JP2000210681A - 洗浄液からの金属の除去方法 - Google Patents

洗浄液からの金属の除去方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 クエン酸洗浄液などのキレート性の洗浄液か
ら金属を効率的に除去する。 【解決手段】 洗浄液のpHを約10.0以上に調節す
る工程、pHを調節した洗浄液をろ過する工程、ろ液の
pHを約7.5〜約8.5に調節する工程およびpHを
調節したろ液をろ過する工程によって金属を除去する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】連邦政府の援助による研究開
発のもとで行われた発明に対する権利に関する申し立て
合衆国政府は、本発明において、エネルギー省とカリフ
ォルニア大学との契約番号W−7405−ENG−48
に従った権利を有する。
【0002】本発明は洗浄プロセスにかかわる。より詳
細には、本発明は、クエン酸洗浄液に蓄積する金属を除
去し、それによって、洗浄液のその後の廃棄または再利
用を可能にするために改善された方法にかかわる。
【0003】
【従来の技術】クエン酸洗浄プロセスは様々な適用分野
で使用されている。例えば、クエン酸洗浄プロセスは、
典型的には、大規模な脱脂工場および洗浄工場で使用さ
れている。この洗浄液は、クエン酸の腐食性作用のため
に、処理される金属を大量に含有することが多い。特
に、鉄およびアルミニウムなどの軟金属がこの溶液に集
積する。
【0004】クエン酸洗浄技術は、洗浄の観点から、何
年間にもわたり非常に成功を納めてきているが、廃棄す
る前の洗浄液の処理は、主として、洗浄液から金属を除
去することが困難であるために、非常に問題が多いこと
が明らかにされている。例えば、洗浄液中の金属を不溶
化した後でさえ、そのような金属はコロイド状懸濁物と
していくらかか残留している。このような懸濁した金属
は、ろ過によって溶液から除くことが極めて困難であ
る。さらに、懸濁した金属はフィルター媒体と結合し易
い。
【0005】クエン酸洗浄液からこのような金属を除去
する方法は、典型的には、1段階のpH処理プロセスを
含む。このプロセスにおいて、NaOHまたはHNO3
などの焼灼剤(caustic)を添加することによっ
て洗浄液のpHを7.5〜8.5に調節する。次いで、
洗浄液を安定化させた後にろ過する。この方法の効率
は、主として、金属濃度およびクエン酸の容量モル濃度
の両方に関する洗浄液の組成によって支配される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】クエン酸洗浄液から金
属を除去して、先行技術よりも効率的な新しい方法が、
この分野で求められている。本発明は、そのようなプロ
セスを提供する。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明のプロセスは、洗
浄液のpHを繰り返し操作し、鉄およびアルミニウムの
腐食産物を凝集剤として利用して、洗浄液からの他の金
属の除去を最適化するものである。2つの分離した沈澱
/凝集/ろ過プロセスを、異なるpHレベルで行う。
【0008】本発明は、洗浄液から金属を除去する方法
であって、洗浄液のpHを約10.0以上に調節する第
一のpH調節工程、pHを調節した洗浄液をろ過する第
一のろ過工程、ろ液のpHを約7.5〜約8.5に調節
する第二のpH調節工程およびpHを調節したろ液をろ
過する第二のろ過工程を包含する方法にかかわる。
【0009】本発明は、洗浄液から金属を除去する方法
であって、洗浄液のクエン酸濃度を測定する工程を包含
し、クエン酸濃度が設定値以上である場合には、洗浄液
のpHを約10.0以上に調節する第一のpH調節工
程、pHを調節した洗浄液をろ過する第一のろ過工程、
ろ液のpHを約7.5〜約8.5に調節する第二のpH
調節工程およびpHを調節したろ液をろ過する第二のろ
過工程、ならびに、クエン酸濃度が設定値未満の場合に
は、洗浄液のpHを約7.5〜約8.5に調節する工程
および洗浄液をろ過する工程を包含する方法にかかわ
る。
【0010】
【発明の実施の形態】本発明の金属除去プロセスの最初
の工程では、洗浄液のpHを約10.0以上、好ましく
は約11.0〜約11.5、さらに好ましくは約11.
5に調節して安定化させる(第一のpH調節工程)。洗
浄液としては、たとえば、キレート溶液、具体的には、
クエン酸溶液を使用することができる。洗浄液に焼灼剤
を添加することによってpHを調節することができる。
好ましくは水酸化ナトリウムを添加することによって、
洗浄液のpHを調節して安定化させる。このレベルのア
ルカリ度では、水酸化アルミニウムは可溶性であるが、
洗浄液に含有される大部分の他の金属は不溶性である。
不溶性の水酸化鉄が生成し、不溶性の水酸化鉄は、相分
離を最適化するための凝集剤として作用する。相分離の
後、洗浄液をろ過して、ろ液を回収する(第一のろ過工
程)。
【0011】次いで、このろ液のpHを約7.5〜約
8.5、好ましくは約8.0に調節する。ろ液に焼灼剤
を添加することによってpHを調節することができる。
好ましくは硝酸を添加することによって、ろ液のpHを
下げる(第二のpH調節工程)。このpHで、水酸化ア
ルミニウムは不溶性になり、そして第二の凝集剤として
作用する。
【0012】次いで、第二のろ過工程が実施され、残存
するろ液は、金属の濃度が大きく低下している。
【0013】本発明の少なくとも一つの実施形態におい
ては、二段階のpH調節/ろ過プロセスを行った後で、
ろ液をイオン交換樹脂に供するさらなる工程が行われ
る。イオン交換樹脂としては、カチオン性イオン交換樹
脂を使用することができる。カチオン性イオン交換樹脂
は、たとえば、Na+型からH+型に変換して使用するこ
とができる。たとえば、Na+型のカチオン性イオン交
換樹脂を希硝酸で処理した後、脱イオン水で処理するこ
とによってH+型に変換することができる。カチオン性
イオン交換樹脂としては、キレート樹脂を使用すること
ができる。好ましくは、プロライトカンパニー(Pur
olite Company)製のプロライト(Pur
olite)S−930またはS−950などのカチオ
ン性イオン交換樹脂が使用される。より好ましくは、H
+型に変換されたプロライトS−950を使用する。
【0014】本発明の少なくともも一つの別の実施形態
においては、最初に洗浄液のクエン酸濃度を測定する。
クエン酸濃度が設定値以上、たとえば、約0.01M以
上であると測定された場合には、本発明の二段階処理プ
ロセスを使用する。クエン酸濃度が設定値未満、たとえ
ば、約0.01M未満であると測定された場合には、洗
浄液のpHを約7.5〜約8.5に調節して安定化さ
せ、次いでその溶液をろ過する一段階処理プロセスを使
用する。
【0015】本発明の性質および利点は、本明細書の以
下の記載および図面を参照することによってさらに理解
することができる。
【0016】洗浄液から金属を除去するために一般的に
使用されている重金属除去プロセス(すなわち、NMR
P)は、1970年代の後半から使用されている。開発
されてから今日まで、処理され得る溶液の化学的組成は
大きく変化してきた。最も大きな変化は、表面の汚染物
を除去するために使用されていた化学薬品の代わりとな
った新しい洗浄剤の結果である。このような新しい洗浄
剤は、典型的には、新しい洗浄剤によって置き換えられ
た化学薬品よりも効果的であるが、残念なことに、廃棄
前の処理がより困難になっている。標準的なHMRPを
使用した場合、ろ液中の金属の濃度は、許容レベルを超
えることが多い。好ましくは、処理後において、洗浄液
は、銅、ニッケル、ウラン、アルミニウム、鉄および亜
鉛の含有量が100万分の1(1ppm)未満でなけれ
ばならず、この場合、廃液を適性に廃棄することができ
る。
【0017】標準的なHMRP技術が効果的でない原因
を明らかにするために、表1に示す濃度の金属を含有す
る代用廃水で研究を行った。HMRP技術がうまくいか
ない原因は、汚染除去洗浄剤のキレート化作用ならびに
クエン酸濃度に関係していることが予想された。キレー
ト化作用は当業者により十分に理解されており、キレー
ト環の形成に関係している。典型的なキレート化剤は、
金属イオンの化学的活性を低下させる。
【0018】
【表1】
【0019】代用廃水の研究に基づいて、一般には、
0.01M未満のクエン酸を含有する溶液は、標準的な
HMRP技術によって問題なく処理することができる
が、このモル濃度を超えるクエン酸を含有する溶液は完
全には処理できないことが明らかになった。標準的な処
理プロセスがもはや効果的でなくなる境界の正確な点
は、クエン酸のモル濃度だけでなく、廃水に含有される
硝酸の濃度にも依存する。
【0020】金属の濃度をさらに低下させるために、二
段階処理プロセスと一緒に問題なく使用することができ
る方法は、イオン交換樹脂である。好ましくは、水酸化
物の沈澱およびろ過を使用して、大部分の金属を除去
し、その後、ろ液をカチオン性イオン交換樹脂によって
処理して、所望する低い濃度を得る。様々なカチオン性
イオン交換樹脂をこの目的のために使用することができ
る。プロライトカンパニー製のプロライトS−940キ
レート樹脂を試験して、ウランが廃液から問題なく除去
されることが明らかにされた。プロライトS−950
は、プロライトS−940と類似しているが、より大き
な総交換容量を有する。この樹脂は、キレート化した金
属を水溶液から除去するために開発されたマクロ細孔性
のアミノホスホン酸樹脂である。キレート樹脂は、キレ
ート化特性によって、金属を可溶性に保っている溶液中
のキレートを抑え、従って金属が樹脂の官能基に結合す
ることを可能にするので望ましい。金属に対する親和性
の程度はpHによって変化し、その結果、酸性溶液にお
いて、樹脂は、イオン性のFe3+、Cu2+、Zn2+、A
3+およびNi2+に対する強い吸引作用を有する。pH
は、金属水酸化物の効果的な除去を可能にするために中
性よりもわずかに高いために、最初の試験は、ナトリウ
ムイオン交換樹脂を使用して行った。
【0021】本発明の方法は、濃度が約0.024M以
下のクエン酸および30重量%の硝酸を含有する溶液に
適用することによって最も良く機能する。ろ液を最終処
理して、溶液中の金属の濃度をさらに低下させるために
推奨される樹脂は、プロライトS−950イオン交換樹
脂(受領時の樹脂またはH+型に変換された樹脂)であ
る。
【0022】図1に、本発明の好適な実施形態によるプ
ロセスを図示する。本プロセスは、前記のように改変す
ることができ、そして金属を所望するレベルに低下させ
ることに依存して、図に関連して記載されているように
改変することができる。
【0023】図1のプロセスの機能は、クエン酸濃度の
キレート化作用を抑えること、および/または金属の濃
度目標(たとえば、1mg/Lのニッケル)を満たすこ
とである。好ましくは、本発明の方法は二つの調節可能
な工程を含み、これにより、手順は効率的で最も効果的
である。あるいは、同じプロセスを、処理すべき溶液の
バッチ毎に繰り返して使用することができる。
【0024】本発明の好ましい実施形態により、浄化さ
れる洗浄液1は、最初に、クエン酸の濃度を測定するた
めに分析される(工程2)。クエン酸濃度が0.01M
以上である場合(工程3)、本発明の二段階処理プロセ
スで処理する。クエン酸濃度が0.01M未満である場
合(工程4)、一段階処理プロセスで処理することがで
きる。
【0025】図1に記載されているように、クエン酸濃
度が設定値以上である場合(工程3)、洗浄液のpHを
約10.0以上、好ましくは約11.0〜約11.5に
調節する(工程5)。前記のように、洗浄液のpHは、
焼灼剤(caustic)を添加することによって調節
することができる。洗浄液のpHは、好ましくはNaO
H、たとえば、50重量%のNaOH水溶液を使用して
調節され、この場合、好都合な熱が生成する。pHを調
節したら、洗浄液を安定化させて、pHを所望の範囲内
に維持する。次いで、洗浄液をろ過して、望ましくない
金属を除去する(工程6)。
【0026】ろ過工程6の後、ろ液のpHを再度調節し
て、ろ液を安定化させる(工程7)。
【0027】濃度分析工程2の結果、クエン酸濃度が設
定値未満、たとえば、0.01M未満であることが示さ
れた場合、洗浄液のpHは、工程5および工程6をとば
して、直ちに工程7に従って調節することができる。工
程7において、ろ液または洗浄液のpHを約7.5〜約
8.5に調節して安定化させる。焼灼剤、好ましくは硝
酸を使用してpHを調節する。次いで、ろ液を再度ろ過
(工程8)して、望ましくない金属をさらに除去する。
【0028】目標濃度ならびに所望する適用に依存し
て、金属除去処理プロセスは、工程8の後で完了するこ
とができる。好ましくは、ろ液の分析を行って、ろ液の
金属濃度が所望レベル内であるかどうかを測定する(工
程9)。所望の濃度レベルが満たされている場合、処理
プロセスは完了する(工程12)。本明細書中において
設定されている目標濃度基準(たとえば、6種の金属に
ついて1ppm未満)は、単なる例示に過ぎない。本発
明は他の濃度レベルおよび他の金属にも適用することが
できる。
【0029】金属濃度の分析によって、濃度が目標基準
を満たしていない場合、ろ液は、イオン交換樹脂、たと
えば、H+型のカチオン性イオン交換樹脂に送られる
(工程10)。カチオン性イオン交換樹脂を通して処理
した後に処理プロセスは終了する(工程12)。あるい
は、カチオン性イオン交換樹脂からの溶液を、金属分析
およびpH調節のために、保存タンクに回収することが
できる(工程11)。
【0030】当業者により理解されるように、本発明
は、本発明の精神またはその本質的な特徴から逸脱する
ことなく他の特定の形態に包含されることができる。従
って、本明細書中の開示および記載は、各請求項記載の
本発明に包含される実施の形態を例示するものであっ
て、本発明の範囲を限定するものではない。
【0031】
【実施例】実施例1および比較例1 主に問題になっている廃水溶液(洗浄液)は高濃度の鉄
およびアルミニウムの両方を含有するため、この二つの
金属の水酸化物を凝集剤として個々に使用する処理プロ
セスを採用した。採用したプロセスでは、pHを焼灼剤
(たとえば、NaOH)の添加によって上昇させて、こ
の二つの金属水酸化物を不溶化して、金属水酸化物を懸
濁固体として析出させる(第一のpH調節工程)。pH
が10よりも高くなると、水酸化アルミニウムは溶解す
るが、溶液中に含有される大部分の他の金属は不溶性の
ままである。約11.5のpHで、水酸化鉄は、不溶性
金属を凝析して共沈させる。
【0032】ろ過による相分離(第一のろ過工程)を行
った後、硝酸を加えて、ろ液のpHを約8.0に下げる
(第二のpH調節工程)。このpHレベルで、水酸化ア
ルミニウムは不溶性であり、残った不溶性金属を凝析さ
せて共沈させる。再度ろ過を行って、処理されたろ液を
回収する(第二のろ過工程)。
【0033】前記に概略を示した二段階pH処理プロセ
スを使用して、クエン酸含有量は不明であるが、キレー
ト化特性を有することが明らかな洗浄液(サンプル)を
処理した。硝酸は、典型的には約30%(すなわち、約
4.5規定)の濃度で存在した。表2に、標準的なHM
RP技術(比較例1)と上記の二段階処理プロセス(実
施例1)とを比較した結果を示す。表2には、いずれか
の金属除去プロセスで処理する前における表1に示され
る6種の主要な標的金属の濃度も示す(サンプル)。濃
度はすべてmg/Lの単位で示す。表2に示すように、
本発明の二段階pH処理プロセス(実施例1)によっ
て、アルミニウムを除く試験したすべての金属に関して
金属除去に対する著しい改善が得られた。
【0034】
【表2】
【0035】実施例2 前記本発明の二段階pH処理プロセスについて、他の3
種の金属(鉛、カドミウムおよびクロム)を除去する能
力を明らかにするために調べた。処理前の代用溶液は、
これらの金属濃度が、それぞれ、244.8mg/L、
67.2mg/Lおよび50.0mg/Lであった。処
理後の濃度は、カドミウム0.009mg/L、クロム
0.155mg/Lであった。処理後の鉛の濃度は検出
できなかった。
【0036】実施例3および比較例2 クエン酸濃度0.01Mの代用溶液(サンプル)を前記
本発明の二段階処理プロセスで処理で行った。硝酸を3
0重量%の割合で加えた。結果を表3に示す。濃度はす
べてmg/Lで示す。
【0037】
【表3】
【0038】前回の試験の場合と同様に、二段階処理プ
ロセス(実施例3)は、アルミニウムを除く試験したす
べての金属に関して、より効果的な金属除去技術である
ことが明らかになった。試験結果を比較することによっ
て、硝酸を30%に増大させた場合には金属の除去に好
ましくない作用が存在することが示されたが、二段階p
H処理プロセス(実施例3)により、0.01Mのクエ
ン酸でその作用がかろうじて抑えられることが明らかに
なった。これにより、かろうじて効果的であるHMRP
処理(比較例2)では、クエン酸濃度をこのモル濃度よ
りも低く維持しなければならことが確認された。
【0039】実施例4および5、比較例3および4 クエン酸濃度を増加させたときの効果を見るために実験
を行った。標準的なHMRP技術(比較例3および4)
と前記本発明の二段階pH処理プロセス(実施例4およ
び5)との比較を0.015M(比較例3、実施例4)
および0.018M(比較例4、実施例5)のクエン酸
濃度で行った。結果を表4に示す。金属濃度の単位はm
g/Lである。
【0040】
【表4】
【0041】表4に示した試験結果を検討した後にいく
つかの結論に達した。第一に、二段階処理プロセス(実
施例4および5)は、銅、鉄、ニッケルおよびウランの
除去において、より効果的であった。標準的なHMRP
技術(比較例3および4)は、亜鉛の除去においてわず
かにより効果的であり、そしてアルミニウムの除去にお
いて一層より効果的であった。第二に、二段階処理プロ
セス(実施例4および5)は、一般的には、標準的なH
MRP(比較例3および4)よりも効果的であったが、
いくつかの金属の濃度は、依然として、所望する濃度よ
りも高かった。
【0042】実施例6および7 前記本発明の二段階処理プロセスにおいて、金属の濃度
を低下させる試みとして、代用溶液を50%に稀釈し、
焼灼剤の濃度を50%から25%に低下させた。これら
の方法は、焼灼剤の濃度を低下させることによってpH
のより良好な制御が可能になったことを除いて、明らか
な効果はなかった。
【0043】実施例8 前記本発明の二段階処理プロセスにおいて、予備蒸発に
おいて洗浄液の容量を低下させる方法において、生じる
発熱をシミュレーションして、代用溶液を加熱した。こ
の方法は、金属濃度の大きな低下をもたらさなかった。
しかし、焼灼剤によって溶液のpHが11に増大して発
熱したことにより、金属の除去が改善されることが観測
された。この方法においては、温度は22℃の周囲温度
から65〜68℃まで上昇した。
【0044】実施例9〜11 前記本発明の二段階処理プロセスとの組合せにおけるイ
オン交換樹脂の使用を調べるために、バッチ試験を使用
して、処理時間を短縮した。この方法は、通常、より控
え目な結果を示すカラム試験よりも効果的でない。最初
のイオン交換試験において、0.024Mクエン酸およ
び3%硝酸を含有する代用溶液の一定量を、二段階処理
プロセスで処理し(実施例9)、ろ液をイオン交換樹脂
(実施例10および11)に供するために回収した。こ
のろ液はpHが7.8であった。このろ液の100ml
を25gのプロライトS−950樹脂で処理した。樹脂
による処理を行った後、ろ液のpHは、イオン交換樹脂
が標的金属に対する親和性をほとんど有さいない9.8
に上昇した。イオン交換樹脂およびろ液をゆっくり1時
間攪拌して、溶液を取り出した。最初の試験では、所望
するレベルの金属除去は得られなかった。
【0045】金属の除去を改善するために、Na+型の
プロライトS−950樹脂25gを、10%希硝酸で処
理した後、脱イオン水で洗浄してH+型のイオン交換樹
脂に変換した。次いで、代用溶液を再度処理したとこ
ろ、pH2.1(銅の除去に非常に望ましいレベル)で
あることが見出された。2回の実験を行ったが、最終p
Hは2.2であった。表5にこれらの試験の結果を示
す。表5には、二段階ろ過プロセスを行った後に測定し
た標的金属の濃度(実施例9)および2回のイオン交換
樹脂による処理を行なった後の濃度(実施例10および
11)を示す。
【0046】
【表5】
【0047】実施例12〜14 ろ液をイオン交換樹脂に供する工程を包含する前記本発
明の二段階処理プロセスにおいて、キレート樹脂が有効
であることを確認するための実験を行った。通常のカチ
オン性樹脂はあまり高価でなく、従って、より望ましい
からである。この場合、0.024Mクエン酸および1
0%硝酸を含有する代用溶液を二段階処理プロセス(実
施例12)によって処理した。
【0048】次いで、バッチ処理を用いて、回収したろ
液の100mlを、25gのH+型に変換したプロライ
トカンパニー製プロライトC−106に加えて、1時間
攪拌した(実施例13)。同じ手順を、プロライトS−
950キレート樹脂についても行なった(実施例1
4)。
【0049】表4に2種の樹脂を比較した結果を示す。
濃度はmg/Lの単位で示す。この試験の結果は、キレ
ート樹脂が有効であることを示す。
【0050】
【表6】
【0051】実施例15〜18 ろ液をイオン交換樹脂に供する工程を包含する前記本発
明の二段階処理プロセスにおいて、銅に対してプロライ
トS−950よりも強い親和性を有することが報告され
ている別のキレート樹脂(プロライトS−930)を使
用した。プロライトS−930も、ポリスチレン樹脂で
あるが、イミノ二酢酸基によって置換されている。代用
溶液を本発明の二段階pH処理プロセスを使用して処理
し(実施例15)、ろ液を回収した。
【0052】プロライトS−930樹脂をプロライトS
−950の場合と同様にしてH+型に変換した。プロラ
イトS−930を使用する2回の試験(実施例16およ
び17)を、プロライトS−950を使用する試験(実
施例18)と同様に行った。
【0053】この3回の試験はすべて、前記の方法で行
なった。表7に示す結果は、プロライトS−930樹脂
はプロライトS−950樹脂よりも、銅の除去におい
て、わずかに効果的であるが、アルミニウムの除去にお
いては、劇的な効果がないことを示している。濃度はm
g/Lで示す。
【0054】
【表7】
【0055】実施例19〜21 プロライトS−950樹脂による最終処理技術を伴う前
記本発明の二段階pH処理が、典型的な代用溶液におい
て、0.3Mクエン酸のキレート化作用を抑えるかどう
かを明らかにするための試験を行った。試験は、前記の
試験と同様に2回行った(実施例20および21)。実
施例19はプロライトS−950樹脂による最終処理技
術を伴わない二段階pH処理の結果である。最終処理し
た溶液の結果は、いくつかのイオン交換カラムが有効で
あることを示している。表8の濃度の値はmg/Lであ
る。
【0056】
【表8】
【0057】
【発明の効果】前記のように、本発明の二段階pH処理
プロセスにより、金属除去において、標準的なHMRP
法を上回る劇的な改善が得られる。特に、二段階pH処
理プロセスにより、クエン酸のキレート化作用が抑えら
ることが明らかになった。クエン酸の作用のみを調べた
が、本発明の方法によれば、目的に応じて、他のキレー
ト性水溶液から金属を効果的に除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の好適な実施形態によるプロセスを示す
フローチャートである。
【符号の説明】 1 洗浄液 2 クエン酸濃度分析 3 0.01M以上の場合 4 0.01M未満の場合 5 pH調節および安定化 6 ろ過 7 pH調節および安定化 8 ろ過 9 金属濃度分析 10 カチオン性イオン交換樹脂 11 金属濃度およびpH調節 12 処理プロセス完了
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C02F 9/00 503 C02F 9/00 503G 504 504B 504E

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 洗浄液から金属を除去する方法であっ
    て、洗浄液のpHを約10.0以上に調節する第一のp
    H調節工程、pHを調節した洗浄液をろ過する第一のろ
    過工程、ろ液のpHを約7.5〜約8.5に調節する第
    二のpH調節工程およびpHを調節したろ液をろ過する
    第二のろ過工程を包含する方法。
  2. 【請求項2】 第一のpH調節工程でpHを調節した洗
    浄液のpHが約11.0〜約11.5である請求項1記
    載の方法。
  3. 【請求項3】 第二のpH調節工程でpHを調節した洗
    浄液のpHが約8.0である請求項1記載の方法。
  4. 【請求項4】 洗浄液がキレート溶液である請求項1記
    載の方法。
  5. 【請求項5】 キレート溶液がクエン酸溶液である請求
    項4記載の方法。
  6. 【請求項6】 第一のpH調節工程の後に洗浄液のpH
    を約11.0〜約11.5に安定化させる工程を包含す
    る請求項1記載の方法。
  7. 【請求項7】 第二のpH調節工程の後にろ液のpHを
    約8.0に調節する工程を包含する請求項1記載の方
    法。
  8. 【請求項8】 第一のpH調節工程が洗浄液に焼灼剤を
    添加する工程を包含する請求項1記載の方法。
  9. 【請求項9】 焼灼剤が水酸化ナトリウムである請求項
    8記載の方法。
  10. 【請求項10】 第二のpH調節工程がろ液に硝酸を添
    加する工程を包含する請求項1記載の方法。
  11. 【請求項11】 第二のろ過工程の後にろ液を回収する
    工程およびろ液をカチオン性イオン交換樹脂に供する工
    程を包含する請求項1記載の方法。
  12. 【請求項12】 カチオン性イオン交換樹脂に供する工
    程の前にろ液中に存在する少なくとも1種の金属の濃度
    を測定する工程を包含する請求項11記載の方法。
  13. 【請求項13】 カチオン性イオン交換樹脂がキレート
    樹脂である請求項11記載の方法。
  14. 【請求項14】 カチオン性イオン交換樹脂がプロライ
    トS−930、S−940およびS−950からなる群
    から選択された請求項11記載の方法。
  15. 【請求項15】 カチオン性イオン交換樹脂をNa+
    からH+型に変換する工程を包含する請求項11記載の
    方法。
  16. 【請求項16】 カチオン性イオン交換樹脂を希硝酸で
    処理する工程および処理したカチオン性イオン交換樹脂
    を脱イオン水で処理する工程を包含する請求項11記載
    の方法。
  17. 【請求項17】 洗浄液から金属を除去する方法であっ
    て、洗浄液のクエン酸濃度を測定する工程を包含し、ク
    エン酸濃度が設定値以上である場合には、洗浄液のpH
    を約10.0以上に調節する第一のpH調節工程、pH
    を調節した洗浄液をろ過する第一のろ過工程、ろ液のp
    Hを約7.5〜約8.5に調節する第二のpH調節工程
    およびpHを調節したろ液をろ過する第二のろ過工程、
    ならびに、クエン酸濃度が設定値未満の場合には、洗浄
    液のpHを約7.5〜約8.5に調節する工程および洗
    浄液をろ過する工程を包含する方法。
  18. 【請求項18】 約10.0以上のpHが約11.0〜
    約11.5である請求項17記載の方法。
  19. 【請求項19】 約7.5〜約8.5のpHが約8.0
    である請求項17記載の方法。
  20. 【請求項20】 クエン酸濃度の設定値が約0.01モ
    ルである請求項17記載の方法。
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