JP2008164387A - 光学検査方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被検体に検査光を照射し、被検体を透過した検査光もしくは被検体に反射された検査光を投射面に投射し、投射面上の光強度分布により被検体における欠陥を検査する装置であって、検査光としてレーザ光を用い、レーザ光を微小な光放射面から放射させ、光拡散部材によりコヒーレント性を低減させ、光拡散部材をレーザ光に対して変位させることにより、投射面におけるスペックルノイズを解消させる。
【選択図】図1
Description
投射面上の光強度分布は、欠陥による検査光の散乱や屈折、遮蔽に応じたものであるので、この光強度分布から被検体における欠陥を知ることができる。
一般の光学検査装置において投射面に投射されるのは、言ってみれば「被検体の影絵」である。影絵を生成する場合、検査光が放射される光源の大きさが大きいと所謂「半影」により影のパターンの周辺部がぼやけて検査精度が劣化し、欠陥が小さい場合には、欠陥の存在を検出できなくなる。
「光源手段」は、検査光を放射する手段である。
「投射面手段」は、被検体を透過した検査光もしくは被検体に反射された検査光を投射される投射面を有する。
「光源部」は、微小な光放射部から発散性のレーザ光を放射させる。
「光拡散部材」は、光源部の微小な光放射部に近接もしくは合致して配置され、光放射部から放射される発散性のレーザ光束を透過させ、レーザ光束のコヒーレント性を低減させて検査光とするとともに、微小な光放射部から放射される発散性のレーザ光束の主光線に直交する面内で、レーザ光束に対して変位する。
請求項1記載の光学検査装置において、光源手段における光源としては、半導体レーザ、ファイバレーザ、ガスレーザ、固体レーザの何れかの「レーザ光源」を用いることができる(請求項2)。
拡散手段を介した検査光は発散性であるので、正のパワーを持つレンズ系を介して被検体に照射するようにすると、被検体に照射される検査光の発散性が抑制され、被検体に利用効率よく照射することができる。また、負のパワーを持つレンズ系を介して被検体に照射するようにすると、検査光の発散性が強くなるので、比較的大きな被検体を拡散手段の近傍に配置しても、被検体の被検査領域を良好に照射できる。
即ち、光拡散部材による拡散は、光拡散部材の位置(レーザ光を透過させる位置)ごとに全くランダムであるので、光拡散部材をレーザ光束に対して変位させると、投射面上に現れるスペックルノイズのパターンは、光拡散部材の変位に応じて変化するので、目視で観察を行う場合であれば「スペックルノイズの変化が視認できないような速さ」となるように光拡散部材を変位させればよく、撮像素子を用いる場合であれば、撮像素子における露光時間で露光されないような速さで「スペックルノイズの変化」を生じるように光拡散部材を変位させればよい。
このようにして「投射面におけるスペックルノイズ」は、光拡散部材により「半影による検査精度の低下が許容される程度」にコヒーレント性を低下させ、残存するスペックルノイズを光拡散部材の変位により解消するのである。
図1は光学検査装置の実施の1形態を説明図的に示している。
この光学検査装置は、光学レンズを被検体として、その欠陥であるレンズ面のキズ、異物付着、成形時のヒケ、ウェルドライン、面われ等を目視で検査する装置である。
即ち、光源部は、図示されていない複数の半導体レーザと、これら複数の半導体レーザからのレーザ光を合成して、光ファイバ10の入射端に入射させて光ファイバ10にカップリングするカップリング手段と光ファイバ10とを有している。光ファイバ10は適宜の長さを有し、その可撓性により自在に曲げられるので、上記半導体レーザやカップリング手段の側を適宜の位置に配置することができる。カップリング手段としては、公知の適宜のものを用いることができる。
例えば、被検レンズObの表面にキズや異物の付着などの欠陥があると、この欠陥部分では検査光が散乱されるので、スクリーン20上の光強度分布では、欠陥に対応する部分の光強度が図示の如くに小さくなるので、このような部分を目視で観察することにより、欠陥の有無を容易に判別することができる。
投射面手段はスクリーン20である(請求項8)。
レーザ光源としては発光波長:405nmの半導体レーザを8個用い、これらの半導体レーザからのレーザ光をカップリング手段により1本の光ファイバ10にカップリングさせた。光ファイバ10はファイバコア径:φ=100μmのものである。従って、微小な光放射部は直径:100μmの円形状であり極めて小さい。
10 光ファイバ
12 光拡散部材
14 モータ(変位手段)
Claims (11)
- 被検体に検査光を照射し、上記被検体を透過した検査光もしくは上記被検体に反射された検査光を投射面に投射し、上記投射面上の光強度分布により上記被検体における欠陥を検査する装置であって、
被検体を検査態位に保持する被検体保持手段と、
検査光を放射する光源手段と、
上記被検体を透過した検査光もしくは上記被検体に反射された検査光を投射される投射面を有する投射面手段とを有し、
上記光源手段は、微小な光放射部から発散性のレーザ光を放射させる光源部と、上記光放射部に近接もしくは合致して配置され、上記光放射部から放射される発散性のレーザ光束を透過させ、上記レーザ光束のコヒーレント性を低減させて検査光とするとともに、上記レーザ光線の主光線に直交する面内で上記レーザ光束に対して変位する光拡散部材と、この光拡散部材を変位させる変位手段とを少なくとも有し、
上記変位手段は、上記投射面におけるスペックルノイズを解消させるように、上記光拡散部材の上記レーザ光束に対する変位を行うことを特徴とする光学検査装置。 - 請求項1記載の光学検査装置において、
光源手段における光源として半導体レーザ、ファイバレーザ、ガスレーザ、固体レーザの何れかのレーザ光源が用いられることを特徴とする光学検査装置。 - 請求項2記載の光学検査装置において、
1以上のレーザ光源からのレーザ光を、1本の光ファイバにカップリングして上記光ファイバの射出端から射出させるようにしたファイバ出力型レーザを光源部として用い、上記光ファイバの射出端が微小な光放射部であることを特徴とする光学検査装置。 - 請求項2記載の光学検査装置において、
レーザ光源からのレーザ光をレンズ系により集光させ、集光部が微小な光放射部となるようにしたことを特徴とする光学検査装置。 - 請求項1〜4の任意の1に記載の光学検査装置において、
フロスト型拡散板、オパールガラス、回折光学素子、ホログラム素子の何れかを光拡散部材とし、この光拡散部材を変位手段により回転的もしくは併進的に変位させることを特徴とする光学検査装置。 - 請求項1〜5の任意の1に記載の光学検査装置において、
光拡散部材からの検査光が、レンズ系を介して被検体に照射されることを特徴とする光学検査装置。 - 請求項6記載の光学検査装置において、
光拡散部材からの検査光が、レンズ系とアパーチャとを介して被検体に照射されることを特徴とする光学検査装置。 - 請求項1〜7の任意の1に記載の光学検査装置において、
投射面手段がスクリーンであることを特徴とする光学検査装置。 - 請求項1〜7の任意の1に記載の光学検査装置において、
投射面手段が、投射面を受光面とする撮像素子であり、被検体を透過した検査光もしくは上記被検体に反射された検査光が集光光学系を介して上記受光面に照射されることを特徴とする光学検査装置。 - 請求項8記載の光学検査装置において、
投射面手段であるスクリーン上の光強度分布を撮像する外部カメラを有することを特徴とする光学検査装置。 - 被検体に検査光を照射し、上記被検体を透過した検査光もしくは上記被検体に反射された検査光を投射面に投射し、上記投射面上の光強度分布により上記被検体における欠陥を検査する方法であって、
請求項1〜10の任意の1に記載の光学検査装置を用いて実施することを特徴とする光学検査方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102589682A (zh) * | 2012-01-18 | 2012-07-18 | 深圳市聚飞光电股份有限公司 | 白光led测量系统及方法 |
KR20140092524A (ko) * | 2013-01-15 | 2014-07-24 | 한양대학교 산학협력단 | 레이저 프로젝터 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109814270A (zh) * | 2019-03-25 | 2019-05-28 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 激光器输出光空间相干性抑制装置 |
Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6153511A (ja) * | 1984-08-23 | 1986-03-17 | Tokyo Optical Co Ltd | 欠陥検査装置 |
JPS63128240A (ja) * | 1986-11-18 | 1988-05-31 | Asahi Eng Kk | 反射光式傷検出装置 |
JPS63275937A (ja) * | 1987-05-07 | 1988-11-14 | Fujitsu Ltd | 光学式形状検査装置 |
JPH05322783A (ja) * | 1992-05-25 | 1993-12-07 | Olympus Optical Co Ltd | 基板観察装置 |
JPH06258058A (ja) * | 1993-03-10 | 1994-09-16 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 研磨ガラスの研磨品質評価方法および装置 |
JPH07181137A (ja) * | 1993-12-24 | 1995-07-21 | Toshiba Glass Co Ltd | ガラスの脈理検査装置 |
JPH1078668A (ja) * | 1996-09-04 | 1998-03-24 | Toshiba Corp | 検査装置 |
JPH11337831A (ja) * | 1998-05-21 | 1999-12-10 | Nikon Corp | レーザ顕微鏡 |
JP2000019120A (ja) * | 1998-06-30 | 2000-01-21 | Central Glass Co Ltd | 透明板状体の欠点検出方法およびその装置 |
JP2000275182A (ja) * | 1999-03-23 | 2000-10-06 | Sony Corp | 円盤状記録媒体の検査装置及び検査方法 |
JP2001100104A (ja) * | 1999-09-28 | 2001-04-13 | Toshiba Corp | 均一照明光学ユニット、均一照明光学系、パターン検査装置及び顕微鏡 |
JP2001296570A (ja) * | 2000-02-09 | 2001-10-26 | Hitachi Ltd | 紫外レーザ光発生装置並びに欠陥検査装置およびその方法 |
JP2002162655A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-06-07 | Sony Corp | 光学装置 |
JP2003014578A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-15 | Canon Inc | レンズ検査装置 |
JP2004138603A (ja) * | 2002-09-24 | 2004-05-13 | Topcon Corp | レーザ光源装置及びこれを用いた表面検査装置 |
JP2005241692A (ja) * | 2004-02-24 | 2005-09-08 | Nano Photon Kk | 光学装置、撮像装置及び検査装置 |
JP2005331371A (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-02 | Nikon Corp | 照明補助装置及びこの照明補助装置を用いた検査装置 |
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Patent Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6153511A (ja) * | 1984-08-23 | 1986-03-17 | Tokyo Optical Co Ltd | 欠陥検査装置 |
JPS63128240A (ja) * | 1986-11-18 | 1988-05-31 | Asahi Eng Kk | 反射光式傷検出装置 |
JPS63275937A (ja) * | 1987-05-07 | 1988-11-14 | Fujitsu Ltd | 光学式形状検査装置 |
JPH05322783A (ja) * | 1992-05-25 | 1993-12-07 | Olympus Optical Co Ltd | 基板観察装置 |
JPH06258058A (ja) * | 1993-03-10 | 1994-09-16 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 研磨ガラスの研磨品質評価方法および装置 |
JPH07181137A (ja) * | 1993-12-24 | 1995-07-21 | Toshiba Glass Co Ltd | ガラスの脈理検査装置 |
JPH1078668A (ja) * | 1996-09-04 | 1998-03-24 | Toshiba Corp | 検査装置 |
JPH11337831A (ja) * | 1998-05-21 | 1999-12-10 | Nikon Corp | レーザ顕微鏡 |
JP2000019120A (ja) * | 1998-06-30 | 2000-01-21 | Central Glass Co Ltd | 透明板状体の欠点検出方法およびその装置 |
JP2000275182A (ja) * | 1999-03-23 | 2000-10-06 | Sony Corp | 円盤状記録媒体の検査装置及び検査方法 |
JP2001100104A (ja) * | 1999-09-28 | 2001-04-13 | Toshiba Corp | 均一照明光学ユニット、均一照明光学系、パターン検査装置及び顕微鏡 |
JP2001296570A (ja) * | 2000-02-09 | 2001-10-26 | Hitachi Ltd | 紫外レーザ光発生装置並びに欠陥検査装置およびその方法 |
JP2002162655A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-06-07 | Sony Corp | 光学装置 |
JP2003014578A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-15 | Canon Inc | レンズ検査装置 |
JP2004138603A (ja) * | 2002-09-24 | 2004-05-13 | Topcon Corp | レーザ光源装置及びこれを用いた表面検査装置 |
JP2005241692A (ja) * | 2004-02-24 | 2005-09-08 | Nano Photon Kk | 光学装置、撮像装置及び検査装置 |
JP2005331371A (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-02 | Nikon Corp | 照明補助装置及びこの照明補助装置を用いた検査装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102589682A (zh) * | 2012-01-18 | 2012-07-18 | 深圳市聚飞光电股份有限公司 | 白光led测量系统及方法 |
KR20140092524A (ko) * | 2013-01-15 | 2014-07-24 | 한양대학교 산학협력단 | 레이저 프로젝터 |
WO2014112753A1 (ko) * | 2013-01-15 | 2014-07-24 | 한양대학교 산학협력단 | 레이저 프로젝터 |
KR101583113B1 (ko) * | 2013-01-15 | 2016-01-19 | 한양대학교 산학협력단 | 레이저 프로젝터 |
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