JP4241338B2 - センサ信号処理装置 - Google Patents
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Description
遠坂俊昭著「計測のためのアナログ回路設計」CQ出版、p.114
図1は、本発明の第1の実施形態に係る信号処理装置の構成の一例を示す回路図である。図1に示す信号処理装置100は、感応素子102と感応素子103とが直列接続されたハーフブリッジ構成のセンサ101と、スイッチトキャパシタ回路を用いた第1加減算器104と、スイッチSW1,SW2,SW3,SW4と、クロック信号生成部105とを備える。また、第1加減算器104は、スイッチSW5,SW6,SW7,SW8、及びコンデンサC1からなる第1信号処理部106と、スイッチSW9,SW10,SW11,SW12、及びコンデンサC2からなる第2信号処理部107と、スイッチSW13、コンデンサC3、及び演算増幅器AMP1からなる加算器108とを備える。
次に、本発明の第2の実施の形態による信号処理装置について説明する。図5は、本発明の第2の実施の形態による信号処理装置の構成の一例を示すブロック図である。図5に示す信号処理装置100aと図1に示す信号処理装置100とでは、下記の点で異なる。すなわち、図5に示す信号処理装置100aでは、センサ101aは、感応素子103と同様の特性を有する感応素子202と、感応素子102と同様の特性を有する感応素子203との直列回路が、感応素子102と感応素子103との直列回路と並列に接続されている。また、信号処理装置100aは、第1加減算器104と同様に構成された第2加減算器109と、第1加減算器104の図1におけるセンサ出力信号SE1に相当する第1差分信号SE1’と第2加減算器109の第2差分信号SE2との差分をセンサ出力信号SFとして出力する差分検出部110とをさらに備える。
次に、本発明の第3の実施の形態による信号処理装置について説明する。図10は、本発明の第3の実施の形態による信号処理装置の構成の一例を示すブロック図である。図10に示す信号処理装置100bと図5に示す信号処理装置100aとでは、下記の点で異なる。すなわち、図10に示す信号処理装置100bでは、差分検出部110の代わりに加算器114を備える。また、センサ101bは、感応素子202,203の代わりに、感応素子103と同様の温度特性を有する素子302と、感応素子102と同様の特性を有する素子303との直列回路が、感応素子102と感応素子103との直列回路と並列に接続されている。
次に、本発明の第4の実施の形態による信号処理装置について説明する。図12は、本発明の第4の実施の形態による信号処理装置の構成の一例を示すブロック図である。図12に示す信号処理装置100cと図1に示す信号処理装置100とでは、下記の点で異なる。すなわち、図12に示す信号処理装置100cでは、センサ101の温度特性を補正するべくセンサ用電源VSSの電圧を調整するための補正電圧を出力する電源電圧調整部401と、電源電圧調整部401からの補正電圧に応じてセンサ用電源VSSの電圧レベルを補正すると共にその補正後の電圧をセンサ用電源VSSとしてセンサ101へ供給する電源部402とを備える。
次に、本発明の第5の実施の形態による信号処理装置について説明する。図14は、本発明の第5の実施の形態による信号処理装置の構成の一例を示すブロック図である。図14に示す信号処理装置100dと図1に示す信号処理装置100とでは、下記の点で異なる。すなわち、図14に示す信号処理装置100dは、スイッチSW1,2,3,4を備えず、センサ101の感応素子102側端子にはクロック信号生成部105から出力されたクロック信号φ1が入力され、センサ101の感応素子103側端子にはクロック信号生成部105から出力されたクロック信号φ2が入力されている。
101,101a,101b センサ
102 感応素子(第1の感応素子)
103 感応素子(第2の感応素子)
104 第1加減算器(増幅部)
105 クロック信号生成部(電圧印加部)
106 第1信号処理部
107 第2信号処理部
108 加算器(第1の差分検出部)
109 第2加減算器(増幅部)
110 差分検出部(出力部)
111 第3信号処理部
112 第4信号処理部
113 加算器(第2の差分検出部)
114 加算器(出力部)
202 感応素子(第3の感応素子)
203 感応素子(第4の感応素子)
302,303 素子
401 電源電圧調整部
402 電源部(電源印加部)
403 温度センサ(温度検出部)
404 AD変換器
405 演算回路
407 DA変換器
408 基準電圧発生回路
409 加減算器
C4 コンデンサ(ローパスフィルタ)
SW1,2,3,4 スイッチ(電圧印加部)
Claims (7)
- 与えられた物理量に応じた信号レベルの第1の検出信号を出力する検出部と、前記検出部から出力された第1の検出信号を増幅すると共にセンサ出力信号として出力する増幅部とを備えたセンサ信号処理装置であって、
前記検出部は、与えられた物理量に対して互いに異なるインピーダンス変化特性を有するものであると共に直列に接続された第1及び第2の感応素子を備えるセンサ部と、
前記センサ部に互いに逆方向の正方向電圧と逆方向電圧とを印加して、前記第1及び第2の感応素子により分圧された電圧を前記第1の検出信号として前記センサ部から出力させる電圧印加部とを備え、
前記増幅部は、前記電圧印加部により前記正方向電圧が印加された場合に前記センサ部から出力された前記第1の検出信号を第1の信号レベルとして受け付ける第1の信号処理部と、
前記電圧印加部により前記逆方向電圧が印加された場合に前記センサ部から出力された前記第1の検出信号を第2の信号レベルとして受け付ける第2の信号処理部と、
前記第1の信号処理部により受け付けられた前記第1の信号レベルと前記第2の信号処理部により受け付けられた前記第2の信号レベルとの差分に基づき前記センサ出力信号を出力する第1の差分検出部とを備え、
前記センサ部は、前記第2の感応素子と同様の特性を有する第3の感応素子と、前記第1の感応素子と同様の特性を有する第4の感応素子との直列回路が、さらに前記第1の感応素子と第2の感応素子との直列回路と並列に接続されたものであり、
前記電圧印加部は、前記センサ部に互いに逆方向の正方向電圧と逆方向電圧とを印加して、前記第3及び第4の感応素子により分圧された電圧を第2の検出信号として前記センサ部からさらに出力させるものであり、
前記第1の差分検出部は、前記第2の信号レベルとの差分に基づき前記センサ出力信号を出力する代わりに、前記第2の信号レベルとの差分を第1の差分信号として出力するものであり、
前記増幅部は、前記電圧印加部により前記正方向電圧が印加された場合に前記センサ部から出力された前記第2の検出信号を第3の信号レベルとして受け付ける第3の信号処理部と、
前記電圧印加部により前記逆方向電圧が印加された場合に前記センサ部から出力された前記第2の検出信号を第4の信号レベルとして受け付ける第4の信号処理部と、
前記第3の信号処理部により受け付けられた前記第3の信号レベルと前記第4の信号処理部により受け付けられた前記第4の信号レベルとの差分を第2の差分信号として出力する第2の差分検出部と、
前記第1の差分信号と前記第2の差分信号とに基づいて、前記センサ出力信号を出力する出力部とをさらに備えることを特徴とするセンサ信号処理装置。 - 与えられた物理量に応じた信号レベルの第1の検出信号を出力する検出部と、前記検出部から出力された第1の検出信号を増幅すると共にセンサ出力信号として出力する増幅部とを備えたセンサ信号処理装置であって、
前記検出部は、与えられた物理量に対して互いに異なるインピーダンス変化特性を有するものであると共に直列に接続された第1及び第2の感応素子を備えるセンサ部と、
前記センサ部に互いに逆方向の正方向電圧と逆方向電圧とを印加して、前記第1及び第2の感応素子により分圧された電圧を前記第1の検出信号として前記センサ部から出力させる電圧印加部とを備え、
前記増幅部は、前記電圧印加部により前記正方向電圧が印加された場合に前記センサ部から出力された前記第1の検出信号を第1の信号レベルとして受け付ける第1の信号処理部と、
前記電圧印加部により前記逆方向電圧が印加された場合に前記センサ部から出力された前記第1の検出信号を第2の信号レベルとして受け付ける第2の信号処理部と、
前記第1の信号処理部により受け付けられた前記第1の信号レベルと前記第2の信号処理部により受け付けられた前記第2の信号レベルとの差分に基づき前記センサ出力信号を出力する第1の差分検出部とを備え、
前記電圧印加部は、互いに同一周期であって、一周期内の一部が同電位となる二のパルス信号を、それぞれ前記センサ部の両端に印加することにより、前記正方向電圧及び逆方向電圧を前記センサ部に印加することを特徴とするセンサ信号処理装置。 - 前記センサ部は、前記第1及び第2の感応素子に対して前記物理量が与えられる一方、前記第3及び第4の感応素子に対しては前記物理量が与えられないものであることを特徴とする請求項1記載のセンサ信号処理装置。
- 周囲温度を検出する温度検出部をさらに備え、
前記電圧印加部は、前記センサ部に対する周囲温度の影響を補正するべく、前記温度検出部により検出された温度を示す情報に基づいて、前記正方向電圧及び逆方向電圧のレベルを補正することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のセンサ信号処理装置。 - 前記電圧印加部は、互いに逆相のパルス信号を、それぞれ前記センサ部の両端に印加することにより、前記正方向電圧及び逆方向電圧を前記センサ部に印加することを特徴とする請求項1、3、及び4のうちいずれか1項に記載のセンサ信号処理装置。
- 前記電圧印加部は、前記パルス信号の周期を、増減するものであることを特徴とする請求項2又は5記載のセンサ信号処理装置。
- 前記検出部は、ローパスフィルタを介して前記第1の検出信号を前記増幅部へ出力することを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のセンサ信号処理装置。
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