JP2000191810A

JP2000191810A - 耐熱性フィルムの表面改質方法および表面改質された耐熱性フィルム

Info

Publication number: JP2000191810A
Application number: JP10369481A
Authority: JP
Inventors: Renichi Akahori; 廉一赤堀
Original assignee: Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd
Current assignee: Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd
Priority date: 1998-12-25
Filing date: 1998-12-25
Publication date: 2000-07-11
Anticipated expiration: 2018-12-25
Also published as: JP3750044B2

Abstract

(57)【要約】【課題】フィルム搬送性が安定しており、帯電量が抑
制された、接着性の高い耐熱性フィルムを提供する。【解決手段】耐熱性フィルムに、無機微細粒子の作用
によって微細な突起を形成させ、次いでプラズマ放電処
理し、接着性および耐熱性の高いフィルムを得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、耐熱性フィルムの
表面改質方法および表面改質された耐熱性フィルムに関
する。

【０００２】

【従来の技術】耐熱性フィルムは、電子部品などのフレ
キシブルプリント配線板（ＦＰＣ）に用いる基材とし
て；ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）の基材絶縁フ
ィルムとして；あるいは半導体装置における支持部材
などの種々の材料と半導体素子等との接合材の絶縁基材
であるＬＯＣ用テープなどとして、用いられている。こ
のような用途では、基材となるフィルムの接着性が大き
いことが望まれる。特に近年の高密度配線や微細加工と
いった細密化に伴い、その要求レベルは益々厳しくなっ
てきている。

【０００３】耐熱性フィルムはまた、磁気記録媒体のベ
ース材料としても用いられる。このような場合において
も、フィルムの耐熱性と共に、高い接着性が求められ
る。

【０００４】これまでに、耐熱性フィルムの接着性を向
上させる表面改質方法として、コロナ放電処理、アルカ
リ処理、サンドブラスト処理等の種々の技術が提案され
実施されている。

【０００５】提案されている方法のうち、プラズマ放電
処理方法は、例えばポリイミドフィルムに対してコロナ
放電処理と比較して良好な改質効果を発現させ得る。プ
ラズマ放電処理とはいわゆるグロー放電処理であり、コ
ロナ放電処理と比較して強い電力パワーを与えることが
可能であるからである。より具体的には、コロナ放電処
理に際しては、通常２０〜５００Ｗ・ｍｉｎ／ｍ²程度
の電力密度で処理されるのが通常であるのに対し、グロ
ー放電処理では数千Ｗ・ｍｉｎ／ｍ²の電力密度での放
電が可能であることにより、耐熱性フィルム表面の改質
効果が大きく向上するためと推定される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、プラズマ放
電処理では、長尺のフィルムを連続的に処理するに際し
ては、コロナ放電処理と比較して均一処理が難しい、あ
るいは欠陥を生じさせやすいという問題点があった。プ
ラズマ放電処理を行う場合は、高電力密度で連続処理さ
れるため、均質かつ安定的に表面処理するためには処理
されるフィルムが安定的に走行することが必須となる。
即ちロールツーロールでフィルムが搬送される際に、プ
ラズマチャンバー内はもちろんのこと、チャンバー前後
での安定した搬送性を確保する必要がある。

【０００７】ところが高電力密度でプラズマ放電処理さ
れ、高度に表面改質されたフィルムは、安定的な搬送性
を確保できなかった。高電力密度であるが故に、処理さ
れたフィルムが高度に帯電し、あるいは高度に表面処理
され、ロールとの密着性が向上して、ロールとの抵抗が
大きくなり、ロールへの巻き付きが発生するためと推定
される。

【０００８】さらに処理後のフィルムをロール状に巻き
取るとフィルム同士が強く密着して繰り出しが安定的に
できなかったり、あるいは繰り出そうとしてフィルムが
破けて繰り出しができなかったりする問題が発生してい
た。また、フィルム同士が密着してしまう結果、フィル
ムの部分的あるいは全面で表面改質効果が失われるある
いは低下するという問題も生じていた。

【０００９】そこで、本発明者はかかる問題を解決し、
安価かつ簡便に、しかも安定的にプラズマ放電処理する
方法を鋭意検討した結果、本発明に至ったのである。

【００１０】即ち、安定的に均一処理ができない、ある
いは欠陥を生じさせる原因について鋭意検討した結果、
プラズマ放電処理では大きな放電電力密度で処理される
ため、長尺のフィルムを連続的に処理するに際しては、
安定的にフィルムを走行させることや異物等の付着が無
い状態が必須要件であるとの結論に至ったのである。そ
して、フィルム表面に微細な突起を形成させることによ
り、フィルムが安定的に走行することが可能となり、そ
の結果、連続的にかつ安定的な製造が可能となり、かつ
均質な改質効果が得られ、また欠陥、破壊（穴が空く
等）が抑制されることを見出した。さらに処理後に巻き
取られたフィルムは次工程に使用する際安定的に繰り出
すことが可能となる。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の耐熱性フィルム
の表面改質方法の要旨とするところは、無機微細粒子に
よって耐熱性フィルムの表面に微細な突起を形成させた
後、プラズマ放電処理を施してなることにある。

【００１２】かかる耐熱性フィルムの表面改質方法にお
いて、上記無機微細粒子が、ＳｉＯ ₂、ＴｉＯ₂、Ｃａ
ＨＰＯ₄、およびＣａ₂Ｐ₂Ｏ₇からなる群より選択さ
れる少なくとも１種であることにある。

【００１３】本発明の表面改質された耐熱性フィルムの
要旨とするところは、上記のいずれかに記載の耐熱性フ
ィルムの表面改質方法によって表面改質されたことにあ
る。

【００１４】かかる表面改質された耐熱性フィルムの要
旨とするところは、すべり摩擦係数が０．１以上１以
下、静摩擦係数が０．２以上２以下、および表面粗さ
（Ｒａ値）が１ｎｍ以上２００ｎｍ以下、好ましくは、
１ｎｍ以上１００ｎｍ以下、より好ましくは１ｎｍ以上
５０ｎｍ以下であることにある。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の用語「耐熱性フィルム」とは、ガラス転移温度
が１００℃以上、または融点が３００℃以上、またはＪ
ＩＳＣ４００３で規定される長期連続使用温度の最高許
容温度が１２１℃以上の樹脂からなるフィルムのことを
いう。

【００１６】このような耐熱性フィルムは、例えば芳香
族ポリイミド、ポリアミド、ポリアリレート、ポリスル
ホン、ポリエーテルスルホン等の芳香族系ポリマーやポ
リテトラフルオロエチレン等のフッ素系樹脂等である。

【００１７】このうち特に好ましくは、ポリイミド樹脂
フィルムである。ここでいうポリイミド樹脂とは特に限
定されず、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテ
ルイミドあるいはポリエステルイミド等を挙げることが
でき、非熱可塑性、熱可塑性、熱硬化性のいずれをも含
む。ポリイミド樹脂の分子構造は限定されないが、例え
ば下記一般式（１）

【００１８】

【化１】

【００１９】で表される繰り返し単位を有する樹脂が含
まれる。好ましくは、式中、Ｒ₁は４価の有機基であ
り、より好ましくは、少なくとも１個の芳香環を有して
なり、かつ結合すべき隣接するカルボニル基とは芳香環
が直接結合している。具体的には、Ｒ₁は、例えば以下
の化学式

【００２０】

【化２】

【００２１】（式中、Ｘは、化３

【００２２】

【化３】

【００２３】からなる群から選択される１つの２価の官
能基であり、Ｒ₄はＣＨ₃−、Ｃｌ−、Ｂｒ−、Ｆ−、
ＣＨ₃Ｏ−であり、１つの官能基中に複数含まれている
場合には、Ｒ₄は同一であってもよくまた異なっていて
もよい）で表される官能基の群から選択される少なくと
も１種で有り得る。

【００２４】化学式（１）の式中、Ｒ₂は、２価の有基
機であり、好ましくは少なくとも１個の芳香環を有して
なり、かつ結合すべき隣接する窒素原子とは芳香環が直
接結合している。具体的には、Ｒ₂は、

【００２５】

【化４】

【００２６】（式中、Ｒ₄は、ＣＨ₃−、Ｃｌ−、Ｂｒ
−、Ｆ−、ＣＨ₃Ｏ−であり、Ｒ₄が同じ官能基に２つ
以上含まれる場合には、同一であっても異なっていても
よい）で表される官能基の群から選択される少なくとも
１種または２種以上であり得る。

【００２７】好ましいポリイミド樹脂は、ピロメリット
酸二無水物と４，４' −ジアミノジフェニルエーテルと
から誘導される骨格を主体とするポリイミド、またはピ
ロメリット酸二無水物と４，４' −ジアミノジフェニル
エーテルおよびパラフェニレンジアミンとから誘導され
る骨格を主体とするポリイミド、またはピロメリット酸
二無水物及び３，３' ，４，４' −ビフェニルテトラカ
ルボン酸二無水物または３，３' ，４，４' −ベンゾフ
ェノンテトラカルボン酸二無水物と４，４' −ジアミノ
ジフェニルエーテルおよびパラフェニレンジアミンとか
ら誘導される骨格を主体とするポリイミド、ピロメリッ
ト酸二無水物及びｐ−フェニレンビス（トリメリット酸
モノエステル酸無水物）と４，４' −ジアミノジフェニ
ルエーテルおよびパラフェニレンジアミンとから誘導さ
れる骨格を主体とするポリイミド、３，３' ，４，４'
−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物とパラフェニレ
ンジアミン及び／または４，４' −ジアミノジフェニル
エーテルとから誘導される骨格を主体とするポリイミド
である。

【００２８】ここでフィルムとは、厚み数μｍ〜数ｍｍ
の平板な形状の樹脂を指す。通常のフィルムの厚みは３
〜３００μｍであり、好ましくは５〜１２５μｍ、より
好ましくは５〜７５μｍ、さらに好ましくは５〜５０μ
ｍである。薄いフィルムほどフィルム搬送性等の問題点
が顕著となるため、本発明の効果が十分に得られる。従
って、本発明においては、フィルムの厚みが５μｍ〜１
５μｍの範囲にある場合にその効果が顕著となる。

【００２９】本発明の無機微細粒子は特に限定されず、
通常フィラーとして用いられる粒子である。例えば、耐
熱性フィルムとして好適なポリイミドに対して加工工程
中及び加工後、さらに使用される用途に要求される諸特
性に何ら影響または変化を与えない化学種、粒度、量を
もって選択される。例えばＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂等の他、
ＩＩａ族のアルカリ土類金属（Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓ
ｒ、Ｒａ）のオルトリン酸塩化合物、中でもＣａＨＰＯ
₄、Ｃａ₂Ｐ₂Ｏ₇等の電気的に絶縁物である化学種を
好適に挙げることができ、これらのうち、１種または２
種以上の混合物として用いることができる。導電性の化
学種であっても、フィルムそのものの絶縁性に影響を及
ぼさない量であれば添加しても差し支えない。

【００３０】上記した無機微細粒子により、耐熱性フィ
ルムの表面に微細な突起を形成させる方法としては特に
制約はなく、従来公知の技術あるいはその応用範囲を利
用できる。例えば、フィルム中に無機微細粒子を添加す
る方法、あるいはフィルム表面に無機微細粒子を担持さ
せ、局在化させる方法がある。

【００３１】フィルム中に無機粒微細粒子を添加する方
法としては、例えばフィルムの成形工程前のドープや溶
融した樹脂等に添加する方法が挙げられる。

【００３２】ポリイミドを例にしてさらに詳しく説明す
る。まず、芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジ
アミンと概ね等モル用い、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミ
ド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチル−２−
ピロリドン等のアミド系有機極性溶媒中で反応させてポ
リイミドの前駆体であるポリアミド酸の溶液を得る。さ
らに得られたポリアミド酸溶液をエンドレスベルトある
いはドラム等の支持体上にフィルム状にキャストして自
己支持性のあるフィルムを得、これを支持体から引き剥
がした後に端部を保持して、テンター炉等を用いて段階
的に加熱処理して最終的に４５０℃〜５５０℃程度にま
で焼成処理しポリイミドフィルムを得る。必要に応じて
ポリアミド酸の溶液に化学的イミド化剤である無水酢酸
等の脱水剤とイソキノリン、キノリン、β−ピコリン等
のピコリン類等の３級アミン類を併用して混合した後、
支持体上にフィルム上にキャストして成形してもよい。
この化学的イミド化方法で得られるポリイミドフィルム
の方が、特性上も生産性からも好ましい。

【００３３】無機微細粒子は、上記したポリイミドの製
造工程において、ポリアミド酸溶液を支持体上にフィル
ム状にキャストする前の任意の工程でポリアミド酸溶液
に添加し得る。具体的には、ポリアミド酸合成前の有機
極性溶媒中に添加分散させたのち、酸無水物類とジアミ
ン類を反応させる方法、反応途中に添加する方法、最終
的に得られたポリアミド酸溶液に添加混合する方法など
いずれの方法でもよい。このうち、特に好ましくは、ポ
リアミド酸合成前の有機極性溶媒中に添加分散させたの
ちに酸無水物類とジアミン類を反応させる方法か該反応
途中に添加する方法を採用し、無機微細粒子を凝集させ
ずに均一に分散させる。

【００３４】ここで用いられる無機微細粒子の粒子径は
０．５〜１０μｍ、好ましくは１〜５μｍを主体とし得
る。１０μｍを越える大きな粒子を添加するとフィルム
表面に突起を形成することに有効ではあるが、実質的に
フィルムに物理的損傷を与える場合があり、フィルムの
機械的強度の低下を招くなどの不都合が生じる。一方、
０．５μｍよりも小さい粒径では機械的強度の低下など
フィルム本来が有する特性に与える影響は小さいが、本
発明の効果を発現させるのに有効な大きさの突起を形成
させるのが困難となる。

【００３５】無機微細粒子の添加量は、フィルムの重量
に対して、０．０１〜０．５重量％程度が好ましい。

【００３６】フィルム表面に無機微細粒子を担持させる
方法を説明する。例えば、上記のポリイミドフィルム製
造において、前駆体のポリアミド酸の有機溶媒溶液を支
持体上にキャストした後、自己支持性のあるフィルムを
得、これを支持体から引き剥がした後に、その表面に無
機微細粒子の分散液を塗布し、必要に応じて乾燥した
後、引き続きテンター炉等を用いて加熱処理してポリイ
ミドフィルムを得る方法が挙げられるが、これに限定さ
れない。この方法において、無機微細粒子を分散させる
液としては、沸点が５０〜２３０℃程度の低沸点有機溶
媒が好ましく用いられる。このような低沸点有機溶媒
は、例えば、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトア
ミド、テトラヒドロフラン等である。この方法で用いら
れる無機微細粒子は前記した化学種を使用できるが、粒
度は０．０１〜１０μｍ、好ましくは０．０１〜１μ
ｍ、特には０．０２〜０．５μｍのものが好ましい。こ
の方法の場合には、無機微細粒子が表面に局在している
ため、この粒径範囲で十分な突起が形成される。

【００３７】本発明におけるプラズマ放電処理は、いわ
ゆる真空プラズマ処理あるいは減圧プラズマ処理、およ
び常圧プラズマ処理あるいは大気圧プラズマ処理などで
あり得る。特に常圧プラズマ処理は比較的設備費等が安
価であり好ましく用いられる。プラズマ処理において、
一般に１０００Ｗ・ｍｉｎ／ｍ²以上の電力密度で長尺
品が連続的に処理される。

【００３８】プラズマ放電処理に用い得る電極は、金
属、ガラス、石英、セラミック等を、表面をグロー放電
によって励起されたプラズマのエネルギーによって分解
されない誘電体で被覆して作成する。電極に印加する高
電圧の周波数は、１〜５００ＫＨｚ、好ましくは１〜２
０ＫＨｚであり、２０００〜８０００Ｖ、好ましくは３
０００〜５０００Ｖの電圧印加によりグロー放電が起こ
る。

【００３９】常圧下においては、特定の気体組成物中で
グロー放電処理される。気体組成物としては希ガス、例
えばアルゴン、ヘリウムあるいはこれらの混合ガスを主
成分とし、必要に応じて副成分として反応性ガスを混合
できる。反応性ガスとしては二酸化炭素、窒素、酸素、
アンモニア、シランなどが挙げられ、さらにはアセトン
やメタンなどの有機低沸点化合物や有機性ガスの使用も
可能である。

【００４０】希ガスと反応性ガスとの比率は、希ガスが
８０容量％以上、好ましくは９０〜９５容量％の範囲で
ある。希ガスの割合が少ないと安定な放電ができなくな
る一方、反応性ガスが少ないと十分な表面改質効果が得
られない。

【００４１】本発明の表面に微細突起を形成させたフィ
ルムは、表面に微細突起のないフィルムと比較して、プ
ラズマ放電処理や表面改質の程度が同じ場合でも、ロー
ルとの密着性及び巻き取られた後のフィルム同士の密着
が改善される。

【００４２】具体的には、本発明の表面改質された耐熱
性フィルムのすべり摩擦係数は、ＡＳＴＭ−１８９４に
則り、フィルム同士の面で測定した場合に０．１以上１
以下、好ましくは０．１以上０．７以下、最も好ましく
は０．１以上０．５以下である。すなわち、すべり摩擦
係数は小さい方がよいが、０．１より小さい値では、フ
ィルム搬送時にロールとの抵抗が小さ過ぎて、蛇行等の
不安定走行が生じる。

【００４３】本発明の表面改質された耐熱性フィルムの
静摩擦係数は、ＡＳＴＭ−１８９４に則り、フィルム同
士の面で測定した場合に０．２以上２以下、好ましくは
０．２以上１．５以下、さらに好ましくは０．２以上１
以下、最も好ましくは０．２以上０．７以下である。す
なわち、静摩擦係数が０．２より小さいと、フィルムを
巻き取った後、例えば輸送中にいわゆる巻ずれが生じた
りする。

【００４４】本発明の表面改質された耐熱性フィルムの
表面粗さは、ＺＹＧＯ社製の NewView200 with ZOOM
で測定長さが１００μｍ、カットオフ値０．００８ｍｍ
で測定されるＲａ値が１ｎｍ以上、好ましくは３ｎｍ以
上、さらに好ましくは５ｎｍ以上であることが好まし
い。上限は、好ましくは、２００ｎｍであり、より好ま
しくは１００ｎｍであり、特に好ましくは５０ｎｍであ
る。すなわち、２００ｎｍより大きいと、ＦＰＣや磁気
記録媒体などのベース材料として使用する際に、接着剤
や磁性体等を塗工する場合に、接着剤や磁性体をはじい
たりして、均一な被覆ができない、などの問題が生じ
る。

【００４５】本発明の表面改質効果の発現は、フィルム
表面に微細な突起が形成されたことにより、フィルム搬
送時のロール等との接触面積あるいは巻き取られた後の
フィルム同士の接触面積が減ったことによると推測され
る。

【００４６】以下に本発明の好ましい態様を実施例で説
明するが、これらの実施例は本発明を説明するためのも
のであり、限定するためのものではない。当業者は、本
発明の範囲を逸脱することなく種々の変更、修正、及び
改変を行い得る。

【００４７】

【実施例】（実施例１）Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド
に４，４' −ジアミノジフェニルエーテルを溶解させ、
さらに粒径１〜５μｍを主体とするＣａＨＰＯ₄を添加
して十分に攪拌し分散させる。次いでピロメリット酸二
無水物を４，４' −ジアミノジフェニルエーテルに対し
て９７ｍｏｌ％まで粉末のまま添加し、さらにピロメリ
ット酸二無水物のＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミドの７％
溶液を、ピロメリット酸二無水物の総量が４，４' −ジ
アミノジフェニルエーテルに対しておよそ等モル（１０
０ｍｏｌ％）になるよう添加し、３５００ポイズのポリ
アミド酸溶液を得た。反応は窒素雰囲気中で行われ、ポ
リアミド酸溶液濃度は最終的に１５ｗｔ％となるよう設
定した。

【００４８】得られたポリアミド酸溶液に、アミド酸残
基に対して、無水酢酸を２倍モル量及びイソキノリンを
０．２倍モル量混合した後、エンドレスベルト上にキャ
ストし、１００℃で５分乾燥して得られる自己支持性の
フィルムを引き剥し、次いで端部を固定した後テンター
炉にて段階的に昇温して最終的に５００℃で１分焼成
し、厚み１２．５μｍのポリイミドフィルム長尺品を得
た。

【００４９】次にこのフィルムを常圧プラズマ処理し
た。この時のガス組成はＡｒ／Ｈｅ／Ｏ２＝８０／２０
／３（ＶＯＬ／ＶＯＬ）で圧力は７６０Ｔｏｒｒとし
た。内部に冷媒として水を通した鉄製の棒状電極を、厚
さ１ｍｍのガラスで被覆した高電圧印加電極を２５対配
置し、周波数５ＫＨｚ、出力５ＫＷの条件で形成された
グロー放電を、走行速度５ｍ／ｍｉｎ（処理電力密度１
０００Ｗ・ｍｉｎ／ｍ）のフィルムに施して処理し、巻
き取った。

【００５０】（実施例２）実施例１と同様にして厚み
７．５μｍのポリイミドフィルム長尺品を得た。このフ
ィルムに実施例１と同条件で常圧プラズマ処理を施して
巻き取った。

【００５１】（実施例３）ジアミン成分として４，４'
−ジアミノジフェニルエーテルとパラフェニレンジアミ
ンを全ジアミン成分に対しそれぞれ７０モル％および３
０モル％用い、酸成分として３，３' ，４，４' −ビフ
ェニルテトラカルボン酸２無水物とピロメリット酸二無
水物を全酸二無水物成分に対し４０モル％および６０モ
ル％用いる他は実施例１と同様にして厚み１２．５μｍ
のポリイミドフィルム長尺品を得た。但し、ピロメリッ
ト酸二無水物は、５７モル％と３モル％に分割し、３モ
ル％相当は、実施例１と同様にＤＭＦ溶液として添加し
た。このフィルムに実施例１と同条件で常圧プラズマ処
理を施して巻き取った。

【００５２】（実施例４）Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミ
ドに４，４' −ジアミノジフェニルエーテルを酸無水物
成分あるいは全ジアミン成分に対して７０ｍｏｌ％の量
を溶解させた。次いでピロメリット酸二無水物を粉末の
まま全量添加して溶解させる。次いで粒径１〜５μｍを
主体とするＣａＨＰＯ₄をＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミ
ドに十分に分散させた懸濁液（１０ｗｔ％）を添加して
十分に攪拌混合する。このプレポリマー溶液に、パラフ
ェニレンジアミンのＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミドの溶
液（濃度１０ｗｔ％）を、全ジアミン成分に対して約３
０ｍｏｌ％の量添加し、３５００ポイズのポリアミド酸
溶液を得た。反応は窒素雰囲気中で行われ、ポリアミド
酸溶液濃度は最終的に１５ｗｔ％となるよう設定した。

【００５３】得られたポリアミド酸溶液に、アミド酸残
基に対して無水酢酸を、２倍モル量及びイソキノリンを
同０．２倍モル量混合した後、エンドレスベルト上にキ
ャストし、１００℃で５分乾燥して得られる自己支持性
のフィルムを引き剥し、次いで端部を固定した後テンタ
ー炉にて段階的に昇温して最終的に５００℃で１分焼成
し、厚み１０μｍのポリイミドフィルム長尺品を得た。

【００５４】次にこのフィルムを常圧プラズマ処理し
た。この時のガス組成はＡｒ／Ｈｅ／Ｎ２＝６０／４０
／５（ＶＯＬ／ＶＯＬ）で圧力は７６０Ｔｏｒｒとし
た。内部に冷媒として水を通した鉄製の棒状電極を、厚
さ１ｍｍのガラスで被覆した高電圧印加電極を２５対配
置し、周波数５ＫＨｚ、出力４．５ＫＷの条件で形成さ
れたグロー放電を、走行速度２．５ｍ／ｍｉｎ（処理電
力密度１８００Ｗ・ｍｉｎ／ｍ）のフィルムに施して処
理し、巻き取った。

【００５５】（比較例１）ポリアミド酸の溶液を合成す
る工程でＣａＨＰＯ₄を添加しないほかは、実施例１と
同様の方法で厚み１２．５μｍのポリイミドフィルム長
尺品を得た。得られたフィルムを実施例１と同様の条件
で常圧プラズマ処理を施そうと試みたが、安定的に走行
せず巻き取ることができなかった。

【００５６】（比較例２）ポリアミド酸の溶液を合成す
る工程でＣａＨＰＯ₄を添加しないほかは、実施例４と
同様の方法で厚み１０μｍのポリイミドフィルム長尺品
を得た。

【００５７】得られたフィルムを実施例４と同様の条件
で常圧プラズマ処理を施した。辛うじて安定走行を確保
して巻き取ることができたが、繰り出そうとしたとこ
ろ、フィルム同士の密着が強く、安定的に繰り出すこと
ができなかった。

【００５８】実施例１〜４および比較例１〜２で得られ
た耐熱性フィルムの特性を表１に示す。なお、フィルム
帯電量の測定は、春日電機（株）製ＫＳ−４７１を用
い、フィルムロール中央部から１０ｃｍの位置に測定器
をセットして５ｍ／分の速度でフィルムを繰り出して行
なった。但し、表示される＋／−については無視して絶
対値として評価した。

【００５９】

【表１】

【００６０】表中、「測定不能」とあるのは、すべり摩
擦係数が大きいことが原因と見られるスティックスリッ
プ現象の為に、測定ができなかったことを示す。

【００６１】

【発明の効果】本発明の耐熱性フィルムの表面改質方法
によれば、高電力密度での放電処理を行っても、安定的
に製造できかつ均質な表面改質が可能となる。

【００６２】また、処理後のフィルムは次工程で使用さ
れる際にも安定的にロールツーロールでの繰り出し及び
搬送が可能となる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 4F071 AA60 AB18 AB25 AB26 AD02 AF27Y AF28 AF28Y AF45 AG16 BA02 BB02 BC01 BC08 BC16 4F073 AA01 BA16 BA25 BA31 BA32 BA52 BB01 CA01 4J002 BD151 CF161 CL001 CM041 CN031 DE136 DH046 DJ016 GQ01 GQ05

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】無機微細粒子によって耐熱性フィルムの
表面に微細な突起を形成させた後、プラズマ放電処理を
施してなることを特徴とする耐熱性フィルムの表面改質
方法。
【請求項２】前記無機微細粒子が、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ
₂、ＣａＨＰＯ₄、およびＣａ₂Ｐ₂Ｏ₇からなる群よ
り選択される少なくとも１種であることを特徴とする請
求項１に記載の耐熱性フィルムの表面改質方法。
【請求項３】請求項１または２に記載の耐熱性フィル
ムの表面改質方法によって表面改質された耐熱性フィル
ム。
【請求項４】すべり摩擦係数が０．１〜１、静摩擦係
数が０．２〜２、および表面粗さ（Ｒａ値）が１ｎｍ〜
２００ｎｍであることを特徴とする請求項３に記載の表
面改質された耐熱性フィルム。