JP2016038302A - 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】光学式暗視野欠陥検査において、欠陥の種類、欠陥形状の方向性、又は背景パターンの方向性に依存しない、垂直照明を用いた検査を提供する。
【解決手段】欠陥検査において、光源101から発射されたレーザを線状に集光し、線状に集光したレーザをミラーで反射し、反射したレーザを対物レンズ102を介してテーブルに載置した試料に垂直方向から照射し、レーザを垂直方向から照射した試料からの反射散乱光を対物レンズ102で集光し、対物レンズ102で集光した試料からの反射散乱光のうち試料上に形成された周期的なパターンから発生する回折光とミラーから発生する散乱光とを空間フィルタで遮光し、空間フィルタで遮光されなかった試料からの反射散乱光を結像レンズ105に入射させて反射散乱光の像を形成し、形成した反射散乱光の像を検出器で検出し、検出器106で反射散乱光の像を検出して得た検出信号を処理して試料上の欠陥を検出する。
【選択図】図1
【解決手段】欠陥検査において、光源101から発射されたレーザを線状に集光し、線状に集光したレーザをミラーで反射し、反射したレーザを対物レンズ102を介してテーブルに載置した試料に垂直方向から照射し、レーザを垂直方向から照射した試料からの反射散乱光を対物レンズ102で集光し、対物レンズ102で集光した試料からの反射散乱光のうち試料上に形成された周期的なパターンから発生する回折光とミラーから発生する散乱光とを空間フィルタで遮光し、空間フィルタで遮光されなかった試料からの反射散乱光を結像レンズ105に入射させて反射散乱光の像を形成し、形成した反射散乱光の像を検出器で検出し、検出器106で反射散乱光の像を検出して得た検出信号を処理して試料上の欠陥を検出する。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体製造工程、液晶表示素子製造工程、プリント基板製造工程等、基板上にパターンを形成して対象物を製作していく製造工程で発生する欠陥を検出し、分析して対策を施す製造工程において、欠陥の発生状況を検査する欠陥検査装置および欠陥検査方法に関する。
本技術分野の背景技術として、特許4838122号公報(特許文献1)がある。この公報には、「サンプルの表面上の照明される領域に対して垂直方向または略垂直方向の第2の入射角度で放射光線を第2の焦点の合った光線へと焦点を合わせる第2の光学機器であって、前記第2の入射角度が前記第1の入射角度とは異なる第2の光学機器と、サンプルの表面上の照明される領域に対して前記第2の光学機器によって焦点を合わせられた光線内の放射線を反射する細長い形状の反射面と、第1の検出器アレイと、前記第1および/または第2の焦点の合った光線から生じ、サンプル表面上の第1のラインおよび/または照明される領域から散乱または反射される放射線を集光すると共に前記ラインおよび/または前記照明される領域の一部分から集光される放射線を前記第1のアレイにおける対応する検出器へと焦点を合わせる集光光学機器であって、前記第2の光学機器によって焦点を合わせられると共にサンプルの表面上の照明される領域によって鏡面反射された光線内の放射線が前記第1の検出器アレイに到達することを前記細長い形状の反射面により阻止する集光光学機器と、を備える光学装置」(特許請求の範囲の請求項1)が記載されている。
また、特許文献1の図12には、対物レンズ222の上方に幅の狭いミラー250を配置して、光源から発射された光を狭いミラー250で反射させて対物レンズ222を介して試料に照射し、試料からの反射光を上方と斜方に配置した検出系で検出する構成が記載されている。このうち、上方に配置された検出系では、試料からの反射光のうち狭いミラー250で遮光されなかった反射光のうち波長λ1の光を透過させてλ2の光を遮光するフィルタ272で波長を選択して検出する構成が示されている。
本技術分野のもう一つの背景技術として、特開平6−109647号公報(特許文献2)がある。この公報には、「被検パターンの光学的なフーリエ変換像を形成する第1レンズと、前記フーリエ変換像を逆フーリエ変換する第2レンズとを有し、該第2レンズにより前記被検パターンの欠陥の像を投影する欠陥検査装置において、前記被検パターン上の点状又は線状の照明領域を照明する照明手段と、前記被検パターンの光学的なフーリエ変換像から前記被検パターンの欠陥の無い場合のフーリエ変換像に相当する成分を除去する光学的フィルタ手段と、前記第2レンズにより投影された前記被検パターンの欠陥の像を光電変換する光電検出手段と、前記被検パターンと前記照明手段とを相対的に変位させる相対走査手段と、を設けた事を特徴とする欠陥検査装置」(特許請求の範囲の請求項1)が記載されている。
そして、引用文献2の図2には、光源から発射された光を反射鏡9で反射して対物レンズ10を介してスリット状の光束として試料に照射し、試料の表面で回折されて対物レンズ10を透過した光のうち反射鏡で遮光されなかった光を対物レンズ10のフーリエ変換面に配置した空間フィルタを介して検出する交際が記載されている。
特許文献1及び2には、検出光学系の対物レンズを介して検査対象表面の法線方向から入射するTTL(Through The Lens)照明を行う光学式暗視野型欠陥検査において、光源から発射された光を対物レンズの上方に配置したミラーで反射して対物レンズを介して検査対象試料に照射し、検査対象試料からの反射散乱光のうち正反射光をミラーで遮光し、それ以外の反射散乱光のうちフィルタで遮光されなかった光を検出する構成が記載されている。
TTL照明を行う光学式暗視野型欠陥検査において、対物レンズのフーリエ変換面では、検査対象試料から法線方向に反射した正反射光の近傍に欠陥からの散乱光成分が分布する場合がある。従って、対物レンズに入射した検査対象試料から法線の近傍方向に反射した反射光のうち、正反射光以外で対物レンズの上方に配置したミラーで遮光されてしまう散乱光の量を少なくすること、即ち、正反射光近傍のできるだけ多くの散乱光を検出できるようにすることが高感度な欠陥検出を行う上で望ましい。
しかし、正反射光をミラーで遮光する構成とする場合、対物レンズの上方に配置したミラーに照明光あるいは検査対象表面からの正反射光の光束の一部が当たることにより散乱光が発生する。このミラーから発生した散乱光をそのまま検出してしまうと、この散乱光成分がノイズとなって、欠陥検出感度を上げることが難しくなる。この正反射光を遮光するミラーから発生した散乱光の影響については、特許文献1及び2の何れにおいても配慮されていない。
正反射光の近傍に散乱光が分布するような欠陥(例えば、ラインアンドスペースパターンにおけるブリッジ欠陥)を高感度に検出しようとする場合、このミラーから発生する散乱光がノイズとなり検査感度を向上させるうえでの障害となるという課題があった。
本発明は、上記した従来技術における課題を解決して、TTL照明を行う光学式暗視野型欠陥検査において、検査対象試料からの正反射光の近傍の反射光(散乱光)をできるだけ多く検出できるようにするとともに、ノイズとなる散乱光成分をできるだけ検出しないようにすることにより、高感度な欠陥検出を可能にする欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供するものである。
上記課題を解決するために、本発明では、欠陥検査装置を、試料を載置して平面内で移動可能なテーブル部と、レーザを発射する光源と、この光源から発射されたレーザの光路を分岐する光路分岐部と、この光路分岐部で分岐された一方の光路を進んだレーザを線状に集光してテーブル部に載置された試料に斜方から照射する斜方照明部と、光路分岐部で分岐された他方の光路を進んだレーザを線状に集光する集光部と、この集光部で線状に集光されたレーザを反射してレーザの光路を折り曲げるミラー部と、このミラー部で光路を折り曲げられたレーザを入射させてテーブル部に載置された試料に垂直方向から照射すると共にレーザが照射された試料からの反射散乱光を集光する対物レンズ部と、この対物レンズ部で集光された試料からの反射散乱光のうち試料上に形成された周期的なパターンから発生する回折光を遮光すると共にミラー部から発生する散乱光を遮光する空間フィルタ部と、この空間フィルタで遮光されなかった試料からの反射散乱光を入射してこの反射散乱光の像を形成する結像レンズ部と、この結像レンズ部で結像された反射散乱光の像を検出する検出部と、この検出部で反射散乱光の像を検出して得た検出信号を処理して試料上の欠陥を検出する信号処理部とを備えて構成した。
また、上記課題を解決するために、本発明では、欠陥検査方法において、光源から発射されたレーザを線状に集光し、この線状に集光したレーザをミラーで反射し、この反射したレーザを対物レンズを介してテーブルに載置した試料に垂直方向から照射し、レーザを垂直方向から照射した試料からの反射散乱光を対物レンズで集光し、この対物レンズで集光した試料からの反射散乱光のうち試料上に形成された周期的なパターンから発生する回折光とミラーから発生する散乱光とを空間フィルタで遮光し、この空間フィルタで遮光されなかった試料からの反射散乱光を結像レンズに入射させて反射散乱光の像を形成し、この形成した反射散乱光の像を検出器で検出し、この検出器で反射散乱光の像を検出して得た検出信号を処理して試料上の欠陥を検出するようにした。
本発明によれば、検査対象表面の法線の近傍方向に散乱光を発する欠陥を高感度に検査することができるようになり、ラインアンドスペースパターンにおけるブリッジ欠陥を高感度に検出できるようになった。上記した以外の課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。
本実施例では、半導体製造工程、液晶表示素子製造工程、プリント基板製造工程等、基板上にパターンを形成して対象物を製作していく製造工程で発生する欠陥を検出し、分析して対策を施す製造工程において、欠陥の発生状況を検査する欠陥検査装置の例を説明する。
図1は本実施例に係る欠陥検査装置1000の構成の例である。図1に示す欠陥検査装置1000は、光源部101、TTL照明部111、斜方照明部112、対物レンズ102、対物瞳光学部103、結像レンズ105、検出器106、処理部20、全体制御部301、表示部302、演算部303、記憶部304、ステージ駆動部151、X-Y-Z-θステージ152(以下、ステージ152)を備えている。
図1に示した本実施例に係る欠陥検査装置1000の動作の概略を説明する。
光源部101から発射された照明光は、ミラー110で反射されて光路をミラー113の側に折り曲げられ、ミラー113で反射して斜方照明部112に入射し、線状に集光されて検査対象基板2に斜方から線状の照明光を照射する。また、図示していない手段でミラー110を光源部101から発射された照明光の光路から外れた場所に移動させた場合には、光源部101から発射された照明光はTTL照明部111に入射する。TTL照明部111に入射した照明光は線状に集光されて、対物瞳光学部103に入射して光路を対物レンズ102の側に折り曲げられ、対物レンズ102により、検査対象基板2に対して法線方向から線状に集光された照明光が照射される。
光源部101から発射された照明光は、ミラー110で反射されて光路をミラー113の側に折り曲げられ、ミラー113で反射して斜方照明部112に入射し、線状に集光されて検査対象基板2に斜方から線状の照明光を照射する。また、図示していない手段でミラー110を光源部101から発射された照明光の光路から外れた場所に移動させた場合には、光源部101から発射された照明光はTTL照明部111に入射する。TTL照明部111に入射した照明光は線状に集光されて、対物瞳光学部103に入射して光路を対物レンズ102の側に折り曲げられ、対物レンズ102により、検査対象基板2に対して法線方向から線状に集光された照明光が照射される。
斜方照明部112により斜方から照明光が照射された検査対象基板2、又は、TTL照明部111を介して対物レンズ102により法線方向から線状に集光された照明光が照射された検査対象基板2から発した反射光、回折光、散乱光(以下、これらを総称して反射光と記す)は、対物レンズ102に入射して集光された後、対物瞳光学部103、偏光子104、結像レンズ105を介して、検出器106の検出面106´(図6A参照)上に結像され、検出器106にて電気信号に変換される。なお、偏光子104は、結像レンズ105と検出器106との間で、検出器106の直前に配置してもよい。
検出器106で得られた電気信号は処理部20に入力され、処理部20において入力信号が予め設定された閾値と比較されて欠陥が検出される。検出された結果は全体制御部301を介し、欠陥信号レベル情報(欠陥信号の輝度値)とステージ152から得られる欠陥信号検出位置情報とが記憶部304に記憶され、表示部302に表示される。検査対象基板2は、ステージ駆動部151によって駆動されるステージ152によって走査され、全面が検査される。
光源部101は、レーザ光源1011、アッテネータ1012、NDフィルタ1013、波長板1014、ビームエキスパンダ1015を備える。光源部101において、レーザ光源1011から発振されたレーザは、アッテネータ1012で出力が調整され、NDフィルタ1013で光量が調整され、波長板1014で偏光状態が調整され、ビームエキスパンダ1015でビーム径、形状が調整、制御された照明光として発射される。
光源部101から発射された照明光は、ミラー110により光路が分岐されてTTL照明部111、又は斜方照明部112に導かれる。すなわち、ミラー110が図示していない駆動手段で駆動されて光源部101から発射された照明光の光路から外れた位置に設置されているときには、光源部101から発射された照明光はTTL照明部111に入射する。一方、ミラー110が図示していない駆動手段で駆動されて光源部101から発射された照明光の光路上に設置されているときには、光源部101から発射された照明光はミラー110で反射されて光路をミラー113の側に折り曲げ、次にミラー113で反射されて斜方照明部112に入射する。TTL照明部111又は斜方照明部112に入射した照明光は、それぞれ一方向に長い光束に成形されてTTL照明部111又は斜方照明部112から出射される。
レーザ光源1011は、短波長、高出力、高輝度、高安定のものが適しており、YAGレーザの第三、第四、あるいは第五高調波を用いたものなどが用いられる。
図1には、欠陥検査装置1000の構成として、対物レンズ102、対物瞳光学部103、結像レンズ105、検出器106によって構成される検出部を一つのみ図示したが、検出部は互いの対物レンズが機械的に干渉しない位置に複数設置されてもよい。処理部20では複数の検出部にて検出された信号を処理して欠陥が判定される。
図2Aには、複数の検出部を備えた例として、複数の検出部各々の対物レンズ102a、102b、102cの位置関係の例を示す。対物レンズ102aを備えた検出部を垂直検出部170a、対物レンズ102bを備えた検出部を左斜方検出部170b、対物レンズ102cを備えた検出部を右斜方検出部170cと呼ぶ。図2Bには、垂直検出部170aに対応する対物レンズ102aとTTL照明部111、対物瞳光学部103、斜方照明部112の構成を示しており、図1に示した欠陥検査装置1000の構成の対物レンズ102を含む構成に対応している。
対物レンズ102b及び対物レンズ102cに対応する左斜方検出部170bと右斜方検出部170cの構成を図2Cに示す。対物レンズ102b及び対物レンズ102cに対応する光学系は基本的に同じ構成であるので、図2Cにおいては、何れか一方の光学系の構成を示している。左斜方検出部170bと右斜方検出部170cとは、対物レンズ102b(102c)、空間フィルタ122b(122c)、偏光子104b(104c)、結像レンズ105b(105c)、検出器106b(106c)を備えている。対物瞳光学部103のTTL照明ミラー121とミラー散乱遮光フィルタ123を備えていない点が垂直検出部201aの構成と異なっている。
図2A及び図2Bにおいて、検査対象基板2を含む面をXY面とし、検査対象基板2の法線方向をZ方向とする。ステージ152の主走査方向をX方向とし、副走査方向をY方向とする。3つの検出部に各々に対応する対物レンズ102a、102b、102cは、光軸をXZ面内に持つ。対物レンズ102aはZ方向に配置され、Z方向に出射する光を検出する(垂直検出部170a)。対物レンズ102b、102cは、対物レンズ102aの両側に配置され、Z方向から傾斜した方向に出射する光を検出する(左斜方検出部170bと右斜方検出部170c)。
光源部101から発射された照明光は、図示していない駆動手段によって駆動される光路切替ミラー110の照明光の光路への出し入れにより、TTL照明部111又は斜方照明部112に導かれる。
光路切替ミラー110の代わりにビームスプリッタによる光路分岐を用いてTTL照明部111と斜方照明部112の双方に照明光を導いて、検査対象基板2の表面にTTL照明部111と斜方照明部112とから照明光を同時に照射することも可能である。
TTL照明部111を通って一方向に長い光束形状に成形された照明光は、対物レンズ102aの瞳位置(対物瞳面)134に配置された対物瞳光学部103に導かれ、光路を検査対象基板2の側に変えられて、対物レンズ102aを介して検査対象基板2に導かれる。
一方、ミラー110とミラー113で反射して斜方照明部112に入射した照明光は、一方向に長い光束形状に成形された状態で斜方照明部112から出射して対物レンズ102aの外側を通り、YZ面内を通って検査対象基板2に導かれる。
照明光は、以上の光学系により、検査対象基板2の表面上にて、Y方向に長くX方向に短い線状のビーム形状に集光される。複数の検出部の視野は照明光の集光位置に合せ込まれる。
図3に斜方照明の入射方向351と複数の検出部の検出方向361〜363との関係を示す。斜方照明の入射方向351の入射角をθi、検査対象基板の法線から傾斜した方向から検出する斜方検出部の検出方向361及び363検出角をθdとする。2つの斜方検出部(左斜方検出部210bと右斜方検出部210c)はYZ平面を基準として互いに対称な方向(±θd)に配置される。
図4A及び図4Bに垂直検出部170aの構成を示す。図4Aは垂直検出部170aのXZ面の断面図であり、図4Bは垂直検出部170aのYZ面の断面図である。
TTL照明部111は、シリンドリカルレンズ116を備える。対物瞳光学部103は、TTL照明ミラー121、空間フィルタ122、ミラー散乱遮光フィルタ123を備える。TTL照明ミラー121は、X方向に長い形状のミラーであり、対物レンズ102aの瞳面(対物瞳面)134の近傍で対物瞳面134より対物レンズ102aに近い側に配置される。TTL照明部111から入射したシリンドリカルレンズ116により一方向に長い光束形状に成形された照明光は、TTL照明ミラー121により対物レンズ102aの側に反射されて、対物レンズ102aの対物瞳面134に相当する位置においてX方向に長い形状になるようにY方向に集光される。
対物レンズ102aは、フーリエ変換レンズであり、対物瞳面(フーリエ変換面)134に空間フィルタ122,およびミラー散乱遮光フィルタ123が配置される(空間フィルタ122とミラー散乱遮光フィルタ123とを総称して空間フィルタと記する場合もある)。対物レンズ102aは、集光レンズ131、瞳リレーレンズ133を有する。集光レンズ131により第一の瞳面132が形成され、瞳リレーレンズ133によりそれが再結像されて対物瞳面134を形成する。よって、第一の瞳面132と対物瞳面134は光学的に共役である。第一の瞳面132を再結像して第二の瞳面である対物瞳面134を形成する瞳リレー光学系を有する構成により、瞳共役面である対物瞳面134を対物レンズ102aの鏡筒の内部ではなく外部に形成することがレンズ設計上容易になり、対物レンズ102aの構成の簡素化、低コスト化が可能となる。
また、瞳リレーレンズ133を拡大結像光学系とすることで、第一の瞳面132における検査対象基板2からの正反射光の光束の広がり角135に対し、瞳リレーレンズ133によって拡大結像された対物瞳面134における光束の広がり角136が小さくなる。第一の瞳面132における検査対象基板2からの正反射光の光束の広がり角135と、瞳リレーレンズ133によって拡大結像された対物瞳面134における光束の広がり角136との比は、瞳リレーレンズ133による拡大結像の倍率に等しくなる。
したがって、瞳リレーレンズ133の拡大倍率が1よりも大きくなるように構成することにより、第一の瞳面132における光束の広がり角135は、対物瞳面134における光束の広がり角136よりも大きくなる。逆の表現をすれば、対物瞳面134における光束の広がり角136を第一の瞳面132における光束の広がり角135よりも小さく設定できる。
照明光は、対物レンズ102aによって検査対象基板2上に、Y方向が長い形状になるように集光される。検査対象基板2にて正反射した光は、対物レンズ102aを通り、TTL照明ミラー121によって遮光される。検査対象基板2上の異物又は欠陥から発生した散乱光あるいは検査対象基板2上に形成された周期的なパターンにより回折して発生した回折光で対物レンズ102aに向かう光のうち、周期的なパターンにより発生した回折光は対物瞳面134に設置された空間フィルタ122にて遮光される。一方、異物により発生した散乱光は空間フィルタ122で遮光されずに透過して結像レンズ105にて検出器106に結像され、画像信号として検出される。
TTL照明ミラー121のY方向の幅は、照明光および検査対象基板からの正反射光の光束を遮光するのに十分な幅であり、かつ検査対象基板2上の異物又は欠陥から発生した散乱光のうち正反射光近傍の散乱光の検出を邪魔しないために幅が狭い方が望ましい。
TTL照明ミラー121の位置における照明光の光束のY方向の幅は、照明光の光束の広がり角の正接と、対物瞳面134からTTL照明ミラー121までの距離との積に等しい。したがって、TTL照明ミラー121のY方向の幅を狭くするには、照明光の光束の広がり角の正接を小さくするか、又は対物瞳面134からTTL照明ミラー121までの距離を小さくすればよい。対物瞳面134からTTL照明ミラー121までの距離を小さくするには、TTL照明ミラー121を対物瞳面134にできるだけ近づけて設置すればよい。
一方、照明光の光束の広がり角の正接を小さくするには、上述したように、瞳リレーレンズ133の拡大倍率が1よりも大きくなるように構成すればよい。
すなわち、瞳リレーレンズ133を有する対物レンズ102aの構成は、上述したように、瞳リレーレンズ133の拡大倍率が1よりも大きくなるように構成することにより、対物瞳面134における正反射光のY方向の広がり角136を、対物レンズ102aに瞳リレーレンズ133を持たずに集光レンズ131だけで構成した場合の第一の瞳面132における正反射光のY方向の広がり角135と比べて小さくすることができる。その結果、TTL照明ミラー121のY方向の幅を小さくすることができ、高感度の欠陥検出に有効である。
垂直検出部170aは,ビームスプリッタ161、レンズ系162、瞳検出器163を備えた瞳検出系180、およびハーフミラー164、レンズ系165、像面検出器166を備えた像面観察系190を備える。瞳検出器163および像面検出器166の信号は全体制御部301に入力される。
ビームスプリッタ161は図示していない駆動源に駆動されて、光路に抜き差し可能である。レンズ系162は対物瞳面134と等価な瞳面を瞳検出器163の検出面上に結像するよう構成される。レンズ系165は結像レンズ105により形成される像面を像面検出器166の検出面上に結像するよう構成される。瞳検出器163および像面検出器166として、ステージ152を一方向に連続的に移動させながら検査対象基板2を撮像したときに二次元画像をリアルタイムに出力可能なCCDセンサ、CMOSセンサなどが用いられる。上記の瞳検出系180および像面観察系190により、検査対象基板2の表面の像と同時に瞳面の像が得られる。
TTL照明ミラー121およびシリンドリカルレンズ116は、図示していないY軸周りの微小角度回転機構を備えており、検査対象基板2上で線状に集光されるビームのX方向の位置を微調整することができる。この調整機構により、検査対象基板2上での、複数の検出部170a,170b,170cの視野位置、斜方照明部112による照明光の集光位置、およびTTL照明部111とTTL照明ミラー121によるTTL照明の集光位置を互いに合わせ込むことが容易になる。
ミラー散乱遮光フィルタ123はX方向に長い帯状の領域を遮光する。ミラー散乱遮光フィルタ123は対物瞳面134上にて、検査対象基板2からの正反射光を遮光する位置に設置される。空間フィルタ122はX方向に長い複数の帯状の領域を遮光する。空間フィルタ122は、検査対象基板2上に形成された周期的なパターンから発生する回折光により対物瞳面134上に形成される回折光パターンを遮光する位置に設置される。
これらの空間フィルタ122及びミラー散乱遮光フィルタ123は、照明光の波長の光を遮光する金属材料等の板、ロッド等で構成され、遮光位置の調整を可能とする位置調整機構(図示せず)を備える。ミラー散乱遮光フィルタ123、および空間フィルタ122は、Y方向の遮光幅を制御可能である。ミラー散乱遮光フィルタ123、および空間フィルタ122の遮光幅の制御は複数の遮光フィルタを重ね合せる、あるいは遮光幅の異なる遮光フィルタを複数備えて差し替える、などの手段によってなされる。なお、遮光フィルタとして、遮光領域の形状を電気信号によって制御可能な液晶フィルタ、磁気光学素子、マイクロミラーアレイ(MEMS)などの空間光変調素子を用いてもよい。
検出する欠陥の形状によって、ミラー散乱遮光フィルタ123の遮光幅を変えることが高感度検査に有効である。例えば空間周波数の低い欠陥は、対物瞳面134において正反射光の近傍に散乱光が偏るため、ミラー散乱遮光フィルタ123の遮光幅を狭くすることで欠陥信号のSN比を高くすることができる。
また、検査におけるノイズ要因となる背景パターンのラフネス、あるいは検査対象基板2の表面のラフネスによって、ミラー散乱遮光フィルタ123の遮光幅を変えることも、高感度検査に有効である。
例えば、ラフネスの粗さ(RaあるいはRMS)がラフネスの空間周波数が低い場合(例えば半導体前工程のFEOL(Front End of Line)、トランジスタ工程)は、対物瞳面134においてラフネスにより発生する散乱光が正反射光の近傍に集まるため、ミラー散乱遮光フィルタ123は狭い遮光幅でノイズを十分にカットすることが可能である。
一方、ラフネスの粗さが大きい場合(例えば半導体前工程のBEOL(Back End of Line)、配線工程)、あるいはラフネスの空間周波数が高い場合は、瞳面においてラフネスの散乱光が正反射光の周りの相対的に広い範囲に広がるため、ミラー散乱遮光フィルタ123の遮光幅を広くすることがノイズの低減に有効である。
図5A及び図5Bに本実施例にて高感度に検出可能な欠陥の例を示す。図5Aは、検査対象基板2上に形成されたラインアンドスペース(L&S)パターン201に、微小なブリッジ欠陥202が発生した状態を示す。図ではブリッジ欠陥202によってL&Sパターンがショートしている例を示したが、ブリッジ欠陥202のサイズが小さく完全に配線間がショートしていないケースもあるが、そのようなパターンの変形も、完全なショートが起きるポテンシャルを示すものであるため、欠陥として検出することが要求される場合もある。
図5Bは、図5AのA−A´断面を示す。図5Bに示すように、ブリッジ欠陥202の高さは、一般的にラインアンドスペース(L&S)パターン201よりも低い。このようなブリッジ欠陥202を検出するためには、L&Sパターン201の内部まで照明光を入り込ませる必要がある。このような照明を行うには、基板に垂直な方向(矢印211)から照明する垂直照明が有効である。
また、L&Sパターン201を照明する場合の偏光は、L&Sパターン201の長手方向(図5Aの場合はX方向)に直交するY方向の直線偏光が、L&Sパターン201の内部に透過しやすいため有効である。ブリッジ欠陥202のようにL&Sパターン201の内部に埋もれた欠陥から発生する散乱光は、L&Sパターン201に邪魔されて浅い角度には出にくく、検査対象基板2の法線に近い方向に出やすいため、検査対象基板2の法線方向近傍の散乱光を検出することが有効である。
すなわち、ブリッジ欠陥202を検出する場合、対物瞳面134(対物レンズのフーリエ変換面)では、検査対象基板2から法線方向に反射した正反射光の近傍に欠陥からの散乱光成分が分布する。従って、対物レンズ102aに入射した検査対象基板2から法線の近傍方向に反射した反射光のうち、正反射光以外で対物レンズ102aの上方に配置したTTL照明ミラー121で遮光されてしまう散乱光の量を少なくすること、即ち、正反射光近傍のできるだけ多くの散乱光を検出できるようにすることが、ブリッジ欠陥202を高感度に検出する上で望ましい。
図6A及び図6Bに対物瞳面134近傍におけるTTL照明ミラー121、空間フィルタ122、およびミラー散乱遮光フィルタ123の位置関係を示す。図6Bは対物瞳面134を対物レンズ102a側から見た図である。図6Bでは、検査対象基板2による照明の正反射光の、TTL照明ミラー121位置におけるビーム断面120を示した。TTL照明ミラー121はこのビームを遮光するのに十分な幅を持つ。実際には照明およびその正反射光はガウスビームであり、中心から離れるほど強度が弱くなる広がりのある分布を持つため、TTL照明ミラー121の幅を広げても完全に遮光することは困難である。
一例として、欠陥散乱光の検出の妨げにならないようにするために、TTL照明ミラー121の幅をビームのY方向の幅(強度が中心に対してe2乗分の1に落ちる幅)の3倍から10倍の間の幅に設定した場合について説明する。前記の瞳リレーレンズ133を用いた構成により、TTL照明ミラー121の位置における正反射光のビーム断面120の幅を小さく抑えられるため、TTL照明ミラー121の幅を例えば瞳の直径の1/4以下の幅に抑えつつ、正反射光を十分に遮光することができる。これにより検査対象基板の法線方向近傍の欠陥散乱光が強い領域124の散乱光を検出し、欠陥を高感度に検出することができる。
空間フィルタ122は、検査対象基板2上の周期的なパターンから発生する回折光を遮光し欠陥の検査感度を向上するために用いられる。検査対象基板2に照射する照明光の波長とパターンの周期性に応じて発生する回折光が対物瞳面134にて集光して回折パターンを形成するため、この回折光のパターンに応じて必要な本数の空間フィルタが回折光パターンのピッチに応じて設置される。
TTL照明ミラー121の表面および端面にTTL照明部111の側から入射した照明ビームあるいはTTL照明ミラー121で反射された照明光が照射された検査対象基板2からの正反射光が当たることにより、TTL照明ミラー121の表面および端面から散乱光125が発生する。この発生した散乱光125が検出器106に入るとノイズとなり、欠陥検出感度を低下させる原因となる。そこで、この散乱光125を遮光するために散乱遮光フィルタ123が用いられる。
ノイズとなる散乱光125は主にTTL照明部111の側から入射した照明光あるいは検査対象基板2からの正反射光のビームの端(ガウス分布状の照明強度分布の裾の部分)がTTL照明ミラー121の端面に当たって発生する。散乱遮光フィルタ123は図6Aに示すように、TTL照明ミラー121の近傍の結像レンズ105側の対物瞳面134の位置に設置される。また、図6Bに示すように、散乱遮光フィルタ123の幅Dは、対物瞳面134上に投影されたTTL照明ミラー121より幅広に設定する。これにより、ノイズとなる正反射光近傍の散乱光125が結像レンズ105に到達するのを防止することができる。
図6Aにおいて、TTL照明ミラー121の端面から発した散乱光125のうち、検出器106の受光部106’に到達する光線が通過する範囲を一点鎖線で囲まれた領域126で示した。受光部106’のY方向(長手方向)の長さをLとすると、受光部106’の端の検出光軸中心からの像高はL/2である。結像レンズ105の焦点距離をf2とすると、像高L/2に到達する光線126の結像レンズ105への入射角度はarcsin(L/(2×f2))と求められる。この角度をθとすると、TTL照明ミラー121の端部から開き角2θの範囲内に出射する散乱を遮光すればよい。TTL照明ミラー121とミラー散乱遮光フィルタ123との距離をdとすると、TTL照明ミラー121のY方向の幅に対し、ミラー散乱遮光フィルタ123の幅DをΔ=2d×tan(θ)より太くすることで、TTL照明ミラー121の端から出射して受光部106’に到達する散乱光を遮光することができる。
具体的な例として、TTL照明ミラー121のY方向の幅を3mm、f2=600mm、d=5mm、L=50mmのとき、θ=2.4°、Δ=0.42mm、必要なミラー散乱遮光フィルタ123の幅Dは3.42mmとなる。この場合、実際には設置位置の調整誤差マージンも含めるため、ミラー散乱遮光フィルタ123の幅Dは3.42mmより大きくし、例えば4mm(調整誤差マージン:0.6mm)、あるいは5mm(調整誤差マージン:1.6mm)幅とする。瞳面の遮光率を低く抑えて検出感度を確保するため、調整誤差マージンの量は必要最小限とする。
ミラー散乱遮光フィルタ123は、上記の他に、検査対象基板2の中で検査対象外の箇所から発生しノイズとなる散乱光が照明正反射光近傍を通過する場合にこれを遮光してノイズを低減する効果を有する。例えば、図5AのL&Sパターン201が微小なラフネスを持っていたり、欠陥として検出不要な程度のパターンの微小な変形を伴っていたりした場合に、ノイズとなる散乱光が発生する。特にノイズ源の空間周波数の周期が照明波長に対して長い場合に、正反射光の近傍にノイズ成分が発生しやすい。そのような場合に、ミラー散乱遮光フィルタ123のY方向の遮光幅Dを、欠陥散乱光を大きく遮光してしまわない程度に広げることで、欠陥のSN比を高めることができる。
図7に検査レシピ設定のフローチャートを示す。ここで、検査レシピとは、検査を行う検査条件(照明条件、検出条件、欠陥判定処理条件)、あるいは複数の検査条件の組合せを指す。複数の検査条件を組み合わせた検査を行う場合は、各検査条件での検査を順次実施し、各々で得られる検査結果を統合して最終的な検査結果を得る。
検査レシピ設定のフローにおいて、まず、検査レシピ設定を開始し(S701)、検査対象基板2のロード方向を設定する(S702)。ロード方向とは検査対象基板2をステージ152に設置する際の検査対象基板2の設置方位である。次に照明条件(TTL照明あるいは斜方照明)を選択する(S703)。斜方照明を選択した場合は、次に空間フィルタ122の設置位置、設置本数など空間フィルタ122の設定を行い(S704)、照明偏光設定に移る。TTL照明を選択した場合は、空間フィルタ122の設置位置、設置本数など空間フィルタ122の設定を行い(S706)、ミラー散乱遮光フィルタ123の幅を設定し(S707)、照明偏光設定に移る(S708)。S708でTTL照明部111の波長板1014を調整して照明偏光を設定したあとは、検出器106の検光条件を設定する(S709)。検光条件は、検出記106が備える偏光子104による検光方向の条件に対応する。次にアッテネータ1012とNDフィルタ1013とを調整して照明パワーを設定(S710)した後、欠陥判定処理の条件を設定する(S711)。以上により一つの検査条件が定まる。
ここで、検査対象基板の試し検査を行い(S712)、検査結果が表示部302に表示される(S713)。検査結果は、欠陥検出個数、予め検査対象欠陥として設定した欠陥の集合に含まれる各欠陥の検出可否、捕捉率、虚報数、虚報率、過去に設定された検査レシピと比較して新たに設定した検査条件によって新規に検出された欠陥の個数、などを含む。これらの情報に基づいてユーザが検査条件の有効性を判断し(S714)、検査条件が有効であると判断した場合(S714でYesの場合)は、検査レシピに検査条件を追加する(S715)。一方、検査条件が有効ではないと判断した場合(S714でNoの場合)は、S716に進む。
以上の手順で更新された検査レシピによって、検査対象とする欠陥の検出個数、検出捕捉率が目標に到達したかを判定し(S716)、目標値に到達した場合(S716でYesの場合)は、検査レシピを決定し(S717)、検査レシピ設定が終了する。目標値に到達していない場合(S716でNoの場合)は、S702に戻って新たな検査条件の設定を再度実施する。
図8に、ミラー散乱遮光フィルタ123および空間フィルタ122を設定(図7のS704、S706、S707)するために用いられるGUI(Graphic User Interface)の画面800の例を示す。なお、図8の中の画像例では縦方向が図4Bに示した対物瞳面134内のX方向、横方向が対物瞳面134内のY方向に対応する。GUIの画面800上には、ミラー散乱遮光フィルタ設定状態を示す画像表示領域810、空間フィルタ設定状態を示す画像表示領域820及び像面検出画像を表示する領域830を備えている。
ミラー散乱遮光フィルタ設定状態を示す画像表示領域810に表示される瞳検出画像1:801には、瞳検出系180の瞳検出器163によって検出される瞳面の光強度分布が表示される。図8には、正反射光を遮光したTTL照明ミラー121の影(TTL照明ミラー像401:瞳検出画像1:801の中央の2本の白線で挟まれた領域)、および検査対象基板2に形成された繰り返しパターンによる回折光の対物瞳面134での強度分布(瞳上回折光像402)の例を示す。瞳検出画像1:801において、TTL照明ミラー像401は、正反射光像、およびその近傍の散乱成分による像に重なった影として見える。
一方、ミラー散乱遮光フィルタ状態画像802には、ミラー散乱遮光フィルタ123の状態(遮光領域の位置と幅)の画像が表示される。瞳検出画像1:801は、ミラー散乱遮光フィルタ123を設置する前の状態での画像が記憶部304に保存され、その画像に表示が固定される。ミラー散乱遮光フィルタ状態画像802は、ミラー散乱遮光フィルタ123を設置した状態での対物瞳面134の光強度分布がリアルタイムに表示され、ミラー散乱遮光フィルタ123の設置、調整により、遮光領域403が暗領域(図8では白抜きの線でハッチングした領域)として表示される。瞳検出画像1:801とミラー散乱遮光フィルタ状態画像802を同時に表示することで、正反射光およびその近傍のノイズとなる散乱光を正確に遮光するようミラー散乱遮光フィルタ123の遮光領域の位置および遮光幅を設定することができる。
空間フィルタ設定状態を示す画像表示領域820に表示される瞳検出画像2:803は、ミラー散乱遮光フィルタ123を設置した状態での瞳面の光強度分布画像が表示される。画像は記憶部304に保存され、表示が固定される。ミラー散乱遮光フィルタ123を設置した状態で回折光に合せて瞳検出器163の蓄積時間、感度あるいは表示ゲインを調整することで、通常のCCDカメラと同程度のダイナミックレンジ(50〜60dB程度)の瞳検出器を用いて、正反射光近傍の領域が明るく飽和してしまうこと無く、パターン回折光を明瞭に観察することができる。
空間フィルタ設定状態を示す画像表示領域820に表示される空間フィルタ状態画像804は、ミラー散乱遮光フィルタ123および空間フィルタ122を設置した状態での対物瞳面134の光強度分布がリアルタイムに表示され、ミラー散乱遮光フィルタ123および空間フィルタ122の遮光領域が暗領域(図8では白抜きの線でハッチングした領域)として表示される。瞳検出画像2:803と空間フィルタ状態画像804を同時に表示することで、パターン回折光を正確に遮光するよう空間フィルタの遮光領域404を設定することができる。
以上はミラー散乱遮光フィルタ123と空間フィルタ122を順番に調整する例を示したが、瞳検出画像のリアルタイム表示において感度を任意に調整しながら、ミラー散乱遮光フィルタ123と空間フィルタ122の調整を同時に、あるいは交互に行ってもよい。
像面検出画像表示領域830に表示される像面検出器166が出力する像面画像411も、上記のミラー散乱遮光フィルタ設定状態を示す画像表示領域810及び空間フィルタ設定状態を示す画像表示領域820に表示される瞳検出画像と同時に表示される。これにより、像面のリアルタイム画像である像面画像411を確認しながら、上記の対物瞳面134上のミラー散乱遮光フィルタ123と空間フィルタ122の調整を行うことが可能となる。
[変形例1]
図9に、実施例1の第一の変形例として、対物レンズを介して二重極照明を行う光学系の瞳面近傍の模式図を示す。図示していない部分の構成については、基本的に実施例1で説明した構成と同じである。本変形例では、TTL照明部111において回折光学素子(DOE)あるいはレンズ系と遮光素子の組合せを用いて、線状ビームの中央が欠けた分布のビームを形成する。このように二つに分かれたビームを集光して照明する方法をここでは二重極照明と呼ぶ。この二つに分かれたビームを対物レンズ102aに入射し、瞳面の中央部を光が通過するようなTTL照明ミラー921およびミラー散乱遮光フィルタ923を用いることで、欠陥散乱光が強い検査対象基板法線方向の領域124の散乱光の検出効率を高めることができ、欠陥をより高感度に検出することが可能となる。
図9に、実施例1の第一の変形例として、対物レンズを介して二重極照明を行う光学系の瞳面近傍の模式図を示す。図示していない部分の構成については、基本的に実施例1で説明した構成と同じである。本変形例では、TTL照明部111において回折光学素子(DOE)あるいはレンズ系と遮光素子の組合せを用いて、線状ビームの中央が欠けた分布のビームを形成する。このように二つに分かれたビームを集光して照明する方法をここでは二重極照明と呼ぶ。この二つに分かれたビームを対物レンズ102aに入射し、瞳面の中央部を光が通過するようなTTL照明ミラー921およびミラー散乱遮光フィルタ923を用いることで、欠陥散乱光が強い検査対象基板法線方向の領域124の散乱光の検出効率を高めることができ、欠陥をより高感度に検出することが可能となる。
また、二重極照明を採用することにより、空間フィルタ922も、ミラー散乱遮光フィルタ923と同様に中央部が欠けた構成とする。更に、X方向の照明の集光に関して、対物レンズ中心付近の空間周波数の低い照明光成分が無くなり、対物レンズ外周付近の空間周波数の高い照明光成分の比重が相対的に高くなるため、検査対象基板2上にできる線状照明のX方向の集光幅が短くなり、空間分解能が高くなることで、微小欠陥の検出感度を向上できる利点がある。
なお、TTL照明部111において線状ビームの中央が欠けたような分布のビームを形成することは必須ではなく、通常の線状ビームを中央部が欠けたTTL照明ミラー921に照射することでも、二重極照明を実現することは可能である。この場合、照明ビームの強度の強い部分がTTL照明ミラー921の端に当たり強いノイズ散乱光が発生するため、ミラー散乱遮光フィルタ923の設置が必須である。またミラー散乱遮光フィルタ923の幅を実施例1で説明したものよりも大きくすることが有効である。
[変形例2]
図10に、実施例1の第二の変形例として、対物瞳面134においてスリット付ミラー141を用いた光学系の垂直検出部の構成図を示す。TTL照明部111にて形成された線状照明ビームはスリット付ミラー141のスリット状の開口部分を通過し、対物レンズ102aを介して検査対象基板2に線状に集光される。検査対象基板2にて生じた欠陥散乱光を含む散乱光および反射光は、対物レンズ102aにて集光され、スリット付ミラー141において照明光の正反射光成分を除いて反射され、結像レンズ105によって集光され、検出器106にて検出される。そのほかの部分構成については実施例1で説明した構成と同じであるので、説明を省略する。
図10に、実施例1の第二の変形例として、対物瞳面134においてスリット付ミラー141を用いた光学系の垂直検出部の構成図を示す。TTL照明部111にて形成された線状照明ビームはスリット付ミラー141のスリット状の開口部分を通過し、対物レンズ102aを介して検査対象基板2に線状に集光される。検査対象基板2にて生じた欠陥散乱光を含む散乱光および反射光は、対物レンズ102aにて集光され、スリット付ミラー141において照明光の正反射光成分を除いて反射され、結像レンズ105によって集光され、検出器106にて検出される。そのほかの部分構成については実施例1で説明した構成と同じであるので、説明を省略する。
図11A及び図11Bにスリット付ミラー141の模式図を示す。
図11Aのように中央にスリット状の細い開口142が開いており、ここをTTL照明部111から出射された照明光が透過する。開口142を透過した照明光は、対物レンズ102aを透過して検査対象基板2に照射される。この照明光が照射された検査対象基板2で生じた散乱光のうち対物レンズ102aを透過した散乱光はスリット付ミラー141に入射する。スリット付ミラー141のスリット142以外の箇所に当たった散乱光は、結像レンズ105の側に反射され、検出器106の検出面106´上に結像される。一方、検査対象基板2で生じた散乱光のうちスリット付ミラー141のスリット142に入射した検査対象基板2からの正反射光を含む散乱光は、スリット142を通過して検出器106には達しない。
図11Aのように中央にスリット状の細い開口142が開いており、ここをTTL照明部111から出射された照明光が透過する。開口142を透過した照明光は、対物レンズ102aを透過して検査対象基板2に照射される。この照明光が照射された検査対象基板2で生じた散乱光のうち対物レンズ102aを透過した散乱光はスリット付ミラー141に入射する。スリット付ミラー141のスリット142以外の箇所に当たった散乱光は、結像レンズ105の側に反射され、検出器106の検出面106´上に結像される。一方、検査対象基板2で生じた散乱光のうちスリット付ミラー141のスリット142に入射した検査対象基板2からの正反射光を含む散乱光は、スリット142を通過して検出器106には達しない。
図11Bは第一の変形例の二重極照明に対応するスリット付ミラー143を用いた例である。スリット付ミラー143の中央部に到達した欠陥散乱光をスリット付ミラー143で反射して検出する構造である。第一の実施例で説明したTTL照明ミラー121は細長い棒状の反射ミラーで照明光を反射するのに対し、本変形例のスリット付ミラー143を用いた構成では照明光はスリットを通過するため、ミラーの形状歪みにより照明光の集光精度が低下することなく、試料上の照明光分布を正確に形成することができる利点がある。また、スリット付ミラー141及び143は、平面ミラーに細長い開口142又は144を設けた構造であり面精度を保ちやすいため、その反射によって検出像を劣化させることはない。
なお、本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
また、制御線や情報線は説明上必要と考えられるものを示しており、製品上必ずしも全ての制御線や情報線を示しているとは限らない。実際には殆ど全ての構成が相互に接続されていると考えてもよい。
101・・・光源部 20・・・処理部 102・・・対物レンズ 103・・・対物瞳光学部 105・・・結像レンズ 106・・・検出器 111・・・TTL照明部 112・・・斜方照明部 115・・・ミラー 116・・・円柱レンズ 121・・・TTL照明ミラー 122・・・空間フィルタ123・・・ミラー散乱遮光フィルタ 151・・・ステージ駆動部 152・・・X-Y-Z-θステージ 301・・・全体制御部 302・・・表示部 303・・・演算部 304・・・記憶部。
Claims (12)
- 試料を載置して平面内で移動可能なテーブル部と、
レーザを発射する光源と、
該光源から発射された前記レーザの光路を分岐する光路分岐部と、
該光路分岐部で分岐された一方の光路を進んだ前記レーザを線状に集光して前記テーブル部に載置された前記試料に斜方から照射する斜方照明部と、
前記光路分岐部で分岐された他方の光路を進んだ前記レーザを線状に集光する集光部と、
該集光部で線状に集光された前記レーザを反射して該レーザの光路を折り曲げるミラー部と、
該ミラー部で光路を折り曲げられたレーザを入射させて前記前記テーブル部に載置された前記試料に垂直方向から照射すると共に前記レーザが照射された前記試料からの反射散乱光を集光する対物レンズ部と、
該対物レンズ部で集光された前記試料からの反射散乱光のうち前記試料上に形成された周期的なパターンから発生する回折光を遮光すると共に前記ミラー部から発生する散乱光を遮光する空間フィルタ部と、
該空間フィルタで遮光されなかった前記試料からの反射散乱光を入射して該反射散乱光の像を形成する結像レンズ部と、
該結像レンズ部で結像された前記反射散乱光の像を検出する検出部と、
該検出部で前記反射散乱光の像を検出して得た検出信号を処理して前記試料上の欠陥を検出する信号処理部と
を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1記載の欠陥検査装置であって、前記空間フィルタ部は、前記試料上に形成された周期的なパターンから発生する回折光を遮光する遮光部と、前記ミラー部に入射する前記レーザと前記試料からの正反射光により前記ミラー部で発生する散乱光を遮光する遮光部とを有し、該散乱光を遮光する遮光部は前記瞳面に投影される前記ミラー部の幅よりも大きい幅を有することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1記載の欠陥検査装置であって、前記対物レンズは集光レンズと、該集光レンズにより形成される第一の瞳を再結像して第二の瞳を形成する瞳リレーレンズとを備えていることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項3記載の欠陥検査装置であって、前記ミラー部と前記空間フィルタ部とを、前記対物レンズ部の第二の瞳面上又は該第二の瞳面の近傍に配置したことを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項3記載の欠陥検査装置であって、前記瞳リレーレンズで形成した前記第二の瞳面を観察する瞳検出系と、前記結像レンズで形成される前記反射散乱光の像を観察する像面観察系とを更に備えることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1乃至5の何れかに記載の欠陥検査装置であって、前記斜方照明部による斜方からの照明又は前記ミラーで光路を折り曲げられたレーザによる前記対物レンズを介した垂直方向からの照明により前記試料から発生した反射散乱光のうち前記試料に対して斜方に反射散乱した光を集光して検出する斜方検出光学系を更に備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
- 光源から発射されたレーザを線状に集光し、
該線状に集光した前記レーザをミラーで反射し、
該反射したレーザを対物レンズを介してテーブルに載置した試料に垂直方向から照射し、
該レーザを垂直方向から照射した前記試料からの反射散乱光を前記対物レンズで集光し、
該対物レンズで集光した前記試料からの反射散乱光のうち前記試料上に形成された周期的なパターンから発生する回折光と前記ミラーから発生する散乱光とを空間フィルタで遮光し、
該空間フィルタで遮光されなかった前記試料からの反射散乱光を結像レンズに入射させて前記反射散乱光の像を形成し、
該形成した前記反射散乱光の像を検出器で検出し、
該検出器で前記反射散乱光の像を検出して得た検出信号を処理して前記試料上の欠陥を検出する
ことを特徴とする欠陥検査方法。 - 請求項7記載の欠陥検査方法であって、前記空間フィルタは、前記ミラーから発生する散乱光として、前記ミラーに入射する前記レーザと前記試料からの正反射光により前記ミラーで発生する散乱光を、前記瞳面に投影される前記ミラー部の幅よりも大きい幅を有する遮光部で遮光することを特徴とする欠陥検査方法。
- 請求項7記載の欠陥検査方法であって、前記試料からの反射散乱光を前記対物レンズの集光レンズで集光して第一の瞳面上に結像し、該第一の瞳面上に結像された前記試料からの反射散乱光の像を瞳リレーレンズで第二の瞳面上に結像することを特徴とする欠陥検査方法。
- 請求項9記載の欠陥検査方法であって、前記ミラーと前記空間フィルタとを、前記対物レンズ部の第二の瞳面上又は該第二の瞳面の近傍に配置したことを特徴とする欠陥検査方法。
- 請求項9記載の欠陥検査方法であって、前記瞳リレーレンズで形成した前記第二の瞳面を瞳検出系で観察し、前記結像レンズで形成される前記反射散乱光の像を像面観察系で観察することを更に含むことを特徴とする欠陥検査方法。
- 請求項7乃至11の何れかに記載の欠陥検査方法であって、前記光源から発射されたレーザを分岐し、該分岐したレーザを線状に集光して前記テーブルに載置された試料に斜方から照射し、該斜方から照射したレーザにより前記試料から発生した反射散乱光を前記試料の表面に対して傾斜した方向に配置した斜方検出系で検出する工程を更に含むことを特徴とする欠陥検査方法。
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