JP2000246693A - テープ状物の穿孔装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】繰出し機構と巻取り機構間のたるみを解消し
て、テープ状物の穿孔エリアを直線状に保持し、所定の
穿孔パターンで正確に穿孔することができる穿孔装置を
提供する。 【解決手段】繰出し機構３で繰り出し巻取り機構４で巻
き取りながら穿孔エリアが穿孔部２と相対するようにテ
ープ状物100を定量宛Ｘ軸方向へ送る。テープ状物100を
固定クランプ５と可動クランプ６でクランプし、可動ク
ランプ６を固定クランプ５と反対方向へ移動させて穿孔
エリアにおけるテープ状物のたるみを解消する。この時
の可動クランプ６の移動は微量であり、且つ微動位置で
固定されるので、テープ状物100に必要以上の負荷がか
からない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はテープ状物の穿孔装
置に関し、詳しくは、半導体装置におけるＴＡＢ（Tape
Automated Bonding）やＴＣＰ（Tape Carrier Packag
e）用のテープ、ＰＧＡ（ピングリッドアレイ），ＢＧ
Ａ（ボールグリッドアレイ），ＣＳＰ（チップサイズパ
ッケージ）等のフレキシブル基板等に用いるテープ状物
を、ロール原反から繰り出しながら所定の穿孔パターン
で穿孔する穿孔装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種穿孔装置として、例えば特
公平７−４７２７９号公報や特公平７−４７２８０号公
報等に記載されたものが知られている。これら先行技術
は、基本的には機台の一方側に設けられたロール状のテ
ープ状物を繰出し機構（繰出しロール）でＸ軸方向に送
り出しながら、他方側に設けた巻取り機構（巻取りロー
ル）で巻き取りつつ、繰出し機構と巻取り機構の間に設
けたパンチユニットによって、テープ状物の穿孔対象部
位（穿孔エリア）に所定の穿孔パターンで穿孔するよう
形成したものである。このような穿孔装置によれば、ロ
ール状に巻回されたテープ状物を繰り出しながら穿孔す
ることから、前もってテープ状物を板状に裁断しそれを
ワークホルダー等にセットする前作業が不要となり、生
産性を大幅に向上し得るという利点がある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
穿孔装置によれば、繰出し機構と巻取り機構とを同期さ
せて駆動させているものの、テープ状物に若干の緩みが
あることや繰出し機構・巻取り機構間のテープ状物の自
重等が影響して、繰出し機構・巻取り機構間のテープ状
物、すなわちテープ状物の穿孔対象部位に「たるみ」が
生じる虞れがある。パンチユニットの両側にクランプを
設けてテープ状物の穿孔対象部位を固定することも考え
られるが、この場合、前記「たるみ」の解消には不十分
である。また、テープ状物の穿孔対象部位にテンション
をかけることも考えられるが、例えば半導体装置におけ
るＢＧＡ，ＣＳＰ等のフレキシブル基板用であるテープ
状物は、極薄テープ状物からそのフレキシブル基板を多
数個取りし、且つ各フレキシブル基板のエリア内に多数
の微細孔を穿孔するものでであるため、テンションがか
かりすぎると前記微細孔が拡がる虞れもある。

【０００４】本発明はこのような従来事情に鑑みてなさ
れたもので、その目的とする処は、繰出し機構と巻取り
機構の間のテープ状物の「たるみ」を解消して、テープ
状物の穿孔対象部位（穿孔エリア）を直線状に保持し、
所定の穿孔パターンで正確に穿孔することができる穿孔
装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、請求項１では、テープ状物をロール原反か
らＸ軸方向へ繰り出す繰出し機構及びそれを巻き取る巻
取り機構の間に、所要横断面形状のパンチとそれに対応
するダイとを備えた複数のパンチユニットからなるＸ軸
方向及びＹ軸方向へ制御動可能な穿孔部を設けると共
に、前記穿孔部を挟むよう配設された固定クランプと可
動クランプによって前記テープ状物における穿孔エリア
外の部分をクランプするようにしたテープ状物の穿孔装
置であって、前記可動クランプはＸ軸方向へ移動可能
で、且つ双方のクランプでテープ状物をクランプした状
態において固定クランプと反対方向へ微動し、該微動位
置にて固定されるよう形成したことを要旨とする。

【０００６】このように形成した場合、繰出し機構で繰
り出し、巻取り機構で巻き取りながら穿孔エリア（穿孔
対象部位）が穿孔部と相対するようにテープ状物を定量
送りする。その度に、テープ状物を固定クランプと可動
クランプでクランプし、且つ可動クランプを固定クラン
プと反対方向へ移動させて、前記穿孔エリアにおける
「たるみ」を解消する。この際の可動クランプの移動は
微量であって、且つ微動位置にて固定されるので、テー
プ状物に必要以上の負荷がかからず、穿孔エリアに穿孔
した多数の微細孔が拡がったり、基板エリアが伸びて穿
孔パターンの精度が低下するような虞れがない。

【０００７】請求項１において、可動クランプを固定ク
ランプと反対方向へ微動させ、該微動位置にて固定する
ための手段としては、例えば、シリンダ、モータ、カ
ム、ボールネジ機構等を用い、これらを単独で或いは適
宜組み合わせる等して、可動クランプを前記のように作
動させるよう構成することが出来る。また請求項２記載
のように、上記請求項１記載の可動クランプが、テープ
状物をクランプする上下一対のクランプ部と、それら上
下クランプ部をＸ軸方向へ摺動自在に支持する支持機構
と、上下クランプ部を固定クランプと反対方向へ摺動さ
せる付勢部材と、上下クランプ部を摺動不能に固定する
ロック機構と、上下クランプ部を前記付勢部材の付勢力
に抗して固定クランプ方向へ摺動させる復動機構を備
え、復動機構により初期位置に配置した上下クランプ部
でテープ状物をクランプした後、復動機構の作動を解除
して付勢部材の弾発力により上下クランプ部を固定クラ
ンプと反対方向へ微動させ、ロック機構により該微動位
置にて上下クランプ部を固定するよう形成することも出
来る。

【０００８】請求項２のように形成した場合、シリン
ダ，モータ，カム，ボールネジ等を用いこれらを適宜組
み合わせる等して可動クランプを固定クランプと反対方
向へ微動させ該微動位置にて固定するよう形成した場合
に比べ、比較的簡単な構成で請求項１の作用効果を得る
ことが出来る。

【０００９】また本発明の穿孔装置は請求項３記載のよ
うに、上記テープ状物が、ＢＧＡ（ボールグリッドアレ
イ）、ＣＳＰ（チップサイズパッケージ）等に用いるフ
レキシブル基板を後工程で打抜いて多数個取りするもの
であり、且つ上記穿孔部が、前記テープ状物から多数個
取りされるそのフレキシブル基板エリア内に多数の微細
孔を穿孔するものである場合に、殊に顕著な効果が得ら
れるものである。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る穿孔装置の実
施の形態の一例を図１乃至図１０を参照して説明する。
図中、１はテープ状物100の供給部、２は穿孔部、３は
繰出し機構、４は巻取り機構、５は固定クランプ、６は
可動クランプである。

【００１１】テープ状物100は、半導体装置におけるＴ
ＡＢ（Tape Automated Bonding）やＴＣＰ（Tape Carri
er Package）用のタブテープ、ＰＧＡ（ピングリッドア
レイ），ＢＧＡ（ボールグリッドアレイ），ＣＳＰ（チ
ップサイズパッケージ）等のフレキシブル基板用などで
あって、本例では、チップサイズパッケージ（ＣＳＰ）
用のフレキシブル基板を後工程で打抜いて多数個取りす
るもであり、補強テープ110が裏張りされた状態で、ロ
ール原反100aに巻回されている。

【００１２】供給部１は穿孔材料である前記テープ状物
100を保持し繰り出し供給し且つ巻き取るものであり、
繰出し機構３と巻取り機構４から構成されている。繰出
し機構３は、ロール原反100aからテープ状物100をＸ軸
方向へ繰り出す繰出しロール１１と、テープ状物100の
左右両側縁部分にその長さ方向に適宜間隔をおいて穿孔
されている係合孔101に係合してテープ状物100をＸ軸方
向に定量宛送るスプロケットホイール１２と、テープ状
物100に裏張りされた補強テープ110用の方向変換ロール
１３とを備え、テープ状物100から補強テープ110を剥離
しつつ双方を定量づつＸ軸方法へ繰り出すよう構成され
ている。巻取り機構４は、前記テープ状物100に補強テ
ープ110を裏張りして巻き取る巻取りロール１４と、上
記係合孔101に係合してテープ状物100をＸ軸方向に定量
宛送るスプロケットホイール１５と、補強用テープ110
の方向変換ロール１６とを備え、テープ状物100に再び
補強テープ110を裏張りしつつ双方を定量づつ巻き取る
よう構成されている。繰出しロール１１、巻取りロール
１４には共にサーボモータからなる駆動源が直結されて
いる。スプロケットホイール１２、１５にも、繰出しロ
ール１１、巻取りロール１４と同調するように、サーボ
モータからなる駆動源が直結されている。

【００１３】繰出し機構３と巻取り機構４の間には、複
数のパンチユニット２０，２０…からなる穿孔部２が配
設されている。パンチユニット２０は図１，図２に示す
ように、中央の空間部をテープ状物100の搬入空間２１
とする側面視横向きコ型状を呈し、上半部に形状，大き
さを異にするパンチ２２を交換可能に備え、下半部にそ
のパンチ２２と対応してダイ２３を備えてなる。そうし
て、複数のパンチユニット２０をＸ軸方向に対し並列さ
せて取付台２４に設置し、その取付台２４を機台２５に
対しＸ軸方向及びＹ軸方向へ制御動可能に設置してい
る。符号２６が取付台２４（穿孔部２）をＸ軸方向へ制
御動させるボールネジ機構、２７が取付台２４（穿孔部
２）をＹ軸方向へ制御動させるボールネジ機構である。

【００１４】パンチユニット２０には、芯出しカメラを
装着したカメラユニット２８が並設されている。そうし
て、繰出し機構３で所定量づつ繰り出されたテープ状物
100の穿孔エリアに前記複数のパンチユニット２０から
なる穿孔部２で穿孔加工する実働時に、制御部７に記憶
されているプログラムデータに基づいて、カメラユニッ
ト２８と共に穿孔部２を機械的原点位置から所定量移動
させて、前記芯出しカメラで各穿孔部位を芯出しした
後、固定的な距離をおく所定のパンチ２２が穿孔部位真
上に位置するように、穿孔部２をＸ軸方向、Ｙ軸方向に
送り動した後、各パンチ２２を単独打動させて、プログ
ラム通りの穿孔パターンを穿孔加工するよう構成されて
いる。

【００１５】固定クランプ５は、テープ状物100の送り
方向において穿孔部２よりも下流側に配設されており、
機台２５上に設けた台座３０上にベース３１を設けると
共に、該ベース３１上にクランプシリンダ４０を形成し
てなる。

【００１６】ベース３１の上面には、テープ状物100の
搬送空間３２の下半部を形成する溝３３が凹設され、該
溝３３の左右両側には、後述するクランパ４３を上方へ
付勢するスプリング３４，３４が凹部３５，３５内に装
填されると共に、それら凹部３５，３５の内側には、テ
ープ状物100における穿孔エリア外の部分、すなわちテ
ープ状物100における左右両側縁部分（係合孔101の形成
エリア）が載承される下側爪（下側クランプ部）３６，
３６が突出状に形成されている。

【００１７】クランプシリンダ４０は、ベース３１上に
固定した上側ベース４１の下面に、前記溝３３と相対向
して前記搬送空間３２を形成する溝４２を凹設し、該溝
４２内に、クランパ４３を上下動自在に装填すると共
に、溝４２の左右両側には、クランパ４３を上下動可能
に支持するリニアガイド４４，４４を凹部４５，４５内
に収容し、それら凹部４５，４５の内側に、クランパ４
３を上下動させる押子４６，４６を溝４２に向けて出没
自在に装着し、さらにそれら押子４６を出没させるエア
ー供給路４７を上側ベース４１内に形成してなる。エア
ー供給路４７にはエアー供給管４８が接続されている。
クランパ４３の左右両側には、上記下側爪３６，３６に
対応する上側爪（上側クランプ部）４９，４９が下向き
突出状に形成されている。

【００１８】そうして、エアー供給管４８を介してエア
ー供給路４７にエアが供給されると、押子４６，４６が
溝４２に向けて下降するに伴いスプリング３４，３４の
付勢力に抗してクランパ４３が下動し、上側爪４９，４
９が下側爪３６，３６に当接して、テープ状物100の穿
孔エリア外の部分がクランプされる。一方、エアーの供
給を停止すると、スプリング３４，３４の付勢力によっ
てクランパ４３が上動し、上側爪４９，４９が下側爪３
６，３６から離間して、前記クランプ状態が解除される
ようになる。

【００１９】可動クランプ６は、テープ状物100の送り
方向において穿孔部２よりも上流側に配設されており、
機台２５上に設けた台座５０上にベース５１を固定し、
該ベース５１上にテーブル５２をＸ軸方向へ摺動可能に
設置すると共に、該テーブル５２上にクランプシリンダ
５３を形成し、さらに上記テーブル５２をＸ軸方向へ摺
動自在に支持する支持機構５４、可動クランプ６におけ
る上下クランプ部（後述する上側爪８３，８３と下側爪
７５，７５）を固定クランプ５と反対方向へ摺動させる
付勢部材５５、可動クランプ６における上下クランプ部
を摺動不能に固定するロック機構５６、可動クランプ６
における上下クランプ部を付勢部材５５の付勢力に抗し
て固定クランプ５方向へ摺動させる復動機構５７などを
備えてなる。

【００２０】ベース５１の上面には、テーブル５２をＸ
軸方向へ摺動自在に支持するガイドレール５８，５９を
左右両側に設けて上記支持機構５４を形成すると共に、
両ガイドレール５８，５９の間には、テーブル５２の下
面中央の膨出部６０が遊びをもって収容される凹部６１
を設けてある。

【００２１】膨出部６０におけるＸ軸方向の両端に位置
する側面６０ａ，６０ｂのうち、固定クランプ５側の側
面６０ａには、凹部６１の内面に先端を当接するスプリ
ングを装着し、該スプリングが上記付勢部材５５として
機能する。

【００２２】また固定クランプ５と反対側の側面６０ｂ
には、押子６２を、凹部６１の内面に当接する状態で出
没自在に内蔵し、その押子６２を出没させるエアー供給
路６３をテーブル５２内に形成し、エアー供給路６３に
はエアー供給管６４を接続して、上記復動機構５７を形
成する。

【００２３】凹部６１の内底面には、上記膨出部６０の
下面に接離する押子６５を出没自在に内蔵し、その押子
６５を出没させるエアー供給路６６を台座５０内に形成
し、エアー供給路６６にはエアー供給管６７を接続し
て、上記ロック機構５６を形成する。

【００２４】テーブル５２の上面部分は固定クランプ５
におけるベース３１と同様に形成され、またクランプシ
リンダ５３はクランプシリンダ４０と同様に形成されて
いる。以下、簡単に説明すれば、テープ状物100の搬送
空間７０の下半部を形成する溝７１の左右両側には、ク
ランパ７２を上方へ付勢するスプリング７３が凹部７４
内に装填され、それら両凹部７４，７４の内側には、下
側爪（下側クランプ部）７５，７５が突出状に形成され
ている。

【００２５】クランプシリンダ５３は、テーブル５２上
に固定した上側ベース７６の下面に、前記溝３３と相対
向して溝７７を凹設し、該溝７７内に、クランパ７２を
上下動自在に装填すると共に、溝７７の左右両側には、
クランパ７２を上下動可能に支持するリニアガイド７８
を凹部７９内に収容し、それら凹部７９の内側に、クラ
ンパ７２を上下動させる押子８０，８０を溝７７に向け
て出没自在に装着し、さらにそれら押子８０を出没させ
るエアー供給路８１を上側ベース７６内に形成してな
る。エアー供給路８１にはエアー供給管８２が接続され
ている。クランパ７２の左右両側には、上記下側爪７
５，７５に対応する上側爪（上側クランプ部）８３，８
３が下向き突出状に形成されている。

【００２６】そうして、エアー供給管８２を介してエア
ー供給路８１にエアーが供給されると、押子８０，８０
が溝７７に向けて下降するに伴いスプリング７３，７３
の付勢力に抗してクランパ７２が下動し、上側爪８３，
８３が下側爪７５，７５に当接して、テープ状物100の
穿孔エリア外の部分がクランプされる。一方、エアーの
供給を停止すると、スプリング７３，７３の付勢力によ
ってクランパ７２が上動し、上側爪８３，８３が下側爪
７５，７５から離間して、前記クランプ状態が解除され
るようになる。

【００２７】上記したエアー供給管４８，６４，６７，
８２は不図示のコンプレッサーや電磁開閉弁等からなる
エアー供給手段に連絡し、該エアー供給手段の作動を制
御部７により制御して、エアー供給管４８，６４，６
７，８２に適時にエアーを供給しクランパ４３，７２、
押子６２，６５が適時に作動するよう構成する。すなわ
ち、まず復動機構５７の押子６２が突出して付勢部材５
５の付勢力に反してテーブル５２を固定クランプ５方向
へ押し、テーブル５２と上側ベース７６（上側爪８３，
８３と下側爪７５，７５）を初期位置に配置する。テー
プ状物100が所定量繰り出された後、クランパ４３，７
２を作動させて、前記初期位置にある可動クランプ６の
上下爪８３，７５と、固定位置にある固定クランプ５の
上下爪４９，３６により、テープ状物100の穿孔エリア
外（係合孔101の形成エリア）部分をクランプする。そ
の後、押子６２を没入させて付勢部材５５の弾発力によ
りテーブル５２と上側ベース７６を固定クランプ５と反
対方向へ微動させ、次いで押子６５を突出させて該微動
位置にてテーブル５２と上側ベース７６を固定するよう
構成する。

【００２８】尚、図１中に示す符号８は穿孔パターンの
検査部、９は穿孔ホールのバリ検査部で、これら検査部
は、テープ状物100の送り方向において穿孔部２より下
流側に配設されている。

【００２９】穿孔パターンの検査部８は図１０に示すよ
うに、機台２５に立ち上げた機板８５に、テープ状物10
0の上方に位置するよう支持板８６を固定し、この支持
板８６に対し、ボールネジ機構８７、８８により取付台
８９をＸ軸方向及びＹ軸方向へ制御動可能に設置し、こ
の取付台８９に穿孔パターン検査用カメラ９０を下向き
に設置してなる。カメラ９０は例えばライセンサーカメ
ラを用い、テープ状物100の穿孔エリアにおける基板エ
リアごとの穿孔パターンを撮像するもので、その撮像画
像を画像解析して二値化し白黒反転座標でもって基板エ
リアごとの穿孔パターンをパターン認識する画像処理部
に連係されている。

【００３０】穿孔ホールのバリ検査部９は図９に示すよ
うに、機台２５上に、テープ状物100の下方に位置する
よう取付台９１を配し、この取付台９１を、ボールネジ
機構９２、９３によりＸ軸方向及びＹ軸方向へ制御動可
能に設置し、この取付台９１に穿孔ホールのバリ検査用
カメラ９４を下向きに設置してなる。カメラ９４は例え
ばライセンサーカメラを用い、テープ状物100の穿孔エ
リアにおける基板エリアごとの穿孔ホールのバリの有無
を撮像するもので、その撮像画像を画像解析して二値化
し白黒反転座標でもって穿孔ホールのバリの有無をパタ
ーン認識する画像処理部に連係されている。

【００３１】以上のように構成した本例の穿孔装置の作
動を説明すれば、まず復動機構５７の押子６２の作動で
可動クランプ６を初期位置に配置させ、この状態で繰出
し機構３と巻取り機構４を作動させて、ロール状に巻回
された原反100aからテープ状物100をＸ軸方向へ定量繰
り出す。次いで、固定クランプ５と可動クランプ６のク
ランパ４３，７２でテープ状物100の穿孔エリア外の部
分をクランプした後、押子６２を没入させて可動クラン
プ６をＸ軸方向へおいて固定クランプ５と反対方向へ微
動させ、テープ状物100の穿孔エリアにおける「たる
み」を解消する。さらにロック機構５６の押子６５を作
動させて可動クランプ６を前記微動位置にて固定し、テ
ープ状物100の穿孔エリアに必要以上の負荷がかかる虞
れを無くす。この状態で穿孔部２を作動させて所定の穿
孔パターンで穿孔を行った後、固定クランプ５と可動ク
ランプ６によるクランプを解除し、テープ状物100をＸ
軸方向へ定量繰り出し、穿孔がなされた部分は穿孔パタ
ーンの検査部８、穿孔ホールのバリ検査部９にて所定の
検査を行うと共に、復動機構５７の作動で可動クランプ
６を初期位置に配置させ、次の穿孔作業に備える。この
ようにしてテープ状物100を定量づつ繰り出し且つ巻き
取りながら、ロール状に巻回されたテープ状物100に所
定の穿孔を施す。

【００３２】

【発明の効果】本発明に係る穿孔装置は以上説明したよ
うに、ロール状に巻回されたテープ状物を繰り出しなが
ら穿孔するに際し、テープ状物の「たるみ」を可動クラ
ンプの微動により解消し、且つその可動クランプは微動
位置にて固定することでテープ状物に必要以上の負荷が
かかる虞れを無くし、穿孔した多数の微細孔が拡がった
り、基板エリアが伸びて穿孔パターンの精度が低下する
ような虞れがないから、所定の位置に正確に穿孔するこ
とができる。

【００３３】復動機構により初期位置に配置した上下ク
ランプ部でテープ状物をクランプした後、復動機構の作
動を解除して付勢部材の弾発力により上下クランプ部を
固定クランプと反対方向へ微動させ、ロック機構により
該微動位置にて上下クランプ部を固定するよう形成した
場合は、比較的簡単な構成で上記効果を得ることが出来
る。

【００３４】本発明の穿孔装置は、テープ状物がＢＧ
Ａ、ＣＳＰ等に用いるフレキシブル基板を後工程で打抜
いて多数個取りするものであり、且つ穿孔部が前記テー
プ状物から多数個取りされるそのフレキシブル基板エリ
ア内に多数の微細孔を穿孔するものである場合に、殊に
顕著な効果を得ることが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る穿孔装置の実施の形態の一例を示
す簡略正面図。

【図２】穿孔部の拡大斜視図。

【図３】固定クランプの拡大斜視図。

【図４】可動クランプの拡大斜視図。

【図５】固定クランプの縦断側面図。

【図６】図５の（Ｉ）−（Ｉ）線に沿う断面図。

【図７】可動クランプの縦断側面図。

【図８】図７の（II）−（II）線に沿う断面図。

【図９】穿孔ホールのバリ検査部の拡大斜視図。

【図10】穿孔パターンの検査部の拡大斜視図。

【符号の説明】 100：テープ状物 ２：穿孔部 ３：繰出し機構 ４：巻取り機構 ５：固定クランプ ６：可動クランプ ２０：パンチユニット ３６，７５：下側爪（下側クランプ部） ４９，８３：上側爪（上側クランプ部） ５４：支持機構 ５５：付勢部材 ５６：ロック機構 ５７：復動機構

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C060 AA20 AB01 BA01 BC03 BG12 BG13 BG18 5F044 MM49

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】テープ状物をロール原反からＸ軸方向へ繰
   り出す繰出し機構及びそれを巻き取る巻取り機構の間
   に、所要横断面形状のパンチとそれに対応するダイとを
   備えた複数のパンチユニットからなるＸ軸方向及びＹ軸
   方向へ制御動可能な穿孔部を設けると共に、前記穿孔部
   を挟むよう配設された固定クランプと可動クランプによ
   って前記テープ状物における穿孔エリア外の部分をクラ
   ンプするようにしたテープ状物の穿孔装置であって、 前記可動クランプはＸ軸方向へ移動可能で、且つ双方の
   クランプでテープ状物をクランプした状態において固定
   クランプと反対方向へ微動し、該微動位置にて固定され
   るよう形成したことを特徴とするテープ状物の穿孔装
   置。
2. 【請求項２】上記可動クランプは、テープ状物をクラン
   プする上下一対のクランプ部と、それら上下クランプ部
   をＸ軸方向へ摺動自在に支持する支持機構と、上下クラ
   ンプ部を固定クランプと反対方向へ摺動させる付勢部材
   と、上下クランプ部を摺動不能に固定するロック機構
   と、上下クランプ部を前記付勢部材の付勢力に抗して固
   定クランプ方向へ摺動させる復動機構を備え、 復動機構により初期位置に配置した上下クランプ部でテ
   ープ状物をクランプした後、復動機構の作動を解除して
   付勢部材の弾発力により上下クランプ部を固定クランプ
   と反対方向へ微動させ、ロック機構により該微動位置に
   て上下クランプ部を固定するよう形成した請求項１記載
   のテープ状物の穿孔装置。
3. 【請求項３】上記テープ状物が、ＢＧＡやＣＳＰ等に用
   いるフレキシブル基板を後工程で打抜いて多数個取りす
   るものであり、且つ上記穿孔部が、前記テープ状物から
   多数個取りされるそのフレキシブル基板エリア内に多数
   の微細孔を穿孔するものである請求項１又は２に記載の
   テープ状物の穿孔装置。