JPH0536726B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この二つの発明は、例えば測角用ロータリエン
コーダの主目盛板等の微細目盛を有する被検物体
に生じた欠陥を検出するための欠陥検査装置に関
するものである。

従来技術 近年、被検物体の微細目盛即ち規則的に配列さ
れた規則パターンの欠陥を探すのに、目視検査に
替つて、コヒーレント光と空間周波数フイルタと
を用いて、規則パターンの周期情報と欠陥による
非周期情報とを分離して欠陥位置、大きさ等を検
出表示する欠陥検査装置が開発されている。

従来、この種の装置として規則パターンのフー
リエ変換像が格子状に規則的に分布する性質を利
用して、格子状に分布する光不透過領域を有する
空間周波数フイルタを用いて、規則パターンの周
期情報を遮断し、空間周波数フイルタの透視部分
から非周期的な欠陥情報を検出するものがある。

この種の装置には、第１３図に示すような透過
型の欠陥検査装置がある。

この欠陥検査装置はレーザ光源１から出射され
たコヒーレントな光をビームエキスパンダ２で平
行な光にかえ、平行光で被検物体の規則パターン
３を透過照明し、規則パターン３で回折した光を
対物レンズ４で結像させ、対物レンズ４の焦点位
置に配置させられた空間周波数フイルタ５によつ
て周期情報と非周期情報とを分離するようにした
ものである。空間周波数フイルタ５によつて分離
された非周期情報、即ち、欠陥情報は、接眼レン
ズ６、リレーレンズ７、TV撮像管８及びTVモ
ニタ９からなる観察装置１０によつて観察され
る。

ところで、被検物体の規則パターンには透過照
明できないものもあり、透過型の欠陥検査装置で
はそのような被検物体の規則パターンに生じた欠
陥を検出することができない。そこで、被検物体
の規則パターンに落射照明を行なつて規則パター
ンから回折した光を得るようにした第１４図に示
すような反射型の欠陥検査装置がある。

この欠陥検査装置はレーザ光源１１から射出さ
れたコヒーレント光を照明レンズ１２で平行な光
にかえ、平行光を規則パターン１４と対物レンズ
１５との間に斜設された斜設ハーフミラー１３で
反射させて被検物体の規則パターン１４を落射照
明し、規則パターン１４に反射して回折した光を
斜設ハーフミラー１３を通過させて対物レンズ１
５で結像させ、対物レンズ１５の焦点位置に配置
させられた空間周波数フイルタ１６によつて周期
情報と非周期情報とを分離するようにしたもので
ある。１０は観察装置で前述と同様に接眼レンズ
６、結像レンズ７、TVカメラ８及びTVモニタ
９からなる。

ところが、このような従来の反射型の欠陥検査
装置にあつては、規則パターン１４と対物レンズ
１５との間に斜設ハーフミラー１３を配置させる
ようになつていたため、対物レンズ１５の作動距
離WDを大きくとる必要があり、装置の大型化を
招く虞がある。

そこで、この対策として特願昭58−244288号に
記載されたもののように、レーザ光源に接続され
た光フアイバの射出端部を空間周波数フイルタ上
に配設することにより、この射出端部から射出さ
れたコヒーレント光を対物レンズにて平行光とし
て被検物体上に照射するようにして、大きな配設
スペースを必要とする斜設ハーフミラー１３を廃
止し、小型化を可能としたものが提案されてい
る。

ところで、近年光学機器に組み込まれる光学目
盛の微細化が急速に進んできており、例えば、測
角用ロータリエンコーダの目盛板の規則パターン
は高分解能、小型化の要請により微細化の方向に
あり、測量機用分度目盛では線巾が2μm以下のも
のがあり、半導体の分野でもマスターパターン、
ICウエハ上の規則パターンは微細化の一途にあ
る。このような種々ま微細化された規則パターン
はわずかな欠陥でも致命傷になりかねないことか
ら欠陥検査装置は製造メーカにとつて必要不可欠
なものとなつており、しかも検出される欠陥サイ
ズが非常に小さいので、高倍率の欠陥検査装置が
今日では要求されている。

しかし、このように要望に対して前記の装置に
あつては、対物レンズを高倍率化する必要があ
り、この場合には、被検物体からの反射回折光が
結像される焦点位置が対物レンズ（レンズ群から
構成されている。）の内部に位置することがある
ため、光フアイバの射出端部を空間周波数フイル
タ上に区設するのが難しく、前記要望を満足させ
ることができなかつた。

また、上記の要望である高倍率を可能としたも
のとして、特願昭58−244289号に記載されたもの
のように、リレーレンズを用いて対物レンズで結
像された回折光を空間周波数フイルタ上に再結像
させるようにしているものもある。

しかし、このような装置にあつては、リレーレ
ンズの配設スペースが必要となり、高倍率は可能
となつても小型化には適さないという問題があ
る。

発明が解決しようとする問題点 以上のように、従来の装置にあつては、高倍率
および小型化を可能としたものは見受けられなか
つた。

問題点を解決するための手段 かかる問題点を解決するため第１の発明は、レ
ーザ光源と接続された光フアイバの射出端部から
射出されたコヒーレント光を規則パターンを有す
る被検物体に照射し、該被検物体からの反射回折
光を対物レンズ系で、該対物レンズ系内部にある
焦点位置に配置された空間周波数フイルタ上に結
像させ、該空間周波数フイルタで周期情報と前記
被検物体の欠陥部からの非周期情報とを分離し
て、該非周期情報を観察装置で観察して前記被検
物体上の欠陥を検査する欠陥検査装置であつて、
前記対物レンズ系に、該対物レンズ系光軸上で、
前記観察装置側の面から前記空間周波数フイルタ
上まで挿通孔を設け、該挿通孔に前記光フアイバ
を挿通して、前記光フアイバ射出端部を前記空間
周波数フイルタ上に配置した欠陥検査装置とした
ことを特徴としている。

また、第２の発明は、光射出体から射出された
コヒーレント光を規則パターンを有する被検物体
に照射し、該被検物体からの反射回折光を対物レ
ンズ系で、該対物レンズ系内部にある焦点位置に
配置された空間周波数フイルタ上に結像させ、該
空間周波数フイルタで周期情報と前記被検物体の
欠陥部からの非周期情報とを分離して、該非周期
情報を観察装置で観察して前記被検物体上の欠陥
を検査する欠陥検査装置であつて、前記対物レン
ズ系光軸と直交する方向で、前記空間周波数フイ
ルタ上に沿つてコヒーレント光が進むように前記
光射出体を配設すると共に、該コヒーレント光を
前記被検物体方向へ反射する微少反射部材を前記
空間周波数フイルタ上に配設した欠陥検査装置と
したことを特徴としている。

第１の発明の実施例 以下、第１の発明を各実施例に基づいて説明す
る。

第１図ないし第７図はこの第１発明の第１実施
例を示す図である。

まず構成を説明すると、図中符号２１はこの発
明の欠陥検査装置によつて検査される被検物体
で、この被検物体２１には微細化された規則パタ
ーン２２が形成されている。

符号２３は、第１対物レンズ２４および第２対
物レンズ２５からなる高倍率の対物レンズ系で、
被検物体２１からの反射回折光を結像させるよう
になつている。この結像位置つまり第１対物レン
ズ２４の焦点位置には、空間周波数フイルタ２６
が配設されている。この空間周波数フイルタ２６
は、規則パターン２２からの周期情報と非周期情
報（欠陥情報）とを分離するようになつている。

一方、レーザ光源２７の射出側には、シヤツタ
２８並びに集光レンズ２９が順次配設され、集光
レンズ２９の焦点位置には光フアイバ３０の入射
端部３０ａの端面が臨まされている。この光フア
イバ３０は、開口数（NA）が大きく、伝送損失
の少ないものが使用されている。この光フアイバ
３０は、対物レンズ系２３の光軸Ｏ上で、後述す
る観察装置３１側の第２対物レンズ２５に穿設さ
れた挿通孔２５ａに挿通された後、この光フアイ
バ３０の射出端部３０ｂがその端面を第１対物レ
ンズ２４側に向けて空間周波数フイルタ２６上に
配設されている。

観察装置３１は、欠陥情報を観察するもので、
光軸Ｏ上に配設されたTV撮像管３２とこの撮像
管３２に接続されたTVモニタ３３とから構成さ
れている。

さらに、目視観察用として、タングステン電球
からなる照明用光源３４並びに、この光源３４の
射出側にシヤツタ３５、照明レンズ３６およびハ
ーフミラー３７が設けられている。

次にかかる構成よりなる欠陥検査装置の作用に
ついて説明する。

レーザ光源２７から射出されたコヒーレント光
であるレーザ光は、開成されたシヤツタ２８を通
過して集光レンズ２９で集光されて光フアイバ３
０の入射端部３０ａの端面から入射して、この光
フアイバ３０を伝搬した後、空間周波数フイルタ
２６上の射出端部３０ｂの端面から第２対物レン
ズ２５に向けて射出される。この際、射出端部２
０ｂ端面から射出したレーザ光は、光フアイバ３
０の開口数（NA）に対応して広がり、第２対物
レンズ２５により平行光とされて被検物体２１に
照射される。この被検物体２１に平行光が入射さ
れると、回折現象を起こし、第２図のように規則
パターン２２で反射された回折光は第２対物レン
ズ２５によつて回折像として結像される。このと
き、規則パターン２２が第２図に示すようなパタ
ーンであるとすると、第１対物レンズ２４による
回折像I₁は第２図に示す如く、規則的に一列に並
ぶ。空間周波数フイルタ２６は第１対物レンズ２
４の焦点位置に配置されているので、一列に規則
的に並ぶ回折像I₁即ちフーリエ変換像は光不透過
領域を有する空間周波数フイルタ２６によつて遮
断され、第２対物レンズ２５、TV撮像管３２の
方へいくことはない。

また、規則パターン２２に欠陥部分がある場合
には、規則パターン２２で反射し、第１対物レン
ズ２４によつて結像された回折像は空間周波数フ
イルタ２６に規則パターン２２のような一直線に
並ばず不規則にその周囲に出る。即ち規則パター
ン２２の欠陥部分からは方向性を持たない回折光
が発せられるため、フーリエ変換像も複雑になつ
て空間周波数フイルタ２６の空間周波数面内に散
らばる。従つて、欠陥のない規則パターン２２に
よるフーリエ変換像は空間周波数フイルタ２６に
よつて遮断され、その空間周波数フイルタ２６か
ら漏れた欠陥部分の光のみが透過する。そこで、
この欠陥部分の光（欠陥情報）のみがTV撮像管
３２に第２対物レンズ２５によつて欠陥部分の回
折像I₂として結像され、TV撮像管３２に接続さ
れたTVモニタ３３により、欠陥部分の回折像I₂
を画面で観察することができる。

このように空間周波数フイルタ２６を高倍率の
対物レンズ系２３内部つまり第１対物レンズ２４
と対物レンズ２５との間に配設すると共に、光フ
アイバ３０を第２対物レンズ２５の挿通孔２５ａ
に通してその射出端部３０ｂを空間周波数フイル
タ２６上に配設しているため、従来のようなリレ
ーレンズを設ける必要がなく、作動距離WDが小
さい高倍率の対物レンズ系２３を使用することが
できる。その結果、欠陥検査装置の高倍率化およ
び小型化が可能となる。ちなみに、第２対物レン
ズ２５に挿通孔２５ａを設けずに、この第２対物
レンズ２５と空間周波数フイルタ２６の間から光
フアイバ３０を通して、空間周波数フイルタ２６
上に射出端部３０ｂを配設しようとすると、光フ
アイバ３０はフレキシブルではあるが、第２対物
レンズ２５と空間周波数フイルタ２６との間が微
少間隙であり、射出端部３０ｂの端面を第１対物
レンズ２４側へ向けるには急激な曲げを必要とす
るために難しい。

また、光フアイバ３０を使用することによつて
従来の斜設ハーフミラー１３を用いるものに比べ
て光エネルギ伝達効率が良好となり、光路がフレ
キシブルとなることから、レーザ光源２７及び集
光レンズ２９の設置場所が限定されることがな
い。更に、光フアイバ３０はフアイバコア径の小
さなものを使用することにより、光源は点光源に
近づき、第１対物レンズ２４を通して良好な平行
光を得ることができる。

一方、規則パターン２２を目視観察したい場合
には、レーザ光源２７から射出したレーザ光をシ
ヤツタ２８で遮光し、照明用光源３４側のシヤツ
タ３５を開いて、照明用光源３４から射出した光
で、規則パターン２２を照明する。即ち、照明用
光源３４から射出した照明光は、照明レンズ３６
で集光された後、ハーフミラー３７で反射され、
空間周波数フイルタ２６を透過して対物レンズ系
２３により規則パターン２２で焦点を結び照明す
る。規則パターン２２によつて反射した光は再び
対物レンズ系２３によつて集光されて、今度はハ
ーフミラー３７を透過する。そして、ハーフミラ
ー３７を透過した光はTV撮像管３２に結像さ
れ、TVモニタ３３によつて、規則パターン２２
の像を画面で目視観察することができる。

このような欠陥検査装置には、さらに第３図に
示すような欠陥判別回路３８が具備されている。

すなわち、TV撮像管３２に結像された規則パ
ターン２２の欠陥部の回折像はカメラコントロー
ルユニツト（以下CCUという）３９を介したTV
モニタ３３で観察することができる。第４図はそ
の回折像を示している。また、CCU３９から回
折像のビデオ信号を取り出すことができ、第５図
はそのビデオ信号を示している。第４図で略円形
の部分が規則パターン２２の欠陥部分である。第
５図で波形が立ち上がつている部分が欠陥部の回
折像の位置と輝度に対応して得られるピーク電圧
である。従つて、欠陥部分の大小に応じたピーク
電圧をあるレベル以上とレベル以下とに分けるこ
とによつて欠陥のレベル分けが可能となる。

欠陥のレベル分けは次のようにして行なわれ
る。

まず処理制御装置４０はステージコントローラ
４１を駆動させてステージ４２上に配設された被
検物体２１（例えば測角用ロータリエンコーダの
目盛板）をスライドおよび回転させて、適当な位
置に設定する。

次に、被検物体２１が適当位置に設定される
と、処理制御装置４０からの測定スタート信号に
よりTV撮像管３２が作動させられて適当位置に
設定された被検物体２１における規則パターン２
２の欠陥の有無を検出する。即ち、TV撮像管３
２に規則パターン２２の欠陥部の回折像を結像さ
せ、その回折像をCCU３９でビデオ信号に変換
し、CCU３９から送られてきたビデオ信号を受
けとつたコンパレータ４３でビデオ信号における
ピーク電圧が予め定めたレベル以上（欠陥像あ
り）か、又はレベル以下（欠陥像なし）かを比較
させて欠陥の有無を検出する。そして、コンパレ
ータ４３からの出力を次段の欠陥用メモリ４４に
記憶させる。

このようにして、適当位置に設定された被検物
体２１における規則パターン２２の欠陥の有無が
検出されたら、再び処理制御装置４０がステージ
コントローラ４１を駆動させて、ステージ４２上
の被検物体２１を所定角度回転させ、被検物体２
１における次のエリアの規則パターン２２の欠陥
の有無を前述と同様にして検出し、コンパレータ
４３からの出力を対応する欠陥用メモリ４４に記
憶させる。

こうして欠陥の有無を被検物体２１の全周にわ
たつて行ない、それぞれのエリアに対応した規則
パターン２２の欠陥情報を欠陥用メモリ４４の対
応番地に記憶させる。

次に、処理制御装置４０は欠陥用メモリ４４か
らの情報を読み取り、被検物体２１の欠陥があつ
たエリアを探し出し、そのエリアにおける規則パ
ターン２２の欠陥の位置、大きさ、形を判定し、
陰極線管４５上に画像表示させる。このとき、そ
のデータをプリンタ４６によつて印刷することも
できる。これと共に、処理制御装置４０はステー
ジコントローラ４１を駆動させて欠陥のあつたエ
リアがTV撮像管３２に結像されるように被検物
体２１を回転させる。

被検物体２１が所定の位置まで回転したら、シ
ヤツタコントローラ５２を駆動させて、今まで開
いていたレーザ光源２７側のシヤツタ２８を閉じ
てレーザ光源を遮光し、照明用光源３４側のシヤ
ツタ３５を開いて照明用光源３４から射出した光
で被検物体２１を照明する。即ち、照明用光源３
４の照明光は、照明レンズ３６で集光された後、
ハーフミラー３７で反射され、空間周波数フイル
タ２６を透過して第１対物レンズ２４により被検
物体２１で焦点を結びこれを照明する。被検物体
２１で反射した光は再び対物レンズ系２３によつ
て集光されて今度はハーフミラー３７を透過す
る。そして、ハーフミラー３７を透過した光は
TV撮像管３２に結像され、CCU３９を介した
TVモニタ３３によつて被検物体２１の像を画面
で目視観察する。

また、図中符号４７はスペツクルノイズ低減装
置で、レーザ光源２７から射出されたレーザ光が
光フアイバ３０を伝搬するときにレーザ光に発生
するスペツクルノイズを低減させ、被検物体２１
に照射される光の強度ムラをなくすようにした装
置である。この装置４７として、例えば第６図ま
たは第７図に示すようなものがある。

第６図に示すスペツクルノイズ低減装置４７
は、高周波発振器４８によつて光フアイバ３０を
振動させ、スペツクルノイズを低減化させるもの
である。また、第７図に示すスペツクルノイズ低
減装置４７はモータ４９によつて回転させられる
拡散板５０をレーザ光源２７と集光レンズ２９と
の間に介装させ、回転する拡散板５０によつてス
ペツクルノイズを低減化させるようになつてい
る。

さらに、第８図はこの発明の第１実施例に用い
られている空間周波数フイルタ２６の変形例を示
す。

第１実施例の空間周波数フイルタ２６は第２図
に示すように、ある巾をもつた一直線状のものが
用いられているが、被検物体２１の規則パターン
２２が直角方向に設けられているものもあるの
で、その規則パターン２２で反射した回折光も直
角方向に並ぶことになる。従つて、これを遮断す
るには空間周波数フイルタ２６を90゜回転させな
ければならない。そこで、予め十字型の空間周波
数フイルタ５１を作つておけば、規則パターン２
２の方向が90゜回転したものであつても、空間周
波数フイルタ５１を回転させなくても済むことに
なる。このために、第８図に示すような十字型を
した空間周波数フイルタ５１が対物レンズ系２３
の焦点位置に配設されている。

ところで、空間周波数フイルタ２６と光フアイ
バ射出端部３０ｂとは、第１対物レンズ２４の焦
点位置に設けなければならない。しかし、第１対
物レンズ２４の焦点位置が第２対物レンズ２５の
中にある場合、この実施例においては、空間周波
数フイルタ２６等を第２対物レンズ２５中に配設
することはできず、第２対物レンズ２５の外側つ
まり焦点位置より多少ずれた位置に配設されるこ
ととなる。だが、空間周波数フイルタ２６および
光フアイバ射出端部３０ｂの、光軸Ｏ方向のわず
かのズレは、ごくわずかの像のボケおよび光量の
減少を生じるだけで、実用上殆ど影響はない。従
つて、空間周波数フイルタ２６および光フアイバ
射出端部３０ｂを設ける位置は必ずしも厳密でな
く、ある程度のズレは許容されることとなる。

第９図および第１０図には、第１発明の第２実
施例を示す。

この実施例は、対物レンズ系５３の焦点位置、
つまり第１対物レンズ５４の焦点位置が前述のよ
うに第２対物レンズ５５中にあるものについて適
用されたものである。すなわち、対物レンズ系５
３の第２対物レンズ５５は、上側レンズ部５５ａ
と下側レンズ部５５ｂとに２分割されており、こ
れらの間に空間周波数フイルタ５６が蒸着されて
いる。また、上側レンズ部５５ａには光軸Ｏ上に
貫通する挿通孔５５ｃが穿設され、この挿通孔５
５ｃに光フアイバ３０が通されて射出端部３０ｂ
が空間周波数フイルタ５６に配設されている。こ
のようにすれば、第１対物レンズ５４の焦点位置
に、空間周波数フイルタ５６および光フアイバ射
出端部３０ｂを配設することができるため、像の
ボケがなく、かつ光量も確保されて良好な検査が
行なわれることとなる。

他の構成および作用は第１実施例と同様である
ので説明を省略する。

第２の発明の実施例 第１１図および第１２図はそれぞれ、第２発明
の第１および第２実施例を示す図である。これら
の実施例の説明において、前記第１発明の実施例
の構成および作用と同様の所は説明を省略する。

第１１図に示す第１実施例は、第１発明の第１
実施例と同様に対物レンズ系２３の第１対物レン
ズ２４と第２対物レンズ２５との間で、第１対物
レンズ２４の焦点位置に空間周波数フイルタ２６
が配設されている。そして、空間周波数フイルタ
２６と第１対物レンズ２４との間から、光軸Ｏと
直交するようにレーザ光を射出させるレーザ光源
２７（光射出体）が、空間周波数フイルタ２６の
側方に配設されている。そして、このレーザ光を
第１対物レンズ２４方向へ反射させる微少反射部
材である小さなプリズム６０が空間周波数フイル
タ２６上に配設されている。

第２対物レンズ２５と空間周波数フイルタ２６
との間が狭くても、プリズム６０が微少であるた
めこの間に配設可能であり、このプリズム６０に
て、微少径のレーザ光を反射させて被検物体２１
に照射するようにしているため、第１発明とは異
なつた構成で欠陥検査装置の高倍率化および小型
化を図つている。

また、第１２図に示す第２実施例は、微少反射
部材として、第１実施例のプリズム６０に代えて
鏡面を有する鋼球６１が設けられている。これに
おいても勿論、欠陥検査装置の高倍率化および小
型化が図られることとなる。

これらの実施例においてレーザ光源２７側から
プリズム６０や鋼球６１近傍まで小径の光フアイ
バを設けても良いことは勿論である。

なお、上述した実施例では、TV撮像管３２上
に規則パターン２２の欠陥部の回折像を合焦さ
せ、この回折像のビデオ信号から欠陥の有無の検
出を行なつている。この回折像のビデオ信号は第
５図に示すように欠陥部分の大小に応じたピーク
電圧を示し、このピーク電圧により欠陥のレベル
分けが可能であることは前述した通りである。た
だしこの場合微小な欠陥部の検出には極めて高い
感度を有する反面、欠陥部分の大きさがある所定
量を超えるとピーク電圧が飽和してしまいある所
定量以上での欠陥のレベル分けは困難となるとい
う問題が発生する。このような場合、感度を下げ
大きな欠陥部のレベル分けを可能にするには、
TV撮像管３２を光軸Ｏに沿つて所定量移動さ
せ、TV撮像管３２上の規則パターン２２の欠陥
部の回折像をデフオーカスさせるように構成すれ
ばよい。このデフオーカス量の大きさと検出感度
は対応するもので、デフオーカス量を選択するこ
とにより所望の検出感度を得ることができる。こ
のデフオーカス量の設定には、予め回折像がTV
撮像管３２上に合焦するように装置全体を調整
し、この設定位置からレンズ系あるいはTV撮像
管を所定量光軸Ｏに沿つて移動させるように構成
すればよい。

または、回折像を形成するレーザ光源２７と照
明用光源３４との波長の違いを利用し、照明用光
源３４からの光でピント調整を行ないレーザ光源
２７の光により形成される回折像を所定量デフオ
ーカスさせるように構成してもよい。

発明の効果 以上説明してきたように、これらの発明によれ
ば、対物レンズ系の内部に焦点位置がある場合で
も従来のようなリレーレンズを設ける必要がな
く、装置の高倍率化および小型化を図ることがで
きるという実用上有益な効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第７図は第１の発明の欠陥検査装
置の第１実施例を示す図で、第１図は同装置の概
略構成図、第２図はレーザ光が通過する規則パタ
ーン、対物レンズ系並びに空間周波数フイルタ等
を示す斜視図、第３図は欠陥判別回路を備えた欠
陥検査装置を示すブロツク図、第４図は欠陥部の
回折像を示す説明図、第５図は欠陥部の回折像の
ビデオ信号を示す説明図、第６図および第７図は
それぞれ異なつたスペツクルノイズ装置を示す概
略図、第８図は空間周波数フイルタの変形例を示
す第２図と同様な斜視図、第９図および第１０図
は第１の発明の第２実施例を示す図で、第９図は
欠陥検査装置の概略構成図、第１０図は要部断面
図、第１１図および第１２図はそれぞれ第２の発
明の欠陥検査装置の第１および第２実施例を示す
概略構成図、第１３図は従来の透過型の欠陥検査
装置を示す概略構成図、第１４図は従来の反射型
の欠陥検査装置を示す概略構成図である。 ２１…被検物体、２２…規則パターン、２３，
５３…対物レンズ系、２４，５４…第１対物レン
ズ、２５，５５…第２対物レンズ、２５ａ，５５
ｃ…挿通孔、２６，５１，５６…空間周波数フイ
ルタ、２７…レーザ光源（光射出体）、３０…光
フアイバ、３０ｂ…光フアイバ射出端部、６０…
プリズム（微少反射部材）、６１…鋼球（微少反
射部材）、Ｏ…光軸。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ レーザ光源と接続された光フアイバの射出端
   部から射出されたコヒーレント光を規則パターン
   を有する被検物体に照射し、該被検物体からの反
   射回折光を対物レンズ系で、該対物レンズ系内部
   にある焦点位置に配置された空間周波数フイルタ
   上に結像させ、該空間周波数フイルタで周期情報
   と前記被検物体の欠陥部からの非周期情報とを分
   離して、該非周期情報を観察装置で観察して前記
   被検物体上の欠陥を検査する欠陥検査装置であつ
   て、 前記対物レンズ系に、該対物レンズ系光軸上
   で、前記観察装置側の面から前記空間周波数フイ
   ルタ上まで挿通孔を設け、該挿通孔に前記光フア
   イバを挿通して、前記光フアイバ射出端部を前記
   空間周波数フイルタ上に配置したことを特徴とす
   る欠陥検査装置。 ２ 光射出体から射出されたコヒーレント光を規
   則パターンを有する被検物体に照射し、該被検物
   体からの反射回折光を対物レンズ系で、該対物レ
   ンズ系内部にある焦点位置に配置された空間周波
   数フイルタ上に結像させ、該空間周波数フイルタ
   で周期情報と前記被検物体の欠陥部からの非周期
   情報とを分離して、該非周期情報を観察装置で観
   察して前記被検物体上の欠陥を検査する欠陥検査
   装置であつて、 前記対物レンズ系光軸と直交する方向で、前記
   空間周波数フイルタ上に沿つてコヒーレント光が
   進むように前記光射出体を配設すると共に、該コ
   ヒーレント光を前記被検物体方向へ反射する微少
   反射部材を前記空間周波数フイルタ上に配設した
   ことを特徴とする欠陥検査装置。