JP2000275203A - 接触燃焼式ガスセンサ - Google Patents

接触燃焼式ガスセンサ

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JP2000275203A
JP2000275203A JP8308399A JP8308399A JP2000275203A JP 2000275203 A JP2000275203 A JP 2000275203A JP 8308399 A JP8308399 A JP 8308399A JP 8308399 A JP8308399 A JP 8308399A JP 2000275203 A JP2000275203 A JP 2000275203A
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JP
Japan
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oxidation catalyst
gas sensor
thickness
catalyst layer
layer
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JP8308399A
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English (en)
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Hiromasa Takashima
裕正 高島
Takashi Ozawa
崇 小澤
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Yazaki Corp
Original Assignee
Yazaki Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 長寿命な接触燃焼式ガスセンサを提供する。 【解決手段】 基板ダイアフラム部に検出部を有する接
触燃焼式ガスセンサであって、該検出部の酸化触媒層の
厚さが20μm以上である接触燃焼式ガスセンサ。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、接触燃焼式ガスセ
ンサ技術に関する。
【0002】
【従来の技術】接触燃焼式ガスセンサは、白金などから
なる導電性線材の周囲に酸化触媒層を配してなり、雰囲
気中の可燃ガスが酸化触媒層で雰囲気中の酸素により酸
化される際に生じる燃焼熱を検出し、可燃性ガス濃度を
測定するセンサである。このような接触燃焼式ガスセン
サのうち、コンパクトで、周辺の電気回路と共に一体化
が容易なものとして、アルミナ基板やシリコンウエハ等
を基板とし、これら基板上に薄膜ヒータを形成し、さら
にこの薄膜ヒータを覆うように酸化触媒層を形成してな
る薄膜型接触燃焼式ガスセンサが最近用いられるように
なってきた。
【0003】この薄膜型接触燃焼式ガスセンサは、その
薄膜ヒータの特性から、低消費電力であって電池駆動が
可能であり、また、応答性に優れ、さらに半導体製造技
術を応用することによって、小型化・大量生産が容易で
ある。図4にこのような薄膜型接触燃焼式ガスセンサB
の例を示す。
【0004】図4(a)に上面図(白金ヒータが見える
ように示してある)、図4(b)に図4(a)のDDに
おける断面図をそれぞれ示す。なお、このセンサの場
合、上面は3mm×3mmの正方形で、また、高さは
0.4mmである。図中符号1がシリコン基板、2は酸
化ケイ素層(SiO2、厚さ5000Å)であり、この
酸化ケイ素層2の上にさらに窒化ケイ素層3(Si
34、厚さ2500Å)が設けられていて、これらが基
板を構成している。
【0005】この基板上に白金からなるヒータ(「白金
ヒータ4」、厚さ2500Å)及びその端子4aが設け
られ、この白金ヒータ4のヒータ部4bは厚さ数μmの
酸化触媒層5(この例では厚さ3μmのパラジウム添着
アルミナ層)により覆われている。
【0006】なお、基板における酸化触媒層が設けられ
ている検出部α付近の裏面はシリコン基板が異方エッチ
ングにより除去されて薄くなっていて、酸化ケイ素層が
露出してダイアフラム部βを形成している。このダイア
フラム部βにより、検出部の熱容量、及び、基板への熱
伝導が小さくなっていて、消費電力の低減、センサ感度
の向上に寄与している。
【0007】このように薄膜型接触燃焼式ガスセンサは
消費電力が小さく、感度の高い優れたセンサであるが、
耐久性に問題があった。すなわち、比較的短時間の使用
によりセンサ感度が低下し、そのため、定期的な校正作
業やセンサ自体の交換作業、あるいは、測定値の補正の
ための特別な回路の付属による高コスト化及び高消費電
力化等、本来、電池駆動によるメンテナンスフリーを目
的とする分野への参入が可能とされた薄膜型接触燃焼式
ガスセンサにとって、まさに陥穽とも云えるような欠点
があった。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した従
来の問題点を改善する、すなわち、長寿命な接触燃焼式
ガスセンサを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、従来技術
に係る接触燃焼式ガスセンサにおける感度の経時変化に
ついて詳細な検討を行ったところ、感度の経時変化はヒ
ータを被覆している酸化触媒層の厚さに大きく影響され
ることを見出して本発明に至った。すなわち、本発明の
接触燃焼式ガスセンサは上記従来技術に係る課題を解決
するため、請求項1に記載の通り、基板ダイアフラム部
に検出部を有する接触燃焼式ガスセンサであって、該検
出部の酸化触媒層の厚さが20μm以上である接触燃焼
式ガスセンサである。
【0010】
【発明の実施の形態】本発明の接触燃焼式ガスセンサに
おいて、基板ダイアフラム部上に設けられた検出部の酸
化触媒層の厚さは20μm以上であることが必要であ
る。20μm未満であると充分なセンサ寿命が得られな
い。一方300μm超である場合、消費電力が大きくな
り、その結果、長期間の電池駆動が困難になってしまう
ため、本発明の効果を充分に活かすようなメンテナンス
フリーの測定装置を構成することが困難となる。
【0011】
【実施例】以下に本発明の接触燃焼式ガスセンサについ
て具体的に説明する。図1に本発明に係る接触燃焼式ガ
スセンサの例Aを示す。図1(a)に上面図(モデル
図)、また、図1(b)に図1(a)のDDにおける断面
図(モデル図)を示す。
【0012】なお、このセンサの、上面は3mm×3m
mの正方形で、高さは0,4mmである。図中符号1が
シリコン製の基板、2は酸化ケイ素層(SiO2、厚さ
5000Å)であり、基板を熱酸化して得られる。この
酸化ケイ素層の上にさらに強度向上のためCVDによっ
て窒化ケイ素層(Si34、厚さ2500Å)が設けら
れていて、これらが基板を構成している。
【0013】この基板上にスパッタリングにより白金製
のヒータ4(厚さ2500Å)及びその端子4aが設け
られ、この白金ヒータ4のヒータ部4bはスクリーン印
刷により厚さ数μmの酸化触媒層5(この例では厚さ2
0μmの15重量%パラジウム添着アルミナ層)により
覆われている。なお、酸化触媒としては、パラジウムの
他、ロジウム、白金の使用及びこれらの併用ができ、担
体としてはアルミナの他、シリカ、酸化チタンなどを用
いることがでる。触媒の添加量は通常5〜15重量%程
度である。また、これら酸化触媒層はディスペンサーに
よるディッピング等の方法で形成しても良い。
【0014】基板における酸化触媒層が設けられている
検出部α付近の裏面はシリコン基板が異方エッチングに
より除去されて薄くなっていて、酸化ケイ素層が露出し
てダイアフラム部βを形成している。このような薄いダ
イアフラム部上に検出部αを設けることにより、検出部
の熱容量、及び、基板への熱伝導が小さくなり、消費電
力の低減、センサ感度の向上等の効果が得られる。なお
この例では異方エッチングによりダイアフラム部βを形
成したが、サンドブラスト等の他の手段によっても良
い。
【0015】ここで酸化触媒層5の厚さを変化させてセ
ンサを作製し、これらセンサをイソブタンガスを300
0ppm含む空気に暴露したときのセンサ出力への影響
を調べた。なお、通常の使用状態の場合には数年間の使
用を前提に1分毎に100ミリ秒間センサを用いてこれ
を繰り返すが、以下の検討では加速試験として、連続通
電によってセンサの耐久性を評価した。ヒータ温度を4
50℃に設定したときの結果を図2に示す。
【0016】図2により、酸化触媒層の厚さが10μm
である場合には、センサ出力は3日間で0mVとなって
しまうが、10μm超であればこの連続通電試験で3日
以上の寿命があることが判る。なお、この試験での3日
間の寿命は通常の使用状態における5年間の寿命にほぼ
相当し、従って、この加速試験においての3日以上の寿
命は充分な長さであると評価される。一方、これらセン
サについての消費電力について調べた結果を図3に示
す。
【0017】図3より、触媒層の厚さが300μmのと
き消費電力が90mWとなることが判る。この値は、実
用上充分な測定方法である、毎分に100ミリ秒の使用
を想定すると、通常用いられるリチウム電池2本で5年
間使用できる電力量に相当する。また、通常、ガスセン
サの交換は5年毎に行われることを考えあわせると、消
費電力が90mW超の場合にはガスセンサ交換時期に先
立って、電池交換がメンテナンスとして必要となるた
め、触媒層の厚さは300μm以下であることが望まし
い。
【0018】
【発明の効果】本発明の接触燃焼式ガスセンサは、長寿
命で優れた接触燃焼式ガスセンサであり、長期間メンテ
ナンスフリーでの測定が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る接触燃焼式ガスセンサAを示すモ
デル図である。 (a)上面図である。 (b)断面図である。
【図2】触媒層の厚さを変化させて作製したセンサの経
時変化を調べた結果を示す図である。
【図3】触媒層の厚さを変化させて作製したセンサの消
費電力を調べた結果を示す図である。
【図4】従来技術に係る接触燃焼式ガスセンサBを示す
モデル図である。 (a)上面図である。 (b)断面図である。
【符号の説明】
A 本発明に係る接触燃焼式ガスセンサ B 従来技術に係る接触燃焼式ガスセンサ α 検出部 β ダイアフラム部 1 基板 2 酸化ケイ素層 3 窒化ケイ素層 4 ヒータ 4a 端子 4b ヒータ部 5 酸化触媒層

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板ダイアフラム部に検出部を有する接
    触燃焼式ガスセンサであって、該検出部の酸化触媒層の
    厚さが20μm以上であることを特徴とする接触燃焼式
    ガスセンサ。
  2. 【請求項2】上記酸化触媒層の厚さが300μm以下で
    あることを特徴とする請求項1に記載の接触燃焼式ガス
    センサ。
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