JP2000338049A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4529108B2 (ja) * 2000-12-25 2010-08-25 株式会社ニコン 欠陥検査装置
JP4635939B2 (ja) * 2006-03-30 2011-02-23 株式会社ニコン 表面検査装置
JP2009097988A (ja) * 2007-10-17 2009-05-07 Nikon Corp 表面検査装置
JP2010019639A (ja) * 2008-07-09 2010-01-28 Lasertec Corp ムラ検出装置及びパターン検査装置
JP2012189544A (ja) * 2011-03-14 2012-10-04 Toray Eng Co Ltd 膜厚むら検査装置及び方法
CN112309885A (zh) * 2020-11-11 2021-02-02 西安奕斯伟硅片技术有限公司 一种用于目视检测硅片的装置、设备及方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04165641A (ja) * 1990-10-30 1992-06-11 Nec Corp ウェーハ外観検査装置
JP3744966B2 (ja) * 1994-10-07 2006-02-15 株式会社ルネサステクノロジ 半導体基板の製造方法
JPH08254464A (ja) * 1995-03-15 1996-10-01 Yokogawa Electric Corp 分光装置
JP3668294B2 (ja) * 1995-08-22 2005-07-06 オリンパス株式会社 表面欠陥検査装置
JP3692685B2 (ja) * 1997-02-19 2005-09-07 株式会社ニコン 欠陥検査装置
JP3982014B2 (ja) * 1997-07-10 2007-09-26 株式会社ニコン 面検査装置及び方法

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