KR100321734B1 - 웨이퍼 카세트 운송장치의 감시방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 생산라인 내에 있는 다수의 운송장치의 동작상태를 감시하기 위한 방법에 관한 것으로, 생산라인 내의 다수의 운송장치에 대한 동작상태를 생산라인 밖에 있는 관리 기술자가 하나의 화면을 통해 실시간으로 감시함으로써, 운송장치의 오류 발생시 이에 신속하게 대응할 수 있도록하기 위하여, 반도체 생산라인에서 카세트를 운반하는 다수의 운송장치를 감시하기 위한 방법에 있어서, 호스트 제어서버가 운송장치 제어서버로부터 다수의 운송장치의 동작상태 및 위치에 대한 새로운 정보를 수신하는 제1단계; 상기 호스트 제어서버가 모든 운송장치에 관련된 정보를 상기 수신된 새로운 정보로 갱신하고, 상기 수신된 정보를 통해 오류가 발생된 운송장치를 확인하는 제2단계; 상기 호스트 제어서버가 그에 저장된 다수의 운송장치의 동작상태 및 위치에 대한 정보를 단말기로 송신하는 제3단계; 및 상기 단말기가 그에 전송된 상기 다수의 운송장치의 동작상태 및 위치에 대한 정보를 시각적으로 표출시키는 제4단계를 포함하는 웨이퍼 카세트의 운송장치 감시방법을 제공한다.

Description

웨이퍼 카세트 운송장치의 감시방법 {METHOD FOR MONITORING AUTO VEHICLE TRANSPORTIONG WAFER CASSETTE}
본 발명은 반도체 생산라인에서 카세트를 운반하는 다수의 운송장치를 감시하기 위한 방법에 관한 것으로, 특히 반도체 생산라인 내에 있는 다수의 운송장치의 상태를 실시간으로 파악하여 상기 운송장치에 오류가 발생할 경우 이에 신속하게 대응할 수 있도록 함으로써, 웨이퍼 카세트의 반송효율을 향상시킬 수 있는 웨이퍼 카세트의 운송장치 감시방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체의 생산라인 내에서는 웨이퍼의 이동이 필연적으로 수반되는데, 근래에 웨이퍼의 지름이 8인치에서 12인치로 증가되면서 다수의 웨이퍼가 수납되어 있는 카세트를 사람이 들어서 이동시키는 것이 실질적으로 불가능해짐에 따라, 웨이퍼 카세트를 안전하고 신속하게 운반하기 위해 사람대신 다수의 운송장치(예를 들면, Auto Guide Vehicle)를 반도체 생산라인에 구비시켜 운용하고 있다. 따라서, 상기 운송장치에 오류가 발생될 경우에는 상기 공정장비의 동작이 지연되어 상기 반도체 소자의 생산수율을 크게 저하시키게 된다.
이에 따라, 종래에는 상기한 바와 같은 문제점을 개선하기 위한 방편으로, 상기 생산라인 내에 위치한 작업자가 운송장치의 동작상태를 지켜보도록 하고, 상기 운송장치에 오류가 발생하면 그 사실을 관리 기술자에게 신속히 연락하여 상기 오류가 발생된 운송장치를 수리하도록 하였다.
그러나, 상기한 바와 같은 종래의 방법은, 운송장치의 오류발생 여부를 단순히 생산라인 내에 있는 작업자의 인위적인 판단에 의존하고 있으므로, 작업자가 잠시 한눈을 팔거나 또는 운송장치의 동작상태를 감시하기 곤란한 외진 장소에 위치하고 있는 경우에는 상기 운송수단에 오류가 발생하더라도 그 사실을 신속하게 인지할 수 없어, 상기 오류가 발생된 운송장치의 수리 시간이 크게 지연되어 웨이퍼 카세트의 반송효율이 저하되는 문제점이 있었다.
또한, 상기 생산라인 내에 있는 다수의 운송장치의 정상동작 여부를 지속적으로 정확하게 감시하기 위해서는 생산라인 내에 있는 작업자의 수를 증가시켜야 하므로, 인건비의 부담이 가중되는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 생산라인 내의 다수의 운송장치에 대한 동작상태를 생산라인 밖에 있는 관리 기술자가 하나의 화면을 통해 실시간으로 감시함으로써, 운송장치의 오류 발생시 이에 신속하게 대응할 수 있도록 하는 웨이퍼 카세트의 운송장치 감시방법을 제공함에 그 목적이 있다.
도1은 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 운송장치의 감시방법을 수행하기 위한 위한 반도체 생산라인 제어 시스템의 구성을 개략적으로 나타낸 블럭도.
도2는 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 운송장치의 감시방법을 수행하기 위한 일실시예 처리 흐름도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10a, 10b, 10c : 운송장치 20 : 운송장치 제어서버
30 : 호스트 제어서버 40 : 단말기
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 반도체 생산라인에서 카세트를 운반하는 다수의 운송장치를 감시하기 위한 방법에 있어서, 호스트 제어서버가 운송장치 제어서버로부터 다수의 운송장치의 동작상태 및 위치에 대한 새로운 정보를 수신하는 제1단계; 상기 호스트 제어서버가 모든 운송장치에 관련된 정보를 상기 수신된 새로운 정보로 갱신하고, 상기 수신된 정보를 통해 오류가 발생된 운송장치를 확인하는 제2단계; 상기 호스트 제어서버가 그에 저장된 다수의 운송장치의 동작상태 및 위치에 대한 정보를 단말기로 송신하는 제3단계; 및 상기 단말기가 그에 전송된 상기 다수의 운송장치의 동작상태 및 위치에 대한 정보를 시각적으로 표출시키는 제4단계를 포함하는 웨이퍼 카세트의 운송장치 감시방법을 제공한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 운송장치의 감시방법에 대한 바람직한 일실시예를 상세히 설명한다.
본 발명은 운송장치의 동작상태를 반도체 생산라인 밖에 있는 운송장치의 관리 기술자가 실시간으로 감시할 수 있도록 구현한 것으로, 도1에 도시한 바와 같이 반도체 생산라인 내에서 동작 중인 모든 운송장치(10a, 10b, 10c)와 교신하면서 상기 모든 운송장치(10a, 10b, 10c)의 위치 및 동작에 관련된 정보를 수신하는 운송장치 제어서버(20)와, 상기 운송장치 제어서버(20)와 교신하여 그로부터 모든 운송장치(10a, 10b, 10c)의 위치 및 동작과 관련된 정보를 제공받아 저장하는 호스트 제어서버(30)와, 상기 호스트 제어서버(30)로부터 운송장치(10a, 10b, 10c)에 관련된 정보를 제공받아 생산라인 밖에 있는 운송장치 관리 기술자가 확인할 수 있도록 화면으로 표출하는 운용자 단말기(예를 들면, 모니터(monitor))(40)를 포함한다.
여기서, 상기 운송장치 제어서버(20)는 각 운송장치(10a, 10b, 10c)를 개별적으로 제어하는 다수의 제어서버 또는 상기 다수의 운송장치(10a, 10b, 10c)를 일괄적으로 제어하는 단일 제어서버로 구현될 수 있으며, 본 실시예에서는 하나의 운송장치 제어서버(30)가 다수의 운송장치(10a, 10b, 10c)를 일괄적으로 제어하는 것으로 구성되어 있다.
상기 호스트 제어서버(30)는 소정시간 단위로 또는 외부로부터 입력된 명령에 의해 운송장치 제어서버(20)에 모든 운송장치(10a, 10b, 10c)의 동작상태 및 현재 위치에 관련된 정보를 요청할 수 있다. 그리고, 상기 호스트 제어서버(30)는 그에 저장되어 있는 기존의 운송장치(10a, 10b, 10c)에 관련된 정보를 운송장치 제어서버(20)로부터 제공된 새로운 정보로 갱신한 후, 상기 갱신된 정보를 통해 오류가 발생된 운송장치가 존재하는지를 확인한다. 이와 같은 호스트 제어서버(30)는 그에 저장되어 있는 정보를 실시간 또는 소정시간 단위(예를 들면, 약 30초 단위)로 또는 외부의 전송명령에 의해 단말기(40)에 제공할 수 있도록 프로그램된다. 이때, 상기 단말기(40)의 화면에는 반도체 생산라인 내에 있는 각 운송장치(10a, 10b, 10c)의 상태 및 위치를 나타내는 그에 상응하는 다수의 표출자료가 표출되며, 상기 운송장치(10a, 10b, 10c) 중 어느 하나에 오류가 발생되었을 경우, 상기 오류가 발생된 운송장치에 상응하는 표출자료는 소정시간 간격으로 점멸되거나, 정상적인 운송장치에 상응하는 표출자료와 다른 색상으로 표출된다.
상기한 바와 같이 구성된 본 발명을 이용한 웨이퍼 카세트의 운송수단 감시방법은, 도2에 도시된 바와 같이 운송장치 제어서버(20)가 각각의 운송장치(10a, 10b, 10c)와 교신하면서 각 운송장치(10a, 10b, 10c)로부터 그의 위치 및 상태에 관련된 정보를 제공받아 갱신하고(110), 상기 호스트 제어서버(30)가 운송장치 제어서버(20)에 모든 운송장치(10a, 10b, 10c)에 관련된 정보를 요청한다(120). 여기서, 상기 운송장치(10a, 10b, 10c)와 운송장치 제어서버(20)의 교신은 주기적으로 이루어지거나, 상기 운송장치(10a, 10b, 10c) 또는 운송장치 제어서버(20) 중 어느 하나의 요청에 의해 이루어질 수 있다.
이때, 상기 운송장치 제어서버(20)는 호스트 제어서버(30)에 운송장치(10a, 10b, 10c)와 관련된 새로운 정보를 전송하고(130), 상기 호스트 제어서버(30)는 운송장치(10a, 10b, 10c)에 관련된 정보를 수신된 새로운 정보로 갱신하여 저장한 후, 상기 수신된 정보를 통해 운송장치(10a, 10b, 10c)의 오류발생 여부를 확인한다(140).
여기서, 상기한 소정시간이 경과되거나 운송장치에 관련된 출력정보의 명령이 입력될 경우(150), 상기 호스트 제어서버(30)는 그에 저장되어 있는 운송장치(10a, 10b, 10c)의 위치 및 동작상태와 관련된 최신정보를 단말기(40)에 전송하며(160), 생산라인 밖에 있는 운송장치의 관리 기술자가 확인할 수 있도록 상기 운용자 단말기(40)에서는 전송된 정보를 화면으로 출력한다(170). 이때, 상기 운송장치(10a, 10b, 10c) 중 어느 하나에 오류가 발생되었을 경우, 생산라인 밖에 있는 관리 기술자가 오류가 발생된 운송장치를 신속하게 확인하고 수리할 수 있도록, 상기 오류가 발생된 운송장치에 상응하는 표출자료는 점멸되거나 또는 정상적인 자료와 색상이 다르게 표출되어 오류발견을 용이하게 할 수 있도록 함이 바람직하다. 이때, 상기 단말기(40)는 오류가 발생된 운송장치에 상응하는 자료만 표출시키거나, 호스트 제어서버(30)로부터 전송된 모든 정보를 표출시킬 수 있다.
한편, 운용자 단말기에 경보음 발생기를 별도로 구비시켜, 상기 운송장치(10a, 10b, 10c) 중 어느 하나에 오류가 발생된 것으로 확인되면, 부수적으로 경보음을 발생하도록 할 수 있다. 이러한 경우, 상기 운송장치(10a, 10b, 10c)의 동작오류는 운송장치의 관리 기술자에게 실질적으로 실시간에 제공되므로, 운송장치(10a, 10b, 10c)의 오류에 대응하는 시간이 최소화되는 것이다.
한편, 상기한 소정시간이 경과되거나 운송장치에 관련된 정보의 출력명령이 입력되지 않을 경우에는, 상기 호스트 제어서버(30)의 대기상태가 계속해서 유지된다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 도면에 의해 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
전술한 바와 같이 본 발명은, 운송장치의 동작오류 발생시 이에 신속하게 대응할 수 있으므로, 운송장치의 수리에 소요되는 시간을 최소화시켜 카세트의 반송효율을 향상시키며, 이로 인해 반도체 소자의 생산수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 반도체 생산라인 내에서 운송장치의 동작상태를 지속적으로 감시하는 작업자가 불필요하게 되므로, 인건비가 감소되는데 다른 효과가 있다.

Claims (9)

  1. 반도체 생산라인에서 카세트를 운반하는 다수의 운송장치를 감시하기 위한 방법에 있어서,
    호스트 제어서버가 운송장치 제어서버로부터 다수의 운송장치의 동작상태 및 위치에 대한 새로운 정보를 수신하는 제1단계;
    상기 호스트 제어서버가 모든 운송장치에 관련된 정보를 상기 수신된 새로운 정보로 갱신하고, 상기 수신된 정보를 통해 오류가 발생된 운송장치를 확인하는 제2단계;
    상기 호스트 제어서버가 그에 저장된 다수의 운송장치의 동작상태 및 위치에 대한 정보를 단말기로 송신하는 제3단계; 및
    상기 단말기가 그에 전송된 상기 다수의 운송장치의 동작상태 및 위치에 대한 정보를 시각적으로 표출시키는 제4단계
    를 포함하는 웨이퍼 카세트의 운송장치 감시방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1단계는,
    상기 운송장치 제어서버가 각각의 운송장치와 교신하면서 정보를 갱신하는 제5단계;
    상기 호스트 제어서버가 모든 운송장치에 관련된 정보를 상기 운송장치 제어서버에 요청하는 제6단계; 및
    상기 운송장치 제어서버가 운송장치와 관련된 새로운 정보를 상기 호스트 제어서버에 전송하는 제7단계를 포함하는 웨이퍼 카세트의 운송장치 감시방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제5단계에서의 교신이 미리 정해진 일정시간 간격으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트의 운송장치 감시방법.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 제5단계에서의 교신이 상기 운송장치 제어서버 또는 상기 다수의 운송장치 중 어느 한 쪽의 요청에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트의 운송장치 감시방법.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제4단계에서 표출되는 정보는 오류가 발생된 운송장치에 관련된 정보만 표출되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트의 운송장치 감시방법.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제4단계에서 표출되는 정보는 상기 호스트 제어서버로부터 전송된 모든 운송장치에 관련된 정보인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트의 운송장치 감시방법.
  7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제4단계에서의 정보 표출시, 오류가 발생된 운송장치에 상응하는 표출자료는 소정의 시간간격으로 점멸되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트의 운송장치 감시방법.
  8. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제4단계에서의 정보 표출시, 오류가 발생된 운송장치에 상응하는 표출자료의 색상이 정상적으로 동작되는 운송장치에 상응하는 표출자료의 색상과 상이한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트의 운송장치 감시방법.
  9. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제4단계에서의 정보 표출시에 오류가 발생된 운송장치가 존재할 경우 경보음 발생기를 통해 경보음을 발생시키는 제8단계를 더 포함하는 웨이퍼 카세트의 운송장치 감시방법.
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