JP2000516273A - エレクトロルミネッセンス素子用の混合蒸着膜 - Google Patents

エレクトロルミネッセンス素子用の混合蒸着膜

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Abstract

(57)【要約】 発光素子(LED)構造物と、それを含む装置であってLED構造物が層状構造物を形成するように互いに積み重なった少なくとも第1(60M’)及び第2(60M'')の有機発光素子(LED)を複数含み、各LEDが他のLEDと透明導電性層(120,122)により分離されていて各素子が独立のバイアス電圧を受けて当該積層体を透過する光を発することができ、前記LEDのうちの少なくとも1つが発光性化合物を含み、前記発光性化合物が場合に応じて少なくとも1種のホスト化合物からなるマトリックス中に存在し、前記ホスト化合物が前記発光性化合物に電子を輸送できるものである装置。

Description

【発明の詳細な説明】 エレクトロルミネッセンス素子用の混合蒸着膜 関連出願 本願は、1994年12月13日に出願された米国特許出願第08/354,674号の一部係属 出願である。本願はまた、1996年4月15日に出願された米国特許出願第08/632,3 16号及び第08/632,322号に関連する。 発明の属する分野 本発明は、多色光有機発光素子、より詳細にはフラットパネルディスプレイで の使用に適する素子に関する。 発明の背景 電子ディスプレイは、現代社会において情報の伝達に欠かせない道具となって おり、テレビ受像機、計算機端末及び多くの他の用途で利用されている。他の種 類のいかなる媒体もこれに匹敵する感度、多用性及び双方向参加性を提供しない 。周知の電子ディスプレイ技術には、プラズマディスプレイ、発光ダイオード( LED)、薄膜エレクトロルミネッセンスディスプレイ等がある。 最も広く使用されている無放出型技術は液晶(LC)として知られているある 種の有機分子の電気光学特性又は液晶ディスプレイ(LCD)を利用する。LC Dはかなりの信頼性で動作するが、コントラスト及び解像度が比較的低く、また 高出力背光を必要とする。能動マトリックスディスプレイは、それぞれが1つの 液晶ピクセルを活性化することができるトランジスターのアレイを使用する。フ ラットパネルディスプレイに関する技術が非常に重要なものである ことには疑う余地がなく、絶えず発展している。S.W.Depp及びW.E.Howardに よる"Flat Panel Displays,"Scientific American,1993年3月、第90〜97頁を 参照されたい。この文献には、1995年までにフラットパネルディスプレイだけで 40億〜50億ドルの市場が生み出されると予測されている。いかなるディスプ レイ技術に対しても望ましい要因は、良好な光度で高解像度のものであると同時 に競争価格を付けられるフルカラーディスプレイを提供する能力である。 カラーディスプレイは、赤色(R)、緑色(G)及び青色(B)の3原色でも って動作する。有機薄膜材料を使用して赤色、緑色及び青色発光素子(LED) を実現することに多大な発展があった。これらの薄膜材料は、高真空条件下で堆 積される。そのような技術は、世界中の到る所で開発されており、多くの研究施 設で実施されている。 現在のところ最も好まれている高効率有機発光構造物はダブルヘテロ構造LE Dと呼ばれているものであり、図1にこのダブルヘテロ構造LEDを従来技術と して示した。この構造物は従来のGaAs又はInPのような材料を使用する無 機LEDに非常に類似するものである。 図1に示されている素子において、ガラスからなる支持層10はインジウム錫 酸化物(ITO)薄層11により被覆されており、層10及び層11は基板を形 成している。次に、ITO層11上に主として正孔を輸送する薄い(100〜5 00Å)有機層(HTL)12を堆積させる。HTL層12の表面上に堆積され るものは薄い(典型的には50Å〜100Å)発光層(EL)13である。これ らの層が薄すぎると膜の連続性が絶たれ、また膜の厚さが増加すると内部抵抗が 増加してより多くの動作電力消費量を必要とする。発 光層(EL)13は、厚さ100〜500Åの電子輸送層(ETL)14から注 入された電子とHTL層12からの正孔との再結合サイトを提供する。ETL材 料は、正孔移動度よりもかなり高い電子移動度により特徴付けられる。従来技術 のETL、EL及びHTL材料の例は、「Organic Electroluminescent MultiCo lor Image Display Device」と題された1994年3月15日にTang等に発行された米 国特許第5,294,870号の明細書に開示されている。 往々にして、EL層13に非常に蛍光性の高い色素をドープして発する色を調 整し、LEDのエレクトロルミネッセンス効率を増加させることがなされている 。図1Aに示されている素子は、金属コンタクト15,16と上部電極17とを 堆積させることによって完成する。コンタクト15及び16は典型的にはインジ ウム又はTi/Pt/Auから製造される。電極17は往々にして、有機ETL 層14に直接接触させたMg/Ag17’のような合金と、Mg/Ag上に存在 する金(Au)又は銀(Ag)のような仕事関数が高い金属の厚い層17”から なる二重構造物である。厚い金属17”は不透明である。適切なバイアス電圧が 上部電極17と金属コンタクト15及び16との間に印加されると、ガラス基板 10を通して発光が起こる。図1AのLED素子は典型的には、放射光の色及び その構造に依存して0.05%〜4%の発光外部量子効率を有する。 シングルヘテロ構造物と呼ばれているもう一つ別の周知の有機発光構造物を従 来技術として図1Bに示した。図1Aに示されている構造物とこの構造物との違 いは、EL層13がETL層としての機能も果たすことにあり、図1Aに示され ているETL層14は必要ではない。しかしながら、効率的動作のために図1B の素子は、良好な電子輸送能を有するEL層13を組み込む必要があり、そうで ない場合には図1Aの素子について示されているように独立したETL層14を 組み込まなくてはならない。 現在のところ、緑色LEDにおいてもっとも高い効率が観測されている。さら に、3〜10ボルトの駆動電圧が達成されている。これらの初期の非常に有望な 実例はアモルファスの又は高度に多結晶性の有機層を使用するものであった。明 らかではあるが、これらの構造物は、膜を横切る方向の電荷キャリヤー移動度を 制限することによって電流を制限し、駆動電圧を増加させる。多結晶状態から生 じる結晶子の移行及び生長はそのような素子の顕著な故障モードである。電気コ ンタクトの劣化も顕著な破壊機構である。 図1Cには、さらに別の周知のLED素子が示されており、単層(ポリマー) LEDの典型的断面図が図示されている。図示されているように、この素子は、 基板を形成するための、薄いITO層3により被覆されたガラス支持層1を含む 。スピンコーティングされたポリマーの薄い有機層5が例えばITO層3上に形 成され、上述の素子のHTL、ETL及びEL層の機能の全てを提供する。金属 電極層6は有機ポリマー層5上に形成される。この金属は典型的にはMg,Ca 又は他の慣用的に使用されている金属である。 発光ピクセルに対して有機化合物を使用する多色エレクトロルミネッセンスイ メージディスプレイ素子の例はTang等の米国特許第5,294,870号明細書に開示さ れている。この特許明細書には、青色発光サブピクセル領域内に青色発光のため の有機媒体を含む複数の発光ピクセルが開示されている。発光媒体は青色発光サ ブピクセル領域から横方向に間隔を置いて配置される。発光媒体は有機媒体によ り放出された光を吸収し、次に異なるサブピクセル領域内で赤色光及び緑色光を 放出する。青色サブピクセル領域からの青色光の吸収に基づいて緑色光又は赤色 光を放射させるための発光色素をドープ した材料の使用は、緑色又は赤色LEDを経る直接形成よりも効率が低い。その 理由は、効率がELの量子効率と発光量子効率と一次透過率の積であるからであ る。従って、このディスプレイ及びこの種のあらゆるディスプレイの欠点は、横 方向に間隔を置いて配置された個々のサブピクセル領域が各色を発することを必 要とすることである。 発明の要約 本発明は、概して、望ましい原色の透過に対して選ばれた一群の発光性化合物 を含む発光層を使用する多色有機発光素子及びその発光素子を含む構造物に関す る。前記発光層は、場合に応じて、前記発光性化物への電子の輸送を促進するホ スト化合物から形成されたマトリックスを含むことができる。 本発明の一態様において、積み重なり合って積層構造物を形成している少なく とも第1及び第2の有機発光素子(LED)を複数含み、各LEDが他のLED と透明導電性層により分離されていて各素子が独立のバイアス電圧を受けて当該 積層体を透過する光を発することができ、前記LEDのうちの少なくとも1つが 1つの発光層を含み、前記発光層が、 a)式: (式中、Mは3価金属イオンであり;Qは少なくとも1つの縮合環であって、そ れらの縮合環のうちの少なくとも1つが少なくとも1つの窒素原子を含む縮合環 であり;Lはピコリルメチルケトン、置換及び非置換サリチルアルデヒド、式: R1(O)CO−(式中、R1は水素、アルキル基、アリール基及び複素環式基か らなる群から選ばれ、それぞれアリール、ハロゲン、シアノ及びアルコキシから なる群から選ばれる少なくとも1つの置換基により置換されていてもよい)によ り表される基、ハロゲン、式:R1O−(式中、R1は上記定義の通りである)に より表される基、ビストリフェニルシロキシド並びにキノレート及びそれらの誘 導体からなる群から選ばれる配位子であり;pは1又は2であり、tは1又は2 であるが、pはtに等しくない) により表される3価金属錯体;並びに b)式: (式中、M及びQは上記定義の通りである) により表される3価金属架橋錯体; のうちの少なくとも1つを含む多色発光素子(LED)構造物が提供される。 本発明の一の好ましい形態において、多色光発光素子(LED)は、積み重な り合って積層構造物を形成している少なくとも第1及び第2の有機発光素子(L ED)を複数含み、各LEDが他のLEDと透明導電性層により分離されていて 各素子が独立のバイアス電 圧を受けて当該積層体を透過する光を発することができ、前記LEDのうちの少 なくとも1つが1つの発光層を含み、前記発光層が、 a)次式:(式中、Rは水素、アルキル基、アリール基及び複素環式基からなる群から選ば れ、それぞれアリール、ハロゲン、シアノ及びアルコキシからなる群から選ばれ る少なくとも1つの置換基により置換されていても良く;Mは3価金属イオンで あり;Lはピコリルメチルケトン、置換及び非置換サリチルアルデヒド、式:R1 (O)CO−(式中、R1は水素、アルキル基、アリール基及び複素環式基から なる群から選ばれ、それぞれアリール、ハロゲン、シアノ及びアルコキシからな る群から選ばれる少なくとも1つの置換基により置換されていても良い)により 表される基、ハロゲン、式:R1O−(式中、R1は上記定義の通りである)によ り表される基、ビストリフェニルシロキシド並びにキノレート及びそれらの誘導 体からな る群から選ばれる配位子であり;Aはアリール基又は存在する縮合環構造に縮合 している窒素含有複素環式基であり、n1及びn2は独立に0,1又は2であり、 m1及びm2は独立に1,2,3又は4である) により表される化合物からなる群から選ばれる3価金属キノレート錯体;並びに b)次式:(式中、R,M,A,n1,n2,m1及びm2は上記定義の通りである) により表される3価金属架橋キノレート錯体; を含む。 本発明のもう1つの観点において、多色光発光素子(LED)構造物は、積層 構造物を形成するように互いに積み重なり合った第1及び第2の有機発光素子( LED)を複数含み、各LEDが他のL EDと透明導電性層により分離されていて各素子が独立のバイアス電圧を受けて 当該積層体を透過する光を発することができ、前記LEDのうちの少なくとも1 つが1つの発光層を含み、前記発光層が、 a)次式:(式中、Rは水素、アルキル基、アリール基及び複素環式基からなる群から選ば れ、それぞれアリール、ハロゲン、シアノ及びアルコキシからなる群から選ばれ る少なくとも1つの置換基により置換されていても良く;Mは3価金属イオンで あり;Lはピコリルメチルケトン、置換及び非置換サリチルアルデヒド、式:R1 (O)CO−(式中、R1は水素、アルキル基、アリール基及び複素環式基から なる群から選ばれ、それぞれアリール、ハロゲン、シアノ及びアルコキシからな る群から選ばれる少なくとも1つの置換基により置換されていても良い)により 表される基、ハロゲン、式:R1O−(式中、R1は上記定義の通りである)によ り表される基、ビストリフェニルシロキシド並びにキノレート及びそれらの誘導 体からなる群から選ばれる配位子である) により表される3価金属キノレート錯体;並びに b)次式: (式中、R及びMは上記定義の通りであるが、各Rは同時に水素であることはで きない) により表される3価金属架橋キノレート錯体; のうちの少なくとも1つを含む。 本発明の多色光発光素子は、場合に応じて、発光性化合物への電子の輸送を促 進して発光を開始させるホスト化合物を含む。 好ましいホスト化合物を以下に示す。 ここで、式(a)及び(b)により表される化合物に対してMは+3金属であり 、式(c)及び(d)により表される化合物に対するMは+2金属であり、R1 〜R5は水素、アルキル基及びアリール基からなる群から独立に選ばれる。 図面の簡単な説明 同じ参照記号が同じ部分を示す本発明に関する以下の図面は本発明の態様を例 示するものであって、請求の範囲により規定される発明の範囲を限定するもので はない。 図1Aは、従来技術に従う典型的な有機ダブルヘテロ構造発光素子(LED) の断面図である。 図1Bは、従来技術に従う典型的な有機シングルヘテロ構造発光素子(LED )の断面図である。 図1Cは、従来技術に従う周知のシングル層ポリマーLED構造物の断面図で ある。 図2A,2B及び2Cは、それぞれ本発明の態様に従う、それぞれ結晶性有機 発光素子(LED)を使用する集積型3色ピクセルの断面図である。 図3A〜11Jは、種々の色を発生させるために活性発光層で使用することが できる発光性化合物の構造式を表すものである。 図12(A〜E)は、本発明に係る多色LEDの製造のためのシャドウマスキ ングプロセスを示すものである。 図13(A〜F)は、本発明に係る多色LEDの製造のためのドライエッチン グプロセスを示すものである。 図14Aは、その実装を容易にするように構成された本発明の一態様に係る多 色LEDを示すものである。 図14Bは、本発明のもう1つの態様に係る密封パッケージの断面図を示すも のである。 図14Cは、図14Bの線14C−14Cに沿う断面図である。 図15は、ディスプレイ駆動回路と共に本発明に係るLED素子を使用したR GBディスプレイを示すブロック図である。 図16は、Nを整数1,2,3,・・・Nとして積層したLEDの数をNまで 拡張した本発明に係るもう1つ別の態様のLED素子を示すものである。 図17A〜17Dは、発光性化合物に対するマトリックスとして活性発光層中 に使用することができるホスト化合物の構造式を示すものである。 発明の詳細な説明 説明したように図1Aは従来技術のダブルヘテロ構造有機発光素 子を示すものである。以下で説明するように図1Aの素子の基本構成要素を本発 明において使用する。 図2Aを参照すると、本発明の一態様において生長した又は真空蒸着された有 機層により与えられる非常に小型の集積型RGBピクセル構造物の略断面図が示 されている。広範な種類の材料(金属及びITOを包含する)の上に有機材料を 生長させられることから、本発明の一態様に係る20,21及び22と表すLE Dダブルヘテロ構造(DH)の積層体を構築することができる。例示のために、 図2Aの例において、LED20は積層体の底部に位置すると見なし、LED2 1は積層体の中間部に位置すると見なし、LED22は積層体の上部に位置する と見なす。また、この積層体は図2Aにおいて垂直方向に配向しているように示 されているが、このLEDは別の方向に配向することも可能である。他の態様に おいて、シングルヘテロ構造(SH)LEDの積層体(図1B参照)又はポリマ ー系LED素子の積層体(図1C参照)は、DH−LEDの実施可能な代替態様 であり、SH素子は発光体としてDH素子と同様に実用的なものである。真空蒸 着された高分子量発光体材料同士の組み合わせを含むSH及びDH素子も本発明 の真意及び範囲の中に含まれると見なされる。 素子20のような各素子構造物は、ITO層35の表面上に真空蒸着された若 しくはITO層35の表面上で生長した又は他の手法でITO層35の表面上に 堆積されたHTL層20Hを含む。例えば図2Aの素子構造に示されているよう に、上部ETL層20TとHTL層20Hとの間にEL層20Eが存在する。説 明しようとするETL層20Tと他のETL層は、発光体であるM(8−ヒドロ キシキノレート)n(M=金属イオン;n=2〜4)のような有機材料からなる 。他の適切な有機ETL材料の例は、Tang等に発行さ れた米国特許第5,294,870号明細書に見出すことができる。ETL層20Tの上 部には、厚さが典型的には50Å未満である薄い半透明性の仕事関数が小さい( 好ましくは<4eV)金属層26Mが存在する。この金属層の適切な候補として はMg,Mg/Ag及びAsが挙げられる。金属層26Mの上部にはもう1つ別 の透明な薄い導電性ITO層26Iが堆積される(簡単のために、金属層26M とITO層261の二重層構造物をITO/金属層26と呼ぶ。)。20,21 及び22のようなダブルヘテロ構造物の各々は、ITO261又は35の透明導 電性層上に形成された底部HTL層を有する。続いてEL層が堆積され、次にも う1つ別のETL層が堆積される。HTL層,ETL層、ITO層、金属層及び 有機EL層の各々は、それらの組成及び最低厚さのために透明である。各HTL 層は約50〜1000Åの厚さであってよく、各EL層は約50〜200Åの厚 さであってよく、各ETL層は約50〜1000Åの厚さであってよく、各金属 層26Mは約50〜100Åの厚さであってよく、各ITO層26I及び35は 約1000〜4000Åの厚さであってよい。最適な性能に対して、各層が上記 の適切な範囲の下限に近くなるようにすることが好ましい。従って、各LED2 0,21及び22(ITO/金属層は除く)はその厚さが約200Åに近いこと が好ましい。 SH−LED素子が、DH−LED素子よりもむしろLED20,21,22 を提供するために使用される場合には、図1BのSHに関して前述したように、 ETL層及びEL層は層13のような単層により提供される。この層13は典型 的にはAlキノレートである。これは図1Bに示されており、この図でEL層2 0E,21E及び22EはそれぞれEL層の機能とETL層の機能の両方を提供 する。しかしながら、図2BのSH−LED積層体と比較した場合 の図2AのDH−LED積層体の利点は、DH−LED積層体が高効率でより薄 い全体構造を可能にすることである。 図2A及び2Bにおいて、LEDの各々の中心が他の中心とずれているが、各 素子からの光の全ビームはLED20,21及び22の間で実質的に一致する。 光のビームが同心配置で一致する一方で、ガラス基板により近い位置にある発光 素子又は非発光素子はガラス基板からより遠い位置にある発光素子又は複数の発 光素子に対して透明である。しかしながら、ダイオード20,21及び22は、 互いに中心がずれている必要はなく、その代わりに互いに同心的に積み重なり合 っていてもよく、その場合には各素子からの光のビームは他の素子からの光のビ ームと完全に一致する。同心配置は、素子製造方法に関して後述する図12Eに 示されている。オフセット配置と同心配置との間には機能上の違いはないことを 注記しておく。各素子は、実質的に無指向的パターンでガラス基板37を通して 光を放出する。積層体29中の3つのLEDを横切る電圧は、特定のピクセルに 対して任意の瞬間に望ましい発光色及び輝度が提供されるように調節される。従 って、図2A及び2Bに図示されているように、22,21及び20と示した各 LEDを活性化させるとそれと同時にR,G及びBとして示すビームが透明層を 透過して目で見ることができる。各DH構造物20,21及び22は、適切なバ イアス電圧の印加によって異なる色の光を発することができる。ダブルヘテロ構 造LED20は青色光を発することができる。ダブルヘテロ構造LED21は緑 色光を発することができ、一方、ダブルヘテロ構造(DH)LED22は赤色光 を発することができる。LED20,21及び22の種々の組み合わせ及びLE D20,21及び22の個々を活性化し、LED20,21及び22の各々にお ける電流の強さに部分的に依存して各ピクセルに対して望ましい光 の色を選択的に得ることができる。 図2A及び2Bの例において、LED20,21及び22はそれぞれ電池32 ,31及び30により順方向にバイアスされている。電流は各電池32,31及 び30の正端子からそれに付随するLED20,21及び22のアノード端子4 0,41,42にそれぞれ流れ込み、各個々の素子の層を通り、カソード端子と してそれぞれ機能する端子41,42及び43から各電池32,31及び30の 負端子にそれぞれ流れる。その結果、LED20,21及び22の各々から光が 放出される。電池32,31及び30とそれらの個々のLEDとの接続を選択的 に切換えるための手段(図示せず)を含めることにより選択的にLED素子20 ,21及び22に電圧が加えられる。 図2A及び2Bに関する本発明の態様において、LED22のための上部IT Oコンタクト261は透明であり、そのためにこの3色素子はヘッドアップディ スプレイ用途に有用なものとなる。しかしながら、本発明のもう1つ別の態様に おいて、上部コンタクト26Iは、素子の効率を実質的に増加させるために、上 方に放出された光を基板13を通して反射させるための厚い金属、例えばMg/ Ag,In,Ag又はAuから形成される。また、ガラス基板37とITO層3 5の間に多層誘電体薄膜コーティングを形成して無反射表面を提供することによ り全素子効率を増加させることができる。3組の無反射層が必要である。種々の 層から放出される各波長の無反射コーティングを形成する。 もう1つ別の態様において、図2Aの素子は、前記のように底部よりもむしろ 積層休の上部から出る発光を提供するために、反対の又は反転した方式で構成さ れる。図2Cを参照すると、反転構造の例はITO層35の代わりに厚い反射性 金属層38を使用すること にある。青色LED20は、EL層20EをHTL層20HとETL層20Tの 間に挟んだままHTL層20HとETL層20Tとを入れ換えることにより提供 される。さらに、金属コンタクト層26MはITO層26Iの上部に堆積される 。積層体の緑色LED21及び赤色LED22部分は、逆青色LED20に関し て説明したように逆層(各HTL及びETL層が入れ換えられ、金属層とITO 層が反転している)でそれぞれ構成されている。反転構造では、青色素子20が 上部に存在し、赤色素子22が底部に存在しなくてはならないことを注記してお く。電池30,31及び32の極性も反転させる。その結果、素子20,21及 び22をそれぞれ通る電流は、発光のために順方向にバイアスされた場合に、図 2Aの態様と同じ方向に流れる。 断面で見た場合に、この例において、素子はステップ状又は階段状の輪郭を示 す。透明接触領域(ITO)26Iは、積層体中の各ピクセルエレメントの分離 バイアスを可能にし、さらに加工工程中にその材料をエッチストップとして使用 することができる。各DH−LED構造物20,21及び22の分離バイアスに よって、CIE(国際照明学会;Commission Internationale de l'Eclairage/I nternational Commission of Illumination)色度標準に規定されているような 可視スペクトルの種々の望ましい色のうちの任意のものに対応するピクセル出力 の波長調整が可能である。青色光発光LED20は積層体の底部に配置されてお り、3つの素子のうちで最大である。青色は赤色光及び緑色光に対して透明であ るために青色が底部に存在する。最後に、透明ITO/金属層26を使用する材 料の「分割」は、後述するようにこの素子の製造を容易にする。このことは、図 2A,2B及び2Cに示されているピクセルLED素子の製造を可能にする有機 化合物に関係する真空生長及び製造プロ セスについての極めて独特な特徴である。図2A,2B及び2Cに示されている 垂直方向での積層は、最小可能面積での3種のカラーピクセルの製造を可能とす るものであり、そのようなカラーピクセルを高品位ディスプレイにとって理想的 なものにしている。 図2A,2B及び2Cに示されているように、各素子のDH構造物20,21 及び22は、それぞれ矢印B,G及びRの向きに同時又は別々に光を放出するこ とができる。ここで発光は各LED20,21及び22の横方向の実質的に全て の部分から起こり、矢印R,G及びBはそれぞれ実際の発光の幅を表したもので はないことを注記しておく。この方式では、R,G及びBとして示す色の追加又 は除去は、人の目により統合されて異なる色彩及び色相として知覚される。この ことは、色視及びディスプレイ測色法の分野で周知である。図示したオフセット 配置では、光の赤色、緑色及び青色ビームは実質的に同時的である。素子が約5 0ミクロン以下に十分小さく製造された場合には、種々の色のうちの任意の1つ をこの積層体から発することができる。しかしながら、その色は1つのピクセル から生じた1つの色として見えるであろう。 DH構造物で使用される有機材料は、交互に生長させるか又は赤色光を示す最 大波長素子22を上部に配すとともに青色光を示す最小波長素子20を底部に配 して垂直方向に積層される。この方式では、ピクセル内又は素子内での光吸収を 最低限に抑えることができる。DH−LED素子の各々は、ITO/金属層26 (詳細には、半透明金属層26M及びインジウム錫酸化物層26I)により分離 されている。コンタクト40,41,42及び43のような独特の接触領域を露 出しているITO表面上に提供するために金属蒸着によりITO層26Iをさら に処理することができる。これらのコンタクト40,41,42及び43は、イ ンジウム、白金、金、銀又 は例えばTi/Pt/Au,Cr/Au若しくはMg/Agのような合金から製 造される。常用の金属析出又は蒸着法を用いるコンタクトの堆積技術は周知であ る。40,41,42及び43のようなコンタクトは、積層体中の各LEDの分 離バイアスを可能にする。有機LED材料と透明電極26Iの間の顕著な化学的 な違いは電極がエッチストップ層として作用することを可能にする。このことに よって、素子加工中の各ピクセル素子の選択的エッチング及び露出が可能になる 。 各LED20,21,22は、それら自体に固有のバイアス電圧源(この例で は電池32,31及び30としてそれぞれ図示されている)を有し、各LEDが 発光するのを可能にしている。それぞれ電池30,31,32の代わりに適切な 信号を使用できることが理解されるであろう。周知のようにLED(各DH−L ED)は発光するのに最低しきい電圧を必要とするため、この活性化電圧を電池 記号により図示した。 EL層20E,21E,22Eは、全ての原色を発生するそれらの能力及びそ れらの中間体に従って選ばれた有機化合物から製造される。この有機化合物は、 後述するような、3価金属錯体及びそれらの誘導体(例えば、3価金属キノレー ト錯体)、3価金属架橋錯体及びそれらの誘導体(例えば3価金属架橋キノレー ト錯体)、シッフ(Schiff)塩基2価金属錯体、錫(IV)金属錯体、金属アセチ ルアセトネート錯体、金属2座配位子錯体、ビスホスホネート、2価金属マレオ ニトリルジチオレート錯体、分子電荷移動錯体、芳香族及び複素環式ポリマー、 並びに希土類混合キレートから概して選ばれる。 3価金属錯体は図3Aに示されている構造式により表され、この式においてM は3価金属イオンであり;Qは少なくとも1つの縮合 環であって、それらの縮合環のうちの少なくとも1つが少なくとも1つの窒素原 子を含む縮合環であり;Lは後述するような配位子であり;pは1又は2であり 、tは1又は2であるが、pとtは等しくない。 3価金属キノレート錯体は図3B〜3Jに示されている構造式により表され、 これらの式においてMは周期表の第3族〜第13族及びランタノイド系列から選 ばれる3価金属イオンである。Al+3,Ga+3及びIn+3が好ましい3価金属イ オンである。 図3B〜3Iに示されている化合物のRには、水素、アルキル基、アリール基 及び複素環式基が包含される。前記アルキル基は直鎖又は分枝鎖であってよく、 好ましくは1〜8個の炭素原子を有する。適切なアルキル基の例にはメチル及び エチルが包含される。好ましいアリール基はフェニルであり、Rに対する複素環 式基の例にはピリジル、イミダゾール、フラン及びチオフェンが包含される。 Rのアルキル基、アリール基及び複素環式基は、アリール、ハロゲン、シアノ 及びアルコキシから選ばれる好ましくは1〜8個の炭素原子を有する少なくとも 1つの置換基により置換されていてもよい。好ましいハロゲンはクロロである。 図3A〜3Iに示されている化合物のLは、ピコリルメチルケトン、置換及び 非置換サリチルアルデヒド(例えば、バルビツル酸により置換されたサリチルア ルデヒド)、式:R1(O)CO−(式中、R1はRに対して定義した化合物を包 含する)により表される基、ハロゲン、式:R1O−(式中、R1は上記定義の通 りである)により表される基、ビストリフェニルシロキシド並びにキノレート( 例えば8−ヒドロキシキノリン)及びそれらの誘導体(例えば、バルビツル酸置 換キノレート)を包含する配位子を表す。図3Bに示されている式により示され る好ましい錯体は、MがGa+3であ り、Lがクロロであり、Rが低級アルキル基であるものである。そのような化合 物は青色発光を発する。MがGa+3であり、かつLがメチルカルボキシレートで ある場合には、青色から青色/緑色領域に及ぶ光を発する錯体が生じる。バルビ ツル酸置換サリチルアルデヒド又はバルビツル酸置換8−ヒドロキシキノリンを L基として使用することにより黄色又は赤色発光が予想される。キノレートをL 基として使用することにより緑色発光が生じるであろう。 図3Cに示されている縮合環構造内の窒素原子の数及びそれらの位置は発光ス ペクトルに影響を及ぼしうる。図3C〜3Iに示されているように、発光の色は 、縮合環構造中の窒素原子の存在によって変化するであろう。 より詳細には、図3Cは、青色発光をもたらす化合物のフェノキシ側にある窒 素原子の存在を示すものである。これは、縮合環中にさらなる窒素原子を含まな い図3Dの化合物と対照的である。そのような化合物は緑色光を発する。 図3Eに示されているように、化合物のピリジル側に窒素原子が存在すること によって、橙色への発光のシフトが起こる。従って、発光色の選択は、縮合環構 造中の窒素原子の数及び位置を調節することにより可能である。 さらなる発光性化合物が図3Eに示されている構造式により包含される。この 式においてAはアリール基であるか又は存在する縮合環構造に縮合した窒素含有 複素環式基であり、n1及びn2は独立に0,1又は2から選ばれる。Rは上記定 義の通りであり、m1及びm2は1,2,3又は4から独立に選ばれる。R基はA により表されるアリール基又は複素環式基に適切な位置で結合していることが理 解されるであろう。 Aに対するアリール基は好ましくは5員及び6員環であり、その ようなアリール基にはフェニル基、置換フェニル基及びフェニル基を含む縮合環 が包含され、置換基は好ましくは蛍光を消光しないものである。Aに対する窒素 含有複素環式基は非置換及び置換5員及び6員環である。 Aに対する置換基の例には、アルキル、アルキルアミノ、エーテル結合、シア ノ及びトリハロアルキル(例えばトリフルオロアルキル)が包含される。典型的 なアリール基はフェニルであり、n1及びn2が1又は2である図3Eの化合物の 例が図3F〜3Jに示されている。図3E〜3Hに示されている化合物の例は赤 色光を発するものと考えられる。 3価金属架橋錯体を図4Aに示す。この図においてM及びQは図3Aの化合物 についての説明におけるものと同様に定義される。 本発明において使用することかできる3価金属架橋キノレート錯体及びそれら の誘導体は図4B〜4Mに示されている。これらの錯体は緑色光を生じ、従来の 素子で使用されたトリスキノレートと比較して優れた環境安定性を示す。これら の錯体で使用される3価金属イオンMは上記定義の通りであり、Al+3,Ga+3 又はIn+3が好ましい。図4Bに示されているZ基は式:SiR(式中、Rは上 記定義の通りである)により表される。Zはホスフェートを形成する式:P=O により表される基であってもよい。 図4D〜4Mに示されている化合物に関し、それらの化合物は図3C〜3Jに 関して上述した化合物と同様な構造を有する。特に、縮合環構造中の窒素原子の 数及びそれらの位置は発光色を決定する。 シッフ塩基2価金属錯体には、図5A及び5Bに示されているものが包含され る。これらの図の中でM1は周期表の第2族〜第12族から選ばれる2価金属、 好ましくはZn(Y.Hanada et al.,”B lue Electroluminescence in Thin Films of Axomethin-Zinc Complexes”,Jap anese Journal of Applied Physics, Vol.32,pp.L511-L513(1993)参照)で ある。R1基は図5A及び5Bに示されている構造式から選ばれる。R1基がアミ ン又はピリジル基の窒素を介して錯体の金属に配位していることが好ましい。X は水素、アルキル、アルコキシ(1〜8個の炭素原子を有するアルキル及びアル コキシ)、アリール、複素環式基、ホスフィノ、ハライド及びアミンから選ばれ る。好ましいアリール基はフェニルであり、好ましい複素環式基はピリジル、イ ミダゾール、フラン及びチオフェンから選ばれる。X基は、シッフ塩基2価金属 錯体の有機溶剤への溶解度に影響を及ぼす。図5Bに示されている特定のシッフ 塩基2価金属錯体は520nmの波長の光を発する。 本発明においてEL層に使用される錫(IV)金属錯体は緑色光を発する。これ らの錯体に含まれるものは式:SnL1 22 2(式中、L1はサリチルアルデヒド 、サリチル酸又はキノレート(例えば、8−ヒドロキシキノリン)から選ばれ、 L2にはRについて定義した通りの水素を除く全ての基が包含される。)により 表されるものである。例えば、L1がキノレートであり、かつL2がフェニルであ る錫(IV)金属錯体は504nmの発光波長(λem)を有する。この波長は固体 状態での光ルミネッセンスの測定から得られる。 前記錫(IV)金属錯体には、Aが硫黄又はNR2(式中、R2は水素及び置換又 は非置換のアルキル及びアリールから選ばれる)である図6の構造式により表さ れるものが包含される。前記アルキル基は直鎖又は分枝鎖であってよく、好まし くは1〜8個の炭素原子を有する。好ましいアリール基はフェニルである。アル キル基及びアリール基に対する置換基には1〜8個の炭素原子を有するアルキ ル及びアルコキシ、シアノ及びフェニルが包含される。Yはシアノ及び置換又は 非置換フェニルから選ばれる。L3はアルキル、アリール、ハライド、キノレー ト(例えば、8−ヒドロキシキノリン)、サリチルアルデヒド、サリチル酸、及 びマレオニトリルジチオレート(「mnt」)から選ばれる。AがSであり、Y がシアノであり、L3が「mnt」である場合には、赤色から橙色の発光が予想 される。 図7に示されているM(アセチルアセトネート)3錯体は青色光を発する。金 属イオンM2は周期表第3族〜第13族及びランタノイド系列の3価金属から選 はれる。好ましい金属イオンはAl+3,Ga+3及びIn+3である。図7における 基Rは図3BにおけるRに対するのと同様に定義される。例えば、Rがメチルで あり、MがAl+3Ga+3及びIn+3からそれぞれ選ばれる場合には、固体状態で の光ルミネッセンスの測定から得られる波長はそれぞれ415nm,445nm 及び457nmである(J.Kido et al.,”Organic Electroluminescent Devic es using Lanthanide Complexes”,Journal of Alloys and Compounds, Vol 92 ,pp.30-33(1993)参照)。 本発明において使用される金属2座配位子錯体は概して青色光を生じる。 そのような錯体は式:M2DL4 2(式中、Mは周期表第3族〜第13族及びラ ンタノイド系列の3価金属から選ばれる)により表される。好ましい金属イオン はAl+3,Ga+3,In+3及びSc+3である。Dは2座配位子であり、その例が 図8Aに示されている。より詳細には、2座配位子Dには、2−ピコリルケトン 、2−キナルジルケトン及び2−(o−フェノキシ)ピリジンケトンが包含され 、図8A中のR基は上記定義の通りである。 L4として好ましい基には、アセチルアセトネート;式:OR3R(式中、R3 はSi及びCから選ばれ、Rは前述したものと同じ基から選ばれる)により表さ れる化合物;3,5−ジ(t−ブチル)フェノール;2,6−ジ(t−ブチル) フェノール;2,6−ジ(t−ブチル)クレゾール;及びH2Bpz2が包含され 、後者の化合物が図8B〜8Eにそれぞれ示されている。 例示のために、アルミニウム(ピコリルメチルケトン)ビス[2,6−ジ(t −ブチル)フェノキシド]の固体状態での光ルミネッセンスの測定から得られる 波長(λem)は420nmである。上記化合物のクレゾール誘導体に対しても4 20nmと測定される。アルミニウム(ピコリルメチルケトン)ビス(OSiP h3)及びスカンジウム(4−メトキシ−ピコリルメチルケトン)ビス(アセチ ルアセトネート)のそれぞれに対して433nmと測定され、一方、アルミニウ ム[2−(O−フェノキシ)ピリジン]ビス[2,6−ジ(t−ブチル)フェノ キシド]に対して450nmと測定された。 ビスホスホネート化合物は、EL層を得るために本発明に従って使用すること ができる化合物のもう1つの群に属する。ビスホスホネートは一般式: M3 x(O3P−有機−PO3y により表される。前記式中、M3は金属イオンである。この金属イオンは4価金 属イオン(例えば、x及びyが共に1に等しい場合にはZr+4,Ti+4及びHf+4 )である。xが3であり、かつyが2である場合には、金属イオンM3は2価 状態にあり、そのようなものには例えばZn+2,Cu+2及びCd+2が包含される 。上記式において「有機」なる用語は、ホスホネート基により2官能化すること ができる任意の芳香族又は複素環式蛍光化合物を意味する。 好ましいビスホスホネート化合物には、例えば図9A及び9Bに示されている もののようなフェニレンビニレンビスホスホネートが包含される。特に、図9A にはβ−スチレニルスチルベンビスホスホネートが示されており、図9Bには4 ,4’−ビフェニルジ(ビニルホスホネート)が示されている。図9A及び図9 Bの式においてRは前述の通りであり、R’は、好ましくは1〜8個の炭素原子 を有する置換及び非置換アルキル基、並びにアリール基から選ばれる。好ましい アルキル基はメチル及びエチルである。好ましいアリール基はフェニルである。 前記アルキル基及びアリール基に対して好ましい置換基には、アリール、ハロゲ ン、シアノ、好ましくは1〜8個の炭素原子を有するアルコキシから選ばれる少 なくとも1つの置換基が包含される。 2価金属マレオニトリルジチオレート(「mnt」)錯体は図10に示されて いる構造式により表される。2価金属イオンM1には+2の電荷を有するあらゆ る金属イオン、好ましくはPt+2,Zn+2及びPd+2のような遷移金属イオンが 包含される。Yはシアノ及び置換又は非置換フェニルから選ばれる。フェニルに 対して好ましい置換基は、アルキル、シアノ、クロロ及び1,2,2−トリシア ノビニルから選ばれる。 L5は電荷を持たない基を表す。L5として好ましい基にはP(OR)3及びP (R)3(式中、Rは上述の通りである)が包含され、またL5は、例えば2,2 ’−ジピリジル、フェナントロリン、1,5−シクロオクタジエン又はビス(ジ フェニルホスフィノ)メタンのようなキレート化配位子であってもよい。 C.E.Johnson et al.,”Luminescent Iridium(I),Rhodium(I),and Platinu m(II)Dithiolate Complexes”,Journal of the American Chemical Society,V ol.105,pg.1795(1983)から引用した これらの化合物の種々の組み合わせの発光波長の具体例を表1に示す。 表 1 錯 体 波 長 [白金(l,5-シクロオクタジエン)(mnt)] 560nm [白金(P(OEt)3)2(mnt)] 566nm [白金(P(OPh)3)2(mnt)] 605nm [白金(ビス(ジフェニル 610nm ホスフィノ)メタン)(mnt)] [白金(PPh3)2(mnt)] 652nm* 固体状態での光ルミネッセンスの測定から得られた波長 本発明においてELに対して使用される分子電荷移動錯体は電子供与性構造体 と錯化した電子受容性構造体を含むものである。図11A〜11Eには、図11 F〜11Jに示されている電子供与性構造体のうちの1つと電荷移動錯体を形成 することができる種々の適切な電子受容体が示されている。図11A及び11H に示されている基Rは前述したものと同一である。 これらの電荷移動物質の膜は、別のセルから基板上に電子供与性分子及び電子 受容性分子を蒸発させるか又は予め調製された電荷移動錯体を直接蒸発させるこ とにより調製される。発光波長は電子供与体とカップリングする電子受容体に依 存して赤色から青色におよぶ。 固体状態で蛍光性である芳香族及び複素環式化合物のポリマーをEL層を得る ために本発明において使用することができる。種々の異なる着色発光を発生させ るためにそのようなポリマーを使用することができる。表IIに適切なポリマーの 例及びそれらの発光色を示 す。 表 II ポリマー 発光色 ポリ(p−フェニレンビニレン) 青色から緑色 ポリ(ジアルコキシフェニレンビニレン) 赤色/橙色 ポリ(チオフェン) 赤色 ポリ(フェニレン) 青色 ポリ(フェニルアセチレン) 黄色から赤色 ポリ(N−ビニルカルバゾール) 青色 本発明での使用に適する希土類混合キレート化合物には、2座芳香族又は複素 環式配位子に結合したランタノイド族元素(例えば、La,Pr,Nd,Sm, Eu及びTb)が包含される。2座配位子はキャリヤー(例えば、電子)を輸送 するように作用するが、発光エネルギーを吸収しない。従って、2座配位子は金 属にエネルギーを移すように作用する。希土類混合キレート化合物中の配位子の 例にはサリチルアルデヒド及びそれらの誘導体、サリチル酸、キノレート、シッ フ塩基配位子、アセチルアセトネート、フェナントロリン、ビピリジン、キノリ ン及びピリジンが包含される。 正孔輸送層20H,21H及び22Hはポルフィリン系化合物を含んでいても 良い。さらに、正孔輸送層20H,21H及び22Hは、その少なくとも1つが 芳香族の員である炭素原子にのみ結合した少なくとも1つの3価窒素原子を含む 化合物である正孔輸送性の芳香族第3級アミンを少なくとも1つ有してもよい。 例えば、芳香族第3級アミンは、モノアリールアミン、ジアリールアミン、トリ アリールアミン又は高分子量アリールアミンのようなアリールアミンであること ができる。他の適切な芳香族第3級アミン及び全ての ポリフィリン系化合物が、Tang等の米国特許第5,294,870号明細書に教示されて いる。本明細書中の教示と矛盾しないことを条件として、前記米国特許明細書の 教示を引用によりここに含まれていることにする。 本発明の好ましい態様において、図3A〜3J及び図4A〜4Mにより表され る前述の発光性化合物を少なくとも1種のホスト化合物を含むマトリックス中に 溶解させる。ホスト化合物は発光性化合物への電子の輸送を容易にし、発光を開 始させる。適切なホスト化合物には金属2及び/3置換ボレート錯体が包含され る。好ましいホスト化合物は図17Aに示されている金属トリス(ジヒドロビス (1−ピラゾリル)ボレート)であり、この図においてMは+3金属、好ましく は第13族金属であり、R1〜R5は水素、アルキル基及びアリール基からなる群 から選ばれる。好ましいアリール基はフェニルである。 ホスト化合物には、図17Bに示されているタイプの金属ビス(ヒドロトリス (1−ピラゾリル)ボレート)(M1は+2金属、好ましくは第12族金属であ り、R1〜R5は前述の通りである)、及び図17Cに示されているような金属ト リス(ジヒドロビス(1,2,4−トリアゾール−1−イル)ボレート)(Mは +3金属、好ましくは第13族金属であり、R1〜R5は前述の通りである)が包 含される。金属ビス(ヒドロトリス(1,2,4−トリアゾール−1−イル)ボ レート)(M1は+2金属、好ましくは第12族金属であり、R1〜R5は前述の 通りである)もホスト化合物に包含され、そのような化合物は図17Dに示され ている構造式により表される。 本発明の素子において使用されるホスト化合物に対する発光性化合物のモル% 比は概して0.01〜50の範囲内にある。 ホスト化合物は、例えば、S.Trofimenko J .Am.Chem.Soc., Vol.89,p.6 288-9293(1967)に記載されている方法により調製することができる。より詳細 には、ジフェニル−ビス(1−ピラゾリル)ボレート配位子は、高温でナトリウ ムテトラフェニルボレートを過剰当量のピラゾールにより処理することにより調 製される。過剰のピラゾールは、粗生成物をヘキサンで洗浄し、次に190℃で 昇華させることにより除去される。アルミニウム錯体は、硫酸アルミニウムを水 中の3当量の配位子で処理することにより調製される。生成物は白色粉末として 即座に沈殿する。 本発明の積層有機LED3色ピクセルの製造はシャドウマスキングプロセス又 はドライエッチングプロセスのいずれかにより達成される。例示のために説明す る両方のプロセスは、ダブルヘテロ構造LED構成、すなわち各活性発光層に対 してただ1つの有機化合物層を使用する構成であって、底部ガラス基板表面から 光が放出される構成を仮定する。当業者が前記プロセスに若干の変更を加えるこ とによって各活性発光層に複数の有機化合物層を有する多重ヘテロ接合有機LE D及び/又は反転構造物(光が積層体の上部表面から放出される)も製造できる ことは自明である。 本発明に係るシャドウマスキングプロセス工程を図12(A〜E)に示す。I TO層52により被覆すべきガラス基板50をまず沸騰トリクロロエチレン又は 類似の塩素化炭化水素中に約5分間浸漬することにより基板50を清浄にする。 その次にアセトン中で約5分間すすぎ、次にメチルアルコール中で約5分間すす ぐ。次に、基板50を超高純度(UHP)窒素により風乾させる。使用する全て の洗浄用溶剤は「電子装置用」であることが好ましい。清浄処理の後に、常用の スパッタリング又は電子ビーム法を使用して真空中でITO層52が基板50上 に形成される。 次に、青色発光LED55(図12B参照)を以下のようにしてITO層52 上に作製する。シャドウマスク73をITO層52の所定の外側部分上に配置す る。素子の動作寿命を短縮する湿気、酸素及び他の汚染物に当該素子を暴露する ことなく、シャドウマスク73及びシャドウマスキングプロセス中に使用される 他のマスクがプロセス工程の間に導入され除去されるべきである。これは、窒素 又は不活性ガスで満たされた環境中でマスクを交換することにより又は遠隔操作 技術を用いて真空環境中で素子表面から離れた位置にマスクを配置することによ り達成することができる。マスク73の開口部を通して厚さ50〜100Åの正 孔輸送層(HTL)54及び厚さ50〜200Åの青色発光層(EL)56(図 12Bに図示)を空気に暴露せずに、すなわち真空中で順次堆積させる。次に、 厚さが好ましくは50〜1000Åである電子輸送層(ETL)58をEL56 上に堆積させる。次に、ETL58の上に半透明金属層60Mを載せる。前記半 透明金属層60Mは好ましくは90%のMg中に10%のAgを含む層であるか 又は例えば他の仕事関数の小さい金属若しくは金属合金からなる層である。層6 0Mは非常に薄く、好ましくは100Å未満である。層54,56,58及び6 0Mは、気相蒸着、イオンビーム蒸着、電子ビーム蒸着、スパッタリング及びレ ーザーアブレーションのような多くの指向性堆積技術のうちのいずれか1つによ り堆積される。 次に、常用のスパッタリング法又は電子ビーム法により金属層60M上に厚さ 約1000〜4000ÅのITOコンタクト層60Iを形成させる。本明細書で は便宜上、サンドイッチ層60M及び601を1つの層60として以下で引用し 、そのように図示されている。この層60は図2の層26と実質的に同じである 。各層60の仕事関数の小さい金属の部分60Mはその下方にあるETL層と直 接接触しており、一方、ITO層60Iはその直上にあるHTL層と接触してい る。ここで工程間の真空を乱さずに全体にわたって真空を保つことにより全素子 製造プロセスが最良に実施されることを注記しておく。 図12Cには、青色LED55を製造するために用いられるものと実質的に同 じシャドウマスキング技術及び堆積技術を使用して層60の上部に作製された緑 色発光LED65が示されている。LED65はHTL62、緑色発光層64及 びETL66を含む。第2の薄い(厚さ<100Å、半透明になるのに十分なほ ど薄いが電気的連続性を失うほど薄くはない)金属層60MがETL層66上に 堆積され、次にもう1つの厚さ1000〜4000ÅのITO層60Iが堆積さ れて第2のサンドイッチ層60を形成する。 図12Dには、同様なマスキング法及び金属堆積法を使用して層60上(詳細 に述べると60Iの上)に作製された赤色発光LED75が示されている。赤色 発光LED75は、HTL70、赤色発光EL72及びETL74を含む。次に 層60I及び60Mからなる上部サンドイッチ層60がLED75上に形成され る。同様な図2の態様に関して既に述べたように、上部透明ITO層60Iは、 別の態様においで、上方に向かう光を基板50に反射させて素子の上部から漏れ る光損失を減少させるためのミラーとして機能することもできる適切な金属電極 に置き換えられてもよい。各ETL層74,66及び58は50〜200Åの厚 さを有し、各HTL層54,62及び70は100〜500Åの厚さを有し、各 EL層56,64及び72は50〜1000Åの厚さを有する。最適な輝度及び 効率を得るために、ITO/金属層を含む層の各々が前記範囲の下限にできる限 り近くなるようにされるべきである。 次に、ITO層52上の電気コンタクト51及び59並びにIT O/金属層60のITO部分60I上の電気コンタクト88,89,92,94 及び96の形成が好ましくは1段階で達成される。これらの電気コンタクトは、 インジウム、白金、金、銀又はTi/Pt/Au,Cr/Au若しくはMg/A gのような組み合わせであってよい。これらの電気コンタクトは素子の残りの部 分をマスクした後に蒸着又は他の適切な金属堆積技術により堆積される。 シャドウマスキングプロセスにおける最終工程は、図12Eに示されているよ うに、マスクされた全ての金属コンタクト51,59,88,89,92,94 及び96を除き、絶縁層97で全素子をオーバーコートする工程である。絶縁層 97は、湿気、酸素及び他の汚染物に対して不透過性であるためにLEDの汚染 を妨げる。絶縁層97はSiO2、Si23のような窒化ケイ素、又は電子ビー ム、スパッタリング又は熱分解CVD若しくはプラズマCVDにより堆積される 他の絶縁体であることができる。用いられる堆積技術は、120℃を超える高温 はLED特性を劣化させうるために、素子温度を120℃よりも高くしないもの であるべきである。 本発明に係るLED積層体を製造するためのドライエッチングプロセスを図1 3(A〜F)に示す。図13Aを参照すると、まず、前述のシャドウマスクプロ セスと同様にガラス基板102を清浄にする。次に、常用のスパッタリング法又 は電子ビーム法を用いて真空中でITO層101をガラス基板102上に堆積さ せる。次に、常用の真空蒸着法か、ポリマーの場合にはスピン若しくはスプレー コーティング技術を用いて、シャドウマスクプロセスにおけるのと全て概して同 様な厚さで、ITO層101の表面全体にわたってHTL104、青色EL10 5、ETL106、並びに金属層107MとITO層107Iを含むサンドイッ チ層を堆積させる。ITO/金属サンドイッチ層107は、ETL層106上に 直接堆積され た厚さ100Å未満の仕事関数の小さい金属層107とこの金属層107M上の 厚さ1000〜4000ÅのITO層107Iからなる。ITO層107Iの上 部表面全体にわたって厚さ1000Å〜2000Åの窒化ケイ素又は二酸化ケイ 素マスキング材料108が低温プラズマCVDを用いて堆積される。次に、HPR 1400Jのようなポジティブフォトレジスト層109が窒化ケイ素層108上に形 成される。図13Bに示されているように、フォトレジスト層109の外側部分 110(図13A参照)は露出しており、標準的なフォトリソグラフィープロセ スを用いて除去される。露出している外側部分110は、底部ITO層101の 露出させて電気的に接続させる部分の面積に対応する。図13Cを参照すると、 除去されるフォトレジスト領域に対応する窒化ケイ素層108の外側領域111 (図13Bに定義されている)は、CF4:O2プラズマを使用して除去される。 次に、イオンミリング(ion milling)技術又は他のプラズマエッチを用いて、 ITO/金属層107I及びl07Mの露出している外側部分を除去する。次に 、O2プラズマを使用して、ETL層106、EL層105及びHTL層104 の対応する露出している外側部分をそれぞれ順次除去し、図13Dに示されてい るように残りのフォトレジスト層109も除去する。最後に、図13Dに示され ているような青色LED構成が得られるように再びCF4:O2プラズマを適用し て窒化ケイ素マスク108を除去する。 図13Eに示されているようにSiNx150を重ね、次にITO層101の 外側部分をマスクするためのフォトレジストマスク113を重ねることを除き、 同様なシーケンスのドライエッチングステップを用いて青色LEDの上に緑色L EDが作製される。次に、HTL層114、緑色EL層116等の堆積が行われ る(図13F 参照)。次に、青色LEDの作製で用いたのと同じフォトリソグラフィー技術及 びエッチング技術を用いて緑色LED115の形成を完了する。次に、実質的に 同様なドライエッチングプロセスを用いて緑色LEDの上に赤色LED117が 形成される。次に、シャドウマスキングプロセスに関して述べたように、電気コ ンタクトを露出させる適切なパターニングでもって図12Eの層97と同様な不 動態化層119がLED積層体上に堆積される。不動態化層119内のホールの ドライエッチングを可能にするフォトレジストマスクが使用される。次に、金属 152が前記ホール内に堆積される。最後のフォトレジスト層及び余分な金属は 「リフトオフ(lift-off)」プロセスにより除去される。 シャドウマスク、ドライエッチング又は他の方法により行われるLED積層体 の作製に続き、許容可能な素子性能及び信頼度を達成するために積層体を適切に 実装しなくてはならない。図14(A〜C)には、実装を容易にすると共に例え ば4個までの本発明の多色LED素子に適する密閉パッケージを提供するための 本発明の態様が示されている。図14(A〜B)において使用されている図12 Eにおけるのと同じ参照番号はそれぞれ同じ部分を示すものである。このパッケ ージは、図13Fの構造物とほぼ同じものに対しても使用することができる。図 14Aを参照すると、素子全体をSiNxのような絶縁層97をコーティングし た後、この例において、青色、緑色及び赤色LED(有機発光ダイオード)素子 に対し、最上部の金属層60M’,60M''及び60M'''をそれぞれ露出させ るために周知のエッチング/フォトマスキング技術を使用してアクセスホール1 20,122及び124を形成する。その後、常用の加工工程を用いて適切な金 属回路パス126,128及び130(典型的には金材料からなる)を、露出し た金属層60M’,60M ''及び60M'''からそれぞれ縁に位置するインジウムソルダバンプ132,1 33及び134まで延びる経路内に堆積させる。同様に、ITO層52と接触す る内側終端及び縁に位置するインジウムソルダバンプ136で終わる外側終端を 有するように形成された金属(例えば、Au)回路パス135を通じてアノード 電極終端が提供される。内側終端及び外側終端は常用の加工法により提供される 。次に、素子をSiNxのようなさらなる絶縁材料でコーティングして絶縁被覆 を形成するが、ソルダバンプ132,133,134及び136は1つの縁にそ って露出させておく。この方式では、常用の技術又は以下で説明するような本発 明に実装態様を用いて有機LED素子を容易に実装することができる。 本発明のもう1つ別の態様に関して図14A,14B及び14Cをそれぞれ参 照し、共通基板上に4つの多色LED素子を作製する方法を実装された配置で説 明する。原材料には、インジウム錫酸化物(ITO)52のオーバーレイヤーで 被覆されたガラス基板50が含まれる。次の工程を用いて実装された多色有機L EDアレーを得た: 1.この例において、常用の技術を用いて、ITO層52の上部に同心的方形 帯/環パターン(他のパターンを用いることもできる)でSiO2層が堆積する ようにITO層52をマスクする。 2.例えば図12E又は13F及び14Aの構造物を得ることに関して先に教 示したような方法を用い、ITO層52上の領域140内に共通の層を共有する 4つの3色LED積層体を形成する。 3.シャドウマスキングにより金属コンタクト170〜181を堆積させる。 金属コンタクト170〜181はそれぞれ外部電気接続又は結合パッド170’ 〜181’を提供するためのSiO2層138上の外側終端でそれぞれ終わって いる。図14A中のコンタ クト126,128及び130はそれぞれ連続する3つのコンタクト170〜1 81と同じものである。3つのコンタクトの各群、すなわち170〜172、1 73〜175、176〜178、及び179〜181は、それらの内側終端又は 他の終端で終わっており、4つの有機LED素子の各々の金属層60M’,60 M'',60M'''との電気的接続をそれぞれ提供することを注記しておく。この 例において、もう1つ別の金属コンタクト182がシャドウマスキングによって 4つのLED素子の全てに共通するITO層52の縁上に堆積される。ここで適 切なマスキング及びエッチングによって4つのLED素子が完全に独立した複数 の層内に形成される場合には、4つのアノードコンタクトはそれぞれ、多重方式 で動作することができるように後者のアレーに対して提供されねばならないこと を注記しておく。この例で記述される多色LEDアレーは非多重アレー(non-mu ltiplexed array)である。 4.例えばスパッタリング若しくはプラズマCVD又は電子ビーム蒸着を使用 し、例えばシャドウマスキングによって、第2のSiO2層184を連続的な帯 状又は環状に堆積させ、露出したボンディングパッド170’〜181’を残す 。 5.第2のSiO2層又は帯184の上部に連続的な帯又は環186でPb− Sn又は他の低融点ソルダを堆積させる。 6.カバーガラス188の底部に、ソルダシール環186と一致するように金 属環190を堆積させる。 7.乾燥窒素のような不活性雰囲気中にアセンブリーを置き、熱を加えてソル ダ環186を溶融させて気密シールを得、内部領域192内に不活性ガスを閉じ 込める。 8.図14Bに示されているように、ソルダー環186に金属環190が隣接 するようにして、アセンブリー上にカバーガラス18 8を取り付ける。 図15を参照すると、RGB有機LEDディスプレイであるディスプレイ19 4が示されている。点195は省略記号である。194として示した完成したデ ィスプレイは196のような複数のピクセルを含む。これらのピクセルは、IT Oで被覆されたガラスシートの全表面領域をカバーするようにXYマトリックス として配置される。各ピクセルは図2に示したような積層LED構造物を含む。 電池30,31及び32(図2)のような固定バイアス手段を有する代わりに、 図2において青色(B)、緑色(G)及び赤色(R)として示した端子の線路の 各々は適切な水平及び垂直スキャンプロセッサ197及び198にそれぞれ引き 込まれており、これらの水平及び垂直スキャンプロセッサは共に、TVユニット であってもよいディスプレイ駆動器199の制御下にある。それゆえに、LED の各マトリックスは少なくとも2つの軸(x,y)を有し、各LEDはこれらの 軸の少なくとも2つの交差点に位置する。また、x軸が水平軸であり、y軸が垂 直軸であってもよい。NTSC信号のようなテレビジョン信号をカラーディスプ レイ用の色成分R,G及びBに変換する方法は周知である。原色として赤色、緑 色及び青色を利用するコンピューター用モニターも周知である。垂直及び水平ス キャン技術によるそのような素子の駆動及び制御も周知である。ディスプレイの 表面全体にわたって堆積されたピクセル構造物の全アレーは、XYアドレッシン グを用いるものとして典型的XYスキャン技術を使用してスキャンされる。 望ましい信号内容に従って赤色、緑色及び青色に選択的にエネルギーを加える ために、パルス幅変調を用いることができる。この方式では、ディスプレイの各 線路内のLEDの各々は選択的にアクセス及びアドレス指定されてこれらの素子 が一色又は多色を発するよ うに例えばパルス幅変調信号によるか又は階段状に発生された電圧によるような 多くの手段によってバイアスされ、その結果として前記構造物から放出された光 は所定の形状及び色を有するイメージを生じる。また、xy軸の逐次スキャンを 行い、マトリックス中のLEDのうちの選ばれたものを逐次活性化させてイメー ジを生じさせるための光を放出させると共に垂直的に色を逐次生じさせることも できる。LEDのうちの選ばれたものを同時に活性化させることができる。 前述のように、図2に示されている垂直積層技術は、非常に小さな領域内での 3色DH−LEDピクセルの製造を可能にする。これによって、1インチ当たり 300〜600ライン以上の解像度を有するディスプレイのような高品位ディス プレイを提供することができる。そのような高解像度は、異なる色を発する有機 発光層又は発光媒体が横方向に互いに離間して配置される従来技術を使用しては 得られない。 現行の規格に基づいて、平方インチの領域内に数百のピクセルダイオード垂直 及び水平方向に積層させるのに十分に小さい有効領域を有する図2に示されてい るLED素子を提供することができる。従って、この製造技術によって、高光強 度で極度に他界解像度を達成することができる。 図16には本発明のもう1つ別の態様が、Nを整数1,2,3...Nとして N個以下の個々のLEDの積層体を含む多色LED素子として示されている。将 来の技術水準に依存して、Nには実際的な限界がある。例えば図12(A〜E) について先に説明したシャドウマスキングプロセス工程又は図13A〜13Fに 説明したドライエッチングプロセスを用いて積層したN段のLEDを提供するこ とができる。図16の積層したアレーの基礎又は底部は図13Fに 示されているようなガラス基板102であり、例えば基板102上にITO層1 01が形成される。この例におけるその直上の第1LED素子及びそれに続くL ED素子において、それぞれはITO層101上に連続してHTL層154、E L層156、ETL層158、金属層160及びITO層162を含む。N段目 のLED素子164は、その最上部ITO層162の上に形成された最上部金属 層(図13Fの層152参照)をさらに含む。不動態化層119が、図13のカ ラー積層体におけるように積層体上に堆積される。各LED素子の各EL層15 6の材料は、関係するLEDに特定の色が与えられるように選ばれる。赤色発光 層による光吸収を妨げるためには、3色素子におけるように波長がより短い(青 色)素子は波長がより長い(赤色)素子よりも積層体中のより下方に存在しなく てはならない。各個々のLEDに対して選ばれる色及び積層したLEDの実際の 数は個々の用途、提供される望ましい色及びシェーディング能に依存する。各異 なる光チャネルが積層体内の所定の素子から放出される異なる波長を使用して伝 送される光通信ネットワークでそのような多色素子を使用することもできる。放 出される光に固有の同心特性によって、1つの光伝送ファイバ内で幾つかの波長 のカップリングが可能となる。実際に、そのような積層したアレーでは、アクセ スホールが各素子のITO層まで形成され、次に例えば図14A,14B及び1 4Cの積層形多色LED素子について説明したものと同様な方式で、実装及び積 層体内のLED素子の各々への電気的接続を容易にする適切な金属化を行う。 この素子を使用して任意のサイズの低コスト、高解像度、高輝度フルカラーフ ラットパネルディスプレイを提供することができる。このため、本発明の範囲は 、数ミリメートル程度の小さなディスプレイから実際的な限界があるがビルディ ングほどの大きさのものま で広がる。ディスプレイ上に生じるイメージは、個々のLEDの大きさに依存し て任意の解像度でフルカラーでのテキスト又はイラストレーションとなることが できる。 当業者は本明細書に記載した本発明の態様に種々の変更を加えられることを認 識するであろう。そのような変更は、請求の範囲の真意及び範囲に包含される。 例えば、先に述べた図2の3色素子のようなに多色積層LED素子は、本発明の 別の態様において、真空中で3層全てを積み重ねるというよりはむしろ図1Cに 示されているようなポリマー素子から形成するか又は堆積された金属ホスホネー ト膜からLED20を形成することによって提供することができる。残りの2つ の積層LEDは蒸着により形成される。実施例1 ビス(8−ヒドロキシキナルジン)ガリウム−2,2−ジメチル−プロピオネー トの調製 Mがガリウム、LがOOCC(CH33、際右端のRがCH3であり、各残り のRが水素である図3Dに示されている化合物を以下のように調製した。特に断 らない限り室温で全ての反応を行った。 200mlの水中に2.0g(7.82mmol)のGa(NO33・xH2Oを含 む溶液を加熱しながら急速攪拌すると共に、600mlの水中に2.452g(1 5.4mmol)の8−ヒドロキシキナルジン及び7.99g(78.2mmol)の2 ,2−ジメチルプロピオン酸を含む溶液を1時間にわたって加えた。沈殿物が即 座に形成されたが、全ての反応物を加えた後さらに1時間攪拌を続けた。沈殿物 を濾過し、温水で洗浄し、風乾させ、メタノールから再結晶化させると1.0g の生成物が得られた。吸光スペクトル:λmax=366nm.ルミネッセンス:λm ax =500nm. 実施例2 ビス(8−ヒドロキシキナルジン)ガリウム−ベンゾエート(ジメチルプロピオ ネート)の調製 Mがガリウム、LがOOCC65であり、Rは実施例1における化合物につい て述べたものと同一である図3Dに示されている化合物を以下のように調製した 。特に断らない限り室温で全ての反応を行った。 50mlの水中に1.0g(3.9mmol)のGa(NO33・xH2Oを含む溶 液を急速攪拌しながら、280mlのエタノール/水(50:50)中に1.22 6g(7.7mmol)の8−ヒドロキシキナルジン及び6.185g(38.6mm ol)の安息香酸ナトリウムを含む溶液を30分間にわたって加えた。生成物の沈 殿が即座に起こったが、全ての反応物を加えた後さらに30分間反応混合物を攪 拌した。沈殿物を濾過し、エタノールで洗浄し、風乾させ、クロロベンゼンから 再結晶化させると1.98gの生成物が得られた。 吸光スペクトル:λmax=366nm.ルミネッセンス:λmax=500nm.実施例3 の合成 上記配位子(以下、QN4と呼ぶ)の合成を以下のように行った。0.955g の4,5−ジアミノ−6−ヒドロキシピリミジン(DHP)及び30m1の2M酢 酸をビーカー内で混合した。12.5mlの4M酢酸ナトリウムをビーカーに加え 、ビーカーを70℃に加熱した。1.5mlのグリオキサール溶液(40%水溶液 )を10mlの 水で稀釈し、70℃に加熱し、DHPの溶液に加えた。混合物を70℃で1時間 攪拌し、次に10℃に冷却すると、褐色固形物が生じた。この固形物を濾過によ り分離し、メタノールで洗浄すると0.750gの配位子QN4が得られた。実施例4 の合成 上記配位子(以下、QN4e2と呼ぶ)の合成を以下のように行った。1.00の 4,5−ジアミノ−6−ヒドロキシピリミジン(DHP)及び30mlの2M酢酸 をビーカー内で混合した。6.8gの酢酸ナトリウムをビーカーに加え、ビーカ ーを70℃に加熱した。0.70mlの2,3−ブタンジオンを9mlの水で稀釈し 、70℃に加熱し、DHPの溶液に加えた。混合物を70℃で1時間攪拌し、次 に10℃に冷却すると、褐色固形物が生じた。この固形物を濾過により分離し、 メタノールで洗浄すると0.650gの配位子QN4Me2が得られた。実施例5 Ga−トリス(1−ヒドロキシフェナジン)の合成 図4Iに示されている化合物であるGa−トリス(1−ヒドロキシフェナジン )を以下のように調製した。G.M.Bedger,J .Chem.Soc.(1951),3204に記載さ れているように調製された0.100gの1−ヒドロキシフェナジンを20mlの 40%エタノール水溶液と混合した。0.04gのGa(NO33の水溶液5ml を混合物に加え、30分間攪拌した。その結果得られた溶液を中和量の炭酸ナト リウムにより中和し、5℃に冷却し、濾過した。濾液を水で洗 浄し、減圧乾燥させると、0.06gのGa(1−ヒドロキシフェナジン)が得 られた。吸光スペクトル:λmax=360,380,500nm.ルミネッセンス :λmax=680nm.実施例6 ビス(トリフェニルシロキサン)(1−ヒドロキシフェナジン)アルミニウムの 調製 0.32gのアルミニウムトリスイソプロポキシド、0.30gの1−ヒドロ キシフェナジン(実施例5に記載したように調製)及び10mlの乾燥トルエンを アルゴン雰囲気中にあるフラスコ内で混合した。混合物を1.5時間攪拌し、次 に0.860gのトリフェニルシラノールを加えた。混合物をさらに1時間攪拌 し、全ての揮発性物質を減圧除去した。その結果得られた固形物をジクロロメタ ンから再結晶化させると、図3Jに示されている生成物0.76gが得られた。 吸光スペクトル:λmax=370,355,420nm.ルミネッセンス:λmax= 500〜660nm.実施例7 Al(QN43の合成 QN4のナトリウム塩(その組成及び合成法は実施例3に記載した通り)1. 00gを10mlの水に溶解させた。l0mlの水中に0.735gのAl(NO3 3・9H2Oを含む溶液をQN4溶液に加え、混合物を1時間撹拌した。図4K に示されているような生成物Al(QN43を濾過により分離し、水で洗浄し、 減圧乾燥させた。吸光スペクトル:λmax=270,310nm.ルミネッセンス :λmax=422nm.実施例8 Ga(QN4Me23の合成 QN4Me2のナトリウム塩(その組成及び合成法は実施例4に記載 した通り)1.00gを20mlの水に溶解させた。5mlの水中に0.43gのG a(NO33・xH2Oを含む溶液をQN4Me2溶液に加え、混合物を1時間攪拌し た。図4Lに示されているような生成物Ga(QN4Me23を濾過により分離し、 水で洗浄し、減圧乾燥させた。吸光スペクトル:λmax=295nm.ルミネッセ ンス:λmax=345nm.実施例9 図4Mに示されている化合物の合成 水酸化ナトリウム0.113gを2.5mlの水に溶解させた。次に、この溶液 に0.25gの4−ヒドロキシピラゾール[3,4−d]−ピリミジンを加えた 。その結果得られた溶液を次に、15mlの水中に0.114gのGa(NO33 ・xH2Oを含む溶液に加えた。混合物を1時間攪拌した。得られた生成物を次 に濾過により分離し、エタノールで洗浄し、減圧乾燥させた。吸光スペクトル: λmax=280nm.ルミネッセンス:λmax=390nm.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 EP(AT,BE,CH,DE, DK,ES,FI,FR,GB,GR,IE,IT,L U,MC,NL,PT,SE),OA(BF,BJ,CF ,CG,CI,CM,GA,GN,ML,MR,NE, SN,TD,TG),AP(GH,KE,LS,MW,S D,SZ,UG,ZW),EA(AM,AZ,BY,KG ,KZ,MD,RU,TJ,TM),AL,AM,AT ,AU,AZ,BA,BB,BG,BR,BY,CA, CH,CN,CU,CZ,DE,DK,EE,ES,F I,GB,GE,HU,IL,IS,JP,KE,KG ,KP,KR,KZ,LC,LK,LR,LS,LT, LU,LV,MD,MG,MK,MN,MW,MX,N O,NZ,PL,PT,RO,RU,SD,SE,SG ,SI,SK,TJ,TM,TR,TT,UA,UG, UZ,VN (72)発明者 フォーレスト,スティーブン,アール. アメリカ合衆国,ニュージャージー 08540,プリンストン,ハント ドライブ 148 (72)発明者 トンプソン,マーク,イー. アメリカ合衆国,カリフォルニア 92807, アナハイム ヒルズ,イースト ペッパー クリーク ウェイ 4447 (72)発明者 バロウズ,ポール,イー. アメリカ合衆国,ニュージャージー 08550 プリンストン ジャンクション, クラークスビル ロード 413 (72)発明者 サポチャク,リンダ,エス. アメリカ合衆国,ネバダ 89119,ラスベ ガス,アルゴンクイン アベニュ 3955 (72)発明者 マッカーティ,デニス,エム. アメリカ合衆国,ニュージャージー 08088,サウスハンプトン,アダムス レ ーン 520 (72)発明者 クローニン,ジョン,エー. アメリカ合衆国,テネシー 38018,カル ドバ,アンバーゲート レーン 2044,ア パートメント ナンバー スリー

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1.積み重なり合って積層構造物を形成している少なくとも第1及び第2の有 機発光素子(LED)を複数含み、各LEDが他のLEDと透明導電性層により 分離されていて各素子が独立のバイアス電圧を受けて当該積層体を透過する光を 発することができ、前記LEDのうちの少なくとも1つが1つの発光層を含み、 前記発光層が、 a)式: (式中、Mは3価金属イオンであり;Qは少なくとも1つの縮合環であって、そ の縮合環のうちの少なくとも1つが少なくとも1つの窒素原子を含む縮合環であ り;Lはピコリルメチルケトン、置換及び非置換サリチルアルデヒド、式:R1 (O)CO−(式中、R1は水素、アルキル基、アリール基及び複素環式基から なる群から選ばれ、それぞれアリール、ハロゲン、シアノ及びアルコキシからな る群から選ばれる少なくとも1つの置換基により置換されていてもよい)により 表される基、ハロゲン、式:R1O−(式中、R1は上記定義の通りである)によ り表される基、ビストリフェニルシロキシド並びにキノレート及びそれらの誘導 体からなる群から選ばれる配位子であり;pは1又は2であり、tは1又は2で あるが、p はtに等しくない) により表される3価金属錯体;並びに b)式:(式中、M及びQは上記定義の通りである) により表される3価金属架橋錯体; のうちの少なくとも1つを含む多色発光素子(LED)構造物。 2.MがAl+3、Ga+3及びIn+3からなる群から選ばれる請求項1記載の多 色LED構造物。 3.Lがクロロ、メチルカルボキシレート、バルビツル酸により置換されたサ リチルアルデヒド、バルビツル酸により置換された8−ヒドロキシキノリン、及 びキノレートからなる群から選ばれる請求項1記載の多色LED構造物。 4.発光層が、発光性化合物に電子を輸送することができる少なくとも1種の ホスト化合物から形成されたマトリックスをさらに含む請求項1記載の多色LE D構造物。 5.ホスト化合物が、2置換ボレート錯体、3置換ボレート錯体及びこれらの 組み合わせからなる群から選ばれる請求項4記載の多色LED構造物。 6.ホスト化合物が、次式: (上式において、式(a)及び(b)により表される化合物に対してMは+3金 属であり、式(c)及び(d)により表される化合物に対するM1は+2金属で あり、R1〜R5は水素、アルキル基及びアリール基からなる群から独立に選ばれ る) により表される化合物からなる群から選ばれる請求項4記載の多色LED構造物 。 7.+3金属が第13族金属であり、+2金属が第12族金属である請求項6記載 の多色LED構造物。 8.R1〜R5のうちの少なくとも1つがフェニルである請求項6記載の多色L ED構造物。 9.ホスト化合物に対する発光性化合物のモル%比が約0.01〜50.0である請求 項4記載の多色LED構造物。 10.Qが少なくとも2つの縮合環を含み、これらの縮合環が非置換若しくは置 換5若しくは6員環であるか又は非置換若しくは置換5員環と非置換若しくは置 換6員環との組み合わせである請求項1記載の多色LED構造物。 11.3価金属錯体が次式:(式中、Rは水素、アルキル基、アリール基及び複素環式基からなる群から選ば れ、それぞれアリール、ハロゲン、シアノ及びアルコキシからなる群から選ばれ る少なくとも1つの置換基により置換されていてもよい;Aはアリール基又は存 在する縮合環構造に縮合している窒素含有複素環式基であり;n1及びn2は独立 に0,1又は2であり;m1及びm2は独立に1,2,3又は4である) により表される化合物からなる群から選ばれ; b)3価金属架橋錯体が、式:(式中、R,M,A,m1,m2,n1及びn2は上記定義の通りである) からなる群から選ばれる化合物である請求項1記載の多色LED構造物。 12.MがAl+3,Ga+3及びIn+3からなる群から選ばれる請求項11記載の多 色LED構造物。 13.Rがメチル、エチル、フェニル、ピリジル、イミダゾール、フラン及びチ オフェンからなる群から選ばれる請求項11記載の多色LED構造物。 14.Lがクロロ、メチルカルボキシレート、バルビツル酸により置換されたサ リチルアルデヒド、バルビツル酸により置換された8−ヒドロキシキノリン、及 びキノレートからなる群から選ばれる請求項11記載の多色LED構造物。 15.Aがフェニル、複数のフェニル基が縮合したもの、置換フェニル、及び複 数の置換フェニル基が縮合したものからなる群から選ばれる請求項11記載の多色 LED構造物。 16.置換基が蛍光を消光しないものである請求項15記載の多色LED構造物。 17.置換基が、アルキル、アルキルアミノ、エーテル結合、シアノ及びトリハ ロアルキルからなる群から選ばれる請求項16記載の多色LED構造物。 18.積み重なり合って積層構造物を形成している少なくとも第1及び第2の有 機発光素子(LED)を複数含み、各LEDが他のLEDと透明導電性層により 分離されていて各素子が独立のバイアス電圧を受けると当該積層体を透過する光 を発するように動作し、前記LEDのうちの少なくとも1つが1つの発光層を含 み、前記発光層が発光性化合物とこの発光性化合物のためのマトリックスを含み 、前記マトリックスが前記発光性化合物に電子を輸送することができる少なくと も1種のホスト化合物を有効量含む多色LED構造物。 19.活性化させることができる発光性構造物であって、 1つの透明基板; 前記基板上に支持された実質的に透明な導電性材料からなる1つの第1層; 実質的に透明な導電性材料からなる前記第1層上に支持された活性化させるこ とができる透明な発光素子(LED)であって、少なくとも1種の発光性化合物 を含む1つの発光層を含み、前記発光性化合物が当該発光性化合物に電子を輸送 することができる少なくとも1種のホスト化合物からなるマトリックス中に存在 する発光素子;及び 前記LEDにより支持された導電性材料からなる1つの第2層;を含み、前記 LEDが活性化させられた場合に光を発してその光が前記透明基板を透過するよ うに動作するものである発光性構造物。 20.導電性材料からなる前記第2層が実質的に透明であり、 導電性材料からなる前記第2層上に支持された活性化させることができる透明 な第2の発光素子(LED)であって、発光性化合物に電子を輸送することがで きる少なくとも1種のホスト化合物からなるマトリックス中に少なくとも1種の 発光性化合物を含む発光層;を含む第2のLED;及び 前記第2のLEDにより支持された導電性材料からなる第3の層; をさらに含み、前記第2のLEDが活性化された場合に光を発してその光が前記 第1のLED及び前記透明基板を透過するように動作するものである請求項19記 載の構造物。 21.前記発光層が、 a)式: (式中、Mは3価金属イオンであり;Qは少なくとも1つの縮合環であって、そ れらの縮合環のうちの少なくとも1つが少なくとも1つの窒素原子を含む縮合環 であり;Lはピコリルメチルケトン、置換及び非置換サリチルアルデヒド、式: R1(O)CO−(式中、 R1は水素、アルキル基、アリール基及び複素環式基からなる群から選ばれ、そ れぞれアリール、ハロゲン、シアノ及びアルコキシからなる群から選ばれる少な くとも1つの置換基により置換されていてもよい)により表される基、ハロゲン 、式:R1O−(式中、R1は上記定義の通りである)により表される基、ビスト リフェニルシロキシド並びにキノレート及びそれらの誘導体からなる群から選ば れる配位子であり;pは1又は2であり、tは1又は2であるが、pはtに等し くない) により表される3価金属錯体;並びに b)式: (式中、M及びQは上記定義の通りである) により表される3価金属架橋錯体; からなる群から選ばれる少なくとも1つの発光性化合物を含む請求項19記載の構 造物。 22.発光層が、発光性化合物に電子を輸送することができる少なくとも1種の ホスト化合物から形成されたマトリックスをさらに含む請求項19記載の構造物。 23.活性化させることができる多色発光ディスプレイであって、 活性化させ ることができる複数の発光性構造物であって、前記構造物の各々が、互いに積み 重なり合った複数の透明な発光素子(L ED)を含み、前記構造物の各々の中にある前記複数のLEDの各々が、活性化 された場合に異なる色の光を発するものであって、少なくとも1種の発光性化合 物を含む発光層を含み、前記発光性化合物が当該発光性化合物に電子を輸送する ことができる少なくとも1種のホスト化合物からなるマトリックス中に存在する 発光性構造物と; 前記構造物の各々の中に存在する前記複数のLEDのうちの1つを選択的に活 性化させ、その結果前記発光性構造物の各々により生じる色を、前記構造物から 放出される光が所定の形状及び色を有するイメージを生じるように前記発光性構 造物中の1つ又は複数のLEDを活性化させることによって決定する手段; を含む多色発光ディスプレイ。 24.発光性化合物が、 a)式: (式中、Mは3価金属イオンであり;Qは少なくとも1つの縮合環であって、そ れらの縮合環のうちの少なくとも1つが少なくとも1つの窒素原子を含む縮合環 であり;Lはピコリルメチルケトン、置換及び非置換サリチルアルデヒド、式: R1(O)CO−(式中、R1は水素、アルキル基、アリール基及び複素環式基か らなる群から選ばれ、それぞれアリール、ハロゲン、シアノ及びアルコキシか らなる群から選ばれる少なくとも1つの置換基により置換されていてもよい)に より表される基、ハロゲン、式:R1O−(式中、R1は上記定義の通りである) により表される基、ビストリフェニルシロキシド並びにキノレート及びそれらの 誘導体からなる群から選ばれる配位子であり;pは1又は2であり、tは1又は 2であるが、pはtに等しくない) により表される3価金属錯体;並びに b)式: (式中、M及びQは上記定義の通りである) により表される3価金属架橋錯体; により表される3価架橋錯体のうちの少なくとも1つを含む請求項23記載のディ スプレイ。 25.発光性化合物が、次式: (式中、Rは水素、アルキル基、アリール基及び複素環式基からなる群から選ば れ、それぞれアリール、ハロゲン、シアノ及びアルコキシからなる群から選ばれ る少なくとも1つの置換基により置換されていてもよい;Aはアリール基又は存 在する縮合環構造に縮合している窒素含有複素環式基であり;n1及びn2は独立 に0,1又は2であり;m1及びm2は独立に1,2,3又は4である) により表される化合物からなる群から選ばれる3価金属錯体; b)次式: (式中、R,M,A,m1,m2,n1及びn2は上記定義の通りである) により表される化合物から選ばれる3価金属架橋錯体; のうちの少なくとも1つを含む請求項24記載のディスプレイ。 26.ホスト化合物が、2置換ボレート錯体、3置換ボレート錯体及びこれらの 組み合わせからなる群から選ばれる請求項23記載のディスプレイ。 27.ホスト化合物が、次式: (上式において、式(a)及び(b)により表される化合物に対してMは+3金 属であり、式(c)及び(d)により表される化合物に対するMは+2金属であ り、R1〜R5は水素、アルキル基及びアリール基からなる群から独立に選ばれる ) により表される化合物からなる群から選ばれる請求項26記載のディスプレイ。 28.前記構造物の各々が、 1つの透明基板と、 実質的に透明な導電性材料からなる1つの第1層と、 実質的に透明な導電性材料からなる少なくとも1つの第2層と、 導電性材料からなる1つの第1層と、 導電性材料からなる前記層の各々の上に設けられた、前記LEDの各々を選択 的に活性化させるためのバイアスに接続されている手段と、 をさらに含み、前記LEDがそれぞれ底部と上部を有して底部と上部を有するL EDの積層体を画定し、前記積層体が前記透明基板上に支持されており、前記第 1層が前記底部LEDと前記透明基板との間に配置されており、前記第2層が前 記LEDの隣り合うもの同士の間に配置されており、前記導電性材料からなる第 1層が前記上部LEDの上部に隣接して配置されている、請求項23記載のディス プレイ。 29. 1つの透明基板と、 実質的に透明な導電性材料からなる少なくとも2つの層であって、そのうちの 1つが前記透明基板上に配置されている2つの層と、 前記透明基板から最も遠い位置に存在する前記積層体中の前記LEDの上部に 支持された、導電性材料からなる1つの層と、 実質的に透明な導電性材料からなる前記層及び導電性材料からな る前記層の各々の上に設けられた、前記LEDの各々を選択的に活性化させるた めのバイアスに接続されている手段、 をさらに含み、前記LEDの各々が底部と上部を有し、前記構造物の各々の中に ある前記LEDのうちの1つの底部が実質的に透明な導電性材料からなる前記層 のうちの1つの上に支持されており、実質的に透明な導電性材料からなる前記層 のその他が前記LEDの残りの間に配置されていて前記LEDが積層体を画定し ている請求項23記載のディスプレイ。 30.前記複数のLEDが、各々がダブルヘテロ構造物(DH)である3つのL EDを含み、前記透明基板に最も近い位置にあるLEDが活性化された場合に青 色光を発するように動作するものであり、前記透明基板から最も遠い位置にある LEDが活性化された場合に赤色光を発するように動作するものであり、その他 のLEDが活性化された場合に緑色光を発するように動作するものである請求項 23記載のディスプレイ。 31.前記複数のLEDが、各々がシングルヘテロ構造物(DH)である3つの LEDを含み、前記透明基板に最も近い位置にあるLEDが活性化された場合に 青色光を発するように動作するものであり、前記透明基板から最も遠い位置にあ るLEDが活性化された場合に赤色光を発するように動作するものであり、その 他のLEDが活性化された場合に緑色光を発するように動作するものである請求 項23記載のディスプレイ。 32.活性化させることができる多色光発光性構造物の製造方法であって、 1つの透明基板を提供する工程と、 前記透明基板上に1つの第1の実質的に透明な導電性層を提供する工程と、 少なくとも1種の発光性化合物及びこの発光性化合物に電子を輸送することが できる少なくとも1種のホスト化合物を含む1つの発光層を有する第1の透明な 発光ダイオードを前記基板上に提供する工程と、 前記第1のLED上に1つの第2の実質的に透明な導電性層を提供する工程と 、 前記第2の実質的に透明な導電性層上に1つの第2の透明な発光ダイオード( LED)を提供する工程と、 前記第2の実質的に透明な導電性層上に第2の透明な発光ダイオード(LED )を提供する工程と、 を含み、前記第1のLEDが活性化された場合に第1の所定の波長の光を発する ように動作するものであり、前記第2のLED1つの発光層を含み、前記発光層 が少なくとも1種の発光性化合物と前記ホスト化合物のうちの少なくとも1種を 含むものであって、活性化された場合に前記第1の所定の波長よりも長い第2の 所定の波長の光を発するように動作するものである方法。 33.前記第1及び第2のLEDを提供する前記工程が、 前記第1及び第2の実質的に透明な導電性層上に1つの正孔輸送層を堆積させ る工程と、 前記正孔輸送層の各々の上に前記発光層を堆積させる工程と、 前記発光層の各々の上に1つの電子輸送層を堆積させる工程と、による前記L EDの各々を形成する工程を含む請求項32記載の方法。 34.前記実質的に透明な導電性材料からなる層及び前記導電性材料からなる層 の各々がバイアス電圧源に接続できるように前記実質的に透明な導電性材料から なる層及び前記導電性材料からなる層の各々の上に電気コンタクトを提供する工 程をさらに含む請求項32記 載の方法。 35.少なくとも1種の発光性化合物とこの発光性化合物に電子を輸送すること ができる少なくとも1種のホスト化合物からなるマトリックスとを含む1つの発 光層、1つの正孔輸送層及び1つの電子輸送層と、 前記正孔輸送層上に存在する実質的に透明な導電性材料からなる1つの第1層 と、 前記電子輸送層上に存在する導電性材料からなる1つの第2層と、 を含み、前記発光層が前記正孔輸送層と前記電子輸送層との間に配置されている 、活性化させることができる透明発光素子(LED)。 36.互いに積み重なり合って積層構造物を形成している少なくとも第1及び第 2の有機発光素子(LED)を複数含み、各LEDが他のLEDと透明導電性層 により分離されていて各素子が独立のバイアス電圧を受けて当該積層体を透過す る光を発することができ、前記LEDのうちの少なくとも1つが1つの発光層を 含み、前記発光層が、 a)式:(式中、Rは水素、アルキル基、アリール基及び複素環式基からな る群から選ばれ、それぞれアリール、ハロゲン、シアノ及びアルコキシからなる 群から選ばれる少なくとも1つの置換基により置換されていても良く;Mは3価 金属イオンであり;Lはピコリルメチルケトン、置換及び非置換サリチルアルデ ヒド、式:R(O)CO−(式中、Rは上記定義の通りである)により表される 基、ハロゲン、式:RO−(式中、Rは上記定義の通りである)により表される 基、ビストリフェニルシロキシド並びにキノレート及びそれらの誘導体からなる 群から選ばれる配位子である) により表される3価金属錯体;並びに b)式: (式中、R,M,A,n1,n2,m1及びm2は上記定義の通りであるが、各Rは 同時に水素であることはできない) により表される3価金属架橋錯体; のうちの少なくとも1つを含む多色発光素子(LED)構造物。 37.MがAl+3、Ga+3及びIn+3からなる群から選ばれる請求項36記載の多 色LED構造物。 38.Rがメチル、エチル、フェニル、ピリジル、イミダゾール、フラン及びチ オフェンからなる群から選ばれる請求項36記載の多色LED構造物。 39.Lが、クロロ、メチルカルボキシレート、バルビツル酸により置換された サリチルアルデヒド、バルビツル酸により置換された8−ヒドロキシキノリン、 及びキノレートからなる群から選ばれる請求項36記載の多色LED構造物。 40.発光層が、発光性化合物に電子を輸送することができる少なくとも1種の ポスト化合物から形成されたマトリックスをさらに含む請求項36記載の多色LE D構造物。 41.ホスト化合物が、2置換ボレート錯体、3置換ボレート錯体及びこれらの 組み合わせからなる群から選ばれる請求項36記載の多色LED構造物。 42.ホスト化合物が、次式: (上式において、式(a)及び(b)により表される化合物に対してMは+3金 属であり、式(c)及び(d)により表される化合物に対するM1は+2金属で あり、R1〜R5は水素、アルキル基及びアリールからなる群から独立に選ばれる ) により表される化合物からなる群から選ばれる請求項36記載の多色LED構造物 。 43.R1〜R5のうちの少なくとも1つがフェニルである請求項42記載の多色L ED構造物。 44.ホスト化合物に対する発光性化合物のモル%比が約0.01〜50.0である請求 項40記載の多色LED構造物。 45.式: (上式において、式(a)及び(b)により表される化合物に対してMは+3金 属であり、式(c)及び(d)により表される化合物に対するM1は+2金属で あり、R1〜R5は水素、アルキル基及びアリールからなる群から独立に選ばれる ) により表される化合物。
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