JP7395021B2 - 圧力センサ - Google Patents
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- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/04—Means for compensating for effects of changes of temperature, i.e. other than electric compensation
Description
課題を解決するための手段
発明の効果
16A 圧力検出部
16B 信号処理部
16C 出力部
16D 補正部
16M 記憶部
16DP 圧力スパン調整部
16DT 温度スパン調整部
16Ds1 温度オフセット調整部
16Ds2 オフセット調整部
24 変換基板
33 液封室
50 防水ケース
50A 内部空間
70 接続部材
Claims (9)
- 液体の圧力を受圧する金属製のダイヤフラムと、前記ダイヤフラムとともにオイルを封止する液封室を形成するハウジング部材と、前記液封室内で前記ハウジング部材に固着され、前記液封室内の圧力を検出する圧力検出部と前記圧力検出部の出力信号を補正する集積化された電子回路とが一体に形成された圧力センサチップと、前記圧力センサチップからの電気信号を外部に導出するためのリードピンとを備える液封型の圧力センサであって、
前記圧力センサチップの入力部および出力部に接続され電気的な入出力を変換する変換基板と、前記変換基板の出力が温度と圧力の条件の複数の組み合わせそれぞれで、目標電圧となるよう、前記圧力センサチップの出力を調整する補正部と、を備えることを特徴とする圧力センサ。 - 前記圧力センサチップは、前記圧力検出部からの検出出力を送出する出力部と、前記圧力検出部の検出出力のスパン調整を行うとともに、前記圧力検出部の一部を形成する温度検出部からの検出信号に基づいて前記圧力検出部の検出出力の温度変化に応じた前記スパン調整の温度補償を行う前記補正部と、前記補正部からの調整量および温度補償量をあらわすデータを格納する記憶部と、を含むことを特徴とする請求項1記載の圧力センサ。
- 前記補正部は、前記圧力検出部の検出出力のスパン調整を行う圧力のスパン調整部と、前記圧力検出部の一部を形成する温度検出部からの検出信号に基づいて前記圧力検出部の検出出力の温度変化に応じた前記スパン調整の温度補償を行う温度スパン調整部と、前記温度検出部からの検出信号に基づいて前記出力部の検出出力に対し加算するオフセット量を調整する温度オフセット調整部とを含むことを特徴とする請求項2記載の圧力センサ。
- 前記記憶部は、前記圧力のスパン調整部の調整量、および、温度スパン調整部の温度補償量をあらわすデータと、温度オフセット調整部のオフセット量をあらわすデータとを格納することを特徴とする請求項3記載の圧力センサ。
- 前記センサチップは、圧力室内の圧力を検出し検出出力を送出するセンサユニットの液封室内に配置され、前記変換基板は、該センサユニットを収容するセンサユニット収容部内に前記液封室と隔絶されて形成された内部空間に配置されることを特徴とする請求項1記載の圧力センサ。
- 前記変換基板は、電源電圧を降圧して前記圧力センサチップの前記入力部に供給することを特徴とする請求項1記載の圧力センサ。
- 前記変換基板は、電源電圧を昇圧して圧力センサチップの前記入力部に供給することを特徴とする請求項1記載の圧力センサ。
- 前記変換基板は、圧力センサチップの前記出力部の信号を電流信号に変換することを特徴とする請求項1記載の圧力センサ。
- 前記変換基板は、圧力センサチップの前記出力部の信号をデジタル信号に変換することを特徴とする請求項1記載の圧力センサ。
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