JP2000353726A - フィルムキャリアの製造方法 - Google Patents

フィルムキャリアの製造方法

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信美 竹村
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隆弘 殿岡
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Abstract

(57)【要約】 【課題】絶縁フィルムの両端に形成されたスプロケット
ホールの形状精度がフィルムキャリア製造工程中でも維
持されて、ホール形状及び位置合わせ精度に優れたフィ
ルムキャリアの製造方法を提供することを目的とする。 【解決手段】接着層付絶縁フィルムテープ11の両端の
長手方向に沿ってスプロケットホール3及び導体層5を
形成し、片面の導体層5をパターニング処理して、導体
層5の所定位置に開口部6を形成する。この開口部6が
形成された導体層5をマスクにしてレーザー光を照射し
て、絶縁フィルム1及び接着層2に導通孔7を形成し、
スプロケット部4に保護層8を形成し、ダイレクトプレ
ーティングにより導通孔7に薄膜導体層を形成する。保
護層8を剥離処理して、電解めっきにより導通孔7内に
金属導体9を形成し、両面の導体層5をパターニング処
理してパッド電極5a及び配線パターン5bを形成し
て、フィルムキャリアを得る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体素子を搭載で
きる両面配線層を有するフィルムキャリアに関し、特に
スプロケットホールの形状精度に優れたフィルムキャリ
ア及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】プリント配線板は、テレビ、携帯電話、
ゲーム機、ラジオ、音響機器、VTR等の民生用電子機
器や、電子計算機、OA機器、電子応用機器、電気計測
器、通信機等の産業用電子機器に広く使用されている。
近年、これら電子機器はよりコンパクトな形態へと要望
が高まっている。この要求を充たすため、電子機器の小
型化、高密度化、高性能化に対応するように設計され、
これに基づいて、配線の細線化、ビアホールの小径化、
ランド、パッド等の小径化、基材のフレキシブル化、多
層化及びファイン化が急速に進んでいる。
【0003】また、使用される基材はエポキシ樹脂、フ
ェノール樹脂、アクリル樹脂が従来から使用されていた
が、最近では、機械的強度及び耐熱性に優れたポリイミ
ドフィルムやポリエステルフィルム等が使用され、さら
に高性能化を狙ってフッ素系樹脂、ポリフェニレンオキ
シド、ポリスルホン及びポリエーテルイミド等の基材を
使用したフィルムキャリアの開発も進んでいる。
【0004】一般的なフィルムキャリアは、絶縁フィル
ムの両端にフィルム搬送及び位置決め用のスプロケット
ホールを有し、スプロケットホール部を除く絶縁フィル
ムの両面に導体層を形成し、所定の位置にスルーホール
或いはブラインドホールを設け、スパッタ蒸着或いはダ
イレクトプレーティングにより薄膜導体層を形成する。
さらに、電解めっきによりホール内に金属導体を形成し
て絶縁フィルムの両面に形成された導体層を電気的に接
続する。さらに、両面の導体層をパターニング処理して
配線パターン及び電極パッドを作製してフィルムキャリ
アを得る。
【0005】しかしながら、上記フィルムキャリア製造
工程のスパッタ蒸着或いはダイレクトプレーティングに
より薄膜導体層を形成して、電解めっきにてホール内に
金属導体を形成する際スプロケットホール含めて絶縁フ
ィルム全面に金属導体が形成されることで、スプロケッ
トホールを使用した精度の良い位置合わせができなくな
る等の問題がある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記問題点に
鑑み考案されたもので、絶縁フィルムの両端に形成され
たスプロケットホールの形状精度がフィルムキャリア製
造工程中でも維持されて、ホール形状及び位置合わせ精
度に優れたフィルムキャリアの製造方法を提供すること
を目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明に於いて上記課題
を解決するために、以下の工程を少なくとも有すること
を特徴とするフィルムキャリアの製造方法としたもので
ある。 (a)絶縁フィルムの両端の長手方向に沿ってスプロケ
ットホールを形成する工程。 (b)前記スプロケットホール及び周辺部を含むスプロ
ケットホール部を除く前記絶縁フィルムの両面に導体層
を形成する工程。 (c)前記絶縁フィルムの片面の前記導体層の所定位置
に開口部を形成する工程。 (d)前記開口部が形成された前記導体層をマスクにし
てレーザーを照射し前記絶縁フィルムに導通用孔を形成
する工程。 (e)前記スプロケットホール部に保護層を形成する工
程。 (f)前記導通用孔に薄膜導体層を形成するためのめっ
き前処理を施す工程。 (g)前記保護層を剥離する工程。 (h)前記導通用孔に電解めっきにて金属導体を形成し
て導通孔とし、前記絶縁フィルムの両面の前記導体層を
電気的に接続する工程。 (i)前記絶縁フィルムの両面の前記導体層をパターニ
ング処理して配線パターン及びパッド電極を形成してフ
ィルムキャリアを作製する工程。
【0008】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態につき図
面を用いて説明する。図1に本発明のフィルムキャリア
の一実施例の構成を示す模式断面図を、図2(a)〜
(h)に本発明のフィルムキャリアの製造工程を工程順
に示す模式断面図をそれぞれ示す。
【0009】まず、絶縁フィルム1に接着層2が形成さ
れた接着層付の絶縁フィルムを所定幅に断裁した接着層
付絶縁フィルムテープ11を作製する(図1(a)参
照)。
【0010】次に、接着層付絶縁フィルムテープ11の
両端の長手方向に沿ってスプロケットホール3を形成す
る(図1(b)参照)。このスプロケットホール3は接
着層付絶縁フィルムテープ11を搬送し、各種パターン
の位置合わせに使用されるため、スプロケットホール3
は製造工程中でも初期の加工形状精度が維持されている
必要がある。
【0011】次に、スプロケットホール3及びその周辺
部を含むスプロケットホール部4を除く接着層付絶縁フ
ィルムテープ11の両面に銅箔を貼着し、導体層5を形
成する(図1(c)参照)。
【0012】次に、接着層付絶縁フィルムテープ11の
片面の導体層5をパターニング処理して、導体層5の所
定位置に開口部6を形成する(図1(d)参照)。この
開口部6は絶縁フィルム1及び接着層2に導通用孔をレ
ーザー加工で形成するためのマスクとして利用する。
【0013】次に、開口部6が形成された導体層5をマ
スクにしてレーザー光を照射して、絶縁フィルム1及び
接着層2に開口部6と同じ大きさの導通用孔7を形成す
る(図1(e)参照)。さらに、導通用孔7のスミアを
除去し、導通用孔7内の導体層5面を含めて清浄化され
る。
【0014】次に、スプロケット部4に保護層8を形成
する(図1(f)参照)。保護層8の形成方法としては
耐酸性のレジストをスクリーン印刷するか、保護テープ
を貼着する方法が使用できる。
【0015】次に、めっき前処理として、無電解めっき
或いはスパツタ蒸着或いはダイレクトプレーティングに
より導通用孔7及び導体層5上に薄膜導体層を形成する
(特に図示せず)。所望するめっき前処理は導通用孔内
であるが、上記めっき前処理は、選択性がなく、テープ
全面に処理が施されることになる。よって、絶縁フィル
ムの全面に薄膜導体層が形成される。
【0016】次に、保護層8を剥離処理して、薄膜導体
層及び導体層5をカソード電極にして電解めっきにより
導通用孔7内に金属導体9を形成する(図1(g)参
照)。この金属導体9にて絶縁フィルム1の両面の導体
層5が電気的に接続される。
【0017】次に、絶縁フィルム1の両面の導体層5を
パターニング処理してパッド電極5a及び配線パターン
5bを形成して、スプロケットホール3に金属導体が付
着しない、ホール形状精度に優れたフィルムキャリアを
得ることができる(図1(h)参照)。
【0018】
【実施例】以下実施例により本発明を詳細に説明する。
まず、50μm厚のポリイミドフィルムからなる絶縁フ
ィルム1の両面に12μm厚の接着層2を形成し、48
mm幅に断裁加工して接着層付絶縁フィルムテープ11
を作製した。
【0019】次に、接着層付絶縁フィルムテープ11の
両端にスプロケットホール3を打ち抜き加工にて形成し
た。
【0020】次に、スプロケットホール部4を除く絶縁
フィルム1の両面に18μm厚の銅箔を貼り合わせて導
体層5を形成した。
【0021】次に、導体層5上に感光層を形成し、パタ
ーニング処理して、導体層5の所定位置に150μm径
の開口部6を形成した。
【0022】次に、開口部6が形成された導体層5をマ
スクにしてエキシマレーザーを照射して、接着層2及び
絶縁フィルム1に開口部7と同径の導通用孔7を形成
し、導通用孔7内のスミアを除去した。
【0023】次に、スプロケットホール部4にカプトン
テープをラミネートし、保護層8を形成した。
【0024】次に、ダイレクトプレーティングにより導
通用孔7内を含むテープ表面に薄膜導体層を形成した。
【0025】次に、保護層8を除去した後薄膜導体層及
び導体層5をカソード電極にして電解銅めっきを行って
導通用孔7内に銅からなる金属導体9を形成した。
【0026】次に、絶縁フィルム1の両面の導体層5を
パターニング処理して、パッド電極5a及び配線パター
ン5bを形成して、本発明のフィルムキャリアを作製し
た。
【0027】<比較例>まず、50μm厚のポリイミド
フィルムからなる絶縁フィルム1の両面に12μm厚の
接着層2を形成し、48mm幅に断裁加工して接着層付
絶縁フィルムテープ11を作製した。
【0028】次に、接着層付絶縁フィルムテープ11の
両端に打ち抜き加工にてスプロケットホール3を形成し
た。
【0029】次に、スプロケットホール部4を除く絶縁
フィルム1の両面に18μm厚の銅箔を貼り合わせて導
体層5を形成した。
【0030】次に、導体層5上に感光層を形成し、パタ
ーニング処理して、導体層5の所定位置に150μm径
の開口部6を形成した。
【0031】次に、開口部6が形成された導体層5をマ
スクにしてエキシマレーザーを照射して、接着層2及び
絶縁フィルム1に開口部7と同径の導通用孔7を形成
し、導通用孔7内のスミアを除去した。
【0032】次に、ダイレクトプレーティングにより導
通用孔7内を含むテープ表面に薄膜導体層を形成した。
【0033】次に、電解銅めっきを行って導通用孔7内
に銅からなる金属導体9を形成した。
【0034】次に、絶縁フィルム1の両面の導体層5を
パターニング処理して、パッド電極5a及び配線パター
ン5bを形成して、従来のフィルムキャリアを作製し
た。
【0035】スプロケットホール部を保護しない状態
で、めっき前処理と電解銅めっきを行ったため、スプロ
ケットホールにも金属導体が付着し、配線パターン及び
パッド電極を形成する際に、アライメントマークとして
使用するスプロケットが変形し、良好な位置精度を有す
る配線パターン及びパッド電極が得られなかった。
【0036】
【発明の効果】本発明の製造方法で作成したフィルムキ
ャリアはスプロケットホールに金属導体が付着せず、ス
プロケットホールの初期の加工精度が維持され、フィル
ムキャリアの製造工程でも位置合わせ精度に優れた配線
パターン及びパッド電極が得られた。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のフィルムキャリアの一実施例の構成を
示す模式断面図である。
【図2】(a)〜(h)は、本発明のフィルムキャリア
の製造工程を工程順に示す模式断面図である。
【符号の説明】
1……絶縁フィルム 2……接着層 3……スプロケットホール 4……スプロケットホール部 5……導体層 5a……パッド電極 5b……配線パターン 6……開口部 7……導通用孔 8……保護層 9……金属導体 11……接着層付絶縁フィルムテープ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】以下の工程を少なくとも有することを特徴
    とするフィルムキャリアの製造方法。 (a)絶縁フィルムの両端の長手方向に沿ってスプロケ
    ットホールを形成する工程。 (b)前記スプロケットホール及び周辺部を含むスプロ
    ケットホール部を除く前記絶縁フィルムの両面に導体層
    を形成する工程。 (c)前記絶縁フィルムの片面の前記導体層の所定位置
    に開口部を形成する工程。 (d)前記開口部が形成された前記導体層をマスクにし
    てレーザーを照射し前記絶縁フィルムに導通用孔を形成
    する工程。 (e)前記スプロケットホール部に保護層を形成する工
    程。 (f)前記導通用孔に薄膜導体層を形成するためのめっ
    き前処理を施す工程。 (g)前記保護層を剥離する工程。 (h)前記導通用孔に電解めっきにて金属導体を形成し
    て導通孔とし、前記絶縁フィルムの両面の前記導体層を
    電気的に接続する工程。 (i)前記絶縁フィルムの両面の前記導体層をパターニ
    ング処理して配線パターン及びパッド電極を形成してフ
    ィルムキャリアを作製する工程。
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