JPS6153511A - 欠陥検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 アに１ヒの利用−ター野− この二つの発明は、例えば測角用ロータリエンコーダの
主目盛板等の徴用目盛を有する被検物体に生じた欠陥を
検出するための欠陥検査装置に関するものである。

従】４月４ 近年、被検物体の微細目盛即ち規則的に配列された規則
パターンの欠陥を探すのに、目視検査に替って、コヒー
レント光と空間周波数フィルタとを用いて、規則パター
ンの周期情報と欠陥による非周期情報とを分難して欠陥
位置、大きさ等を検出表示する欠陥検査装置が開発され
ている。

従来、この種の装置として規則パターンのフーリエ変換
像が格子状に規則的に分布する性質を利用して、格子状
に分布する光不透過領域を有する空間周波数フィルタを
用いて、規則パターンの周期情報を遮断し、空間周波数
フィルタの透視部分から非周期的な欠陥情報を検出する
ものがある。

この種の装置には、第１３図に示すような透過型の欠陥
検査装置がある。

この欠陥検査装置はレーザ光源１から射出されたコヒー
レントな光をビームエキスパンダ２で平行な光にかえ、
平行光で被検物体の規則パターン３を透過照明し、規則
パターン３で回折した光を対物レンズ４で結像させ、対
物レンズ４の焦点位置に配置させられた空間周波数フィ
ルタ５によって周期情報と非周期情報とを分離するよう
にしたものである。空間周波数フィルタ５によって分離
されたノ１ミ周期情報、即ち、欠陥情報は、接眼レンズ
６、リレーレンズ７、ＴＶ撮像管８及びＴＶモニタ９か
らなる観察装置１０によって１ｉ３１察される。

ところで、被検物体の規則パターンには透過照明できな
いものもあり、透過型の欠陥検査装置ではそのような被
検物体の規則パターンに生じた欠陥を検出することがで
きない。そこで、被検物体の規則パターンに落射照明を
行なって規則パターンから回折した光を得るようにした
第１４図に示すような反射型の欠陥検査装置がある。

この欠陥検査装置はレーザ光源１１から射出されたコヒ
ーレント光を照明レンズ１２で平行な光にかえ、Ｎ１７
行光を規則パターン１４と対物レンズ１５との間に斜設
された斜設ハーフミラ−１３で反射させて被検物体の規
則パターン１４を落射照明し、規則パターン１４に反射
して回折した光を斜設ハーフミラ−１３を通過させて対
物レンズ１５で結像させ、対物レンズ１５の焦点位置に
配置させられた空間周波数フィルタ１６によって周期情
報と非周期情報とを分離するようにしたものである。１
０は観察装置で前述と同様に接眼レンズ６、結像レンズ
７、ＴＶカメラ８及びＴＶモニタ９からなる。

ところが、このような従来の反射型の欠陥検査装置にあ
っては、規則パターン１４と対物レンズ１５との間に斜
設ハーフミラ−１３を配置させるようになっていたため
、対物レンズ１５の作動距離ｗｏを大きくとる必要があ
り、；ｖｉ置の大型化を招く虞がある。

そこで、この対策として特願昭５８−２４４２８８号に
記載されたもののように、レーザ光源に接続された光フ
ァイバの射出端部を空間周波数フィルタ上に配設するこ
とにより、この射出端部から射出されたコヒーレント光
を対物レンズにて平行光として被検物体上に照射するよ
うにして、大きな配設スペースを必要とする斜設ハーフ
ミラ−１３を廃止し、小型化を可能としたものが提案さ
れている。

ところで、近年光学機器に組み込まれる光学目盛の微細
化が急速に進んできており、例えば、ｄｌす信用ロータ
リエンコーダの目盛板の規則パターンは高分解能、小型
化の要請により微細化の方向にあり、ａｌｌＩ量機用分
度目盛では線巾が２μｍ１以下のものがあり、半導体の
分野でもマスターパターン。

ＩＣウェハ」二の規則パターンは微細化の一途にある。

このような種々ま微細化された規則パターンはわずかな
欠陥でも致命傷になりかねないことから欠陥検査装置は
製造メーカにとって必要不可欠なものとなっており、し
かも検出される欠陥サイズが非常に小さいので、高倍率
の欠陥検査装置が今Ｉヨでは要求されている。

しかし、このように要望に対して前記の装置にあっては
、対物レンズを高倍率化する必要があり、この場合には
、被検物体からの反射回折光が結像される焦点位置が対
物レンズ（レンズ群から構成されている。）の内部に位
置することがあるため、光ファイバの射出端部を空間周
波数フィルタ上に置設するのが難しく、前記要望を満足
させることができなかった。

また、上記の要望である高倍率を可能としたものとして
、特願昭５８−２１Ｉ４２８！Ｊ号に記載されたものの
ように、リレーレンズを用いて対物レンズで結像された
回折光を空間周波数フィルタ上に再結像させるようにし
ているものもある。

しかし、このような装置にあっては、リレーレンズの配
設スペースが必要となり、高倍率は可能となっても小型
化には適さないという問題がある。

見」が解決しようとする間％　、張 以上のように、従来の装置にあっては、高倍率および小
型化を可能としたものは見受けられなかった・ 間　点を″、するための毛皮 かかる間顕点を解決するため第１の発明は、レーザ光源
と接続された光ファイバの射出端部から射出されたコヒ
ーシンｌ−光を規則パターンを有する被検物体に照射し
、該被検物体からの反射回折光を対物レンズ系で、該対
物レンズ系内部にある焦点位置に配置された空間周波数
フィルタ上に結像させ、該空間周波数フィルタで周期情
ｍと前記被検物体の欠陥部からの非周期情報とを分離し
て、該非周期情報を観察装置で観察して前記被検物体」
：の欠陥を検査する欠陥検査装置であって、前記対物レ
ンズ系に、該対物レンズ系光軸」ユで、前記観察装置側
の面から前記空間周波数フィルタ上まで挿通孔を設け、
該挿通孔に前記光ファイバを挿通して、前記光ファイバ
射出端部を前記空間周波数フィルタ上に配置した欠陥検
査装置としたことを特徴としている。

また、第２の発明は、光射出体から射出されたコヒーレ
ントへ光を規則パターンを有する被検物体に照・射し、
該被検物体からの反射回折光を対物レンズ系で、該対、
物レンズ系内部にある焦点位置に配置された空間周波数
フィルタ上に結像させ、該空間周波数フィルタで周期情
報と前記被検物体の欠陥部からの非周期情報とを分離し
て、該非周期情報を観察装置で観察して前記被検物体１
−の欠陥　　　　　　ｌ□を検査する欠陥検査装置であ
って、前記対物レンズ系光軸と直交する方向で、前記空
間周波数フィルタ上に沿ってコヒーレン１へ光が進むよ
うに前記光射出体を配設すると共に、該コヒーレント光
を前記被検物体方向へ反射する微少反射部材を前記空間
周波数フィルタ上に配設した欠陥検査装にとしたことを
特徴としている。

第１の発明の二・流側 以下、第１の発明を各実施例に基ついて説明する。

第１図ないし第７図はこの第１発明の第１実施例を示す
図である。

まず構成を説明すると、図中符号２１はこの発明の欠陥
検査装置によって検査される被検物体で、この被検物体
２１には微、ｔ、ＩＩＩ化された規則パターン２２が形
成されている。

符号２３は、第１対物レンズ２７Ｉおよび第２対物レン
ズ２５からなる高倍率の対物レンズ系で、被検物体２１
からの反射回折光を結像させるようになっている。この
結像位置つまり第１対物レンズ２４の焦点位置には、空
間周波数フィルタ２Ｇが配設されている。この空間周波
数フィルタ２６は、規則パターン２２からの周期情報と
非周期情報（欠陥情報）とを分離するようになっている
。

一方、レーザ光源２７の射出側には、シャッタ２８並び
に集光レンズ２９が順次配設され、集光レンズ２９の焦
点位「ｔには光ファイバ３０の入射端部３０ａの端面が
臨まされている。この光ファイバ３０は、開口数（Ｎ＾
）が大きく、伝送損失の少ないものが使用されている。

この光ファイバ３０は、対物レンズ系２３の光：＋ｎｈ
　ＯＪ−で、後述する観察装は３１側の第２対物レンズ
２５に穿設された挿通孔２５ａに挿）ｍされた後、この
光ファイバ３０の射出端部３０ｂがその端面を第１対物
レンズ２４側に向けて空間周波数フィルタ２６」二に配
設されている。

ＮＪＪ察装置３１は、欠陥情報を観察するもので、光軸
Ｏ上に配設されたＴＶ撮像管３２とこの撮ｍｔ管３２に
接続されたＴＶモニタ３３とから構成されている。

さらに、目視観察用として、タングステン電球からなる
照明用光源３４並びに、この光源３・１の射出側にシャ
ッタ３５、照明レンズ３６およびハーフミラ−３７が設
けられている。

次にかかる構成よりなる欠陥検査装置の作用について説
明する。

レーザ光源２７から射出されたコヒーレント光であるレ
ーザ光は、開成されたシャッタ２８を通過して集光レン
ズ２９で集光されて光ファイバ３０の入射端部３０ａの
端面から入射して、この光ファイバ３０を伝搬した後、
空間周波数フィルタ２６上の射出端部３０ｂの端面から
第２対物レンズ２５に向けて射出される。この際、射出
端部２０ｂ端面から射出したレーザ光は、光ファイバ３
０の開口数（ＮＡ）に対応して広がり、第２対物レンズ
２５により平行光とされて被検物体２１に照射される。

この被検物体２１に平行光が入射されると１回折現象を
起こし、第２図のように規則パターン２２で反射された
回折光は第２対物レンズ２５によって回折像として結像
される。

このとき、規則パターン２２が第２図に示すようなパタ
ーンであるとすると、第１対物レンズ２４による回折像
■１は第２図に示す如く、規則的に一列に並ぶ。空間周
波数フィルタ２６は第１対物レンズ２４の焦点位置に配
置されているので、−列に規則的に、Ｉｆｔ、Ｓ・回折
（’ｌ＋　ｌ　１即ちフーリエ変換像は光不透過領域を
有する空間周波数フィルタ２６によって遮断され、第２
対物レンス２５、ＴＶ撮像管３２の方へいくことはイＣ
い。

また、規則パターン２２に欠陥部分がある場合には、規
則パターン２２で反射し、第１対物レンズ２４によって
結像された回折像は空間周波数フィルタ２６に規則パタ
ーン２２のような一直線に並ばず不規則にその周囲に出
る、即ち規則パターン２２の欠陥部分からは方向性を持
たない回折光が発せら汎るため、フーリエ変換像も複雑
になって空間周波数フィルタ２Ｇの空間周波数面内に敗
らばる。従って。

欠陥のない規則パターン２２によるフーリエ変換像は空
間周波数フィルタ２６によって遮断され、その空間周波
数フィルタ２Ｇから漏れた欠陥部分の光のみが透過する
。そこで、この欠陥部分の光（欠陥情報）のみがＴＶ撮
４１ｈ管３２に第２対物レンス２５によって欠陥部分の
回折（ｇ口２として結像さ扛、Ｔ　Ｖ　ｊＱ像骨管３２
接続されたＴＶモニタ３３により、欠陥部分の回折碌１
　：、！を画面で観察することができる。

このように空間周波数フィルタ２６を高倍率の対物レン
ズ系２３内部つまり第１対物レンズ２４と対物レンズ２
５との間に配設すると共に、光ファイバ３０を第２対物
レンズ２５の挿通孔２５ａに通してその射出端部３０ｂ
を空間周波数フィルタ２６上に配設しているため、従来
のようなリレーレンズを設ける必要がなく、作動距離１
ｊＤが小さい高倍率の対物レンズ系２３を使用すること
ができる。その結果、欠陥検査装置の高倍率化および小
型化が可能となる。

ちなみに、第２対物レンズ２５に挿通孔２５ａを設けず
に、この第２対物レンス２５と空間周波数フィルタ２６
の間から光ファイバ３０を通して、空間周波数フィルタ
２６上に射出端部；３０ｂを配設しようどすると、光フ
ァイバ３０はフレキシブルではあるが、第２対物レンズ
２５と空間周波数フィルタ２６との間が微少間隙であり
、射出端部３０ｂの端面を第１対物レンズ２４側へ向け
るには急激な曲げを必要とするために難しい。

また、光ファイバ３０を使用することによって従来の斜
設ハーフミラ−１３を用いるものに比べて光工不ルキ伝
達効率が良好となり、光路がフレキシブルとなることか
ら、レーザ光源２７及び集光レンズ２９の設置場所が限
定されることがない。更に、光ファイバ３０はファイバ
コア径の小さなものヲ使用することにより、光源は点光
源に近つき、第１対物レンズ２５を通して良好な平行光
を１１？ることかできる。

一方、規則パターン２２を［１視観察したい１！′ｊ合
には、レーザ光源２７から射出したレーザ光をシャッタ
２Ｂで遮光し、照明用光源３・１側のシャッタ３５を開
いて、照明用光ｉＪ！：ｌ　３　・Ｉから射出した光で
、規則パターン２２を照明する。即ち、照明用光源３１
１から射出した照明光は、照明レンズ３６で集光された
後、ハーフミラ−３７で反射され、空間周波数フィルタ
２Ｇを透過して対物レンズ系２３により規則パターン２
２で焦点を結び照明する。規則パターン２２によって反
ｆ１４　した光は再び対物レンズ系２３によって集光さ
れて、今度はハーフミラ−３７を透過する。そして、ハ
ーフミラ−３７を透過した光はＴＶ撮像管３２に結像さ
れ、　ＴＶモニタ３３によって、規則パターン２２の像
を画面で目視観察することかできる。

このような欠陥検査装置には、さらに第３図に示すよう
な欠陥判別回路３８か具備されている。

すなわち、ＴＶ撮像管３２に結像された規則パターン２
２の欠陥部の回折＆はカメラコントロールユニッ１−（
以下ＣＣＵという）３９を介したＴＶモニタ３３でｆｌ
’ｌ　？、１することができる。第４図はその回折像を
示している。また、ＣＣＵ３９から回折像のビデオ信号
を取り出すことができ、第５図はそのビデオ信号を示し
ている。第４図で略円形の部分が規則パターン２２の欠
陥部分である。第５［２１で波形が立ち上がっている部
分が欠陥部の回折像の位置と輝度に対応して得られるピ
ーク電圧である。従って、欠陥部分の大小に応じたピー
ク電圧をあるレベル以」二とレベル以下とに分けろこと
によって欠陥のレベル分けが可能となる。

欠陥のレベル分けは次のようにして行なわれる。

まず、処理制御装置４０はステージコンＩ・ローラ４１
を駆動させてステージＩＩ　２　Ｊ二に配設された被検
物体２１（例えば測角用ロータリエンコーダの目盛板）
をスライドおよびＦｊ１転させて、適当な位置に設定す
る。

次に、被検物体２１が適当位置に設定されると、処理制
御装置４０からの測定スタート伯号によりＴＶ撮像管３
２が作動させられて適当位置に設定された被検物体２１
における規則パターン２２の欠陥の有無を検出する。即
ち、ＴＶ撮像管３２に規則パターン２２の欠陥部の回折
像を結像させ、その回折像をＣＣｌｌ３９でビデオ信号
に変換し、ＣＣＵ３９から送られてきたビデオ信号を受
けとったコンパレータ１３でビデオ信号におけるピーク
電圧が予め定めたレベル以Ｌ（欠陥像あり）か、又はレ
ベル以下（欠陥部なし）かを比ｉ絞させて欠陥の有無を
検出する。ぞして、コンパレータ４３からの出力を次段
の欠陥用メモリ１１１１に記ｔＱさせる。

このようにして、適当位置に設定された披演物体２■に
おける規則パターン２２の欠陥の有−１１−が検出さ、
１シたら、再び処理制御装置・１０がステージコン１−
　　　　　　・ｊローラ１１１を駆動させて、ステージ
４２上の被検物体２１を所定角度回転させ、被検物体２
１における次のエリアの規則パターン２２の欠陥の有無
を前述と同様にして検出し、コンパレータ４３からの出
力を対応する欠陥用メモリｌ＋４に記ｔαさせる。

こうして欠陥の有無を被検物体２１の全周にわたって行
ない、それぞ九のエリアに対応した規則パターン２２の
欠陥情報を欠陥用メモリ４４の対応番地に記憶させる。

次に、処理制御装置４０は欠陥用メモリ・１４からの情
報を読み取り、被検物体２１の欠陥があったエリアを探
し出し、そのエリアにおける規則パターン２２の欠陥の
位置、大きさ、形を判定し、陰極線管・１５上に画像表
示させる。このとき、そのデータをプリンタ４６によっ
て印刷することもできる。これど共に、処理制御装置４
０はステージコントローラ４１をＷ、動させて欠陥のあ
ったエリアカ茸ν撮像管３２に結像されるように被検物
体２１を回転させる。

被検物体２１が所定の位置まで回転したら、シャッタコ
ントローラ５２を駆動さけ−で、今まで開いていたレー
ザ光源２７側のシャッタ２８を閉じてレーザ光を遮光し
、照明用光源３４側のシャッタ３５を問いて照明用先ｉ
ｏ；（３４から射出した光で被検物体２（を照明する。

即ち、照明用光源３４の照明光は、照明レンズ；ｌＧで
４１４光された後、ハーフミラ−３７で反射され、空間
周波数フィルタ２６を透過して第１対物レンズ２４によ
り被検物体２１で焦点を結びこれを照明する。被検物体
２１で反射した光は再び対物レンズ系２；３によって集
光されて今度はハーフミラ−３７を透過する。そして、
ハーフミラ−３７を透過し、た光は’ｌ’　Ｖ　ＲＪ　
（！ｆｔ管３２ニ結Ｃ（ｉｔされ、ＣＣＵ３９を介した
Ｔνモニタ；１３によって被検物体２１の（ｆｆ＋を画
面で目視＆Ｊ！　Ｅｌする。

また、図中符号４７はスペックルノイズ低減装置で、レ
ーザ光源２７から射出されたレーザ光が光ファイバ３０
を伝搬するときにレーザ光に発生するスベーソクルノイ
ズを低減させ、被検物体２１に照射さ戟る光の強度ムラ
をなくすようにした装置である。

この３・！ｊ　ｌ？、７　ＩＩ　７として、例えば第６
図または第７図に示すようなものがある。

第（５図に示すスペックルノイズ低減装置４７は、高周
波発振器・１８によって光ファイバ３０を振動させ、ス
ベノクルノイスを低減化させるものである。また、第７
図に示すスペックルノイズ低）威装置４７はモータ４９
によって回転させられる拡散板５０をレーザ光源２７と
集光レンズ２９との間に介装させ、回転する拡散板５０
によってスペノクルノイスを低；酸化させるようになっ
ている。

さらに、第８図はこの発明の第１実施例に用いられてい
る空間周波数フィルタ２Ｇの変形例を示す。

第１実施例の空間周波数フィルタ２６は第２図に示すよ
うに、ある巾をもった一直線状のものが用いられている
が、被検物体２Ｉの規則パターン２２が直角方向に設け
られているものもあるので、その規則パターン２２で反
射した回折光も直角方向に並ぶことになる。従って、こ
れを遮断するには空間周波数フィルタ２６を９０°回転
させなければならない。そこで、予め十字型の空間周波
数フィルタ５１を作っておけば、規則パターン２２の方
向が９０°回転したものであっても、空間周波数フィル
タ５１を回転させなくても済むことになる。このために
、第８図に示すような十字型をした空間周波数フィルタ
１）１か２」物レンス系２３の焦点位１１：ｉに配設さ
れている。

ところで、空間周波数フィルタ２６と光ファイバ旧出端
部：３０Ｌ＋とは、第１対物レンズ２１１の焦点位置に
１１シけなけれはならない。しかし、第１対物レンス２
４の焦点位置が第２対物レンズ２５の中にある場合、こ
の実施例においては、空間周波数フィルタ２６Ｍ・を第
２対物レンズ２５中に配設することはてきず、第２対物
レンズ２５の外側つまり焦点位置より多少すれた位置に
配設されることとなる。たか、空間周波数フィルタ２Ｇ
および光ファイバ射出端部３０ｂの、光軸０方向のわず
かのズレは、ごくわずかの像のボケおよび光量の減少を
生じるたけて、実用上殆ど影響はない。従って、空間周
波数フィルタ２Ｇよｉよび光ファイバ！）Ｉ小端部３０
ｂを設ける位置は必ずしも厳密でなく、ある程度のズレ
は許容さＪＬろこととなる。

第９図および第１Ｏ図には、第１発明の第２実施１列を
示す。

この実施例は、対物レンズ系５３の焦点位置、つまり第
１対物レンズ５７Ｉの焦点位置が０「述のように第２対
物レンズ５５中にあるものについて適用されたものであ
る。すなわち、対物レンス系５３の第２対物レンズ５５
は、上側レンズ部５５ａと下側レンズ部５５ｂとに２分
割されており、これらの間に空間周波数フィルタ５Ｇが
蒸着されている。また、上側レンズ部５５ａには光ｉ１
：＋ｌ＋　ｏ−にに貫通する挿通孔５５ｃが穿設され、
この挿通孔５５ｃに光ファイバ３０が通されて射出端部
３０ｂか空間周波数フィルタ５６に配設さ、ｆｔている
。このようにすれは、第１対物レンス５４の焦点位置に
、空間周波数フィルタ５６および光ファイバ射出端部３
０Ｌ１を配設することができるため、像のボケがなく、
かつ光−１１にも確保されて良好な検査が行なわれるこ
とどなる。

他の構成および作用は第１実施例と同様であるので説明
を省略する。

第２の　明の実奮但 第１１図および第１２１ＨＩはそれぞれ、第２発明の第
１および第２実施例を示す図である。これらの実施例の
説明において、前記第１発明の実施例の構成よｉよび作
用と同様の所は説明を省略する。

第１１図に示す第１実施例は、第１発明の第１実施例と
同様に対物レンス系２３の第１対物レンス２・１と第２
対物レンズ２５どの間で、第１対物レンズ２７Ｉの焦点
位置に空間周波数フィルタ２Ｇが配設されている７そし
て、空間周波数フィルタ２６ど第１対物レンス２・１ど
の間から、光軸Ｏと直交するようにレーザ光を射出させ
るレーザ光源２７（光ＪトＪ出体）か。

空間周波数フィルタ２６の側方に配設されでいる。

そしＣ１このレーザ光を第１対物レンス２４方向ｌ＼反
射させる微少反射部材である小さなプリズム６０が空間
周波数フィルタ２６上に配設されている。

第２苅物レンズ２５と空間周波数フィルタ２６どの間が
狭くても、プリズム６０が微少であるためこの間に配設
可能であり、このプリズム６０にて、微少径のレーク１
光を反射させて被検物体２１に照射するＪ：うにしてい
るため、第１発明とは異なった構成で欠陥検査表「Ｃの
高倍率化および小型化を図っている。

また、第１２図に示す第２実施例は、微少反射部材どし
て、第１実施例のプリズム６０に代えて鏡面を有する鋼
球６１′ｈ′Ｎ設けら、（している。これにおいても勿
論、欠陥検査装置の高倍率化および小型化か図られるこ
とどなる。

これらの実施例においてシー１ヂ光ｔＸ２７側からプリ
ズム６０や鋼球６１近傍まで小径の光ファイバを設けて
も良いことは勿論である。

なお、上述した実施例では、ＴＶ撮像管３２上に規則パ
ターン２２の欠陥部の回折像を合焦させ、この回折像の
ビデオ信号から欠陥の右、１１にの検出を行なっている
。この回折様のビデオ信号は第５図に示すように欠陥部
分の大小に応じたピーク電圧を示し、このピーク電圧に
より欠陥のレベル分けが可能であることは前述した通り
である。ただしこの場合微小な欠陥部の検出には極めて
高い感度を有する反面、欠陥部分の大きさがある所定量
を超えるとピーク電圧が飽和してしまいある所定量共」
二での欠陥のレベル分けは困ガ［どなるという問題か発
生する。このような場合、感度を下げ大きな欠陥部のレ
ベル分けを可能にするには、ＴＶ撮像管３２を光１１ｉ
１１１０に？Ｆｆ−Ｊて所定量移ｑｊＪ）させ、ｌ’Ｖ
Ｉ最Ｃ’Ｒ管３２　Ｌの１３６則パターン２２の欠陥部
の回折像を子フォーカスさ田ろように構成すれはよい。

このテ′フォーカス１ルの大きさと検出感度は対応する
もので５デフオーカス量を選択することにより所望の検
出感度を′１：することができる。このデフォーカス量
の設定には、ｒ・め回折像がＴＶ撮像管３２上に合焦す
るように装ＮＴ全体を調整し、この設定位置がらレンズ
系あるいは１’Ｖ撮倣管を所定量光軸０に７ａって移動
させろ、１、うに構成才ればよい。

：Ｊ：たは、回折像を形成するレーザ光源２７と照明用
）−いＩ；：ｆ　３４どの波長の違いを利用し、照明用
光源３・１からの光でビン１−調整を行ないレーザ光源
２７の光によｌｊ形成される回折像を所定量デフォーカ
スさせる。」；うにも４成してもよい。

発コ引−の一勃一禾一 以１−説明してきたように、これらの発明によれば、対
物つ、オ系。内７５５　Ｈ３焦点位首ヵ１、あ（”’＋
　ｊ、ｊ；合、　　　　　　　ｊ□４’Ｊ　ｂｔ来のよ
うなりレーレンスを設ける必要が’Ｊ：　＜、装置の高
倍率化および小型化を図ることができるという実用」−
有益な効果を発１１１（する。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第７図は第１の発明の欠陥検査装置の第１
実施例を示す図で、第１図は同装置の概略構成図、第２
図はレーザ光が通過する規則パターン、対物レンズ系並
びに空間周波数フィルタ等を示す斜視図、第３図は欠陥
判別回路を備えた欠陥検査ｉ！！２置を示すブロック図
、第４図は欠陥部の回折像を示す説明図、第５図は欠陥
部の回折イｑシのビデオ信号を示す説明図、第６図およ
び第７図はそれぞれ異なったスベンクルノイズ装置を示
す概略図、第８図は空間周波数フィルタの変形例を示す
第２図と同様な斜視図、第９図および第１Ｏ図は第１の
発明の第２実施例を示す図で、第９図は欠陥検査装置の
概略構成図、第１Ｏ図は要部断面図、第１１図および第
１２図はそれぞ、１シ第２の発明の欠陥検査１’ｔ、２
　Ｉｎの第１および第２実施例を示すＩＩＩ略１１１７
成図、第１３図は従来の透過型の欠陥検査装置を示す概
略構成図、第１４図は従来の反射型の欠陥検ｉｉ、装置
を示す概略４Ｉ（７成図である。 ２１・・・彼倹物体、　　　　２２・・規則パターン、
２３　、５３・・・対物レンズ系、２’ｌ、５４・・・
第１対物レンス。 ２５、！；５・・第２対物レンズ、２５ａ　、　５５ｃ
・・・挿通孔、２Ｇ　、　５１　、５６・・空間周波数
フィルタ、２７・レーザ光源（光射出体）、 ３０・・・光ファイバ、　３０ｂ・・光ファイバ射出端
部ら０・・プリズム（微少反射部材）、 ６１・・・鋼球（微少反射部材）、 ０・・光軸。 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第９図 第１０図 第１１図 第１２図 第１３図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）レーザ光源と接続された光ファイバの射出端部か
   ら射出されたコヒーレントへ光を規則パターンを有する
   被検物体に照射し、該被検物体からの反射回折光を対物
   レンズ系で、該対物レンズ系内部にある焦点位置に配置
   された空間周波数フィルタ上に結像させ、該空間周波数
   フィルタで周期情報と前記被検物体の欠陥部からの非周
   期情報とを分離して、該非周期情報を観察装置で観察し
   て前記被検物体上の欠陥を検査する欠陥検査装置であつ
   て、 前記対物レンズ系に、該対物レンズ系光軸上で、前記観
   察袋口側の面から前記空間周波数フィルタ上まで挿通孔
   を設け、該挿通孔に前記光ファイバを挿通して、前記光
   ファイバ射出端部を前記空間周波数フィルタ上に配置し
   たことを特徴とする欠陥検査装置。
2. （２）光射出体から射出されたコヒーレント光を規則パ
   ターンを有する被検物体に照射し、該被検物体からの反
   射回折光を対物レンズ系で、該対物レンズ系内部にある
   焦点位置に配置された空間周波数フィルタ上に結像させ
   、該空間周波数フィルタで周期情報と前記被検物体の欠
   陥部からの非周期情報とを分離して、該非周期情報を観
   察装置で観察して前記被検物体上の欠陥を検査する欠陥
   検査装置であつて、 前記対物レンズ系光軸と直交する方向で、前記空間周波
   数フィルタ上に沿つてコヒーレントへ光が進むように前
   記光射出体を配設すると共に、該コヒーレントへ光を前
   記被検物体方向へ反射する微少反射部材を前記空間周波
   数フィルター上に配設したことを特徴とする欠陥検査装
   置。