JP4266740B2 - コアレス交流リニアモータ - Google Patents
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Description
具体的には、例えば、電子顕微鏡などでは、アウトガスの成分が試料表面に焼き付いたり、レンズ表面に付着して観察出来なくなるとか、また液晶のラインなどでは、アウトガスの成分が、コンタミとなって製品に焼き付いてしまう事などである。
前述のコアレス交流リニアモータの基本的な構成は、
単線を中空孔を有せしめて所定の数集中巻きして成る略扁平な多相のコイルを、重ね巻き配置によりモータの移動方向に相順に配列するように構成されるコアレスコイルであって、
移動方向に所定の間隔を置いて相対向する一対の柱状マニホルド間に、全体として板状で、中空状の内部が長さ方向に平行に区切られて、冷媒の通路が並列に複数個形成された扁平状冷却配管の両端が連結されて成り、
前記配列されたコイルの中空孔に前記扁平状冷却配管を挿通させて相互に密着させ、樹脂モールド又は接着剤により一体化して板状に形成して成るコアレスコイルと、
前記移動方向に沿って永久磁石片を順次に異極に列設して前記コアレスコイルを相対移動可能に挿設する磁気ギャップを形成するように相対向して配設される少なくとも一対のサイドヨークとから成り、コアレスコイルとサイドヨークとが相対的に移動すると言ったものである。
移動方向に所定の間隔を置いて相対向する一対の柱状マニホルド間に、全体として板状で、中空状の内部が長さ方向に平行に区切られて、冷媒の通路が並列に複数個形成された扁平状冷却配管の両端が連結されて成り、
前記配列されたコイルの中空孔に前記扁平状冷却配管を挿通させて相互に密着させ、樹脂モールド又は接着剤により一体化して板状に形成して成るコアレスコイルと、
前記移動方向に沿って永久磁石片を順次に異極に列設して前記コアレスコイルを相対移動可能に挿設する磁気ギャップを形成するように相対向して配設される少なくとも一対のサイドヨークとから成り、コアレスコイルとサイドヨークとが相対的に移動するコアレス交流多相リニアモータにおいて、
前記サイドヨークの磁気ギャップ中に挿入されるコアレスコイル部分が全体的に挿設可能な容器であって、前記磁気ギャップに相対移動可能に挿設可能な極非磁性であるオーステナイト系のステンレス鋼の板状乃至柱状材に対する側端からの刳り抜き加工により形成した、前記側端側のみが開口し、該開口部廻りにフランジ状の拡大密閉接合部を有する前記挿設可能な容器と、該容器の前記開口を廻りの前記接合部においてシール部材を介して閉塞密閉する蓋体とを有するコアレス交流リニアモータとすることにより達成される。
図1乃至図3は、2次側サイドヨークの正面図、平面図、及び切断面図で、移動方向に長尺に延びる一対のサイドヨーク1、2に、移動方向に沿って永久磁石片1−1、1−2、・・・1−i、・・・1−n、2−1、2−2、・・・2−i、・・・2−nを夫々順次に異極に所定のピッチで列設させたものを、後述真空キャンに包まれて板状に形成されたコアレスコイルを相対移動可能に挿設する所定間隔を有する磁気ギャップ3を形成するように対向並設し、このサイドヨーク1、2の移動方向と直角方向の少なくとも一方の端縁間をセンタヨーク4で結合して成るものである。
1−1、1−2、・・・1−i、・・・1−n 永久磁石片
2−1、2−2、・・・2−i、・・・2−n 永久磁石片
3 磁気ギャップ
4 センタヨーク
5 コアレスコイル
5A 中空孔
6 モールド樹脂
7 扁平状冷却配管
7−1、7−2、・・・7−i、・・・7−n 冷却管
8、9 マニホルド
10 キャン容器
10A フランジ状拡大密閉接合部
10B 開口
11 蓋体
11A 凹部
12 Oリング
13 端子台
14 ブロック
15 電流導入端子
16 真空フランジ
17 冷却液給排用真空対応チューブ継手
18 メクラプラグ
Claims (5)
- 単線を中空孔を有せしめて所定数集中巻きして成る略扁平な多相のコイルを、重ね巻き配置によりモータの移動方向に相順に配列するように構成されるコアレスコイルであって、
移動方向に所定の間隔を置いて相対向する一対の柱状マニホルド間に、全体として板状で、中空状の内部が長さ方向に平行に区切られて、冷媒の通路が並列に複数個形成された扁平状冷却配管の両端が連結されて成り、
前記配列されたコイルの中空孔に前記扁平状冷却配管を挿通させて相互に密着させ、樹脂モールド又は接着剤により一体化して板状に形成して成るコアレスコイルと、
前記移動方向に沿って永久磁石片を順次に異極に列設して前記コアレスコイルを相対移動可能に挿設する磁気ギャップを形成するように相対向して配設される少なくとも一対のサイドヨークとから成り、コアレスコイルとサイドヨークとが相対的に移動するコアレス交流多相リニアモータにおいて、
前記サイドヨークの磁気ギャップ中に挿入されるコアレスコイル部分が全体的に挿設可能な容器であって、前記磁気ギャップに相対移動可能に挿設可能な極非磁性であるオーステナイト系のステンレス鋼の板状乃至柱状材に対する側端からの刳り抜き加工により形成した、前記側端側のみが開口し、該開口部廻りにフランジ状の拡大密閉接合部を有する前記挿設可能な容器と、該容器の前記開口を廻りの前記接合部においてシール部材を介して閉塞密閉する蓋体とを有することを特徴とするコアレス交流リニアモータ。 - 前記の刳り抜き加工が、エンドミル工具による加工可能深さ位置までの深さで、移動方向に伸びる細溝形成加工と、該加工形成された細溝底に対するドリル工具によるほぼ所定容器穴深さ迄の穴掘りを移動方向に所定の間隔で行う穴列設加工の機械加工と、刳り抜き容器穴形状及び寸法に見合う板状電極材を工具電極とする放電形彫り加工により所定の表面粗さの寸法、形状に仕上げられて成るものであることを特徴とする請求項1に記載のコアレス交流リニアモータ。
- 前記一対のマニホルド間の扁平状冷却配管が、極非磁性であるオーステナイト系のステンレス鋼から成る筒状の冷却管の所定複数本を相互に非接触で平行に配設して成るものであることを特徴とする請求項1又は2に記載のコアレス交流リニアモータ。
- 前記シール部材が前記開口廻りを囲む真空Oリングであることを特徴とする請求項1、2又は3に記載のコアレス交流リニアモータ。
- 前記コアレスコイルを挿設し、前記蓋体を取り付けて密閉した状態の容器が、溶接又はロー付けによる密閉接合部を有しないコアレスコイル体であることを特徴とする請求項1、2、3又は4に記載のコアレス交流リニアモータ。
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