JP2000302841A - エポキシ樹脂組成物 - Google Patents
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Abstract
た比較的低温での熱硬化で配線基板上の各部品に悪影響
を及ぼさずに、配線基板上にCSPやBGA等の半導体
装置を確実に接続し、耐ヒートショック性(温度サイク
ル性)、耐衝撃性に優れ、また、硬化物中からの汚染物
質のブリードがなく、かつ、不良が発見された際には容
易にCSPやBGAを配線基板から取り外すことがで
き、正常な配線基盤、または半導体装置の再利用が可能
なアンダーフィル封止用のエポキシ樹脂組成物を提供す
ること。 【解決手段】 CSPやBGA等の半導体装置と、この
半導体装置が電気的に接続される配線基板との間を封止
するアンダーフィル封止剤に用いられる熱硬化性樹脂組
成物であって、a.常温で液状であり、かつ分子内に2
個以上のグリシジル基を持った多官能性エポキシ樹脂1
00重量部、b.硬化剤3〜80重量部、c.変性エポ
キシ樹脂1〜100重量部、上記a〜cを主成分とする
エポキシ樹脂組成物とした。
Description
チップ等の半導体素子をキャリア基材上にのせたチップ
サイズ(スケール)パッケージ(CSP)やボールグリ
ッドアレイ(BGA)等の半導体装置を配線基板上へ実
装するときに用いられるアンダーフィル封止剤に関す
る。
やノート型パーソナルコンピューター等の小型電子機器
が普及するにつれLSI装置やICチップの小型化が求
められている。そして、LSI等の半導体ベアチップを
保護したり、テストを容易にするパッケージの特徴を生
かしながら、ベアチップ並に小型化し、特性の向上を図
る目的でCSPやBGAが普及しつつある。
基板上の配線と接続される。しかし、実装後に温度サイ
クルを受けると基板とCSPやBGAとの接続信頼性を
保てない場合があり、通常、CSPやBGAを配線基板
上に実装した後に、CSPやBGAと基板との隙間に封
止樹脂を入れて(アンダーフィル封止)、温度サイクル
による応力を緩和し、耐ヒートショック性を向上させて
電気的接続の信頼性を向上させている。また、落下等の
衝撃によるCSPやBGAの脱落防止の補強剤としても
アンダーフィル封止剤が用いられている。
フィル封止剤としては熱硬化型のエポキシ樹脂、アクリ
ル樹脂(特許第2746035、特開平10−1019
06、特開平10−158366、特開平10−649
32)等が使用されてきた。しかし、封止材料として熱
硬化性樹脂を用いるために、配線基板にCSPやBGA
を実装した後に、CSPやBGA上のLSIの不良、C
SPやBGAと配線基板との接続の不良等が発見された
ときに、これらの熱硬化性樹脂を剥離してCSPやBG
Aを交換することが極めて困難であるという問題があっ
た。
には、光硬化性接着剤を用いてベアチップを配線基板上
に固定接続し、不良の際にはこれを取り除く実装方法が
記載されているが、光硬化性接着剤を用いているため光
照射が可能なガラス等の透明基板に限られる等の問題点
がある。
チツプと基板との固定接続を所定温度で硬化する樹脂を
用いて行い、不良の際にこの所定温度より高い温度で樹
脂を軟化させてベアチップを取り外す方法が記載されて
いる。しかしながら、この公報には接着剤についての具
体的な開示がなく、信頼性とリペア特性の両方を満足す
る方法は依然として知られていなかった。
から剥離するために、有機溶剤等に浸漬して剥離を行う
ことが行われてきたが、剥離性(リペア性)を向上させ
ると接着剤本来の性能が低下し、接着剤の接着性や耐久
性を向上させると剥離性が低下するといった状況にあ
り、本来の接着剤としての機能と剥離性を両立するもの
は未だに知られていない。そのため、特開平6−772
64では、溶剤を使用しての膨潤や溶解による剥離に代
わって電磁波を照射して樹脂残さを取り除く方法を採用
しているが、この方法では設備が大がかりになるばかり
か接着剤の残さを取り除くことが精一杯で接着剤の剥離
性そのものを大幅に改良するものではない。
フエノールA型エポキシ樹脂を用いて、ベアチップを配
線基板上に接続固定し、不良の際にはこれを取り除く実
装方法が記載されている。しかし、この方法ではチップ
の取り外しが必ずしも容易ではなく、ミリング加工でチ
ツプを切削する方法を採った場合には、チップが正常で
ある場合でもチップ自体を機械的に切除してしまうため
の再利用ができないという問題があった。
剥離性(リペア性)を付与された接着剤として特開平1
0−204259には、一液性または二液性エポキシ樹
脂に可塑剤を添加することによって短時間の熱硬化が可
能で、かつ、CSPやBGA等の半導体装置を配線基盤
に接続でき、耐ヒートショック性(温度サイクル性)に
優れ、かつ不良が発見されたときに容易にCSPやBG
Aを取り外すことが可能なアンダーフィル封止用熱硬化
性樹脂組成物が記載されている。しかしながら、この方
法では可塑剤を用いるので樹脂強度、すなわち耐久性や
耐熱性、耐ヒートサイクル性が低下したり、硬化物中か
らの可塑剤のブリードによって周囲を汚染するといった
問題点があった。
解決するもので、すなわち、短時間の熱硬化が可能で生
産性がよく、また比較的低温での熱硬化で配線基板上の
各部品に悪影響を及ぼさずに、配線基板上にCSPやB
GA等の半導体装置を確実に接続し、硬化後の耐ヒート
ショック性(温度サイクル性)、耐衝撃性に優れ、ま
た、硬化物中からの汚染物質のブリードがなく、かつ、
不良が発見された際には容易にCSPやBGAを配線基
板から取り外すことができ、正常な配線基盤、または半
導体装置の再利用が可能なアンダーフィル封止用のエポ
キシ樹脂組成物を提供することを目的とする。
A等の半導体装置と、この半導体装置が電気的に接続さ
れる配線基板との間を封止するアンダーフィル封止剤に
用いられる熱硬化性樹脂組成物であって、 a.常温で液状であり、かつ分子内に2個以上のグリシ
ジル基を持った多官能性エポキシ樹脂100重量部、 b.硬化剤3〜80重量部、 c.変性エポキシ樹脂1〜100重量部 上記a〜cを主成分とするエポキシ樹脂組成物により前
述の課題を解決した。
または比較的低温で硬化するにも関わらず、硬化物の耐
ヒートショック性(温度サイクル性)、耐衝撃性に優
れ、しかもこの硬化物は加熱して力を加えると容易に引
き裂くことが可能であり、さらに配線基板等に付着した
硬化物も加熱することにより、容易に取り除くことがで
きる性質を有している。
って、短時間の熱硬化が可能で生産性がよく、比較的低
温での熱硬化で配線基板上の各部品に悪影響を及ぼさず
に、CSPやBGA等の半導体装置を確実に配線基板に
接続することが可能であり、接続後の半導体の実装構造
は耐ヒートショック性(温度サイクル性)、耐衝撃性に
優れ、また硬化物中からの汚染物質のブリードを生じな
い。そして電気的接続等に不良が発見されたときに容易
に半導体装置を取り外すことが可能であるので、半導体
装置や配線基板等を再度利用することができ、生産工程
の歩留まり向上、生産コストの低減を図ることができ
る。
状であり、かつ分子内に2個以上のグリシジル基をもつ
一般的な多官能エポキシ樹脂を使用することができ、必
要に応じて反応性希釈剤として、単官能エポキシ樹脂を
0〜30重量%、好ましくは0〜20重量%(いずれも
全エポキシ樹脂中の重量%)程度含んでもよい。ここで
常温で液状であり、かつ分子内に2個以上のグリシジル
基をもつ一般的な多官能エポキシ樹脂としては、ビスフ
ェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキ
シ樹脂、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂、フェノー
ルノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型
エポキシ樹脂等を挙げることができる。これらのエポキ
シ樹脂は2種以上を混合して使用してもよい。これらは
粘度や物性を考慮して選択することができる。好ましく
は、粘度を考慮するとビスフェノールF型エポキシ樹
脂、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂であり、特に好
ましくはビスフェノールF型エポキシ樹脂である。ま
た、エポキシ樹脂の分子量は320〜380の範囲が適
当である。
硬化物のガラス転移点を低下させ、かつ、硬化したとき
に架橋構造の一部として組み込まれるための反応基を有
していることが好ましい。こうすることにより、均一な
硬化物ができ、未反応成分がブリードするという問題も
生じない。このような変性エポキシ樹脂としては、具体
的には植物油変性エポキシ樹脂、ゴム変性エポキシ樹
脂、ダイマー酸変性エポキシ樹脂が好ましいが、上記し
た性質を有する変性エポキシ樹脂であればこれらに限定
されない。これらの変性エポキシ樹脂は2種以上を混合
して使用してもよい。
ひまし油変性物、亜麻仁油変性物、大豆油変性物等で、
分子中に1個以上のグリシジル基をもつ植物油類を挙げ
ることができる。また、液状ゴム変性エポキシ樹脂とし
ては、例えば液状ポリイソプレン変性物、液状ポリクロ
ロプレン変性物、液状ポリブタジエン変性物、液状アク
リロニトリル−ブタジエン共重合体変性物等で、分子中
に1個以上のグリシジル基をもつ液状ゴム変性物類を挙
げることができる。その他に、分子中にグリシジル基を
もつダイマー酸変性エポキシ樹脂等を挙げることができ
る。これら変性エポキシ樹脂のうち、特に好ましいもの
として粘度を考慮すると、植物油変性エポキシ樹脂類で
は50,000cps(センチポイズ)以下、ダイマー
酸変性エポキシ樹脂類では20,000cps以下、液
状ゴム変性エポキシ樹脂類では100,000cps以
下のものが挙げられる。
い例としては、植物油変性エポキシ樹脂と、ダイマー酸
変性エポキシ樹脂を混合して使用すると、耐ヒートショ
ック性が更に向上し、性能的にバランスのとれた組成物
が得られる。また、この時の植物油変性エポキシ樹脂と
ダイマー酸変性エポキシ樹脂の混合比は、重量部で7:
3〜3:7が好ましい。
キシ樹脂100重量部に対して、通常1〜100重量
部、好ましくは3〜50重量部である。1重量部より少
ない場合はリペア性が十分に発揮されない恐れがあり、
100重量部よりも多い場合は硬化物の強度が不十分と
なる恐れがある。
がすべて混合された一液性であっても、エポキシ樹脂と
硬化剤とを別々に保存し使用時に混合して用いる二液性
であってもよい。従って、本発明に用いられる硬化剤と
しては、硬化剤として一般的に一液性のエポキシ樹脂に
用いられるもの、及び二液性のエポキシ樹脂に用いられ
るものが使用できるが、作業性を考慮すると一液性が好
ましく、具体的にはジシアンジアミド等のアミン系化合
物、イミダゾール化合物、変性アミン化合物、変性イミ
ダゾール化合物、酸無水物等の潜在性硬化剤を挙げるこ
とができる。
メチルイミダソール、2−エチル−4ーメチルイミダゾ
ール、2−フエニルイミダソール等を挙げることができ
る。
物にアミン化合物を付加させたエポキシ化合物付加ポリ
アミンや変性脂肪族ポリアミン等を挙げることができ
る。
シ化合物にイミダソール化合物を付加させたイミダゾー
ル付加物等を挙げることができる。
水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチル
テトラヒドロ無水フタル酸等を挙げることができる。
熱硬化性を考慮すると変性イミダゾール化合物が好まし
く、硬化条件に応じて2種類以上の潜在性硬化剤を併用
してもよい。
0重量部に対して3〜80重量部であり、好ましくは5
〜50重量部である。3重量部より少ない場合は硬化が
不十分となる恐れがあり、80重量部よりも多い場合は
硬化物中に未反応の硬化剤が残留し耐湿性等の物性に悪
影響を与える恐れがある。
成物は、配線基板と半導体装置の隙間の間に容易に浸透
するか、少なくとも加熱時に粘度が低下して容易に浸透
するような物性を考慮して選択して使用することができ
る。
じてさらに、脱泡剤、レベリング剤、染料、顔料、充填
剤、防錆剤等のその他の添加物を本発明の目的を達成で
きる範囲で少量配合することができる。例えば、光重合
開始剤を添加して光硬化性を付与したりすることも可能
である。また、本発明のエポキシ樹脂組成物を製造する
には、従来公知の混合方法により容易に製造できるが、
組成物中に気泡を抱き込まないようにするため、減圧下
で混合するか、もしくは混合した組成物を減圧して脱泡
することが望ましい。
述する。本発明のエポキシ樹脂を用いた実装構造を、図
1に示す。
に搭載されており、半導体装置1側の半田バンプ3によ
り配線基板2側の電極4と電気的に接続されている。こ
の半導体装置1と配線基板2の間は、信頼性を高めるた
めに本発明のエポキシ樹脂組成物の硬化物5によりアン
ダーフィル封止されている。エポキシ樹脂組成物の硬化
物5による封止は、半導体装置1と配線基板2の隙間を
すべて充填していなければならないものではなく、温度
サイクルや衝撃による応力を緩和できる程度充填されて
いれば良い。
を生かして使用できる半導体装置は、CSP及びBGA
を含むものである。
はなく、ガラスエポキシ、ABS、フェノール等の配線
基板として通常用いられる基板が用いられる。
基板2の必要箇所に半田ペーストを印刷し、適宜溶剤を
乾燥した後、基板上のパターンに合わせて半導体装置1
を搭載する。この基板をリフロー炉に通すことにより半
田を溶融させて半田付けを行う。ここで、半導体装置1
と配線基板2との電気的な接続は、半田ペーストに限ら
れることはなく、半田バンプ3(半田ボール)を用いた
接続でもよい。また、導電性接着剤または異方導電性接
着剤を用いて接続してもよい。また、半田ペースト等の
塗布または形成は、配線基板側及び半導体装置側のどち
らに行ってもよい。ここで用いる半田、(異方性)導電
接着剤は、後にリペアする場合を考慮し適宜融点、接着
強度等を選択して使用する。
的に接続した後、通常は導通試験等の検査を行い、合格
した場合に次の樹脂組成物を用いて固定することが好ま
しい。不良が発見された場合には樹脂で固定する前に取
り外した方が簡単であるからである。
用いて半導体装置の周囲にエポキシ樹脂組成物を塗布す
る。この樹脂組成物を塗布した際に樹脂組成物は毛細管
現象により配線基板と半導体装置のキャリア基材とのす
き間に浸透する。
せる。この加熱の初期において粘度が大きく低下して流
動性が高まり、配線基板と半導体装置との間にさらに浸
透しやすくなる。また、基板に適当な空気抜け穴を設け
るか、樹脂を一部塗布しない箇所を設けることによっ
て、配線基板と半導体装置との間に十分に浸透させるこ
とができる。エポキシ樹脂組成物の塗布量は、半導体装
置と配線基板との間をほぼ充填するように適宜調整す
る。
成物を使用した場合、通常70℃〜150℃で、1〜6
0分程度である。硬化条件は、配線基板等への熱の影響
が心配なときは低温硬化、生産性を上げたいときは高温
短時間硬化というように、作業性に合わせて各成分の選
定、配合比によって適宜調整する。このようにして図1
に示す実装構造が完成する。
明のエポキシ樹脂組成物を用いた実装方法においては、
上記のように半導体装置を配線基被上に実装した後に、
半導体装置の特性、半導体装置と配線基板との接続、そ
の他の電気的特性を検査する。このときに、万一不良が
発見されたときには次のようにリペアすることができ
る。
00℃程度にて数秒〜1分程度加熱する。加熱手段は特
に制限はないが、部分的に加熱することが好ましく、例
えば熱風を不良個所に当てる等の比較的簡単な手段を用
いることができる。
度が低下したところでピンセット等を用いて半導体装置
を引き剥がす。この時の状態を図2に示す。
た後、配線基板2上にはエポキシ樹脂組成物の硬化物の
残さ6と半田の残さ8が残っている。エポキシ樹脂組成
物の硬化物の残さ6は、所定温度に加熱し、スクレイパ
ー、ブラシ等を用いてかき取って取り除くことができる
が、200〜350℃に加熱した平たい金属片(ホット
ナイフ、半田ゴテ(先端形状が平面なもの)等)のよう
なものを用いると、最も容易に取り除くことができる。
尚、硬化物の残さを取り除く際は、配線基板上のパター
ンを剥がしてしまう恐れがあるので、充分慎重に行う必
要がある。また、半田の残さ8は、例えば半田吸い取り
用の編組線等を用いて除去することができる。
び半田の残さを取り除いた後、アルコール等にてはく離
面の仕上げを行う。このような操作によりきれいになっ
た配線基板上に前述と同じ操作により再度半導体装置を
実装することで不良個所のリペアが完了する。
導体装置側に残ったエポキシ樹脂組成物の硬化物残さ
7、及び半田の残さ9を同様にして除去することで、半
導体装置を再度利用することができる。
さらに詳細に説明する。 (1)使用したエポキシ樹脂組成物 下記のA)エポキシ樹脂、B1)、B2)硬化剤及びC
1)、C2)、C3)エポキシ変性物を表1の割合で混
合し、脱泡してエポキシ樹脂組成物を得た。 A) エポキシ樹脂:ビスフェノールF型エポキシ樹脂
(油化シェルエポキシ社製 商品名:エピコート80
7) B1) 硬化剤:変性イミダゾール化合物(味の素社製
商品名:アミキュアPN−23) B2) 硬化剤:変性脂肪族ポリアミン(富士化成工業
社製 商品名:フジキュアー FXE−1000) C1)変性エポキシ樹脂:ダイマー酸変性物(油化シェ
ルエポキシ社製 商品名:エピコート871) C2)変性エポキシ樹脂:大豆油変性物(ダイセル化学
工業社製 商品名:ダイマックS−300K) C3)変性エポキシ樹脂:ひまし油変性物(三井化学社
製 商品名:エポミック R151)
3)変性エポキシ樹脂を添加しない配合とした。(表1
参照)
変性エポキシ樹脂の添加量を増加した配合とした。 (表1参照)
エポキシ樹脂の変わりにD)フタル酸ジオクチルを加え
た配合。(表1参照)
端子数176ピンのものを用いた。半田ペーストを配線
基板(ガラスエポキシ)の電極上に印刷供給し、CSP
を搭載し、リフロー炉により半田接合を行った。
サを用いてCSPの周囲に塗布し、引き続き80℃で6
0分間加熱してエポキシ樹脂組成物を硬化させた。この
ときエポキシ樹脂組成物は、完全に硬化する前に半導体
装置と配線基板の間に浸透した。
0分とした1サイクル1時間の条件で行い、100サイ
クル毎に試料の導通試験を行い、CSPと基板との電気
的接続を確認した。1000サイクル以上でも導通があ
ったものを合格とし、この回数より前に断線等で非導通
となったものを不合格とした。
に導通試験を行い、CSPと基板との電気的接続を確認
し、導通があったものを合格とし、この回数より前に断
線等で非導通となったものを不合格とした。
近を、熱風発生器を用いて、260℃程度の熱風を10
秒間あてて加熱し、CSPとガラスエポキシ基板の間に
ピンセットによりつまんで持ち上げ、CSPを取り外し
た。
状が平面なもの)を用いてガラスエポキシ基板上に残っ
ている樹脂と半田を取り除いた。また、それだけでは完
全に取り除くことができなかったガラスエポキシ基板上
に残っている半田を半田吸い取り用編組線で除去し、ア
ルコール等を用いて基板表面の洗浄を行った。
スエポキシ基板上に再度、半田ペーストを塗布し、新た
なCSPを実装した。尚、このとき新しいCSP側に半
田ペーストを印刷しても良い。
Pの周囲に塗布し、引き続き80℃で60分間加熱して
エポキシ樹脂組成物を硬化させた。
が、電気的接続も確実になされており、耐ヒートショッ
ク試験、耐衝撃性試験においても、リペアしない場合と
同様の特性を示したものを合格とした。これらの結果を
表2にまとめた。
で生産性がよく、比較的低温での熱硬化で配線基板上の
各部品に悪影響を及ぼさずに、配線基板上にCSPやB
GA等の半導体装置を確実に接続し、耐ヒートショック
性(温度サイクル性)、耐衝撃性に優れ、また、硬化物
中からの汚染物質のブリードがなく、かつ、不良が発見
された際には容易にCSPやBGAを配線基板から取り
外すことができ、正常な配線基盤、または半導体装置の
再利用が可能なアンダーフィル封止用のエポキシ樹脂組
成物を提供することができる。
性エポキシ樹脂とダイマー酸変性エポキシ樹脂を混合し
て使用すると、耐ヒートショック性、耐衝撃性が更に向
上し、性能的にバランスのとれたエポキシ樹脂組成物が
得られる。
置を配線基板上に固着させた実装構造の例である。
導体装置を配線基板から引き剥がした際の例である。
側) 8 半田の残さ(配線基板側) 9 半田の残さ(半導体装置側)
Claims (6)
- 【請求項1】 CSPやBGA等の半導体装置と、この
半導体装置が電気的に接続される配線基板との間を封止
するアンダーフィル封止剤に用いられる熱硬化性樹脂組
成物であって、 a.常温で液状であり、かつ分子内に2個以上のグリシ
ジル基を持った多官能性エポキシ樹脂100重量部、 b.硬化剤3〜80重量部、 c.変性エポキシ樹脂1〜100重量部 上記a〜cを主成分とするエポキシ樹脂組成物。 - 【請求項2】 前記a多官能エポキシ樹脂がビスフェノ
ールF型エポキシ樹脂である請求項1に記載のエポキシ
樹脂組成物。 - 【請求項3】 前記c変性エポキシ樹脂が、植物油変性
エポキシ樹脂、ダイマー酸変性エポキシ樹脂、液状ゴム
変性エポキシ樹脂の中から選ばれる分子内に1個以上の
グリジジル基を持つ化合物の少なくとも1種からなる請
求項1に記載のエポキシ樹脂組成物。 - 【請求項4】 前記c変性エポキシ樹脂が、植物油変性
エポキシ樹脂及びダイマー酸変性エポキシ樹脂の混合物
である請求項3に記載のエポキシ樹脂組成物。 - 【請求項5】 前記b硬化剤が、アミン化合物、イミダ
ゾール化合物、変性アミン化合物及び変性イミダゾール
化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種からなる
請求項1に記載のエポキシ樹脂組成物。 - 【請求項6】 前記b硬化剤が、変性脂肪族ポリアミン
を主成分とするアミン化合物である請求項5に記載のエ
ポキシ樹脂組成物。
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