JP2000026548A - 薄膜形成ポリマ― - Google Patents
薄膜形成ポリマ―Info
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- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F232/00—Copolymers of cyclic compounds containing no unsaturated aliphatic radicals in a side chain, and having one or more carbon-to-carbon double bonds in a carbocyclic ring system
- C08F232/02—Copolymers of cyclic compounds containing no unsaturated aliphatic radicals in a side chain, and having one or more carbon-to-carbon double bonds in a carbocyclic ring system having no condensed rings
- C08F232/04—Copolymers of cyclic compounds containing no unsaturated aliphatic radicals in a side chain, and having one or more carbon-to-carbon double bonds in a carbocyclic ring system having no condensed rings having one carbon-to-carbon double bond
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F222/00—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a carboxyl radical and containing at least one other carboxyl radical in the molecule; Salts, anhydrides, esters, amides, imides, or nitriles thereof
- C08F222/10—Esters
- C08F222/12—Esters of phenols or saturated alcohols
- C08F222/16—Esters having free carboxylic acid groups, e.g. monoalkyl maleates or fumarates
- C08F222/165—Esters having free carboxylic acid groups, e.g. monoalkyl maleates or fumarates the ester chains containing seven or more carbon atoms
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C08F230/00—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and containing phosphorus, selenium, tellurium or a metal
- C08F230/04—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and containing phosphorus, selenium, tellurium or a metal containing a metal
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/075—Silicon-containing compounds
- G03F7/0757—Macromolecular compounds containing Si-O, Si-C or Si-N bonds
- G03F7/0758—Macromolecular compounds containing Si-O, Si-C or Si-N bonds with silicon- containing groups in the side chains
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C08F230/04—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and containing phosphorus, selenium, tellurium or a metal containing a metal
- C08F230/08—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and containing phosphorus, selenium, tellurium or a metal containing a metal containing silicon
- C08F230/085—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and containing phosphorus, selenium, tellurium or a metal containing a metal containing silicon the monomer being a polymerisable silane, e.g. (meth)acryloyloxy trialkoxy silanes or vinyl trialkoxysilanes
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 種々の用途、特にフォトレジストに使用する
ことのできる１，２−ジカルボン酸半エステル群族を有
する薄膜形成性の機能性ポリマーを提供する。 【解決手段】 酸不安定性で耐加水分解性ポリマー成分
（Ａ）と耐熱性ポリマー成分（Ｂ）を有する１，２−ジ
カルボン酸半エステル群族を有する機能性ポリマーを形
成する。
ことのできる１，２−ジカルボン酸半エステル群族を有
する薄膜形成性の機能性ポリマーを提供する。 【解決手段】 酸不安定性で耐加水分解性ポリマー成分
（Ａ）と耐熱性ポリマー成分（Ｂ）を有する１，２−ジ
カルボン酸半エステル群族を有する機能性ポリマーを形
成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は１，２−ジカルボン
酸半エステル群族を有する新規の薄膜形成性の機能性ポ
リマーに関する。
酸半エステル群族を有する新規の薄膜形成性の機能性ポ
リマーに関する。
【０００２】
【従来の技術】かなり以前から公知である薄膜形成性の
機能性ポリマーは金属、紙及び織物の被覆に並びに例え
ばヘアスプレーのような化粧品産業に使用されている。
製薬産業でもこのようなポリマーは、例えばカプセル化
又は作用物質の固定化に使用されている。エレクトロニ
クス用途には例えばＮＬＯポリマー、即ち非線形光学活
性ポリマー、及びフォトラッカ（フォトレジスト）の分
野に使用されている。後者の場合ポリマーと光活性、即
ち放射線感受性成分から成る混合物が例えば半導体デバ
イスの構造化に使用されている。この場合最も重要な要
件は露光波長でのポリマーの高い透明性である。同様の
要件は印刷回路板技術で又は光硬化法で使用されるポリ
マーにも課せられる。
機能性ポリマーは金属、紙及び織物の被覆に並びに例え
ばヘアスプレーのような化粧品産業に使用されている。
製薬産業でもこのようなポリマーは、例えばカプセル化
又は作用物質の固定化に使用されている。エレクトロニ
クス用途には例えばＮＬＯポリマー、即ち非線形光学活
性ポリマー、及びフォトラッカ（フォトレジスト）の分
野に使用されている。後者の場合ポリマーと光活性、即
ち放射線感受性成分から成る混合物が例えば半導体デバ
イスの構造化に使用されている。この場合最も重要な要
件は露光波長でのポリマーの高い透明性である。同様の
要件は印刷回路板技術で又は光硬化法で使用されるポリ
マーにも課せられる。
【０００３】マレイン酸コポリマーの半エステル（モノ
エステル）の生成及びそれらのフォトレジストへの使用
は例えば国際特許出願公表第９６／２４６２１号明細書
から公知である。同様に国際特許出願公表第９７／１４
０７９号明細書からビシナルのジカルボン酸モノエステ
ル群族を有するポリマーをフォトレジストに使用するこ
とも公知である。国際特許出願公表第８９／０７７８６
号明細書には無水マレイン酸及び環状脂肪族炭化水素か
ら成るコポリマーのアルコール分解について記載されて
いる。
エステル）の生成及びそれらのフォトレジストへの使用
は例えば国際特許出願公表第９６／２４６２１号明細書
から公知である。同様に国際特許出願公表第９７／１４
０７９号明細書からビシナルのジカルボン酸モノエステ
ル群族を有するポリマーをフォトレジストに使用するこ
とも公知である。国際特許出願公表第８９／０７７８６
号明細書には無水マレイン酸及び環状脂肪族炭化水素か
ら成るコポリマーのアルコール分解について記載されて
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、種々
の用途に適し、特にフォトレジストに使用することので
きる、１，２−ジカルボン酸半エステル群族を有する新
規の薄膜形成性の機能性ポリマーを提供することにあ
る。
の用途に適し、特にフォトレジストに使用することので
きる、１，２−ジカルボン酸半エステル群族を有する新
規の薄膜形成性の機能性ポリマーを提供することにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この課題は本発明によ
り、以下の構造
り、以下の構造
【化６】 １〜９９モル％の分量の酸不安定性で耐加水分解性ポリ
マー成分（Ａ）と、以下の構造
マー成分（Ａ）と、以下の構造
【化７】 の９９〜１モル％の分量の耐熱性ポリマー成分（Ｂ）
［式中ｎ＝０、１、２又は３であり、Ｒ１は第３級炭素
原子を介して酸素原子に結合されている合わせて４〜１
０個の炭素原子を有する炭化水素基又は２−テトラヒド
ロフラニル基又は２−テトラヒドロピラニル基であり、
Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は−互いに独立して−Ｃ１〜Ｃ６−
アルキル又はＣ１〜Ｃ６−アルコキシ、Ｃ６〜Ｃ１８−
アリール又はＣ６〜Ｃ１８−アリールオキシ又はＣ６〜
Ｃ１８−アリール基及びＣ１〜Ｃ４−アルキレン基を有
するアラルキルであり、Ｒ５はＨ又はＣ１〜Ｃ６−アル
キルであり、ＸはＳｉ又はＳｎであり、ＹはＯ又はＮＨ
である］とを有する１，２−ジカルボン酸半エステル群
族を有する薄膜形成性機能性ポリマーにより解決され
る。
［式中ｎ＝０、１、２又は３であり、Ｒ１は第３級炭素
原子を介して酸素原子に結合されている合わせて４〜１
０個の炭素原子を有する炭化水素基又は２−テトラヒド
ロフラニル基又は２−テトラヒドロピラニル基であり、
Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は−互いに独立して−Ｃ１〜Ｃ６−
アルキル又はＣ１〜Ｃ６−アルコキシ、Ｃ６〜Ｃ１８−
アリール又はＣ６〜Ｃ１８−アリールオキシ又はＣ６〜
Ｃ１８−アリール基及びＣ１〜Ｃ４−アルキレン基を有
するアラルキルであり、Ｒ５はＨ又はＣ１〜Ｃ６−アル
キルであり、ＸはＳｉ又はＳｎであり、ＹはＯ又はＮＨ
である］とを有する１，２−ジカルボン酸半エステル群
族を有する薄膜形成性機能性ポリマーにより解決され
る。
【０００６】ポリマー成分（Ａ）及び（Ｂ）の分量は互
いに合わせて１００モル％とする。成分（Ａ）のポリマ
ーの分量は５〜５０モル％であると有利である。基Ｒ１
は例えばｔ−ブチル基（−Ｃ（ＣＨ３）３）、ｔ−ペン
チル基（−Ｃ（ＣＨ３）２−Ｃ２Ｈ５）又は１−アダマ
ンチル基（−Ｃ１０Ｈ１５）であってもよい。その他に
ポリマー成分（Ｂ）の主な特徴はその金属成分、即ちシ
リコン（Ｓｉ）又は錫（Ｓｎ）の存在にある。
いに合わせて１００モル％とする。成分（Ａ）のポリマ
ーの分量は５〜５０モル％であると有利である。基Ｒ１
は例えばｔ−ブチル基（−Ｃ（ＣＨ３）３）、ｔ−ペン
チル基（−Ｃ（ＣＨ３）２−Ｃ２Ｈ５）又は１−アダマ
ンチル基（−Ｃ１０Ｈ１５）であってもよい。その他に
ポリマー成分（Ｂ）の主な特徴はその金属成分、即ちシ
リコン（Ｓｉ）又は錫（Ｓｎ）の存在にある。
【０００７】本発明によるポリマーは−構造単位（１）
もしくは（２）及び（３）に相応して−鎖位又は側位に
１，２−ジカルボン酸半エステル群族を有する。鎖位の
群族を有する成分（Ａ）及び（Ｂ）から成るポリマーは
無水マレイン酸コポリマーをｔ−ブタノールと反応させ
ることにより生成可能である。しかしこの１，２−ジカ
ルボン酸−モノ−ｔ−ブチルエステル群族はフマル酸−
又はマレイン酸−モノ−ｔ−ブチルエステルの単独重合
又は共重合によりポリマーに導入可能である。
もしくは（２）及び（３）に相応して−鎖位又は側位に
１，２−ジカルボン酸半エステル群族を有する。鎖位の
群族を有する成分（Ａ）及び（Ｂ）から成るポリマーは
無水マレイン酸コポリマーをｔ−ブタノールと反応させ
ることにより生成可能である。しかしこの１，２−ジカ
ルボン酸−モノ−ｔ−ブチルエステル群族はフマル酸−
又はマレイン酸−モノ−ｔ−ブチルエステルの単独重合
又は共重合によりポリマーに導入可能である。
【０００８】側位の１，２−ジカルボン酸半エステル群
族、即ちポリマーの主鎖と直接結合されてなく主鎖の外
側にある群族を有するポリマーは、例えば１−アルキル
−２−（３−アルキレン−無水コハク酸）−エチレンと
の単独もしくは共重合により及び引続いてのｔ−ブタノ
ールとの反応又は１−アルキル−２−（３−アルキレン
−コハク酸−モノ−ｔ−ブチルエステル）−エチレンと
の単独重合により得ることができる。その他に構造単位
（３）の場合１，２−ジカルボン酸半エステル群族はノ
ルボルニル基を介してポリマーの主鎖と結合されてい
る。
族、即ちポリマーの主鎖と直接結合されてなく主鎖の外
側にある群族を有するポリマーは、例えば１−アルキル
−２−（３−アルキレン−無水コハク酸）−エチレンと
の単独もしくは共重合により及び引続いてのｔ−ブタノ
ールとの反応又は１−アルキル−２−（３−アルキレン
−コハク酸−モノ−ｔ−ブチルエステル）−エチレンと
の単独重合により得ることができる。その他に構造単位
（３）の場合１，２−ジカルボン酸半エステル群族はノ
ルボルニル基を介してポリマーの主鎖と結合されてい
る。
【０００９】本発明によるポリマーの生成には一般に成
分（Ａ）のモノマーが成分（Ｂ）の電子の豊富なモノマ
ーと共重合される。この共重合により一つには高い歩留
まりでポリマーが得られ、また一つにはこうしてポリマ
ーの物理的特性を調整することができる。従って例えば
一定のＳｉ含有量を実現することができる。
分（Ａ）のモノマーが成分（Ｂ）の電子の豊富なモノマ
ーと共重合される。この共重合により一つには高い歩留
まりでポリマーが得られ、また一つにはこうしてポリマ
ーの物理的特性を調整することができる。従って例えば
一定のＳｉ含有量を実現することができる。
【００１０】本発明によるポリマーは−成分（Ｂ）の他
に−有利には以下の構造
に−有利には以下の構造
【化８】 ［式中Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８及びＲ９は−互いに独立して−
Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６−アルキル、Ｃ６〜Ｃ１８−アリール、
ハロゲン、ＣＮ、メトキシフェニル又は以下の構造
Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６−アルキル、Ｃ６〜Ｃ１８−アリール、
ハロゲン、ＣＮ、メトキシフェニル又は以下の構造
【化９】 ［式中Ｒ１５はＨ、Ｃ１〜Ｃ６−アルキル、Ｃ６〜Ｃ１
８−アリール、ＣＨ２＝ＣＨ− （ビニル）、ＣＨ２＝
ＣＨ−ＣＨ２−（アリル）又はＣＨ２＝ＣＨ−ＣＯ−を
表す］の基を有するもう１つの耐熱性ポリマー成分
（Ｃ）を含む。
８−アリール、ＣＨ２＝ＣＨ− （ビニル）、ＣＨ２＝
ＣＨ−ＣＨ２−（アリル）又はＣＨ２＝ＣＨ−ＣＯ−を
表す］の基を有するもう１つの耐熱性ポリマー成分
（Ｃ）を含む。
【００１１】成分（Ａ）及び（Ｂ）もしくは成分
（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）を有するポリマーは有利には
以下の構造
（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）を有するポリマーは有利には
以下の構造
【化１０】 ［式中Ｒ１０はＨ、Ｃ１〜Ｃ６−アルキル、Ｃ２〜Ｃ６
−アルケニル、Ｃ６〜Ｃ１８−アリール、ハロゲン又は
ハロゲン置換されたＣ１〜Ｃ６−アルキルであり、Ｒ１
１及びＲ１２は−互いに独立して−線状のＣ１〜Ｃ１８
−アルキルであり、Ｒ１３及びＲ１４は−互いに独立し
て−線状のＣ１〜Ｃ１８−アルキル又はｔ−ブチルであ
る］のもう１つのポリマー成分（Ｄ）を付加的に含んで
いてもよい。
−アルケニル、Ｃ６〜Ｃ１８−アリール、ハロゲン又は
ハロゲン置換されたＣ１〜Ｃ６−アルキルであり、Ｒ１
１及びＲ１２は−互いに独立して−線状のＣ１〜Ｃ１８
−アルキルであり、Ｒ１３及びＲ１４は−互いに独立し
て−線状のＣ１〜Ｃ１８−アルキル又はｔ−ブチルであ
る］のもう１つのポリマー成分（Ｄ）を付加的に含んで
いてもよい。
【００１２】ポリマー成分（Ｄ）はポリマーの後処理を
可能にする反応基を有する。そのため成分（Ｄ）はイミ
ド類（構造単位７）又は無水物もしくはラクトン類（構
造単位８）もしくはジカルボン酸ジアルキルエステル類
（構造単位９）を含んでいる。無水コハク酸（構造単位
８ａ）又はグルタル酸無水物（構造単位８ｂ）は無水物
類に由来し、γ−ブチロラクトン（構造単位８ｃ）はラ
クトン類に由来する。
可能にする反応基を有する。そのため成分（Ｄ）はイミ
ド類（構造単位７）又は無水物もしくはラクトン類（構
造単位８）もしくはジカルボン酸ジアルキルエステル類
（構造単位９）を含んでいる。無水コハク酸（構造単位
８ａ）又はグルタル酸無水物（構造単位８ｂ）は無水物
類に由来し、γ−ブチロラクトン（構造単位８ｃ）はラ
クトン類に由来する。
【００１３】成分（Ｄ）の分量は１〜５０モル％であ
る。ポリマー成分（Ａ）＋（Ｂ）＋（Ｃ）、（Ａ）＋
（Ｂ）＋（Ｃ）＋（Ｄ）の分量はそれぞれ互いに合わせ
て１００モル％とする。適当なモノマー比の選択により
ガラス遷移温度及び溶解度のようなポリマー特性は目標
通りに調整することができる。
る。ポリマー成分（Ａ）＋（Ｂ）＋（Ｃ）、（Ａ）＋
（Ｂ）＋（Ｃ）＋（Ｄ）の分量はそれぞれ互いに合わせ
て１００モル％とする。適当なモノマー比の選択により
ガラス遷移温度及び溶解度のようなポリマー特性は目標
通りに調整することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明を実施例に基づき以下に詳
述する。
述する。
【００１５】例 １ １，２−ジカルボン酸−モノ−ｔ−ブチルエステル類を
有するコポリマーの生成 ｔ−ブチル−トリメチルシリル−フマル酸塩１１．３重
量部（「ポリマー科学ジャーナル（Ｊ．Ｐｏｌｙｍ．Ｓ
ｃｉ．）」第Ａ部；「ポリマー化学」第２５巻（１９８
７）、第９７９〜９８６頁によりｔ−ブチル−フマル酸
塩をヘキサメチルジシラザン又はトリメチルクロルシラ
ンとの反応により生成されたもの）を不活性ガス雰囲気
下にアリルトリルメチルシラン５．７重量部及びアゾビ
スイソブチロニトリル０．０８重量部と共に乾燥酢酸エ
チル１５重量部に溶解し、次いで加熱して沸騰させる。
２４時間後１重量部の水と混和し、更に３時間加熱して
沸騰させる。その後室温に冷却する。このポリマー溶液
を石油エーテル（沸騰範囲６０〜８０℃）に滴下し、引
続き濾過及び５０℃で２４時間真空中で乾燥することに
より１０重量部の無色のポリマー粉末を得る。
有するコポリマーの生成 ｔ−ブチル−トリメチルシリル−フマル酸塩１１．３重
量部（「ポリマー科学ジャーナル（Ｊ．Ｐｏｌｙｍ．Ｓ
ｃｉ．）」第Ａ部；「ポリマー化学」第２５巻（１９８
７）、第９７９〜９８６頁によりｔ−ブチル−フマル酸
塩をヘキサメチルジシラザン又はトリメチルクロルシラ
ンとの反応により生成されたもの）を不活性ガス雰囲気
下にアリルトリルメチルシラン５．７重量部及びアゾビ
スイソブチロニトリル０．０８重量部と共に乾燥酢酸エ
チル１５重量部に溶解し、次いで加熱して沸騰させる。
２４時間後１重量部の水と混和し、更に３時間加熱して
沸騰させる。その後室温に冷却する。このポリマー溶液
を石油エーテル（沸騰範囲６０〜８０℃）に滴下し、引
続き濾過及び５０℃で２４時間真空中で乾燥することに
より１０重量部の無色のポリマー粉末を得る。
【００１６】例 ２ １，２−ジカルボン酸−モノ−ｔ−ブチルエステル類を
有するコポリマーの生成 ｔ−ブチル−フマル酸塩８重量部（「複素環式化学ジャ
ーナル（Ｊ．Ｈｅｔｅｒｏｃｙｃｌｉｃ Ｃｈｅ
ｍ．）」第３２巻（１９９５）、第１３０９〜１３１５
頁に記載の方法より生成）をアリルトリメチルシラン
５．７重量部及びアゾビシソブチロニトリル０．０８重
量部と共に酢酸エチル１５重量部に溶解する。この溶液
を２４時間加熱して沸騰させ、その後室温に冷却する。
このポリマー溶液を石油エーテルに滴下（沸騰範囲６０
〜８０℃）し、引続き濾過及び５０℃で２４時間真空中
で乾燥することにより無色のポリマー粉末１０重量部を
得る。
有するコポリマーの生成 ｔ−ブチル−フマル酸塩８重量部（「複素環式化学ジャ
ーナル（Ｊ．Ｈｅｔｅｒｏｃｙｃｌｉｃ Ｃｈｅ
ｍ．）」第３２巻（１９９５）、第１３０９〜１３１５
頁に記載の方法より生成）をアリルトリメチルシラン
５．７重量部及びアゾビシソブチロニトリル０．０８重
量部と共に酢酸エチル１５重量部に溶解する。この溶液
を２４時間加熱して沸騰させ、その後室温に冷却する。
このポリマー溶液を石油エーテルに滴下（沸騰範囲６０
〜８０℃）し、引続き濾過及び５０℃で２４時間真空中
で乾燥することにより無色のポリマー粉末１０重量部を
得る。
【００１７】例 ３ １，２−ジカルボン酸−モノ−ｔ−ブチルエステル類を
有するターポリマーの生成 ｔ−ブチル−フマル酸塩６重量部（「Ｊ．Ｈｅｔｅｒｏ
ｃｙｃｌｉｃ Ｃｈｅｍ．」３２巻（１９９５）、第１
３０９〜１３１５頁に記載の方法より生成）及び１−ヘ
キセン２．５重量部をアリルトリメチルシラン５．７重
量部及びアゾビシソブチロニトリル０．０８重量部と共
に酢酸エチル１５重量部に溶解する。この溶液を２４時
間加熱して沸騰させ、その後室温に冷却する。このポリ
マー溶液を石油エーテル（沸騰範囲６０〜８０℃）に滴
下し、引続き濾過及び５０℃で２４時間真空中で乾燥す
ることにより無色のポリマー粉末１０重量部を得る。例 ４ １，２−ジカルボン酸−モノ−ｔ−ブチルエステル類を
有するクオターポリマーの生成 テトラヒドロフラニル−フマル酸塩４重量部、マレイン
イミド２重量部及び１−ヘキセン２．５重量部をアリル
トリメチルシラン５．７重量部及びアゾビシソブチロニ
トリル０．０８重量部と共にエチルアセテート１５重量
部に溶解する。この溶液を２４時間加熱して沸騰させ、
その後室温に冷却する。このポリマー溶液を石油エーテ
ル（沸騰範囲６０〜８０℃）に滴下し、引続き濾過及び
５０℃で２４時間真空中で乾燥することにより無色のポ
リマー粉末１０．５重量部を得る。
有するターポリマーの生成 ｔ−ブチル−フマル酸塩６重量部（「Ｊ．Ｈｅｔｅｒｏ
ｃｙｃｌｉｃ Ｃｈｅｍ．」３２巻（１９９５）、第１
３０９〜１３１５頁に記載の方法より生成）及び１−ヘ
キセン２．５重量部をアリルトリメチルシラン５．７重
量部及びアゾビシソブチロニトリル０．０８重量部と共
に酢酸エチル１５重量部に溶解する。この溶液を２４時
間加熱して沸騰させ、その後室温に冷却する。このポリ
マー溶液を石油エーテル（沸騰範囲６０〜８０℃）に滴
下し、引続き濾過及び５０℃で２４時間真空中で乾燥す
ることにより無色のポリマー粉末１０重量部を得る。例 ４ １，２−ジカルボン酸−モノ−ｔ−ブチルエステル類を
有するクオターポリマーの生成 テトラヒドロフラニル−フマル酸塩４重量部、マレイン
イミド２重量部及び１−ヘキセン２．５重量部をアリル
トリメチルシラン５．７重量部及びアゾビシソブチロニ
トリル０．０８重量部と共にエチルアセテート１５重量
部に溶解する。この溶液を２４時間加熱して沸騰させ、
その後室温に冷却する。このポリマー溶液を石油エーテ
ル（沸騰範囲６０〜８０℃）に滴下し、引続き濾過及び
５０℃で２４時間真空中で乾燥することにより無色のポ
リマー粉末１０．５重量部を得る。
Claims (4)
- 【請求項１】 以下の構造 【化１】 の１〜９９モル％の分量の酸不安定性で耐加水分解性の
ポリマー成分（Ａ）、以下の構造 【化２】 の９９〜１モル％の分量の耐熱性ポリマー成分（Ｂ）
［式中ｎ＝０、１、２又は３であり、Ｒ１は第３級炭素
原子を介して酸素原子に結合されている合わせて４〜１
０個の炭素原子を有する炭化水素基又は２−テトラヒド
ロフラニル基又は２−テトラヒドロピラニル基であり、
Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は−互いに独立して−Ｃ１〜Ｃ６−
アルキル又はＣ１〜Ｃ６−アルコキシ、Ｃ６〜Ｃ１８−
アリール又はＣ６〜Ｃ１８−アリールオキシ又はＣ６〜
Ｃ１８−アリール基及びＣ１〜Ｃ４−アルキレン基を有
するアラルキルであり、Ｒ５はＨ又はＣ１〜Ｃ６−アル
キルであり、ＸはＳｉ又はＳｎであり、ＹはＯ又はＮＨ
である］を有することを特徴とする１，２−ジカルボン
酸半エステル群族を有する薄膜形成性機能性ポリマー。 - 【請求項２】 ポリマー成分（Ａ）の分量が５〜５０モ
ル％であることを特徴とする請求項１記載のポリマー。 - 【請求項３】 以下の構造 【化３】 ［式中Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８及びＲ９は−互いに独立して−
Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６−アルキル、Ｃ６〜Ｃ１８−アリール、
ハロゲン、ＣＮ、メトキシフェニル又は以下の構造 【化４】 ［式中Ｒ１５はＨ、Ｃ１〜Ｃ６−アルキル、Ｃ６〜Ｃ１
８−アリール、ＣＨ２＝ＣＨ−、ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２
−又はＣＨ２＝ＣＨ−ＣＯ−を表す］の基であるもう１
つの耐熱性ポリマー成分（Ｃ）を１〜５０モル％の分量
で含むことを特徴とする請求項１又は２記載のポリマ
ー。 - 【請求項４】 付加的に、以下の構造 【化５】 ［式中Ｒ１０はＨ、Ｃ１〜Ｃ６−アルキル、Ｃ２〜Ｃ６
−アルケニル、Ｃ６〜Ｃ１８−アリール、ハロゲン又は
ハロゲン置換されたＣ１〜Ｃ６−アルキルであり、Ｒ１
１及びＲ１２は−互いに独立して−線状のＣ１〜Ｃ１８
−アルキルであり、Ｒ１３及びＲ１４は−互いに独立し
て−線状のＣ１〜Ｃ１８−アルキル又はｔ−ブチルであ
る］の１個の反応基を有するポリマー成分（Ｄ）を１〜
５０モル％の分量で含むことを特徴とする請求項１乃至
３のいずれか１つに記載のポリマー。
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