JP2001102218A - 積層チップインダクタ及びその製造方法 - Google Patents

積層チップインダクタ及びその製造方法

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JP2001102218A
JP2001102218A JP28112699A JP28112699A JP2001102218A JP 2001102218 A JP2001102218 A JP 2001102218A JP 28112699 A JP28112699 A JP 28112699A JP 28112699 A JP28112699 A JP 28112699A JP 2001102218 A JP2001102218 A JP 2001102218A
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green sheet
conductor
coil
chip
multilayer chip
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Yukiko Ariga
由希子 有賀
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型で高周波特性が良く、加工工数を減らし
て製造コストの低減が図れる、高Q値、高自己共振周波
数、及びコストが廉価なチップ実装に好適な積層チップ
インダクタ及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 グリーンシートの積層方向Aと直交する
方向に中心線Oを有し、該中心線Oの周りに一方向に巻
回したコイル状内部導体11を内部に形成したチップ状
積層体10と、該チップ状積層体10の1側面の両サイ
ドに設けられコイル状内部導体11と電気的に接続され
た外部電極12とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、積層チップインダ
クタ及びその製造方法に係り、高Q値、高自己共振周波
数、及びコスト廉価(電極形成の簡略化)に関する。
【0002】
【従来の技術】インダクタンス素子として機能するチッ
プ部品としては、図5に示すように、正四角柱状のチッ
プ状積層体1の内部に形成したコイル状内部導体2と、
チップ状積層体1の両端面にディップ転写方式等で付着
させて焼付けたAg等からなる外部電極3とを、軸心に
沿って直線状に延びるスルーホール4を介して該スルー
ホール4内の接続導体5で電気的に接続した積層チップ
インダクタが一般に知られている。
【0003】ここで、前記コイル状内部導体2は、図6
に示すように、周縁部に沿ってコ字状に3/4周に亘っ
て延びる導体パターン6aを形成した、例えば磁性体セ
ラミックス等からなる絶縁性のコイル形成用グリーンシ
ート7aを複数枚用意して、一方向に巻回すように、上
下に位置するコイル形成用グリーンシート7aの導体パ
ターン6aの端部同士をスルーホール8aを介して交互
に電気的に導通させつつ、コイル形成用グリーンシート
7aを順次積層し焼成することによって形成される。こ
こで、導体パターン6aは、例えばAg又はAg−Pd
を主成分とする導体ペーストをグリーンシート7aに印
刷することによって形成されている。
【0004】一方、前記スルーホール4は、中心部にス
ルーホール8bを形成した複数の外部電極接続用グリー
ンシート7bの該スルーホール8bを直線状に連続させ
ることによって構成されている。
【0005】また、コイル形成用グリーンシート7aの
導体パターン6aと外部電極接続用グリーンシート7b
のスルーホール8bとは、内部接続用グリーンシート7
cに角部から中央に向かって延びるように形成され、一
方の端部にスルーホール8cを設けた導体パターン6c
で電気的に接続されている。
【0006】前記チップ状積層体1は、前記コイル形成
用グリーンシート7aを挟んでこの上下に、内部接続用
グリーンシート7c及び外部電極接続用グリーンシート
7bとを順次積層し(この積層は、多数の素子を同時に
形成するように、各素子用のスルーホールや導体パター
ンを多数形成した面積の大きなグリーンシートを用いて
行われる)、しかる後、各素子毎に分割(バレルカッ
ト)し焼成して作製される。そして、チップ状積層体1
の端部にAg等を付着させて乾燥させるディップ転写工
程を各端面毎に2度繰り返し、更に焼付けを行って、図
5に示す積層チップインダクタが製造される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た積層チップインダクタにあっては、コイル状内部導体
の中心線に沿った方向にグリーンシートを積層する、い
わゆる縦積み積層工法でコイル状内部導体が形成されて
いるため、抗折強度が弱く信頼性に欠けるばかりでな
く、グリーンシートの積層数が多くなり、しかも焼成が
本焼成と電極焼付けの2回必要となって、加工工数及び
製造コストの増大に繋がってしまう。しかも、外部電極
がチップ状積層体の両端面にこの全面に亘って形成され
ているため、この外部電極に起因する損失(渦電流及び
浮遊容量)が大きく、部品の小型化が進むと、この影響
が顕著に現れるといった問題があった。
【0008】本発明は上述した事情に鑑みて為されたも
ので、小型で高周波特性が良く、加工工数を減らして製
造コストの低減が図れる、高Q値、高自己共振周波数、
及びコストが廉価なチップ実装に好適な積層チップイン
ダクタ及びその製造方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、グリーンシートの積層方向と直交する方向に中心線
を有し、該中心線の周りに一方向に巻回したコイル状内
部導体を内部に形成したチップ状積層体と、該チップ状
積層体の1側面の両サイドに設けられ前記コイル状内部
導体と電気的に接続された外部電極とを有することを特
徴とする積層チップインダクタである。
【0010】上述した本発明によれば、コイル状内部導
体の中心線と直交する方向にグリーンシートを積層す
る、いわゆる横積み工法でコイル状内部導体が形成され
るため、抗折強度が高く信頼性が高くなり、しかもグリ
ーンシートの積層数を減らすことができる。また、チッ
プ状積層体の1側面の両サイドに外部電極を設けること
で、外部電極に起因する損失(渦電流及び浮遊容量)を
小さくして、チップ部品の小型化に伴う浮遊容量等の製
品特性への影響を軽減するとともに、焼成を1回で済ま
すことができる。
【0011】請求項2に記載の発明は、側縁部に所定の
ピッチで複数のスルーホールを形成した中間グリーンシ
ートと、前記中間グリーンシートのスルーホールで形成
されて上下方向に延びる複数の内部導体の上端及び下端
を一方向に巻回すように電気的に接続させる導体パター
ンを形成した上部グリーンシート及び下部グリーンシー
トと、前記上部グリーンシートまたは下部グリーンシー
トの表面に積層され、外部電極接続用のスルーホールを
有する外部電極接続用グリーンシートとを用意し、前記
中間グリーンシートを挟んで上部グリーンシートと下部
グリーンシート及び外部電極接続用グリーンシートを上
下に積層し、前記外部電極接続用グリーンシートの両サ
イドに対応する位置に該グリーンシートのスルーホール
に導通する外部電極導体を形成し、バレルカット後に焼
成することを特徴とする積層チップインダクタの製造方
法である。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て添付図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の
第1の実施の形態の積層チップインダクタを示す斜視図
で、この積層チップインダクタは、内部にコイル状内部
導体11を形成した正四角柱状のチップ状積層体10
と、このチップ状積層体10の1側面の両サイドに設け
たAg等からなる一対の外部電極12とから構成され、
前記コイル状内部導体11の端部と各外部電極12と
は、スルーホール13を介して該スルーホール13内の
内部導体14で電気的に接続されている。前記外部電極
12の表面には、必要に応じて、Sn又は半田めっきが
施されているか、またはNiめっきを施した後、Sn又
は半田めっきが施されている。
【0013】ここで、前記コイル状内部導体11は、グ
リーンシートを横方向に積層することで、そのコイルの
中心線Oがグリーンシートの積層方向Aと直交するよう
に、即ち、コイル状内部導体11の側部に位置する複数
の内部導体11aは、積層方向Aに沿って上下に平行に
延び、上部及び下部に位置する内部導体11b,11c
は、積層面内に位置して前記内部導体11aの上端及び
下端を一方向に巻回すように電気的に接続するようにな
っている。
【0014】図2は、積層チップインダクタの焼成前の
状態を示す分解斜視図で、図2に示すように、例えば磁
性体セラミックス等からなる絶縁性の複数枚の中間グリ
ーンシート17aと、この中間グリーンシート17aを
挟んで上下に配置される上部グリーンシート17b及び
下部グリーンシート17cと、この上部グリーンシート
17bの表面に積層される外部電極接続用グリーンシー
ト17dと、下部グリーンシートの表面を覆う表装グリ
ーンシート17eが備えられている。
【0015】前記中間グリーンシート17aには、その
側縁部に位置して所定のピッチで複数のスルーホール1
8aが設けられ、この各スルーホール18aを上下方向
に直線状に連続させることで、図1に示す、コイル状内
部導体11の側部に位置する内部導体11aを構成する
ようになっている。また、中央に位置する中間グリーン
シート17aの両側には、端部に位置する一方のスルー
ホール18aから鈎状に屈曲して外方に延びる導体パタ
ーン16aが形成され、この導体パターン16aの先端
に引出し用スルーホール19aが設けられている。更
に、この中央に位置する中間グリーンシート17aの上
方に位置する中間グリーンシート17aの前記引出し用
スルーホール19aに対向する位置にも引出し用スルー
ホール19aが設けられている。
【0016】なお、前記スルーホール18a,19aに
は、例えばAgペースト又はAg−Pdペーストからな
る導体ペーストが印刷され、導体パターン16aは、グ
リーンシート17aの表面に、例えばAgペースト又は
Ag−Pdペーストからなる導体ペーストを印刷するこ
とによって形成されている。このことは、以下のスルー
ホール及び導体パターンにおいても同様である。
【0017】前記上部グリーンシート17bには、その
側縁部に位置して所定のピッチで複数のスルーホール1
8bが設けられ、互いに対峙する位置にあるスルーホー
ル18bを電気的に接続する導体パターン16bが互い
に平行に形成されている。この導体パターン16bは、
図1に示す、コイル状内部導体11の上部に位置する内
部導体11bを構成するものである。更に、前記引出し
用スルーホール19aに対向する位置に引出し用スルー
ホール19bが設けられている。
【0018】前記下部グリーンシート17cには、最下
部に位置する中間グリーンシート17aに設けられ、互
いに対峙する位置から一方を1ピッチ分だけずらした位
置にあるスルーホール18aを電気的に接続する導体パ
ターン16cが互いに平行に形成され、この導体パター
ン16cの両端にスルーホール18cが設けられてい
る。この導体パターン16cは、図1に示す、コイル状
内部導体11の下部に位置する内部導体11cを構成す
るものである。
【0019】前記外部電極接続用グリーンシート17d
の前記引出し用スルーホール19bに対応する位置に
は、引出し用スルーホール19dが設けられている。こ
れにより、前記中間グリーンシート17aの引出し用ス
ルーホール19a、上部グリーンシート17bの引出し
用スルーホール19b及び外部電極接続用グリーンシー
ト17dの引出し用スルーホール19dを連続させるこ
とで、図1に示す、コイル状内部導体11と外部電極1
2とを導通させるスルーホール13を構成するようにな
っている。
【0020】なお、この例では、中央に位置する中間グ
リーンシート17aとして、鉤状に屈曲した導体パター
ン16aを形成したものを使用した例を示しているが、
図3に示すように、端部に位置する一方のスルーホール
18aと引出し用スルーホール19aとを直線状に結ぶ
導体パターン16aを形成したものを使用するようにし
ても良い。
【0021】そして、中間グリーンシート17aを挟ん
でこの上下に上部グリーンシート17bと下部グリーン
シート17c、更には外部電極接続用グリーンシート1
7d及び表装グリーンシート17eを順次積層し、この
積層方向にプレス圧をかけて圧着する。なお、この圧着
は、多数の素子を同時に形成するように、各素子用のス
ルーホールや導体パターンを多数形成した面積の大きな
グリーンシートを用いて行われる。そして、前記外部電
極接続用グリーンシート17dの両サイドに対応する位
置に該グリーンシート17dのスルーホール19dに導
通し前記外部電極12を構成する外部電極導体20を、
例えば導体ペーストを付着させて形成し、各素子毎にバ
レルカットした後、焼成して、積層チップインダクタを
製造する。
【0022】このように構成した積層チップインダクタ
によれば、いわゆる横積み工法でコイル状内部導体11
が形成されるため、抗折強度が高く信頼性が高いばかり
でなく、グリーンシートの積層数を少なくすることがで
きる。また、チップ状積層体10の1側面の両サイドに
外部電極12を設けることで、外部電極12に起因する
損失(渦電流及び浮遊容量)を小さくして、チップ部品
の小型化に伴う浮遊容量等の製品特性への影響を軽減す
るとともに、電極の焼付けを省略して焼成を1回で済ま
すことができる。
【0023】図4は、本発明の第2の実施の形態の積層
チップインダクタを示す焼成前の分解斜視図で、これ
は、中間グリーンシート17aとして、側縁部に所定の
ピッチで複数のスルーホール18aを設けたものを、上
部グリーンシート17bとして、側縁部に所定のピッチ
でスルーホール18bを設けるととともに、互いに対峙
する位置から一方を1ピッチ分だけずらした位置にある
スルーホール18bを電気的に接続する導体パターン1
6bを形成したものを、下部グリーンシート17cとし
て、側縁部に所定のピッチでスルーホール18cを設け
るととともに、互いに対峙する位置にあるスルーホール
18cを電気的に接続する導体パターン16cを形成し
たものを、外部電極接続用グリーンシート17dとし
て、上部グリーンシート17bの隅部に位置するスルー
ホール18bに対応する位置にスルーホール18dを設
けたものを、それぞれ使用したものである。この実施の
形態によれば、中間グリーンシート17a、上部グリー
ンシート17b及び下部グリーンシート17cを共通化
させることができる。
【0024】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、横積み積層工法でコイル状内部導体を形成すること
で、抗折強度を高くして信頼性を高めるとともに、グリ
ーンシートの積層数を減らすことができる。また、外部
電極に起因する損失(渦電流及び浮遊容量)を小さく
し、しかも焼成を1回で済ますことができる。これによ
り、いわゆる高Q値で高自己共振周波数、しかもコスト
が廉価なチップ実装に好適で周波数特性の良好な小型の
積層チップインダクタを容易に製造することができ、又
その製造コストを低減し、リードタイムを短縮すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態の積層チップインダ
クタを示す斜視図である。
【図2】図1に示す積層チップインダクタの焼成前の分
解斜視図である。
【図3】図1に示す中間グリーンシートの他の例を示す
斜視図である。
【図4】本発明の第2の実施の形態の積層チップインダ
クタの焼成前の分解斜視図である。
【図5】従来の積層チップインダクタを示す斜視図であ
る。
【図6】図5に示す積層チップインダクタの焼成前の分
解斜視図である。
【符号の説明】
10 チップ状積層体 11 コイル状内部導体 12 外部電極 13 スルーホール 14 内部導体 16a,16b,16c 導体パターン 17a 中間グリーンシート 17b 上部グリーンシート 17c 下部グリーンシート 17d 外部電極接続用グリーンシート 17e 表装グリーンシート 18a,18b,18c,18d スルーホール 19a,19b,19d 引出し用スルーホール

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 グリーンシートの積層方向と直交する方
    向に中心線を有し、該中心線の周りに一方向に巻回した
    コイル状内部導体を内部に形成したチップ状積層体と、
    該チップ状積層体の1側面の両サイドに設けられ前記コ
    イル状内部導体と電気的に接続された外部電極とを有す
    ることを特徴とする積層チップインダクタ。
  2. 【請求項2】 側縁部に所定のピッチで複数のスルーホ
    ールを形成した中間グリーンシートと、 前記中間グリーンシートのスルーホールで形成されて上
    下方向に延びる複数の内部導体の上端及び下端を一方向
    に巻回すように電気的に接続させる導体パターンを形成
    した上部グリーンシート及び下部グリーンシートと、 前記上部グリーンシートまたは下部グリーンシートの表
    面に積層され、外部電極接続用のスルーホールを有する
    外部電極接続用グリーンシートとを用意し、 前記中間グリーンシートを挟んで上部グリーンシートと
    下部グリーンシート及び外部電極接続用グリーンシート
    を上下に積層し、 前記外部電極接続用グリーンシートの両サイドに対応す
    る位置に該グリーンシートのスルーホールに導通する外
    部電極導体を形成し、バレルカット後に焼成することを
    特徴とする積層チップインダクタの製造方法。
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