JP2000214029A - 圧力センサ回路 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 コントロール回路の処理負担を軽減する。 【解決手段】 増幅回路１４から基準オフセット電圧が
重畳された圧力センサ１０の出力電圧Ｖ１０を入力＋端
子に取り込み、ＥＥＰＲＯＭ１５から出力電圧Ｖ１０に
含まれるオフセット電圧と同レベルの電圧を入力−端子
に取り込んで、圧力センサ１０のオフセット電圧の温度
補正を行うとともに、ＥＥＰＲＯＭ１５から出力電圧Ｖ
１０に含まれるスパン電圧と同レベルの電圧を基準電圧
端子に取り込んで、Ｖ１０−Ｖ１２に対するＶ１３によ
る除算で圧力センサ１０のスパン電圧の温度補正を行う
Ａ／Ｄ変換回路１７と、Ｄ／Ａ変換回路１２，１３の出
力電圧生成用のオフセット補正量およびスパン補正量を
環境温度毎に記憶するＥＥＰＲＯＭ１５と、感温回路１
１からの環境温度に応じてＥＥＰＲＯＭ１５からオフセ
ット補正量およびスパン補正量を読み出してＤ／Ａ変換
回路１２，１３に出力するコントロール回路１６とを備
えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、抵抗ブリッジ型の
圧力センサを有し、高精度な温度補償機能を有する圧力
センサ回路に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、高精度な温度補償機能を有する圧
力センサ回路には、圧力センサの出力信号の温度変動を
低減するための補正量が予め記憶されているメモリを有
し、このメモリから環境温度に応じて補正量を適宜読み
出して、圧力センサの出力信号の補正を行うものがあ
る。

【０００３】図１１はこのような従来の圧力センサ回路
の概略構成図である（特開昭６２−２１８８１３号公報
などを参照）。図１１に示す圧力センサ回路は、圧力セ
ンサ１０、この圧力センサ１０の出力信号を増幅する増
幅回路９４１、この増幅回路９４１の出力信号をデジタ
ル値に変換するＡ／Ｄ変換回路９７１、圧力センサ１０
の環境温度を検出する感温回路１１、この感温回路１１
の出力信号を増幅する増幅回路９４２、この増幅回路９
４２の出力信号をデジタル値に変換するＡ／Ｄ変換回路
９７２、およびこのＡ／Ｄ変換回路９７２からのデジタ
ル値に対応する補正量をメモリ９５から読み出し、Ａ／
Ｄ変換回路９７１からのデジタル値を、読み出した補正
量を用いた演算処理により補正するマイクロコンピュー
タ（マイコン）９６により構成されている。

【０００４】なお、特開平９−２５７８２９号公報に
は、温度変化による出力電圧のスパンドリフトおよび零
点ドリフトをそれぞれ相殺するようブリッジ電流および
オフセット電圧のそれぞれの値を調整する電流調整部お
よび電圧調整部が、電流源回路および電圧源回路にそれ
ぞれ設けられたセンサ検出回路が開示されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１１
に示す従来の圧力センサ回路では、メモリから補正量を
読み出し、その補正量を用いたマイコンの演算処理によ
って圧力センサの検出結果を補正するので、マイコンの
負担が大きくなるという課題があった。

【０００６】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、コントロール回路の処理負担を軽減することが
可能な圧力センサ回路を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の請求項１記載の発明の圧力センサ回路は、環境温度の
変化に伴って出力のオフセットおよび感度が変動する圧
力センサと、前記圧力センサの環境温度を検出する感温
回路と、オフセット補正用のＤ／Ａ変換回路と、スパン
補正用のＤ／Ａ変換回路と、前記圧力センサおよび感温
回路の両出力信号を増幅する増幅回路と、前記感温回路
により検出される環境温度に対応する前記圧力センサの
オフセット補正量およびスパン補正量を記憶するメモリ
と、前記感温回路により検出される環境温度に対応する
前記圧力センサのオフセット補正量およびスパン補正量
を前記メモリから読み出し、それぞれを前記オフセット
補正用およびスパン補正用の両Ｄ／Ａ変換回路に送出す
るコントロール回路と、前記増幅回路、オフセット補正
用のＤ／Ａ変換回路およびスパン補正用のＤ／Ａ変換回
路の各出力端子とそれぞれ接続されるプラス側入力端
子、マイナス側入力端子および基準電圧入力端子を有
し、前記感温回路からの信号をデジタル信号に変換して
前記コントロール回路に送出する一方、前記オフセット
補正用およびスパン補正用の両Ｄ／Ａ変換回路からの信
号を用いて、前記圧力センサからの信号をデジタル信号
に変換するＡ／Ｄ変換回路と、前記Ａ／Ｄ変換回路によ
る変換後の前記圧力センサからの信号を所定のデジタル
量に変換するデジタル出力回路とを備えるものである。

【０００８】この構成では、圧力センサの信号に対する
オフセットおよびスパンの両温度補正がＡ／Ｄ変換回路
で行われる。この結果、コントロール回路は圧力センサ
のオフセットおよびスパンの両温度変動成分を演算処理
で補正する必要がないので、コントロール回路の処理負
担を軽減することが可能になる。

【０００９】請求項２記載の発明の圧力センサ回路は、
環境温度の変化に伴って出力のオフセットおよび感度が
変動する圧力センサと、前記圧力センサの環境温度を検
出する感温回路と、オフセット補正用のＤ／Ａ変換回路
と、スパン補正用のＤ／Ａ変換回路と、前記圧力センサ
および感温回路の両出力信号を増幅する増幅回路と、所
定の環境温度に対する基準オフセット電圧を発生する基
準電圧源と、前記感温回路により検出される環境温度に
対応する前記圧力センサの前記基準オフセット電圧に対
する温度変動成分を補正するオフセット補正量を記憶す
るとともに、前記感温回路により検出される環境温度に
対応する前記圧力センサのスパン補正量を記憶するメモ
リと、前記感温回路により検出される環境温度に対応す
る前記圧力センサのオフセット補正量およびスパン補正
量を前記メモリから読み出し、それぞれを前記オフセッ
ト補正用およびスパン補正用の両Ｄ／Ａ変換回路に送出
するコントロール回路と、前記増幅回路からの前記感温
回路の出力信号、および前記オフセット補正用のＤ／Ａ
変換回路の出力信号によって前記基準オフセット電圧に
対する温度変動成分が補正された前記増幅回路からの前
記圧力センサの出力信号を入力信号とするプラス側入力
端子、前記基準オフセット電圧を入力信号とするマイナ
ス側入力端子、および前記スパン補正用のＤ／Ａ変換回
路の出力信号を入力信号とする基準電圧入力端子を有
し、前記感温回路からの信号をデジタル信号に変換して
前記コントロール回路に送出する一方、前記基準オフセ
ット信号および前記スパン補正用のＤ／Ａ変換回路から
の信号を用いて、前記圧力センサからの信号をデジタル
信号に変換するＡ／Ｄ変換回路と、前記Ａ／Ｄ変換回路
による変換後の前記圧力センサからの信号を所定のデジ
タル量に変換するデジタル出力回路とを備えるものであ
る。

【００１０】この構成では、圧力センサの信号に対する
オフセットの温度補正がＡ／Ｄ変換回路の入力前で行わ
れ、圧力センサの信号に対するスパンの温度補正がＡ／
Ｄ変換回路で行われる。この結果、コントロール回路は
圧力センサのオフセットおよびスパンの両温度変動成分
を演算処理で補正する必要がないので、コントロール回
路の処理負担を軽減することが可能になる。

【００１１】なお、前記コントロール回路のオフまたは
オン制御に従って、それぞれ前記圧力センサに対する電
力供給経路の断続を行う第１スイッチと、前記コントロ
ール回路のオフまたはオン制御に従って、それぞれ前記
感温回路に対する電力供給経路の断続を行う第２スイッ
チとを備え、前記コントロール回路は、前記第１スイッ
チに対してオン制御を行っている場合には前記第２スイ
ッチに対してオフ制御を行う一方、前記第２スイッチに
対してオン制御を行っている場合には前記第１スイッチ
に対してオフ制御を行う構成でもよい（請求項３）。こ
の構成では、圧力センサおよび感温回路のどちらか一方
の電力供給が停止されるので、本圧力センサ回路の消費
電力の低減が可能になる。

【００１２】また、複数の抵抗により成り電源の電圧を
分圧して基準電圧として前記オフセット補正用のＤ／Ａ
変換回路に印加する第１分圧回路と、複数の抵抗により
成り前記電源の電圧を分圧して基準電圧として前記スパ
ン補正用のＤ／Ａ変換回路に印加する第２分圧回路とを
備え、前記圧力センサには前記電源の電圧が駆動電圧と
して印加される構成でもよい（請求項４）。この構成で
は、オフセット補正用のＤ／Ａ変換回路、スパン補正用
のＤ／Ａ変換回路および圧力センサに対して、同一の電
源の電圧が使用されるので、全体としてその電源の電圧
の変動分がキャンセルされるようになる。この結果、従
来のようなより安定的な定電圧回路は不要になり、回路
構成の簡単化およびコスト低減が可能になる。

【００１３】また、前記コントロール回路の切換制御に
従って、前記圧力センサおよび感温回路の一方の出力端
子を前記増幅回路の入力端子に接続する切換回路を備
え、前記コントロール回路は、前記増幅回路およびＡ／
Ｄ変換回路を介して前記感温回路により検出された環境
温度を取り込み、この環境温度に対応する前記圧力セン
サのオフセット補正量およびスパン補正量を前記メモリ
から読み出し、それぞれを前記オフセット補正用および
スパン補正用の両Ｄ／Ａ変換回路に送出し、この後、前
記切換回路に対して前記圧力センサの出力端子を前記増
幅回路の入力端子に接続する切換制御を行って、前記圧
力センサからの信号のＡ／Ｄ変換を前記Ａ／Ｄ変換回路
によって実行させる構成でもよい（請求項５）。この構
成では、切換回路およびコントロール回路の制御によっ
て、圧力センサおよび感温回路に対して、増幅回路およ
びＡ／Ｄ変換回路の共用が可能になり、回路の簡単化お
よび効率的な圧力計測が可能となる。

【００１４】また、前記感温回路は、互いに異なる抵抗
温度特性を有する２つの抵抗素子により成り電源の電圧
を分圧して出力する構成でもよい（請求項６）。この構
成によれば、回路をＩＣ化する場合に内蔵が可能とな
り、外付けの部品点数の削減、ＩＣの端子数削減、全体
の回路構成の簡単化およびコストダウンを図ることが可
能になる。

【００１５】また、前記増幅回路は、前記圧力センサお
よび感温回路に対してそれぞれ個別のゲインに切り換え
る切換機能を有している構成でもよい（請求項７）。こ
の構成によれば、増幅回路の簡単化およびさらなる低コ
スト化が可能になる。

【００１６】さらに、前記感温回路の出力は、前記オフ
セット補正用のＤ／Ａ変換回路からの信号により補正さ
れる構成でもよい（請求項８）。この構成によれば、感
温回路の出力電圧におけるオフセット電圧を補正するこ
とが可能になり、感温回路のばらつきを吸収することが
でき、製造歩留りが向上する。

【００１７】

【発明の実施の形態】図１は本発明の第１実施形態に係
る圧力センサ回路の概略構成図で、この図を用いて以下
に第１実施形態の説明を行う。

【００１８】本圧力センサ回路は、環境温度の変化に伴
って出力のオフセットおよび感度が変動する温度特性を
有し加速度や圧力などの物理量に応じたアナログ量の出
力信号を発生する圧力センサ１０と、この圧力センサ１
０の環境温度を検出する感温回路１１と、オフセット補
正用のＤ／Ａ変換回路１２と、スパン補正用のＤ／Ａ変
換回路１３と、感温回路１１の出力信号の増幅を行う一
方、基準オフセット電圧を重畳させながら圧力センサ１
０の出力信号の増幅を行う増幅回路１４と、感温回路１
１により検出される環境温度に対応する圧力センサ１０
のオフセット補正量およびスパン補正量を記憶するＥＥ
ＰＲＯＭ（メモリ）１５と、感温回路１１により検出さ
れる環境温度に対応する圧力センサ１０のオフセット補
正量およびスパン補正量をＥＥＰＲＯＭ１５から読み出
し、それぞれをＤ／Ａ変換回路１２，１３に送出するコ
ントロール回路１６と、増幅回路１４、Ｄ／Ａ変換回路
１２およびＤ／Ａ変換回路１３の各出力端子とそれぞれ
接続される入力＋端子（プラス側入力端子）、入力−端
子（マイナス側入力端子）および基準電圧入力端子を有
し、感温回路１１からの信号をデジタル信号に変換して
コントロール回路１６に送出する一方、Ｄ／Ａ変換回路
１２，１３からの両信号を用いて、圧力センサ１０から
の信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換回路１７
と、このＡ／Ｄ変換回路１７による変換後の圧力センサ
１０からの信号をパルスなどの所定のデジタル量に変換
するデジタル出力回路１８とを備えている。

【００１９】図２は図１の増幅回路の概略内部構成など
を示す図、図３はオフセット補正量およびスパン補正量
の説明図で、上記構成の圧力センサ回路における圧力セ
ンサ１０、増幅回路１４、Ａ／Ｄ変換回路１７、ＥＥＰ
ＲＯＭ１５およびコントロール回路１６についてさらに
詳述する。ただし、図２には、後述する基準電圧源の接
続例が示され、感温回路１１の接続の様子は図示省略さ
れている。この感温回路１１の接続例については別の実
施形態で説明する。

【００２０】圧力センサ１０は、図２に示すように、抵
抗値が圧力に応じて変化するブリッジ回路構成の抵抗Ｒ
１０１〜Ｒ１０４により成り、図３（ａ）および（ｃ）
に示すように、１次で負の温度変動成分および２次で下
に凸の温度変動成分を含む出力温度特性を有している。
ただし、Ｔ１，Ｔ２は出力端子で、Ｔ３，Ｔ４は電源端
子である。

【００２１】増幅回路１４は、上述の如く圧力センサ１
０および感温回路１１の双方の出力信号を個別に増幅す
る増幅回路を有しているほか、上記基準オフセット電圧
を発生する基準電圧源１４０をさらに内蔵している。

【００２２】図２に示す例では、オペアンプ１４１〜１
４３および抵抗Ｒ１４０〜Ｒ１４５により成る多段式の
増幅回路における後段のオペアンプ１４３の非反転入力
端子に、ボルテージホロワ１４４および抵抗Ｒ１４６を
介して、基準電圧源１４０の基準オフセット電圧を印加
する構成になっている。これにより、圧力センサ１０の
出力信号の増幅は、基準オフセット電圧を重畳しながら
行われることになる。なお、基準オフセット電圧は、所
定の環境温度（例えば２５℃）で、基準電圧源１４０の
出力レベルを所定レベルに調整して得られる電圧のこと
である。

【００２３】一方、圧力センサ１０に対する増幅回路１
４のゲインをＧ、出力端子Ｔ１，Ｔ２間の電圧をＶとし
たとき、Ｖ×ＧがＡ／Ｄ変換回路１７から見た増幅回路
１４から得られる圧力センサ１０のスパン電圧となる。

【００２４】Ａ／Ｄ変換回路１７は、Ｋを定数とする
と、次式に示すように、Ｄ／Ａ変換回路１２，１３から
それぞれ得られるオフセット補正量のアナログ電圧Ｖ１
２およびスパン補正量のアナログ電圧Ｖ１３を用いて、
圧力センサ１０からのアナログ電圧Ｖ１０をデジタル量
Ｄ１０に変換する。

【００２５】Ｄ１０＝（Ｖ１０−Ｖ１２）／Ｖ１３×Ｋ ＥＥＰＲＯＭ１５には、図３（ａ）に示すように、Ａ／
Ｄ変換回路１７のＶ１０−Ｖ１２による差動機能によっ
てオフセット温度変動成分をキャンセルすべく、増幅回
路１４からの圧力センサ１０のオフセット電圧（図では
「センサオフセット」）と同じレベルの電圧（図では
「オフセットＤ／Ａ」）がＤ／Ａ変換回路１２から出力
されるようなオフセット補正量が対象とする範囲の各環
境温度毎に記憶されているとともに、図３（ｃ）に示す
ように、Ａ／Ｄ変換回路１７のＶ１３による除算機能に
よってスパン温度変動成分をキャンセルすべく、増幅回
路１４からの圧力センサ１０のスパン電圧と同じレベル
の電圧（図では「スパンＤ／Ａ」）がＤ／Ａ変換回路１
３から出力されるようなスパン補正量が対象とする範囲
の各環境温度毎に記憶されている。

【００２６】コントロール回路１６は、マイクロコンピ
ュータなどにより成り、本圧力センサ回路の各部に対し
て種々の制御を行うもので、例えば、Ａ／Ｄ変換回路１
７を介して感温回路１１から得られる環境温度のデジタ
ル値Ｄ１１を用いて、ＥＥＰＲＯＭ１５からオフセット
補正量およびスパン補正量の読出しを行う。これら両補
正量は、既述の如く、Ｄ／Ａ変換回路１２，１３を介し
てＡ／Ｄ変換回路１７に出力される。

【００２７】次に、本圧力センサ回路の概略動作につい
て説明すると、まず、感温回路１１の検出結果がＡ／Ｄ
変換回路１７などを介してデジタル値Ｄ１１としてコン
トロール回路１６に取り込まれる。

【００２８】この後、ＥＥＰＲＯＭ１５からデジタル値
Ｄ１１に対応するオフセット補正量およびスパン補正量
が読み出され、それぞれがＤ／Ａ変換回路１２，１３を
介してＡ／Ｄ変換回路１７に出力される。これにより、
図３（ｂ）に示すように、オフセット補正量により、圧
力センサ１０のオフセット温度変動成分が補正されると
ともに、図３（ｄ）に示すように、スパン補正量により
圧力センサ１０のスパン温度変動成分が補正される。こ
のとき、オフセット電圧の温度変動成分に対する補正誤
差は、図３（ｂ）に示すように、Ｄ／Ａ変換回路１２か
らの出力レベルの量子化誤差のみになり、高精度な補正
が行われる。なお、量子化誤差が小さくなるようにＤ／
Ａ変換回路１２のビット数を増やしてやれば、さらに高
精度の補正が可能になることは言うまでもない。

【００２９】この後、オフセット補正およびスパン補正
が行われたデジタル量Ｄ１０が所定のデジタル量に変換
された上で外部に出力される。

【００３０】以上、第１実施形態によれば、コントロー
ル回路１６は圧力センサ１０のオフセット電圧およびス
パン電圧の両温度変動成分を演算処理で補正する必要が
ないので、コントロール回路１６の処理負担を軽減する
ことが可能になる。

【００３１】また、圧力センサ１０および感温回路１１
の双方に対してＡ／Ｄ変換回路１７を共通に使用するこ
とにより、簡単な回路構成で圧力センサ１０の温度補償
を高精度に行うことが可能になる。

【００３２】図４は本発明の第２実施形態に係る圧力セ
ンサ回路の概略構成図、図５は図４の増幅回路の概略内
部構成などを示す図で、これらの図を用いて以下に第２
実施形態の説明を行う。ただし、図５には、圧力センサ
と増幅回路との接続例が示され、感温回路と増幅回路と
の接続の様子は図示省略されている。

【００３３】本圧力センサ回路は、圧力センサ１０、感
温回路１１、Ｄ／Ａ変換回路１２，１３、コントロール
回路１６、Ａ／Ｄ変換回路１７およびデジタル出力回路
１８を第１実施形態と同様に備えているほか、第１実施
形態との相違点として、増幅回路２４、基準電圧源２４
０およびＥＥＰＲＯＭ２５を備えている。

【００３４】増幅回路２４は、ボルテージホロワ１４４
および抵抗Ｒ１４６を介して、オペアンプ１４３の非反
転入力端子に対して、基準電圧源１４０に代わるＤ／Ａ
変換回路１２からの出力電圧を印加する構成になってい
るほかは、第１実施形態の増幅回路１４と同様に構成さ
れている。

【００３５】基準電圧源２４０は、第１実施形態の基準
電圧源１４０と同様に、基準オフセット電圧を発生する
ものである。

【００３６】ＥＥＰＲＯＭ２５には、第１実施形態と同
様のスパン補正量が対象とする範囲の各環境温度毎に記
憶されているほか、第１実施形態のオフセット補正量と
は相違するオフセット補正量が対象とする範囲の各環境
温度毎に記憶されている。

【００３７】後者のオフセット補正量についてさらに詳
述する。第２実施形態では、増幅回路２４の出力端子を
Ａ／Ｄ変換回路１７の入力＋端子に接続するとともに、
基準電圧源２４０の出力端子をＡ／Ｄ変換回路１７の入
力−端子に接続し、Ａ／Ｄ変換回路１７の入力段におけ
る差動の段階で基準オフセット電圧を増幅回路２４から
の圧力センサ１０の出力電圧Ｖ１０に重畳させる構成に
したので、増幅回路２４からの圧力センサ１０の出力電
圧Ｖ１０にオフセット電圧の温度変動成分が含まれない
ようにするため、オフセット補正量は、オペアンプ１４
３の出力に圧力センサ１０のオフセット電圧の温度変動
成分を含ませない値に設定されている。すなわち、各オ
フセット補正量は、オフセット基準電圧に対する温度変
動成分を打ち消す値に設定されているのである。

【００３８】次に、既に明らかではあるが第２実施形態
の圧力センサ回路の概略動作について説明すると、ま
ず、感温回路１１の検出結果がＡ／Ｄ変換回路１７など
を介してデジタル値Ｄ１１としてコントロール回路１６
に取り込まれる。

【００３９】この後、ＥＥＰＲＯＭ２５からデジタル値
Ｄ１１に対応するオフセット補正量およびスパン補正量
が読み出され、オフセット補正量はＤ／Ａ変換回路１２
を介して増幅回路２４に出力されるとともに、スパン補
正量はＤ／Ａ変換回路１３を介してＡ／Ｄ変換回路１７
に出力される。これにより、基準オフセット電圧に対す
る圧力センサ１０の温度変動成分が補正されるととも
に、スパン電圧の温度変動成分が第１実施形態と同様に
補正される。

【００４０】この後、オフセット補正およびスパン補正
が行われたデジタル量Ｄ１０が所定のデジタル量に変換
された上で外部に出力される。

【００４１】以上、第２実施形態によれば、コントロー
ル回路１６は圧力センサ１０のオフセット電圧およびス
パン電圧の両温度変動成分を演算処理で補正する必要が
ないので、コントロール回路１６の処理負担を軽減する
ことが可能になる。

【００４２】図６は本発明の第３実施形態に係る圧力セ
ンサ回路の概略構成図、図７は図６に示す圧力センサ回
路の動作シーケンスの説明図で、これらの図を用いて以
下に第３実施形態の説明を行う。

【００４３】本圧力センサ回路は、圧力センサ１０、感
温回路１１、Ｄ／Ａ変換回路１２，１３、ＥＥＰＲＯＭ
１５、Ａ／Ｄ変換回路１７およびデジタル出力回路１８
を第１実施形態と同様に備えているほか、第１実施形態
との相違点として、スイッチＳＷ１〜ＳＷ７、増幅回路
３４およびコントロール回路３６などを備えている。

【００４４】スイッチ（第１スイッチ）ＳＷ１は、電圧
ＶＤＤの電源ラインと圧力センサ１０の電源端子Ｔ３と
の間に接続され、コントロール回路３６からのオフまた
はオンのコントロール信号に従って、それぞれ圧力セン
サ１０に対する電力供給経路の断続を行うものである。

【００４５】スイッチ（第２スイッチ）ＳＷ２は、電圧
ＶＤＤの電源ラインと感温回路１１との間に接続され、
コントロール回路３６からのオフまたはオンのコントロ
ール信号に従って、それぞれ感温回路１１に対する電力
供給経路の断続を行うものである。

【００４６】ただし、図６に示す例では、感温回路１１
は、小さな温度係数を有する配線抵抗などの抵抗Ｒ１１
１および大きな温度係数を有する拡散抵抗などの抵抗Ｒ
１１２を備え、抵抗Ｒ１１１，Ｒ１１２の接続点を出力
端子として、環境温度の変化に伴って変動するレベルの
電圧を出力する構成になっている。なお、これに限ら
ず、抵抗Ｒ１１１，Ｒ１１２に対してそれぞれ炭素皮膜
抵抗およびサーミスタを使用する構成でもよい。

【００４７】圧力センサ１０の一方の出力端子と増幅回
路３４の一方の入力端子との間に介在しコントロール回
路３６からのコントロール信号に従ってオン／オフする
スイッチＳＷ３、そのコントロール信号を反転する反転
回路３４０、および感温回路１１の出力端子と増幅回路
３４の一方の入力端子との間に介在し反転回路３４０の
出力信号に従ってオン／オフするスイッチＳＷ４は、切
換回路を構成し、コントロール回路３６からのコントロ
ール信号に従って、圧力センサ１０および感温回路１１
の一方の出力端子を増幅回路３４の一方の入力端子に接
続するものである。

【００４８】スイッチＳＷ５は、電圧ＶＤＤの電源ライ
ンと増幅回路３４との間に接続され、コントロール回路
３６からのオフまたはオンのコントロール信号に従っ
て、それぞれ増幅回路３４に対する電力供給経路の断続
を行うものである。

【００４９】スイッチＳＷ６は、コントロール回路３６
からのコントロール信号に従って、Ｄ／Ａ変換回路１２
に対する電力供給経路の断続を行うものである。図６に
示す例では、一端側に電圧ＶＤＤが印加される抵抗Ｒ１
２１、この抵抗Ｒ１２１の他端とグランドＧＮＤとの間
に接続される抵抗Ｒ１２２、これら抵抗Ｒ１２１，Ｒ１
２２の接続点と入力端子が接続されるボルテージホロワ
１２０が、Ｄ／Ａ変換回路１２に基準電圧を印加する電
源（第１分圧回路）として設けられており、スイッチＳ
Ｗ６は、電圧ＶＤＤの電源ラインと抵抗Ｒ１２１の一端
との間に接続されている。

【００５０】スイッチＳＷ７は、コントロール回路３６
からのコントロール信号に従って、Ｄ／Ａ変換回路１３
に対する電力供給経路の断続を行うものである。図６に
示す例では、一端側に電圧ＶＤＤが印加される抵抗Ｒ１
３１、この抵抗Ｒ１３１の他端とグランドＧＮＤとの間
に接続される抵抗Ｒ１３２、これら抵抗Ｒ１３１，Ｒ１
３２の接続点と入力端子が接続されるボルテージホロワ
１３０が、Ｄ／Ａ変換回路１３に基準電圧を印加する電
源（第２分圧回路）として設けられており、スイッチＳ
Ｗ７は、電圧ＶＤＤの電源ラインと抵抗Ｒ１３１の一端
との間に接続されている。

【００５１】増幅回路３４は、圧力センサ１０および感
温回路１１の出力信号を個別に増幅するものである。

【００５２】コントロール回路３６は、マイクロコンピ
ュータなどにより成り、本圧力センサ回路の各部に対し
て種々の制御を行うもので、例えば、スイッチＳＷ１に
対してオン制御を行っている場合にはスイッチＳＷ２に
対してオフ制御を行う一方、スイッチＳＷ２に対してオ
ン制御を行っている場合にはスイッチＳＷ１に対してオ
フ制御を行う。

【００５３】また、コントロール回路３６は、切換回路
に対して感温回路１１の出力端子を増幅回路３４の入力
端子に接続する切換制御を行い、増幅回路３４およびＡ
／Ｄ変換回路１７を介して感温回路１１により検出され
た環境温度を取り込んで、この環境温度に対応する圧力
センサ１０のオフセット補正量およびスパン補正量をＥ
ＥＰＲＯＭ１５から読み出し、それぞれをＤ／Ａ変換回
路１２，１３を介してＡ／Ｄ変換回路１７に送出し、こ
の後、切換回路に対して圧力センサ１０の出力端子を増
幅回路３４の入力端子に接続する切換制御を行って、圧
力センサ１０からの信号のＡ／Ｄ変換をＡ／Ｄ変換回路
１７によって実行させる（図７参照）。

【００５４】さらに、コントロール回路３６は、増幅回
路３４およびＤ／Ａ変換回路１２，１３を動作させない
場合、それぞれスイッチＳＷ５〜ＳＷ７のオフ制御を行
う。

【００５５】次に、第３実施形態の圧力センサ回路の概
略動作について説明すると、まず、コントロール回路３
６から、スイッチＳＷ２，ＳＷ４およびＳＷ５〜ＳＷ７
をオンにするコントロール信号が出力される（図７の
「温度計測」の区間）。これにより、感温回路１１の出
力端子に環境温度に対応するレベルの電圧が発生し、こ
の電圧が増幅回路３４で増幅された後、Ａ／Ｄ変換回路
１７でデジタル値Ｄ１１に変換される。

【００５６】このデジタル値Ｄ１１がコントロール回路
３６に取り込まれると、ＥＥＰＲＯＭ１５からデジタル
値Ｄ１１に対応するオフセット補正量およびスパン補正
量が読み出され、それぞれがＤ／Ａ変換回路１２，１３
を介してＡ／Ｄ変換回路１７に出力される（図７の「メ
モリアクセス」の区間）。この後、スイッチＳＷ２，Ｓ
Ｗ４をオフにしてスイッチＳＷ１，ＳＷ３をオンにする
コントロール信号が出力される（図７の「圧力計測」に
おける「圧力センサＳＥＴＵＰ」の区間）。これによ
り、圧力センサ１１に加わる物理量に応じたレベルの電
圧がその両出力端子に発生し、この電圧が増幅回路３４
で増幅された後、Ａ／Ｄ変換回路１７でオフセット補正
およびスパン補正が行われつつデジタル値Ｄ１０に変換
される（図７の「圧力センサＡ／Ｄ」の区間）。

【００５７】この後、オフセット補正およびスパン補正
が行われたデジタル値Ｄ１０が所定のデジタル量に変換
された上で外部に出力される（図７の「デジタル出力」
の区間）。

【００５８】この後、本圧力センサ回路がリセットされ
（図７の「ＲＥＳＥＴ」の区間）、１回の圧力計測が終
了する。

【００５９】以上、第３実施形態によれば、スイッチＳ
Ｗ１〜ＳＷ７を備えたことにより、本圧力センサ回路の
消費電力の低減が可能になる。

【００６０】また、圧力センサ１０が駆動電圧を得て、
Ｄ／Ａ変換回路１２，１３が基準電圧を得るための電力
が電圧ＶＤＤの電源ラインから供給され、また、圧力セ
ンサ１０の出力レベルが電圧ＶＤＤのレベルに比例する
とともに、Ｄ／Ａ変換回路１２，１３の各基準電圧が電
圧ＶＤＤに比例するので、全体として電圧ＶＤＤの変動
分がキャンセルされることになる。この結果、従来のよ
うなより安定的な定電圧回路は不要になり、回路構成の
簡単化およびコスト低減が可能になる。

【００６１】また、切換回路およびコントロール回路３
６の制御によって、圧力センサ１０および感温回路１１
に対して、増幅回路３４およびＡ／Ｄ変換回路１７の共
用が可能になり、回路の簡単化および効率的な圧力計測
が可能となる。

【００６２】さらに、感温回路１１は、小さな温度係数
を有する配線抵抗などの抵抗Ｒ１１１および大きな温度
係数を有する拡散抵抗などの抵抗Ｒ１１２により構成さ
れるので、回路をＩＣ化する場合に配線抵抗と拡散抵抗
の内蔵が可能となり、外付けの部品点数の削減、ＩＣの
端子数削減、全体の回路構成の簡単化およびコストダウ
ンを図ることが可能になる。

【００６３】図８は本発明の第４実施形態に係る圧力セ
ンサ回路の概略構成図で、この図を用いて以下に第４実
施形態の説明を行う。

【００６４】本圧力センサ回路は、増幅回路３４に代え
て、コントロール回路３６からのコントロール信号に従
ってゲインが切り替わる増幅回路４４を備えているほか
は第３実施形態と同様に構成される。ただし、図８で
は、スイッチＳＷ１，ＳＷ２は図示省略されている。

【００６５】次に、第３実施形態と相違する第４実施形
態の圧力センサ回路の動作について概説する。コントロ
ール回路３６から、スイッチＳＷ４をオンにするコント
ロール信号の出力が行われると、スイッチＳＷ３がオ
フ、スイッチＳＷ４がオンになるとともに、増幅回路４
４のゲインがＡに切り替わる。これにより、感温回路１
１の出力電圧が増幅回路４４の入力に印加し、感温回路
１１の出力電圧がゲインＡで増幅される。

【００６６】一方、コントロール回路３６から、スイッ
チＳＷ３をオンにするコントロール信号の出力が行われ
ると、スイッチＳＷ３がオン、スイッチＳＷ４がオフに
なるとともに、増幅回路４４のゲインがＢに切り替わ
る。これにより、圧力センサ１０の出力電圧が増幅回路
４４の入力に印加し、圧力センサ１０の出力電圧がゲイ
ンＢで増幅される。

【００６７】以上、第４実施形態によれば、第３実施形
態と同様の効果を素することが可能になるほか、増幅回
路４４の簡単化およびさらなる低コスト化が可能にな
る。

【００６８】図９は本発明の第５実施形態に係る圧力セ
ンサ回路の概略構成図で、この図を用いて以下に第５実
施形態の説明を行う。

【００６９】本圧力センサ回路は、スイッチＳＷ８，Ｓ
Ｗ９および反転回路５４１をさらに備えているととも
に、増幅回路４４、ＥＥＰＲＯＭ１５およびコントロー
ル回路３６に代えてそれぞれ増幅回路５４、ＥＥＰＲＯ
Ｍ５５およびコントロール回路５６を備えているほか
は、第４実施形態と同様に構成されている。

【００７０】スイッチＳＷ８は、圧力センサ１０と増幅
回路５４との間のスイッチＳＷ３が介在していない方に
介在するように接続され、スイッチＳＷ３に対する同一
のコントロール信号に従ってオン／オフする。

【００７１】スイッチＳＷ９は、スイッチＳＷ８が接続
されている増幅回路５４の入力端子とＤ／Ａ変換回路１
２の出力端子との間に介設され、反転回路５４１を介し
て送られてくるコントロール信号、すなわちスイッチＳ
Ｗ４と同様のコントロール信号に従ってオン／オフす
る。

【００７２】増幅回路５４は、スイッチＳＷ４，ＳＷ９
がオン時に、Ｄ／Ａ変換回路１２からの出力電圧を用い
て感温回路１１の出力電圧におけるオフセット電圧を補
正しながら、感温回路１１の出力電圧を増幅する機能を
有しているほかは、第４実施形態の増幅回路４４と同様
に構成される。このため、ＥＥＰＲＯＭ５５には、第１
実施形態のオフセット補正量およびスパン補正量に加え
て、感温回路１１の出力電圧におけるオフセット電圧を
補正するための補正量が予め記憶されている。

【００７３】コントロール回路５６は、スイッチＳＷ
４，ＳＷ９をオンにするコントロール信号の出力を行う
際には、ＥＥＰＲＯＭ５５から感温回路１１の出力電圧
におけるオフセット電圧を補正するための補正量を読み
出してＤ／Ａ変換回路１２に出力を行うほかは、第４実
施形態のコントロール回路３６と同様に動作する。

【００７４】次に、第４実施形態と相違する第５実施形
態の圧力センサ回路の動作について概説する。コントロ
ール回路５６から、スイッチＳＷ３，ＳＷ８をオンにす
るコントロール信号の出力が行われると、スイッチＳＷ
３，ＳＷ８がオン、スイッチＳＷ４，ＳＷ９がオフにな
るとともに増幅回路４４のゲインがＢに切り替わる。こ
れにより、圧力センサ回路１０の出力電圧がゲインＢで
増幅される。

【００７５】一方、コントロール回路５６から、スイッ
チＳＷ４，ＳＷ９をオンにするコントロール信号の出力
が行われると、スイッチＳＷ３，ＳＷ８がオフ、スイッ
チＳＷ４，ＳＷ９がオンになるとともに増幅回路４４の
ゲインがＡに切り替わる。また、ＥＥＰＲＯＭ５５から
感温回路１１の出力電圧におけるオフセット電圧を補正
するための補正量が読み出されてＤ／Ａ変換回路１２お
よびスイッチＳＷ９を介して増幅回路５４に出力され
る。これにより、感温回路１１の出力電圧がゲインＡで
増幅されるとともに、感温回路１１の出力電圧における
オフセット電圧が補正される。

【００７６】以上、第５実施形態によれば、第４実施形
態と同様の効果を素することが可能になるほか、感温回
路１１の出力電圧におけるオフセット電圧を補正するこ
とが可能になる。これにより、感温回路１１のばらつき
を吸収することができ、製造歩留りが向上する。

【００７７】なお、図１０に示すように、圧力センサ１
０、感温回路１１、Ｄ／Ａ変換回路１２，１３、図略の
基準電圧源を内蔵する増幅回路２４ａ、ＥＥＰＲＯＭ２
５、コントロール回路１６、Ａ／Ｄ変換回路１７および
デジタル出力回路１８を備え、Ｄ／Ａ変換回路１２の出
力信号を用いて増幅回路２４ａが内蔵する基準電圧源の
基準電圧を温度補正し、この温度補正後の基準電圧をＡ
／Ｄ変換回路１７の基準電圧として用いる構成でもよ
い。この場合の動作は第１実施形態と同様であるが、オ
フセット電圧の変動の補正に関してのみ異なる。すなわ
ち、圧力センサ１０のオフセット電圧の温度変動は増幅
回路２４ａの基準電圧の温度変動として現れるので、そ
の温度変動と逆の温度特性をＤ／Ａ変換回路１２より発
生させて図に示す加算器で加算してやることによりキャ
ンセルする。スパン電圧の変動に関しては同様にＡ／Ｄ
変換回路１７の変換時にキャンセルする。このように、
Ａ／Ｄ変換回路１７の基準電圧に増幅回路２４ａの基準
電圧を使用することにより、Ａ／Ｄ変換回路１７の入力
ダイナミックレンジを拡大することが可能になる。

【００７８】

【発明の効果】以上のことから明らかなように、請求項
１記載の発明によれば、環境温度の変化に伴って出力の
オフセットおよび感度が変動する圧力センサと、前記圧
力センサの環境温度を検出する感温回路と、オフセット
補正用のＤ／Ａ変換回路と、スパン補正用のＤ／Ａ変換
回路と、前記圧力センサおよび感温回路の両出力信号を
増幅する増幅回路と、前記感温回路により検出される環
境温度に対応する前記圧力センサのオフセット補正量お
よびスパン補正量を記憶するメモリと、前記感温回路に
より検出される環境温度に対応する前記圧力センサのオ
フセット補正量およびスパン補正量を前記メモリから読
み出し、それぞれを前記オフセット補正用およびスパン
補正用の両Ｄ／Ａ変換回路に送出するコントロール回路
と、前記増幅回路、オフセット補正用のＤ／Ａ変換回路
およびスパン補正用のＤ／Ａ変換回路の各出力端子とそ
れぞれ接続されるプラス側入力端子、マイナス側入力端
子および基準電圧入力端子を有し、前記感温回路からの
信号をデジタル信号に変換して前記コントロール回路に
送出する一方、前記オフセット補正用およびスパン補正
用の両Ｄ／Ａ変換回路からの信号を用いて、前記圧力セ
ンサからの信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換回
路と、前記Ａ／Ｄ変換回路による変換後の前記圧力セン
サからの信号を所定のデジタル量に変換するデジタル出
力回路とを備えるので、コントロール回路の処理負担を
軽減することが可能になる。

【００７９】請求項２記載の発明によれば、環境温度の
変化に伴って出力のオフセットおよび感度が変動する圧
力センサと、前記圧力センサの環境温度を検出する感温
回路と、オフセット補正用のＤ／Ａ変換回路と、スパン
補正用のＤ／Ａ変換回路と、前記圧力センサおよび感温
回路の両出力信号を増幅する増幅回路と、所定の環境温
度に対する基準オフセット電圧を発生する基準電圧源
と、前記感温回路により検出される環境温度に対応する
前記圧力センサの前記基準オフセット電圧に対する温度
変動成分を補正するオフセット補正量を記憶するととも
に、前記感温回路により検出される環境温度に対応する
前記圧力センサのスパン補正量を記憶するメモリと、前
記感温回路により検出される環境温度に対応する前記圧
力センサのオフセット補正量およびスパン補正量を前記
メモリから読み出し、それぞれを前記オフセット補正用
およびスパン補正用の両Ｄ／Ａ変換回路に送出するコン
トロール回路と、前記増幅回路からの前記感温回路の出
力信号、および前記オフセット補正用のＤ／Ａ変換回路
の出力信号によって前記基準オフセット電圧に対する温
度変動成分が補正された前記増幅回路からの前記圧力セ
ンサの出力信号を入力信号とするプラス側入力端子、前
記基準オフセット電圧を入力信号とするマイナス側入力
端子、および前記スパン補正用のＤ／Ａ変換回路の出力
信号を入力信号とする基準電圧入力端子を有し、前記感
温回路からの信号をデジタル信号に変換して前記コント
ロール回路に送出する一方、前記基準オフセット信号お
よび前記スパン補正用のＤ／Ａ変換回路からの信号を用
いて、前記圧力センサからの信号をデジタル信号に変換
するＡ／Ｄ変換回路と、前記Ａ／Ｄ変換回路による変換
後の前記圧力センサからの信号を所定のデジタル量に変
換するデジタル出力回路とを備えるので、コントロール
回路の処理負担を軽減することが可能になる。

【００８０】請求項３記載の発明によれば、前記コント
ロール回路のオフまたはオン制御に従って、それぞれ前
記圧力センサに対する電力供給経路の断続を行う第１ス
イッチと、前記コントロール回路のオフまたはオン制御
に従って、それぞれ前記感温回路に対する電力供給経路
の断続を行う第２スイッチとを備え、前記コントロール
回路は、前記第１スイッチに対してオン制御を行ってい
る場合には前記第２スイッチに対してオフ制御を行う一
方、前記第２スイッチに対してオン制御を行っている場
合には前記第１スイッチに対してオフ制御を行うので、
本圧力センサ回路の消費電力の低減が可能になる。

【００８１】請求項４記載の発明によれば、複数の抵抗
により成り電源の電圧を分圧して基準電圧として前記オ
フセット補正用のＤ／Ａ変換回路に印加する第１分圧回
路と、複数の抵抗により成り前記電源の電圧を分圧して
基準電圧として前記スパン補正用のＤ／Ａ変換回路に印
加する第２分圧回路とを備え、前記圧力センサには前記
電源の電圧が駆動電圧として印加されるので、全体とし
てその電源の電圧の変動分をキャンセルすることが可能
になる。この結果、従来のようなより安定的な定電圧回
路は不要になり、回路構成の簡単化およびコスト低減が
可能になる。

【００８２】請求項５記載の発明によれば、前記コント
ロール回路の切換制御に従って、前記圧力センサおよび
感温回路の一方の出力端子を前記増幅回路の入力端子に
接続する切換回路を備え、前記コントロール回路は、前
記増幅回路およびＡ／Ｄ変換回路を介して前記感温回路
により検出された環境温度を取り込み、この環境温度に
対応する前記圧力センサのオフセット補正量およびスパ
ン補正量を前記メモリから読み出し、それぞれを前記オ
フセット補正用およびスパン補正用の両Ｄ／Ａ変換回路
に送出し、この後、前記切換回路に対して前記圧力セン
サの出力端子を前記増幅回路の入力端子に接続する切換
制御を行って、前記圧力センサからの信号のＡ／Ｄ変換
を前記Ａ／Ｄ変換回路によって実行させるので、圧力セ
ンサおよび感温回路に対して、増幅回路およびＡ／Ｄ変
換回路の共用が可能になり、回路の簡単化および効率的
な圧力計測が可能となる。

【００８３】請求項６記載の発明によれば、前記感温回
路は、互いに異なる抵抗温度特性を有する２つの抵抗素
子により成り電源の電圧を分圧して出力するので、回路
をＩＣ化する場合に内蔵が可能となり、外付けの部品点
数の削減、ＩＣの端子数削減、全体の回路構成の簡単化
およびコストダウンを図ることが可能になる。

【００８４】請求項７記載の発明によれば、前記増幅回
路は、前記圧力センサおよび感温回路に対してそれぞれ
個別のゲインに切り換える切換機能を有しているので、
増幅回路の簡単化およびさらなる低コスト化が可能にな
る。

【００８５】請求項８記載の発明によれば、前記感温回
路の出力は、前記オフセット補正用のＤ／Ａ変換回路か
らの信号により補正されるので、感温回路の出力電圧に
おけるオフセット電圧を補正することが可能になり、感
温回路のばらつきを吸収することができ、製造歩留りが
向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係る圧力センサ回路の
概略構成図である。

【図２】図１の増幅回路の概略内部構成などを示す図で
ある。

【図３】オフセット補正量およびスパン補正量の説明図
である。

【図４】本発明の第２実施形態に係る圧力センサ回路の
概略構成図である。

【図５】図４の増幅回路の概略内部構成などを示す図で
ある。

【図６】本発明の第３実施形態に係る圧力センサ回路の
概略構成図である。

【図７】図６に示す圧力センサ回路の動作シーケンスの
説明図である。

【図８】本発明の第４実施形態に係る圧力センサ回路の
概略構成図である。

【図９】本発明の第５実施形態に係る圧力センサ回路の
概略構成図である。

【図１０】図４に示す圧力センサ回路の別の接続例を示
す図である。

【図１１】従来の圧力センサ回路の概略構成図である。

【符号の説明】

１０ 圧力センサ １１ 感温回路 １２，１３ Ｄ／Ａ変換回路 １４，２４，３４，４４，５４ 増幅回路 １５，２５，５５ ＥＥＰＲＯＭ １６，３６，５６ コントロール回路 １７ Ａ／Ｄ変換回路 １８ デジタル出力回路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 坂本 慎司 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 Ｆターム(参考） 2F055 AA40 BB20 CC60 DD20 EE11 FF02 GG32

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 環境温度の変化に伴って出力のオフセッ
   トおよび感度が変動する圧力センサと、 前記圧力センサの環境温度を検出する感温回路と、 オフセット補正用のＤ／Ａ変換回路と、 スパン補正用のＤ／Ａ変換回路と、 前記圧力センサおよび感温回路の両出力信号を増幅する
   増幅回路と、 前記感温回路により検出される環境温度に対応する前記
   圧力センサのオフセット補正量およびスパン補正量を記
   憶するメモリと、 前記感温回路により検出される環境温度に対応する前記
   圧力センサのオフセット補正量およびスパン補正量を前
   記メモリから読み出し、それぞれを前記オフセット補正
   用およびスパン補正用の両Ｄ／Ａ変換回路に送出するコ
   ントロール回路と、 前記増幅回路、オフセット補正用のＤ／Ａ変換回路およ
   びスパン補正用のＤ／Ａ変換回路の各出力端子とそれぞ
   れ接続されるプラス側入力端子、マイナス側入力端子お
   よび基準電圧入力端子を有し、前記感温回路からの信号
   をデジタル信号に変換して前記コントロール回路に送出
   する一方、前記オフセット補正用およびスパン補正用の
   両Ｄ／Ａ変換回路からの信号を用いて、前記圧力センサ
   からの信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換回路
   と、 前記Ａ／Ｄ変換回路による変換後の前記圧力センサから
   の信号を所定のデジタル量に変換するデジタル出力回路
   とを備える圧力センサ回路。
2. 【請求項２】 環境温度の変化に伴って出力のオフセッ
   トおよび感度が変動する圧力センサと、 前記圧力センサの環境温度を検出する感温回路と、 オフセット補正用のＤ／Ａ変換回路と、 スパン補正用のＤ／Ａ変換回路と、 前記圧力センサおよび感温回路の両出力信号を増幅する
   増幅回路と、 所定の環境温度に対する基準オフセット電圧を発生する
   基準電圧源と、 前記感温回路により検出される環境温度に対応する前記
   圧力センサの前記基準オフセット電圧に対する温度変動
   成分を補正するオフセット補正量を記憶するとともに、
   前記感温回路により検出される環境温度に対応する前記
   圧力センサのスパン補正量を記憶するメモリと、 前記感温回路により検出される環境温度に対応する前記
   圧力センサのオフセット補正量およびスパン補正量を前
   記メモリから読み出し、それぞれを前記オフセット補正
   用およびスパン補正用の両Ｄ／Ａ変換回路に送出するコ
   ントロール回路と、 前記増幅回路からの前記感温回路の出力信号、および前
   記オフセット補正用のＤ／Ａ変換回路の出力信号によっ
   て前記基準オフセット電圧に対する温度変動成分が補正
   された前記増幅回路からの前記圧力センサの出力信号を
   入力信号とするプラス側入力端子、前記基準オフセット
   電圧を入力信号とするマイナス側入力端子、および前記
   スパン補正用のＤ／Ａ変換回路の出力信号を入力信号と
   する基準電圧入力端子を有し、前記感温回路からの信号
   をデジタル信号に変換して前記コントロール回路に送出
   する一方、前記基準オフセット信号および前記スパン補
   正用のＤ／Ａ変換回路からの信号を用いて、前記圧力セ
   ンサからの信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換回
   路と、 前記Ａ／Ｄ変換回路による変換後の前記圧力センサから
   の信号を所定のデジタル量に変換するデジタル出力回路
   とを備える圧力センサ回路。
3. 【請求項３】 前記コントロール回路のオフまたはオン
   制御に従って、それぞれ前記圧力センサに対する電力供
   給経路の断続を行う第１スイッチと、 前記コントロール回路のオフまたはオン制御に従って、
   それぞれ前記感温回路に対する電力供給経路の断続を行
   う第２スイッチとを備え、 前記コントロール回路は、前記第１スイッチに対してオ
   ン制御を行っている場合には前記第２スイッチに対して
   オフ制御を行う一方、前記第２スイッチに対してオン制
   御を行っている場合には前記第１スイッチに対してオフ
   制御を行う請求項１または２記載の圧力センサ回路。
4. 【請求項４】 複数の抵抗により成り電源の電圧を分圧
   して基準電圧として前記オフセット補正用のＤ／Ａ変換
   回路に印加する第１分圧回路と、 複数の抵抗により成り前記電源の電圧を分圧して基準電
   圧として前記スパン補正用のＤ／Ａ変換回路に印加する
   第２分圧回路とを備え、 前記圧力センサには前記電源の電圧が駆動電圧として印
   加される請求項１または２記載の圧力センサ回路。
5. 【請求項５】 前記コントロール回路の切換制御に従っ
   て、前記圧力センサおよび感温回路の一方の出力端子を
   前記増幅回路の入力端子に接続する切換回路を備え、 前記コントロール回路は、前記増幅回路およびＡ／Ｄ変
   換回路を介して前記感温回路により検出された環境温度
   を取り込み、この環境温度に対応する前記圧力センサの
   オフセット補正量およびスパン補正量を前記メモリから
   読み出し、それぞれを前記オフセット補正用およびスパ
   ン補正用の両Ｄ／Ａ変換回路に送出し、この後、前記切
   換回路に対して前記圧力センサの出力端子を前記増幅回
   路の入力端子に接続する切換制御を行って、前記圧力セ
   ンサからの信号のＡ／Ｄ変換を前記Ａ／Ｄ変換回路によ
   って実行させる請求項１または２記載の圧力センサ回
   路。
6. 【請求項６】 前記感温回路は、互いに異なる抵抗温度
   特性を有する２つの抵抗素子により成り電源の電圧を分
   圧して出力する請求項１記載の圧力センサ回路。
7. 【請求項７】 前記増幅回路は、前記圧力センサおよび
   感温回路に対してそれぞれ個別のゲインに切り換える切
   換機能を有している請求項１記載の圧力センサ回路。
8. 【請求項８】 前記感温回路の出力は、前記オフセット
   補正用のＤ／Ａ変換回路からの信号により補正される請
   求項２記載の圧力センサ回路。