JP2000186148A - 球状ポリメチルシルセスキオキサン微粒子の製造方法 - Google Patents

球状ポリメチルシルセスキオキサン微粒子の製造方法

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JP2000186148A JP10363101A JP36310198A JP2000186148A JP 2000186148 A JP2000186148 A JP 2000186148A JP 10363101 A JP10363101 A JP 10363101A JP 36310198 A JP36310198 A JP 36310198A JP 2000186148 A JP2000186148 A JP 2000186148A
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 平均粒子径と、平均粒子径に対する標準偏差
のばらつきを制御可能な球状ポリメチルシルセスキオキ
サン微粒子。 【解決手段】 (A)一般式:CH3 Si(OR)3
……(I)(式中、Rは置換または非置換のアルキル基
を表す)で表されるメチルトリアルコキシシランを、2
〜600μS/cmの電気伝導度に調整した酸性水中で
加水分解して、一般式:CH3 Si(OH)3 ……
(II)で表されるメチルシラントリオールおよび/また
はその部分縮合物の水/アルコール溶液を得る工程と、
(B)メチルシラントリオールおよび/またはその部分
縮合物の水/アルコール溶液に、アルカリ性水溶液を添
加、混合し、この混合溶液を静置状態において、メチル
シラントリオールおよび/またはその部分縮合物を重縮
合反応させ、球状ポリメチルシルセスキオキサン微粒子
を形成させる工程とを含むことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、球状ポリメチルシ
ルセスキオキサン微粒子の製造方法に関し、さらに詳し
くは、平均粒子径と、平均粒子径に対する標準偏差のば
らつきを制御可能な球状ポリメチルシルセスキオキサン
微粒子を効率よく製造する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、球状ポリメチルシルセスキオ
キサン微粒子を得る方法としては、次のような方法が知
られている。
【0003】特開昭63−77940号公報には、メチ
ルトリアルコキシシランおよび/またはその部分加水分
解物、あるいはメチルトリアルコキシシランおよび/ま
たはその部分加水分解物と有機溶剤との混合液を上層に
し、アンモニアおよび/またはアミンと有機溶剤の混合
液を下層にして、これらの界面でメチルトリアルコキシ
シランおよび/またはその部分加水分解物を加水分解・
重縮合させて、粒子の形状が真球状で、粒度分布が平均
粒子径の±30%の範囲である球状ポリメチルシルセス
キオキサン微粒子を得る方法が開示されている。
【0004】この製造方法で得られたポリメチルシルセ
スキオキサン微粒子は、粒子の形状が真球状で、疎水性
が高く、凝集性が小さく、比重が小さいという特徴を有
している。
【0005】このような特性を生かして、このポリメチ
ルシルセスキオキサン微粒子は、塗料、プラスチック、
ゴム、化粧品、紙などへの滑り性付与、分散性向上、光
拡散機能付加を目的とした改質用添加剤として用いられ
ている。
【0006】しかしながら、このような球状ポリメチル
シルセスキオキサン微粒子の製造方法は、メチルトリア
ルコキシシランおよび/またはその部分加水分解物を加
水分解・重縮合する反応界面の維持が繁雑であり、時間
と装置容積に対する生産効率が低いという問題点があ
る。
【0007】この問題点を解決するため、本発明者らの
ひとりはオルガノトリアルコキシシランを加水分解して
得られるオルガノシラントリオールおよび/またはその
部分縮合物の水/アルコール溶液に、アルカリ性水溶液
を添加して、混合後、静置することからな球状ポリメチ
ルシルセスキオキサン微粒子の製造方法を提案した(特
願平8−203484号)。
【0008】この製造方法によると、加水分解・重縮合
する反応界面の繁雑な維持を必要とせず、したがって均
一な反応状態によって加水分解・重縮合反応を行うこと
ができ、時間と装置容積に対する生産効率か大幅に改善
される。
【0009】この製造方法で得られる球状ポリメチルシ
ルセスキオキサン微粒子は,それ以前に提案された製造
方法に比較して、平均粒子径が制御されている。
【0010】このため、この製造方法で得られる球状ポ
リメチルシルセスキオキサン微粒子は、プラスチックに
配合して液晶表示装置の光拡散板を製造するための光拡
散材料や、高画質用ビデオテープの走行安定性を高める
ための滑り性付与剤として用いられている。
【0011】ところで、最近、球状ポリメチルシルセス
キオキサン微粒子を配合した応用製品が増えるにつれ
て、応用製品のさらなる性能の向上を目的として、粒子
径の単分散化、つまり平均粒子径に対する標準偏差の低
減(ばらつきの減少)が望まれるようになってきてい
る。
【0012】しかしながら、上記した従来の方法では、
平均粒子径と標準偏差の精密な制御を同時に行うことが
できないという問題があった。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる従来
の問題を解消すべくなされたもので、平均粒子径が1〜
10μmの範囲で、しかも平均粒子径に対する標準偏差
のばらつきの小さい、好ましくは標準偏差が平均粒子径
の10%以下に精密に制御された球状ポリメチルシルセ
スキオキサン微粒子を効率よく製造できる方法を提供す
ることを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記の目
的を達成するために検討を重ねた結果、メチルトリアル
コキシシランを加水分解してメチルシラントリオールお
よび/またはそのその部分縮合物の水/アルコール溶液
を得る工程において、加水分解に用いる水の電気伝導度
を加水分解用の酸触媒により2〜600μS/cmに調
整して加水分解反応を制御し、このようにして得られた
メチルシラントリオールおよび/またはその部分縮合物
の水/アルコール溶液に、アルカリ性水/溶液を添加し
て、速やかに均一混合した後、静置することにより、上
記の目的を達成し得ることを見出して、本発明を完成す
るに至った。
【0015】すなわち、本発明の球状ポリメチルシルセ
スキオキサン微粒子の製造方法は、 (A)一般式: CH3 Si(OR)3 ……(I) (式中、Rは置換または非置換のアルキル基を表す)で
表されるメチルトリアルコキシシランを、2〜600μ
S/cmの電気伝導度に調整した酸性水中で加水分解し
て、 一般式: CH3 Si(OH)3 ……(II) で表されるメチルシラントリオールおよび/またはその
部分縮合物の水/アルコール溶液を得る工程と、(B)
前記メチルシラントリオールおよび/またはその部分縮
合物の水/アルコール溶液に、アルカリ性水溶液を添
加、混合し、この混合溶液を静置状態において、前記メ
チルシラントリオールおよび/またはその部分縮合物を
重縮合反応させ、球状ポリメチルシルセスキオキサン微
粒子を形成させる工程とを含むことを特徴としている。
【0016】なお、本発明において、酸やアルカリの濃
度単位に電気伝導度を用いたのは、酸やアルカリの使用
量が非常に小さく重量単位では誤差が大きくなるためで
ある。
【0017】
【発明の実施の形態】本発明の製造方法の第一工程
((A)の工程)は、前記一般式(I)で表されるメチ
ルトリアルコキシシランを、水に酸性触媒を加えて、2
〜600μS/cmの電気伝導度に調整した酸性水中で
加水分解して、前記一般式(II)で表されるメチルシラ
ントリオールおよび/またはその部分縮合物の水/アル
コール溶液を得る工程である。
【0018】本発明に用いられるメチルトリアルコキシ
シランとしては、例えば公知の方法によりメチルトリク
ロロシランを適当なアルコールでアルコキシ化したもの
を使用し得る。すなわち、一般式(I)におけるRが、
メチル、エチル、ブチルのようなアルキル基;および2
−メトキシエチル、2−エトキシエチル、2−プロポキ
シエチル、2ブトキシエチルのようなアルコキシ置換炭
化水素基であるものが例示され、加水分解速度が大きい
ことから、メチル、エチル、および2−メトキシエチル
基が好ましく、特にメチル基が好ましい。このような好
ましいメチルトリアルコキシシランとしては、メチルト
リメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチル
トリ−n−プロポキシシラン、メチルトリイソプロポキ
シシランおよびメチルトリス(2−メトキシエトキシ)
シランが例示され、1種又は2種以上混合したものが用
いられる。
【0019】メチルトリアルコキシシランの加水分解
は、水に酸性触媒を加えて、2〜600μS/cmの電
気伝導度に調整した酸性水中で行われる。
【0020】酸性触媒に用いられる酸としては、有機
酸、無機酸のいずれも使用可能である。
【0021】有機酸としては、ギ酸、酢酸、プロピオン
酸、シュウ酸、クエン酸などを例示することができる
が、電気伝導度の制御が容易で、かつ生成したポリメチ
ルシラントリオールの部分縮合反応の制御が容易である
ことから、酢酸が特に好ましい。
【0022】無機酸としては、最終的に得られるポリメ
チルシルセスキオキサン微粒子の用途を制限するような
イオン性物質などの不純物を残さないものであればどの
ような無機酸も使用可能であるが、入手が容易であるこ
とから、塩酸が特に好ましい。
【0023】なお、メチルトリアルコキシシランに不純
物として微量含有される塩化水素やメチルトリクロロシ
ランのようなオルガノクロロシラン類の存在は、加水分
解に使用する水の電気伝導度を変動させ加水分解反応に
影響を与えて、最終的に得られるポリメチルシルセスキ
オキサン微粒子の平均粒子径および、その標準偏差の精
密な制御という本発明の目的達成のための障害となるの
で、極力避けなければならない。
【0024】加水分解に使用する水しては、電気伝導度
が2μS/cm以下のイオン交換水が適している。
【0025】酸の使用量は、使用する水の量により異な
るため、酸を水に溶かした酸水溶液の電気伝導度により
管理することが望ましい。
【0026】本発明における加水分解に用いる酸水溶液
の電気伝導度は2〜600μS/cmである。2μS/
cm未満の場合、十分な加水分解の進行が得られず、粒
度分布の標準偏差が平均粒子径の10%より大きい、つ
まり粒子径のばらつきの大きいポリメチルシルセスキオ
キサン微粒子になりやすい。
【0027】また、電気伝導度が600μS/cmを超
える場合、加水分解反応が制御しづらく、最終的に得ら
れるポリメチルシルセスキオキサン微粒子の平均粒子径
の任意の制御ができなくなる。
【0028】加水分解反応に用いる水の量は、メチルト
リアルコキシシラン1モルに対して1〜50モルの範囲
にあることが好ましい。水の量が1モル未満の場合、加
水分解が十分に進行せず、50モルを超える場合には、
最終的に得られるポリメチルシルセスキオキサン微粒子
の収量が低下して生産効率が低下するようになる。
【0029】ポリメチルシルセスキオキサン微粒子の平
均粒子径は、加水分解時に使用する水の量により制御す
ることができる。また、平均粒子径の標準偏差は、加水
分解時の電気伝導度により制御することが可能である。
【0030】加水分解反応は特に制限されないが、メチ
ルシラントリオールおよび/またはその部分縮合物を収
率良く、なおかつ平均粒子径およびその標準偏差を精度
良く制御するには、10〜60℃の範囲の温度を1〜6
時間保持した状態で反応を行うことが好ましい。
【0031】このようにして、第一工程にで用いられた
メチルトリアルコキシシランの加水分解によって、メチ
ルシラントリオールおよび/またはその部分縮合物が、
加水分解に消費された以外の過剰の水と、反応によって
生成したアルコールまたは置換アルコールとの混合液に
溶解した溶液の形で得られる。
【0032】本発明の製造方法の第二工程((B)の工
程)は、第一工程で得られた、または、さらに水で希釈
して得られたメチルシラントリオールおよび/またはそ
の部分縮合物の水/アルコール溶液(以下、シラノ一ル
溶液という)から、重縮合反応により、球状ポリメチル
シルセスキオキサン微粒子を得る工程である。
【0033】この第二工程の反応は、第一工程で得られ
たシラノ一ル溶液にアルカリ性水溶液を速やかに添加、
混合し、均一に混合された反応系を、さらに速やかに静
置状態に置くことによって行われる。
【0034】第二工程で用いられるアルカリ性水溶液
は、塩基性を示す水溶液であり、第一工程で用いられた
酸の中和剤として作用するとともに、さらに第二工程の
重縮合反応の触媒としても作用する。
【0035】このようなアルカリ性水溶液に用いるアル
カリ性物質としては、水酸化リチウム、水酸化ナトリウ
ム、水酸化カリウムのようなアルカリ金属水酸化物;ア
ンモニア;およびモノメチルアミン、ジメチルアミンの
ような有機アミン類を例示することができる。これらの
中でも、得られる球状ポリメチルシルセスキオキサン微
粒子の用途を制限するような微量の不純物を残さないこ
とから、アンモニアおよび有機アミン類が好ましく、除
去が容易なことからアンモニアが特に好ましい。
【0036】アルカリ性水溶液の使用量は、酸を中和す
るとともに、重縮合反応の触媒として有効に作用する量
であり、また速やかに添加、混合し、均一に混合された
反応系を、ポリメチルシルセスキオキサン微粒子の生成
・析出の前に速やかに静置状態に置くことが可能な時間
を維持できる量である。
【0037】すなわち、中和に必要な量を超えることを
前提として、たとえば、濃度0.1〜0.5%のアンモ
ニア水溶液を、第一工程で得られた、またはさらに水で
希釈したシラノ一ル溶液100重量部に対して、0.5
〜5重量部である。
【0038】また第二工程における理論樹脂濃度は、
7.6%以下が好ましく、より好ましくは7.5%以下
である。
【0039】第二工程においては、シラノ一ル溶液を反
応容器に仕込み、該シラノ一ル溶液中に、上記のアルカ
リ性溶液を添加して、撹拌などの任意の手段により、速
やかに均一に混合する。添加方法は、最小限の混合時間
内に有効に添加できる方法であれば特に限定されず、シ
ラノ一ル溶液の上から添加しても、ノズルなどを介して
シラノ一ル溶液中に送入してもよい。混合時間は、アル
カリ触媒を反応系に溶解させるのに必要な、適切には最
小限の時間であり、たとえば、5〜30℃、好ましくは
10〜20℃の温度において、添加時間を含めて0.5
〜10分、好ましくは0.5〜3分かけて行う。
【0040】均一に混合した後、系を静置して、重縮合
を完結させる。静置は、好ましい平均粒子径および平均
粒子径の10%以下の標準偏差を可能にし、時間と装置
容積に対する効率も優れることから、たとえば上記の混
合温度のまま2〜24時間、好ましくは2〜10時間行
う。
【0041】標準偏差の小さい微粉末を得るには、静置
状態の確立完了から微粒子の生成・析出までの時間的な
間隔が大きいほうが好ましい。
【0042】第二工程で重縮合反応を行うことにより、
球状ポリメチルシルセスキオキサン微粒子を、水/アル
コール混合液中にディスバージョンまたはゾルとして得
ることができる。
【0043】本発明によって得られる球状ポリメチルシ
ルセスキオキサン微粒子は、このようなディスバージョ
ンまたはゾルの形のまま用いることができ、また、必要
に応じて、さらにろ過、乾燥、解砕などの適当な処理を
施して、微粉体として回収することもできる。
【0044】
【発明の効果】本発明の製造方法によれば、球状ポリメ
チルシルセスキオキサン微粒子の平均粒子径の制御と同
時に、標準偏差をも平均粒子径の10%以下に制御可能
である。
【0045】本発明の製造方法は、従来法では平均粒子
径の制御と同時に、標準偏差を平均粒子径の10%以下
に制御することが困難であつた1〜10μmの平均粒径
領域における球状ポリメチルシルセスキオキサン微粒子
の製造に適用するときに、最も効果的である。
【0046】本発明の製造方法によって得られた球状ポ
リメチルシルセスキオキサン微粒子は、有機溶媒に不溶
で、しかも非溶融性であり、その表面は撥水性および潤
滑性に優れ、無機系粉末より比重が小さい一方で、有機
系粉末より耐熱性に優れ、そのうえ凝集性が少なく、分
散性に優れるという特徴を有している。さらに最大の特
徴として、平均粒子径の標準偏差が極めて小さく制御さ
れることによる粒子径の均一化により、これまでにない
滑り性およびころがり性付与にすぐれ、なおかつ均一な
光反射あるいは光拡散作用を有する。
【0047】したがって、このような特徴を生かして、
塗料、プラスチック、ゴム、紙、化粧品などに充填剤や
滑り性向上剤として、あるいは光学液晶表示装置への光
拡散機能付加を目的としたプラスチック改質用添加剤と
して有用である。
【0048】
【実施例】以下、実施例および比較例によって、本発明
をさらに詳しく説明する。これらの例において、部は重
量部を表す。本発明は、これらの実施例によって限定さ
れるものではない。
【0049】[実施例1]第1工程 温度計、還流器および撹拌器を備えた反応容器に、電気
伝導度計(東亜電波工業(株)製 CM‐11P)を用
いて測定した電気伝導度が1.02μS/cmの水36
00部を仕込み、酢酸を添加して混合溶液の電気伝導度
を5.19μS/cmとした。この溶液を25℃で撹拌
しながら、この中にメチルトリメトキシシラン600部
を添加したところ、加水分解が進行し、約15分で温度
が35℃まで上昇した。さらに撹拌を2時間継続したの
ち、18℃まで冷却してシラノ一ル溶液を得た。このシ
ラノ一ル溶液の電気伝導度は3.76μS/cmであっ
た。
【0050】第2工程 第1工程で得られたシラノ一ル溶液を18℃で撹拌しな
がら、0.37%のアンモニア水溶液を130部添加
し、3分間撹拌したのち、撹拌を停止して4時間静置し
た。この工程において、アンモニア水溶液を添加して約
9分後に粒子が祈出して反応容器全体が白濁した。
【0051】この反応溶液を4時間静置した後、200
メッシュの金網を通過させてから、吸引ろ過を行い湿ケ
ーキを得た。これを200℃で12時間乾燥し、白色粉
末を得た。
【0052】この粉末を電子顕微鏡で観察したところ粒
子形状は真球状であった。この粉末を粒度分布測定装置
(COULTER(株)製 LS100Q)を用い、屈
折率を1.425に設定して測定したところ、平均粒子
径は4.645μm、標準偏差は0.44μmであっ
た。
【0053】この粉末を磁性るつぼに入れ、空気中で9
00℃に加熱して熱分解させたところ、残量は89.0
%であった。これはポリメチルシルセスキオキサンが酸
化熱分解して二酸化ケイ素になる理論量の89.6%に
近い値である。また、この熱分解物をX線分析した結
果、非晶質シリカであることが確認された。
【0054】[実施例2]第1工程 温度計、還流器および撹拌器を備えた反応容器に、電気
伝導度1.37μS/cmの水400部を仕込み、さら
に塩酸を添加して混合溶液の電気伝導度を4.97μS
/cmとした。この溶液を25℃で撹拌しながら、メチ
ルトリメトキシシラン600部を添加したところ、加水
分解が進行し、約27分で温度が36℃まで上昇した。
さらに撹拌を1時間半継続して、均一なシラノ一ル溶液
を得た。
【0055】第2工程 第1工程で得られたシラノ一ル溶液に水3200部を添
加して均一な溶液とした。このシラノール溶液の電気伝
導度は2.36μS/cmであった。このシラノール溶
液を13℃まで冷却し、そのままの温度で撹拌を続けな
がら、0.37%のアンモニア水溶液を130部添加
し、3分間撹拌したのち、撹拌を停止して4時間静置し
た。
【0056】この工程において、アンモニア水溶液を添
加して約12分後に粒子が析出して反応容器全体が白濁
した。4時間静置後の反応溶液を、200メッシュの金
網を通過させてから、吸引ろ過を行い湿ケーキを得た。
これを200℃で12時間乾燥し、白色粉末を得た。
【0057】この粉末を電子顕微鏡で観察したところ粒
子形状は真球状であった。この粉末を粒度分布測定装置
で測定したところ、平均粒子径は1.774μm、標準
偏差は0.15μmであつた。
【0058】[実施例3〜10]仕込む水の量を表1の
ようにした以外は実施例2と同様にしてポリメチルシル
セスキオキサン微粒子を得た。得られた粒子の形状、平
均粒子径および標準偏差を表1に示した。
【0059】得られた粒子の形状、平均粒子径および標
準偏差を表1に示した。
【0060】
【表1】 これらの実施例は、第一工程でのシラン1モルに対する
水のモル数と塩酸添加後の伝導度(塩酸の添加量)を変
化させ、第二工程で使用するアンモニア量を固定し、な
おかつ添加する水の量を制御しすべての実施例における
樹脂分濃度を固定したものである。これらの実施例から
粒径の変化や標準偏差の保持が第二工程のアンモニア量
に影響されないことがわかる。
【0061】[実施例11〜14]加水分解反応終了後
に添加する水の量を表2のようにした以外は実施例2と
同様にしてポリメチルシルセスキオキサン微粒子を得
た。得られた粒子の形状、平均粒子径および標準偏差を
表2に示した。
【0062】
【表2】 これらの実施例と以下の実験例は、第二工程における理
論樹脂分が標準偏差に与える影響を検討したもので、理
論樹脂濃度が7.5%を越えた比較例において標準偏差
が大きくなっていることがわかる。
【0063】(実験例1〜3)加水分解反応終了後に添
加する水の量を表2のようにした以外は実施例2と同様
にしてポリメチルシルセスキオキサン微粒子を得た。得
られた粒子の形状、平均粒子径および標準偏差を第2表
に示した。これらの標準偏差は実施例11〜14に比し
て大きなものであつた。
【0064】[実施例15〜17]第2工程において添
加するアンモニア水の量を表3のようにした以外は実施
例1と同様にしてポリメチルシルセスキオキサン微粒子
を得た。得られた粒子の形状、平均粒子径および標準偏
差を表3に示した。
【0065】
【表3】 これらの実施例は、酸の種類による影響を検討したもの
であるが、酸の種類は影響がないことがわかる。
【0066】[実験例4〜8]第1工程において添加す
るメチルトリメトキシシランの量を表4のようにし、第
2工程において添加するアンモニア水の量を150部に
した以外は実施例1と同様にしてポリメチルシルセスキ
オキサン微粒子を得た。得られた粒子の形状、平均粒子
径および標準偏差を第4表に示した。これらの標準偏差
は実施例に示された同様の粒子径を持つ粒子に比して大
きいものであった。
【0067】
【表4】 これらの実験例は、第二工程での水による稀釈の有無
(第一工程での理論樹脂分)および理論樹脂濃度の影響
を比較したものであるが、稀釈による影響はなく、理論
樹脂濃度が標準偏差に影響していることがわかる。
【0068】

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (A)一般式: CH3 Si(OR)3 ……(I) (式中、Rは置換または非置換のアルキル基を表す)で
    表されるメチルトリアルコキシシランを、2〜600μ
    S/cmの電気伝導度に調整した酸性水中で加水分解し
    て、 一般式: CH3 Si(OH)3 ……(II) で表されるメチルシラントリオールおよび/またはその
    部分縮合物の水/アルコール溶液を得る工程と、 (B)前記メチルシラントリオールおよび/またはその
    部分縮合物の水/アルコール溶液に、アルカリ性水溶液
    を添加、混合し、この混合溶液を静置状態において、前
    記メチルシラントリオールおよび/またはその部分縮合
    物を重縮合反応させ、球状ポリメチルシルセスキオキサ
    ン微粒子を形成させる工程とを含むことを特徴とする球
    状ポリメチルシルセスキオキサン微粒子の製造方法。
  2. 【請求項2】 前記(A)の工程において、 メチルトリアルコキシシランを加水分解するときに使用
    する水の量を、メチルトリアルコキシシラン1モルに対
    して1〜50モルの範囲とし、この水に酸性触媒を加え
    て、2〜600μS/cmの電気伝導度に調整した酸性
    水中で前記メチルトリアルコキシシランの加水分解を行
    わせることを特徴とする請求項1に記載の球状ポリメチ
    ルシルセスキオキサン微粒子の製造方法。
  3. 【請求項3】 前記(B)の工程において、理論樹脂濃
    度が7.6%以下で加水分解を行わせることを特徴とす
    る請求項1又は2記載の球状ポリメチルシルセスキオキ
    サン微粒子の製造方法。
  4. 【請求項4】 加水分解に使用する酸性にされる前の水
    が電気伝導度2μS/cm以下のイオン交換水であるこ
    とを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の球
    状ポリメチルシルセスキオキサン微粒子の製造方法。
  5. 【請求項5】 加水分解反応が、10〜60℃の範囲の
    温度で、1〜6時間を要して行われることを特徴とする
    請求項1乃至3のいずれか1項記載の球状ポリメチルシ
    ルセスキオキサン微粒子の製造方法。
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