JP2002228710A - 検査治具の製造方法 - Google Patents
検査治具の製造方法Info
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- H01L2224/11—Manufacturing methods
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
可能な、品質的に優れた検査治具の製造方法を提供する
こを目的とする。 【解決手段】ポリイミドフィルム等からなる絶縁基板1
1に銅箔を積層して導体層12を形成した片面銅貼り積
層基板10を形成する。一方、半硬化性の絶縁シート2
1の所定位置に、エキシマレーザー加工によりレーザー
照射面の開口径が大きいすり鉢状の貫通孔22を形成
し、すり鉢状の貫通孔22が形成された絶縁シート21
の開口径が大きい開口部を下にして片面銅貼り積層基板
10の導体層12上に貼り合わせする。導体層12をめ
っき電極にして、電解めっきを行い、貫通孔22に検査
電極31aを形成し、絶縁シート21を剥離して、導体
層12をパターニング処理して配線層12aを形成し、
検査治具100を得る。
Description
置や半導体パッケージ等の一括電気的検査を行うための
検査治具に関する。
ソケットと半導体回路素子の検査治具を用いて検査を行
っている。検査方法は、配線回路基板上に電極を配置し
た検査治具の検査電極を被検査体である半導体回路装置
に押し当てることによって導通検査を行っている。
体層を形成する方法として接着性を上げるため、クロム
薄膜及び銅薄膜をスパッタで形成し、銅薄膜をめっき電
極にして銅等からなる導体層を形成すという方法がとら
れ、このクロム薄膜及び銅薄膜をスパッタで形成するの
がコスト的に高くつくという問題がある。また、検査電
極が絶縁基板の反対面の配線層と導体電極で接続されて
いるため、検査電極の絶縁基板より表面にでている部分
と絶縁基板部分の厚みを合わせた導体電極の厚みが必要
であり、導体電極形成時のめっき時間が長くなるという
問題を有している。
鑑み考案されたもので、検査治具の作製工程の短縮を計
り、コスト削減可能な、品質的に優れた検査治具の製造
方法を提供するこを目的とする。
を解決するため、まず請求項1においては、以下の工程
を少なくとも有することを特徴とする検査治具の製造方
法としたものである。 (a)絶縁基板に銅箔等を積層して導体層を形成した片
面銅貼り積層基板を形成する工程。 (b)接着性を有する絶縁シートにレーザー加工により
照射面側の開口径が大きいすり鉢状の貫通孔を形成する
工程。 (c)前記貫通孔の開口径が大きい開口部を下にして前
記絶縁シートを前記片面銅貼り積層基板の導体層上に貼
着する工程。 (d)前記貫通孔内に電解めっきをして導体電極を形成
する工程。 (e)前記導体電極の先端部分を研磨し、先端部が平坦
な検査電極を形成し、前記絶縁シートを剥離する工程。 (f)前記導体層及び前記導体電極上に感光性レジスト
を塗布し、感光層を形成し、パターニング処理してレジ
ストパターンを形成する工程。 (g)レジストパターンをマスクにして前記導体層をエ
ッチングし、前記レジストパターンを剥離して配線層を
形成し、絶縁基板上に配線層及び検査電極が形成された
検査治具を作製する工程。
少なくとも有することを特徴とする検査治具の製造方法
としたものである。 (a)絶縁基板上に形成された導体層をパターニング処
理し、配線層を形成する工程。 (b)接着性を有する絶縁シートにレーザー加工により
照射面側の開口径が大きいすり鉢状の貫通孔を形成する
工程。 (c)前記貫通孔の開口径が大きい開口部を下にして前
記絶縁シートを前記絶縁基板及び前記配線層に接するよ
うに貼着する工程。 (d)前記貫通孔内に電解めっきをして導体電極を形成
する工程。 (e)導体電極の先端部分を研磨し、先端部が平坦な検
査電極を形成する工程。 (f)前記絶縁シートを剥離し、絶縁基板上に配線層及
び検査電極が形成された検査治具を作製する工程。
製作工程を短縮するために、あらかじめ絶縁シートに検
査電極をめっきで形成するためのめっき型をレーザー加
工にて作製しておき、別工程で作製した絶縁基板上に形
成された導体層及び配線層上にめっき型が形成された絶
縁シートを貼着して、めっき型に銅等からなる検査電極
を形成して、絶縁シートを剥離処理して、絶縁基板上に
配線層及び検査電極が形成された検査治具を作製するも
のである。このような製造方法を適用することにより、
製作工程の短縮が計れ、コスト削減ができ、品質的に優
れた検査治具を作製することができる。
る。図1(a)〜(g)は、本発明の請求項1に係わる
検査治具の製造方法の一実施例を示す工程構成部分断面
図を示す。まず、ポリイミドフィルム等からなる絶縁基
板11に銅箔を積層して導体層12を形成した片面銅貼
り積層基板10を形成する(図1(a)参照)。
定位置に、エキシマレーザー加工によりレーザー照射面
の開口径が大きいすり鉢状の貫通孔22を形成する(図
1(b)参照)。
絶縁シート21の開口径が大きい開口部を下にして片面
銅貼り積層基板10の導体層12上に貼り合わせ、積層
する(図1(c)参照)。
解めっきを行い、貫通孔22に導体電極31を形成する
(図1(d)参照)。導体電極31の材質としては、銅
及びニッケルを使用することができる。
導体電極31の先端部分を機械研磨し、先端部が平滑な
検査電極31aを形成する(図1(e)参照)。
極31を覆い隠す程度の厚みで導体層上にフォトレジス
トをコートし、感光層を形成し、露光、現像等の一連の
パターニング処理を行って、レジストパターン41を形
成する(図1(f)参照)。ここで、感光層の厚みは、
感光層を形成する際のプリベーク及びパターン現像の際
にレジストの厚みが若干減少するので、検査電極31a
の高さよりも4〜5μm程度厚く形成する。
て、導体層12を塩化第2鉄液等によりエッチングを行
って配線層12aを形成し、レジストパターン41を剥
離することにより、絶縁基板11上に配線層12a及び
検査電極31aが形成された検査治具100を得ること
ができる(図1(g)参照)。
に係わる検査治具の製造方法の一実施例を示す工程構成
部分断面図を示す。まず、ポリイミドフィルム等からな
る絶縁基板11に銅箔等を積層し導体層12を形成し、
導体層12をパターニング処理して、絶縁基板11上に
配線層12aを形成する(図2(a)参照)。
定位置に、エキシマレーザー加工によりレーザー照射面
の開口径が大きいすり鉢状の貫通孔22を形成する(図
2(b)参照)。
絶縁シート21の開口径が大きい開口部を下にして絶縁
基板11及び配線層12a上に貼着する(図2(c)参
照)。
電解めっきを行い、貫通孔22に導体電極31を形成す
る(図2(d)参照)。導体電極31の材質としては、
銅及びニッケルを使用することができる。
導体電極31の先端部分を機械研磨し、先端部が平滑な
検査電極31aを形成する(図2(e)参照)。
り、絶縁基板11上に配線層12a及び検査電極31a
が形成された検査治具100を得ることができる(図2
(f)参照)。
らなる絶縁基板11に9μm厚の銅箔を積層して導体層
12を形成した片面銅貼り積層板を12.5cm角に断
裁して片面銅貼り積層板10を作製した。
化性の絶縁シート21の所定位置にエキシマレーザーを
用いて開口径40μmのすり鉢状の貫通孔22を形成し
た。エキシマレーザー加工は25mJ/cm2のレーザ
ービームを、5回スキャンで行った。
絶縁シート21の開口径が大きい開口部を下にして片面
銅貼り積層基板10の導体層12上にラミネートし、積
層した。ラミネート条件は温度100℃、圧力0.2M
Pa/cm、搬送速度1.0m/minで行った。
解銅めっきを行い、貫通孔22に導体電極31を形成し
た。電解銅めっき条件は2A/dm2、1.5時間で行
った。
導体電極31の先端部分を機械研磨し、先端部が平滑な
検査電極31aを形成した。
極31を覆い隠す程度の厚みで導体層上に厚膜用フォト
レジストをコートし、90℃、30分のプリベークを行
って45μm厚の感光層を形成し、露光、現像等の一連
のパターニング処理を行って、レジストパターン41を
形成した。露光条件は1500mJ/cm2、現像条件
は浸漬揺動法で30℃、7分行った。
て、導体層12を温度65℃、比重1.5の塩化第2鉄
液をスプレー圧0.3MPaにて30秒間スプレーエッ
チングを行って配線層12aを形成し、レジストパター
ン41を剥離することにより、絶縁基板11上に配線層
12a及び検査電極31aが形成された検査治具100
を得た。
ドフィルムからなる絶縁基板11に9μm厚の銅箔を積
層して導体層12を形成した片面銅貼り積層板を12.
5cm角に断裁して片面銅貼り積層板10を作製し、導
体層12上にフォトレジストをコートし、90℃、30
分間プリベークして8μm厚の感光層を形成し、露光、
現像等の一連のパターニング処理を行って、導体層12
上にレジストパターンを形成した。露光条件は150m
J/cm2、現像条件は浸漬揺動法で30℃、2分行っ
た。さらに、レジストパターンをマスクにして、導体層
12を温度65℃、比重1.5の塩化第2鉄液をスプレ
ー圧0.3MPaにて20秒間スプレーエッチングを行
い、配線層12aを形成し、レジストパターンを20
℃、5%NaOH水溶液にて剥離処理して、12.5c
m角の絶縁基板11上に配線層12aを形成した。
m厚の絶縁シート21にエキシマレーザーを用いて開口
径40μmのすり鉢状の貫通孔22を形成した。エキシ
マレーザー加工は25mJ/cm2のレーザービーム
を、5回スキャンで行った。
12.5cm角の絶縁シート21の開口径が大きい開口
部を下にして絶縁基板11及び配線層12a上にラミネ
ートし、積層した。ラミネート条件は温度100℃、圧
力0.2MPa/cm、搬送速度1.0m/minで行
った。
電解銅めっきを行い、貫通孔22に導体電極31を形成
した。電解銅めっき条件は2A/dm2、1.5時間で
行った。
導体電極31の先端部分を機械研磨し、先端部が平滑な
検査電極31aを形成した。
板11上に配線層12a及び検査電極31aが形成され
た検査治具100を得た。
を作製することにより、検査治具の作製工程が短縮さ
れ、検査治具のコスト削減を計ることができる。また、
本発明の方法で作製された検査治具は、配線層ごと脱落
することがなくなり、検査電極と配線層の密着強度もあ
がるため、検査時の過酷な条件に耐えられるようにな
る。
検査治具の製造方法の一実施例を示す工程構成部分断面
図である。
検査治具の製造方法の一実施例を示す工程構成部分断面
図である。
Claims (2)
- 【請求項1】以下の工程を少なくとも有することを特徴
とする検査治具の製造方法。 (a)絶縁基板に銅箔等を積層して導体層を形成した片
面銅貼り積層基板を形成する工程。 (b)接着性を有する絶縁シートにレーザー加工により
照射面側の開口径が大きいすり鉢状の貫通孔を形成する
工程。 (c)前記貫通孔の開口径が大きい開口部を下にして前
記絶縁シートを前記片面銅貼り積層基板の導体層上に貼
着する工程。 (d)前記貫通孔内に電解めっきをして導体電極を形成
する工程。 (e)前記導体電極の先端部分を研磨し、先端部が平坦
な検査電極を形成し、前記絶縁シートを剥離する工程。 (f)前記導体層及び前記導体電極上に感光性レジスト
を塗布し、感光層を形成し、パターニング処理してレジ
ストパターンを形成する工程。 (g)レジストパターンをマスクにして前記導体層をエ
ッチングし、前記レジストパターンを剥離して配線層を
形成し、絶縁基板上に配線層及び検査電極が形成された
検査治具を作製する工程。 - 【請求項2】以下の工程を少なくとも有することを特徴
とする検査治具の製造方法。 (a)絶縁基板上に形成された導体層をパターニング処
理し、配線層を形成する工程。 (b)接着性を有する絶縁シートにレーザー加工により
照射面側の開口径が大きいすり鉢状の貫通孔を形成する
工程。 (c)前記貫通孔の開口径が大きい開口部を下にして前
記絶縁シートを前記絶縁基板及び前記配線層に接するよ
うに貼着する工程。 (d)前記貫通孔内に電解めっきをして導体電極を形成
する工程。 (e)導体電極の先端部分を研磨し、先端部が平坦な検
査電極を形成する工程。 (f)前記絶縁シートを剥離し、絶縁基板上に配線層及
び検査電極が形成された検査治具を作製する工程。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001029236A JP4449228B2 (ja) | 2001-02-06 | 2001-02-06 | 検査治具の製造方法 |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2002228710A true JP2002228710A (ja) | 2002-08-14 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006093261A (ja) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Toray Ind Inc | キャパシタ内蔵型実装基板およびその製造方法 |
JP2011501185A (ja) * | 2007-10-22 | 2011-01-06 | パイコム コーポレイション | 電気検査装置の製造方法 |
JP2016180749A (ja) * | 2015-02-26 | 2016-10-13 | スター テクノロジーズ インコーポレイテッドStar Technologies Inc. | 検査アセンブリおよびその製造方法 |
-
2001
- 2001-02-06 JP JP2001029236A patent/JP4449228B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2006093261A (ja) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Toray Ind Inc | キャパシタ内蔵型実装基板およびその製造方法 |
JP2011501185A (ja) * | 2007-10-22 | 2011-01-06 | パイコム コーポレイション | 電気検査装置の製造方法 |
JP2016180749A (ja) * | 2015-02-26 | 2016-10-13 | スター テクノロジーズ インコーポレイテッドStar Technologies Inc. | 検査アセンブリおよびその製造方法 |
US10088502B2 (en) | 2015-02-26 | 2018-10-02 | Star Technologies, Inc. | Test assembly and method of manufacturing the same |
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---|---|
JP4449228B2 (ja) | 2010-04-14 |
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