JP2001057379A - ストッカーモニタリング装置及びストッカーモニタリング用半導体工場自動化システムとその自動化方法 - Google Patents
ストッカーモニタリング装置及びストッカーモニタリング用半導体工場自動化システムとその自動化方法Info
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ストッカーが故障などで誤動作した場合に視
聴覚警告信号を効果的に発生できる、ストッカーの誤動
作をモニタリングするためのストッカーモニタリング用
半導体工場自動化システム及び自動化方法を提供する。 【解決手段】多数の手動ポート手段と、多数の自動ポー
ト手段と、ロボットアーム手段と、積層手段とを含み、
半導体ウエハカセットを貯蔵するストッカーと、ストッ
カー状態信号に応答してストッカー状態情報を生成する
生成手段と、ストッカーの動作情報を更新するためにス
トッカー状態情報を検査し、ストッカーに誤動作が生じ
た場合に、警告信号を生成するためのモニタリング手段
と、警告信号に応答して視聴覚警告信号を発生させるた
めの警告手段とを含む。
聴覚警告信号を効果的に発生できる、ストッカーの誤動
作をモニタリングするためのストッカーモニタリング用
半導体工場自動化システム及び自動化方法を提供する。 【解決手段】多数の手動ポート手段と、多数の自動ポー
ト手段と、ロボットアーム手段と、積層手段とを含み、
半導体ウエハカセットを貯蔵するストッカーと、ストッ
カー状態信号に応答してストッカー状態情報を生成する
生成手段と、ストッカーの動作情報を更新するためにス
トッカー状態情報を検査し、ストッカーに誤動作が生じ
た場合に、警告信号を生成するためのモニタリング手段
と、警告信号に応答して視聴覚警告信号を発生させるた
めの警告手段とを含む。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、半導体工場自動化
システム及び方法に関し、特に、ストッカーの誤動作を
モニタリングするためのストッカーモニタリング装置を
含むストッカーモニタリング用半導体工場自動化システ
ム及び方法に関するものである。
システム及び方法に関し、特に、ストッカーの誤動作を
モニタリングするためのストッカーモニタリング装置を
含むストッカーモニタリング用半導体工場自動化システ
ム及び方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体工場自動化システムは、
少なくとも一つのセル（ｃｅｌｌ）を含む。セルは、多
数の半導体生産ベイ（ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｐ
ｒｏｄｕｃｔｉｏｎ ｂａｙｓ）を含む。半導体生産ベ
イは、工程装備、ストッカー、及びＡＧＶ（ａｕｔｏｍ
ａｔｉｃ ｇｕｉｄｅ ｖｅｈｉｃｌｅ）を含む。工程
装備は、半導体素子を得るために半導体ウエハを処理す
る。工程装備は、エッチング装備（ｅｔｃｈｉｎｇ ｅ
ｑｕｉｐｍｅｎｔ）、炉装備（ｆｕｒｎａｃｅｅｑｕｉ
ｐｍｅｎｔ）、フォトリソグラフィ装備（ｐｈｏｔｏ−
ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ）などを
含む。ストッカーは、半導体生産ベイから他の半導体生
産ベイに搬送される半導体ウエハカセット、及び工程装
備で処理された半導体ウエハカセットを一時的に貯蔵す
る。半導体ウエハカセットは、多数の半導体ウエハを収
容する容器（ｃｏｎｔａｉｎｅｒ）である。工程装備で
処理された半導体ウエハカセットは、ＡＧＶ、ビークル
（ｖｅｈｉｃｌｅ）、またはオペレーターによりストッ
カーに搬送される。ビークルは、半導体生産ベイから他
の半導体生産ベイに半導体ウエハカセットを搬送するこ
とに利用される。
少なくとも一つのセル（ｃｅｌｌ）を含む。セルは、多
数の半導体生産ベイ（ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｐ
ｒｏｄｕｃｔｉｏｎ ｂａｙｓ）を含む。半導体生産ベ
イは、工程装備、ストッカー、及びＡＧＶ（ａｕｔｏｍ
ａｔｉｃ ｇｕｉｄｅ ｖｅｈｉｃｌｅ）を含む。工程
装備は、半導体素子を得るために半導体ウエハを処理す
る。工程装備は、エッチング装備（ｅｔｃｈｉｎｇ ｅ
ｑｕｉｐｍｅｎｔ）、炉装備（ｆｕｒｎａｃｅｅｑｕｉ
ｐｍｅｎｔ）、フォトリソグラフィ装備（ｐｈｏｔｏ−
ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ）などを
含む。ストッカーは、半導体生産ベイから他の半導体生
産ベイに搬送される半導体ウエハカセット、及び工程装
備で処理された半導体ウエハカセットを一時的に貯蔵す
る。半導体ウエハカセットは、多数の半導体ウエハを収
容する容器（ｃｏｎｔａｉｎｅｒ）である。工程装備で
処理された半導体ウエハカセットは、ＡＧＶ、ビークル
（ｖｅｈｉｃｌｅ）、またはオペレーターによりストッ
カーに搬送される。ビークルは、半導体生産ベイから他
の半導体生産ベイに半導体ウエハカセットを搬送するこ
とに利用される。
【０００３】ストッカーが故障などで誤動作すれば、半
導体ウエハカセットを工程装備、または他の半導体生産
ベイに搬送することが不可能である。したがって、オペ
レーターがストッカーの故障を修理工に速かに報告する
ため、ストッカーの動作状態を持続的に点検する必要が
ある。
導体ウエハカセットを工程装備、または他の半導体生産
ベイに搬送することが不可能である。したがって、オペ
レーターがストッカーの故障を修理工に速かに報告する
ため、ストッカーの動作状態を持続的に点検する必要が
ある。
【０００４】ストッカーの動作状態を点検するため、半
導体工場自動化システムは、ストッカーモニタリング装
置を含む。ストッカーモニタリング装置は、セル管理サ
ーバ（ｃｅｌｌ ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ ｓｅｒｖｅ
ｒ：ＣＭＳ）及びＣＭＳに連結されたオペレーターイン
ターフェースサーバ（ｏｐｅｒａｔｏｒ ｉｎｔｅｒｆ
ａｃｅ ｓｅｒｖｅｒ：ＯＩＳ）を含む。ＣＭＳは、ス
トッカーに関する動作情報を受信する。ＯＩＳは、モニ
ターにストッカーの動作状態をディスプレーする。
導体工場自動化システムは、ストッカーモニタリング装
置を含む。ストッカーモニタリング装置は、セル管理サ
ーバ（ｃｅｌｌ ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ ｓｅｒｖｅ
ｒ：ＣＭＳ）及びＣＭＳに連結されたオペレーターイン
ターフェースサーバ（ｏｐｅｒａｔｏｒ ｉｎｔｅｒｆ
ａｃｅ ｓｅｒｖｅｒ：ＯＩＳ）を含む。ＣＭＳは、ス
トッカーに関する動作情報を受信する。ＯＩＳは、モニ
ターにストッカーの動作状態をディスプレーする。
【０００５】このような場合に、オペレーターは、スト
ッカーに関する動作情報に基づいて誤動作したストッカ
ーを確認するため、持続的に監視する。オペレーターが
故障により誤動作したストッカーの状態を確認すれば、
ストッカーが誤動作したことを修理工に報告する。次い
で、修理工は、ストッカーの誤動作した部分を探し出し
て修理することとなる。
ッカーに関する動作情報に基づいて誤動作したストッカ
ーを確認するため、持続的に監視する。オペレーターが
故障により誤動作したストッカーの状態を確認すれば、
ストッカーが誤動作したことを修理工に報告する。次い
で、修理工は、ストッカーの誤動作した部分を探し出し
て修理することとなる。
【０００６】しかし、オペレーターが故障し誤動作した
ストッカーの状態を速かに認識できないと、故障したス
トッカーが長時間そのまま放置されて半導体収率（ｓｅ
ｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｙｉｅｌｄ）が顕著に減少す
る。また、オペレーターが熟練していない場合に、スト
ッカーの故障などにより誤動作した部分を確認するのに
必要な時間が非常に長くなり得る。
ストッカーの状態を速かに認識できないと、故障したス
トッカーが長時間そのまま放置されて半導体収率（ｓｅ
ｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｙｉｅｌｄ）が顕著に減少す
る。また、オペレーターが熟練していない場合に、スト
ッカーの故障などにより誤動作した部分を確認するのに
必要な時間が非常に長くなり得る。
【０００７】したがって、熟練したオペレーターがスト
ッカーの動作状態を持続的に監視する必要があるが、こ
の場合には、人件費が増加して半導体素子の生産コスト
が大きく増加する問題点がある。
ッカーの動作状態を持続的に監視する必要があるが、こ
の場合には、人件費が増加して半導体素子の生産コスト
が大きく増加する問題点がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明
は、ストッカーが誤動作した場合、視聴覚警告信号を効
果的に発生させることが可能な、ストッカーの誤動作を
モニタリングするためのストッカーモニタリング装置及
びストッカーモニタリング用半導体工場自動化システム
とその自動化方法を提供することにその目的がある。
は、ストッカーが誤動作した場合、視聴覚警告信号を効
果的に発生させることが可能な、ストッカーの誤動作を
モニタリングするためのストッカーモニタリング装置及
びストッカーモニタリング用半導体工場自動化システム
とその自動化方法を提供することにその目的がある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ため、本発明は、半導体ウエハカセットを貯蔵し、多数
の手動ポート手段と、多数の自動ポート手段と、ロボッ
トアーム手段と、積層手段とを含むストッカーの誤動作
をモニタリングするストッカーモニタリング装置におい
て；ストッカーから発信されるストッカー状態信号に応
答してストッカーの動作状態を表すストッカー状態情報
を生成するための生成手段と；既に貯蔵されたストッカ
ーの動作情報を更新するためにストッカー状態情報を検
査してストッカーに含まれる多数の手動ポート手段、多
数の自動ポート手段、ロボットアーム手段、積層手段の
うち少なくとも一つに誤動作が生じた場合に、警告信号
を生成するためのモニタリング手段と、この警告信号に
応答して視聴覚警告信号を発生させるための警告手段と
を含むことを特徴とする。
ため、本発明は、半導体ウエハカセットを貯蔵し、多数
の手動ポート手段と、多数の自動ポート手段と、ロボッ
トアーム手段と、積層手段とを含むストッカーの誤動作
をモニタリングするストッカーモニタリング装置におい
て；ストッカーから発信されるストッカー状態信号に応
答してストッカーの動作状態を表すストッカー状態情報
を生成するための生成手段と；既に貯蔵されたストッカ
ーの動作情報を更新するためにストッカー状態情報を検
査してストッカーに含まれる多数の手動ポート手段、多
数の自動ポート手段、ロボットアーム手段、積層手段の
うち少なくとも一つに誤動作が生じた場合に、警告信号
を生成するためのモニタリング手段と、この警告信号に
応答して視聴覚警告信号を発生させるための警告手段と
を含むことを特徴とする。
【００１０】また、本発明は、ストッカーの誤動作をモ
ニタリングするためのストッカーモニタリング用半導体
工場自動化システムにおいて；多数の手動ポート手段
と、多数の自動ポート手段と、ロボットアーム手段と、
積層手段とを含み、半導体ウエハカセットを貯蔵するた
めの少なくとも一つのストッカーと；ストッカーから発
信されるストッカー状態信号に応答してストッカーの動
作状態を表すストッカー状態情報を生成するための生成
手段と；既に貯蔵されているストッカーの動作情報を更
新するためにストッカー状態情報を検査し、ストッカー
に含まれた多数の手動ポート手段、多数の自動ポート手
段、ロボットアーム手段、積層手段のうち少なくとも一
つに誤動作が生じた場合に、警告信号を生成するための
モニタリング手段と；警告信号に応答して視聴覚警告信
号を発生させるための警告手段とを含む。
ニタリングするためのストッカーモニタリング用半導体
工場自動化システムにおいて；多数の手動ポート手段
と、多数の自動ポート手段と、ロボットアーム手段と、
積層手段とを含み、半導体ウエハカセットを貯蔵するた
めの少なくとも一つのストッカーと；ストッカーから発
信されるストッカー状態信号に応答してストッカーの動
作状態を表すストッカー状態情報を生成するための生成
手段と；既に貯蔵されているストッカーの動作情報を更
新するためにストッカー状態情報を検査し、ストッカー
に含まれた多数の手動ポート手段、多数の自動ポート手
段、ロボットアーム手段、積層手段のうち少なくとも一
つに誤動作が生じた場合に、警告信号を生成するための
モニタリング手段と；警告信号に応答して視聴覚警告信
号を発生させるための警告手段とを含む。
【００１１】さらに、本発明は、多数の手動ポート手段
と、多数の自動ポート手段と、ロボットアーム手段と、
積層手段とを含み、半導体ウエハカセットを貯蔵するス
トッカーの誤動作をモニタリングするためのストッカー
モニタリング用半導体工場自動化方法において；ストッ
カーから発信されるストッカー状態信号に応答してスト
ッカーの動作状態を表すストッカー状態情報を生成する
第１ステップと；既に貯蔵された前記ストッカーの動作
情報を更新するために前記ストッカー状態情報を検査す
る第２ステップと；ストッカーに含まれた多数の手動ポ
ート手段、多数の自動ポート手段、ロボットアーム手
段、積層手段のうち少なくとも一つに誤動作が生じた場
合に、警告信号を生成する第３ステップと；警告信号に
応答して視聴覚警告信号を発生させる第４ステップとを
含む。
と、多数の自動ポート手段と、ロボットアーム手段と、
積層手段とを含み、半導体ウエハカセットを貯蔵するス
トッカーの誤動作をモニタリングするためのストッカー
モニタリング用半導体工場自動化方法において；ストッ
カーから発信されるストッカー状態信号に応答してスト
ッカーの動作状態を表すストッカー状態情報を生成する
第１ステップと；既に貯蔵された前記ストッカーの動作
情報を更新するために前記ストッカー状態情報を検査す
る第２ステップと；ストッカーに含まれた多数の手動ポ
ート手段、多数の自動ポート手段、ロボットアーム手
段、積層手段のうち少なくとも一つに誤動作が生じた場
合に、警告信号を生成する第３ステップと；警告信号に
応答して視聴覚警告信号を発生させる第４ステップとを
含む。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、添付した図面を参照し本発
明における好適な実施の形態につき詳細に説明する。
明における好適な実施の形態につき詳細に説明する。
【００１３】図１には、本発明におけるストッカーモニ
タリング用半導体工場自動化システムのブロック図が示
されている。図示されたように、ストッカーモニタリン
グ用半導体工場自動化システムは、所定の数（例えば、
４個）の半導体生産ベイを有する少なくとも一つのセル
を含む。半導体生産ベイ４００は、セルに含まれる。半
導体生産ベイ４００は、工程装備（ｐｒｏｃｅｓｓ ｅ
ｑｕｉｐｍｅｎｔ：ＥＱ）２０４、ストッカー２１６、
及び自動的にガイドされる運搬具であるＡＧＶ（ａｕｔ
ｏｍａｔｉｃ ｇｕｉｄｅ ｖｅｈｉｃｌｅ）２１４を
含む。ＥＱ２０４は、半導体素子を得るために半導体ウ
エハを処理する。ＥＱ２０４は、エッチング装備、フォ
トリソグラフィ（ｐｈｏｔｏ−ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈ
ｙ）装備を含む。ストッカー２１６は、多数の半導体ウ
エハカセットを一時的に貯蔵する。半導体ウエハカセッ
トは、所定の数の半導体ウエハを有するロット（ｌｏ
ｔ）を含む半導体ウエハを収容する。半導体ウエハカセ
ットは、ＡＧＶ２１４によりＥＱ２０４に搬送される。
ストッカー２１６に貯蔵された半導体ウエハカセット
は、他の半導体生産ベイ４００に搬送される。
タリング用半導体工場自動化システムのブロック図が示
されている。図示されたように、ストッカーモニタリン
グ用半導体工場自動化システムは、所定の数（例えば、
４個）の半導体生産ベイを有する少なくとも一つのセル
を含む。半導体生産ベイ４００は、セルに含まれる。半
導体生産ベイ４００は、工程装備（ｐｒｏｃｅｓｓ ｅ
ｑｕｉｐｍｅｎｔ：ＥＱ）２０４、ストッカー２１６、
及び自動的にガイドされる運搬具であるＡＧＶ（ａｕｔ
ｏｍａｔｉｃ ｇｕｉｄｅ ｖｅｈｉｃｌｅ）２１４を
含む。ＥＱ２０４は、半導体素子を得るために半導体ウ
エハを処理する。ＥＱ２０４は、エッチング装備、フォ
トリソグラフィ（ｐｈｏｔｏ−ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈ
ｙ）装備を含む。ストッカー２１６は、多数の半導体ウ
エハカセットを一時的に貯蔵する。半導体ウエハカセッ
トは、所定の数の半導体ウエハを有するロット（ｌｏ
ｔ）を含む半導体ウエハを収容する。半導体ウエハカセ
ットは、ＡＧＶ２１４によりＥＱ２０４に搬送される。
ストッカー２１６に貯蔵された半導体ウエハカセット
は、他の半導体生産ベイ４００に搬送される。
【００１４】装備サーバ（ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ｓｅｒ
ｖｅｒ：ＥＱＳ）２０２は、共通通信ライン５００にカ
ップリングされる。共通通信ライン５００としては、例
えば、ゼロックス社により供給されるイーサネットが使
用できる。ＡＧＶ制御器（ＡＧＶ ｃｏｎｔｒｏｌｌｅ
ｒ：ＡＧＶＣ）２１２は、ＡＧＶ２１４（の半導体ウエ
ハカセット積み下ろし動作、運搬動作）を制御する。
ｖｅｒ：ＥＱＳ）２０２は、共通通信ライン５００にカ
ップリングされる。共通通信ライン５００としては、例
えば、ゼロックス社により供給されるイーサネットが使
用できる。ＡＧＶ制御器（ＡＧＶ ｃｏｎｔｒｏｌｌｅ
ｒ：ＡＧＶＣ）２１２は、ＡＧＶ２１４（の半導体ウエ
ハカセット積み下ろし動作、運搬動作）を制御する。
【００１５】また、ストッカーモニタリング用半導体工
場自動化システムは、セル管理部１００、セル管理部１
００にカップリングされたリアルタイムデータベース３
００、臨時貯蔵部３１０、臨時貯蔵部３１０にカップリ
ングされた履歴管理部３１２、及び履歴管理部３１２に
カップリングされた履歴データベース３１４を含む。セ
ル管理部１００と履歴管理部３１２とは、各々通信のた
めに共通通信ライン５００に連結される。
場自動化システムは、セル管理部１００、セル管理部１
００にカップリングされたリアルタイムデータベース３
００、臨時貯蔵部３１０、臨時貯蔵部３１０にカップリ
ングされた履歴管理部３１２、及び履歴管理部３１２に
カップリングされた履歴データベース３１４を含む。セ
ル管理部１００と履歴管理部３１２とは、各々通信のた
めに共通通信ライン５００に連結される。
【００１６】セル管理部１００は、セル管理サーバ（ｃ
ｅｌｌ ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ ｓｅｒｖｅｒ：ＣＭ
Ｓ）２０６、オペレーターインターフェースサーバ（ｏ
ｐｅｒａｔｏｒ ｉｎｔｅｒｆａｃｅ ｓｅｒｖｅｒ：
ＯＩＳ）２０１、及びデータ収集サーバ（ｄａｔａ ｇ
ａｔｈｅｒｉｎｇ ｓｅｒｖｅｒ：ＤＧＳ）２０７を含
む。ＤＧＳ２０７は、ロット関連データをリアルタイム
データベース３００に貯蔵する。
ｅｌｌ ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ ｓｅｒｖｅｒ：ＣＭ
Ｓ）２０６、オペレーターインターフェースサーバ（ｏ
ｐｅｒａｔｏｒ ｉｎｔｅｒｆａｃｅ ｓｅｒｖｅｒ：
ＯＩＳ）２０１、及びデータ収集サーバ（ｄａｔａ ｇ
ａｔｈｅｒｉｎｇ ｓｅｒｖｅｒ：ＤＧＳ）２０７を含
む。ＤＧＳ２０７は、ロット関連データをリアルタイム
データベース３００に貯蔵する。
【００１７】ストッカー２１６に隣接して、聴覚警告手
段としてのブザー３３０（図３参照）、及び視覚警告手
段として光素子３４０（図３参照）が設けられている。
また、ブザー３３０及び光素子３４０はＣＭＳ２０６に
直接連結される。ブザー３３０及び光素子３４０は、Ｃ
ＭＳ２０６により制御される。ブザー３３０は、聴覚警
告信号を発生し、光素子は、視覚警告信号を発生させ
る。ブザー３３０及び光素子３４０は、ＣＭＳ２０６か
ら発信される警告信号に応答して視聴覚警告信号を発生
させる。光素子３４０は、各々黒色、赤色、黄色、及び
白色光信号を発生させる。
段としてのブザー３３０（図３参照）、及び視覚警告手
段として光素子３４０（図３参照）が設けられている。
また、ブザー３３０及び光素子３４０はＣＭＳ２０６に
直接連結される。ブザー３３０及び光素子３４０は、Ｃ
ＭＳ２０６により制御される。ブザー３３０は、聴覚警
告信号を発生し、光素子は、視覚警告信号を発生させ
る。ブザー３３０及び光素子３４０は、ＣＭＳ２０６か
ら発信される警告信号に応答して視聴覚警告信号を発生
させる。光素子３４０は、各々黒色、赤色、黄色、及び
白色光信号を発生させる。
【００１８】図２には、図１に示された搬送制御部１１
６のブロック図が示されている。図示されたように、搬
送制御部１１６は、共通通信ライン５００にカップリン
グされたイントラベイ制御サーバ（ｉｎｔｒａｂａｙ
ｃｏｎｔｒｏｌ ｓｅｒｖｅｒ：ＩＣＳ）２１０、及び
ストッカー制御サーバ（ｓｔｏｃｋｅｒ ｃｏｎｔｒｏ
ｌ ｓｅｒｖｅｒ：ＳＣＳ）２１８を含む。ＩＣＳ２１
０は、各々搬送メッセージを搬送命令に変換する。ＳＣ
Ｓ２１８は、ＩＣＳ２１０から伝送された搬送命令に応
答してストッカー２１６を制御するためにストッカー制
御信号を生成する。ＡＧＶＣ２１２は、ＩＣＳ２１０か
ら伝送された搬送命令に応答してＡＧＶ２１４を制御す
るためにＡＧＶ制御信号を生成する。
６のブロック図が示されている。図示されたように、搬
送制御部１１６は、共通通信ライン５００にカップリン
グされたイントラベイ制御サーバ（ｉｎｔｒａｂａｙ
ｃｏｎｔｒｏｌ ｓｅｒｖｅｒ：ＩＣＳ）２１０、及び
ストッカー制御サーバ（ｓｔｏｃｋｅｒ ｃｏｎｔｒｏ
ｌ ｓｅｒｖｅｒ：ＳＣＳ）２１８を含む。ＩＣＳ２１
０は、各々搬送メッセージを搬送命令に変換する。ＳＣ
Ｓ２１８は、ＩＣＳ２１０から伝送された搬送命令に応
答してストッカー２１６を制御するためにストッカー制
御信号を生成する。ＡＧＶＣ２１２は、ＩＣＳ２１０か
ら伝送された搬送命令に応答してＡＧＶ２１４を制御す
るためにＡＧＶ制御信号を生成する。
【００１９】図３には、一つのストッカー２１６を有す
るストッカーモニタリング装置が示されている。便宜
上、ただ一つのストッカーのみが図３に示されている
が、実際に多数のストッカー２１６がストッカーモニタ
リング装置に連結される。ストッカーモニタリング装置
は、ＳＣＳ２１８、ＣＭＳ２１６、ＯＩＳ２０１、ブザ
ー３３０、光素子３４０、及びモニター１１４を含む。
るストッカーモニタリング装置が示されている。便宜
上、ただ一つのストッカーのみが図３に示されている
が、実際に多数のストッカー２１６がストッカーモニタ
リング装置に連結される。ストッカーモニタリング装置
は、ＳＣＳ２１８、ＣＭＳ２１６、ＯＩＳ２０１、ブザ
ー３３０、光素子３４０、及びモニター１１４を含む。
【００２０】ストッカー２１６は、ストッカー２１６に
半導体ウエハカセットを積載するか、またはストッカー
２１６から半導体ウエハカセットを取り出すための多数
の手動ポート手段、及び多数の自動ポート手段を含む。
このような実施の形態では、手動ポート手段は、半導体
ウエハカセットを積載するための入力用の手動ポート３
２１、及び半導体ウエハカセットを取り出すための出力
用の手動ポート３２１からなる。同様に、自動ポート手
段は、半導体ウエハカセットを積載するための入力用の
自動ポート３２２、及び半導体ウエハカセットを取り出
すための出力用の自動ポート３２２からなる。
半導体ウエハカセットを積載するか、またはストッカー
２１６から半導体ウエハカセットを取り出すための多数
の手動ポート手段、及び多数の自動ポート手段を含む。
このような実施の形態では、手動ポート手段は、半導体
ウエハカセットを積載するための入力用の手動ポート３
２１、及び半導体ウエハカセットを取り出すための出力
用の手動ポート３２１からなる。同様に、自動ポート手
段は、半導体ウエハカセットを積載するための入力用の
自動ポート３２２、及び半導体ウエハカセットを取り出
すための出力用の自動ポート３２２からなる。
【００２１】ストッカー２１６は、ロボットアーム手段
としてのロボットアーム３２３、積層手段としてのスタ
ッカー３２４、及び多数の検出器３２５を含む。ロボッ
トアーム３２３は、半導体ウエハカセットをストッカー
２１６の外に引っ張り出すか、または半導体ウエハカセ
ットをストッカー２１６の中へ押し入れる。スタッカー
３２４は、手動ポート３２１、及び自動ポート３２２に
積載された半導体ウエハカセットを積層する。
としてのロボットアーム３２３、積層手段としてのスタ
ッカー３２４、及び多数の検出器３２５を含む。ロボッ
トアーム３２３は、半導体ウエハカセットをストッカー
２１６の外に引っ張り出すか、または半導体ウエハカセ
ットをストッカー２１６の中へ押し入れる。スタッカー
３２４は、手動ポート３２１、及び自動ポート３２２に
積載された半導体ウエハカセットを積層する。
【００２２】検出器３２５は、ストッカー２１６に含ま
れる複数の手動ポート３２１、複数の自動ポート３２
２、ロボットアーム３２３、スタッカー３２４の各々の
移動率を検出する。検出器３２５は、複数の手動ポート
３２１、複数の自動ポート３２２、ロボットアーム３２
３、スタッカー３２４の各々に設けられる。また、検出
器３２５は、複数の手動ポート３２１、複数の自動ポー
ト３２２、ロボットアーム３２３、スタッカー３２４の
各々の動作状態を表すストッカー状態信号をＳＣＳ２１
８に発信する。ＳＣＳ２１８は、複数の手動ポート３２
１、複数の自動ポート３２２、ロボットアーム３２３、
スタッカー３２４の各々の動作を制御すると共に、各々
の動作状態をモニタリングする。複数の手動ポート３２
１、複数の自動ポート３２２、ロボットアーム３２３、
スタッカー３２４の各々の動作状態をモニタリングする
ため、ＳＣＳ２１８は、検出器３２５から発信されるス
トッカー状態信号を受信する。次いで、ＳＣＳ２１８
は、ストッカー状態信号に応答して複数の手動ポート３
２１、複数の自動ポート３２２、ロボットアーム３２
３、スタッカー３２４の各々の動作情報を表すストッカ
ー状態情報を作成する。ストッカー状態情報は、各スト
ッカー２１６を表す識別情報、ストッカー２１６に含ま
れる複数の手動ポート３２１、複数の自動ポート３２
２、ロボットアーム３２３、スタッカー３２４の各々を
表す識別情報、及び複数の手動ポート３２１、複数の自
動ポート３２２、ロボットアーム３２３、スタッカー３
２４の各々について故障など誤動作したことを表すフラ
グを含む。ストッカー状態情報は、第１のフラグとして
の″Ｍ″、第２のフラグとしての″Ａ″、第３のフラグ
としての″Ｒ″、第４のフラグとしての″Ｓ″、及び″
０″のフラグを含む。例えば、″Ｍ″は、誤動作した手
動ポートを示す。″Ａ″は、誤動作した自動ポートのフ
ラグを示す。″Ｒ″は、誤動作したロボットアームを示
す。″Ｓ″は、誤動作したスタッカーのフラグを示す。
また、複数の手動ポート３２１、複数の自動ポート３２
２、ロボットアーム３２３、スタッカー３２４の全部が
正常である場合に、全てのフラグは、″０″で示す。
れる複数の手動ポート３２１、複数の自動ポート３２
２、ロボットアーム３２３、スタッカー３２４の各々の
移動率を検出する。検出器３２５は、複数の手動ポート
３２１、複数の自動ポート３２２、ロボットアーム３２
３、スタッカー３２４の各々に設けられる。また、検出
器３２５は、複数の手動ポート３２１、複数の自動ポー
ト３２２、ロボットアーム３２３、スタッカー３２４の
各々の動作状態を表すストッカー状態信号をＳＣＳ２１
８に発信する。ＳＣＳ２１８は、複数の手動ポート３２
１、複数の自動ポート３２２、ロボットアーム３２３、
スタッカー３２４の各々の動作を制御すると共に、各々
の動作状態をモニタリングする。複数の手動ポート３２
１、複数の自動ポート３２２、ロボットアーム３２３、
スタッカー３２４の各々の動作状態をモニタリングする
ため、ＳＣＳ２１８は、検出器３２５から発信されるス
トッカー状態信号を受信する。次いで、ＳＣＳ２１８
は、ストッカー状態信号に応答して複数の手動ポート３
２１、複数の自動ポート３２２、ロボットアーム３２
３、スタッカー３２４の各々の動作情報を表すストッカ
ー状態情報を作成する。ストッカー状態情報は、各スト
ッカー２１６を表す識別情報、ストッカー２１６に含ま
れる複数の手動ポート３２１、複数の自動ポート３２
２、ロボットアーム３２３、スタッカー３２４の各々を
表す識別情報、及び複数の手動ポート３２１、複数の自
動ポート３２２、ロボットアーム３２３、スタッカー３
２４の各々について故障など誤動作したことを表すフラ
グを含む。ストッカー状態情報は、第１のフラグとして
の″Ｍ″、第２のフラグとしての″Ａ″、第３のフラグ
としての″Ｒ″、第４のフラグとしての″Ｓ″、及び″
０″のフラグを含む。例えば、″Ｍ″は、誤動作した手
動ポートを示す。″Ａ″は、誤動作した自動ポートのフ
ラグを示す。″Ｒ″は、誤動作したロボットアームを示
す。″Ｓ″は、誤動作したスタッカーのフラグを示す。
また、複数の手動ポート３２１、複数の自動ポート３２
２、ロボットアーム３２３、スタッカー３２４の全部が
正常である場合に、全てのフラグは、″０″で示す。
【００２３】ストッカー状態情報は、ＳＣＳ２１８から
ＣＭＳ２０６に伝送される。ＣＭＳ２０６は、ストッカ
ーの複数の手動ポート３２１、複数の自動ポート３２
２、ロボットアーム３２３、スタッカー３２４の内どこ
の部分が誤動作したのかを識別するため、ストッカー状
態情報を点検することによって、ストッカー２１６に含
まれた複数の手動ポート３２１、複数の自動ポート３２
２、ロボットアーム３２３、スタッカー３２４の各々の
動作状態を検査する。ストッカー２１６の複数の手動ポ
ート３２１、複数の自動ポート３２２、ロボットアーム
３２３、スタッカー３２４の内少なくとも一つのが故障
などで誤動作した場合、ＣＭＳ２０６は、警告信号を生
成する。
ＣＭＳ２０６に伝送される。ＣＭＳ２０６は、ストッカ
ーの複数の手動ポート３２１、複数の自動ポート３２
２、ロボットアーム３２３、スタッカー３２４の内どこ
の部分が誤動作したのかを識別するため、ストッカー状
態情報を点検することによって、ストッカー２１６に含
まれた複数の手動ポート３２１、複数の自動ポート３２
２、ロボットアーム３２３、スタッカー３２４の各々の
動作状態を検査する。ストッカー２１６の複数の手動ポ
ート３２１、複数の自動ポート３２２、ロボットアーム
３２３、スタッカー３２４の内少なくとも一つのが故障
などで誤動作した場合、ＣＭＳ２０６は、警告信号を生
成する。
【００２４】図４には、図３に示されたモニター１１４
にディスプレーされるオペレーターインターフェース手
段としてのオペレーターインターフェーススクリーンを
表す説明図が示されている。警告信号は、ＣＭＳ２０６
からモニター１１４にカップリングされたＯＩＳ２０１
で生成される。手動ポート３２１が故障などで誤動作し
た場合、モニター１１４は、警告信号に応答してオペレ
ーターインターフェーススクリーンのディスプレー空間
１１４ｄに″Ｍ″のフラグをディスプレーする。自動ポ
ート３２２が故障などで誤動作した場合、モニター１１
４は、警告信号に応答してオペレーターインターフェー
ススクリーンのディスプレー空間１１４ｄに″Ａ″のフ
ラグをディスプレーする。ロボットアーム３２３が故障
などで誤動作した場合、モニター１１４は、警告信号に
応答してオペレーターインターフェーススクリーンのデ
ィスプレー空間１１４ｄに″Ｒ″のフラグをディスプレ
ーする。スタッカー３２４が故障などで誤動作した場
合、モニター１１４は、警告信号に応答してオペレータ
ーインターフェーススクリーンのディスプレー空間１１
４ｄに″Ｓ″のフラグをディスプレーする。モニター１
１４は、オペレーターインターフェーススクリーンのデ
ィスプレー空間１１４ａに識別情報としてのストッカー
番号、例えば、″Ｓ３４１″をディスプレーする。モニ
ター１１４は、オペレーターインターフェーススクリー
ンのディスプレー空間１１４ｂに識別情報としてのスト
ッカーの名前、例えば、″ＣＳＭ３４１″をディスプレ
ーする。モニター１１４は、オペレーターインターフェ
ーススクリーンのディスプレー空間１１４ｆに識別情報
としてのストッカーモード、例えば、″０１″または″
０２″をディスプレーし、ここで″０１″のストッカー
モードは、オンラインモードを示し、″０２″のストッ
カーモードは、オフラインモードを示す。
にディスプレーされるオペレーターインターフェース手
段としてのオペレーターインターフェーススクリーンを
表す説明図が示されている。警告信号は、ＣＭＳ２０６
からモニター１１４にカップリングされたＯＩＳ２０１
で生成される。手動ポート３２１が故障などで誤動作し
た場合、モニター１１４は、警告信号に応答してオペレ
ーターインターフェーススクリーンのディスプレー空間
１１４ｄに″Ｍ″のフラグをディスプレーする。自動ポ
ート３２２が故障などで誤動作した場合、モニター１１
４は、警告信号に応答してオペレーターインターフェー
ススクリーンのディスプレー空間１１４ｄに″Ａ″のフ
ラグをディスプレーする。ロボットアーム３２３が故障
などで誤動作した場合、モニター１１４は、警告信号に
応答してオペレーターインターフェーススクリーンのデ
ィスプレー空間１１４ｄに″Ｒ″のフラグをディスプレ
ーする。スタッカー３２４が故障などで誤動作した場
合、モニター１１４は、警告信号に応答してオペレータ
ーインターフェーススクリーンのディスプレー空間１１
４ｄに″Ｓ″のフラグをディスプレーする。モニター１
１４は、オペレーターインターフェーススクリーンのデ
ィスプレー空間１１４ａに識別情報としてのストッカー
番号、例えば、″Ｓ３４１″をディスプレーする。モニ
ター１１４は、オペレーターインターフェーススクリー
ンのディスプレー空間１１４ｂに識別情報としてのスト
ッカーの名前、例えば、″ＣＳＭ３４１″をディスプレ
ーする。モニター１１４は、オペレーターインターフェ
ーススクリーンのディスプレー空間１１４ｆに識別情報
としてのストッカーモード、例えば、″０１″または″
０２″をディスプレーし、ここで″０１″のストッカー
モードは、オンラインモードを示し、″０２″のストッ
カーモードは、オフラインモードを示す。
【００２５】また、モニター１１４は、オペレーターイ
ンターフェーススクリーンのディスプレー空間１１４ｃ
にストッカー２１６に積載された半導体ウエハカセット
の目録をディスプレーする。ストッカー２１６に含まれ
た複数の手動ポート３２１、複数の自動ポート３２２、
ロボットアーム３２３、スタッカー３２４の全てが誤動
作しなかったら、モニター１１４は、オペレーターイン
ターフェーススクリーンのディスプレー空間１１４ｅに
緑色光信号（ｇｒｅｅｎ ｌｉｇｈｔ ｓｉｇｎ）をデ
ィスプレーする。
ンターフェーススクリーンのディスプレー空間１１４ｃ
にストッカー２１６に積載された半導体ウエハカセット
の目録をディスプレーする。ストッカー２１６に含まれ
た複数の手動ポート３２１、複数の自動ポート３２２、
ロボットアーム３２３、スタッカー３２４の全てが誤動
作しなかったら、モニター１１４は、オペレーターイン
ターフェーススクリーンのディスプレー空間１１４ｅに
緑色光信号（ｇｒｅｅｎ ｌｉｇｈｔ ｓｉｇｎ）をデ
ィスプレーする。
【００２６】ストッカー２１６に含まれた手動ポート３
２１が故障などにより誤動作した場合に、モニター１１
４は、オペレーターインターフェーススクリーンの第１
のディスプレー空間１１４ｅに視覚警告信号としての白
色光信号を第１の光素子によってディスプレーする。ス
トッカー２１６に含まれた自動ポート３２２が誤動作し
た場合に、モニター１１４は、オペレーターインターフ
ェーススクリーンの第２のディスプレー空間１１４ｅに
視覚警告信号としての黄色光信号を第２の光素子によっ
てディスプレーする。ストッカー２１６に含まれたロボ
ットアーム３２３が誤動作した場合に、モニター１１４
は、オペレーターインターフェーススクリーンの第３の
ディスプレー空間１１４ｅに視覚警告信号としての赤色
光信号を第３の光素子によってディスプレーする。スト
ッカー２１６に含まれたスタッカー３２４が誤動作した
場合に、モニター１１４は、オペレーターインターフェ
ーススクリーンの第４のディスプレー空間１１４ｅに視
覚警告信号としての黒色光信号を第４の光素子によって
ディスプレーする。
２１が故障などにより誤動作した場合に、モニター１１
４は、オペレーターインターフェーススクリーンの第１
のディスプレー空間１１４ｅに視覚警告信号としての白
色光信号を第１の光素子によってディスプレーする。ス
トッカー２１６に含まれた自動ポート３２２が誤動作し
た場合に、モニター１１４は、オペレーターインターフ
ェーススクリーンの第２のディスプレー空間１１４ｅに
視覚警告信号としての黄色光信号を第２の光素子によっ
てディスプレーする。ストッカー２１６に含まれたロボ
ットアーム３２３が誤動作した場合に、モニター１１４
は、オペレーターインターフェーススクリーンの第３の
ディスプレー空間１１４ｅに視覚警告信号としての赤色
光信号を第３の光素子によってディスプレーする。スト
ッカー２１６に含まれたスタッカー３２４が誤動作した
場合に、モニター１１４は、オペレーターインターフェ
ーススクリーンの第４のディスプレー空間１１４ｅに視
覚警告信号としての黒色光信号を第４の光素子によって
ディスプレーする。
【００２７】図５には、本発明にかかる半導体工場自動
化システムを使用してストッカーの誤動作をモニタリン
グするためのストッカーモニタリング用半導体工場自動
化方法の一例として、その一部を示すフローチャートが
示されている。
化システムを使用してストッカーの誤動作をモニタリン
グするためのストッカーモニタリング用半導体工場自動
化方法の一例として、その一部を示すフローチャートが
示されている。
【００２８】本発明のストッカーモニタリング用半導体
工場自動化方法では、ストッカーから発信されるストッ
カー状態信号に応答してストッカーの動作状態を表すス
トッカー状態情報を生成する第１ステップと、既に貯蔵
された前記ストッカーの動作情報を更新するためにスト
ッカー状態情報を検査する第２ステップと、ストッカー
に含まれた多数の手動ポート手段、多数の自動ポート手
段、ロボットアーム手段、積層手段のうち少なくとも一
つに誤動作が生じた場合に、警告信号を生成する第３ス
テップと、警告信号に応答して視聴覚警告信号を発生さ
せる第４ステップとを含む。第１ステップの一部である
ステップＳ９１０で、ＣＭＳ２０６は、ＳＣＳ２１８か
ら発行されるストッカー状態情報を受信する。
工場自動化方法では、ストッカーから発信されるストッ
カー状態信号に応答してストッカーの動作状態を表すス
トッカー状態情報を生成する第１ステップと、既に貯蔵
された前記ストッカーの動作情報を更新するためにスト
ッカー状態情報を検査する第２ステップと、ストッカー
に含まれた多数の手動ポート手段、多数の自動ポート手
段、ロボットアーム手段、積層手段のうち少なくとも一
つに誤動作が生じた場合に、警告信号を生成する第３ス
テップと、警告信号に応答して視聴覚警告信号を発生さ
せる第４ステップとを含む。第１ステップの一部である
ステップＳ９１０で、ＣＭＳ２０６は、ＳＣＳ２１８か
ら発行されるストッカー状態情報を受信する。
【００２９】第２ステップ、及び第３ステップを含むス
テップＳ９２０で、ＣＭＳ２０６は、ストッカー状態情
報に応答してストッカー２１６に含まれたどこの部分が
誤動作したのかを判断する。
テップＳ９２０で、ＣＭＳ２０６は、ストッカー状態情
報に応答してストッカー２１６に含まれたどこの部分が
誤動作したのかを判断する。
【００３０】第４ステップは、警告信号に応答して聴覚
警告信号を発生させる第５ステップと、警告信号に応答
して視覚警告信号を発生させる第６ステップとを含む。
第５ステップは、ブザーを利用することによって、前記
警告信号に応答して警報を発生させるステップを含む。
また、第６ステップは、多数の光素子を利用することに
よって、前記警告信号に応答して光信号を発生させるス
テップを含む。さらに第６ステップは、警告信号に応答
して白色光信号を発生させるための第１２ステップと、
警告信号に応答して黄色光信号を発生させるための第１
３ステップと、警告信号に応答して赤色光信号を発生さ
せるための第１４ステップと、警告信号に応答して黒色
光信号を発生させるための第１５ステップとを含む。第
４ステップ、第５ステップとしてのステップＳ９２２
で、ストッカー２１６に含まれたある部分が誤動作すれ
ば、ＣＭＳ２１６は、ブザー３３０をターンオン（ｔｕ
ｒｎ ｏｎ）させるために警告信号を生成する。
警告信号を発生させる第５ステップと、警告信号に応答
して視覚警告信号を発生させる第６ステップとを含む。
第５ステップは、ブザーを利用することによって、前記
警告信号に応答して警報を発生させるステップを含む。
また、第６ステップは、多数の光素子を利用することに
よって、前記警告信号に応答して光信号を発生させるス
テップを含む。さらに第６ステップは、警告信号に応答
して白色光信号を発生させるための第１２ステップと、
警告信号に応答して黄色光信号を発生させるための第１
３ステップと、警告信号に応答して赤色光信号を発生さ
せるための第１４ステップと、警告信号に応答して黒色
光信号を発生させるための第１５ステップとを含む。第
４ステップ、第５ステップとしてのステップＳ９２２
で、ストッカー２１６に含まれたある部分が誤動作すれ
ば、ＣＭＳ２１６は、ブザー３３０をターンオン（ｔｕ
ｒｎ ｏｎ）させるために警告信号を生成する。
【００３１】第７ステップではストッカー状態情報をデ
ィスプレーする。また第７ステップのストッカー状態情
報は、各々のストッカーを各々特定して表す識別情報
と、ストッカーに含まれた多数の手動ポート手段、多数
の自動ポート手段、ロボットアーム手段、積層手段のう
ち少なくとも一つが誤動作した場合に、誤動作した多数
の手動ポート手段、多数の自動ポート手段、ロボットア
ーム手段、積層手段を特定して表す識別情報と、多数の
手動ポート手段、多数の自動ポート手段、ロボットアー
ム手段、積層手段のうち少なくとも一つが誤動作したこ
とを特定して表すフラグ（ｆｌａｇ）とを含む。さらに
フラグは、第１、第２、第３、及び第４のフラグを含
む。第１のフラグは、誤動作した手動ポート手段のフラ
グを表し、前記第２のフラグは、誤動作した自動ポート
手段のフラグを表し、前記第３のフラグは、誤動作した
ロボットアーム手段のフラグを表し、前記第４のフラグ
は、誤動作した積層手段のスタッカー（ｓｔａｃｋｅ
ｒ）のフラグを表す。なお、第７ステップは、手動ポー
トが誤動作した場合には、白色光信号をディスプレーす
る第８ステップと、自動ポートが誤動作した場合には、
黄色光信号をディスプレーする第９ステップと、ロボッ
トアームが誤動作した場合には、赤色光信号をディスプ
レーする第１０ステップと、スタッカーが誤動作した場
合には、黒色光信号をディスプレーする第１１ステップ
とを含む。第２ステップ、第６ステップを含むステップ
Ｓ９２４で、ＣＭＳ２０６は、既に貯蔵されたストッカ
ー状態情報を更新し、ＯＩＳ２０１に更新されたストッ
カー状態情報を発信する。この場合、ストッカーに含ま
れた多数の手動ポート３２１、多数の自動ポート３２
２、ロボットアーム３２３、スタッカー３２４に関する
フラグは、ＯＩＳ２０１で更新される。
ィスプレーする。また第７ステップのストッカー状態情
報は、各々のストッカーを各々特定して表す識別情報
と、ストッカーに含まれた多数の手動ポート手段、多数
の自動ポート手段、ロボットアーム手段、積層手段のう
ち少なくとも一つが誤動作した場合に、誤動作した多数
の手動ポート手段、多数の自動ポート手段、ロボットア
ーム手段、積層手段を特定して表す識別情報と、多数の
手動ポート手段、多数の自動ポート手段、ロボットアー
ム手段、積層手段のうち少なくとも一つが誤動作したこ
とを特定して表すフラグ（ｆｌａｇ）とを含む。さらに
フラグは、第１、第２、第３、及び第４のフラグを含
む。第１のフラグは、誤動作した手動ポート手段のフラ
グを表し、前記第２のフラグは、誤動作した自動ポート
手段のフラグを表し、前記第３のフラグは、誤動作した
ロボットアーム手段のフラグを表し、前記第４のフラグ
は、誤動作した積層手段のスタッカー（ｓｔａｃｋｅ
ｒ）のフラグを表す。なお、第７ステップは、手動ポー
トが誤動作した場合には、白色光信号をディスプレーす
る第８ステップと、自動ポートが誤動作した場合には、
黄色光信号をディスプレーする第９ステップと、ロボッ
トアームが誤動作した場合には、赤色光信号をディスプ
レーする第１０ステップと、スタッカーが誤動作した場
合には、黒色光信号をディスプレーする第１１ステップ
とを含む。第２ステップ、第６ステップを含むステップ
Ｓ９２４で、ＣＭＳ２０６は、既に貯蔵されたストッカ
ー状態情報を更新し、ＯＩＳ２０１に更新されたストッ
カー状態情報を発信する。この場合、ストッカーに含ま
れた多数の手動ポート３２１、多数の自動ポート３２
２、ロボットアーム３２３、スタッカー３２４に関する
フラグは、ＯＩＳ２０１で更新される。
【００３２】第７ステップの一部であるステップＳ９３
０で、ＣＭＳ２０６は、更新されたストッカー状態情報
を検査するためにフラグの類型を判断する。
０で、ＣＭＳ２０６は、更新されたストッカー状態情報
を検査するためにフラグの類型を判断する。
【００３３】第６ステップ、第７ステップ、第１１ステ
ップ、第１５ステップとしてのステップＳ９３２で、Ｃ
ＭＳ２０６は、更新されたストッカー状態情報に含まれ
たフラグが″Ｓ″であるならば、黒色光素子をターンオ
ンさせる。
ップ、第１５ステップとしてのステップＳ９３２で、Ｃ
ＭＳ２０６は、更新されたストッカー状態情報に含まれ
たフラグが″Ｓ″であるならば、黒色光素子をターンオ
ンさせる。
【００３４】第６ステップ、第７ステップ、第１０ステ
ップ、第１４ステップとしてのステップＳ９３４で、Ｃ
ＭＳ２０６は、更新されたストッカー状態情報に含まれ
たフラグが″Ｒ″であるならば、赤色光素子をターンオ
ンさせる。
ップ、第１４ステップとしてのステップＳ９３４で、Ｃ
ＭＳ２０６は、更新されたストッカー状態情報に含まれ
たフラグが″Ｒ″であるならば、赤色光素子をターンオ
ンさせる。
【００３５】第６ステップ、第７ステップ、第９ステッ
プ、第１３ステップとしてのステップＳ９３６で、ＣＭ
Ｓ２０６は、更新されたストッカー状態情報に含まれた
フラグが″Ａ″であるならば、黄色光素子をターンオン
させる。
プ、第１３ステップとしてのステップＳ９３６で、ＣＭ
Ｓ２０６は、更新されたストッカー状態情報に含まれた
フラグが″Ａ″であるならば、黄色光素子をターンオン
させる。
【００３６】第６ステップ、第７ステップ、第８ステッ
プ、第１２ステップとしてのステップＳ９３８で、ＣＭ
Ｓ２０６は、更新されたストッカー状態情報に含まれた
フラグが″Ｍ″であるならば、白色光素子をターンオン
させる。ストッカー２１６の動作状態に応じて、二つま
たはその以上の光素子が同時にターンオンできる。スト
ッカー２１６に含まれた手動ポート３２１が故障すれ
ば、モニター１１４は、オペレーターインターフェース
スクリーンに白色光信号をディスプレーする。ストッカ
ー２１６に含まれた自動ポート３２２が故障すれば、モ
ニター１１４は、オペレーターインターフェーススクリ
ーンに黄色光信号をディスプレーする。ストッカー２１
６に含まれたロボットアーム３２３が故障すれば、モニ
ター１１４は、オペレーターインターフェーススクリー
ンに赤色光信号をディスプレーする。ストッカー２１６
に含まれたスタッカー３２４が故障すれば、モニター１
１４は、オペレーターインターフェーススクリーンに黒
色光信号をディスプレーする。
プ、第１２ステップとしてのステップＳ９３８で、ＣＭ
Ｓ２０６は、更新されたストッカー状態情報に含まれた
フラグが″Ｍ″であるならば、白色光素子をターンオン
させる。ストッカー２１６の動作状態に応じて、二つま
たはその以上の光素子が同時にターンオンできる。スト
ッカー２１６に含まれた手動ポート３２１が故障すれ
ば、モニター１１４は、オペレーターインターフェース
スクリーンに白色光信号をディスプレーする。ストッカ
ー２１６に含まれた自動ポート３２２が故障すれば、モ
ニター１１４は、オペレーターインターフェーススクリ
ーンに黄色光信号をディスプレーする。ストッカー２１
６に含まれたロボットアーム３２３が故障すれば、モニ
ター１１４は、オペレーターインターフェーススクリー
ンに赤色光信号をディスプレーする。ストッカー２１６
に含まれたスタッカー３２４が故障すれば、モニター１
１４は、オペレーターインターフェーススクリーンに黒
色光信号をディスプレーする。
【００３７】ステップＳ９４０で、ＣＭＳ２０６は、ス
トッカー２１６に含まれた多数の部分３２１ないし３２
４に関するフラグを″０″に更新する。
トッカー２１６に含まれた多数の部分３２１ないし３２
４に関するフラグを″０″に更新する。
【００３８】ステップＳ９６０で、ＣＭＳ２０６は、モ
ニタリングされる他のストッカー２１６が存在している
のかを判断する。他のストッカー２１６が存在すれば、
ステップＳ９１０ないしＳ９６０が繰り返される。
ニタリングされる他のストッカー２１６が存在している
のかを判断する。他のストッカー２１６が存在すれば、
ステップＳ９１０ないしＳ９６０が繰り返される。
【００３９】以上、詳細に説明した本発明は、前述した
実施の形態及び添付した図面により限定されるものでは
く、本発明の技術範囲内で種々の置換、変形及び変更が
可能である。
実施の形態及び添付した図面により限定されるものでは
く、本発明の技術範囲内で種々の置換、変形及び変更が
可能である。
【００４０】
【発明の効果】上記のような本発明は、ストッカーの故
障などによる誤動作に関する視聴覚警告信号を発生させ
ることによって、不要な人件費を低減させ、誤動作した
ストッカーを修理することに必要とする時間を短縮させ
ることができ、半導体収率を増加させることができる。
障などによる誤動作に関する視聴覚警告信号を発生させ
ることによって、不要な人件費を低減させ、誤動作した
ストッカーを修理することに必要とする時間を短縮させ
ることができ、半導体収率を増加させることができる。
【図１】本発明にかかるストッカーモニタリング用半導
体工場自動化システムのブロック図。
体工場自動化システムのブロック図。
【図２】図１に示された搬送制御部のブロック図。
【図３】本発明にかかるストッカーの誤動作をモニタリ
ングするためのストッカーモニタリング装置を表すブロ
ック図。
ングするためのストッカーモニタリング装置を表すブロ
ック図。
【図４】図３に示されたモニターにディスプレーされる
オペレーターインターフェーススクリーンを表す説明
図。
オペレーターインターフェーススクリーンを表す説明
図。
【図５】本発明にかかるストッカーの誤動作をモニタリ
ングするためのストッカーモニタリング用半導体工場自
動化方法の一例のフローチャート。
ングするためのストッカーモニタリング用半導体工場自
動化方法の一例のフローチャート。
１００ セル管理部 １１４ モニター ２０１ ＯＩＳ ２０４ ＥＱ ２０６ ＣＭＳ ２１４ ＡＧＶ ２１６ ストッカー ２１８ ＳＣＳ ３３０ ブザー ３４０ 光素子
Claims (27)
- 【請求項１】 半導体ウエハカセットを貯蔵し、多数の
手動ポート手段と、多数の自動ポート手段と、ロボット
アーム手段と、積層手段とを含むストッカーの誤動作を
モニタリングするストッカーモニタリング装置におい
て、 前記ストッカーから発信されるストッカー状態信号に応
答してストッカーの動作状態を表すストッカー状態情報
を生成するための生成手段と、 既に貯蔵された前記ストッカーの動作情報を更新するた
めに前記ストッカー状態情報を検査してストッカーに含
まれる多数の手動ポート手段、多数の自動ポート手段、
ロボットアーム手段、積層手段のうち少なくとも一つに
誤動作が生じた場合に、警告信号を生成するためのモニ
タリング手段と、 前記警告信号に応答して視聴覚警告信号を発生させるた
めの警告手段とを含むことを特徴とするストッカーモニ
タリング装置。 - 【請求項２】 前記警告手段は、 前記警告信号に応答して聴覚警告信号を発生させるため
の聴覚警告手段と、 前記警告信号に応答して視覚警告信号を発生させるため
の視覚警告手段とを含むことを特徴とする請求項１に記
載のストッカーモニタリング装置。 - 【請求項３】 前記聴覚警告手段は、前記警告信号に応
答して警報（ａｌａｒｍ）を発生させるためのブザー
（ｂｕｚｚｅｒ）を含むことを特徴とする請求項２に記
載のストッカーモニタリング装置。 - 【請求項４】 前記視覚警告手段は、前記警告信号に応
答して光信号（ｌｉｇｈｔ ｓｉｇｎ）を発生させるた
めの多数の光素子を含むことを特徴とする請求項３に記
載のストッカーモニタリング装置。 - 【請求項５】 前記ストッカーにそれぞれ含まれ、前記
半導体ウエハカセットをストッカーに積載するか、また
はストッカーから取り出すための前記多数の手動及び自
動ポート手段と；前記ストッカーに含まれ、前記半導体
ウエハカセットをストッカーの外に引っ張り出すか、ま
たはストッカーの中へ押し入れるための前記ロボットア
ーム手段と；前記ストッカーに含まれ、前記半導体ウエ
ハカセットを積層するための前記積層手段とには、 各々の移動率を検出して前記ストッカー状態信号を前記
生成手段に発信するための検出手段が各々設けられたこ
とを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のス
トッカーモニタリング装置。 - 【請求項６】 前記モニタリング手段にカップリングさ
れて前記ストッカー状態情報をディスプレーするための
オペレーターインターフェース手段をさらに含むことを
特徴とする請求項５に記載のストッカーモニタリング装
置。 - 【請求項７】 前記ストッカー状態情報は、 各々の前記ストッカーを各々特定して表す識別情報と、 ストッカーに含まれた前記多数の手動ポート手段、多数
の自動ポート手段、ロボットアーム手段、積層手段のう
ち少なくとも一つが誤動作した場合に、誤動作した多数
の手動ポート手段、多数の自動ポート手段、ロボットア
ーム手段、積層手段を特定して表す識別情報と、 前記多数の手動ポート手段、多数の自動ポート手段、ロ
ボットアーム手段、積層手段のうち少なくとも一つが誤
動作したことを特定して表すフラグ（ｆｌａｇ）とを含
むことを特徴とする請求項６に記載のストッカーモニタ
リング装置。 - 【請求項８】 前記フラグは、第１、第２、第３及び第
４のフラグを含むことを特徴とする請求項７に記載のス
トッカーモニタリング装置。 - 【請求項９】 前記第１のフラグは、誤動作した手動ポ
ート手段のフラグを表し、前記第２のフラグは、誤動作
した自動ポート手段のフラグを表し、前記第３のフラグ
は、誤動作したロボットアーム手段のフラグを表し、前
記第４のフラグは、誤動作した積層手段のフラグを表す
ことを特徴とする請求項８に記載のストッカーモニタリ
ング装置。 - 【請求項１０】 前記オペレーターインターフェース手
段は、 前記手動ポート手段が誤動作した場合に、白色光信号
（ｗｈｉｔｅ ｌｉｇｈｔ ｓｉｇｎ）をディスプレー
するための第１のディスプレー空間と、 前記自動ポート手段が誤動作した場合に、黄色光信号
（ｙｅｌｌｏｗ ｌｉｇｈｔ ｓｉｇｎ）をディスプレ
ーするための第２のディスプレー空間と、 前記ロボットアーム手段が誤動作した場合に、赤色光信
号（ｒｅｄ ｌｉｇｈｔ ｓｉｇｎ）をディスプレーす
るための第３のディスプレー空間と、 前記積層手段が誤動作した場合に、黒色光信号（ｂｌａ
ｃｋ ｌｉｇｈｔ ｓｉｇｎ）をディスプレーするため
の第４のディスプレー空間とを含むことを特徴とする請
求項９に記載のストッカーモニタリング装置。 - 【請求項１１】 前記多数の光素子は、 前記警告信号に応答して白色光信号を発生させるための
第１の光素子と、 前記警告信号に応答して黄色光信号を発生させるための
第２の光素子と、 前記警告信号に応答して赤色光信号を発生させるための
第３の光素子と、 前記警告信号に応答して黒色光信号を発生させるための
第４の光素子とを含むことを特徴とする請求項４に記載
のストッカーモニタリング装置。 - 【請求項１２】 ストッカーの誤動作をモニタリングす
るためのストッカーモニタリング用半導体工場自動化シ
ステムにおいて、 多数の手動ポート手段と、多数の自動ポート手段と、ロ
ボットアーム手段と、積層手段とを含み、半導体ウエハ
カセットを貯蔵するための少なくとも一つのストッカー
と、 前記ストッカーから発信されるストッカー状態信号に応
答してストッカーの動作状態を表すストッカー状態情報
を生成するための生成手段と、 既に貯蔵されているストッカーの動作情報を更新するた
めに前記ストッカー状態情報を検査し、ストッカーに含
まれた多数の手動ポート手段、多数の自動ポート手段、
ロボットアーム手段、積層手段のうち少なくとも一つに
誤動作が生じた場合に、警告信号を生成するためのモニ
タリング手段と、 前記警告信号に応答して視聴覚警告信号を発生させるた
めの警告手段とを含むことを特徴とするストッカーモニ
タリング用半導体工場自動化システム。 - 【請求項１３】 前記半導体ウエハカセットに収容され
る半導体ウエハに適用され、所定の半導体工程を処理す
るための多数の半導体処理手段と、 各半導体処理手段から前記ストッカーに、またはストッ
カーから各半導体処理手段に半導体ウエハカセットを搬
送するための搬送手段とをさらに含むことを特徴とする
請求項１２に記載のストッカーモニタリング用半導体工
場自動化システム。 - 【請求項１４】 前記警告手段は、 前記警告信号に応答して聴覚警告信号を発生させるため
の聴覚警告手段と、 前記警告信号に応答して視覚警告信号を発生させるため
の視覚警告手段とを含むことを特徴とする請求項１２又
は１３に記載のストッカーモニタリング用半導体工場自
動化システム。 - 【請求項１５】 前記聴覚警告手段は、前記警告信号に
応答して警報を発生させるためのブザーを含むことを特
徴とする請求項１４に記載のストッカーモニタリング用
半導体工場自動化システム。 - 【請求項１６】 前記視覚警告手段は、前記警告信号に
応答して光信号を発生させるための多数の光素子を含む
ことを特徴とする請求項１５に記載のストッカーモニタ
リング用半導体工場自動化システム。 - 【請求項１７】 前記ストッカーにそれぞれ含まれてお
り、前記半導体ウエハカセットをストッカーに積載する
か、またはストッカーから取り出すための前記多数の手
動及び自動ポート手段と；前記ストッカーに含まれてお
り、前記半導体ウエハカセットをストッカーの外に引っ
張り出すか、またはストッカーの中へ押し入れるための
前記ロボットアーム手段と；前記ストッカーに含まれて
おり、前記半導体ウエハカセットを積層するための前記
積層手段とには、 各々の移動率を検出して前記ストッカー状態信号を前記
生成手段に発信するための検出手段が各々設けられたこ
とを特徴とする請求項１６に記載のストッカーモニタリ
ング用半導体工場自動化システム。 - 【請求項１８】 多数の手動ポート手段と、多数の自動
ポート手段と、ロボットアーム手段と、積層手段とを含
み、半導体ウエハカセットを貯蔵するストッカーの誤動
作をモニタリングするためのストッカーモニタリング用
半導体工場自動化方法において、 前記ストッカーから発信されるストッカー状態信号に応
答してストッカーの動作状態を表すストッカー状態情報
を生成する第１ステップと、 既に貯蔵された前記ストッカーの動作情報を更新するた
めに前記ストッカー状態情報を検査する第２ステップ
と、 前記ストッカーに含まれた多数の手動ポート手段、多数
の自動ポート手段、ロボットアーム手段、積層手段のう
ち少なくとも一つに誤動作が生じた場合に、警告信号を
生成する第３ステップと、 前記警告信号に応答して視聴覚警告信号を発生させる第
４ステップとを含むことを特徴とするストッカーモニタ
リング用半導体工場自動化方法。 - 【請求項１９】 前記第４ステップは、 前記警告信号に応答して聴覚警告信号を発生させる第５
ステップと、 前記警告信号に応答して視覚警告信号を発生させる第６
ステップとを含むことを特徴とする請求項１８に記載の
ストッカーモニタリング用半導体工場自動化方法。 - 【請求項２０】 前記第５ステップは、ブザーを利用す
ることによって、前記警告信号に応答して警報を発生さ
せるステップを含むことを特徴とする請求項１９に記載
のストッカーモニタリング用半導体工場自動化方法。 - 【請求項２１】 前記第６ステップは、多数の光素子を
利用することによって、前記警告信号に応答して光信号
を発生させるステップを含むことを特徴とする請求項２
０に記載のストッカーモニタリング用半導体工場自動化
方法。 - 【請求項２２】 前記ストッカー状態情報をディスプレ
ーする第７ステップをさらに含むことを特徴とする請求
項１８ないし２１のいずれかに記載のストッカーモニタ
リング用半導体工場自動化方法。 - 【請求項２３】 前記第７ステップのストッカー状態
情報は、 各々の前記ストッカーを各々特定して表す識別情報と、 ストッカーに含まれた前記多数の手動ポート手段、多数
の自動ポート手段、ロボットアーム手段、積層手段のう
ち少なくとも一つが誤動作した場合に、誤動作した多数
の手動ポート手段、多数の自動ポート手段、ロボットア
ーム手段、積層手段を特定して表す識別情報と、 前記多数の手動ポート手段、多数の自動ポート手段、ロ
ボットアーム手段、積層手段のうち少なくとも一つが誤
動作したことを特定して表すフラグ（ｆｌａｇ）とを含
むことを特徴とする請求項２２に記載のストッカーモニ
タリング用半導体工場自動化方法。 - 【請求項２４】 前記フラグは、第１、第２、第３、及
び第４のフラグを含むことを特徴とする請求項２３に記
載のストッカーモニタリング用半導体工場自動化方法。 - 【請求項２５】 前記第１のフラグは、誤動作した手動
ポート手段のフラグを表し、前記第２のフラグは、誤動
作した自動ポート手段のフラグを表し、前記第３のフラ
グは、誤動作したロボットアーム手段のフラグを表し、
前記第４のフラグは、誤動作した積層手段のスタッカー
（ｓｔａｃｋｅｒ）のフラグを表すことを特徴とする請
求項２４に記載のストッカーモニタリング用半導体工場
自動化方法。 - 【請求項２６】 前記第７ステップは、 前記手動ポートが誤動作した場合には、白色光信号をデ
ィスプレーする第８ステップと、 前記自動ポートが誤動作した場合には、黄色光信号をデ
ィスプレーする第９ステップと、 前記ロボットアームが誤動作した場合には、赤色光信号
をディスプレーする第１０ステップと、 前記スタッカーが誤動作した場合には、黒色光信号をデ
ィスプレーする第１１ステップとを含む請求項２５に記
載のストッカーモニタリング用半導体工場自動化方法。 - 【請求項２７】 前記第６ステップは、 前記警告信号に応答して白色光信号を発生させるための
第１２ステップと、 前記警告信号に応答して黄色光信号を発生させるための
第１３ステップと、 前記警告信号に応答して赤色光信号を発生させるための
第１４ステップと、 前記警告信号に応答して黒色光信号を発生させるための
第１５ステップとを含む請求項２１に記載のストッカー
モニタリング用半導体工場自動化方法。
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|---|---|---|---|
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