JP2000214220A

JP2000214220A - オンチップモジュ―ルおよびオンチップモジュ―ル間の相互接続をテストするシステムおよび方法

Info

Publication number: JP2000214220A
Application number: JP11375453A
Authority: JP
Inventors: Cheng-Ping Wang; − ピンワンチェン
Original assignee: Texas Instruments Inc
Current assignee: Texas Instruments Inc
Priority date: 1999-01-19
Filing date: 1999-12-28
Publication date: 2000-08-04
Also published as: EP1022574A2; US6651198B1; TWI250288B; EP1022574A3

Abstract

(57)【要約】【課題】集積回路の成分モジュールと、それらの成分
モジュール間の相互接続と、の動作をテストする走査テ
ストシステムを提供する。【解決手段】この走査テストシステムを構成する成分
モジュールは、その入力または出力が集積回路１０の境
界上になければ、入力走査セル７６と出力走査セル１０
２とを有する。出力走査セル１０２は、入力テストモー
ド、または出力テストモードを指示するモード選択信号
１２２を受ける。この走査テストシステムは２つのステ
ップにより全集積回路１０の動作の完全性を検査する。
第１ステップでは、１つおきの成分モジュールのモード
選択信号を出力テストモードへセットし、それらの間の
成分モジュールのモード選択信号を、入力テストモード
へセットする。第２ステップでは、これらのセッティン
グを逆にする。全てのモード選択信号を出力テストモー
ドへセットした時、集積回路１０は通常の動作を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、一般的には電気回
路のテストに関し、特に、集積回路におけるオンチップ
モジュールおよびオンチップモジュール間の相互接続を
テストするシステムおよび方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】集積回路は、一般に、単一の集積回路を
形成するように接続されたいくつかのオンチップモジュ
ールから成る。集積回路の動作の完全性を検査するため
には、与えられた入力信号に対して適正な出力信号が発
生することを保証するために、それぞれのモジュールの
動作を検査しなければならない。さらに、信号がモジュ
ール間を正しく通過することを保証するために、モジュ
ール間の相互接続を検査しなければならない。

【０００３】走査テストシステムと呼ばれるテストシス
テムは、集積回路内に設計される。これらのテストシス
テムは、それぞれのモジュールにテスト信号が入力さ
れ、その後関連の出力信号が確認されうるようにする。
さらに、テスト信号は、２つのモジュールの間の相互接
続の始点に導入され、かつその相互接続の終点において
検査されうる。走査テストシステムの基本部品は、マル
チプレクサおよびシフトレジスタから成る走査セルであ
る。回路のデータ経路内へ導入されたそれぞれの電気部
品は、必然的にその回路内に処理遅延を生ぜしめる。従
って、データ経路上に２つのマルチプレクサを有する回
路は、１つのマルチプレクサしかもたない回路よりも、
与えられた入力信号を処理するのに長時間を要する。

【０００４】現在、モジュール化された集積回路のテス
トは、４ステッププロセスにより行われている。本議論
の目的のために、モジュールＡおよびモジュールＢは、
モジュールＡの出力がモジュールＢの入力に接続された
接続状態にあるものとする。標準的なテストシステムの
設計においては、２つの走査セルが、２つのモジュール
間の相互接続内へ挿入される。走査セルは双方とも信号
を捕捉しうるのでその信号をテストすることができ、ま
たテスト信号をモジュールの入力へ導入するので、その
テスト信号は処理されうる。この例においては、第１走
査セルはモジュールＡの出力に取付けられ、第２走査セ
ルはモジュールＢの入力に取付けられる。従って、信号
経路が、モジュールＡおよびモジュールＢに接続する第
１および第２の走査セルの間に存在する。第１に、テス
ト信号は、モジュールＡの入力ピンへ導入される。次
に、モジュールＡの出力が第１走査セルにより捕捉さ
れ、それはそこで検査のために用いられうる。第２に、
テスト信号は、モジュールＢの入力に接続されている第
２走査セルへ導入される。第２走査セルは、そのテスト
信号をモジュールＢへ送り、テスト信号はそこで処理さ
れ、次にモジュールＢの出力が読取られ検査される。第
３に、モジュールＡの出力に接続されている第１走査セ
ルが、適正に機能している信号経路に対し検査されなけ
ればならない。これを行うために、信号が第１走査セル
内へ導入され、この走査セルの出力が捕捉されて検査さ
れる。第４に、第１走査セルと第２走査セルとの間の信
号経路が検査されなければならない。これは、テスト信
号を第１走査セル内へ導入することにより行われ、この
テスト信号は次に第２走査セルへ送られる。このテスト
信号は、モジュールＢの入力に接続されている第２走査
セルにより捕捉され、それはそこで読取られて検査され
る。このようにして、モジュールＡ、モジュールＢ、お
よびモジュールＡとモジュールＢとの間の信号経路が、
意図されたように動作していることを検査するためには
４ステップを要する。

【０００５】上述の４ステップ集積回路テストプロシー
ジャは、不必要に時間を消費し、またそれはいくつかの
電気部品を必要とする。さらに、集積回路内へテスト回
路が直接組込まれることの必要性は、集積回路の通常の
処理に遅延を導入する。従って、前述の集積回路テスト
プロセスは、扱いにくくかつ非効率的である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】以上から、集積回路内
のモジュールおよびそれらのモジュール間の相互接続
の、動作の完全性を検査するための改善されたシステム
および方法の必要が生じていることが認識されうる。本
発明は、従来の集積回路テストプロシージャに関連する
欠点および問題を実質的に軽減する、集積回路内のモジ
ュールおよびそれらのモジュール間の相互接続をテスト
する改善されたシステムおよび方法を提供することを目
的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の１つの実施例に
よれば、オンチップモジュールおよびそれらのオンチッ
プモジュール間の相互接続をテストするシステムが提供
され、このシステムは、マルチプレクサおよびシフトレ
ジスタから成る出力走査セルと、シフトレジスタのみか
ら成る入力走査セルと、入力信号経路テストまたは出力
信号経路テストを選択するモード選択信号と、を含む。
この設計は、動作の完全性テストを２ステップで完了す
ることを可能にする。

【０００８】本発明は、従来の集積回路テストの設計よ
りも優れた、さまざまな技術上および動作上の利点を有
する。本発明の１つの重要な技術上の利点は、集積回路
の動作の完全性のテストを完了するために必要とするス
テップ数が、少ないことである。もう１つの重要な技術
上の利点は、マルチプレクサの消去であり、これによ
り、テスト回路の部品の存在によって集積回路の通常の
動作に導入される遅延が減少せしめられる。その他の利
点は、当業者ならば、下記の図、説明、および特許請求
の範囲から容易に確認しうる。

【０００９】本発明およびその利点のさらに完全な理解
のためには、添付図面と共に以下の説明を参照すべきで
ある。添付図面において、同じ参照番号は同じ部品を表
している。

【００１０】

【発明の実施の形態】図１を参照すると、半導体チップ
上に形成された集積回路が全体的に１０に示されてい
る。集積回路１０は、相互接続されうるいくつかの成分
モジュールから構成されることが多い。それぞれの成分
モジュールは、それ自体が入力および出力を有する設計
の電気回路である。これらの成分モジュールは、より複
雑な動作を行うように相互接続することができ、あるい
は、これらの成分モジュールは、与えられた入力の組に
対する出力を発生するために単独で機能することもでき
る。集積回路が半導体チップ上に形成された後には、そ
の集積回路の適正な機能を保証するために走査テストを
行わなければならない。これは、それぞれの成分モジュ
ールおよびそれらのモジュール間の相互接続を、テスト
することにより行われる。テストシステムは集積回路内
に設計され、その永久的部分をなす。すなわち、テスト
信号の入力ピンおよび出力ピンが備えられ、これらのピ
ンは、成分モジュールおよび集積回路を構成する相互接
続の、動作の完全性を検査するためにのみ用いられる。
それぞれの成分モジュールに対するモード選択信号が、
成分モジュールの動作モードを選択するので、成分モジ
ュールは集積回路をテストしつつあるか、または通常に
動作しつつある。

【００１１】再び図１を参照すると、一連の成分モジュ
ールおよびそれらのモジュール間の相互接続が示されて
いる。成分モジュールＡ１２は、集積回路１０の外部か
ら入力信号１４を受取る。モジュールＡ１２は、入力信
号１４を処理し、その出力を、モジュールＢ１８と相互
接続されたモジュールＡの出力１６上に生じ、モジュー
ルＢ１８に対する入力信号を与える。モジュールＢ１８
は、この入力信号を処理し、その出力をモジュールＣ２
２と相互接続されたモジュールＢの出力２０上に生じ、
モジュールＣの入力２１を与える。モジュールＣ２２
は、その入力信号を処理し、出力信号２４、２６、およ
び２８を発生する。出力信号２４、２６、および２８
は、３入力ＮＡＮＤゲート３０への入力である。

【００１２】ＮＡＮＤゲート３０は、第１のモジュール
Ｄ入力信号３４をモジュールＤ３２へ供給し、モジュー
ルＤ３２は３つの入力信号を有する。第２のモジュール
Ｄ入力信号３６は、モジュールＥ３８から供給される。
モジュールＥ３８は、入力信号４０を集積回路の外部か
ら受取る。モジュールＥ３８は、入力信号４０を処理
し、第２のモジュールＤ入力信号３６として作用する出
力信号を発生する。第３のモジュールＤ入力信号４２
は、モジュールＦ４４から供給される。モジュールＦ４
４は、入力信号４６を集積回路の外部から受取り、入力
信号４６を処理して、第３のモジュールＤ入力信号４２
として作用する出力信号を発生する。最終的には、モジ
ュールＤ３２は、第１のモジュールＤ入力信号３４と、
第２のモジュールＤ入力信号３６と、第３のモジュール
Ｄ入力信号４２と、を処理し、モジュールＤ出力信号４
８を発生し、この出力信号は出力ピン上に現れて集積回
路１０の外部において用いられる。

【００１３】モジュールＧ５０は、集積回路内の他の成
分モジュールと相互接続されていない集積回路成分モジ
ュールの例である。モジュールＧ５０は、入力信号５２
を集積回路の外部から受取る。モジュールＧ５０は、入
力信号５２を処理し、集積回路１０の外部において用い
られる出力信号５４および５６を発生する。以上に説明
した、図１の実例としての集積回路１０は、そのような
集積回路において必要とされるテストシステムを特に示
していない。集積回路１０のような集積回路のためのテ
ストシステムは、図２、図３、図４、図５、および図６
に関連して説明する。

【００１４】図２は、図１における、モジュールＡ１２
と、モジュールＢ１８と、モジュールＡ出力１６により
表示されるこれらのモジュール間の相互接続と、を示
す。図２を参照すると、モジュールＡ１２は、単一半導
体チップ上に形成される集積回路設計内の成分モジュー
ルである。モジュールＢ１８もまた集積回路成分モジュ
ールであり、これはモジュールＡ１２と相互接続されて
いる。モジュールＡ入力１４は、集積回路１０の外部か
ら、または集積回路１０内の他のモジュールから来たも
のでありうる。モジュールＡ入力１４はモジュールＡ１
２への入力をなし、モジュールＡ１２はこの信号を処理
してモジュールＡ出力１６を発生する。モジュールＢ入
力６０はモジュールＢ１８への入力をなし、モジュール
Ｂ１８はこの信号を処理してモジュールＢ出力２０を発
生する。

【００１５】集積回路内に設計された走査テストシステ
ムは、その集積回路内のそれぞれの個々の成分モジュー
ルと、それらのモジュール間の相互接続と、の動作の完
全性を検査するために機能する。本発明は、現在の集積
回路走査テスト設計と比較して、必要なステップ数およ
びマルチプレクサ数の双方を減少させた、集積回路の２
ステップ走査テストを提供する。本発明は、まずモジュ
ールＡ１２の動作の完全性を検査し、次にモジュールＢ
１８の動作の完全性を検査する。双方のモジュールが正
しく動作することが確認された後、これらのモジュール
間の相互接続が、本走査テストシステムの独特の設計に
より適正に機能することが保証される。

【００１６】本発明は、集積回路用の走査テストシステ
ムを設計するために、２つのタイプの走査セルを用い
る。第１のものは、２つの入力マルチプレクサおよびシ
フトレジスタから成る出力走査セルである。この出力走
査セルは、与えられた成分モジュールの出力に取付けら
れ、走査テストシステムの目的上、その成分モジュール
の一部と考えられる。第２のものは、シフトレジスタか
ら成る入力走査セルである。この入力走査セルは、集積
回路内の与えられた成分モジュールに対しテスト入力信
号を供給する。入力走査セルは、それが入力テスト信号
を供給する成分モジュールの一部であると考えられる。
集積回路の境界から入力を受ける成分モジュールは、そ
の成分モジュールの入力ピンへテスト入力信号が直接供
給されうるので、入力走査セルをもたない。集積回路の
境界上に出力を有する成分モジュールは、出力信号を検
査するために出力ピンを直接読取りうるので、出力走査
セルをもたない。成分モジュールが集積回路の境界に存
在しないと仮定すると、その成分モジュールは、テスト
入力信号を供給する入力走査セルと、その成分モジュー
ルの出力に結合した出力走査セルと、の双方を有する。
これらの入力走査セルおよび出力走査セルは、走査テス
トシステムの目的上、その成分モジュールの一部と考え
られる。

【００１７】図２には、モジュールＡ１２とモジュール
Ｂ１８との間の相互接続信号経路は、ローマ数字Ｉ、I
I、III、IVにより示されている。Ｉ−II−III−IVは、
走査テストシステムにより検査されなければならない相
互接続信号経路を画定する。Ｖ、VI、およびVIIは、モ
ジュールＢ１８の出力から、モジュールＢ１８の出力に
結合している出力走査セル１０２の出力までの信号経路
を示す。走査テストシステムの設計の目的上、入力走査
セルおよび出力走査セルは、それらが適用される成分モ
ジュールの一部と考えられることを想起されたい。図２
において、成分モジュールＡ１２は、モジュールＡ１２
と、出力走査セル６２と、から成る。モジュールＡ１２
は、その入力が集積回路１０の境界から来るので、入力
走査セルをもたない。成分モジュールＢ１８は、入力走
査セル７６と、成分モジュールＢ１８と、出力走査セル
１０２と、から成る。

【００１８】モジュールＡ１２は、その入力を集積回路
１０の境界から受取り、従って、テスト入力信号を供給
するための入力走査セルをもたない。モジュールＢ１８
の入力は、モジュールＡ１２の出力に結合しているの
で、モジュールＢ１８は、モジュールＢ１８に対するテ
スト入力信号を供給するための入力走査セル７６を有す
る。モジュールＡ出力１６は、モジュールＡ出力１６が
検査されうるように、それへ結合した出力走査セル６２
を有する。同様にして、モジュールＢ出力２０は、モジ
ュールＢ出力２０が検査されうるように、それへ結合し
た出力走査セル１０２を有する。図２に示されているサ
ンプルの集積回路においては、モジュールＢ１８は、集
積回路１０内のもう１つの成分モジュールに結合する出
力を備えている。従って、モジュールＢ１８は、モジュ
ールＢ出力２０を検査するための、出力走査セル１０２
を必要とする。

【００１９】出力走査セル６２は、モジュールＡ１２お
よびモジュールＢ１８の双方の動作の完全性の検査にお
いて用いられる。出力走査セル１０２は、モジュールＢ
１８およびモジュールＣ２２の双方の動作の完全性の検
査において用いられ、モジュールＣ２２は図１に示され
ている。出力走査セル６２は、マルチプレクサ６４およ
びシフトレジスタ６６から成る。入力走査セル７６は、
入力走査セル７６へ供給されるテスト信号がモジュール
Ｂ入力６０へ送られうるように、マルチプレクサ６４の
入力の１つに結合している。マルチプレクサ６４は、出
力走査セル６２が、モジュールＡ出力１６をモジュール
Ｂ入力６０へ送るか、または入力走査セル７６からの入
力テスト信号をモジュールＢ入力６０へ送るかを決定す
る。モード選択信号６８は、マルチプレクサ６４の動作
を決定する。モード選択信号６８が出力テストモードを
指示した時は、モジュールＡ出力１６がマルチプレクサ
出力７０に結合し、モジュールＡ出力１６がモジュール
Ｂ入力６０へ送られる。出力テストモードのモード選択
信号６８はまた、前の成分モジュールの出力を次の成分
モジュールの入力へ送るので、集積回路の通常の動作の
ためにも用いられる。

【００２０】モジュールＢ１８は、モジュールＢ入力６
０を処理し、出力をモジュールＢ出力２０へ供給する。
出力走査セル１０２は、モジュールＢ出力２０に結合し
ている。出力走査セル１０２は、マルチプレクサ１０４
およびシフトレジスタ１０６から成る。マルチプレクサ
１０４は、モジュールＢ出力２０が次の成分モジュール
へ送られるか、またはマルチプレクサ１０４の他の入力
に結合している入力走査セルからのテスト入力信号が次
の成分モジュールへ送られるかを決定する。モード選択
信号１２２は、マルチプレクサ１０４が、モード選択信
号６８に関連して上述した出力テストモードで動作する
か、または入力テストモードで動作するか、を決定す
る。

【００２１】モード選択信号６８が出力テストモードを
指示した時は、集積回路１０上の成分モジュールＡ１２
が走査テストを受け、その入力および出力を検査され
る。モード選択信号６８が入力テストモードを指示した
時は、集積回路１０上の成分モジュールＢ１８が走査テ
ストを受け、その入力および出力を検査される。さら
に、モード選択信号６８が入力テストモードを指示した
時は、成分モジュールＡ出力１６が、次の成分モジュー
ルＢ入力６０の入力から分離されるので、テスト入力信
号がモジュールＢ入力６０へ供給されうる。モード選択
信号６８が入力テストモードを指示した時は、モジュー
ルＢ出力２０が検査されなければならないので、モード
選択信号１２２は出力テストモードを指示する。すなわ
ち、相互に結合している成分モジュールのモード選択信
号は、それらの出力走査セルにおいて異なるモードを指
示する。与えられた成分モジュールの前の出力走査セル
におけるモード選択信号が、入力テストモードを指示し
た時、その与えられた成分モジュールの出力に結合して
いる出力走査セルにおけるモード選択信号は、出力テス
トモードを指示する。これは、その与えられた成分モジ
ュールへテスト入力信号を供給させ、その与えられた成
分モジュールの出力を読取らせ検査させる。集積回路１
０内の全てのモード選択信号が、全ての成分モジュール
において出力テストモードを指示すると、相互接続され
た全ての成分モジュールは、モジュール間において直接
信号を通過させる。従って、集積回路１０は、通常の処
理モードで機能する。相互接続された成分モジュール
が、反対のモード選択信号を有する時に限り、集積回路
１０の走査テストシステムは動作せしめられる。

【００２２】集積回路１０の外部から入力信号を受取る
成分モジュールは、対応するモード選択信号が、その成
分モジュールにおいて出力テストモードを指示した時
に、それらのテスト入力信号を受取る。これらの成分モ
ジュールに対する入力は、集積回路の境界から来ると称
せられる。また、集積回路１０の外部で用いられる出力
信号を発生する成分モジュールの出力信号は、前の成分
モジュールにおけるモード選択信号が入力テストモード
を指示したときに検査される。これらの成分モジュール
からの出力は、集積回路の境界上に発生すると称せられ
る。集積回路１０上の他の成分モジュールと相互接続さ
れていない成分モジュールは、走査テストシステムの設
計に依存して、走査テストの第１または第２ステップに
おいて、それらの走査テストを受ける。その場合、入力
走査セルまたは出力走査セルのいずれも、成分モジュー
ルを走査テストするために必要でない。そのわけは、そ
の入力ピンおよび出力ピンの双方が、集積回路１０の境
界上にあるからである。

【００２３】モジュールＡ１２に結合している出力走査
セル６２において、モード選択信号６８が出力テストモ
ードを指示した時は、モジュールＡ１２には、モジュー
ルＡ入力１４を経てテスト信号が導入される。このテス
ト信号は、モジュールＡ１２において処理され、モジュ
ールＡ出力１６上へ出力される。出力テストモードで動
作するマルチプレクサ６４は、モジュールＡ出力１６を
受け、その信号をマルチプレクサ出力７０へ送る。この
信号は、捕捉出力７２を経てシフトレジスタ６６により
捕捉される。シフトレジスタ出力７４は、モジュールＡ
１２の出力を含み、この出力を集積回路１０のピン上へ
供給するので、この出力は読取られ検査されうる。この
ようにして、シフトレジスタ出力７４は、モジュールＡ
１２の動作の完全性を検査するために用いられうる。出
力走査セル６２を用いたモジュールＡ１２の走査テスト
は、Ｉ−II−IIIにより示される、モジュールＡ１２と
モジュールＢ１８との間の相互接続信号経路を検査す
る。従って、モジュールＡ１２とモジュールＢ１８との
間に残る検査されるべき信号経路は、III−IVにより表
されるもののみとなる。従って、モジュールＡ１２の動
作の完全性のテストの後に、モジュールＡ１２とモジュ
ールＢ１８との間の相互接続の動作の検査のために残さ
れた走査テスト検査は、モジュールＢ１８およびIII−I
Vにより示される相互接続信号経路の動作の完全性につ
いてのものである。

【００２４】出力走査セル６２のモード選択信号６８が
入力テストモードを指示した時は、テスト信号８０がモ
ジュールＢの入力走査セル７６へ導入される。テスト信
号８０は、入力走査セルのシフトレジスタ７８により受
取られる。そこで、入力走査セルのシフトレジスタ７８
は、テスト信号８０を入力走査セル出力８２へ送る。入
力走査セル出力８２は、モジュールＡの出力走査セル６
２内のマルチプレクサ６４の入力に直接接続されてい
る。モード選択信号６８が入力テストモードを指示した
時は、入力走査セル出力８２は、マルチプレクサ出力７
０へ接続される。

【００２５】本発明の１つの利点は、入力走査セル出力
８２が、III−IVにより示される信号経路を有するマル
チプレクサ出力７０の上または下に成層されうるので、
走査テストシステムが、シリコン表面のオーバヘッドを
生じないことである。これら２つの層は、２つの異なる
金属でありえ、または、それらは絶縁層により分離され
た同じ金属でありうる。

【００２６】マルチプレクサ６４が、入力テストモード
を指示するモード選択信号６８を受けると、それは、入
力走査セル出力８２をマルチプレクサ出力７０へシフト
させる。マルチプレクサ出力７０は、モジュールＢ入力
６０へ直接接続されている。従って、テスト信号８０
は、入力走査セル７６および出力走査セル６２を通過し
た後、モジュールＢ入力６０へ送られる。モード選択信
号６８が入力テストモードを指示した時は、モジュール
Ｂ１８に結合している出力走査セル１０２におけるモー
ド選択信号であるモード選択信号１２２は、モジュール
Ｂ１８の動作の完全性を検査するためにモジュールＢ１
８の出力が捕捉されうるように、出力テストモードを指
示する。モジュールＢ１８が入力を処理した後、モジュ
ールＢ出力２０は出力走査セル１０２により捕捉され、
そこで、モジュールＢ１８の動作の完全性を検査するた
めの、シフトレジスタ出力１１２における検査に使用で
きるようにされる。もしモジュールＢ１８が走査テスト
に合格すれば、信号経路III−IVは適正に機能すること
が確認されたことになる。このようにして、モジュール
Ａ１２の走査テストは、信号経路Ｉ−II−IIIを検査
し、モジュールＢ１８の走査テストは、信号経路III−I
Vを検査するので、信号経路Ｉ−II−III−IVが検査さ
れ、モジュールＡ１２と、モジュールＢ１８と、これら
の間の相互接続と、の走査テストが２つのステップで完
了する。さらに、モジュールＢ１８が適正に機能するこ
とが検査された後に、信号経路Ｖ−VI−VIIもまた適正
に機能することが検査される。従って、モジュールＢ１
８の走査テストは、モジュールＢ１８の動作の完全性
と、III−IVにより示される信号経路と、Ｖ−VI−VIIに
より示される信号経路と、を検査する。

【００２７】図３は、図１に示されている集積回路１０
の一部を示す。詳述すると、図３は、モジュールＣ２２
と、モジュールＤ３２と、モジュールＥ３８と、モジュ
ールＦ４４と、これらのモジュールの間の相互接続と、
を含む。集積回路１０のこの部分は、異なるモジュール
からの多重入力を有するモジュールと、グルー（ｇｌｕ
ｅ）論理を用いて別のモジュールと相互接続された、多
重出力を有するモジュールと、を示す。グルー論理と
は、集積回路上の２つの成分モジュール間に存在しうる
ディジタル論理回路の呼称である。図３に示されている
回路の走査テストシステムは、前述と本質的に同様に動
作する。本発明の走査テストシステムは、グルー論理を
モジュールＤ３２の一部として取扱い、しかも完了する
ために、まさに２ステップを必要とする。従って、グル
ー論理は、モジュールＤ３２の動作が検査される時にテ
ストされる。

【００２８】再び図３を参照すると、モジュールＣ２２
と、モジュールＥ３８と、モジュールＦ４４とは、モジ
ュールＤ３２の３つの入力を供給する。モジュールＣ２
２の３つの出力は、第１のモジュールＤ入力３４に接続
された３入力ＮＡＮＤゲート３０に接続されている。モ
ジュールＥ３８およびモジュールＦ４４の出力はそれぞ
れ、第２のモジュールＤ入力３６および第３のモジュー
ルＤ入力４２に接続されている。

【００２９】モード選択信号１３０は、出力走査セル８
４と、出力走査セル８６と、出力走査セル８８と、にお
けるモード選択を行う。これら３つの出力走査セルは、
全てが同じモジュール、すなわちモジュールＣ２２に結
合しているので、同じモード選択信号を用いる。すなわ
ち、モード選択信号１３０は、モジュールＣの出力走査
セルのためのモード選択信号である。モード選択信号１
３０が、出力テストモードを指示した時は、出力走査セ
ル８４と、出力走査セル８６と、出力走査セル８８と
は、図２に関連して上述した出力走査セル６２と同様に
機能する。従って、モジュールＣ２２のそれぞれの出力
は、関連する出力走査セルにより捕捉され、検査されう
る。さらに、モード選択信号１３０が、出力テストモー
ドを指示している時は、モジュールＣの直前の出力走査
セルにおけるモード選択信号は、入力テストモードにセ
ットされている。これにより、テスト入力信号１１８
は、モジュールＣ入力２１へ、直前の出力走査セルを経
て供給されうるようになる。テスト入力信号１１８は、
モジュールＣの入力走査セル１１４へ供給される。入力
走査セル１１４は、シフトレジスタ１１６から成る。シ
フトレジスタ１１６は、入力テスト信号１１８を、入力
走査セル出力１２０を経て、直前の出力走査セルへ送
る。入力走査セル出力１２０は、直前の出力走査セルの
マルチプレクサに結合し、直前の出力走査セルは、モジ
ュールＣ入力２１へ結合する。

【００３０】モジュールＥの出力走査セル９０は、モー
ド選択信号１３２を有し、モジュールＦの出力走査セル
９２は、モード選択信号１３４を有ずる。モジュールＥ
３８およびモジュールＦ４４の出力は、出力走査セル９
０および出力走査セル９２のそれぞれが出力テストモー
ドにある時に、上述のように捕捉され、検査されうる。
モジュールＣ２２の動作の完全性が検査される時は、図
２に示されているモジュールＢの出力走査セル１０２、
すなわちモジュールＣ２２の直前の出力走査セルは、入
力走査セル１１４内のシフトレジスタ１１６へ印加され
たテスト信号１１８が、シフトレジスタ出力１２０およ
びモジュールＢの出力走査セル１０２を経て、モジュー
ルＣ入力２１へ送られるように、入力テストモードへセ
ットされる。

【００３１】集積回路１０のこの部分のための、走査テ
ストシステムにおける第１ステップは、モジュールＣ２
２と、モジュールＥ３８と、モジュールＦ４４と、の動
作の完全性を検査することである。直接接続されていな
いモジュールの動作の完全性は、同じ走査テストステッ
プにおいて検査されうることを想起されたい。これらの
セルの満足すべきテストは、Ｖ−VI−VII、IX−Ｘ−X
I、XII−XIII−XIV、XV−XVI−XVII、およびXIX−XX−X
XIにより示される信号経路が、全て適正に機能している
ことを証明する。走査テストシステムの第２ステップ
は、モジュールＤ３２の動作の完全性を検査することで
ある。これは、モード選択信号１３０、モード選択信号
１３２、およびモード選択信号１３４により、入力テス
トモードを指示することにより行われる。適切なテスト
信号が、モジュールＤの入力走査セル、すなわち入力走
査セル９４、入力走査セル９６、および入力走査セル９
８へ送られる。上述のように、これらのテスト信号は、
入力走査セルが結合している出力走査セルへ送られ、そ
れらはそこから相互接続経路に沿って、適切なモジュー
ルＤ３２の入力へ送られる。詳述すると、入力走査セル
９４は、テスト入力信号１５０を出力走査セル９０へ送
り、出力走査セル９０は次にテスト信号を、第２のモジ
ュールＤ入力信号３６として送る。入力走査セル９６
は、テスト信号１５２を出力走査セル８６へ送り、出力
走査セル８６は次にテスト信号をＮＡＮＤゲート３０へ
送り、ＮＡＮＤゲート３０は次に適切なテスト信号を第
１のモジュールＤ入力信号３４として送る。入力走査セ
ル９８は、テスト信号１５４を出力走査セル９２へ送
り、出力走査セル９２は次にこのテスト信号を、第３の
モジュールＤ入力信号４２として送る。

【００３２】さらに、入力走査セル９４および入力走査
セル９８はまた、ＮＡＮＤゲート３０への入力の２つに
対するテスト信号をも供給する。すなわち、入力走査セ
ル９４は、テスト信号１５０を出力走査セル８４および
出力走査セル９０の双方へ供給する。同様にして、入力
走査セル９８は、テスト信号１５４を出力走査セル９２
および出力走査セル８８へ供給する。しかし、ＮＡＮＤ
ゲート３０へのそれぞれの入力は、別個の入力走査セル
を有しうる。従って、モジュールＤ３２は、５つまでの
入力走査セルを有しうる。そのわけは、モジュールＤ３
２およびＮＡＮＤゲート３０への５つの入力が存在する
からである。走査テストの目的上、ＮＡＮＤゲート３０
は、モジュールＤ３２の一部と考えられることを想起さ
れたい。モジュールＤ３２がテスト信号入力を処理した
後、モジュールＤ出力４８上に、検査のための出力信号
が得られる。モジュールＤ３２の動作の完全性が検査さ
れ終わった後には、信号経路VII−VIII、XI−VIII、XIV
−VIII、XVII−XVIII、およびXXI−XXIIは全て検査され
終わっている。従って、それぞれの成分モジュールの動
作が、これら成分モジュール間の全ての相互接続に加え
て検査され終わっている。

【００３３】図４および図５は、例としての集積回路１
０の動作の完全性を検査するための２ステップ走査テス
トシステムを示す。これらの図は、２ステップ走査テス
トプロセスのそれぞれのステップにおいて、いずれの成
分モジュールが、それらの動作の完全性をされるかを示
している。図４は、走査テストプロセスの第１ステップ
を示し、図５は２ステップ走査テストプロセスの第２ス
テップを示す。

【００３４】図４を参照すると、モード選択信号６８
と、モード選択信号１３０と、モード選択信号１３２
と、モード選択信号１３４とは、全て出力テストモード
にセットされ、それによりモジュールＡ１２と、モジュ
ールＣ２２と、モジュールＥ３８と、モジュールＦ４４
と、の動作の完全性が検査される。斜線を施した成分モ
ジュールの動作の完全性は、２ステップ走査テストプロ
セスの第１ステップにおいて検査される。斜線を施した
出力走査セル、すなわち、出力走査セル６２と、出力走
査セル８４と、出力走査セル８６と、出力走査セル８８
と、出力走査セル９０と、出力走査セル９２とは、２ス
テップ走査テストプロセスの第１ステップにおいては出
力テストモードにセットされる。相隣る成分モジュール
のモード選択信号は、集積回路１０のための走査テスト
の与えられたステップにおいて、逆のセッティングにセ
ットされることに注意すべきである。相隣る成分モジュ
ールの逆のセッティングは、前の成分モジュールの出力
走査セルが、テストされている成分モジュールの入力走
査セルから供給されたテスト信号をその成分モジュール
の入力へ送ることを可能にする。それはまた、テストさ
れている成分モジュールの出力走査セルが、そのモジュ
ールの出力を捕捉し、検査することを可能にする。

【００３５】再び図４を参照すると、モード選択信号１
２２は、入力テストモードにセットされる。これによ
り、テスト入力信号１１８は、モジュールＣ入力２１へ
送られうる。モジュールＡ１２と、モジュールＥ３８
と、モジュールＦ４４とは、全てそれらの入力を集積回
路１０の外部から受けることに注意すべきである。従っ
て、それらのモジュールの入力走査セルは、入力テスト
モードにセットされる必要のある直前の出力走査セルを
もたない。モジュールＧ５０は、他の成分モジュールに
接続されていない。従って、それは出力走査セルをもた
ず、従って、モード選択信号ももたない。モジュールＧ
５０は、２ステップ走査テストのいずれのステップによ
っても走査テストされうる。この例においては、モジュ
ールＧ５０は、走査テストプロセスの第１ステップにお
いて検査される。

【００３６】ここで図５を参照すると、斜線を施した成
分モジュールの動作の完全性は、走査テストプロセスの
第２ステップにおいて検査され、斜線を施した出力走査
セルは出力テストモードにセットされる。ＮＡＮＤゲー
ト３０およびモジュールＤ３２は、同じステップにおい
て検査される。そのわけは、グルー論理は、それが入力
を供給する成分モジュールの一部と考えられるからであ
る。モード選択信号６８と、モード選択信号１３０と、
モード選択信号１３２と、モード選択信号１３４とは、
全て入力テストモードにセットされる。入力テストモー
ドにより、テスト信号８０は、入力走査セル７６から出
力走査セル６２を経てモジュールＢ１８へ送られうる。
同様にして、入力テスト信号１４０、１４２、および１
４６は、モジュールＤ３２の適切な入力へ送られる。

【００３７】モード選択信号１２２は出力テストモード
へセットされるので、出力走査セル１０２は、モジュー
ルＢ１８の動作の完全性を検査するために、モジュール
Ｂ出力２０を捕捉しうる。モジュールＤ３２は、モジュ
ールＤ出力４８が集積回路１０の境界上に存在するの
で、出力走査セルをもたない。従って、モジュールＤ出
力４８は、集積回路１０の境界上に存在する。さらに、
モジュールＤ３２は、他の成分モジュールへ入力を供給
しないので、出力走査セルをもたない。図５に示されて
いる第２ステップの終了時には、ことごとくの成分モジ
ュールが検査され終わり、全ての成分モジュールの間の
相互接続が検査され終わっている。従って、集積回路１
０により示される全集積回路の動作の完全性は、２つの
ステップにより検査される。

【００３８】図６は、集積回路１０における通常の処理
モードを示す。全ての出力走査セルのモード選択信号
は、出力テストモードへセットされる。容易に識別でき
るように、図６における全ての出力走査セルには斜線を
施してある。全ての成分モジュールが出力テストモード
で動作している時、出力テストモードは成分モジュール
の出力を直接次の成分モジュールへ送るので、集積回路
１０は通常のように機能している。

【００３９】本発明の教示は、複数の成分モジュール
と、それらの間の相互接続と、から成る集積回路のため
の、より効率的な走査テストの設計を用いた走査テスト
システムを提供する。改善された走査テストの設計は、
構造が簡単で、電気部品が少なく、集積回路全体の動作
の完全性を検査するために２つの走査テストステップし
か必要としない。

【００４０】このようにして、本発明が、集積回路の成
分モジュールと、それらの間の相互接続と、の動作をテ
ストするための、上述の利点を有する改善されたシステ
ムおよび方法を提供していることは明らかである。本発
明およびその利点を、詳細に説明してきたが、当業者に
とって容易に明らかとなる、さまざまな変化、置換、お
よび変更が、特許請求の範囲により定められる本発明の
精神および範囲から逸脱することなく行われうることを
理解すべきである。

【００４１】以上の説明に関して更に以下の項を開示す
る。（１）オンチップモジュールおよびそれらのオンチップ
モジュール間の相互接続をテストするシステムにおい
て、第１オンチップモジュールの出力信号を捕捉する動
作を行いうる出力走査セルであって、該捕捉された出力
信号が、前記第１オンチップモジュールの適正な動作
と、前記第１オンチップモジュールの出力から前記出力
走査セルまでの信号経路と、を検査するために用いられ
る、前記出力走査セルと、テスト信号を、前記出力走査
セルを経て、第２オンチップモジュールの入力へ送る動
作を行いうる入力走査セルであって、該送られたテスト
信号が、前記第２オンチップモジュールの適正な動作
と、前記出力走査セルから前記第２オンチップモジュー
ルの入力までの信号経路と、を検査するために用いら
れ、それにより前記第１オンチップモジュールの出力
と、前記第２オンチップモジュールの入力と、の間の相
互接続信号経路の適正な動作を検査する、前記入力走査
セルと、前記出力走査セルの動作モードを選択するモー
ド選択信号であって、該モード選択信号が入力テストモ
ードまたは出力テストモードである、前記モード選択信
号と、を含む、前記システム。

【００４２】（２）前記出力走査セルが、２つの入力
と、出力と、モード選択信号と、に結合した出力走査セ
ルマルチプレクサであって、前記２つの入力が、前記第
１オンチップモジュールの出力信号と、前記入力走査セ
ルの出力とから成り、前記出力が、前記第２オンチップ
モジュールまたは論理ゲートの入力に結合している、前
記出力走査セルマルチプレクサと、前記出力走査セルマ
ルチプレクサの出力に結合し、出力テストモードを指示
する前記モード選択信号に応答して前記出力走査セルマ
ルチプレクサの出力信号を捕捉する動作を行いうる、出
力走査セルシフトレジスタと、を含む、第１項に記載の
システム。

【００４３】（３）前記入力走査セルが、前記出力走査
セルマルチプレクサの入力に結合した入力走査セルシフ
トレジスタを含み、該入力走査セルシフトレジスタが、
テスト信号を前記出力走査セルマルチプレクサの入力へ
送り、該出力走査セルマルチプレクサが次に、入力テス
トモードを指示する前記モード選択信号に応答して前記
テスト信号を前記第２オンチップモジュールまたは前記
論理ゲートの入力へ送る、第２項に記載のシステム。

【００４４】（４）前記入力走査セルシフトレジスタか
ら前記出力走査セルマルチプレクサまでの信号経路が、
該走査セルマルチプレクサの出力と、前記第２オンチッ
プモジュールの入力と、の間の相互接続信号経路上に重
ねて配置されることにより、オンチップ表面のオーバヘ
ッドを生じない、第３項に記載のシステム。

【００４５】（５）第１オンチップモジュールの出力
と、第２オンチップモジュールの入力と、の間の相互接
続信号経路が、オンチップモジュール間の前記相互接続
のためのグルー論理を与える１つまたはそれ以上の論理
ゲートを含む、第１項に記載のシステム。

【００４６】（６）入力テストモードの前記モード選択
信号により、前記入力走査セルへ印加されたテスト信号
が、前記出力走査セルを経て前記第２オンチップモジュ
ールの入力へ送られうるようになり、前記入力テストモ
ードが、前記第２オンチップモジュールの適正な動作
と、前記出力走査セルと前記第２オンチップモジュール
の入力との間の相互接続信号経路の適正な動作と、を検
査するために用いられる、第１項に記載のシステム。

【００４７】（７）出力テストモードの前記モード選択
信号が、前記第１オンチップモジュールの入力へ供給さ
れたテスト信号により発生せしめられた前記第１オンチ
ップモジュールの出力を、前記出力走査セルにより捕捉
されうるようにし、前記出力テストモードが、前記第１
オンチップモジュールの適正な動作と、前記第１オンチ
ップモジュールの出力から前記出力走査セルまでの信号
経路の適正な動作と、を検査するために用いられる、第
１項に記載のシステム。

【００４８】（８）出力テストモードの前記モード選択
信号により、信号が通常の処理のために前記第１オンチ
ップモジュールから前記第２オンチップモジュールへ通
過しうるようになる、第１項に記載のシステム。

【００４９】（９）オンチップモジュールおよびそれら
のオンチップモジュール間の相互接続をテストする方法
において、入力テストモードまたは出力テストモードを
指示するモード選択信号を受取るステップと、出力テス
トモードを指示する前記モード選択信号に応答して、第
１オンチップモジュールの出力を捕捉するステップと、
入力走査セルにおいてテスト信号を受取るステップと、
前記入力走査セルから、第２オンチップモジュールの入
力に結合している出力走査セルへ、入力テストモードを
指示するモード選択信号に応答して前記テスト信号を送
るステップと、前記出力走査セルから前記第２応答モジ
ュールの入力へ、入力テストモードを指示するモード選
択信号に応答して前記テスト信号を送るステップと、を
含む、前記方法。

【００５０】（１０）入力テストモードを指示する前記
モード選択信号に応答して、前記第２オンチップモジュ
ールの適正な動作と、前記出力走査セルと前記第２オン
チップモジュールの入力との間の相互接続信号経路の適
正な動作と、を検査するステップをさらに含む、第９項
に記載の方法。

【００５１】（１１）前記第１オンチップモジュールの
適正な動作と、前記第１オンチップモジュールの出力か
ら前記出力走査セルまでの信号経路の適正な動作と、を
検査するステップをさらに含む、第９項に記載の方法。（１２）入力テスト信号に対し、オンチップモジュール
が適正な出力信号を発生することを検査するステップを
さらに含む、第９項に記載の方法。

【００５２】（１３）オンチップモジュールに対し、入
力信号経路が適正に機能することを検査するステップを
さらに含む、第９項に記載の方法。（１４）オンチップモジュールに対し、出力信号経路が
適正に機能することを検査するステップをさらに含む、
第９項に記載の方法。

【００５３】（１５）２つのオンチップモジュール間の
相互接続信号経路が適正に機能することを検査するステ
ップをさらに含む、第９項に記載の方法。（１６）複数のオンチップモジュール間の相互接続信号
経路が適正に機能することを検査するステップをさらに
含む、第９項に記載の方法。

【００５４】（１７）オンチップモジュールおよびそれ
らのオンチップモジュール間の相互接続をテストするシ
ステムにおいて、半導体チップ上に形成された集積回路
の一部である複数の成分モジュールであって、該複数の
成分モジュールの入力および出力のあるものが前記集積
回路の境界上に存在する、前記複数の成分モジュール
と、前記集積回路の境界上に存在しない成分モジュール
の出力に結合している複数の出力走査セルであって、該
複数の出力走査セルのそれぞれが、自身の結合している
前記成分モジュールからの出力信号を捕捉する動作を行
いうる、前記複数の出力走査セルと、複数の入力走査セ
ルであって、該複数の入力走査セルが、前記集積回路の
境界上に入力が存在しない成分モジュールへテスト入力
信号を供給し、該テスト入力信号が前記成分モジュール
の適正な動作を検査するために用いられ、前記テスト入
力信号が前記複数の出力走査セルから前記成分モジュー
ルの入力までの信号経路を検査するために用いられ、前
記テスト入力信号が前記出力走査セルを経て前記成分モ
ジュールへ送られるように、前記複数の入力走査セルの
それぞれが、前記複数の出力走査セルの１つに結合して
いる、前記複数の入力走査セルと、複数のモード選択信
号であって、該複数のモード選択信号のそれぞれが、対
応する出力走査セルに結合し、かつ入力テストモードま
たは出力テストモードを指示する、前記複数のモード選
択信号と、を含む、前記システム。

【００５５】（１８）前記複数の出力走査セルのそれぞ
れが、２つの入力と、出力と、対応するモード選択信号
と、に結合する出力走査セルマルチプレクサであって、
前記２つの入力は、前記出力走査セルが結合している前
記成分モジュールの出力信号と、前記複数の入力走査セ
ルの１つの出力と、から成り、前記出力は、前記複数の
成分モジュールのもう１つのものの入力に結合してい
る、前記出力走査セルマルチプレクサと、前記出力走査
セルマルチプレクサの出力に結合し、出力テストモード
を指示する対応するモード選択信号に応答して、前記出
力走査セルマルチプレクサの出力信号を捕捉する動作を
行いうる、出力走査セルシフトレジスタと、を含む、第
１７項に記載のシステム。

【００５６】（１９）前記複数の入力走査セルのそれぞ
れが、前記複数の出力走査セルマルチプレクサの１つの
入力に結合している入力走査セルシフトレジスタを含
み、該入力走査セルシフトレジスタが、自身の結合して
いる前記出力走査セルマルチプレクサの入力へテスト入
力信号を送る動作を行うことができ、前記出力走査セル
マルチプレクサは次に前記テスト入力信号を、前記出力
走査セルマルチプレクサに対し入力テストモードを指示
する前記モード選択信号に応答して、対応する成分モジ
ュールの入力へ送る、第１８項に記載のシステム。

【００５７】（２０）前記入力走査セルシフトレジスタ
から前記出力走査セルマルチプレクサまでの信号経路
が、該走査セルマルチプレクサの出力と、対応する成分
モジュールの入力と、の間の相互接続信号経路上に重ね
て配置されることにより、オンチップ表面のオーバヘッ
ドを生じない、第１９項に記載のシステム。（２１）前記集積回路の走査テストが２つのステップに
より行われる、第１７項に記載のシステム。

【００５８】（２２）前記集積回路の前記走査テストの
第１ステップにおいて、相隣らない成分モジュールに結
合した出力走査セルの前記モード選択信号が同じ値にセ
ットされ、かつ、相隣る成分モジュールに結合した出力
走査セルの前記モード選択信号が異なる値にセットされ
るように、前記複数の出力走査セルにおける前記モード
選択信号がセットされる、第２１項に記載のシステム。

【００５９】（２３）前記集積回路の前記走査テストの
第２ステップにおいて、前記複数の出力走査セルにおけ
る前記モード選択信号が、前記集積回路の前記走査テス
トの前記第１ステップにおいて用いられた値の逆の値へ
スイッチされる、第２２項に記載の方法。（２４）全ての出力走査セルにおける全てのモード選択
信号が出力テストモードへセットされた時、前記集積回
路が通常モードで動作する、第１７項に記載のシステ
ム。

【００６０】（２５）半導体チップ上に形成された集積
回路１０の成分モジュールと、それらの成分モジュール
間の相互接続と、の動作をテストするシステムが提供さ
れ、このシステムは、いくつかの成分モジュールから成
り、それぞれの成分モジュールは、必要な時は、関連の
入力走査セル７６および出力走査セル１０２を有する。
成分モジュールは、その成分モジュールの入力または出
力が集積回路１０の境界上に存在しなければ、入力走査
セル７６および出力走査セル１０２の双方を有する。そ
れぞれの出力走査セル１０２は、入力テストモード、ま
たは出力テストモードを指示するモード選択信号１２２
を有する。この改善された走査テストシステムは、全集
積回路１０の動作の完全性を検査するために、２つのプ
ロセスステップを用いる。走査テストの第１ステップに
おいては、相隣らない成分モジュールのモード選択信号
は出力テストモードへセットされ、相隣らない成分モジ
ュールの間に存在する成分モジュールのモード選択信号
は、入力テストモードへセットされる。走査テストの第
２ステップにおいては、全てのモード選択信号は、逆の
セッティングへリセットされる。走査テストの第２ステ
ップの後には、全ての成分モジュールと、それらの間の
相互接続と、が検査されたことになる。集積回路１０の
通常の動作においては、全てのモード選択信号が出力テ
ストモードへセットされ、これにより信号は集積回路の
成分モジュール間を直接通過しうるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】モジュール化された集積回路における、さまざ
まな成分モジュールおよびそれらの間の相互接続を示す
概略ブロック図。

【図２】集積回路上の２つのモジュール間の直接相互接
続に関連する、基本的走査セルを示す概略ブロック図。

【図３】２つのモジュール間のさらに複雑な相互接続に
用いられる走査テストシステムを示す概略ブロック図。

【図４】２ステップ走査テストシステムにおける第１ス
テップを示すブロック図。

【図５】２ステップ走査テストシステムにおける第２ス
テップを示すブロック図。

【図６】通常の動作モードにおける、モジュール化され
た集積回路を示すブロック図。

【符号の説明】

１２モジュールＡ１６モジュールＡ出力１８モジュールＢ６０モジュールＢ入力６２出力走査セル６８モード選択信号７６入力走査セル８０テスト信号１０２出力走査セル１２２モード選択信号

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】オンチップモジュールおよびそれらのオ
ンチップモジュール間の相互接続をテストするシステム
において、第１オンチップモジュールの出力信号を捕捉する動作を
行いうる出力走査セルであって、該捕捉された出力信号
が、前記第１オンチップモジュールの適正な動作と、前
記第１オンチップモジュールの出力から前記出力走査セ
ルまでの信号経路と、を検査するために用いられる、前
記出力走査セルと、テスト信号を、前記出力走査セルを経て、第２オンチッ
プモジュールの入力へ送る動作を行いうる入力走査セル
であって、該送られたテスト信号が、前記第２オンチッ
プモジュールの適正な動作と、前記出力走査セルから前
記第２オンチップモジュールの入力までの信号経路と、
を検査するために用いられ、それにより前記第１オンチ
ップモジュールの出力と、前記第２オンチップモジュー
ルの入力と、の間の相互接続信号経路の適正な動作を検
査する、前記入力走査セルと、前記出力走査セルの動作モードを選択するモード選択信
号であって、該モード選択信号が入力テストモードまた
は出力テストモードである、前記モード選択信号と、を
含む、前記システム。
【請求項２】オンチップモジュールおよびそれらのオ
ンチップモジュール間の相互接続をテストする方法にお
いて、入力テストモードまたは出力テストモードを指示するモ
ード選択信号を受取るステップと、出力テストモードを指示する前記モード選択信号に応答
して、第１オンチップモジュールの出力を捕捉するステ
ップと、入力走査セルにおいてテスト信号を受取るステップと、前記入力走査セルから、第２オンチップモジュールの入
力に結合している出力走査セルへ、入力テストモードを
指示するモード選択信号に応答して前記テスト信号を送
るステップと、前記出力走査セルから前記第２応答モジュールの入力
へ、入力テストモードを指示するモード選択信号に応答
して前記テスト信号を送るステップと、を含む、前記方
法。