受け
と、インナヨークとアウタヨークを結ぶ方向に磁化さ
れ、磁化の向きが互いに逆向きになるように前記中心軸
に平行な方向に所定間隔を設けて前記インナヨークとア
ウタヨーク間の空隙内に保持されるように前記可能部に
設けられた一対の永久磁石とから構成したものであり、
可動部を円筒形状としたので、製造時にシャフトが軸回
転して配置された場合においても、リニアモータの推力
が不安定になることはなく、且つインナヨーク，アウタ
ヨークの鉄損を低減してモータ効率を向上すると共に、
リニアモータの製造が簡易になる。
【００５６】尚、本実施例においてはインナヨークとア
ウタヨークを２組で構成したが、３組以上で構成しても
同様の効果が得られるものである。
【００５７】（実施例２）図３は本発明によるリニアモ
ータの第２実施例を示す平面断面図である。リニアモー
タとしてのＸ軸断面図は、前述の図２と同様である。
【００５８】本実施例は、実施例１によるリニアモータ
において、中心軸を中心とする半径方向に磁化した一対
のＣ型或いは円筒型形状の第１永久磁石４１，第２永久
磁石４２から構成している。第１永久磁石４１，第２永
久磁石４２は、磁化の向きが交互に逆向きになるように
軸方向に所定間隔を設けて永久磁石支持体３５で固定さ
れ、インナヨーク２２とアウタヨーク２４間の空隙内に
配置されている。
【００５９】
【表１】
【００６０】従来の構成では、表１に示すように、平板
状永久磁石１６，１７が角柱状のインナヨーク１とアウ
タヨーク３間の空隙内に平行に配置されているため、製
造時に永久磁石１６，１７がインナヨーク１に偏って配
置された場合、永久磁石がインナヨーク１に直接引かれ
る力が増大する。
【００６１】以上のように構成されたリニアモータにお
いては、表１に示すように、製造時に第１永久磁石４
１，第２永久磁石４２がインナヨーク２２側或いはアウ
タヨーク２４側に偏って（Ｘ軸方向に偏って）配置され
た場合においても、永久磁石４１，４２がインナヨーク
２２或いはアウタヨーク２４に直接引かれる力（Ｘ軸方
向に引かれる力）は、Ｘ軸上の力を１とすれば、角度θ
が大きくなるにつれてＣＯＳθと小さくなる。従って、
従来例の平板状磁石１６，１７と角柱状インナヨーク１
及びアウタヨーク３で構成したものに比べて、永久磁石
４１，４２がインナヨーク２２或いはアウタヨーク２４
に直接引かれる力（Ｘ軸方向に引かれる力）は小さくな
り、軸受け３７で摺動損失を低減できる。
【００６２】且つ、インナヨーク２２，アウタヨーク２
４は共に略長方形状で透磁率が高い薄板２３，２５を多
数積み重ねることで形成できることからリニアモータの
製造が簡易である。
【００６３】以上のように本実施例のリニアモータは、
中心軸を中心とする半径方向に磁化した一対の永久磁石
を磁化の向きが逆向きになるように前記中心軸に平行な
方向に所定間隔を設けて前記インナヨークとアウタヨー
ク間の空隙内に保持するように構成したものであり、製
造時に永久磁石がインナヨーク或いはアウタヨークに偏
って配置した場合においても、永久磁石がインナヨーク
或いはアウタヨークに直接引かれる力が増大せず、軸受
けでの摺動損失を低減できる。
【００６４】（実施例３）図４は本発明によるリニアモ
ータの第３実施例を示す平面断面図であり、図５は本発
明によるインナヨークを構成する薄板の正面図、図６は
本発明によるアウタヨークを構成する薄板の正面図であ
る。
【００６５】本実施例は、実施例１または２によるリニ
アモータにおいて、インナヨーク５０は略長方形状で透
磁率が高く同一形状同一寸法の薄板５１を使用し、イン
ナヨーク５０の外周面の半径Ｒ１が可動部２１内周面の
半径Ｒ２より所定距離だけ小さくなるように、ジグ等を
使い薄板５１をＸ軸或いはＹ軸の何れか一方の軸に平行
に多数積み重ねて形成している。
【００６６】また、アウタヨーク５２は略長方形状で透
磁率が高く同一形状同一寸法の薄板５３を使用し、アウ
タヨーク５２内周面の半径Ｒ３が可動部２１外周面の半
径Ｒ４より所定距離だけ大きくなるように、ジグ等を使
い薄板５３をインナヨークの薄板５１と同一方向に多数
積み重ねて形成している。
【００６７】以上のように構成されたリニアモータは、
インナヨークを同一形状同一寸法の薄板で形成して積み
重ねただけのものであり、アウタヨークを同一形状同一
寸法の薄板で形成して積み重ねただけのものであり、イ
ンナヨーク，アウタヨークの製造が容易であることか
ら、リニアモータの製造が簡易になる。
【００６８】以上のように本実施例のリニアモータは、
インナヨークを同一形状同一寸法の薄板で形成し、アウ
タヨークを同一形状同一寸法の薄板で形成したものであ
り、インナヨーク，アウタヨークの製造が容易であるこ
とから、リニアモータの製造が更に簡易になる。
【００６９】（実施例４）図７は本発明によるリニアモ
ータの第４実施例を示す正面断面図であり、図８は図７
におけるＡ−Ａ断面図である。
【００７０】本実施例は、実施例１または２によるリニ
アモータにおいて、アウタヨーク６０は略長方形状で透
磁率が高い薄板６１を使用し、アウタヨーク６０内周面
の曲率半径Ｒ５とスロット６２の内周面の曲率半径Ｒ６
が等しく、アウタヨーク６０外周面の曲率半径Ｒ７とス
ロット６２の外周面の曲率半径Ｒ８が等しく構成してい
る。そして、アウタヨーク６０内周面の曲率半径Ｒ５と
スロット６２の内周面の曲率半径Ｒ６よりも、アウタヨ
ーク６０外周面の曲率半径Ｒ７とスロット６２の外周面
の曲率半径Ｒ８の方が大きく構成している。
【００７１】即ち、アウタヨーク６０の内周面はＸＹ軸
の中心を曲率半径Ｒ５の中心とすれば、スロット６２の
内周面はスロット６２開口部の寸法Ａ分だけＸＹ軸の中
心からＸ軸方向にずらした位置を曲率半径Ｒ６の中心と
している。また、スロット６２の外周面はＸＹ軸の中心
を曲率半径Ｒ８の中心とすれば、アウタヨーク６０の外
周面はアウタヨーク６０の背部寸法Ｂ分だけＸＹ軸の中
心からＸ軸方向にずらした位置を曲率半径Ｒ７の中心と
している。
【００７２】以上のように構成されたリニアモータは、
アウタヨーク６０内周面の曲率半径Ｒ５とスロットの内
周面の曲率半径Ｒ６が等しいことにより、アウタヨーク
６０のＸ軸に平行などの断面においてもスロット６２の
開口部の寸法Ａは等しく、且つアウタヨーク６０の外周
面の曲率半径Ｒ７とスロット６２の外周面の曲率半径Ｒ
８が等しいことにより、Ｘ軸に平行などの断面において
もアウタヨーク６０の背部寸法Ｂは等しくなるため、ア
ウタヨーク６０を構成するどの薄板においてもスロット
６２の開口部の寸法Ａ寸法とアウタヨーク６０の背部寸
法Ｂが同じである。
【００７３】また、コイル６３の形状はコイル６３内周
半径Ｒ９よりもコイル６３外周半径Ｒ１０の方が大きく
なるので、アウタヨーク６０内周面の曲率半径Ｒ５とス
ロット６２の内周面の曲率半径Ｒ６よりも、アウタヨー
ク６０外周面の曲率半径Ｒ７とスロット６２の外周面の
曲率半径Ｒ８の方が大きく形成したことにより、コイル
６３がスロット６２に適切に収まるため、リニアモータ
を小型化できる。
【００７４】以上のように本実施例のリニアモータは、
アウタヨークの内周面とスロットの内周面の曲率半径が
等しく、アウタヨークの外周面とスロットの外周面の曲
率半径が等しく、アウタヨーク及びスロットの内周面曲
率半径よりもアウタヨーク及びスロットの外周面曲率半
径の方が大きく構成したものであり、リニアモータを小
型化できる。
【００７５】（実施例５）図９は本発明によるリニアモ
ータの第５実施例を示す平面断面図である。リニアモー
タとしての正面断面図は、前述の図２と同様である。
【００７６】本実施例は、実施例２によるリニアモータ
において、アウタヨーク６５の薄板６６積み重ね方向の
両最外側面の内周端Ｃ点とＸＹ軸の交点を結ぶ線上に、
インナヨーク６７の薄板６８積み重ね方向の両最外側面
の外周端Ｄ点と、永久磁石端面がくるように構成してい
る。
【００７７】第１永久磁石６９，第２永久磁石７０は中
心軸に向けて半径方向に磁化されており、磁化の向きが
交互に逆向きになるように軸方向に所定間隔を設けて永
久磁石支持体３５で固定され、インナヨーク６７とアウ
タヨーク６５間の空隙内に配置されている。
【００７８】以上のように構成されたリニアモータにつ
いてその動作を説明する。
【００７９】第１永久磁石６９，第２永久磁石７０から
発生した磁束の磁路３１（実線で示す）は、スロット２
６またはスロット２７を取り囲んで、第１永久磁石６
９，空隙３８，インナヨーク６７，空隙３８，第２永久
磁石７０，空隙３９，アウタヨーク６５，空隙３９を通
って第１永久磁石６９に戻ると共に空隙３８，３９に静
磁界を発生する。磁路３１はインナヨーク６７，アウタ
ヨーク６５中では薄板６６，６８の平面内を循環し、第
１永久磁石６９，第２永久磁石７０中及び空隙内では第
１永久磁石６９，第２永久磁石７０の磁化方向、即ち中
心軸に向けて半径方向に循環する。
【００８０】従って、磁石を無駄なく活用できることに
より、磁石量を低減できる。
【００８１】以上のように本実施例のリニアモータは、
アウタヨークの薄板積み重ね方向の両最外側面の内周部
とＸＹ軸の交点を結ぶ線上に、インナヨークの薄板積み
重ね方向の両最外側面の外周部と、前記永久磁石の端面
がくるように構成したものであり、磁石量を低減でき
る。
【００８２】（実施例６）図１０は本発明の第６実施例
によるインナヨークを示す平面図であり、図１１は正面
図である。リニアモータとしての全体構成は、前述の図
１，図２と同様である。
【００８３】本実施例は、実施例１または２によるリニ
アモータにおいて、２個のインナヨーク７１をＹ軸対称
に配置し、両インナヨーク７１内側にＹ軸方向に分離し
て設けた２個のインナヨーク支持部材７２により両イン
ナヨーク７１を一体化したものである。インナヨーク支
持部材７２にはボルト穴７３を設けており、ベース３１
に固定するものである。
【００８４】従って、インナヨークが１部品となり、組
立が簡易化できる。また、可動部２１との組立精度の管
理も容易になる。
【００８５】以上のように本実施例のリニアモータは、
インナヨーク２個をＹ軸対称に配置し、両インナヨーク
内側にＹ軸方向に分離して設けた２個のインナヨーク支
持部材により両インナヨークを一体化したものであり、
インナヨークが１部品となり、組立が簡易化できる。
【００８６】尚、前記インナヨーク支持部材をＳＵＳ３
０４のような非磁性ステンレス等で構成すれば、鉄損を
低減してモータ効率を向上できる。
【００８７】（実施例８）図１２は本発明の第８実施例
によるアウタヨークを示す平面図である。リニアモータ
としての全体構成は、前述の図１，図２と同様である。
【００８８】本実施例は、実施例１または２によるリニ
アモータにおいて、２個のアウタヨーク７５をＹ軸対称
に配置し、両アウタヨークの薄板積み重ね方向の両最外
側に設けた２個のアウタヨーク支持部材７６により両ア
ウタヨーク７５を一体化したものである。アウタヨーク
支持部材７６にはボルト穴７７を設けており、ベース３
１に固定するものである。
【００８９】従って、アウタヨークが１部品となり、組
立が簡易化できる。また、可動部２１との組立精度の管
理も容易になる。
【００９０】以上のように本実施例のリニアモータは、
アウタヨーク２個をＹ軸対称に配置し、両アウタヨーク
の薄板積み重ね方向の両最外側に設けた２個のアウタヨ
ーク支持部材により両アウタヨークを一体化したもので
あり、アウタヨークが１部品となり、組立が簡易化でき
る。
【００９１】尚、前記アウタヨーク支持部材をＳＵＳ３
０４のような非磁性ステンレス等で構成すれば、鉄損を
低減してモータ効率を向上できる。
【００９２】（実施例１０）図１３は本発明によるリニ
アコンプレッサの第１０実施例を示す正面断面図であ
る。
【００９３】リニアコンプレッサ８０はシリンダ８１
と、シリンダ８１内に往復動自在に挿入されたピストン
８２と、ピストン８２のヘッド８３に面して形成された
圧縮室８４と、圧縮室８４のガス圧に応じて開閉する吸
い込みバルブ８５及び吐出バルブ８６を備えている。
【００９４】リニアコンプレッサ８０は、ピストン８２
を往復動させるためのリニアモータ８７と、ピストン８
２を往復動自在に支持するための共振バネ８８を備えて
いる。
【００９５】リニアモータ８７の構成については、第１
実施例または第２実施例に記載のリニアモータと同様で
あり、詳細な説明を省略する。
【００９６】以上のように構成されたリニアコンプレッ
サ８０について、以下その動作を説明する。
【００９７】第１永久磁石３３のＮ極から出た磁束３１
は、空隙３８，インナヨーク２２，空隙３８，第２永久
磁石３４のＳ極，永久磁石３４のＮ極，空隙３９，アウ
タヨーク２４，空隙３９を通って永久磁石３３のＳ極に
戻ると共に空隙３８，３９に静磁界を発生する。インナ
ヨーク２２，アウタヨーク２４中では薄板２３，２５の
平面内を循環する。
【００９８】そして、コイル３２に交流電流が供給され
ると、磁極２８，２９，３０に軸方向に異磁極が交互に
形成され、可動部２１の永久磁石３３，３４との磁気的
吸引，反発作用により、コイル３２電流の大きさと永久
磁石３３，３４の磁束密度に比例した推力が発生し、可
動部２１と共にピストン８２が往復動する。そして、圧
縮室８４内が低圧時に膨張ガスが吸い込みバルブ８５を
介して圧縮室８４内に吸い込まれ、高圧時に圧縮ガスが
吐出バルブ８６を介して圧縮室８４内に吸い込まれてリ
ニアコンプレッサ８０としての仕事を行うものである。
【００９９】直動型のリニアモータ８７をピストン８２
と一体構成とし、リニアモータ８７の可動部２１の往復
動と共にピストン８２がシリンダ８１内を往復動するこ
とにより、リニアコンプレッサ８０の機械的摺動損失発
生源はピストン８２とシリンダ８１間のみとなる。従っ
て、リニアコンプレッサ８０の機械的摺動損失低減によ
り、コンプレッサ効率を向上することができる。
【０１００】また、永久磁石３３，３４から発生した磁
束３１は、インナヨーク２２，アウタヨーク２４中では
薄板２３，２５の平面内を循環する。磁束３１が薄板２
３，２５の平面内を循環する時に、磁束３１と交差する
方向に渦電流を発生しようとする。これは磁束密度の２
乗に比例しヨーク材の板圧の２乗に比例する電流であ
る。インナヨーク２２及びアウタヨーク２４を透磁率が
高く表面が絶縁された多数の薄板２３，２５を多数積み
重ねて角柱状に形成したことにより、渦電流の発生を殆
ど無くすことができ、鉄損が大幅に低減する。従って、
コンプレッサ効率を向上することができる。
【０１０１】また、インナヨーク２２及びアウタヨーク
２４を薄板２３，２５を単純に多数積み重ねて形成した
ことにより、リニアコンプレッサ１の製造が非常に簡易
になる。
【０１０２】また、以上の説明ではアウタヨーク２４に
コイル３２を巻いた例で説明したが、インナヨーク２２
にコイル３２を巻いた構成も可能である。
【０１０３】また、以上の説明では磁極が３個の例で説
明したが、インナヨーク２２及びアウタヨーク２４，磁
石３３，３４，コイル３２を軸方向に更に直列接続した
構成も可能である。
【０１０４】以上のように本実施例のリニアモータは、
ＸＹ軸の交点を中心軸とする円筒状の可動部と、可動部
の半径方向に所定間隔を設けて可動部の内側に配置する
と共に略長方形状で透磁率が高い薄板をＸ軸或いはＹ軸
の何れか一方の軸方向に沿って多数積み重ねて形成した
インナヨークと、可動部の半径方向に所定間隔を設けて
可動部の外側に配置すると共に略長方形状で透磁率が高
い薄板をインナヨークの薄板と同一方向に多数積み重ね
て形成したアウタヨークと、インナヨークとアウタヨー
クを保持する平板状のベースと、前記ＸＹ軸の中心に位
置するようにベースに取り付けたシリンダと、可動部は
インナヨーク側からアウタヨーク側に磁化した一対の型
形状永久磁石をインナヨークとアウタヨーク間の空隙内
に保持するように構成しており、可動部と一体化したシ
ャフトの先端に設けると共に前記シリンダに挿入したピ
ストンと、前記シャフトに取り付けたバネから構成した
ものであり、製造時に永久磁石がインナヨーク或いはア
ウタヨークに偏って配置した場合においても、永久磁石
がインナヨーク或いはアウタヨークに直接引かれる力が
増大せず、従って、ピストンとシリンダ間の摺動損失も
増加せず、リニアモータの製造が簡易になる。
【０１０５】
【発明の効果】以上説明したように請求項１に記載の発
明は、ＸＹ軸の交点を中心軸とする円筒状の可動部と、
可動部の半径方向に所定間隔を設けて可動部の内側に配
置すると共に略長方形状で透磁率が高い薄板をＸ軸或い
はＹ軸の何れか一方の軸方向に沿って多数積み重ねて形
成したインナヨークと、可動部の半径方向に所定間隔を
設けて可動部の外側に配置すると共に略長方形状で透磁
率が高い薄板をインナヨークの薄板と同一方向に多数積
み重ねて形成すると共に薄板の積み重ね方向に切り欠い
たスロットを２つ配することにより第１磁極，第２磁
極，第３磁極を形成したアウタヨークと、アウタヨーク
の第２磁極に巻き付けると共に前記第１磁極，第２磁
極，第３磁極に異磁極を交互に形成するコイルと、イン
ナヨークとアウタヨークを保持するベースと、ＸＹ軸の
中心に位置するようにベースに取り付けた軸受けと、イ
ンナヨークとアウタヨークを結ぶ方向に磁化され、磁化
の向きが互いに逆向きになるように中心軸に平行な方向
に所定間隔を設けてインナヨークとアウタヨーク間の空
隙内に保持されるように前記可動部に設けられた一対の
永久磁石とから構成したものであり、可動部を円筒形状
としたので、製造時にシャフトが軸回転して配置された
場合においても、リニアモータの推力が低下することは
なく、且つインナヨーク，アウタヨークの鉄損を低減し
てモータ効率を向上すると共に、リニアモータの製造が
簡易になる。
【０１０６】また、請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載の発明に加えて、中心軸を中心とする半径方向に
磁化した一対の永久磁石を磁化の向きが互いに逆向きに
なるように中心軸に平行な方向に所定間隔を設けてイン
ナヨークとアウタヨーク間の空隙内に保持するように構
成したものであり、製造時に永久磁石がインナヨーク或
いはアウタヨークに偏って配置した場合においても、永
久磁石がインナヨーク或いはアウタヨークに直接引かれ
る力が増大せず、摺動部での摺動損失を低減できる。
【０１０７】また、請求項３に記載の発明は、請求項１
または２に記載の発明におけるインナヨークを、同一形
状同一寸法の薄板で形成し、アウタヨークを同一形状同
一寸法の薄板で形成したものであり、インナヨーク，ア
ウタヨークの製造が容易であることから、リニアモータ
の製造が更に簡易になる。
【０１０８】また、請求項４に記載の発明は、請求項１
または２に記載の発明におけるアウタヨークの内周面と
前記スロットの内周面の曲率半径が等しく、アウタヨー
クの外周面と前記スロットの外周面の曲率半径が等し
く、アウタヨーク及びスロットの内周面曲率半径よりも
前記アウタヨーク及びスロットの外周面曲率半径の方が
大きく構成したものであり、リニアモータを小型化でき
る。
【０１０９】また、請求項５に記載の発明は、請求項１
に記載の発明に加えて、アウタヨークの薄板積み重ね方
向の両最外側面の内周部とＸＹ軸の交点を結ぶ線上に、
インナヨークの薄板積み重ね方向の両最外側面の外周部
と、永久磁石の端面がくるように構成したものであり、
磁石量を低減できる。
【０１１０】また、請求項６に記載の発明は、請求項１
または２に記載の発明におけるインナヨークを２個Ｙ軸
対称に配置し、両インナヨーク内側にＹ軸方向に分離し
て設けた２個のインナヨーク支持部材により両インナヨ
ークを一体化したものであり、インナヨークが１部品と
なり、組立が簡易化できる。
【０１１１】また、請求項８に記載の発明は、請求項１
または２に記載の発明におけるアウタヨークを２個Ｙ軸
対称に配置し、両アウタヨークの薄板積み重ね方向の両
最外側面に設けた２個のアウタヨーク支持部材により両
アウタヨークを一体化したものであり、アウタヨークが
１部品となり、組立が簡易化できる。
【０１１２】また、請求項１０に記載の発明は、ＸＹ軸
の交点を中心軸とする円筒状の可動部と、可動部の半径
方向に所定間隔を設けて可動部の内側に配置すると共に
略長方形状で透磁率が高い薄板をＸ軸或いはＹ軸の何れ
か一方の軸方向に沿って多数積み重ねて形成したインナ
ヨークと、可動部の半径方向に所定間隔を設けて可動部
の外側に配置すると共に略長方形状で透磁率が高い薄板
をインナヨークの薄板と同一方向に多数積み重ねて形成
したアウタヨークと、インナヨークとアウタヨークを保
持する平板状のベースと、前記ＸＹ軸の中心に位置する
ようにベースに取り付けたシリンダと、インナヨークと
アウタヨークを結ぶ方向に磁化され、磁化の向きが互い
に逆向きになるように中心軸に平行な方向に所定間隔を
設けてインナヨークとアウタヨーク間の空隙内に保持さ
れるように可動部に設けられた一対の永久磁石と、可動
部と一体化したシャフトの先端に設けると共に前記シリ
ンダに挿入したピストンと、前記シャフトに取り付けた
バネから構成したものであり、製造時に永久磁石がイン
ナヨーク或いはアウタヨークに偏って配置した場合にお
いても、永久磁石がインナヨーク或いはアウタヨークに
直接引かれる力が増大せず、従って、ピストンとシリン
ダ間の摺動損失も増加せず、リニアモータの製造が簡易
になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例のリニアモータの平面断面
図
【図２】図１におけるＸ軸断面図
【図３】本発明の第２実施例のリニアモータの平面断面
図
【図４】本発明の第３実施例のリニアモータの平面断面
図
【図５】同実施例のインナヨークを構成する薄板の正面
図
【図６】同実施例のアウタヨークを構成する薄板の正面
図
【図７】本発明の第４実施例のリニアモータの正面断面
図
【図８】図７におけるＡ−Ａ断面図
【図９】本発明の第５実施例のリニアモータの平面断面
図
【図１０】本発明の第６実施例のインナヨークの平面図
【図１１】同実施例のインナヨークの正面図
【図１２】本発明の第８実施例のアウタヨークの平面図
【図１３】本発明の第１０実施例のリニアコンプレッサ
の正面断面図
【図１４】従来例のリニアモータの平面断面図
【図１５】従来例のリニアモータの正面断面図
【符号の説明】
２１ 可動部 ２２ インナヨーク ２３，２５ 薄板 ２４ アウタヨーク ３２ コイル ３３ 第１永久磁石 ３４ 第２永久磁石 ３６ シャフト
フロントページの続き Ｆターム(参考） 3H076 AA02 BB40 BB41 CC03 5H002 AA07 AA09 AB05 AE00 5H605 AA08 BB05 BB07 BB10 CC02 CC03 CC04 DD09 EA19 EB06 EB10 EB13 EB21 5H607 AA00 BB05 BB11 BB14 CC01 CC05 DD03 DD08 DD16 FF07 GG08 GG09 5H633 BB08 GG02 GG04 GG11 GG13 GG17 GG29 GG30 HH03 HH07 HH09 HH13 JA03 JA08 JA09

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ＸＹ軸の交点を中心軸とする円筒状の可
    動部と、前記可動部の半径方向に所定間隔を設けて可動
    部の内側に配置すると共に略長方形状で透磁率が高い薄
    板をＸ軸或いはＹ軸の何れか一方の軸と平行に多数積み
    重ねて形成したインナヨークと、前記可動部の半径方向
    に所定間隔を設けて可動部の外側に配置すると共に略長
    方形状で透磁率が高い薄板を前記インナヨークの薄板と
    同一方向に多数積み重ねて形成すると共に薄板の積み重
    ね方向に切り欠いたスロットを２つ配することにより第
    １磁極，第２磁極，第３磁極を形成したアウタヨーク
    と、前記アウタヨークの第２磁極に巻き付けると共に前
    記第１磁極，第２磁極，第３磁極に異磁極を交互に形成
    するコイルと、インナヨークとアウタヨークを保持する
    ベースと、前記ＸＹ軸の中心に位置するようにベースに
    取り付けた軸受けと、インナヨークとアウタヨークを結
    ぶ方向に磁化され、磁化の向きが互いに逆向きになるよ
    うに前記中心軸に平行な方向に所定間隔を設けて前記イ
    ンナヨークとアウタヨーク間の空隙内に保持されるよう
    に前記可動部に設けられた一対の永久磁石と、前記可動
    部と一体化すると共に前記軸受けに軸支されたシャフト
    から成るリニアモータ。
  2. 【請求項２】 中心軸を中心とする半径方向に磁化した
    一対の永久磁石を磁化の向きが互いに逆向きになるよう
    に前記中心軸に平行な方向に所定間隔を設けて前記イン
    ナヨークとアウタヨーク間の空隙内に保持するように構
    成した請求項１記載のリニアモータ。
  3. 【請求項３】 前記インナヨークを同一形状同一寸法の
    薄板を多数積み重ねて形成し、前記アウタヨークを同一
    形状同一寸法の薄板を多数積み重ねて形成した請求項１
    または２記載のリニアモータ。
  4. 【請求項４】 前記アウタヨークの内周面と前記スロッ
    トの内周面の曲率半径が等しく、前記アウタヨークの外
    周面と前記スロットの外周面の曲率半径が等しく、前記
    アウタヨーク及びスロットの内周面曲率半径よりも前記
    アウタヨーク及びスロットの外周面曲率半径の方が大き
    い請求項１または２記載のリニアモータ。
  5. 【請求項５】 前記アウタヨークの薄板積み重ね方向の
    両最外側面の内周端とＸＹ軸の交点を結ぶ線上に、前記
    インナヨークの薄板積み重ね方向の両最外側面の外周端
    と、前記永久磁石の端面がある請求項２記載のリニアモ
    ータ。
  6. 【請求項６】 前記インナヨーク２個をＹ軸対称に配置
    し、両インナヨーク内側にＹ軸方向に分離して設けた２
    個のインナヨーク支持部材により両インナヨークを一体
    化した請求項１または２記載のリニアモータ。
  7. 【請求項７】 前記インナヨーク支持部材を非磁性体で
    構成した請求項６記載のリニアモータ。
  8. 【請求項８】 前記アウタヨーク２個をＹ軸対称に配置
    し、両アウタヨークの薄板積み重ね方向の両最外側面に
    設けた２個のアウタヨーク支持部材により両アウタヨー
    クを一体化した請求項１または２記載のリニアモータ。
  9. 【請求項９】 前記アウタヨーク支持部材を非磁性体で
    構成した請求項８記載のリニアモータ。
  10. 【請求項１０】 ＸＹ軸の交点を中心軸とする円筒状の
    可動部と、前記可動部の半径方向に所定間隔を設けて可
    動部の内側に配置すると共に略長方形状で透磁率が高い
    薄板をＸ軸或いはＹ軸の何れか一方の軸と平行に多数積
    み重ねて形成したインナヨークと、前記可動部の半径方
    向に所定間隔を設けて可動部の外側に配置すると共に略
    長方形状で透磁率が高い薄板を前記インナヨークの薄板
    と同一方向に多数積み重ねて形成すると共に薄板の積み
    重ね方向に切り欠いたスロットを２つ配することにより
    第１磁極，第２磁極，第３磁極を形成したアウタヨーク
    と、前記アウタヨークの第２磁極に巻き付けると共に前
    記第１磁極，第２磁極，第３磁極に異磁極を交互に形成
    するコイルと、インナヨークとアウタヨークを保持する
    平板状のベースと、前記ＸＹ軸の中心に位置するように
    ベースに取り付けたシリンダと、インナヨークとアウタ
    ヨークを結ぶ方向に磁化され、磁化の向きがお互いに逆
    向きになるように前記中心軸に平行な方向に所定間隔を
    設けて前記インナヨークとアウタヨーク間の空隙内に保
    持されるように前記可動部に設けられた一対の永久磁石
    と、可動部と一体化したシャフトの先端に設けると共に
    前記シリンダに挿入したピストンと、前記シャフトに取
    り付けたバネから構成したリニアコンプレッサ。
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